JP3413499B2 - Manufacturing method of magnetic head - Google Patents

Manufacturing method of magnetic head

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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、磁界変調方式の光磁気
記録方式において使用される光磁気記録用磁気ヘッド
製造方法に関する。
The present invention relates to a method of <br/> manufacturing a magneto-optical recording magnetic head used in the magneto-optical recording method of magnetic field modulation system.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、光磁気記録媒体としての光磁
気ディスクには、図4に示すように、磁界変調方式によ
り信号記録を行なう光磁気記録用磁気ヘッドが、一般に
知られている。ここで、符号Sは非磁性のセラミックな
どより構成されるスライダーであり、このスライダーS
は、ディスクの高速回転に伴なって生じる空気流により
与えられる浮力で、磁気ヘッドとディスクとの間に微小
な間隔を保ちつつ、浮上走行されるように、必要な空気
力学的な形状の浮上面を有する。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a magneto-optical disk as a magneto-optical recording medium, as shown in FIG. 4, a magnetic head for magneto-optical recording for performing signal recording by a magnetic field modulation method is generally known. Here, symbol S is a slider made of non-magnetic ceramic or the like.
Is a buoyancy force given by the air flow that accompanies the high-speed rotation of the disk, and it has the aerodynamic shape required to fly while maintaining a small gap between the magnetic head and the disk. Has a face.

【0003】また、スライダーSの後端には、磁性材
料、例えば、フェライトよりなるコ字形の磁気コアCが
配設され、ガラスGを接合材として、スライダーSにボ
ンディング接合される。そして、磁気コアCにはコイル
Wが巻回される。
A U-shaped magnetic core C made of a magnetic material, for example, ferrite is disposed at the rear end of the slider S, and is bonded to the slider S by using glass G as a bonding material. The coil W is wound around the magnetic core C.

【0004】このような光磁気記録用磁気ヘッドは、従
来から、図5の(a)ないし(d)に示すように、以下
の工程順序に従って製造されている。 (第1の工程)図5(a)に示すように、セラミックス
よりなるスライダーSの後端に、ハウジング部Hとし
て、磁気コア配設用溝P1とコイル巻回用溝P2とを、
機械加工またはプレス成形により形成する。なお、同時
に、スライダーSの空気浮上特性を改善するため、その
底面に溝P3を形成してもよい。この場合、ハウジング
部の下側庇部の厚さtは0.2mmとなるようにする。 (第2の工程)図5(b)で示すように、フェライトよ
りなるコ字形の磁気コアCを、その開放端をスライダー
Sの底面側に向けた状態で、ハウジング部Hの磁気コア
配設用溝P1内に配設し、ガラスボンディングの手段に
より、接合する。 (第3の工程)図5(c)で示すように、スライダーS
の底面に対しては、それが空気浮上に適するように十分
に平滑であり、また、表面粗さも十分に小さくなるよう
に、鏡面研磨加工を行なう。 (第4の工程)図5(d)に示すように、コイル巻回用
溝P2を利用し、磁気コアCにコイルWを巻回する。こ
の時、スライダーSの底面よりコイルWまでの高さh
は、ハウジング部Hの下側庇部により規制され、下側庇
部の厚さtと同等になる。
Conventionally, such a magnetic head for magneto-optical recording is manufactured according to the following process sequence as shown in FIGS. 5 (a) to 5 (d). (First Step) As shown in FIG. 5A, a magnetic core mounting groove P1 and a coil winding groove P2 are formed as a housing portion H at the rear end of the slider S made of ceramics.
It is formed by machining or press molding. At the same time, in order to improve the air floating characteristic of the slider S, the groove P3 may be formed on the bottom surface thereof. In this case, the thickness t of the lower eaves portion of the housing portion is set to 0.2 mm. (Second step) As shown in FIG. 5B, a magnetic core C of a U-shape made of ferrite is disposed in the housing H with the open end of the magnetic core C facing the bottom surface of the slider S. It is arranged in the groove P1 for bonding and is bonded by means of glass bonding. (Third step) As shown in FIG. 5C, the slider S
The bottom surface of is subjected to mirror polishing so that it is sufficiently smooth to be suitable for air levitation and has a sufficiently small surface roughness. (Fourth Step) As shown in FIG. 5D, the coil W is wound around the magnetic core C using the coil winding groove P2. At this time, the height h from the bottom surface of the slider S to the coil W
Is regulated by the lower eaves of the housing H, and is equal to the thickness t of the lower eaves.

