JP3409476B2 - Driving method of vibrating gyroscope - Google Patents
Driving method of vibrating gyroscopeInfo
- Publication number
- JP3409476B2 JP3409476B2 JP31815894A JP31815894A JP3409476B2 JP 3409476 B2 JP3409476 B2 JP 3409476B2 JP 31815894 A JP31815894 A JP 31815894A JP 31815894 A JP31815894 A JP 31815894A JP 3409476 B2 JP3409476 B2 JP 3409476B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrating body
- vibrating
- driving
- voltage
- vibration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、小形、軽量、かつ、構
造や製造法が簡単で、しかも十分高精度な振動ジャイロ
の駆動方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for driving a vibration gyro which is small in size, lightweight, simple in structure and manufacturing method, and sufficiently accurate.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来の振動ジャイロの例としては、ケー
・マエナカ、ティー・シオザワにより「シリコン レイ
ト センサ ユーズィング アニソトロピック エッチ
ングテクノロジィ」(K.Maenaka and T.Shiozawa, “Si
licon rate sensor using anisotropic etching techno
logy”)と題してダイジエスト オブ テクニカルペイ
パズ、トランスジューサズ 93(Dig. of Tech. Pape
rs,Transducers 93)、1993、642−645頁に記
載された、図8(a)、(b)、(c)に示すようなも
のがある。図8(a)は斜視図、図8(b)は断面図、
図8(c)は使用する際の概略回路図である。図8中、
1は支持部で、この部分は図8(a)、図8(b)中
で、ガラス台座2と一緒に、下方の圧電素子3により
(b)のx軸方向に振動させられている振動梁6を支持
している。振動梁6の振動方向を含む(紙面に直交す
る)面をその面内に在って振動方向に直交する(紙面に
直角な)軸すなわち(b)のz軸方向の周りに回転させ
ようとすると、それに応じてコリオリの力が振動梁6の
上記振動方向と直角な方向すなわち(b)のy軸方向に
生ずる。このコリオリの力による振動梁6の運動を検出
電極5を介して検出する。また、4は振動監視用電極
で、振動梁6の振動振幅を監視する。支持部1、検出電
極5、振動梁6は何れも、(110)シリコン基板から
異方性エッチング技術により形成された構造体である。
図8(c)中に示されている7は圧電素子3を駆動する
駆動電源、8はバッファ、9は増幅器、10は復調器で
ある。振動梁6の、圧電素子によるx軸方向(駆動方
向)の変位と、コリオリの力によるy軸方向(振動面回
転の検出方向)の変位は、図8(c)に示すように、振
動梁6を接地し、振動監視用電極4および検出電極5と
の間の電気容量変化により測定している。角速度Ωが入
力した場合に発生するコリオリの力Fc(t)の大きさ
は下記(1)式のように表される。2. Description of the Related Art As an example of a conventional vibrating gyro, K. Maenaka and T. Shiozawa, “Si Ray Rate Sensor Using Anisotropic Etching Technology” by K. Maenaka and T. Shiozawa.
licon rate sensor using anisotropic etching techno
logy ”), the Digest of Technical Pay Paz, Transducers 93 (Dig. of Tech. Pape
rs, Transducers 93), 1993, pp. 642-645, as shown in FIGS. 8 (a), (b) and (c). 8A is a perspective view, FIG. 8B is a cross-sectional view,
FIG. 8C is a schematic circuit diagram when used. In FIG.
Reference numeral 1 denotes a support portion, and this portion is vibrated in the x-axis direction of (b) by the lower piezoelectric element 3 together with the glass pedestal 2 in FIGS. 8 (a) and 8 (b). It supports the beam 6. An attempt is made to rotate a plane including the vibration direction of the vibrating beam 6 (orthogonal to the paper surface) about an axis in the plane and orthogonal to the vibration direction (orthogonal to the paper surface), that is, the z-axis direction of (b). Then, in response thereto, Coriolis force is generated in a direction perpendicular to the vibration direction of the vibrating beam 6, that is, in the y-axis direction of (b). The movement of the vibrating beam 6 due to this Coriolis force is detected via the detection electrode 5. Reference numeral 4 denotes a vibration monitoring electrode, which monitors the vibration amplitude of the vibrating beam 6. The support 1, the detection electrode 5, and the vibrating beam 6 are all structures formed from a (110) silicon substrate by an anisotropic etching technique.
In FIG. 8C, 7 is a drive power source for driving the piezoelectric element 3, 8 is a buffer, 9 is an amplifier, and 10 is a demodulator. The displacement of the vibrating beam 6 in the x-axis direction (driving direction) by the piezoelectric element and the displacement in the y-axis direction (detection direction of the vibrating surface rotation) due to the Coriolis force are as shown in FIG. 8C. 6 is grounded, and measurement is performed by a change in electric capacitance between the vibration monitoring electrode 4 and the detection electrode 5. The magnitude of the Coriolis force Fc (t) generated when the angular velocity Ω is input is represented by the following equation (1).
【0003】
Fc(t)≒2・m・Vm(t)・Ω (1)
ここで、mは振動梁6の質量、Vm(t)は圧電素子7
により駆動される振動梁6の速さである。最大のコリオ
リの力は駆動振動が共振状態(駆動振幅およびVm
(t)が最大)の場合に得られるが、共振状態は図8
(c)に示すRef.信号が最大となるように駆動電源
7の駆動周波数を調整することにより実現可能である。
また、(1)式からコリオリの力Fc(t)による振動
梁6の検出方向の振動は駆動周波数と同一の周波数でか
つ駆動方向の振動振幅に比例した検出方向の振動振幅を
有する。従って、図8(c)のように振動監視用電極4
からのRef.信号を用いて検出電極5からの信号を復
調器10で復調することにより、駆動振幅で補正した振
動梁6のコリオリの力による変位が測定でき、外乱加速
度入力等による駆動振幅の変動を補正することができ
る。Fc (t) ≈2 · m · Vm (t) · Ω (1) where m is the mass of the vibrating beam 6 and Vm (t) is the piezoelectric element 7.
Is the speed of the vibrating beam 6 driven by. The maximum Coriolis force is when the drive vibration is in resonance (drive amplitude and Vm
(T) is maximum), the resonance state is as shown in FIG.
Ref. Shown in (c). It can be realized by adjusting the drive frequency of the drive power supply 7 so that the signal becomes maximum.
Further, from the equation (1), the vibration in the detection direction of the vibrating beam 6 due to the Coriolis force Fc (t) has the same frequency as the drive frequency and the vibration amplitude in the detection direction proportional to the vibration amplitude in the drive direction. Therefore, as shown in FIG.
From Ref. By demodulating the signal from the detection electrode 5 by the demodulator 10 using the signal, the displacement due to the Coriolis force of the vibrating beam 6 corrected by the drive amplitude can be measured, and the change in the drive amplitude due to the disturbance acceleration input or the like is corrected. be able to.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の振
動ジャイロには、振動質量である振動梁6の駆動振動状
態を監視するための振動監視用電極が必要で、構造およ
び製造時の処理工程が複雑になり、小形、原価低減化が
困難であるなどの問題点があった。However, the above-mentioned conventional vibrating gyro requires a vibration monitoring electrode for monitoring the driving vibration state of the vibrating beam 6, which is the vibrating mass, and the structure and the processing steps during manufacturing are required. However, there have been problems such as the complexity of the product and the difficulty in reducing the size and cost.
【0005】本発明は上記従来の振動ジャイロの駆動方
法の問題点を解消した、構造が簡単で、製造処理工程も
簡単容易、しかも十分高精度な振動ジャイロが得られる
ような振動ジャイロの駆動方法を提供することを課題と
する。The present invention solves the above-mentioned problems of the conventional vibration gyro driving method, has a simple structure, a simple manufacturing process, and a sufficiently high precision vibration gyro driving method. The challenge is to provide.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明においては、特許請求の範囲に記載するように
構成している。すなわち、請求項1に記載の発明におい
ては、一定方向に振動している振動体の振動方向を含む
平面を、この平面上に存在し振動方向に直交する軸の周
りに回転させるとき、前記振動体に作用するコリオリの
力を検出して前記回転の角速度を計測するようにした振
動ジャイロの駆動方法において、前記振動体と対向して
前記振動体の各々反対側に配置された電極対を有し、前
記電極対に交互に特定の周波数で駆動電圧を印加し、前
記振動体に対して交互に逆方向の静電引力を作用させて
前記振動体を駆動励振し、更に、この電極対を振動体の
励振状態監視にも兼用して前記振動体の励振状態が常に
一定となるように制御するように構成している。In order to solve the above problems, the present invention is constructed as described in the claims. That is, in the invention according to claim 1, when a plane including the vibration direction of the vibrating body vibrating in a certain direction is rotated around an axis existing on the plane and orthogonal to the vibration direction, the vibration is generated. In a driving method of a vibrating gyroscope, which detects the Coriolis force acting on the body and measures the angular velocity of the rotation, an electrode pair disposed opposite to the vibrating body on each side of the vibrating body is provided. Then, a driving voltage is alternately applied to the electrode pair at a specific frequency, and electrostatic attraction in the opposite direction is alternately applied to the vibrating body to drive and excite the vibrating body. The vibration state of the vibrating body is also monitored so that the vibration state of the vibrating body is controlled to be always constant.
