JP3400006B2 - Manufacturing method of optical fiber preform - Google Patents

Manufacturing method of optical fiber preform

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    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、外付け法によってガラ
ススートを堆積させる際、当該堆積を効率的に行うよう
にした光ファイバ母材の製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing an optical fiber preform which enables efficient deposition of glass soot by an external attachment method.

【0002】[0002]

【従来の技術】光ファイバ母材の製造方法として、出発
コア材の外周に、SiCl4 の出発原料を酸水素火炎中
で火炎加水分解させて生成したSiO2 のガラス微粒子
(ガラススート)を堆積させる外付け法が提案されてい
る。この外付け法において、バーナ火炎から噴出される
ガラススートを全て出発コア材に堆積させることは、現
実問題として極めて困難であるため、実際には、出発コ
ア材、バーナなどの反応系の回りをチャンバという覆い
で囲み、一方から噴出させた火炎や堆積しなかったガラ
ススートなどを他方の排気口から強制的に排出させて処
理している。
2. Description of the Related Art As a method for producing an optical fiber preform, SiO 2 glass fine particles (glass soot) produced by flame hydrolysis of a SiCl 4 starting material in an oxyhydrogen flame are deposited on the outer periphery of a starting core material. An external method has been proposed. In this external attachment method, it is extremely difficult as a practical matter to deposit all the glass soot ejected from the burner flame on the starting core material. It is surrounded by a cover called a chamber, and flames ejected from one side and glass soot that has not accumulated are forcedly discharged from the other exhaust port for processing.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】このような強制排気に
おいて、排気を強くすると、堆積されないで排気管に吸
い込まれるガラススートの量が増えるため、スートの堆
積効率が悪化する。したがって、堆積効率を高め、光フ
ァイバ母材の製造速度を向上させるという観点からする
と、排気は弱めに設定しておいた方がよい。しかしなが
ら、かと言って、排気が弱過ぎると、バーナから出発コ
ア材に吹き付けられたガラススートが跳ね返るなどして
飛散し、その一部がチャンバ外に漏れ出すという現象が
生じるようになる。この漏れたガラススートの処理は、
当該スートの大きな腐食性やその処理設備などのことを
考えると、結構大変であるため、この点からすると、あ
る程度の強い排気が必要とされる。
In such forced exhaust, if the exhaust is strengthened, the amount of glass soot that is not deposited and sucked into the exhaust pipe increases, so that the soot deposition efficiency deteriorates. Therefore, from the viewpoint of increasing the deposition efficiency and improving the production rate of the optical fiber preform, it is better to set the exhaust gas to be weaker. However, if the exhaust gas is too weak, the glass soot blown from the burner onto the starting core material bounces off and scatters, and a part of it leaks out of the chamber. The treatment of this leaked glass soot is
Considering the great corrosiveness of the soot and its treatment facility, it is quite difficult. From this point of view, strong exhaust is required to some extent.

【0004】そこで、現状では、デポジションの初期か
ら終了まで、一定の排気強さ(例えば、デポジションの
後期においてガラススートがチャンバから漏れない範囲
の排気強さ)に固定して、ガラススートの堆積を行って
いる。
Therefore, under the present circumstances, the glass soot is fixed to a constant exhaust strength (for example, the exhaust strength within a range where the glass soot does not leak from the chamber in the latter half of the deposition) from the initial stage to the end of the deposition. It is accumulating.

【0005】ところが、本発明者等が鋭意検討したとこ
ろ、デポジションの経過に伴って、出発コア材に堆積さ
れたデポジションスートが成長し、その径が太くなっ
て、チャンバ内の排気環境が変わってくるため、上記の
ようにデポジションの排気強さを一定にして行う方法で
は、効率的なガラススートの堆積が得られないことが分
かった。つまり、バーナ火炎に対して出発コア材のデポ
ジションスート径が細いときには、排気がかなり弱くて
もチャンバから漏れるガラススートが殆どなく、逆に、
このとき、排気を強くすると、ガラススートの殆どが堆
積されることなく、排気管側に吸い込まれてしまう一
方、バーナ火炎に対して出発コア材のデポジションスー
ト径が太いときには、排気をかなり強くしておかない
と、出発コア材上で跳ね返るガラススートが増え、チャ
ンバから漏れ易くなることが分かったのである。
However, as a result of diligent studies by the present inventors, the deposition soot deposited on the starting core material grows with the progress of deposition, and the diameter of the deposition soot increases, so that the exhaust environment in the chamber is increased. Therefore, it was found that efficient deposition of glass soot cannot be obtained by the method in which the deposition exhaust strength is constant as described above. In other words, when the deposition soot diameter of the starting core material is thin with respect to the burner flame, there is almost no glass soot leaking from the chamber even if the exhaust gas is fairly weak.
At this time, if the exhaust gas is made stronger, most of the glass soot will be sucked into the exhaust pipe side without being accumulated, while if the deposition soot diameter of the starting core material is large against the burner flame, the exhaust gas will be considerably strong. Otherwise, it has been found that more glass soot bounces on the starting core material and is more likely to leak from the chamber.

