JP3384418B2 - Inkjet recording head - Google Patents

Inkjet recording head

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JP3384418B2
JP3384418B2 JP15374594A JP15374594A JP3384418B2 JP 3384418 B2 JP3384418 B2 JP 3384418B2 JP 15374594 A JP15374594 A JP 15374594A JP 15374594 A JP15374594 A JP 15374594A JP 3384418 B2 JP3384418 B2 JP 3384418B2
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pressure chamber
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は積層型のインクジェット
記録ヘッドに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laminated type ink jet recording head.

【0002】[0002]

【従来の技術】記録ヘッドをより小型に構成するため
に、電界誘起歪の横効果により板面に垂直な方向の屈曲
変位力を発現させる圧電電歪膜型アクチュエータを用い
たインクジェット記録ヘッドについては特開平6−40
030号公報に開示されている。
2. Description of the Related Art In order to make a recording head more compact, an ink jet recording head using a piezoelectric electrostrictive film type actuator that exerts a bending displacement force in a direction perpendicular to a plate surface by a lateral effect of electric field induced strain JP-A-6-40
It is disclosed in Japanese Patent Publication No. 030.

【0003】この種の記録ヘッドは、図2に示すよう
に、複数のノズル孔aが設けられたノズルプレートb
と、インク流路部cを形成するリザーバプレートd及び
圧力室eとを結ぶ供給口fを備えたインク供給プレート
gの積層体とよりなるインク流路形成用板状ユニットh
と、前記インク流路形成用板状ユニットhの背面に、圧
力室eを形成するスペーサプレートiとスペーサプレー
トiの開口部を覆う振動板j及びインク供給プレートg
と結ぶ連通口kを備えた接続プレートlとを、それぞれ
グリーンシートにて積層形成する圧力室形成用板状ユニ
ットmにより構成すると共に、前記振動板jの外面上
に、膜形成方法によって形成された電極n,o及び圧電
/電歪層pからなる圧電/電歪素子qを形成している。
In this type of recording head, as shown in FIG. 2, a nozzle plate b having a plurality of nozzle holes a is provided.
And a plate unit h for forming an ink flow path, which is a stack of an ink supply plate g having a supply port f connecting the reservoir plate d forming the ink flow path part c and the pressure chamber e.
A spacer plate i forming a pressure chamber e, a vibration plate j covering the opening of the spacer plate i, and an ink supply plate g on the back surface of the ink flow path forming plate unit h.
And a connection plate 1 having a communication port k for connecting with the pressure chamber forming plate unit m formed by stacking green sheets, and formed on the outer surface of the diaphragm j by a film forming method. A piezoelectric / electrostrictive element q including the electrodes n and o and the piezoelectric / electrostrictive layer p is formed.

【0004】前記インク流路形成用板状ユニットhはプ
ラスチック及びニッケル及至ステンレスといった金属、
前記圧力室形成用板状ユニットmはセラミックスの一体
焼成品として形成されている。
The plate-shaped unit h for forming the ink flow path is made of plastic, metal such as nickel and stainless steel,
The pressure chamber forming plate-shaped unit m is formed as an integrally fired product of ceramics.

【0005】ところがこのような印字記録装置では、図
図4で示したように、圧力室形成用板状ユニットm
ヘッド支持基体rによって囲われている結果、低温環
境下に曝された場合にはしばしば不都合が生じてきた。
[0005] However, in such Printout recording apparatus, FIG. 3, as shown in FIG. 4, the pressure chamber forming plate unit m
There results that are surrounded by the head supporting base r, have occurred frequently inconvenient when exposed to a low-temperature environment.

【0006】この原因を調査したところ、ヘッド支持基
体rの形状と、インク流路形成用板状ユニットhと圧力
室形成用板状ユニットmの熱容量が、圧力室eの破損に
関係していることがわかった。
As a result of investigating the cause, the shape of the head supporting substrate r and the heat capacities of the ink channel forming plate unit h and the pressure chamber forming plate unit m are related to the damage of the pressure chamber e. I understood it.

【0007】低温環境下に曝された記録ヘッド内のイン
クは、冷たい外気に直接接触している部分から冷却され
体積膨張しながら凍結していく。
The ink in the recording head exposed in a low temperature environment is cooled from a portion which is in direct contact with cold outside air and freezes while expanding in volume.

