JP3401278B2 - Ion accelerator - Google Patents

Ion accelerator

Info

Publication number
JP3401278B2
JP3401278B2 JP34529092A JP34529092A JP3401278B2 JP 3401278 B2 JP3401278 B2 JP 3401278B2 JP 34529092 A JP34529092 A JP 34529092A JP 34529092 A JP34529092 A JP 34529092A JP 3401278 B2 JP3401278 B2 JP 3401278B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bushing
high voltage
casing
power supply
supply device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP34529092A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH06176891A (en
Inventor
阿川  義昭
正城 小池
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ulvac Inc
Original Assignee
Ulvac Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ulvac Inc filed Critical Ulvac Inc
Priority to JP34529092A priority Critical patent/JP3401278B2/en
Publication of JPH06176891A publication Critical patent/JPH06176891A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3401278B2 publication Critical patent/JP3401278B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Particle Accelerators (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【産業上の利用分野】本発明はイオン加速装置に関す
る。 【0002】 【従来の技術及びその問題点】図2〜図4は従来例のイ
オン加速装置を示すものであるが、ほぼ直方形状の金属
でなる高電圧ターミナル2は図示せずともイオン源や質
量分離磁石を内蔵しており、これは床面に対し絶縁支柱
により支持されている。又このイオン加速装置全体はシ
ールドボックス1により被覆されており、高電圧ターミ
ナル2の一側面とこれと対向するシールドボックス1の
内壁との間に、高電圧発生装置3及び電力供給装置14
の絶縁材でなるブッシング9及び17が取りつけられて
いる。高電圧発生装置3は、公知のように構成され、そ
の高電圧発生部を内蔵するケーシング3aはシールドボ
ックス1の外面に固定されており、これには交流電源5
が入力として供給される制御器4からの高周波出力がケ
ーブル6を介して供給される。図3に示すようにケーシ
ング3a内にはダイオード31とコンデンサ32とから
なる倍電圧回路12が内蔵されており、これからの直流
の高圧、例えば400KVの出力が導線21を介して高
電圧ターミナル2に供給されるようになっている。導線
21は絶縁材、例えばFRPにより被覆されており、こ
れがいわゆるブッシング9であり、この外周面には図4
に明示される金属フープ7が所定のピッチで取りつけら
れており、これら金属フープ7の間に抵抗8が接続され
ている。 【0003】電力供給装置14の電力発生部を内蔵する
ケーシング14aもシールドボックス1の外壁面に固定
されており、図3に示すように、これには絶縁トランス
11が内蔵されており、鉄心33に一次巻線34が巻装
されており、これにグランド電位としての交流UVが入
力端子13に供給される。又この二次側の巻線35は金
属管20を挿通しており、その出力端子18は高電圧タ
ーミナル2内にある。金属管20は絶縁材でなるブッシ
ング17により被覆されており、これには図4で明示さ
れるように抵抗8と同様な抵抗16により電気的に接続
されている金属フープ15が所定のピッチで取りつけら
れている。 【0004】図4は高電圧発生装置3のブッシング部の
詳細を示すものであるが、各金属フープ7は内方、すな
わち小径の環状金属体7bと外方の、すなわち径大の環
状金属体7a及びこれら環状金属体7a、7bを接続す
る薄い金属製の環状の平板部7cとからなっており、こ
れら金属フープ7は、それぞれの間にFRP(絶縁材)
でなるカラー40を介在させており、これらをボルト4
1が挿通していて、その上端部及び下端部でナット4
2、42を締めつけることにより一体化され、最上方部
の金属フープ7の薄板部7cに溶接された断面がL字形
状の締めつけバンド50によりブッシング9に固定され
ている。電力供給装置14のブッシング及び金属フープ
15も同様に構成されており、絶縁トランス11の出力
端子18はノイズフィルタ23を介して端子台24に接
続され、これから高電圧ターミナル2が内蔵するイオン
源や質量分離磁石などに電力を供給するように構成され
ている。図示していないが公知の加速管が高電圧ターミ
ナル2の一側面と、これと対向すシールドボックス1の
内壁との間に取りつけられており、これの関連機構は従
来と同一である。 【0005】従来のイオン加速装置は以上のように構成
されるのであるが、ブッシング9、17の長さが80c
mと400KV級にしては短いため、各金属フープ間の
電位差が大きくなり、よってこれらフープ間の強い電場
のため、ブッシング9、17の絶縁物表面に漏れ電流が
流れ、この絶縁物の表面に電荷がたまり、よってこの表
面の電位が乱れ、電場が不均一になり、放電を誘発する
確率が高くなる。又一度放電しても、ブッシング9、1
の表面に誘起された電荷が残り、再度電圧を上昇させ
ても、元の発生していた電圧まで到達せずに放電してし
まう。このような放電を繰り返せば繰り返すほどブッシ
ング9、17の耐電圧が低下してしまう。 【0006】 【発明が解決しようとする問題点】本発明は上述の問題
に鑑みてなされ、ブッシングの耐電圧を、その長さを大
きくせずとも上昇させることのできるイオン加速装置を
提供することを目的とする。 【0007】 【問題点を解決するための手段】少なくともイオン源及
び質量分離磁石を内蔵させたケーシングを地上より所定
の高さに配設させ、高電圧電源装置により前記ケーシン
グに所定の高電圧を印加し、電力供給装置により前記イ
オン源や質量分離磁石などに電力を供給するようにし、
前記ケーシングを電磁気的に遮蔽するシールドボックス
を設け、前記ケーシングの一側面と、該一側面と対向す
る前記シールドボックスの内壁面との間を、又は前記ケ
ーシングと床面との間を接続し、前記高電圧電源装置の
前記所定の高電圧を前記ケーシング及び少なくとも加速
管とに印加するための導電部材を被 覆し、絶縁材でなる
第1ブッシングと、前記電力供給装置の電力を導出する
ための導電部材を被覆し、絶縁材でなる第2ブッシング
とを設け、前記第1ブッシングと前記第2ブッシングの
外周面にそれぞれ隙間をおいて前記ケーシングの電位か
らグランド電位までを分割するために複数の環状金属体
を取りつけたイオン加速装置において、前記各環状金属
体と前記第1ブッシングと第2ブッシングとの外周面の
少なくとも一つとの間に環状の導電性ゴム部材を挟着さ
せたことを特徴とするイオン加速装置。 【0008】 【作用】導電性のゴムで成る環状部材を介して、ブッシ
ングの表面に生じた電荷は、金属環状体に流れることに
より、各抵抗を介してグランド電位まで導くことができ
るので、ブッシングの表面のチャージアップを防ぎ、よ
って電場の不均一を生じないようにすることができる。 【0009】 【実施例】以下、本発明の実施例によるイオン加速装置
について、図1を参照して説明する。なお、従来例の図
2〜図4に対応する部分については同一の符号を付し、
その詳細な説明は省略する。 【0010】従来例の電力供給装置14の金属フープ1
5とブッシング17との間には、高電圧発生装置3につ
いて図示される図4に明示される隙間Sが設けられてい
たが、本実施例によれば、これが環状の導電性ゴム部材
60により充填される。すなわち自然状態にある環状の
導電性ゴム部材60の内径はブッシング17の外径より
若干小さく、また図示するように取りつけられた環状ゴ
ム部材60の外径よりは金属フープ15の内側のフープ
15bの内径は若干小さい。これにより環状の導電性ゴ
ム部材60はブッシング17の外表面と金属フープ15
の内側のフープ15bとの間にゴム弾性により挟持され