【0006】このような事実から、本発明者等は、外付
け法においてデポジションの初期においては排気を弱く
設定しておき、デポジションスートの成長に伴って排気
を強くしていく方法が望ましく、さらに、このデポジシ
ョンスートの成長は、放射温度計により、デポジション
スートと火炎との接触面積をモニターすることによって
捉えることができることを見出した。
From the above facts, it is desirable for the present inventors to set the exhaust gas weakly in the initial stage of deposition in the external attachment method and to strengthen the exhaust gas as the deposition soot grows. Furthermore, they have found that the growth of this deposition soot can be grasped by monitoring the contact area between the deposition soot and the flame with a radiation thermometer.

【0007】本発明は、このような観点に立ってなされ
たもので、外付け法によってガラススートを堆積させる
際、排気の強さを適宜制御して、堆積効率を向上させた
光ファイバ母材の製造方法を提供せんとするものであ
る。
The present invention has been made from such a point of view, and when the glass soot is deposited by the external attachment method, the strength of the exhaust gas is appropriately controlled to improve the deposition efficiency of the optical fiber preform. It is intended to provide a manufacturing method of.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】かゝる本発明は、外付け
法によるデポジションにおいてチャンバ排気量をデポジ
ションスートとバーナ火炎との接触面積の増加に伴って
増大させることを特徴とする光ファイバ母材の製造方法
にある。
According to the present invention, in the deposition by the external method, the chamber exhaust volume is increased as the contact area between the deposition soot and the burner flame is increased. It is in a method for manufacturing a fiber preform.

【0009】[0009]

【作用】このように本発明では、チャンバ排気量がデポ
ジションスートとバーナ火炎との接触面積の増加に伴っ
て連動制御されるため、ガラススートが過度に排気され
ることもなく、また、跳ね返ったガラススートがチャン
バ外に逃げることもなく、迅速かつ効率的なガラススー
トの堆積が行われる。
As described above, according to the present invention, the chamber exhaust amount is controlled in conjunction with the increase in the contact area between the deposition soot and the burner flame, so that the glass soot is not excessively exhausted and rebounds. The glass soot does not escape to the outside of the chamber, and the glass soot is deposited quickly and efficiently.

【0010】[0010]

【実施例】図1は、本発明に係る光ファイバ母材の製造
方法を実施するための装置系の一例を示したものであ
る。この装置系では、回転する出発コア材1の外方の軸
方向には、当該出発コア材1を囲むようにしてチャンバ
2が設置され、このチャンバ2の一方(図中、右側)の
開口部2aには、上記出発コア材1の軸方向にトラバー
ス(往復動)する酸水素バーナ3が対峙されており、ま
た、チャンバ2の他方(図中、左側)の開口部2bに
は、排気管4が接続されている。そして、また、上記チ
ャンバ2の例えば開口部2a側には、放射温度計Tが設
置してある。
FIG. 1 shows an example of an apparatus system for carrying out the method for producing an optical fiber preform according to the present invention. In this apparatus system, a chamber 2 is installed in the axial direction outside the rotating starting core material 1 so as to surround the starting core material 1, and one of the chambers 2 (on the right side in the drawing) has an opening 2a. Is opposed to the oxyhydrogen burner 3 that traverses (reciprocates) in the axial direction of the starting core material 1, and the exhaust pipe 4 is provided in the opening 2b on the other side (left side in the figure) of the chamber 2. It is connected. Further, a radiation thermometer T is installed, for example, on the opening 2a side of the chamber 2.