【0007】具体的には、前記振動体を静電引力により
駆動振動させるために、前記振動体と前記電極対との間
に交互に特定の周波数で駆動電圧を印加し、かつ、前記
電極対の何れにも電圧を印加しない第1時間帯を設け、
この第1時間帯に前記振動体の駆動振動振幅を読み出す
ための電圧を、前記電極対に同時に印加または前記振動
体に印加し、読み出した前記電極対と振動体間の電気容
量変化によって前記振動体の励振振動振幅を読み出すよ
うにしたものである。 Specifically, in order to drive and vibrate the vibrating body by electrostatic attraction, a driving voltage is alternately applied at a specific frequency between the vibrating body and the electrode pair, and the electrode pair is also applied. The first time zone where no voltage is applied to any of
A voltage for reading the driving vibration amplitude of the vibrating body during the first time period is applied to the electrode pair at the same time or applied to the vibrating body, and the vibration is caused by a change in the electric capacitance between the read electrode pair and the vibrating body. The excitation vibration amplitude of the body is read out.
【0008】また、請求項2に記載の発明は、前記振動
体を静電引力により駆動励振するために、前記振動体
と、それぞれ其の反対側に配置した対をなす電極対との
間に、交互に特定の第1周波数で駆動電圧を印加し、か
つ、前記電極対の何れにも電圧を印加しない第1時間帯
を設け、この第1時間帯に前記振動体と電極対それぞれ
との間の電気容量を読み出すためのキャリア電圧を前記
振動体に印加し、読み出した前記振動体と電極対それぞ
れとの間の電気容量によって、前記振動体の振動状態を
監視するようにしたものである。また、請求項3に記載
の発明は、前記振動体とそれぞれ其の反対側に配置した
電極対との間に、交互に印加する駆動電圧の第1周波数
を、前記振動体の共振周波数と一致させるように構成し
たものである。Further, in the invention as set forth in claim 2 , in order to drive and excite the vibrating body by electrostatic attraction, the vibrating body is provided between the vibrating body and a pair of electrodes arranged on opposite sides thereof. , A first time zone in which a drive voltage is alternately applied at a specific first frequency and a voltage is not applied to any of the electrode pairs, and the vibrating body and the electrode pair are respectively provided in the first time zone. A carrier voltage for reading the electric capacitance between the vibrating body is applied to the vibrating body, and the vibration state of the vibrating body is monitored by the read electric capacity between the vibrating body and each of the electrode pairs. . In the invention according to claim 3 , the first frequency of the driving voltage alternately applied between the vibrating body and the electrode pair arranged on the opposite side of the vibrating body coincides with the resonance frequency of the vibrating body. It is configured to allow.
【0009】[0009]
【作用】振動体に対向してそれぞれ反対の側に配置され
振動体に対して交互に逆方向の静電引力を作用させる対
をなす2電極を振動体の駆動励振に用い、更に、これら
の電極を振動体の振動状態監視にも兼用して振動体の振
動状態が常に一定となるように制御させることにしたの
で、従来の技術による場合よりも構造が簡単で量産容易
になり、小形で安価に形成できることになった。The two electrodes, which are arranged on the opposite sides of the vibrating body so as to alternately apply the electrostatic attraction in the opposite direction to the vibrating body, are used for driving and exciting the vibrating body. Since the electrodes are also used to monitor the vibration state of the vibrating body, we decided to control so that the vibrating state of the vibrating body is always constant, so the structure is simpler and mass production is easier than in the case of the conventional technology, and the size is small. It can be formed at low cost.
【0010】[0010]
第1実施例:第1実施例を、図3(a)(平面図)、図
3(b)(断面図)、および図1(a)(駆動および検
出回路のブロック図)、図1(b)、図1(c)(電圧
印加のタイムチャート)によって説明する。本実施例で
は、振動系は酸化膜20を形成されたシリコン基板1a
上に構成されている。振動系は振動質量13および支持
体30より構成されている。振動質量および支持体は結
晶シリコン(又はポリシリコン)または鍍金法により堆
積した金属により構成されている。支持体30は固定部
14によってシリコン基板に固定されている。また、固
定部14において振動質量および支持体への電気的接続
部が構成されている(電気配線は図面の簡略化のため図
示せず)。振動質量の側面には静電引力で振動質量を
(図中左右方向に)駆動するための櫛歯電極18が形成
されている。振動質量の直下(図(b))には振動質量
のy軸方向の変位を静電容量の変化として検出するため
の電極16が形成されている。First Embodiment: FIG. 3 (a) (plan view), FIG. 3 (b) (cross-sectional view), and FIG. 1 (a) (block diagram of drive and detection circuit), FIG. b) and FIG. 1C (time chart of voltage application). In this embodiment, the vibration system is a silicon substrate 1a on which an oxide film 20 is formed.
Is configured on. The vibration system is composed of a vibrating mass 13 and a support 30. The vibrating mass and the support are composed of crystalline silicon (or polysilicon) or metal deposited by the plating method. The support 30 is fixed to the silicon substrate by the fixing portion 14. Further, the vibrating mass and an electrical connection portion to the support body are configured in the fixed portion 14 (electric wiring is not shown for simplification of the drawing). Comb-shaped electrodes 18 for driving the oscillating mass (in the horizontal direction in the drawing) by electrostatic attraction are formed on the side surfaces of the oscillating mass. An electrode 16 for detecting a displacement of the vibrating mass in the y-axis direction as a change in electrostatic capacitance is formed immediately below the vibrating mass (FIG. 6B).
【0011】本実施例における振動ジャイロの駆動およ
び検出回路のブロック図を示す図1(a)中、点線で囲
った部分が振動質量に対応し、これは共通電位VLに接
続されている。Cd1、Cd2は振動質量に対向する駆動電
極と振動質量間の電気容量であり、参照容量Cr2を介し
て駆動用電源21に接続され、駆動用電圧が印加されて
いる。電気容量のインピーダンスは下記(2)式
Zc=1/jωC (2)
のように表されるので、Cr2を、両駆動電極と振動質量
との間の電気容量Cd1、Cd2より十分大きくすれば駆動
電圧のCr2における損失はほとんど無視できる。実際
上、Cd1、Cd2の値は〜pF程度なので、同一基板上に
おいてもCr2の実現は容易である。Cd1、Cd2と参照容
量Cr2との接続点の電位Vd1、Vd2はバッファ25を介
して復調器24に入力され駆動用電源21の出力を用い
て復調される。復調後の信号は増幅器で所定の値に増幅
され駆動用電源21の出力振幅を制御するフィードバッ
ク信号となる。In FIG. 1A showing the block diagram of the drive and detection circuit of the vibrating gyroscope in this embodiment, the portion surrounded by the dotted line corresponds to the vibrating mass, which is connected to the common potential VL. Cd1 and Cd2 are electric capacities between the driving electrode facing the vibrating mass and the vibrating mass, and are connected to the driving power source 21 via the reference capacitance Cr2 and a driving voltage is applied thereto. Since the impedance of the electric capacitance is expressed by the following equation (2), Zc = 1 / jωC (2), driving by setting Cr2 to be sufficiently larger than the electric capacitances Cd1 and Cd2 between both drive electrodes and the oscillating mass The loss of voltage Cr2 is almost negligible. Actually, since the values of Cd1 and Cd2 are about pF, it is easy to realize Cr2 even on the same substrate. The potentials Vd1 and Vd2 at the connection points between Cd1 and Cd2 and the reference capacitor Cr2 are input to the demodulator 24 via the buffer 25 and demodulated using the output of the driving power supply 21. The demodulated signal is amplified to a predetermined value by an amplifier and becomes a feedback signal for controlling the output amplitude of the driving power supply 21.
【0012】駆動用電圧は図1(b)、図1(c)のタ
イムチャートで示すように印加する。駆動用電圧は駆動
力発生のための電圧vdと、振動質量変位検出用の読み
出し電圧vcで構成されている。vdとvcは交互に別の
期間に印加される。図中ではvdとvc印加の間に0V印
加の時間間隔を設けてあるが、この時間間隔は無くても
本質的な機能は同等である。駆動用電圧は互いに逆方向
の駆動力を発生する駆動電極と振動質量の間の電気容量
Cd1とCd2に、それぞれ逆位相に、読み出し電圧vcは
両駆動電極にvdが印加されていない時間間隔τ内に、
両駆動電極に同時に印加される。読みだし電圧vcは図
1(b)のようにVLに対し単極性パルスであっても、
又は図1(c)のようにVLに対して両極性パルスであ
っても良い。The driving voltage is applied as shown in the time charts of FIGS. 1 (b) and 1 (c). The driving voltage is composed of a voltage vd for generating a driving force and a read voltage vc for detecting the vibration mass displacement. vd and vc are applied alternately in different periods. In the figure, a time interval of 0V application is provided between vd and vc application, but the essential function is the same even if this time interval is not provided. The driving voltage is in opposite phases to the electric capacitances Cd1 and Cd2 between the driving electrode and the oscillating mass that generate driving forces in mutually opposite directions, and the read voltage vc is the time interval τ when vd is not applied to both driving electrodes. Within
It is applied to both drive electrodes simultaneously. Even if the read voltage vc is a unipolar pulse with respect to VL as shown in FIG. 1 (b),
Alternatively, as shown in FIG. 1C, a bipolar pulse may be applied to VL.