る。本発明の実施例によるイオン加速装置は以上のよう
に構成されるが、次にこの作用について説明する。な
お、この金属フープ15も図4に示す高電圧発生装置3
金属フープ7と同様に構成されている。すなわち、外
側フープ15aと内側フープ15bとは薄平板15cで
接続されているが図示では概略的に示している。 【0011】図1において、高電圧発生装置3より発生
した400KVの高電圧は高電圧ターミナル2に印加さ
れる。高電圧発生装置3と隣設して配設される電力供給
装置14の出力端子18も高電圧ターミナル2と同電位
に置かれる。よって電力供給装置14において、金属管
20には400KVの高電圧が印加されるが、このため
に金属フープ15間には強い電場が発生し、これがため
にブッシング17の表面に電荷がチャージされ、これに
よる漏れ電流が導電性のゴムリング60に到達すると、
金属フープ15の内側のフープを通って各段に取りつけ
られた抵抗16を通り、グランド電位まで漏れ電流は流
れ落ちる。以上のことからブッシング17の表面のチャ
ージアップが防止され、よって電場の不均一性を防止
し、よって放電を防止することができる。 【0012】以上、本発明の実施例について説明した
が、勿論、本発明はこれに限定されることなく、本発明
の技術的思想に基いて種々の変形が可能である。 【0013】例えば以上の実施例では、電力供給装置1
4のブッシング17に導電性のゴムリング60を挟着さ
せるようにしたが、これに隣設する高電圧発生装置3の
ブッシング9にも同様に内側の金属フープとこのブッシ
ングとの間に導電性のゴムリングを挟着させるようにし
てもよい。 【0014】更に以上の実施例では、加速管や高電圧タ
ーミナル内の各装置を減圧下におくための排気管につい
ては説明しなかったが、これも高電圧ターミナル2とシ
ールドボックス1の内壁との間に高電圧発生装置3及び
電力供給装置14と隣設して設けてもよく、このブッシ
ングの外周部にも実施例と同様な金属フープを設け、こ
の内側の金属フープとブッシングとの間に、同様な導電
性のゴム部材を挟着させるようにしてもよい。 【0015】更に以上の実施例では高電圧発生装置3及
び電力供給装置14は高電圧ターミナル2の一側面と、
これと対向するシールドボックス1の内壁との間に取り
つけたが、これに代えて高電圧ターミナル2の下方に配
設し、これらの高電圧発生装置及び電力供給装置のブッ
シングの外周面に配設される金属フープとブッシングと
の間に導電性のゴムリングを挟着させるようにしてもよ
い。更に高電圧ターミナルの側方に高電圧発生装置及び
電力供給装置を配設し、この上端部から導出される高電
圧及び電力供給部とグランド面との間のブッシングの外
周面に金属フープを設けたイオン加速装置においても金
属フープとブッシングとの間に導電性のゴムリングを挟
着させるようにしてもよい。 【0016】 【発明の効果】以上述べたように、本発明のイオン加速
装置によれば、400KV級でブッシングの長さが80
cm程度のものにあっても、ブッシングの表面に電荷が
チャージして、これにより放電が生ずるということが防
止される。すなわち耐電圧性を向上させることができ
る。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ion accelerator. 2. Description of the Related Art FIGS. 2 to 4 show a conventional ion accelerator, but a high-voltage terminal 2 made of a substantially rectangular metal is not shown in FIG. It has a built-in mass separation magnet, which is supported on the floor by insulating columns. The entire ion accelerator is covered with a shield box 1, and a high voltage generator 3 and a power supply 14 are provided between one side surface of the high voltage terminal 2 and the inner wall of the shield box 1 facing the high voltage terminal 2.
Bushings 9 and 17 made of insulating material are attached. The high-voltage generator 3 is configured in a known manner, and a casing 3a containing the high-voltage generator is fixed to the outer surface of the shield box 1, and includes an AC power supply 5
Is supplied as an input, and a high-frequency output from the controller 4 is supplied via a cable 6. As shown in FIG. 3, a voltage doubler circuit 12 including a diode 31 and a capacitor 32 is built in the casing 3 a, and a DC high voltage, for example, an output of 400 KV from the voltage doubler circuit 12 is supplied to the high voltage terminal 2 via the conductor 21. It is being supplied. The conductor 21 is covered with an insulating material, for example, FRP, and this is a so-called bushing 9.
Are mounted at a predetermined pitch, and a resistor 8 is connected between the metal hoops 7. [0003] A casing 14a containing a power generation unit of the power supply device 14 is also fixed to the outer wall surface of the shield box 1, and as shown in FIG. , A primary winding 34 is wound, and AC UV as a ground potential is supplied to the input terminal 13. The secondary winding 35 passes through the metal tube 20, and the output terminal 18 is in the high voltage terminal 2. The metal tube 20 is covered with a bushing 17 made of an insulating material, and a metal hoop 15 electrically connected by a resistor 16 similar to the resistor 8 at a predetermined pitch as shown in FIG. It is installed. FIG. 4 shows details of a bushing portion of the high-voltage generating device 3. Each metal hoop 7 has an inner, that is, a small-diameter annular metal body 7b, and an outer, that is, a larger-diameter annular metal body. 7a and an annular flat plate portion 7c made of a thin metal connecting these annular metal bodies 7a and 7b, and these metal hoops 7 are FRP (insulating material) between them.
And a collar 40 consisting of
1 is inserted, and nuts 4 are provided at the upper and lower ends thereof.