【0008】即ち、図3及び図4においてヘッド支持基
体rは、前記記録ヘッド及び圧電/電歪素子qに接続さ
れたフレキシブル回路基板tを含め、強固に固定する構
成にしたため、圧力室形成用板状ユニットm側が外気と
直接接触せず、圧力室形成用板状ユニットmの収容凹部
sが密閉状態になってしまったため、低温環境下に曝さ
れた場合、冷たい外気に直接接触しているノズルプレー
トb側の方が先に冷却して内部のインクが流路部で凍結
する結果、圧力室e内であとから凍結した圧力室形成用
板状ユニットm側のインクが体積膨張を起こして、その
出場所を振動板j側に求めるため、振動板jに過大な力
が加わって、その接合部または振動板j自体を破損させ
ることになった。
That is, in FIG. 3 and FIG. 4, since the head supporting base body r is configured to be firmly fixed including the recording head and the flexible circuit board t connected to the piezoelectric / electrostrictive element q, a pressure chamber is formed. Since the plate-shaped unit m side does not come into direct contact with the outside air, and the accommodating recess s of the pressure-chamber forming plate-shaped unit m is in a sealed state, it is in direct contact with the cold outside air when exposed to a low temperature environment. As a result of the ink on the nozzle plate b side being cooled first and the ink inside being frozen in the flow path portion, the ink on the pressure chamber forming plate-shaped unit m side that was frozen later in the pressure chamber e causes volume expansion. Since the location of the output is determined on the diaphragm j side, an excessive force is applied to the diaphragm j, and the joint portion or the diaphragm j itself is damaged.

【0009】また、構成する部材の熱容量が小さいほど
速く冷却するため、記録ヘッド単体の場合でも、インク
流路形成用板状ユニットhがプラスチックで構成されて
いる場合、もしくは圧力室形成用板状ユニットmの形状
が大きくなった場合などには、圧力室形成用板状ユニッ
トmの熱容量がインク流路形成用板状ユニットhより大
きくなるため、接合部または振動板j自体が破損する問
題を引き起こすことがわかった。
Further, the smaller the heat capacity of the constituent members, the faster the cooling. Therefore, even in the case of the recording head alone, when the ink flow path forming plate unit h is made of plastic or in the pressure chamber forming plate shape. When the shape of the unit m becomes large, the heat capacity of the plate-shaped unit m for forming the pressure chamber becomes larger than that of the plate-shaped unit h for forming the ink flow path. I found it to cause.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題を解決すべくなされたもので、その目的とするところ
は、低温環境下に曝した場合でも、圧力室に破損を生じ
させることのない新たな積層型のインクジェット記録ヘ
ッドを提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a problem, and its purpose is to prevent damage to the pressure chamber even when exposed to a low temperature environment. It is to provide a new laminated type ink jet recording head which does not exist.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明はこの
ような課題を達成するためのインクジェット記録ヘッド
として、インク供給部から圧力室を経てノズルに至る一
連のインク通路を複数の薄板材の積層体により構成した
記録ヘッド組立体のうち、上記ノズルに至るインク流路
形成用板状ユニットの背面に固定する圧力室形成用板状
ユニットの持つ熱容量を、上記インク流路形成用板状ユ
ニットのの持つ熱容量よりも小さく形成して、上記記録
ヘッド組立体を上記圧力室形成用板状ユニット側が外気
に連通するよう形成した支持基体に一体的に取付けるよ
うにしたものである。
That is, according to the present invention, as an ink jet recording head for achieving such a subject, a series of ink passages from an ink supply portion to a nozzle via a pressure chamber is laminated with a plurality of thin plate materials. In the recording head assembly constituted by the body, the heat capacity of the pressure chamber forming plate unit fixed to the back surface of the ink channel forming plate unit reaching the nozzle is set to The recording head assembly is formed so as to have a smaller heat capacity than that of the recording head assembly, and is integrally attached to a support base formed so that the pressure chamber forming plate-shaped unit side communicates with the outside air.

【0012】[0012]

【作用】このように構成したことにより、インクジェッ
ト記録ヘッドを低温環境下においた場合でも、熱容量の
小さな圧力室形成用板状ユニット側のインクをさきに凍
らせ、体積膨張した分のインクをインク流路形成用板状
ユニット側の流路内へ逃がして振動板に加わる圧力を軽
減し、その破損を未然に抑える。
With this configuration, even when the ink jet recording head is placed in a low temperature environment, the ink on the side of the pressure chamber forming plate-shaped unit having a small heat capacity is frozen first, and the ink volume-expanded is used as ink. The pressure applied to the diaphragm is released by escaping into the flow path on the side of the flow path forming plate unit, and the damage is suppressed in advance.

【0013】[0013]

【実施例】つぎに、本発明の実施例を図面に基いて説明
する。
Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings.

【0014】図1は本発明の一実施例を示したものであ
る。
FIG. 1 shows an embodiment of the present invention.