【0005】ところで、このような光磁気記録用磁気ヘ
ッドについては、近年、信号記録の高速化に対応する要
求が高まりつつあるが、このような要求に対応するため
に、磁気ヘッドは、そのインダクタンスを小さくする必
要が、また、磁界の発生効率を高める必要が生じてく
る。その有効な実現手段として、コイルWを磁気コアC
の磁極端に寄せて、即ち、ディスクに近づけて設けるこ
とが試みられている。
By the way, in recent years, with respect to such a magnetic head for magneto-optical recording, there is an increasing demand for high speed signal recording. In order to meet such a demand, the magnetic head has its inductance. Needs to be reduced and the efficiency of magnetic field generation needs to be increased. As an effective realization means thereof, the coil W is replaced by the magnetic core C.
It has been attempted to provide the magnetic pole end closer to the magnetic pole end, that is, closer to the disk.

【0006】図6は、これについて説明するために提示
したものであり、スライダーSの底面からコイルWまで
の高さhと、磁気ヘッドのインダクタンス値および磁界
の発生効率(記録電流1mA当たりの発生磁界強度)と
の関係を、実験により求めた結果である。図より明らか
であるように、高さhが小さい程、インダクタンス値は
小さく、また、磁界の発生効率は高く、高速の信号記録
に適していることが理解される。
FIG. 6 is presented to explain this, and the height h from the bottom surface of the slider S to the coil W, the inductance value of the magnetic head, and the magnetic field generation efficiency (generation per 1 mA of recording current). This is the result obtained by experiment for the relationship with the magnetic field strength). As is clear from the figure, it is understood that the smaller the height h, the smaller the inductance value and the higher the magnetic field generation efficiency, which is suitable for high-speed signal recording.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとしている課題】このような事情に
より、スライダーSの底面からコイルWまでの高さhを
小さくする必要があるが、高さhは、スライダーSのハ
ウジング部Hの下側庇部により規制され、その厚さtと
同等であるため、厚さtを小さく、望ましくは、0.0
5mm程度とすることが必要である。ところが、tを約
0.2mmよりも小さくした場合には、ハウジング部H
の下側庇部の機械的強度が不足し、前記した磁気ヘッド
の製造工程中、第1の工程におけるハウジング部Hの形
成の際、あるいは、磁気ヘッドの使用中、特に、ロー
ド、アンロード動作やシーク動作時に発生する衝撃によ
り、前記庇部が破損するという問題点がある。このた
め、記録信号の周波数は最高でも、10MHz程度であ
り、それ以上の、信号記録の高速化の要求に対応した磁
気ヘッドが実現できないのである。
Under the circumstances, it is necessary to reduce the height h from the bottom surface of the slider S to the coil W, but the height h is the lower eaves of the housing portion H of the slider S. It is regulated by the part and is equal to the thickness t, so the thickness t is small, and preferably 0.0
It is necessary to make it about 5 mm. However, when t is smaller than about 0.2 mm, the housing portion H
The mechanical strength of the lower eaves part is insufficient, and during the above-mentioned magnetic head manufacturing process, during the formation of the housing part H in the first process, or during the use of the magnetic head, particularly the loading and unloading operations. There is a problem that the eaves portion is damaged by the impact generated during the seek operation. For this reason, the frequency of the recording signal is about 10 MHz at the maximum, and it is impossible to realize a magnetic head that meets the demand for higher signal recording speed.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は、以上述べたよ
うな従来技術の問題点を解決するため、非磁性材料より
なるスライダーにハウジング部を形成する第1の工程
ハウジング部に磁気コアを配設する第2の工程と、
磁気コアにコイルを巻回する第3の工程と、ハウジング
部に補強部材を設ける第4の工程と、コイルまでの高さ
が所定の値となるようにスライダーのディスクと対向す
る底面を機械加工により形成する第5の工程とからな
り、上記の工程順序に従って磁気ヘッドを製造すること
を特徴とする磁気ヘッドの製造方法を提供しようとする
ものである。
In order to solve the above-mentioned problems of the prior art, the present invention provides a first step of forming a housing portion on a slider made of a non-magnetic material, and a magnetic step on the housing portion. A second step of disposing the core,
The third step of winding the coil around the magnetic core, the fourth step of providing the reinforcing member on the housing part, and the bottom surface facing the disk of the slider are machined so that the height to the coil becomes a predetermined value. consists of a fifth step of forming a, is intended to provide a method of manufacturing a magnetic head, characterized in that to produce the magnetic head I follow the above sequence of steps.