【0011】この装置系において、酸水素バーナ3から
の火炎5中に含まれるガラススート6を出発コア材1に
堆積させるには、先ず、上記チャンバ2の排気管4側か
ら吸引するなどして当該チャンバ2内に適宜強さの強制
排気系を作り、この状態で、出発コア材1を回転させる
一方、この出発コア材1の外周に、酸水素バーナ3をト
ラバースさせながらガラススート6を噴出させればよ
い。これにより、出発コア材1の外周には次第にガラス
スート6が堆積され、デポジションスート6aとして成
長していく。そして、この際、排気の強弱によって、堆
積されずに排気管4から排気されるガラススート6が増
えたり、あるいはチャンバ2の酸水素バーナ3側の開口
部2aから飛散して漏れるガラススート6が多くなった
りする。
In this apparatus system, in order to deposit the glass soot 6 contained in the flame 5 from the oxyhydrogen burner 3 on the starting core material 1, first, suction from the exhaust pipe 4 side of the chamber 2 is performed. A forced exhaust system of appropriate strength is created in the chamber 2, and in this state, the starting core material 1 is rotated, while the glass soot 6 is jetted to the outer periphery of the starting core material 1 while the oxyhydrogen burner 3 is traversed. You can do it. As a result, the glass soot 6 is gradually deposited on the outer periphery of the starting core material 1 and grows as the deposition soot 6a. At this time, the glass soot 6 which is not deposited and is exhausted from the exhaust pipe 4 increases or the glass soot 6 which scatters and leaks from the opening 2a on the oxyhydrogen burner 3 side of the chamber 2 is generated due to the strength of the exhaust. There are many.

【0012】そこで、本発明では、デポジションの初期
においては、チャンバ2の排気を弱く設定してガラスス
ート6の堆積を行い、出発コア材1のデポジションスー
ト6aが成長してきたら、その成長に応じて、排気を徐
々に強くしていく。このデポジションスート6aの成長
に伴う排気の制御は、ガラススート6の成長をデポジシ
ョンスート6aとバーナ火炎5との実効的な接触面積の
増加として捉え、この接触面積は、上記放射温度計Tで
モニターし、この測定情報を排気系の吸引手段にフィー
ドバックさせて行っている。なお、ここで、接触面積
は、バーナ火炎5によって熱せられたガラススート6が
放射する赤外線から放射温度計Tを用いて温度分布を求
め、基準温度(例えば600℃と設定する)を越える部
分の面積とした。このようにして求められた接触面積と
チャンバ2の排気量との関係を図示すると、図2の如く
である。
Therefore, in the present invention, in the initial stage of deposition, the exhaust gas of the chamber 2 is set to be weak and the glass soot 6 is deposited, and when the deposition soot 6a of the starting core material 1 grows, it grows. Accordingly, the exhaust is gradually strengthened. The control of the exhaust gas accompanying the growth of the deposition soot 6a catches the growth of the glass soot 6 as an increase in the effective contact area between the deposition soot 6a and the burner flame 5, and this contact area is the radiation thermometer T. The measurement information is fed back to the suction means of the exhaust system. Here, the contact area is determined by calculating the temperature distribution from the infrared rays emitted from the glass soot 6 heated by the burner flame 5 using the radiation thermometer T and exceeding the reference temperature (for example, set to 600 ° C.). The area. The relationship between the contact area thus obtained and the exhaust amount of the chamber 2 is illustrated in FIG.

【0013】このようにデポジションの初期において、
チャンバ2の排気を弱く設定してあると、ガラススート
6の過度の排気がなく、出発時の出発コア材1だけの時
やデポジションスート6a部分が未だ未成長で細い時に
も、ガラススート6は、出発コア材1やデポジションス
ート6a部分に迅速かつ効率的に堆積される。このよう
にしてデポジションスート6aが成長し、その径が太く
なってくると、当該デポジションスート6aと火炎5と
の接触面積が増えて、デポジションスート6aの跳ね返
りによる飛散が起こり、排気不足となって、ガラススー
ト6の迅速な付着が妨げられたり、ガラススート6がチ
ャンバ2外に漏れたりする傾向になろうとするわけであ
るが、本発明では、上記接触面積の増大により、排気が
強化されるため、引き続き、迅速なガラススート6の付
着が行われ、また、ガラススート6の漏れも効果的に防
止される。
Thus, in the initial stage of deposition,
When the exhaust of the chamber 2 is set weakly, the glass soot 6 does not excessively exhaust, and even when only the starting core material 1 at the time of departure or the deposition soot 6a portion is still ungrown and thin, Are quickly and efficiently deposited on the starting core material 1 and the deposition soot 6a. When the deposition soot 6a grows in this way and its diameter becomes thicker, the contact area between the deposition soot 6a and the flame 5 increases and scattering occurs due to the bounce of the deposition soot 6a, resulting in insufficient exhaust gas. Therefore, the rapid attachment of the glass soot 6 tends to be hindered, and the glass soot 6 tends to leak out of the chamber 2. However, in the present invention, the exhaust gas is exhausted due to the increase in the contact area. Since the glass soot 6 is strengthened, the glass soot 6 can be quickly attached thereto, and the glass soot 6 can be effectively prevented from leaking.