【0013】振動質量13の電位Vm(=VL)に対し
て、駆動用電圧を駆動電極端Vd1、Vd2に交互に印加す
ることにより支持体30に支持された振動質量13(図
3(a),(b))をx軸方向(左右)に振動駆動す
る。振動質量のx軸方向の共振周波数fxrは振動質量の
質量と支持体のx軸方向のバネ定数で決まる。従って、
駆動用電源21(図1(a))の印加周波数を電気的に
調整することにより容易に共振状態を実現できる。With respect to the potential Vm (= VL) of the oscillating mass 13, the oscillating mass 13 supported by the support 30 by alternately applying the driving voltage to the drive electrode ends Vd1 and Vd2 (FIG. 3A). , (B) are oscillated in the x-axis direction (left and right). The resonance frequency fxr of the vibrating mass in the x-axis direction is determined by the mass of the vibrating mass and the spring constant of the support in the x-axis direction. Therefore,
The resonance state can be easily realized by electrically adjusting the applied frequency of the driving power source 21 (FIG. 1A).
【0014】Cs1、Cs2は振動質量に対向する検出電極
と振動質量間の電気容量であり、参照容量Cr1を介して
検出用電源22(図1(a))に接続され、振動質量の
変位読みだし電圧Cが印加されている。図中では読みだ
し電圧Cは駆動用電圧のvcと同期した同じ信号である
が、異なる信号であっても本質的に問題はない。Cs1、
Cs2と参照容量Cr1との接続点の電位Vs1、Vs2はバッ
ファ25を介して復調器24に入力され検出用電源22
の出力を用いて復調される。復調後の信号は増幅器で所
定の値に増幅され出力される。Cs1 and Cs2 are electric capacities between the detection electrodes facing the vibrating mass and the vibrating mass, and are connected to the detection power source 22 (FIG. 1A) via the reference capacity Cr1 to read the displacement of the vibrating mass. The broth voltage C is applied. In the figure, the read voltage C is the same signal synchronized with the driving voltage vc, but there is essentially no problem even if it is a different signal. Cs1,
The potentials Vs1 and Vs2 at the connection point between Cs2 and the reference capacitor Cr1 are input to the demodulator 24 via the buffer 25 and the detection power source 22 is supplied.
Is demodulated using the output of. The demodulated signal is amplified to a predetermined value by an amplifier and output.
【0015】精度の良いコリオリの力の測定には、振動
質量を一定周波数、一定振幅で駆動することが必要であ
る。振動周波数は駆動周波数と一致するので、OSC1
の周波数を一定に保持すれば良い。参照容量Cr2を介し
た駆動電圧D、D ̄の印加時に、各駆動電極端Vd1、V
d2の電位をバッファ25を介して読み出し、その差動を
復調器24で駆動電源OSC1の駆動周波数に同期して
検出すれば、振動質量の振動振幅に関する情報が得られ
る。また、本実施例の場合、振動質量の変位検出電圧C
を用いて復調を行っても良い。従って得られた振幅情報
が所定値になるように駆動電源OSC1にネガティブフ
ィードバックをかけ、駆動用電圧のvdの振幅を調整す
ることにより、振動質量の一定振幅駆動が可能となる。
また、本実施例のように櫛歯電極に電圧を印加して静電
引力で振動質量を駆動し、かつ振動振幅読みだし電圧v
cを、共通電位VLに接続された振動質量に対する駆動
電極に同時に印加する場合、両駆動電極においてvcに
より発生する静電引力は互いに打ち消し合うので振動状
態に影響を与えない。In order to measure the Coriolis force with high accuracy, it is necessary to drive the vibrating mass at a constant frequency and a constant amplitude. Since the vibration frequency matches the drive frequency, OSC1
It suffices to keep the frequency of 1 constant. At the time of applying the drive voltages D and D through the reference capacitance Cr2, the drive electrode terminals Vd1 and Vd are applied.
If the potential of d2 is read out via the buffer 25 and the differential is detected by the demodulator 24 in synchronization with the drive frequency of the drive power supply OSC1, information regarding the vibration amplitude of the vibrating mass can be obtained. Further, in the case of the present embodiment, the displacement detection voltage C of the vibrating mass is
May be used for demodulation. Therefore, by applying negative feedback to the driving power supply OSC1 so that the obtained amplitude information has a predetermined value and adjusting the amplitude of vd of the driving voltage, it is possible to drive the vibrating mass at a constant amplitude.
Further, as in the present embodiment, a voltage is applied to the comb-teeth electrode to drive the vibrating mass by electrostatic attraction, and the vibration amplitude reading voltage v
When c is simultaneously applied to the drive electrodes for the oscillating mass connected to the common potential VL, the electrostatic attractive forces generated by vc on both drive electrodes cancel each other out and do not affect the oscillating state.
【0016】コリオリ力が振動質量に作動することによ
る、検出電極対と振動質量間の電気容量変化の検出は、
各検出電極端Vs1、Vs2に、Cs1、Cs2とほぼ等しい参
照電気容量Cr1を直列に接続し、参照電気容量Cr1を介
して検出用電源22を用いて検出電圧Cを印加し、各検
出電極端Vs1、Vs2の電位をバッファ25を介して読み
出し、その差動を復調器24で検出電源OSC3の駆動
周波数に同期して検出する。コリオリの力とOSC3は
同じ周波数を有するので、y軸方向の変位量に対応した
DC信号が得られる。Detection of a change in capacitance between the detection electrode pair and the oscillating mass due to the Coriolis force acting on the oscillating mass is
A reference electric capacity Cr1 that is substantially equal to Cs1 and Cs2 is connected in series to each detection electrode terminal Vs1 and Vs2, and a detection voltage C is applied using the detection power supply 22 via the reference electric capacity Cr1 to detect each detection electrode terminal. The potentials Vs1 and Vs2 are read out via the buffer 25, and the differential is detected by the demodulator 24 in synchronization with the drive frequency of the detection power supply OSC3. Since the Coriolis force and OSC3 have the same frequency, a DC signal corresponding to the amount of displacement in the y-axis direction can be obtained.
【0017】第1実施例では下記の各効果が得られる。
振動質量13の駆動振動状態を監視するための振動監視
用電極を駆動用電極と兼用したので、構造及び作成プロ
セスが簡単になりになり小型、低コスト化が可能であ
る。櫛歯電極に電圧を印加して静電引力で振動質量を駆
動し、かつ振動振幅読みだし電圧vcを接地された振動
質量に対する駆動電極に同時に印加する場合、両駆動電
極に於てvcにより発生する静電引力は互いに打ち消し
合うので振動状態に影響を与えることなく、vcの振幅
を充分大きくすることにより振動質量の振動振幅を精度
良く検出することが出来る。振動質量13の駆動振幅を
測定しこれが一定となるような制御手段を備えたため、
発生コリオリ力に影響を与える外乱加速度等のによる駆
動振幅変動の影響を除去する事が出来る。半導体作成プ
ロセスを用いて角速度センサを実現したので、小型化、
軽量化及び低コスト化が可能で均一な特性を有するセン
サの大量生産に対応できる。静電引力駆動、静電容量検
出を用いることにより、振動質量及び各支持体を同一電
位にする事ができ、電気的配線が容易である。振動質量
を直接駆動しているので、振動質量の振動振幅のより高
精度な制御が可能である。振動振幅の監視用電極を用い
ることなく、振動振幅の一定制御が可能である。検出
部、検出部の駆動回路及び信号処理回路を同一基板上に
形成すれば、微小な発生信号を処理回路に入力する間に
混入する外来ノイズの影響を大幅に減少できる。また、
参照電気容量Cr1対、Cr2対の電気容量のペア性を向上
することができ、駆動力及び出力信号のオフセットを低
減することが出来る。駆動用櫛歯電極18を振動質量1
3の側面に形成したため、駆動電極の対向面積を有効に
確保でき、振動質量の振動駆動が効率よく行える。The following effects can be obtained in the first embodiment.
Since the vibration monitoring electrode for monitoring the driving vibration state of the vibrating mass 13 is also used as the driving electrode, the structure and the manufacturing process are simplified, and the size and cost can be reduced. When a voltage is applied to the comb-teeth electrode to drive the vibrating mass by electrostatic attraction, and a vibration amplitude reading voltage vc is simultaneously applied to the drive electrode for the grounded vibrating mass, both drive electrodes generate vc. Since the electrostatic attraction forces cancel out each other, the vibration amplitude of the vibrating mass can be accurately detected by sufficiently increasing the amplitude of vc without affecting the vibration state. Since the control means for measuring the drive amplitude of the oscillating mass 13 and keeping it constant is provided,
It is possible to eliminate the influence of the drive amplitude variation due to the disturbance acceleration that affects the generated Coriolis force. Since we have realized an angular velocity sensor using a semiconductor manufacturing process, we have made it smaller and
It is possible to reduce the weight and cost and mass-produce sensors with uniform characteristics. By using electrostatic attraction drive and electrostatic capacitance detection, the vibrating mass and each support can be made to have the same potential, and electrical wiring is easy. Since the vibrating mass is directly driven, the vibration amplitude of the vibrating mass can be controlled with higher accuracy. It is possible to perform constant control of the vibration amplitude without using an electrode for monitoring the vibration amplitude. By forming the detection unit, the drive circuit of the detection unit, and the signal processing circuit on the same substrate, it is possible to greatly reduce the influence of external noise mixed during inputting a minute generated signal to the processing circuit. Also,
The pairing of the reference capacitances Cr1 and Cr2 can be improved, and the driving force and the output signal offset can be reduced. The driving comb-teeth electrode 18 is oscillated mass 1
Since it is formed on the side surface of No. 3, the opposing area of the drive electrode can be effectively secured, and the vibrational mass can be efficiently vibrated.