【0009】[0009]

【実施例】以下、本発明による磁気ヘッドの製造方法に
ついて、図面を参照しながら、具体的に説明する。本発
明の磁気ヘッドは、図3の(a)ないし(e)に示すよ
うに、以下の工程順序に従って製造される。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A method of manufacturing a magnetic head according to the present invention will be specifically described below with reference to the drawings. The magnetic head of the present invention is manufactured according to the following process sequence, as shown in FIGS.

【0010】(第1の工程)図3(a)に示すように、
セラミックよりなるスライダーSの後端に、ハウジング
部Hとして、磁気コア配設用溝P1とコイル巻回用溝P
2とを設ける。この場合、ハウジング部Hは、機械加工
あるいはプレス成形により形成される。ハウジング部H
の下側庇部の厚さtは、加工時に破損しない程度の機械
的強度を有するように、0.2〜0.3mmとされる。
(First Step) As shown in FIG. 3 (a),
At the rear end of the slider S made of ceramic, a magnetic core arranging groove P1 and a coil winding groove P are provided as a housing portion H.
2 and are provided. In this case, the housing part H is formed by machining or press molding. Housing part H
The thickness t of the lower eave portion is set to 0.2 to 0.3 mm so as to have a mechanical strength that does not damage during processing.

【0011】(第2の工程)図3(b)に示すように、
フェライトよりなるコ字形の磁気コアCを、スライダー
Sのハウジング部Hの磁気コア配設用溝P1内に配置
し、ガラスボンディングの手段により接合する。
(Second step) As shown in FIG. 3 (b),
The U-shaped magnetic core C made of ferrite is placed in the magnetic core arranging groove P1 of the housing portion H of the slider S, and bonded by glass bonding means.

【0012】(第3の工程)図3(c)に示すように、
スライダーSに設けられたコイル巻回用溝P2を利用
し、磁気コアCの周囲に、コイルWを巻回する。
(Third step) As shown in FIG.
The coil W is wound around the magnetic core C by using the coil winding groove P2 provided in the slider S.

【0013】(第4の工程)図3(d)に示すように、
コイル巻回用溝P2内に補強部材Rを設ける。補強部材
Rは、例えば、コイル巻回用溝内に充填されたエポキシ
樹脂などでもよく、特に、樹脂中に無機物フィラー、例
えば、ガラス、アルミナなどを混入して、機械的強度を
高めるようにすると効果的である。
(Fourth step) As shown in FIG. 3 (d),
A reinforcing member R is provided in the coil winding groove P2. The reinforcing member R may be, for example, an epoxy resin or the like filled in the groove for coil winding, and in particular, when an inorganic filler such as glass or alumina is mixed in the resin to increase the mechanical strength. It is effective.

【0014】(第5の工程)図1(e)に示すように、
ハウジング部Hの下側庇部の厚さtが0.05mm程度
となるように、研削加工などの機械加工により、スライ
ダーSの底面を形成した後、空気浮上に適するように、
十分に平滑で、また、表面粗さも十分に小さくなるよう
に鏡面加工を行なう。スライダーSの底面よりコイルW
までの高さhは、ハウジング部Hの下側庇部により規制
され、その厚さtと同等であるから、0.05mmとな
る。
(Fifth Step) As shown in FIG. 1 (e),
After the bottom surface of the slider S is formed by mechanical processing such as grinding so that the thickness t of the lower eaves of the housing portion H is about 0.05 mm, it is suitable for air levitation.
Mirror finishing is performed so that the surface is sufficiently smooth and the surface roughness is sufficiently small. From bottom of slider S to coil W
The height h up to is regulated by the lower eaves of the housing H and is equal to the thickness t thereof, and therefore is 0.05 mm.

【0015】なお、ここで、スライダーS底面の加工と
同時に、スライダーSの空気浮上特性を改善するため、
スライダーSの底面に溝P3を形成してもよい。
Here, in order to improve the air levitation characteristics of the slider S simultaneously with the processing of the bottom surface of the slider S,
The groove P3 may be formed on the bottom surface of the slider S.