【0015】図1において符号10で示したインク流路
形成用板状ユニットは、多数のノズル11を列設したノ
ズルプレート12と、ノズル11に通じる通孔13及び
図示しない支持基体上のインク供給通路に連通するリザ
ーバ室14を備えたリザーバプレート15と、ノズル1
1に通じる通孔16及びリザーバ室14と圧力室24と
を結ぶ通孔17を備えたインク供給プレート18とから
なる積層体として構成され、そのノズル11の列に直交
する向きの巾方向両側端を直接図示しない支持基体の頂
面に固定するように構成されている。
In FIG. 1, an ink flow path forming plate-like unit 10 is provided with a nozzle plate 12 in which a large number of nozzles 11 are arranged in rows, a through hole 13 communicating with the nozzles 11 and an ink supply on a support substrate (not shown). A reservoir plate 15 having a reservoir chamber 14 communicating with the passage, and a nozzle 1
1 and the ink supply plate 18 having a through hole 16 connecting the reservoir chamber 14 and the pressure chamber 24 to each other, and both widthwise ends of the nozzle 11 in the direction orthogonal to the row. Is directly fixed to the top surface of a support base (not shown).

【0016】これに対し、上記したインク流路形成用板
状ユニット10の背面に接着剤をもって一体的に固定さ
れる圧力室形成用板状ユニット20は、リザーバ室14
と圧力室24とを結ぶ通孔21及び圧力室24とノズル
11とを結ぶ通孔22とを備えた接続プレート23と、
圧力室24を形成したスペーサプレート25と、圧力室
24の開口部を覆う振動板26とを一体的に焼結したセ
ラミックス材よりなる基板として構成され、かつ、この
セラミックス材密度と比熱と体積との積により決まる熱
容量が上記したインク流路形成用板状ユニット10の持
つ熱容量に較べて可能な限り小さくなるように形成され
ている。
On the other hand, the pressure chamber forming plate unit 20 integrally fixed to the back surface of the ink flow path forming plate unit 10 with an adhesive is the reservoir chamber 14
And a connection plate 23 having a through hole 21 connecting the pressure chamber 24 and a through hole 22 connecting the pressure chamber 24 and the nozzle 11,
A spacer plate 25 in which the pressure chamber 24 is formed and a vibrating plate 26 covering the opening of the pressure chamber 24 are integrally sintered as a substrate made of a ceramic material, and the density, specific heat and volume of the ceramic material are The heat capacity determined by the product of the above is smaller than the heat capacity of the ink flow path forming plate unit 10 described above.

【0017】また符号30は、インク流路形成用板状ユ
ニット10と圧力室形成用板状ユニット20とよりなる
記録ヘッド組立体を支持する支持基体で、この支持基体
30は、その頂面31にインク流路形成用板状ユニット
10の巾方向両端部を位置決め固定する段付き凹部32
が形成され、またその内方は、圧力室形成用板状ユニッ
ト20の収容凹部33を介して背面に開口する窓孔34
が設けられていて、インク流路形成用板状ユニット10
の背面に固定した圧力室形成用板状ユニット20を外気
に直接接触させるように構成されている。
Reference numeral 30 is a support base for supporting a recording head assembly comprising the ink flow path forming plate-like unit 10 and the pressure chamber forming plate-like unit 20. The support base 30 has a top surface 31. A stepped recess 32 for positioning and fixing both widthwise ends of the plate unit 10 for forming the ink flow path.
Is formed, and the inner side thereof is a window hole 34 that opens to the back surface through the accommodation recess 33 of the pressure chamber forming plate unit 20.
And a plate-shaped unit 10 for forming an ink flow path
The pressure chamber forming plate-shaped unit 20 fixed to the back surface is directly contacted with the outside air.

【0018】このように構成され、かつ内部にインクが
充填されたインクジェット記録ヘッドがいま低温環境下
に置かれた場合、支持基体30に設けた窓孔34を介し
圧力室形成用板状ユニット20は外気と直接接触し、
インク流路形成用板状ユニット10と同様の温度条件に
曝される。このため、インク流路形成用板状ユニット1
0の熱容量よりもさく形成された圧力室形成用板状
ユニット20内のインクはインク流路形成用板状ユニッ
ト10内のインクよりも早く冷却されて凍結し、その凍
結によって体積膨張した分のインクを未だ凍結していな
いインク流路形成用板状ユニット10側の通孔16、1
7内に逃がしつつ、振動板26に加える圧力を可能な限
り軽減しセラミックス材よりなるこの部分の破損を未
然に防止する。
[0018] Thus configured, and if the ink jet recording head in which ink is filled inside is now placed under a low temperature environment, through the window hole 34 provided in the supporting base 30
The pressure chamber forming plate unit on 20 is in direct contact with the outer air,
It is exposed to the same temperature conditions as the ink flow path forming plate unit 10. Therefore, the plate unit 1 for forming the ink flow path
Than the thermal capacity of 0 Ink small fence formed minute pressure chamber forming plate unit 20 is frozen is cooled faster than the ink in the ink flow path forming plate unit 10, the frozen
Through holes 16 and 1 on the side of the plate unit 10 for forming the ink flow path, in which the ink volume-expanded by binding has not frozen yet
The pressure applied to the vibrating plate 26 is reduced as much as possible while allowing it to escape into the inside 7 to prevent damage to this portion made of the ceramic material.

【0019】これに続いてインク流路形成用板状ユニッ
ト10側のインクもその流路内で凍結を始めるが、ここ
に設けた流路は、支持基体30のインク供給通路側とノ
ズル11側とに開口しているため、体積膨張による分の
インクはこれらの通路へと逃がれて、インク流路形成用
板状ユニット10側の破損を抑える。
Following this, the ink on the ink channel forming plate-shaped unit 10 side also begins to freeze within the channel, and the channels provided here are the ink supply channel side of the support base 30 and the nozzle 11 side. Since the ink is opened in the and, the ink corresponding to the volume expansion escapes to these passages and suppresses the damage on the ink flow path forming plate unit 10 side.

【0020】このように、圧力室形成用板状ユニット2
0が先に凍結するためには、インク流路形成用板状ユニ
ット10よりも熱容量が小さくなければならない。
Thus, the pressure chamber forming plate-like unit 2
In order for 0 to freeze first, the heat capacity must be smaller than that of the ink flow path forming plate unit 10.

【0021】また、このような前記記録ヘッドの構成に
するにあたり、上述の条件を満足した材質について述べ
る。
In addition, a material satisfying the above-mentioned conditions in constructing the recording head will be described.

【0022】インク流路形成用板状ユニット10は、ノ
ズル11、通孔13、通孔16、通孔17のような高精
度の微細穴が必要とされる。それを実現する材質として
は、ステンレスやニッケル等の金属が好適であった。
The ink flow path forming plate-like unit 10 is required to have highly precise fine holes such as the nozzle 11, the through hole 13, the through hole 16 and the through hole 17. Metals such as stainless steel and nickel were suitable as the material for achieving this.

【0023】また、圧力室形成用板状ユニット20の材
質は、インク流路のシール性が容易に確保できることや
製造性が良いことが必要とされ、それを実現する材料と
して、一体焼成の可能なセラミックスが好適であった。
Further, the pressure chamber forming plate unit 20 is required to be capable of easily securing the sealing property of the ink flow path and having good manufacturability. As a material for achieving this, it is possible to perform integral firing. Ceramics were suitable.

【0024】このように、インク流路形成用板状ユニッ
ト10の材質を金属とし、圧力室形成用板状ユニット2
0の材質をセラミックスとすることによって、インク流
路形成用板状ユニット10の熱容量よりも、圧力室形成
用板状ユニット20の熱容量を小さくすることが実現で
きた。
In this way, the material of the plate unit 10 for forming the ink flow path is metal, and the plate unit 2 for forming the pressure chamber is used.
When the material of No. 0 is ceramics, the heat capacity of the pressure chamber forming plate unit 20 can be made smaller than that of the ink flow path forming plate unit 10.

【0025】なお、この実施例では、圧力室形成用板状
ユニット20を直接外気に接触させることができると同
時に、この窓孔34を利用してアクチュエータ27に接
続させたフレキシブル回路基板28を無理に折曲げるこ
となくこれを支持基体31の外に引出すことができる効
果をももたらす。
In this embodiment, the pressure chamber forming plate-shaped unit 20 can be brought into direct contact with the outside air, and at the same time, the flexible circuit board 28 connected to the actuator 27 by using the window 34 is impossible. There is also an effect that this can be pulled out of the support base 31 without being bent.

【0026】[0026]

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、積層
構成したインクジェット記録ヘッド組立体のうち、圧力
室形成用板状ユニットの持つ熱容量をインク流路形成用
板状ユニットのそれよりも小さく形成し、圧力室形成用
板状ユニットを外気に開放する支持基体よって記録ヘ
ッド組立体を支持することにより、インクジェット記録
ヘッドが極端な低温環境下におかれた場合でも、インク
流路形成用板状ユニットよりも熱容量の小さ圧力室形
成用板状ユニット側のインクをより早く凍結させて
積膨張した分のインクをインク流路形成用板状ユニット
側に逃がすことによって圧力室の破損を未然に防ぐこと
ができる。
As described above, according to the present invention, the heat capacity of the pressure chamber forming plate unit in the laminated ink jet recording head assembly is higher than that of the ink flow path forming plate unit. small form, by supporting the support base to thus recording head assembly for opening the pressure chamber forming plate unit to the outside air, even if the ink jet recording head is put under extreme low temperature environment, the ink
And earlier frozen small not ink in the pressure chamber forming plate unit side heat capacity than the flow path forming plate unit, volume expanded the minute ink ink flow path forming plate unit <br/> side it is possible to prevent the damage of the pressure chamber I'm to be released to.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例を示す記録ヘッド組立体の側
面図である。
FIG. 1 is a side view of a recording head assembly showing an embodiment of the present invention.

【図2】従来のインクジェット記録ヘッドを示した側面
断面図である。
FIG. 2 is a side sectional view showing a conventional inkjet recording head.

【図3】従来のインクジェット記録ヘッドを示した側面
断面図である。
FIG. 3 is a side sectional view showing a conventional inkjet recording head.

【図4】従来のインクジェット記録ヘッドを示した正面
断面図である。
FIG. 4 is a front sectional view showing a conventional inkjet recording head.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 インク流路形成用板状ユニット 20 圧力室形成用板状ユニット 30 支持基体 32 プレートユニットの位置決め固定用段付き凹部 33 セラミックス基体の収容凹部 34 窓孔 10 Ink flow path forming plate unit 20 Plate-shaped unit for pressure chamber formation 30 support substrate 32 Stepped recess for positioning and fixing plate unit 33 Ceramic base recess 34 window hole

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平6−40030(JP,A) 特開 平5−261919(JP,A) 特開 平4−355147(JP,A) 特開 平5−220952(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B41J 2/045 B41J 2/055 B41J 2/175 ─────────────────────────────────────────────────── --- Continuation of the front page (56) References JP-A-6-40030 (JP, A) JP-A-5-261919 (JP, A) JP-A-4-355147 (JP, A) JP-A-5- 220952 (JP, A) (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) B41J 2/045 B41J 2/055 B41J 2/175

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 インク供給部から圧力室を経てノズルに
至る一連のインク通路を複数の薄板材の積層体により構
成した記録ヘッド組立体のうち、前記ノズルに至るイン
ク流路形成用板材ユニットの背面に固定する圧力室形成
用板材ユニットの持つ熱容量を、前記インク流路形成用
板状ユニットの持つ熱容量よりも小さく形成するととも
に、前記記録ヘッド組立体を、前記圧力室形成用板状ユ
ニット側が外気に連通するように形成した支持基体に一
体的に取付けたことを特徴とするインクジェット記録ヘ
ッド。
1. In a recording head assembly in which a series of ink passages from an ink supply unit to a nozzle via a pressure chamber is composed of a laminate of a plurality of thin plate materials, an ink flow path forming plate material unit to the nozzle is formed. The heat capacity of the pressure chamber forming plate member unit fixed to the back surface is formed to be smaller than the heat capacity of the ink flow path forming plate unit, and the recording head assembly is attached to the pressure chamber forming plate unit side. An ink jet recording head, wherein the ink jet recording head is integrally attached to a supporting base formed so as to communicate with the outside air.
【請求項2】 前記インク流路形成用板材ユニットの材
質を金属により、前記圧力室形成用板状ユニットの材質
をセラミックスによりそれぞれ形成したことを特徴とす
る請求項1記載のインクジェット記録ヘッド。
2. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the plate material unit for forming the ink flow path is made of metal, and the plate unit for forming the pressure chamber is made of ceramics.
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US6616270B1 (en) 1998-08-21 2003-09-09 Seiko Epson Corporation Ink jet recording head and ink jet recording apparatus comprising the same
JP2004268454A (en) 2003-03-10 2004-09-30 Brother Ind Ltd Inkjet head
US8757782B2 (en) * 2011-11-21 2014-06-24 Seiko Epson Corporation Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus
JP2016040088A (en) 2014-08-12 2016-03-24 セイコーエプソン株式会社 Ink jet recorder
JP6493655B2 (en) 2014-08-12 2019-04-03 セイコーエプソン株式会社 Inkjet recording device
JP6465271B2 (en) * 2014-08-18 2019-02-06 セイコーエプソン株式会社 Liquid ejecting apparatus and method for controlling liquid ejecting apparatus

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