【0018】第2実施例:第2実施例を、図3(a)
(平面図)、図3(b)(断面図)、および図2(a)
(駆動および検出回路のブロック図)、図2(b)、図
2(c)(電圧印加のタイムチャート)によって説明す
る。本実施例では、第1時間帯に振動体と駆動用の2電
極との間の電気容量を読み出すためのキャリア電圧を
(駆動用2電極に同時に印加する代わりに)振動体に印
加する点が第1実施例と異なる。本実施例における振動
ジャイロの駆動及び検出回路のブロック図を図2(a)
に示す。図中、点線で囲った部分が振動質量に対応し、
これを検出用電源22(OSC3)に接続している。C
d1、Cd2は振動質量に対向する駆動電極と振動質量間の
電気容量であり、参照容量Cr2を介して駆動用電源21
に接続され、駆動用電圧が印加されている。電気容量の
インピーダンスは下記(2)式
Zc=1/jωC (2)
のように表されるので、Cr2を両駆動電極と振動質量の
間の電気容量Cd1、Cd2より十分大きくすれば駆動電圧
のCr2における損失は殆ど無視できる。実際上、Cd1、
Cd2の値は〜pF程度なので、同一基板上においてもC
r2の実現は容易である。Cd1、Cd2と参照容量Cr2との
接続点の電位Vd1、Vd2はバッファ25を介して復調器
24に入力され駆動用電源21の出力を用いて復調され
る。復調後の信号は増幅器で所定の値に増幅され駆動用
電源の出力振幅を制御するフィードバック信号となる。Second Embodiment: FIG. 3A shows the second embodiment.
(Plan view), FIG. 3 (b) (cross-sectional view), and FIG. 2 (a)
(Block diagram of drive and detection circuit), FIG. 2 (b), FIG. 2 (c) (time chart of voltage application). In this embodiment, a carrier voltage for reading the electric capacitance between the vibrating body and the two driving electrodes is applied to the vibrating body (instead of being simultaneously applied to the two driving electrodes) in the first time zone. Different from the first embodiment. FIG. 2A is a block diagram of the drive and detection circuit of the vibration gyroscope in this embodiment.
Shown in. In the figure, the part surrounded by the dotted line corresponds to the vibrating mass,
This is connected to the detection power source 22 (OSC3). C
d1 and Cd2 are electric capacities between the driving electrode facing the vibrating mass and the vibrating mass, and the driving power source 21 is connected via the reference capacity Cr2.
And the driving voltage is applied. Since the impedance of the electric capacitance is expressed by the following formula (2) Zc = 1 / jωC (2), if Cr2 is made sufficiently larger than the electric capacitances Cd1 and Cd2 between both drive electrodes and the oscillating mass, the drive voltage The loss in Cr2 is almost negligible. In fact, Cd1,
The value of Cd2 is about pF, so Cd2 is C on the same substrate.
r2 is easy to implement. The potentials Vd1 and Vd2 at the connection points between Cd1 and Cd2 and the reference capacitor Cr2 are input to the demodulator 24 via the buffer 25 and demodulated using the output of the driving power supply 21. The demodulated signal is amplified to a predetermined value by an amplifier and becomes a feedback signal for controlling the output amplitude of the driving power supply.
【0019】駆動用電圧は図2(b)または図2(c)
のタイムチャートで示すように印加する。駆動用電圧は
駆動力発生のための電圧vdで構成されている。駆動用
電圧は互いに逆方向の駆動力を発生する両駆動電極と振
動体間の電気容量Cd1、Cd2に逆位相に、かつ両駆動電
極にvdが印加されていない時間間隔τが存在するよう
に印加される。電気容量の読みだし電圧vcは、図2
(b)のようにVLに対し単極パルスであっても、また
は図2(c)のようにVLに対し両極性パルスであって
も良い。図中では読みだし電圧vcは時間間隔τ間にパ
ルス幅τで印加されているが、パルス幅はτ以下であっ
ても本質的な機能は同等である。The driving voltage is as shown in FIG. 2 (b) or FIG. 2 (c).
Apply as shown in the time chart of. The driving voltage is composed of the voltage vd for generating the driving force. The driving voltage has opposite phases to the electric capacitances Cd1 and Cd2 between the driving electrodes and the vibrating body that generate driving forces in opposite directions, and there is a time interval τ in which vd is not applied to both driving electrodes. Is applied. The reading voltage vc of the electric capacity is shown in FIG.
It may be a unipolar pulse for VL as shown in (b) or a bipolar pulse for VL as in FIG. 2 (c). In the figure, the read voltage vc is applied with the pulse width τ during the time interval τ, but the essential function is the same even if the pulse width is τ or less.
【0020】振動質量13の電位Vmに対して、駆動用
電圧を駆動用電極端Vd1、Vd2に交互に印加することに
より支持体30に支持された振動質量13をx軸方向に
振動駆動する。振動質量のx軸方向の共振周波数fxr
は、振動質量の質量と支持体のx軸方向のバネ定数で決
まる。したがって、駆動用電源21の印加周波数を電気
的に調整することにより容易に共振状態を実現できる。The vibrating mass 13 supported by the support 30 is vibrated in the x-axis direction by alternately applying a driving voltage to the driving electrode ends Vd1 and Vd2 with respect to the potential Vm of the vibrating mass 13. Resonance frequency fxr of the vibrating mass in the x-axis direction
Is determined by the mass of the oscillating mass and the spring constant of the support in the x-axis direction. Therefore, the resonance state can be easily realized by electrically adjusting the applied frequency of the driving power source 21.
【0021】Cs1、Cs2は振動質量に対向する検出電極
と振動質量間の電気容量で、参照容量Cr1を介して共通
電位VLに接続されている。Cs1、Cs2と参照容量Cr1
との接続点の電位Vs1、Vs2はバッファ25を介して復
調器24に入力され、検出用電源22(OSC3)の出
力を用いて復調される。復調後の信号は増幅器によって
所定の値に増幅され出力される。Cs1 and Cs2 are electric capacities between the detection electrode facing the vibrating mass and the vibrating mass, and are connected to the common potential VL via the reference capacity Cr1. Cs1, Cs2 and reference capacity Cr1
The potentials Vs1 and Vs2 at the connection point between and are input to the demodulator 24 via the buffer 25 and demodulated using the output of the detection power supply 22 (OSC3). The demodulated signal is amplified to a predetermined value by the amplifier and output.
【0022】精度よくコリオリの力を測定するには、振
動質量を一定周波数、一定振幅で駆動することが必要で
ある。振動周波数は駆動周波数と一致するので、OSC
1の周波数を一定に保持すればよい。検出用電源22
(OSC3)による電気容量の読み出し用電圧vc印加
時に、各駆動電極端Vd1、Vd2の電位をバッファ25を
介して読みだし、その差動を復調器24で検出用電源O
SC3の周波数に同期して検出すれば振動質量の振動振
幅に関する情報が得られる。従って得られた振幅情報が
所定値になるように駆動電源OSC1にネガティブフィ
ードバックをかけ、駆動用電圧vdの振幅を調整するこ
とにより、振動質量の一定振幅駆動が可能となる。ま
た、本実施例のように櫛歯電極に電圧を印加して静電引
力で振動質量を駆動し、かつ振動振幅読み出し電圧vc
を両駆動電極の電位がVLである時間帯に振動質量(振
動体)に印加する場合、両駆動電極においてvcにより
発生する静電引力は互いに打ち消し合うので振動状態に
影響を与えない。In order to accurately measure the Coriolis force, it is necessary to drive the vibrating mass at a constant frequency and a constant amplitude. Since the vibration frequency matches the drive frequency, the OSC
The frequency of 1 may be kept constant. Power supply for detection 22
When the voltage vc for reading the electric capacity by (OSC3) is applied, the potentials of the drive electrode terminals Vd1 and Vd2 are read out through the buffer 25, and the differential is detected by the demodulator 24 as the detection power source O.
If the detection is performed in synchronization with the frequency of SC3, information on the vibration amplitude of the vibrating mass can be obtained. Therefore, by applying negative feedback to the drive power supply OSC1 so that the obtained amplitude information has a predetermined value and adjusting the amplitude of the drive voltage vd, it is possible to drive the vibration mass with a constant amplitude. Further, as in the present embodiment, a voltage is applied to the comb-teeth electrode to drive the vibrating mass by electrostatic attraction, and a vibration amplitude read voltage vc
Is applied to the vibrating mass (vibrating body) during the time period when the electric potentials of both drive electrodes are VL, the electrostatic attractive forces generated by vc in both drive electrodes cancel each other out, and thus do not affect the vibration state.