【0016】図1には、以上のような工程順序に従って
製造された磁気ヘッドが、斜視図の形で示されている。
FIG. 1 is a perspective view of a magnetic head manufactured according to the above-described process sequence.

【0017】また、図2には、本発明による磁気ヘッド
の他の実施例が示されている。この例においては、補強
部材Rは、ガラス、セラミックなどの非磁性で、その熱
膨張率がスライダーSを構成するセラミックに近い材質
からなるスペーサSPと、スペーサSPをコイル巻回用
溝内に固着する接着剤Bとにより構成される。スペーサ
SPは、図(b)に示すように、コイル巻回用溝に嵌合
される形状になっている。
FIG. 2 shows another embodiment of the magnetic head according to the present invention. In this example, the reinforcing member R is a non-magnetic material such as glass or ceramic, and the spacer SP is made of a material having a coefficient of thermal expansion close to that of the ceramic forming the slider S, and the spacer SP is fixed in the coil winding groove. And an adhesive B to be used. The spacer SP is shaped to fit into the coil winding groove, as shown in FIG.

【0018】この実施例の場合、特に、スペーサSPお
よびスライダーSの熱膨張率を略等しくすることによ
り、温度変化による応力の発生を回避でき、ハウジング
部Hの下側庇部の機械的強度を維持することができる。
また、特に、スペーサSPを熱伝導率の高い材質で構成
することにより、磁気ヘッドに高い周波数の記録電流を
供給する際に生ずる熱を効果的に放熱するように、上記
スペーサSPで放熱部材を兼ねることもできる。このよ
うなスペーサSPの材質としては、銅、アルミなどの金
属や、SiC,BNなどのセラミックが適している。
In the case of this embodiment, in particular, by making the thermal expansion coefficients of the spacer SP and the slider S substantially equal to each other, it is possible to avoid the occurrence of stress due to temperature change, and to improve the mechanical strength of the lower eaves of the housing H. Can be maintained.
Further, in particular, by forming the spacer SP with a material having high thermal conductivity, the spacer SP serves as a heat dissipation member so as to effectively dissipate heat generated when a recording current of high frequency is supplied to the magnetic head. You can also combine. Suitable materials for such spacers SP are metals such as copper and aluminum, and ceramics such as SiC and BN.

【0019】[0019]

【発明の効果】以上説明したように、本発明による磁気
ヘッドの製造方法では、非磁性材料よりなるスライダー
にハウジング部を形成する第1の工程と、ハウジング部
に磁気コアを配設する第2の工程と、磁気コアにコイル
を巻回する第3の工程と、ハウジング部に補強部材を設
ける第4の工程と、コイルまでの高さが所定の値となる
ように、スライダーのディスクと対向する底面を機械加
工により形成する第5の工程とからなり、上記の工程順
序に従がって磁気ヘッドを製造することを特徴とするも
のである。
As described above, in the method of manufacturing the magnetic head according to the present invention, the first step of forming the housing portion on the slider made of a non-magnetic material and the second step of disposing the magnetic core in the housing portion. Step, the third step of winding the coil around the magnetic core, the fourth step of providing the reinforcing member on the housing part, and the disk of the slider facing the height of the coil to a predetermined value. And a fifth step of forming the bottom surface by machining, and the magnetic head is manufactured in accordance with the above-mentioned order of steps.

【0020】したがって、従来技術において問題とされ
たような点、即ち、スライダーの底面からコイルまでの
高さを小さくするために、スライダーのハウジング部の
下側庇部の厚さを0.2mmよりも小さくした場合、ハ
ウジング部の下側庇部の機械的強度が不足し、磁気ヘッ
ドの製造時ハウジング部の形成の際、あるいは、磁気ヘ
ッドの使用時、特にロード、アンロード動作やシーク動
作時に発生する衝撃によって、前記庇部が破損するとい
う問題点が解決され、これによりスライダーの底面から
コイルまでの高さを、例えば、0.2mmよりも小さ
く、好ましくは、0.05mmとすることも可能とな
る。その結果、磁気ヘッドのインダクタンスを小さく、
また、磁界発生効率を高くするため、記録信号の最高周
波数を12〜15MHzとすることができ、従来よりも
高速の信号記録が実現できる。
Therefore, in order to reduce the height from the bottom of the slider to the coil, which is a problem in the prior art, the thickness of the lower eaves of the slider housing should be less than 0.2 mm. If the value is too small, the mechanical strength of the lower eaves part of the housing part will be insufficient, and when forming the housing part when manufacturing the magnetic head, or when using the magnetic head, especially when loading, unloading or seeking. The problem that the eaves part is damaged by the generated impact is solved, and thus the height from the bottom surface of the slider to the coil is, for example, smaller than 0.2 mm, preferably 0.05 mm. It will be possible. As a result, the inductance of the magnetic head is reduced,
Further, since the magnetic field generation efficiency is increased, the maximum frequency of the recording signal can be set to 12 to 15 MHz, and signal recording can be realized at a higher speed than in the past.