【0014】因に、本発明によるデポジション時の単位
時間当たりの堆積速度と、従来の排気量を常時一定とし
た場合のそれとを比較したところ、図3に示した如く
で、本発明の堆積速度曲線L1 は、従来方法の堆積速度
曲線L2 より常に上側にあって、優れた堆積速度が得ら
れることが分かる。
Incidentally, when the deposition rate per unit time during deposition according to the present invention is compared with that when the conventional exhaust amount is always constant, it is as shown in FIG. The rate curve L 1 is always above the deposition rate curve L 2 of the conventional method, and it can be seen that an excellent deposition rate can be obtained.

【0015】[0015]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よると、外付け法によるデポジションにおいてチャンバ
排気量をデポジションスートとバーナ火炎との接触面積
の増加に伴って増大させるため、デポジション中常に適
正な排気量となり、デポジション初期の過度の排気によ
る堆積効率の減少や、デポジションスート成長後の排気
不足による室内(チャンバ外)へのガラススート洩れが
生じることもなく、迅速かつ効率的なガラススートの堆
積が行われる優れた光ファイバ母材の製造方法が得られ
る。
As is apparent from the above description, according to the present invention, in the deposition by the external method, the chamber exhaust amount is increased with an increase in the contact area between the deposition soot and the burner flame. The amount of exhaust is always appropriate, and the deposition efficiency is reduced due to excessive exhaust during the initial stage of deposition, and the glass soot does not leak into the room (outside the chamber) due to insufficient exhaust after growth of deposition soot. An excellent method for producing an optical fiber preform is obtained, in which a conventional glass soot is deposited.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る光ファイバ母材の製造方法を実施
するための装置系の一例を示した概略説明図である。
FIG. 1 is a schematic explanatory view showing an example of an apparatus system for carrying out a method for producing an optical fiber preform according to the present invention.

【図2】デポジションスートとバーナ火炎との接触面積
とチャンバ排気量との関係を示したグラフである。
FIG. 2 is a graph showing a relationship between a contact area between a deposition soot and a burner flame and a chamber exhaust amount.

【図3】本発明方法と従来方法による単位時間当たりの
堆積速度とデポジション経過時間との関係を示したグラ
フである。
FIG. 3 is a graph showing the relationship between the deposition rate per unit time and the elapsed deposition time according to the method of the present invention and the conventional method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 出発コア材 2 チャンバ 2a,2b 開口部 3 酸水素バーナ 4 排気管 5 火炎 6 ガラススート 6a デポジションスート 1 Starting core material 2 chamber 2a, 2b openings 3 oxyhydrogen burner 4 exhaust pipe 5 flames 6 glass soot 6a deposition suit

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C03B 37/018 C03B 8/04 C03B 20/00 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) C03B 37/018 C03B 8/04 C03B 20/00

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 外付け法によるデポジションにおいてチ
ャンバ排気量をデポジションスートとバーナ火炎との接
触面積の増加に伴って増大させることを特徴とする光フ
ァイバ母材の製造方法。
1. A method for manufacturing an optical fiber preform, wherein the chamber exhaust amount is increased with an increase in the contact area between the deposition soot and the burner flame in the deposition by an external method.
【請求項2】 前記デポジションスートとバーナ火炎と
の接触面積を放射温度計で測定することを特徴とする請
求項1記載の光ファイバ母材の製造方法。
2. The method for producing an optical fiber preform according to claim 1, wherein the contact area between the deposition soot and the burner flame is measured by a radiation thermometer.
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