【0023】コリオリの力による検出電極対の電気容量
変化の検出は、両検出電極端Vs1、Vs2に、Cs1、Cs2
とほぼ等しい参照電気容量Cr1を直列に接続してこれを
接地し、振動質量13に検出用電源22を用いて検出電
圧Cを印加し、両検出電極端Vs1、Vs2の電位をバッフ
ァ25を介して取りだし、その差動を復調器24で検出
電源OSC3の駆動周波数に同期して検出する。電気容
量の変化は振動質量の変位に相当するのでy軸方向の変
位量に対応したDC信号が得られる。The change in the capacitance of the detection electrode pair due to the Coriolis force is detected by detecting Cs1 and Cs2 at both detection electrode ends Vs1 and Vs2.
A reference electric capacitance Cr1 which is almost equal to is connected in series and grounded, a detection voltage C is applied to the oscillating mass 13 using a detection power source 22, and the potentials of both detection electrode ends Vs1 and Vs2 are passed through a buffer 25. The differential is detected by the demodulator 24 in synchronization with the drive frequency of the detection power supply OSC3. Since the change in capacitance corresponds to the displacement of the oscillating mass, a DC signal corresponding to the amount of displacement in the y-axis direction can be obtained.
【0024】この第2実施例の効果は第1実施例の場合
と下記の点で異なる。読みだし電圧vcは両駆動電極に
vdが印加されていない時間間隔τ内に検出用電源22
により(第1実施例で両駆動電極に同時に読みだし電圧
を印加したのと異なって)振動質量13に印加される。
従って振動質量と両駆動電極の間で、読みだし電圧vc
により発生する静電引力は互いに打ち消しあうので振動
状態に影響を与えることなく、vcの振幅を十分大きく
することにより振動質量の振動振幅を精度よく検出する
ことが出来る。The effects of the second embodiment differ from those of the first embodiment in the following points. The read voltage vc is the detection power supply 22 within the time interval τ when vd is not applied to both drive electrodes.
By virtue of this (as opposed to applying a read voltage to both drive electrodes simultaneously in the first embodiment), the vibration mass 13 is applied.
Therefore, between the vibrating mass and both drive electrodes, the read voltage vc
Since the electrostatic attractive forces generated by the above cancel each other, the vibration amplitude of the vibrating mass can be accurately detected by sufficiently increasing the amplitude of vc without affecting the vibration state.
【0025】第3実施例:第3実施例を図4、図5、及
び図1を用いて説明する。この実施例では、コリオリの
力による変位を第1時間帯に電気容量の変化として測定
する場合に、コリオリ力検出用に振動体駆動用の電極対
とは別に設けた専用の電極対を用いて検出し、第1実施
例の場合と同様に検出電極対に同時に電圧を印加してい
る。Third Embodiment: A third embodiment will be described with reference to FIGS. 4, 5 and 1. In this embodiment, when the displacement due to the Coriolis force is measured as a change in the electric capacity in the first time zone, a dedicated electrode pair provided separately from the vibrating body driving electrode pair for detecting the Coriolis force is used. The voltage is detected and the voltage is simultaneously applied to the detection electrode pair as in the case of the first embodiment.
【0026】本実施例振動ジャイロの構造を図4(平面
図)および図5(断面図)に示す。13(網かけの色が
薄い個所)はポリシリコンで形成された振動質量で、同
じくポリシリコンで形成された第1支持部12(細い梁
状部)に支持されている。第1支持部12はトラス構造
で補強した接続部17(網かけの色が薄いほぼ正方形の
枠状部)に接続されており、x軸方向(図の上下方向)
には変位可能でy軸方向(左右)に対して十分な剛性を
有している。28は高濃度拡散層(網かけの色が濃い部
分)で、紙面に対して垂直方向に網かけの色が薄い部分
の背後に位置している。振動質量13の側方には櫛歯電
極18が形成されていて、静電引力により振動質量をx
軸(上下)方向に駆動振動させる。接続部17の外部側
方には櫛歯状の電極が形成されており、固定部14に接
続された櫛歯状対向電極との間の静電容量で振動質量1
3のy軸(左右)方向の変位を検出するための検出電極
16aの対を構成している。この検出電極16aは各櫛
歯電極間の距離が均等に一様ではなく、その配置は図6
に示すように各対向櫛歯電極対が電気的に干渉しないよ
うにd1<<d2となっている。各固定部において、各
支持部および櫛歯状電極は図5(b)または図5(c)
に示すように高濃度拡散層28またはポリシリコン配線
27を介して金属配線26に電気的に接続されている。
28は振動質量13及び第1、第2支持部の電位を安定
化するための高濃度拡散層で形成した電極であり、固定
部14と同様に金属配線26に電気的に接続されてい
る。金属配線26は信号入出力用パッドまたは同一基板
上に形成された駆動用または信号処理用の周辺回路に接
続されている(図面の簡略化のため金属配線、パッド及
び周辺処理回路は記載を省略した)。各部材は図4に実
線で示したように電気的に接続されている。各部材の電
位はVm、Vd1、Vd2、Vs1、Vs2、Vsのように示し
た。通常、振動質量13および第1、第2支持部の電位
Vmを安定化するための高濃度拡散層で形成した電極2
8の電位VsはVmと同一にする。The structure of the vibrating gyroscope of this embodiment is shown in FIG. 4 (plan view) and FIG. 5 (cross-sectional view). Reference numeral 13 (a portion where the shaded color is light) is an oscillating mass made of polysilicon, and is supported by the first supporting portion 12 (thin beam-shaped portion) also made of polysilicon. The first support portion 12 is connected to a connection portion 17 (a substantially square frame-shaped portion with a light shaded color) reinforced by a truss structure, and is in the x-axis direction (up and down direction in the figure).
Is displaceable and has sufficient rigidity in the y-axis direction (left and right). Reference numeral 28 denotes a high-concentration diffusion layer (a shaded portion having a dark shade), which is located behind a shaded portion in a direction perpendicular to the paper surface. A comb-teeth electrode 18 is formed on the side of the vibrating mass 13, and the vibrating mass is moved to x by electrostatic attraction.
Drive vibration in the axis (vertical) direction. A comb-teeth-shaped electrode is formed on the outer side of the connection portion 17, and the capacitance between the comb-teeth-shaped counter electrode connected to the fixed portion 14 and the vibrating mass 1 is generated.
A pair of detection electrodes 16a for detecting the displacement in the y-axis (left-right) direction of 3 is configured. The distance between the comb-teeth electrodes of the detection electrodes 16a is not uniform and the arrangement thereof is as shown in FIG.
As shown in FIG. 11, d1 << d2 is set so that each pair of opposing comb-teeth electrodes does not electrically interfere with each other. In each fixed part, each support part and the comb-shaped electrode are shown in FIG. 5 (b) or FIG. 5 (c).
As shown in FIG. 3, the metal wiring 26 is electrically connected via the high-concentration diffusion layer 28 or the polysilicon wiring 27.
Reference numeral 28 denotes an electrode formed of a high-concentration diffusion layer for stabilizing the potentials of the oscillating mass 13 and the first and second supporting portions, and is electrically connected to the metal wiring 26 similarly to the fixed portion 14. The metal wiring 26 is connected to a signal input / output pad or a peripheral circuit for driving or signal processing formed on the same substrate (the metal wiring, the pad and the peripheral processing circuit are omitted for simplification of the drawing). did). The respective members are electrically connected as shown by the solid line in FIG. The potential of each member is shown as Vm, Vd1, Vd2, Vs1, Vs2, Vs. Usually, the electrode 2 formed of a high-concentration diffusion layer for stabilizing the potential Vm of the oscillating mass 13 and the first and second supporting portions.
The potential Vs of 8 is the same as Vm.
【0027】本実施例における振動ジャイロの駆動およ
びコリオリ力検出回路のブロック図を図1に示す。図
中、点線で囲った部分が振動質量に対応し、これを共通
電位VLに接続している。Cd1、Cd2は振動質量に対向
する駆動電極と振動質量間の電気容量であり、参照容量
Cr2を介して駆動用電源21に接続され、駆動用電圧が
印加されている。電気容量のインピーダンスは下記
(2)式
Zc=1/jωC (2)
のように表されるので、Cr2を両駆動電極と振動質量と
の間の電気容量Cd1、Cd2より十分大きくすれば駆動電
圧のCr2における損失は殆ど無視できる。実際上、Cd
1、Cd2の値は〜pF程度なので、同一基板上において
もCr2の実現は容易である。Cd1、Cd2と参照容量Cr2
との接続点の電位Vd1、Vd2はバッファ25を介して復
調器24に入力され駆動用電源21の出力を用いて復調
される。復調後の信号は増幅器で所定の値に増幅され駆
動用電源の出力振幅を制御するフィードバック信号とな
る。FIG. 1 shows a block diagram of a vibrating gyro drive and Coriolis force detection circuit in this embodiment. In the figure, the portion surrounded by the dotted line corresponds to the oscillating mass, which is connected to the common potential VL. Cd1 and Cd2 are electric capacities between the driving electrode facing the vibrating mass and the vibrating mass, and are connected to the driving power source 21 via the reference capacitance Cr2 and a driving voltage is applied thereto. Since the impedance of the electric capacitance is expressed by the following formula (2) Zc = 1 / jωC (2), if Cr2 is made sufficiently larger than the electric capacitances Cd1 and Cd2 between both drive electrodes and the oscillating mass, the drive voltage The loss in Cr2 is almost negligible. Practically Cd
Since the values of 1 and Cd2 are about pF, it is easy to realize Cr2 even on the same substrate. Cd1, Cd2 and reference capacity Cr2
The potentials Vd1 and Vd2 at the connection point with are input to the demodulator 24 via the buffer 25 and demodulated using the output of the driving power supply 21. The demodulated signal is amplified to a predetermined value by an amplifier and becomes a feedback signal for controlling the output amplitude of the driving power supply.