The cross section welded to the thin plate portion 7c of the uppermost metal hoop 7 is fixed to the bushing 9 by means of an L-shaped tightening band 50. The bushing of the power supply device 14 and the metal hoop 15 are configured in the same manner, and the output terminal 18 of the insulating transformer 11 is connected to a terminal block 24 via a noise filter 23. It is configured to supply power to a mass separation magnet and the like. Although not shown, a known accelerating tube is mounted between one side surface of the high-voltage terminal 2 and the inner wall of the shield box 1 facing the same, and the related mechanism is the same as the conventional one. The conventional ion accelerator is constructed as described above, but the length of the bushings 9 , 17 is 80c.
m and 400 KV class, which is short, the potential difference between the metal hoops becomes large. Therefore, due to the strong electric field between these hoops, a leakage current flows on the insulating surfaces of the bushings 9 and 17 and the surface of this insulating material The charge builds up, thus disrupting the potential on this surface, causing the electric field to be non-uniform and increasing the probability of inducing a discharge. Moreover, even if it discharges once, the bushing 9 , 1
The electric charge induced on the surface of No. 7 remains, and even if the voltage is increased again, the electric charge is discharged without reaching the originally generated voltage. The more such a discharge is repeated, the more the bush
The withstand voltage of the rings 9 and 17 is reduced. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to provide an ion accelerator capable of increasing the withstand voltage of a bushing without increasing its length. With the goal. Means for Solving the Problems At least an ion source and
And a casing with a built-in mass separation magnet
At the same height, and the case
A predetermined high voltage is applied to the
Power is supplied to the on-source and mass separation magnet, etc.
A shield box for electromagnetically shielding the casing
Is provided, and one side of the casing is opposed to the one side.
Between the inner wall surface of the shield box and
Between the power supply and the floor,
Accelerating the predetermined high voltage to the casing and at least
It overturned the conductive member for applying to the pipe, made of an insulating material
First bushing and deriving power of the power supply device
Bushing made of insulating material covering conductive member for
And the first bushing and the second bushing are provided.
Check whether the potential of the casing is
Multiple ring metal bodies to divide
In the ion accelerator attached with
Of the body and the outer peripheral surface of the first bushing and the second bushing
An annular conductive rubber member is sandwiched between at least one
An ion accelerator characterized in that: The electric charge generated on the surface of the bushing through the annular member made of conductive rubber flows to the metal annular body and can be led to the ground potential through each resistor. Can prevent the surface from being charged up, thereby preventing the electric field from becoming non-uniform. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an ion accelerator according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The same reference numerals are given to the portions corresponding to FIGS. 2 to 4 of the conventional example,
Detailed description is omitted. [0010] Metal hoop 1 of conventional power supply device 14
5 and the bushing 17 are connected to the high voltage generator 3.