【0021】また、特に、前記補強部材として、スライ
ダーのそれと熱膨張率が略等しい材質からなるスペーサ
を使用した場合、温度変化による応力の発生がないた
め、より効果的にハウジング部の機械的強度が維持でき
る。また、前記補強部材として熱伝導率の高い材質から
なるスペーサを使用した場合、磁気ヘッドに高い周波数
の記録電流を供給する際に生ずる熱を、効果的に放熱す
るように、上記スペーサを放熱部材に兼ねることができ
る。
In particular, when a spacer made of a material having substantially the same coefficient of thermal expansion as that of the slider is used as the reinforcing member, stress due to temperature change is not generated, so that the mechanical strength of the housing portion is more effective. Can be maintained. When a spacer made of a material having a high thermal conductivity is used as the reinforcing member, the spacer is used as a heat radiating member so as to effectively radiate heat generated when a recording current having a high frequency is supplied to the magnetic head. Can also be used as

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明による磁気ヘッドの概略図である。FIG. 1 is a schematic view of a magnetic head according to the present invention.

【図2】他の実施例による磁気ヘッドの概略図である。FIG. 2 is a schematic view of a magnetic head according to another embodiment.

【図3】本発明による磁気ヘッドの製造方法の工程図で
ある。
FIG. 3 is a process drawing of a method of manufacturing a magnetic head according to the present invention.

【図4】従来の磁気ヘッドの概略図である。FIG. 4 is a schematic view of a conventional magnetic head.

【図5】従来の磁気ヘッドの製造方法の工程図である。FIG. 5 is a process diagram of a conventional magnetic head manufacturing method.

【図6】スライダーの底面からコイルまでの高さと、イ
ンダクタンス、磁界発生効率の関係を示すグラフであ
る。
FIG. 6 is a graph showing the relationship between the height from the bottom surface of the slider to the coil, the inductance, and the magnetic field generation efficiency.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

S スライダー C 磁気コア W コイル R 補強部材 SP スペーサ B 接着剤 S slider C magnetic core W coil R reinforcement member SP spacer B adhesive

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 非磁性材料よりなるスライダーにハウジ
ング部を形成する第1の工程と、該ハウジング部に磁気
コアを配設する第2の工程と、該磁気コアにコイルを巻
回する第3の工程と、該ハウジング部に補強部材を設け
る第4の工程と、該コイルまでの高さが所定の値となる
ように、ディスクと対向する該スライダーの底面を機械
加工により形成する第5の工程からなり、上記の工程
順序にしたがって磁気ヘッドを製造することを特徴とす
る磁気ヘッドの製造方法。
1. A first step of forming a housing portion on a slider made of a non-magnetic material, a second step of disposing a magnetic core in the housing portion, and a third step of winding a coil around the magnetic core. Step, a fourth step of providing a reinforcing member on the housing part, and a fifth step of forming the bottom surface of the slider facing the disk by machining so that the height to the coil becomes a predetermined value. consists of a process, a method of manufacturing the magnetic head is characterized in that to produce a magnetic head according to the above process sequence.
【請求項2】 前記補強部材には、熱膨張率が前記スラ
イダーを構成する非磁性材料と略等しい材質よりなるス
ペーサが含まれていることを特徴とする請求項1に記載
の磁気ヘッド製造方法。
The method according to claim 2, wherein said reinforcing member, the manufacture of the magnetic head according to claim 1, the thermal expansion coefficient characterized in that it contains substantially equal consisting material spacer and a non-magnetic material constituting the slider Method.
【請求項3】 前記補強部材には、高熱伝導性の材質か
らなるスペーサが含まれていることを特徴とする請求項
1に記載の磁気ヘッド製造方法。
3. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 1, wherein the reinforcing member includes a spacer made of a material having high thermal conductivity.
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