【0028】Vd1、Vd2に対する浮遊容量の影響が無視
できない場合は図7のような構成にすればよい。29は
ガード電極で例えば図5(c)に示すように固定部14
からの電気的接続をポリシリコン膜27を介して行い、
その直下に高濃度拡散層を形成することにより実現可能
である。When the influence of the stray capacitance on Vd1 and Vd2 cannot be ignored, the structure shown in FIG. 7 may be used. Reference numeral 29 is a guard electrode, for example, as shown in FIG.
Is electrically connected via the polysilicon film 27,
It can be realized by forming a high-concentration diffusion layer immediately below it.
【0029】駆動用電圧は図1(b)、図1(c)のタ
イムチャートで示すように印加する。駆動用電圧は駆動
力発生のための電圧vdと、振動質量の変位検出用の読
みだし電圧vcで構成されている。vdとvcは交互に印
加される。図中ではvdとvc印加の間に0V印加の時間
間隔を設けたが、この時間間隔は無くても本質的な機能
は同等である。駆動用電圧は互いに逆方向の駆動力を発
生する駆動電極と振動質量の間の電気容量Cd1とCd2
に、それぞれ逆位相に、読みだし電圧vcは、両駆動電
極にvdが印加されていない時間間隔τ内に、両駆動電
極に同時に印加される。読みだし電圧vcは図1(b)
のようにVLに対して単極性パルスであっても、または
図1(c)のようにVLに対して両極性パルスであって
も良い。The driving voltage is applied as shown in the time charts of FIGS. 1 (b) and 1 (c). The driving voltage is composed of a voltage vd for generating a driving force and a reading voltage vc for detecting displacement of the vibrating mass. vd and vc are applied alternately. In the drawing, a time interval of 0V application is provided between vd and vc application, but the essential function is the same even if this time interval is not provided. The driving voltage is the electric capacitances Cd1 and Cd2 between the driving electrode and the oscillating mass that generate driving forces in opposite directions.
Further, the read voltage vc is applied to both drive electrodes at the same time in opposite phases during a time interval τ when vd is not applied to both drive electrodes. The read voltage vc is shown in Fig. 1 (b).
The pulse may be a unipolar pulse with respect to VL, or a bipolar pulse with respect to VL, as shown in FIG.
【0030】振動質量13の電位Vmに対して、駆動用
電圧を駆動電極端Vd1、Vd2に交互に印加することによ
り第1支持部12に支持された振動質量13をx軸(上
下)方向に振動駆動する。振動質量のx軸方向の共振周
波数fxrは、第2支持部15がx軸方向に十分な剛性
を有するので、振動質量の質量と第1支持部のx軸方向
のバネ定数で決まる。従って、駆動用電源21の印加周
波数を電気的に調整することにより容易に共振状態を実
現できる。With respect to the potential Vm of the vibrating mass 13, the vibrating mass 13 supported by the first supporting portion 12 is moved in the x-axis (vertical) direction by alternately applying the driving voltage to the drive electrode ends Vd1 and Vd2. Vibration drive. The resonance frequency fxr of the oscillating mass in the x-axis direction is determined by the mass of the oscillating mass and the spring constant of the first supporting part in the x-axis direction because the second support 15 has sufficient rigidity in the x-axis direction. Therefore, the resonance state can be easily realized by electrically adjusting the applied frequency of the driving power source 21.
【0031】Cs1、Cs2は振動質量に対向する検出電極
と振動質量間の電気容量であり、参照容量Cr1を介して
検出用電源22(OSC3)に接続され、振動質量の変
位読みだし電圧Cが印加されている。図中では読みだし
電圧Cは駆動用電圧vcと同期した同じ信号であるが、
異なる信号であっても本質的に問題はない。Cs1、Cs2
と参照容量Cr1との接続点の電位Vs1、Vs2はバッファ
25を介して復調器24に入力され、検出用電源22の
出力を用いて復調される。復調後の信号は増幅器で所定
の値に増幅され出力される。Cs1 and Cs2 are electric capacities between the detection electrodes facing the vibrating mass and the vibrating mass, which are connected to the detection power source 22 (OSC3) via the reference capacity Cr1 and the displacement reading voltage C of the vibrating mass is obtained. Is being applied. In the figure, the read voltage C is the same signal synchronized with the driving voltage vc,
There is essentially no problem with different signals. Cs1, Cs2
The potentials Vs1 and Vs2 at the connection point between the reference capacitor Cr1 and the reference capacitor Cr1 are input to the demodulator 24 via the buffer 25 and demodulated using the output of the detection power supply 22. The demodulated signal is amplified to a predetermined value by an amplifier and output.
【0032】Vs1、Vs2に対する浮遊容量の影響が無視
できない場合は、図7のような構成にすればよい。図
中、29はガード電極で例えば図5(c)に示すように
固定部14からの電気的接続をポリシリコン膜27を介
して行い、その直下に高濃度拡散層を形成することによ
り実現可能である。When the influence of the stray capacitance on Vs1 and Vs2 cannot be ignored, the configuration shown in FIG. 7 may be used. In the figure, reference numeral 29 denotes a guard electrode, which can be realized, for example, by electrically connecting from the fixing portion 14 through the polysilicon film 27 as shown in FIG. 5C, and forming a high-concentration diffusion layer immediately below it. Is.
【0033】この第3実施例では、第1実施例で得られ
た効果に加えて下記の効果が得られる。固定部14から
の電気的接続を図5(c)のようにポリシリコン膜27
を介して行い、かつポリシリコン膜27直下の基板部に
高濃度拡散層29を形成し、これをガード電位とするこ
とにより、信号取り出し配線と基板との容量結合を減少
することができて、信号取り出し配線引き回しによる外
来ノイズの混入を減少することが出来る。In the third embodiment, the following effects can be obtained in addition to the effects obtained in the first embodiment. As shown in FIG. 5C, the electrical connection from the fixing portion 14 is changed to the polysilicon film 27.
By forming the high-concentration diffusion layer 29 in the substrate portion immediately below the polysilicon film 27 and setting it as the guard potential, it is possible to reduce the capacitive coupling between the signal extraction wiring and the substrate. It is possible to reduce mixing of external noise due to routing of the signal extraction wiring.
【0034】第4実施例:第4実施例を図4、図5、図
2により説明する。本実施例では振動質量の変位読み出
しに際しては、振動体に電圧を印加している。本実施例
でも、振動質量の駆動用電極対とは別に、コリオリ力検
出用電極対が設けられている。本実施例における振動ジ
ャイロの駆動および検出回路のブロック図を図2に示
す。図中、点線で囲った部分が振動質量に対応し、これ
を検出用電源22(OSC3)に接続している。Cd1、
Cd2は振動質量に対向する駆動電極と振動質量間の電気
容量であり、参照容量Cr2を介して駆動用電源21(O
SC1)に接続され、駆動用電圧が印加されている。電
気容量のインピーダンスは下記(2)式
Zc=1/jωC (2)
のように表されるので、Cr2を両駆動電極と振動質量と
の間の電気容量Cd1、Cd2より十分大きくすれば駆動電
圧のCr2における損失は殆ど無視できる。実際上、Cd
1、Cd2の値は〜pF程度なので、同一基板上において
もCr2の実現は容易である。Cd1、Cd2と参照容量Cr2
との接続点の電位Vd1、Vd2はバッファ25を介して復
調器24に入力され駆動用電源21の出力を用いて復調
される。復調後の信号は増幅器で所定の値に増幅され駆
動用電源の出力振幅を制御するフィードバック信号とな
る。Fourth Embodiment: A fourth embodiment will be described with reference to FIGS. 4, 5 and 2. In this embodiment, when reading the displacement of the vibrating mass, a voltage is applied to the vibrating body. Also in this embodiment, a Coriolis force detecting electrode pair is provided separately from the vibrating mass driving electrode pair. A block diagram of the drive and detection circuit of the vibration gyroscope in this embodiment is shown in FIG. In the figure, the portion surrounded by the dotted line corresponds to the oscillating mass, which is connected to the detection power source 22 (OSC3). Cd1,
Cd2 is an electric capacitance between the driving electrode facing the oscillating mass and the oscillating mass, and the driving power source 21 (O
It is connected to SC1) and a driving voltage is applied. Since the impedance of the electric capacitance is expressed by the following formula (2) Zc = 1 / jωC (2), if Cr2 is made sufficiently larger than the electric capacitances Cd1 and Cd2 between both drive electrodes and the oscillating mass, the drive voltage The loss in Cr2 is almost negligible. Practically Cd
Since the values of 1 and Cd2 are about pF, it is easy to realize Cr2 even on the same substrate. Cd1, Cd2 and reference capacity Cr2
The potentials Vd1 and Vd2 at the connection point with are input to the demodulator 24 via the buffer 25 and demodulated using the output of the driving power supply 21. The demodulated signal is amplified to a predetermined value by an amplifier and becomes a feedback signal for controlling the output amplitude of the driving power supply.