In the present embodiment, the gap S is filled with the annular conductive rubber member 60. That is, the inner diameter of the annular conductive rubber member 60 in the natural state is slightly smaller than the outer diameter of the bushing 17, and the inner diameter of the hoop 15 b inside the metal hoop 15 is smaller than the outer diameter of the annular rubber member 60 attached as shown in the figure. The inside diameter is slightly smaller. Thus, the annular conductive rubber member 60 is connected to the outer surface of the bushing 17 and the metal hoop 15.
Between the hoop 15b and the inner hoop 15b by rubber elasticity. The ion accelerator according to the embodiment of the present invention is configured as described above. Next, this operation will be described. The metal hoop 15 is also connected to the high voltage generator 3 shown in FIG.
The configuration is the same as that of the metal hoop 7. That is, the outer hoop 15a and the inner hoop 15b are connected by the thin flat plate 15c, but are schematically shown in the drawing. In FIG. 1, a high voltage of 400 KV generated by a high voltage generator 3 is applied to a high voltage terminal 2. The output terminal 18 of the power supply 14 arranged adjacent to the high-voltage generator 3 is also placed at the same potential as the high-voltage terminal 2. Therefore, in the power supply device 14, a high voltage of 400 KV is applied to the metal tube 20. For this reason, a strong electric field is generated between the metal hoops 15, which charges the surface of the bushing 17 with electric charges. When the leakage current due to this reaches the conductive rubber ring 60,
The leakage current flows through the internal hoop of the metal hoop 15 through the resistors 16 mounted on each stage to the ground potential. As described above, charge-up of the surface of the bushing 17 is prevented, and thus, non-uniformity of the electric field can be prevented, and thus discharge can be prevented. Although the embodiment of the present invention has been described above, the present invention is, of course, not limited to this, and various modifications can be made based on the technical idea of the present invention. For example, in the above embodiment, the power supply device 1
The conductive rubber ring 60 is sandwiched between the bushing 17 of FIG. 4 and the bushing 9 of the high voltage generator 3 adjacent to the bushing 17. The rubber ring may be pinched. Further, in the above embodiment, the exhaust pipe for keeping the devices in the accelerating pipe and the high voltage terminal under reduced pressure has not been described. However, this also relates to the high voltage terminal 2 and the inner wall of the shield box 1. May be provided adjacent to the high voltage generator 3 and the power supply device 14, and a metal hoop similar to that of the embodiment is provided on the outer peripheral portion of the bushing. Then, a similar conductive rubber member may be sandwiched. Further, in the above embodiment, the high voltage generator 3 and the power supply 14 are provided with one side of the high voltage terminal 2 and
It was mounted between the inner wall of the shield box 1 and the opposite, but instead was installed below the high voltage terminal 2 and was installed on the outer peripheral surface of the bushing of the high voltage generator and the power supply. A conductive rubber ring may be sandwiched between the metal hoop and the bushing. Further, a high voltage generator and a power supply device are arranged on the side of the high voltage terminal, and a metal hoop is provided on an outer peripheral surface of the bushing between the high voltage and power supply portion and the ground surface derived from the upper end. Also in the ion accelerator, a conductive rubber ring may be sandwiched between the metal hoop and the bushing. As described above, according to the ion accelerator of the present invention, the bushing has a length of 80 at 400 KV class.
Even when the bushing has a size of about cm, the surface of the bushing is prevented from being charged with electric charge, thereby preventing discharge from occurring. That is, the withstand voltage can be improved.

【図面の簡単な説明】 【図1】本発明の実施例によるイオン加速装置の要部の
部分破断平面図である。 【図2】従来例のイオン加速装置の部分破断平面図であ
る。 【図3】同断面図である。 【図4】従来例における金属フープの取付構造の詳細を
示す部分破断平面図である。 【符号の説明】 60 導電性のゴムリング
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a partially broken plan view of a main part of an ion accelerator according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a partially broken plan view of a conventional ion accelerator. FIG. 3 is a sectional view of the same. FIG. 4 is a partially broken plan view showing details of a metal hoop mounting structure in a conventional example. [Explanation of Signs] 60 Conductive Rubber Ring

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】 【請求項1】 少なくともイオン源及び質量分離磁石を
内蔵させたケーシングを地上より所定の高さに配設さ
せ、高電圧電源装置により前記ケーシングに所定の高電
圧を印加し、電力供給装置により前記イオン源や質量分
離磁石などに電力を供給するようにし、前記ケーシング
を電磁気的に遮蔽するシールドボックスを設け、前記ケ
ーシングの一側面と、該一側面と対向する前記シールド
ボックスの内壁面との間を、又は前記ケーシングと床面
との間を接続し、前記高電圧電源装置の前記所定の高電
圧を前記ケーシング及び少なくとも加速管とに印加する
ための導電部材を被覆し、絶縁材でなる第1ブッシング
と、前記電力供給装置の電力を導出するための導電部材
を被覆し、絶縁材でなる第2ブッシングとを設け、前記
第1ブッシングと前記第2ブッシングの外周面にそれぞ
れ隙間をおいて前記ケーシングの電位からグランド電位
までを分割するために複数の環状金属体を取りつけたイ
オン加速装置において、前記各環状金属体と前記第1ブ
ッシングと第2ブッシングとの外周面の少なくとも一つ
との間に環状の導電性ゴム部材を挟着させたことを特徴
とするイオン加速装置。
(57) Claims 1. A casing containing at least an ion source and a mass separation magnet is disposed at a predetermined height from the ground, and a predetermined high voltage is applied to the casing by a high voltage power supply device. was applied, so as to supply electric power such as the ion source and mass separation magnet by the power supply device is provided with electromagnetically shielded to shield box said casing, said Ke
And the shield facing the one side
Between the inner wall of the box or the casing and floor
And the predetermined high voltage of the high voltage power supply device.
Applying pressure to said casing and at least to the accelerating tube
Bushing made of insulating material, covering a conductive member for
And a conductive member for deriving power of the power supply device
And a second bushing made of an insulating material is provided.
On the outer peripheral surfaces of the first bushing and the second bushing, respectively.
In the ion accelerator, in which a plurality of annular metal members are attached to divide the potential of the casing from the ground potential with a gap therebetween, each of the annular metal members and the first bus are provided.
An ion accelerator characterized in that an annular conductive rubber member is sandwiched between at least one of the outer peripheral surfaces of the bushing and the second bushing .
JP34529092A 1992-12-01 1992-12-01 Ion accelerator Expired - Lifetime JP3401278B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP34529092A JP3401278B2 (en) 1992-12-01 1992-12-01 Ion accelerator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP34529092A JP3401278B2 (en) 1992-12-01 1992-12-01 Ion accelerator

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06176891A JPH06176891A (en) 1994-06-24
JP3401278B2 true JP3401278B2 (en) 2003-04-28

Family

ID=18375595

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP34529092A Expired - Lifetime JP3401278B2 (en) 1992-12-01 1992-12-01 Ion accelerator

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3401278B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI287950B (en) 2003-11-28 2007-10-01 Kobe Steel Ltd High-voltage generator and accelerator using same

Also Published As

Publication number Publication date
JPH06176891A (en) 1994-06-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH05508298A (en) high voltage dc power supply
AU601135B2 (en) High-voltage voltage transformer
JP3401278B2 (en) Ion accelerator
US3524126A (en) Transformer for transmitting pulses or power at stepped high-voltage potential
US3733521A (en) Lightning arrester
JP3203267B2 (en) Ion accelerator
US4773871A (en) High voltage bulkhead coupling
US3848174A (en) High voltage solid-state rectifier system
US5587893A (en) Video display high voltage generator
JP3401279B2 (en) Ion accelerator
US6933819B1 (en) Multifrequency electro-magnetic field generator
JPH06163192A (en) Ion accelerator
JP3315516B2 (en) Power supply for traveling wave tube
RU2022457C1 (en) Puksed supply source
CA2143657C (en) A current transformer
JP2598535Y2 (en) Discharge lamp lighting device
JPH0568370A (en) Dc high voltage generator and x-ray system using same
JP3096167B2 (en) Ion implanter
RU2050708C1 (en) X-ray pulse generator
JPS616814A (en) Transformer
SU1767555A1 (en) Metering high-voltage current transformer
JPH06505125A (en) Current transformer
JP2538237B2 (en) High voltage generator
JP2004022468A (en) Dc high-voltage power supply unit
JP3357553B2 (en) High voltage generation FEG tank

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20071108

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090221

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120221

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120221

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130221

Year of fee payment: 10

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130221

Year of fee payment: 10