【0035】Vd1、Vd2に対する浮遊容量の影響が無視
できない場合は、図7のような構成にすれば良い。29
はガード電極で例えば図5(c)に示すように固定部1
4からの電気的接続をポリシリコン膜27を介して行
い、その直下に高濃度拡散層を形成することにより実現
可能である。When the influence of the stray capacitance on Vd1 and Vd2 cannot be ignored, the configuration shown in FIG. 7 may be used. 29
Is a guard electrode, for example, as shown in FIG.
This can be realized by making electrical connection from 4 through the polysilicon film 27 and forming a high-concentration diffusion layer directly thereunder.
【0036】駆動用電圧は図2(b)、図2(c)のタ
イムチャートで示すように印加する。駆動用電圧は駆動
力発生のための電圧vdで構成されている。駆動用電圧
は互いに逆方向の駆動力を発生する駆動電極と、振動質
量の間の電気容量Cd1、Cd2に逆位相に、かつ、両駆動
電極に電圧vdが印加されていない時間間隔τが存在す
るように印加される。読みだし電圧vcは、時間間隔τ
内に検出用電源22より振動質量13に印加される。読
みだし電圧vcは図2(b)に示すようにVLに対して
単極性パルスであっても、または図2(c)に示すよう
にVLに対して両極性パルスであっても良い。図中では
読みだし電圧vcは時間間隔τ間にパルス幅τで印加さ
れているが、パルス幅はτ以下であっても本質的な機能
は同等である。The driving voltage is applied as shown in the time charts of FIGS. 2 (b) and 2 (c). The driving voltage is composed of the voltage vd for generating the driving force. The driving voltage has opposite phases to the driving electrodes that generate driving forces in opposite directions and the electric capacitances Cd1 and Cd2 between the oscillating masses, and there is a time interval τ in which the voltage vd is not applied to both driving electrodes. Is applied so that The read voltage vc is the time interval τ
It is applied to the oscillating mass 13 from the power source 22 for detection. The read voltage vc may be a unipolar pulse with respect to VL as shown in FIG. 2B or a bipolar pulse with respect to VL as shown in FIG. 2C. In the figure, the read voltage vc is applied with the pulse width τ during the time interval τ, but the essential function is the same even if the pulse width is τ or less.
【0037】振動質量13の電位Vmに対して、駆動用
電圧を駆動電極端Vd1、Vd2に交互に印加することによ
り第1支持部12に支持された振動質量13をx軸方向
に振動駆動する。振動質量のx軸方向の共振周波数fx
rは、第2支持部がx軸方向に十分な剛性を有するの
で、振動質量の質量と第1支持部のx軸方向のバネ定数
で決まる。従って、駆動用電源21の印加周波数を電気
的に調整することにより容易に共振状態を実現できる。With respect to the potential Vm of the vibrating mass 13, the driving voltage is alternately applied to the driving electrode ends Vd1 and Vd2 to vibrate and drive the vibrating mass 13 supported by the first support portion 12 in the x-axis direction. . Resonance frequency fx of the vibrating mass in the x-axis direction
r is determined by the mass of the oscillating mass and the spring constant of the first support portion in the x-axis direction, because the second support portion has sufficient rigidity in the x-axis direction. Therefore, the resonance state can be easily realized by electrically adjusting the applied frequency of the driving power source 21.
【0038】Cs1、Cs2は振動質量に対向する検出電極
と振動質量間の電気容量であり、参照容量Cr1を介して
共通電位VLに接続されている。Cs1、Cs2と参照容量
Cr1との接続点の電位Vs1、Vs2はバッファ25を介し
て復調器24に入力され検出用電源22(OSC3)の
出力を用いて復調される。復調後の信号は増幅器で所定
の値に増幅され出力される。Cs1 and Cs2 are electric capacities between the detection electrode facing the vibrating mass and the vibrating mass, and are connected to the common potential VL via the reference capacity Cr1. The potentials Vs1 and Vs2 at the connection point between Cs1 and Cs2 and the reference capacitor Cr1 are input to the demodulator 24 via the buffer 25 and demodulated using the output of the detection power supply 22 (OSC3). The demodulated signal is amplified to a predetermined value by an amplifier and output.
【0039】Vs1、Vs2にに対する浮遊容量の影響が無
視できない場合は図7のような構成にすれば良い。29
はガード電極で例えば図5(c)に示すように固定部1
4からの電気的接続をポリシリコン膜27を介して行
い、その直下に高濃度拡散層を形成することにより実現
可能である。When the influence of the stray capacitance on Vs1 and Vs2 cannot be ignored, the configuration shown in FIG. 7 may be used. 29
Is a guard electrode, for example, as shown in FIG.
This can be realized by making electrical connection from 4 through the polysilicon film 27 and forming a high-concentration diffusion layer directly thereunder.
【0040】この第4実施例の効果は第3実施例の場合
と下記の点で異なる。櫛歯電極に電圧を印加して静電引
力により振動質量を駆動し、かつコリオリ力検出、読み
だし電圧vcは両駆動電極にvdが印加されていない時間
間隔τ内に検出用電源22より振動質量13に印加され
る。従って、振動質量13の両駆動電極に於いてvcに
より発生する静電引力は互いに打ち消し合うので振動状
態に影響を与えることなく、vcの振幅を十分大きくす
ることにより振動質量の振動振幅を精度良く検出するこ
とができる。The effects of the fourth embodiment differ from those of the third embodiment in the following points. A voltage is applied to the comb electrodes to drive the oscillating mass by electrostatic attraction, and Coriolis force detection and read voltage vc is oscillated by the detection power supply 22 within a time interval τ when vd is not applied to both drive electrodes. Applied to mass 13. Therefore, the electrostatic attractive forces generated by vc in both drive electrodes of the vibrating mass 13 cancel each other out, so that the vibration amplitude of the vibrating mass can be accurately measured by sufficiently increasing the amplitude of vc without affecting the vibration state. Can be detected.
【0041】[0041]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、シ
リコン基板を異方性エッチング技術により加工し、更に
その他のLSI技術も適用して振動体や各電極などを形
成し、振動体を駆動励振するための電極対と振動体の振
動状態監視用電極対(更にはコリオリ力検出用電極対)
とを同一電極対で兼用し、コリオリ力検出用に特設した
専用電極対を使用する場合にも、十分大きい電圧を印加
できるようにしたので、小形、軽量かつ量産容易で、し
かも十分精度の高い振動ジャイロが得られた。As described above, according to the present invention, a silicon substrate is processed by an anisotropic etching technique, and other LSI techniques are applied to form a vibrating body and electrodes, and a vibrating body is formed. An electrode pair for driving and exciting and an electrode pair for monitoring the vibration state of the vibrating body (further, an electrode pair for detecting Coriolis force)
Since the same electrode pair is used for and, and a special electrode pair specially designed for Coriolis force detection is used, a sufficiently large voltage can be applied, so it is small, lightweight, easy to mass-produce, and highly accurate. A vibrating gyro was obtained.
【図1】本発明の第1および第3実施例を説明するため
の模式的回路図である。FIG. 1 is a schematic circuit diagram for explaining first and third embodiments of the present invention.
【図2】本発明の第2および第4実施例を説明するため
の模式的回路図である。FIG. 2 is a schematic circuit diagram for explaining second and fourth embodiments of the present invention.
【図3】本発明の第1および第2実施例の構造を説明す
るための図である。FIG. 3 is a diagram for explaining the structures of the first and second embodiments of the present invention.
【図4】本発明の第3および第4実施例の構造を説明す
るための平面図である。FIG. 4 is a plan view for explaining the structures of the third and fourth embodiments of the present invention.
【図5】本発明の第3および第4実施例の構造を説明す
るための断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view for explaining the structures of the third and fourth embodiments of the present invention.
【図6】本発明の第3および第4実施例の検出電極部を
説明するための図である。FIG. 6 is a diagram for explaining a detection electrode unit according to third and fourth embodiments of the present invention.
【図7】本発明の第3および第4実施例において浮遊容
量の影響を防止する手段を説明するための図である。FIG. 7 is a diagram for explaining means for preventing the influence of stray capacitance in the third and fourth embodiments of the present invention.
【図8】従来の振動ジャイロの例を説明するための図で
ある。FIG. 8 is a diagram for explaining an example of a conventional vibrating gyro.
1、1a…シリコン基板 2…ガラス台座
3…圧電素子 4…振動監視用電
極
5…検出電極 6…振動梁
7…駆動電源 8…バッファ
9…増幅器 10…復調器
11…高濃度拡散層 12…第1支持部
13…振動質量 14…固定部
15…第2支持部 16、16a…検
出電極
17…接続部 18…櫛歯電極
19…パッシベーション膜 20…酸化膜
21…駆動用電源OSC1 22…検出用電源
OSC3
23…増幅器 24…復調器
25…バッファ 26…金属配線
27…ポリシリコン配線 28…高濃度拡散
層で形成した電極
29…ガード電位用高濃度拡散層 30…支持体1, 1a ... Silicon substrate 2 ... Glass pedestal 3 ... Piezoelectric element 4 ... Vibration monitoring electrode 5 ... Detection electrode 6 ... Vibrating beam 7 ... Driving power supply 8 ... Buffer 9 ... Amplifier 10 ... Demodulator 11 ... High-concentration diffusion layer 12 ... 1st support part 13 ... Oscillating mass 14 ... Fixed part 15 ... 2nd support part 16, 16a ... Detection electrode 17 ... Connection part 18 ... Comb-shaped electrode 19 ... Passivation film 20 ... Oxide film 21 ... Driving power supply OSC1 22 ... Detection Power supply OSC3 23 ... Amplifier 24 ... Demodulator 25 ... Buffer 26 ... Metal wiring 27 ... Polysilicon wiring 28 ... Electrode 29 formed of high-concentration diffusion layer ... High-concentration diffusion layer 30 for guard potential ... Support
Claims (3)
を含む平面を、この平面上に存在し振動方向に直交する
軸の周りに回転させるとき、振動体に作用するコリオリ
の力を検出して前記回転の角速度を計測するようにした
振動ジャイロの駆動方法において、 前記振動体と対向して前記振動体の各々反対側に配置さ
れた電極対を有し、前記振動体を静電引力により駆動振
動させるために、前記振動体と前記電極対との間に交互
に特定の周波数で駆動電圧を印加し、かつ、前記電極対
の何れにも電圧を印加しない第1時間帯を設け、この第
1時間帯に前記振動体の駆動振動振幅を読み出すための
電圧を、前記電極対に同時に印加または前記振動体に印
加し、読み出した前記電極対と振動体間の電気容量変化
によって前記振動体の励振振動振幅を読み出すように
し、前記の電極対を振動体の励振状態監視にも兼用して
前記振動体の励振状態が常に一定となるように制御する
ことを特徴とする振動ジャイロの駆動方法。Claim: What is claimed is: 1. When a plane including the vibration direction of a vibrating body vibrating in a constant direction is rotated around an axis existing on the plane and orthogonal to the vibrating direction, Coriolis force acting on the vibrating body is generated. A method for driving a vibrating gyroscope, which detects and measures the angular velocity of the rotation, includes an electrode pair arranged on each side of the vibrating body opposite to the vibrating body, and the vibrating body is electrostatically charged. Drive vibration by attractive force
Alternating between the vibrating body and the electrode pair for movement.
Drive voltage at a specific frequency to the electrode pair, and
The first time zone where no voltage is applied to any of the
For reading the driving vibration amplitude of the vibrating body in one hour
Voltage is applied to the electrode pair at the same time or applied to the vibrating body.
Change in electrical capacitance between the electrode pair and the vibrating body read out
To read out the excitation vibration amplitude of the vibrating body by
A method for driving a vibrating gyro , wherein the electrode pair is also used for monitoring the excitation state of the vibrating body and is controlled so that the excitation state of the vibrating body is always constant.
を含む平面を、この平面上に存在し振動方向に直交する
軸の周りに回転させるとき、振動体に作用するコリオリ
の力を検出して前記回転の角速度を計測するようにした
振動ジャイロの駆動方法において、 前記振動体と対向して前記振動体の各々反対側に配置さ
れた電極対を有し 、前記振動体を静電引力により駆動励
振するために、前記振動体と、それぞれ其の反対側に配
置した対をなす電極対との間に、交互に特定の第1周波
数で駆動電圧を印加し、かつ、前記電極対の何れにも電
圧を印加しない第1時間帯を設け、この第1時間帯に前
記振動体と前記電極対それぞれとの間の電気容量を読み
出すためのキャリア電圧を前記振動体に印加し、読み出
した前記振動体と前記電極対それぞれとの間の電気容量
によって、前記振動体の振動状態を監視することによ
り、前記の電極対を振動体の励振状態監視にも兼用して
前記振動体の励振状態が常に一定となるように制御する
ことを特徴とする振動ジャイロの駆動方法。2. A vibration direction of a vibrating body vibrating in a fixed direction.
Exists on this plane and is orthogonal to the vibration direction
Coriolis acting on the vibrating body when rotating around the axis
The force of the rotation is detected and the angular velocity of the rotation is measured.
In a method of driving a vibrating gyroscope, the vibrating gyroscopes are arranged on opposite sides of the vibrating body so as to face the vibrating body.
And a pair of electrode pairs arranged on the opposite side of the vibrating body to alternately excite the vibrating body by electrostatic attraction. A first time zone in which a driving voltage is applied at one frequency and a voltage is not applied to any of the electrode pairs is provided, and an electric capacitance between the vibrating body and each of the electrode pairs is provided in the first time zone. A carrier voltage for reading is applied to the vibrating body, and the vibration state of the vibrating body is monitored by the electric capacitance between the read vibrating body and each of the electrode pairs .
Also, the above-mentioned electrode pair is also used for monitoring the excitation state of the vibrating body.
Control so that the excitation state of the vibrating body is always constant
A method for driving a vibrating gyro, which is characterized in that
た電極対との間に、交互に印加する駆動電圧の第1周波
数は、前記振動体の共振周波数と一致していることを特
徴とする請求項2記載の振動ジャイロの駆動方法。3. The first frequency of the drive voltage alternately applied between the vibrating body and the electrode pair arranged on the opposite side of the vibrating body is the same as the resonance frequency of the vibrating body. The method for driving a vibration gyro according to claim 2 .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31815894A JP3409476B2 (en) | 1994-12-21 | 1994-12-21 | Driving method of vibrating gyroscope |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31815894A JP3409476B2 (en) | 1994-12-21 | 1994-12-21 | Driving method of vibrating gyroscope |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08178665A JPH08178665A (en) | 1996-07-12 |
JP3409476B2 true JP3409476B2 (en) | 2003-05-26 |
Family
ID=18096134
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31815894A Expired - Fee Related JP3409476B2 (en) | 1994-12-21 | 1994-12-21 | Driving method of vibrating gyroscope |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3409476B2 (en) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4631240B2 (en) * | 2001-09-11 | 2011-02-16 | 株式会社日本自動車部品総合研究所 | Physical quantity sensor |
JP3861813B2 (en) * | 2003-01-14 | 2006-12-27 | 株式会社デンソー | Electrostatic vibration type device |
DE102005010940B8 (en) | 2004-03-12 | 2013-01-17 | Denso Corporation | Electrostatically oscillatable arrangement |
JP4375098B2 (en) * | 2004-04-23 | 2009-12-02 | パナソニック電工株式会社 | Angular velocity sensor |
JP4345562B2 (en) * | 2004-04-23 | 2009-10-14 | パナソニック電工株式会社 | Angular velocity sensor |
JP2006292568A (en) * | 2005-04-12 | 2006-10-26 | Kita Nippon Denshi Kk | High-sensitivity vibration type gyroscope sensor and its manufacturing method |
JP4638281B2 (en) * | 2005-05-30 | 2011-02-23 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | Detection sensor, vibrator |
JP2009198265A (en) * | 2008-02-20 | 2009-09-03 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | Electrostatic capacitance type detection device and acceleration and angular velocity detection device using the same |
JP4879252B2 (en) * | 2008-12-03 | 2012-02-22 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | Angular velocity detector |
CN107188108B (en) * | 2017-05-23 | 2023-07-21 | 深迪半导体(绍兴)有限公司 | MEMS device and anti-adsorption method thereof |
-
1994
- 1994-12-21 JP JP31815894A patent/JP3409476B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH08178665A (en) | 1996-07-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3409520B2 (en) | Angular velocity sensor | |
JP3409565B2 (en) | Self-diagnosis method of angular velocity sensor | |
US6250156B1 (en) | Dual-mass micromachined vibratory rate gyroscope | |
EP0840092B1 (en) | A complementary electrostatic driving apparatus for a micro-actuator | |
JP4458441B2 (en) | Tuning fork gyro with split electrodes | |
US7984648B2 (en) | Systems and methods for acceleration and rotational determination from an in-plane and out-of-plane MEMS device | |
EP1216397B1 (en) | Microfabricated tuning fork gyroscope and associated three-axis inertial measurement system to sense out-of-plane rotation | |
US6296779B1 (en) | Method of fabricating a sensor | |
US7004024B1 (en) | Horizontal and tuning fork vibratory microgyroscope | |
US7971483B2 (en) | Systems and methods for acceleration and rotational determination from an out-of-plane MEMS device | |
US8347716B2 (en) | Microelectromechanical gyroscope with enhanced rejection of acceleration noises | |
JPH11337345A (en) | Vibratory microgyrometer | |
JP3409476B2 (en) | Driving method of vibrating gyroscope | |
JP2001264072A (en) | Angular velocity sensor | |
JPH08159776A (en) | Angular velocity sensor | |
JP3307907B2 (en) | Micro gyroscope | |
JP4126826B2 (en) | Angular velocity sensor | |
JP2002162229A (en) | Angular velocity sensor | |
JPH09218040A (en) | Self-diagnostic method for angular speed sensor | |
JP3218702B2 (en) | Vibrating gyro | |
JP3500756B2 (en) | Angular velocity sensor | |
JP3931405B2 (en) | Angular velocity sensor | |
KR100408507B1 (en) | An electrostatically tuning fork microgygroscope | |
JP3138518B2 (en) | Gyro device | |
JP2003240557A (en) | Angular velocity sensor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090320 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |