JP3383506B2 - Fluorescent lamp and method of manufacturing the same - Google Patents
Fluorescent lamp and method of manufacturing the sameInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は低圧水銀蒸気の放電
を用いるランプである蛍光ランプおよびその製造方法に
関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fluorescent lamp which is a lamp using a discharge of low-pressure mercury vapor and a method for manufacturing the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に、蛍光ランプは、ガラスバルブ等
からなるランプ容器の内面に被着された蛍光体を発光さ
せるために、ランプ容器の中に水銀が封入されており、
水銀の励起波長２５４ｎｍの光が用いられている。近
年、環境保護の観点から、蛍光ランプに使用されている
水銀量を削減する要求が高まっており、ランプ容器内の
水銀消費量を抑制する技術の開発が求められている。従
来の蛍光ランプにおける水銀は、水銀がガラスバルブ内
へ拡散したり、ガラスバルブから拡散したナトリウム
（Ｎａ）が水銀と反応してアマルガムを生成したり、水
銀が蛍光体に吸着すること等により、使用時間の経過と
ともに次第に消費される。水銀がガラスバルブ内へ拡散
したり、ガラスバルブからのナトリウムイオンと反応す
ることを防止するために、従来の蛍光ランプにはガラス
バルブの内面にアルミナ保護膜層を形成していた。2. Description of the Related Art Generally, in a fluorescent lamp, mercury is enclosed in the lamp container in order to emit light from a fluorescent material adhered to the inner surface of the lamp container such as a glass bulb.
Light having an excitation wavelength of 254 nm of mercury is used. In recent years, from the viewpoint of environmental protection, there is an increasing demand for reducing the amount of mercury used in fluorescent lamps, and the development of a technique for suppressing the amount of mercury consumption in the lamp container is required. Mercury in conventional fluorescent lamps is caused by the diffusion of mercury into the glass bulb, the sodium (Na) diffused from the glass bulb reacts with mercury to produce amalgam, or the mercury is adsorbed on the phosphor. Consumed gradually over time. In order to prevent mercury from diffusing into the glass bulb and reacting with sodium ions from the glass bulb, the conventional fluorescent lamp has an alumina protective film layer formed on the inner surface of the glass bulb.
【０００３】本願発明者らは、従来の蛍光ランプにおけ
る水銀の消費について考察するために、二次イオン質量
分析計を用いて従来の蛍光ランプにおける水銀のイオン
カウント数を測定した。図１５は、その分析結果であ
り、従来の三波長域発光形蛍光ランプの蛍光体層、アル
ミナ保護膜層、ガラスバルブにおける水銀の二次イオン
強度を示すグラフである。図１５に示すように、従来の
蛍光ランプにおいては、多くの水銀が蛍光体層に吸着さ
れ消費されていた。In order to consider the consumption of mercury in a conventional fluorescent lamp, the present inventors measured the ion count number of mercury in a conventional fluorescent lamp using a secondary ion mass spectrometer. FIG. 15 is a graph showing the analysis results and showing the secondary ion intensity of mercury in the phosphor layer, the alumina protective film layer, and the glass bulb of the conventional three-wavelength band emission type fluorescent lamp. As shown in FIG. 15, in the conventional fluorescent lamp, a large amount of mercury was adsorbed on the phosphor layer and consumed.
【０００４】以上のように、従来の蛍光ランプにおい
て、ランプ容器内に封入された水銀とガラスバルブのナ
トリウムイオンとの反応は抑制されているものの、相当
量の水銀が蛍光体層に吸着され消費されていた。しかも
この水銀の消費量は蛍光ランプの使用時間の経過ととも
に増大する。このため、従来の蛍光ランプのランプ容器
内には、地球環境に対して有害な物質で使用量をできる
だけ少なくすることが望ましいところの水銀が、発光に
必要な量を大きく上回り、多く使用されていた。As described above, in the conventional fluorescent lamp, although the reaction between the mercury enclosed in the lamp vessel and the sodium ion of the glass bulb is suppressed, a considerable amount of mercury is adsorbed on the phosphor layer and consumed. It had been. Moreover, the amount of mercury consumed increases as the fluorescent lamp is used. For this reason, mercury, which is a harmful substance to the global environment and is desirable to use as little as possible, is greatly used in the lamp container of conventional fluorescent lamps, which greatly exceeds the amount required for light emission. It was
【０００５】水銀の蛍光体層の表面への吸着を防止する
従来の技術としては、特開平４−２４５１６２号公報に
開示されたものがある。この公報に開示された従来の技
術は、蛍光ランプにおいて水銀によりランプ容器が黒ず
む、いわゆる黒化現象を抑制し、光束の低下を防止する
ことを目的とするものである。この公報に開示された蛍
光ランプは、上記目的を達成するため、蛍光体層の内面
に被膜を形成して、その被膜により水銀の蛍光体層への
吸着を少なくし、黒化現象を抑制しようとするものであ
った。As a conventional technique for preventing the adsorption of mercury on the surface of the phosphor layer, there is one disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-245162. The conventional technique disclosed in this publication aims at suppressing a so-called blackening phenomenon, which is a phenomenon in which a lamp container is darkened by mercury in a fluorescent lamp, and preventing a decrease in luminous flux. In order to achieve the above object, the fluorescent lamp disclosed in this publication forms a coating on the inner surface of the phosphor layer, and the coating reduces the adsorption of mercury to the phosphor layer to suppress the blackening phenomenon. Was to be.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】上記のように構成され
た従来の蛍光ランプ（特開平４−２４５１６２号）にお
いて、蛍光体層の内面に形成された被膜は、いわば砂地
のような隙間を有するものである。このため、蛍光体層
等への水銀の侵入を確実に防止することが困難であっ
た。従って、この従来技術において、蛍光ランプの水銀
消費量を大幅に減少させ、ランプ容器内に封入すべき水
銀量を少なくすることはできなかった。本発明は、水銀
の蛍光体層等への吸着を防止するとともに、ガラスバル
ブのナトリウムと水銀との反応を防止して、予め封入す
べき水銀量を発光に必要な最小限に設定することができ
る蛍光ランプ及びその製造方法を提供することを目的と
するものである。In the conventional fluorescent lamp (Japanese Patent Laid-Open No. 4-245162) constructed as described above, the coating formed on the inner surface of the phosphor layer has a so-called sandy space. It is a thing. Therefore, it has been difficult to reliably prevent mercury from entering the phosphor layer and the like. Therefore, in this prior art, it was not possible to significantly reduce the mercury consumption of the fluorescent lamp and to reduce the amount of mercury to be sealed in the lamp container. The present invention can prevent the adsorption of mercury to the phosphor layer and the like, and also prevent the reaction between sodium and mercury in the glass bulb to set the amount of mercury to be sealed in advance to the minimum necessary for light emission. An object of the present invention is to provide a fluorescent lamp that can be manufactured and a manufacturing method thereof.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明に係る蛍光ランプ
は、ランプ容器の内面に蛍光体と金属酸化物の連結体と
の混合膜が酸化防止剤を有して形成され、ランプ容器の
内部に水銀が封入されており、前記混合膜の連結体が前
記蛍光体の粒子の隙間に配設され、前記連結体が前記蛍
光体の粒子間を橋掛け状に接続している。Fluorescent lamp according to the present invention SUMMARY OF THE INVENTION are mixed film and the connecting member of the phosphor and the metal oxide is formed with an antioxidant to the inner surface of the lamp vessel, the interior of the lamp vessel Mercury is sealed in, the coupling body of the mixed film is arranged in the gap between the particles of the phosphor, and the coupling body connects the particles of the phosphor in a bridge shape.
【０００８】本発明に係る蛍光ランプの製造方法は、蛍
光体材料をランプ容器の内面に塗布し、乾燥して蛍光体
層を形成し、その蛍光体層に金属アルコキシド溶液を塗
布し、加水分解させる。次に、前記蛍光体層を加熱処理
をすることにより、前記蛍光体層の蛍光体粒子間に金属
酸化物の橋掛け状態の連結体を有する混合膜を形成す
る。In the method of manufacturing a fluorescent lamp according to the present invention, a phosphor material is applied to the inner surface of a lamp container and dried to form a phosphor layer, and a metal alkoxide solution is applied to the phosphor layer to cause hydrolysis. Let Next, the phosphor layer is subjected to heat treatment to form a mixed film having a metal oxide bridged connection body between the phosphor particles of the phosphor layer.
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】以下に本発明の蛍光ランプにおけ
る実施の形態を記載する。本発明の蛍光ランプでは、内
部に水銀を封入したランプ容器の内面に、蛍光体と金属
酸化物との混合膜が形成されており、前記混合膜が前記
蛍光体の粒子の隙間に形成された前記金属酸化物の連結
体を有し、前記連結体により前記蛍光体の粒子間が連続
した橋掛け状態になっている。このため、本発明の蛍光
ランプでは、蛍光体粒子が金属酸化物により強固に連結
され、蛍光ランプ内の水銀がガラス容器から隔離されて
いる。この結果、水銀がガラス容器のナトリウムと反応
せず、ランプ容器内に封入された水銀の消費は抑制され
る。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the fluorescent lamp of the present invention will be described below. In the fluorescent lamp of the present invention, a mixed film of the phosphor and the metal oxide is formed on the inner surface of the lamp container in which mercury is sealed, and the mixed film is formed in the gap between the particles of the phosphor. It has a connecting body of the metal oxide, and the connecting body forms a continuous bridge state between the particles of the phosphor. Therefore, in the fluorescent lamp of the present invention, the phosphor particles are firmly connected by the metal oxide, and the mercury in the fluorescent lamp is isolated from the glass container. As a result, mercury does not react with sodium in the glass container, and consumption of mercury enclosed in the lamp container is suppressed.
【００１０】本発明の蛍光ランプでは、前記ランプ容器
の内面と前記混合膜との間に連続した金属酸化物の第１
の薄膜が形成されている。このため、本発明の蛍光ラン
プは、蛍光ランプ内の水銀がランプ容器から確実に隔離
されており、ランプ容器内の水銀の消費が抑制されてい
る。In the fluorescent lamp of the present invention, the first metal oxide continuous between the inner surface of the lamp vessel and the mixed film.
Thin film is formed. Therefore, in the fluorescent lamp of the present invention, the mercury in the fluorescent lamp is reliably separated from the lamp container, and the consumption of mercury in the lamp container is suppressed.
【００１１】本発明の蛍光ランプでは、前記混合膜の管
中心に近い面である内面に連続した金属酸化物の第２の
薄膜が形成されている。このため、本発明によれば、蛍
光体が金属酸化物により水銀から隔離され、水銀吸着に
よる蛍光体の化学的な劣化が抑制され、また水銀の蛍光
体へ吸着及び酸化による水銀の消費が防止される。In the fluorescent lamp of the present invention, a continuous second thin film of metal oxide is formed on the inner surface of the mixed film, which is close to the tube center. Therefore, according to the present invention, the phosphor is separated from the mercury by the metal oxide, the chemical deterioration of the phosphor due to the adsorption of mercury is suppressed, and the consumption of mercury due to the adsorption and oxidation of the mercury on the phosphor is prevented. To be done.
【００１２】本発明の蛍光ランプでは、前記ランプ容器
の内面と前記混合膜との間に連続した金属酸化物の第１
の薄膜が形成され、かつ前記混合膜の管中心に近い面で
ある内面に連続した金属酸化物の第２の薄膜が形成され
ている。このため、本発明の蛍光ランプでは、ランプ容
器及び蛍光体が金属酸化物により水銀から隔離され、水
銀吸着による蛍光体の化学的な劣化が防止されている。
また、本発明によれば、水銀の蛍光体及びランプ容器へ
の吸着と拡散及び酸化による水銀の消費が防止される。In the fluorescent lamp of the present invention, the first metal oxide continuous between the inner surface of the lamp vessel and the mixed film is formed.
Is formed, and a continuous second thin film of metal oxide is formed on the inner surface of the mixed film, which is a surface close to the tube center. Therefore, in the fluorescent lamp of the present invention, the lamp container and the phosphor are isolated from mercury by the metal oxide, and chemical deterioration of the phosphor due to adsorption of mercury is prevented.
Further, according to the present invention, consumption of mercury due to adsorption and diffusion of mercury to the phosphor and the lamp container and oxidation is prevented.
【００１３】本発明の蛍光ランプでは、前記金属酸化物
が波長２５４ｎｍの光を透過する物質からなる。このた
め、本発明の蛍光ランプでは、水銀の励起波長２５４ｎ
ｍの光が蛍光体にほぼ確実に到達して、蛍光体を発光さ
せる。In the fluorescent lamp of the present invention, the metal oxide is made of a substance that transmits light having a wavelength of 254 nm. Therefore, in the fluorescent lamp of the present invention, the excitation wavelength of mercury is 254n.
The light of m almost certainly reaches the phosphor and causes the phosphor to emit light.
【００１４】本発明の蛍光ランプでは、前記金属酸化物
が二酸化硅素、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸
化ジルコニウム、酸化バナジウム、酸化ニオブ及び酸化
イットリウムの群から選ばれた少なくとも一種から構成
されている。このため、本発明の蛍光ランプでは、水銀
との化学的親和力の低い元素を構成物質とする金属酸化
物を用いて、水銀との化学反応が防止されている。In the fluorescent lamp of the present invention, the metal oxide is composed of at least one selected from the group consisting of silicon dioxide, aluminum oxide, hafnium oxide, zirconium oxide, vanadium oxide, niobium oxide and yttrium oxide. Therefore, in the fluorescent lamp of the present invention, the chemical reaction with mercury is prevented by using the metal oxide whose constituent material is an element having a low chemical affinity with mercury.
【００１５】本発明の蛍光ランプでは、前記金属酸化物
が波長１８５ｎｍ付近の光を５０％以上遮断する物質か
ら構成されている。このため、本発明によれば、蛍光ラ
ンプの蛍光体の劣化が防止されている。In the fluorescent lamp of the present invention, the metal oxide is composed of a substance that blocks 50% or more of light near a wavelength of 185 nm. Therefore, according to the present invention, deterioration of the fluorescent material of the fluorescent lamp is prevented.
【００１６】本発明の蛍光ランプは、前記混合膜が酸化
防止剤を有している。このため、本発明によれば、蛍光
ランプ内の酸化水銀の発生を抑制することができる。In the fluorescent lamp of the present invention, the mixed film has an antioxidant. Therefore, according to the present invention, generation of mercury oxide in the fluorescent lamp can be suppressed.
【００１７】本発明の蛍光ランプは、前記混合膜が不純
物としてリンまたはボロンを有している。このため、本
発明によれば、ガラス容器のナトリウムの移動を禁止し
て、水銀とナトリウムとの反応を抑制することができ
る。In the fluorescent lamp of the present invention, the mixed film has phosphorus or boron as an impurity. Therefore, according to the present invention, it is possible to inhibit the movement of sodium in the glass container and suppress the reaction between mercury and sodium.
【００１８】本発明の蛍光ランプの製造方法は、蛍光体
材料をランプ容器の内面に塗布し、乾燥して蛍光体層を
形成する工程と、金属アルコキシド溶液を前記蛍光体層
の内面に塗布し、加水分解させる工程と、前記蛍光体層
を加熱し、前記蛍光体層の蛍光体の粒子間に橋掛け状の
金属酸化物からなる連結体を有する混合膜を形成する工
程と、を有する。このように、本発明の製造方法による
蛍光ランプは、蛍光体が金属酸化物により強固に連結さ
れ、水銀がガラス容器から隔離されるため、ランプ容器
内の水銀の消費は抑制される。The method of manufacturing a fluorescent lamp of the present invention comprises the steps of applying a phosphor material to the inner surface of a lamp container and drying it to form a phosphor layer, and applying a metal alkoxide solution to the inner surface of the phosphor layer. A step of hydrolyzing, and a step of heating the phosphor layer to form a mixed film having a linking body made of a bridge-shaped metal oxide between particles of the phosphor of the phosphor layer. As described above, in the fluorescent lamp according to the manufacturing method of the present invention, the phosphor is strongly connected by the metal oxide and the mercury is isolated from the glass container, so that the consumption of mercury in the lamp container is suppressed.
【００１９】また、本発明の蛍光ランプの製造方法は、
蛍光体材料をランプ容器の内面に塗布し、乾燥して蛍光
体層を形成する工程と、金属アルコキシド溶液を前記蛍
光体層の内面に塗布し、加水分解させる工程と、前記蛍
光体層を加熱し、前記蛍光体層の蛍光体の粒子間に橋掛
け状の金属酸化物からなる連結体を有する混合膜を形成
し、且つ前記蛍光体層を浸透した金属アルコキシド溶液
が前記ランプ容器内面と前記混合膜との間に連続した金
属酸化物からなる第１の薄膜を形成する工程と、を有す
る。このように、本発明の製造方法による蛍光ランプ
は、ランプ容器が金属酸化物により水銀から隔離される
ため、ランプ容器内に封入された水銀の消費は抑制され
る。The method of manufacturing the fluorescent lamp of the present invention is
Applying a phosphor material to the inner surface of the lamp container and drying it to form a phosphor layer; applying a metal alkoxide solution to the inner surface of the phosphor layer and hydrolyzing it; and heating the phosphor layer. Then, a mixed film having a linking body made of a bridge-shaped metal oxide is formed between the particles of the phosphor of the phosphor layer, and the metal alkoxide solution that permeates the phosphor layer is the inner surface of the lamp container and the And a step of forming a continuous first thin film of metal oxide between the mixed film and the mixed film. As described above, in the fluorescent lamp according to the manufacturing method of the present invention, the lamp container is separated from the mercury by the metal oxide, so that the consumption of the mercury enclosed in the lamp container is suppressed.
【００２０】また、本発明の蛍光ランプの製造方法は、
蛍光体材料をランプ容器の内面に塗布し、乾燥して蛍光
体層を形成する工程と、金属アルコキシド溶液を前記蛍
光体層の内面に塗布し、加水分解させる工程と、前記蛍
光体層を加熱し、前期蛍光体層の内面に金属酸化物から
なる第２の薄膜を形成し、且つ前記蛍光体層の蛍光体の
粒子間に橋掛け状の金属酸化物からなる連結体を有する
混合膜を形成する工程と、を有する。このように、本発
明の製造方法による蛍光ランプは、蛍光体が金属酸化物
により水銀から隔離されるため、水銀吸着による蛍光体
の化学的な劣化が抑制され、また水銀の蛍光体への吸着
及び酸化による消費が抑制される。The method of manufacturing the fluorescent lamp of the present invention is
Applying a phosphor material to the inner surface of the lamp container and drying it to form a phosphor layer; applying a metal alkoxide solution to the inner surface of the phosphor layer and hydrolyzing it; and heating the phosphor layer. Then, the second thin film made of a metal oxide is formed on the inner surface of the phosphor layer, and a mixed film having a connecting body made of a bridged metal oxide between the particles of the phosphor of the phosphor layer is formed. And a forming step. As described above, in the fluorescent lamp according to the manufacturing method of the present invention, since the phosphor is separated from mercury by the metal oxide, the chemical deterioration of the phosphor due to the adsorption of mercury is suppressed, and the adsorption of mercury to the phosphor is suppressed. Also, consumption due to oxidation is suppressed.
【００２１】また、本発明の蛍光ランプの製造方法は、
蛍光体材料をランプ容器の内面に塗布し、乾燥して蛍光
体層を形成する工程と、金属アルコキシド溶液を前記蛍
光体層の内面に塗布し、加水分解させる工程と、前記蛍
光体層を加熱し、前期蛍光体層の内面に金属酸化物から
なる第２の薄膜を形成し、前記蛍光体層の蛍光体の粒子
間に橋掛け状の金属酸化物からなる連結体を有する混合
膜を形成し、且つ前記蛍光体層を浸透した金属アルコキ
シド溶液が前記ランプ容器内面と前記混合膜との間に連
続した金属酸化物の第１の薄膜を形成する工程と、を有
する。このように、本発明の製造方法による蛍光ランプ
は、ランプ容器及び蛍光体が金属酸化物により水銀から
隔離されるため、水銀吸着による蛍光体層の化学的な劣
化が抑制され、また水銀の蛍光体及びランプ容器への吸
着とと酸化、及び拡散による消費が抑制される。The method of manufacturing the fluorescent lamp of the present invention is
Applying a phosphor material to the inner surface of the lamp container and drying it to form a phosphor layer; applying a metal alkoxide solution to the inner surface of the phosphor layer and hydrolyzing it; and heating the phosphor layer. Then, a second thin film made of a metal oxide is formed on the inner surface of the phosphor layer, and a mixed film having a connecting body made of a bridge-shaped metal oxide is formed between particles of the phosphor of the phosphor layer. And forming a continuous first thin film of metal oxide between the inner surface of the lamp vessel and the mixed film with the metal alkoxide solution that has permeated the phosphor layer. As described above, in the fluorescent lamp according to the manufacturing method of the present invention, since the lamp container and the phosphor are separated from mercury by the metal oxide, the chemical deterioration of the phosphor layer due to the adsorption of mercury is suppressed, and the fluorescence of mercury is suppressed. Consumption by adsorption and oxidation on the body and lamp vessel, and consumption by diffusion are suppressed.
【００２２】また、本発明の蛍光ランプの製造方法は、
前記金属アルコキシド溶液により形成される金属酸化物
が二酸化硅素、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸
化ジルコニウム、酸化バナジウム、酸化ニオブ及び酸化
イットリウムの群から選ばれた少なくとも一種から構成
されている。このため、本発明による蛍光ランプは、水
銀との化学的親和力の低い元素を構成物質とする金属酸
化物を用いて、水銀との化学反応が防止されている。The method of manufacturing the fluorescent lamp of the present invention is
The metal oxide formed by the metal alkoxide solution is composed of at least one selected from the group consisting of silicon dioxide, aluminum oxide, hafnium oxide, zirconium oxide, vanadium oxide, niobium oxide and yttrium oxide. Therefore, in the fluorescent lamp according to the present invention, the chemical reaction with mercury is prevented by using the metal oxide whose constituent substance is an element having a low chemical affinity with mercury.
【００２３】本発明の蛍光ランプの製造方法の別の例
（version）では、前記金属アルコキシド溶液の代わり
に、金属硝酸塩、金属硫酸塩、金属カルボン酸塩、金属
β−ジケトナート錯体を用いている。このため、本発明
による蛍光ランプは、水銀との化学的親和力の低い元素
を構成物質とする金属酸化物を用いて、水銀との化学反
応が防止されている。In another version of the method for producing a fluorescent lamp of the present invention, a metal nitrate, a metal sulfate, a metal carboxylate or a metal β-diketonate complex is used in place of the metal alkoxide solution. Therefore, in the fluorescent lamp according to the present invention, the chemical reaction with mercury is prevented by using the metal oxide whose constituent substance is an element having a low chemical affinity with mercury.
【００２４】本発明の蛍光ランプの製造方法のさらなる
例（version）では、前記金属酸化物の第１の薄膜、第
２の薄膜及び連結体が、波長２５４ｎｍの光を透過する
金属化合物で構成されている。このため、本発明による
蛍光ランプは、水銀の励起波長２５４ｎｍの光が蛍光体
に確実に到達して、蛍光体を発光させる。In a further version of the method for manufacturing a fluorescent lamp of the present invention, the first thin film, the second thin film, and the connecting body of the metal oxide are composed of a metal compound which transmits light having a wavelength of 254 nm. ing. Therefore, in the fluorescent lamp according to the present invention, the light having the excitation wavelength of 254 nm of mercury surely reaches the phosphor and causes the phosphor to emit light.
【００２５】本発明の蛍光ランプの製造方法のさらなる
例（version）では、前記金属アルコキシド溶液に酸化
防止剤を添加している。このため、本発明による蛍光ラ
ンプは、蛍光ランプ内の酸化水銀の発生が抑制されてい
る。In a further version of the method of manufacturing the fluorescent lamp of the present invention, an antioxidant is added to the metal alkoxide solution. Therefore, in the fluorescent lamp according to the present invention, generation of mercury oxide in the fluorescent lamp is suppressed.
【００２６】本発明の蛍光ランプの製造方法のさらなる
例（version）では、前記金属アルコキシド溶液に不純
物としてリンまたはボロンを添加している。このため、
本発明による蛍光ランプは、ガラス容器のナトリウムの
移動を禁止して、水銀とナトリウムとの反応が抑制され
ている。In a further version of the method for manufacturing a fluorescent lamp of the present invention, phosphorus or boron is added as an impurity to the metal alkoxide solution. For this reason,
The fluorescent lamp according to the present invention inhibits the movement of sodium in the glass container and suppresses the reaction between mercury and sodium.
【００２７】本発明の蛍光ランプの製造方法のさらなる
例（version）では、前記蛍光体材料に金属アルコキシ
ド溶液を予め混合して、ランプ容器上に混合膜を形成す
ることもできる。In a further version of the method for manufacturing a fluorescent lamp of the present invention, the phosphor material may be premixed with a metal alkoxide solution to form a mixed film on the lamp vessel.
【００２８】[0028]
【実施例】以下、本発明の蛍光ランプの好適な実施例に
ついて、図面を用いて説明する。図１は、本発明の好適
な実施例である蛍光ランプを一部破断して示した側面断
面図であり、その一部を拡大して示している。図１の拡
大図に示されている各層は理想化して平坦に描いてい
る。図１に示すように、本実施例の蛍光ランプは、ラン
プ容器となる直管形状のガラスバルブ２と、このガラス
バルブ２の両端に設けられた電極１とを有している。ガ
ラスバルブ２の内面には蛍光体を有する混合膜３が形成
されている。また、ガラスバルブ２内には、希ガスとと
もに水銀が封入されている。なお、本実施例の蛍光ラン
プは、高負荷でなく低負荷の直管形状の蛍光ランプや環
形状の蛍光ランプであり、負荷０．３５Ｗ／ｃｍと同程
度のものを用いた。Preferred embodiments of the fluorescent lamp of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a side cross-sectional view showing a fluorescent lamp which is a preferred embodiment of the present invention with a part thereof cut away, and a part thereof is shown enlarged. The layers shown in the enlarged view of FIG. 1 are idealized and drawn flat. As shown in FIG. 1, the fluorescent lamp of the present embodiment has a straight tube-shaped glass bulb 2 serving as a lamp vessel, and electrodes 1 provided at both ends of the glass bulb 2. A mixed film 3 having a phosphor is formed on the inner surface of the glass bulb 2. Further, mercury is enclosed in the glass bulb 2 together with the rare gas. The fluorescent lamp of the present embodiment is a straight tube fluorescent lamp or a ring fluorescent lamp with a low load instead of a high load, and a fluorescent lamp with a load of about 0.35 W / cm is used.
【００２９】図２は、本実施例の蛍光ランプにおける蛍
光体を有する混合膜３等を拡大して示した断面図であ
る。図２に示すように、混合膜３には、蛍光体粒子７間
の隙間を埋めるように、ガラス化した化学的に安定な金
属酸化物、本実施例では酸化イットリウムからなる連結
体６が形成されている。また、ガラスバルブ２と混合膜
３との間には、ガラスバルブ２の内面を被覆するよう
に、前記連結体６と同じ金属酸化物である酸化イットリ
ウムからなる第１の薄膜４が形成されている。さらに、
混合膜３の内面（図２における上面）は、前記連結体６
と同じ金属酸化物である酸化イットリウムからなる第２
の薄膜５により被覆されている。ガラス化した上記金属
酸化物は、酸化イットリウムにより形成されているた
め、水銀の励起波長である２５４ｎｍの光を透過する。
このため、混合膜３内の蛍光体粒子７は、水銀の励起波
長である２５４ｎｍの光を受けて発光する。なお、発明
者らは本実施例の蛍光ランプにおける前述の混合膜３の
連結体６、第１の薄膜４及び第２の薄膜５について、Ｓ
ＥＭ（走査型電子顕微鏡）及びＸＭＡ（Ｘ線マイクロア
ナライザー）等の分析装置によりその存在を確認した。
上記実施例においては、金属酸化物として酸化イットリ
ウムを用いたが、その他に二酸化硅素、酸化アルミニウ
ム、酸化ハフニウム、酸化ジルコニウム、酸化バナジウ
ム及び酸化ニオブを用いても同様の結果が得られた。FIG. 2 is an enlarged sectional view showing the mixed film 3 having a phosphor in the fluorescent lamp of this embodiment. As shown in FIG. 2, in the mixed film 3, a coupling body 6 made of vitrified and chemically stable metal oxide, yttrium oxide in this embodiment, is formed so as to fill the gaps between the phosphor particles 7. Has been done. Further, a first thin film 4 made of yttrium oxide, which is the same metal oxide as that of the connecting body 6, is formed between the glass bulb 2 and the mixed film 3 so as to cover the inner surface of the glass bulb 2. There is. further,
The inner surface (upper surface in FIG. 2) of the mixed film 3 is the connecting member 6
Second composed of yttrium oxide, which is the same metal oxide as
Is covered with a thin film 5 of. Since the vitrified metal oxide is formed of yttrium oxide, it transmits light of 254 nm which is the excitation wavelength of mercury.
Therefore, the phosphor particles 7 in the mixed film 3 emit light upon receiving light of 254 nm which is the excitation wavelength of mercury. In addition, the inventors of the present invention described the S6 of the coupling film 6 of the mixed film 3, the first thin film 4 and the second thin film 5 in the fluorescent lamp.
Its existence was confirmed by an analyzer such as EM (scanning electron microscope) and XMA (X-ray microanalyzer).
Although yttrium oxide was used as the metal oxide in the above examples, similar results were obtained using silicon dioxide, aluminum oxide, hafnium oxide, zirconium oxide, vanadium oxide and niobium oxide.
【００３０】次に、本実施例において、第１の薄膜４、
第２の薄膜５及び連結体６に用いた金属酸化物の光の透
過率について説明する。図３から図９は、上記各種の金
属酸化物の膜体（厚み約０．５μｍ）における紫外光の
透過率を示すグラフである。図３は二酸化硅素（ＳｉＯ
2）、図４は酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）、図５は酸
化ハフニウム（ＨｆＯ2）の場合におけるそれぞれの透
過率を示している。図３から図５に示すように、これら
の金属酸化物による膜体は水銀の励起波長である２５４
ｎｍの光をほぼ１００％透過する。このため、二酸化硅
素、酸化アルミニウム又は酸化ハフニウムにより形成さ
れた第１の薄膜４、第２の薄膜５及び連結体６は、蛍光
体粒子７の発光に対して悪影響を及ぼさない。Next, in this embodiment, the first thin film 4,
The light transmittance of the metal oxide used for the second thin film 5 and the connector 6 will be described. 3 to 9 are graphs showing the transmittance of ultraviolet light in the above-mentioned various metal oxide film bodies (thickness: about 0.5 μm). Figure 3 shows silicon dioxide (SiO 2
2 ), FIG. 4 shows the transmittance of aluminum oxide (Al 2 O 3 ), and FIG. 5 shows the transmittance of hafnium oxide (HfO 2 ). As shown in FIGS. 3 to 5, the film body made of these metal oxides has a wavelength of 254 which is the excitation wavelength of mercury.
Almost 100% of nm light is transmitted. Therefore, the first thin film 4, the second thin film 5, and the connector 6 formed of silicon dioxide, aluminum oxide, or hafnium oxide do not adversely affect the light emission of the phosphor particles 7.
【００３１】図６は酸化ジルコニウム（ＺｒＯ2）、図
７は酸化バナジウム（Ｖ2Ｏ5）、図８は酸化ニオブ（Ｎ
ｂ2Ｏ5）、図９は酸化イットリウム（Ｙ2Ｏ3）の場合に
おけるそれぞれの透過率を示している。図６に示すよう
に、酸化ジルコニウムは水銀の励起波長である２５４ｎ
ｍの光をほぼ９５％透過する。このため、酸化ジルコニ
ウムにより形成された第１の薄膜４、第２の薄膜５及び
連結体６は、蛍光体粒子７の発光に対して悪影響を及ぼ
さない。なお、酸化ジルコニウムの膜体は、波長が２０
０ｎｍ以下の光に対して透過率が低く、８０％以上の遮
断作用を有する。FIG. 6 shows zirconium oxide (ZrO 2 ), FIG. 7 shows vanadium oxide (V 2 O 5 ), and FIG. 8 shows niobium oxide (N 2 O 5 ).
b 2 O 5 ), and FIG. 9 shows the respective transmittances in the case of yttrium oxide (Y 2 O 3 ). As shown in FIG. 6, zirconium oxide has a mercury excitation wavelength of 254n.
Almost 95% of light of m is transmitted. Therefore, the first thin film 4, the second thin film 5, and the connector 6 formed of zirconium oxide do not adversely affect the light emission of the phosphor particles 7. The zirconium oxide film has a wavelength of 20.
It has a low transmittance for light of 0 nm or less and has a blocking function of 80% or more.
【００３２】図７から図９に示すように、酸化バナジウ
ム、酸化ニオブ及び酸化イットリウムのそれぞれは、水
銀の励起波長である２５４ｎｍの光をほぼ８５％透過す
る。このため、酸化バナジウム、酸化ニオブ又は酸化イ
ットリウムにより形成された第１の薄膜４、第２の薄膜
５及び連結体６は、蛍光体粒子７の発光に対して悪影響
を及ぼさない。なお、酸化イットリウムの膜体は、波長
が２００ｎｍ以下の光に対して透過率が低く、７０％以
上の遮断作用を有する。As shown in FIGS. 7 to 9, each of vanadium oxide, niobium oxide and yttrium oxide transmits almost 85% of light having a wavelength of 254 nm which is the excitation wavelength of mercury. Therefore, the first thin film 4, the second thin film 5, and the connector 6 formed of vanadium oxide, niobium oxide, or yttrium oxide do not adversely affect the light emission of the phosphor particles 7. The yttrium oxide film has a low transmittance for light having a wavelength of 200 nm or less and a blocking action of 70% or more.
【００３３】次に、本実施例の蛍光ランプにおける水銀
の蛍光体への付着防止作用について図１０を用いて説明
する。図１０は、本実施例の蛍光ランプを一部破断して
示した概念図である。図１０において、電極１から放出
された電子２１（電子２１の動きを矢印ａで示す）は水
銀原子２２を励起する。励起された水銀原子２２（水銀
原子２２の動きを矢印ｂで示す）からの励起波長２５４
ｎｍの紫外光ｃが第２の薄膜５及び連結体６を透過し
て、蛍光体粒子７に衝突する。この蛍光体粒子７がスト
ークスの法則より水銀原子２２の励起波長２５４ｎｍの
光により長波長の可視光を発光して、蛍光ランプは点灯
状態となる。なお、本実施例の第１の薄膜４、第２の薄
膜５及び連結体６が酸化イットリウム又は酸化ジルコニ
ウムにより形成されている場合には、波長１８５ｎｍ付
近の水銀の励起波長の光は実質的に遮断される。このよ
うに、酸化ジルコニウム又は酸化イットリウムにより形
成された第１の薄膜４、第２の薄膜５及び連結体６を有
する蛍光ランプにおいては、蛍光体粒子７を特に劣化さ
せる波長１８５ｎｍの光が金属酸化物により遮断されて
いるため、蛍光体粒子７の劣化が大幅に抑制される。Next, the effect of preventing mercury from adhering to the phosphor in the fluorescent lamp of this embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 10 is a conceptual diagram showing the fluorescent lamp of this embodiment in a partially cutaway manner. In FIG. 10, the electron 21 emitted from the electrode 1 (the movement of the electron 21 is indicated by an arrow a) excites the mercury atom 22. Excitation wavelength 254 from excited mercury atom 22 (movement of mercury atom 22 is shown by arrow b)
The ultraviolet light c of nm passes through the second thin film 5 and the connecting body 6 and collides with the phosphor particles 7. According to Stokes' law, the phosphor particles 7 emit visible light having a long wavelength by the light having the excitation wavelength of 254 nm of the mercury atoms 22, and the fluorescent lamp is turned on. In addition, when the first thin film 4, the second thin film 5 and the coupling body 6 of the present embodiment are formed of yttrium oxide or zirconium oxide, light having an excitation wavelength of mercury near a wavelength of 185 nm is substantially generated. Be cut off. As described above, in the fluorescent lamp having the first thin film 4, the second thin film 5 and the connector 6 formed of zirconium oxide or yttrium oxide, the light having a wavelength of 185 nm that particularly deteriorates the phosphor particles 7 is metal-oxidized. Since it is blocked by the object, the deterioration of the phosphor particles 7 is significantly suppressed.
【００３４】本実施例の混合膜３の内側面は、蛍光体粒
子７を覆うように形成された、ガラス化した平坦な第２
の薄膜５で覆われている。このため、水銀原子２２がブ
ラウン運動により移動しても、混合膜３内の蛍光体粒子
７に衝突することはなく、水銀原子２２が蛍光体粒子７
に吸着して、酸化水銀を作るおそれがない。さらに、本
実施例においては、混合膜３とガラスバルブ２との間に
は第１の薄膜４が形成されているため、水銀原子２２が
ガラスバルブ２まで達するおそれがない。従って、ガラ
スバルブ２に含有されているナトリウム原子２３が水銀
原子２２と反応してアマルガムを生成することがない。
上記のように、本実施例の蛍光ランプは、水銀原子２２
が蛍光体粒子７に吸着して、酸化されることがない。ま
たガラスバルブのナトリウム原子２３と反応することが
ない。これらのため、ガラスバルブ２内の水銀の消費量
を大幅に抑制でき、蛍光ランプの封入水銀量を発光に必
要な最少量にとどめることができる。The inner surface of the mixed film 3 of the present embodiment is a vitrified flat second surface formed so as to cover the phosphor particles 7.
Is covered with a thin film 5 of. Therefore, even if the mercury atoms 22 move by Brownian motion, they do not collide with the phosphor particles 7 in the mixed film 3, and the mercury atoms 22 do not collide.
There is no danger of it being adsorbed on and producing mercury oxide. Further, in this embodiment, since the first thin film 4 is formed between the mixed film 3 and the glass bulb 2, there is no possibility that the mercury atoms 22 reach the glass bulb 2. Therefore, the sodium atom 23 contained in the glass bulb 2 does not react with the mercury atom 22 to generate amalgam.
As described above, the fluorescent lamp of the present embodiment has a mercury atom 22
Is not adsorbed on the phosphor particles 7 and is not oxidized. Further, it does not react with the sodium atom 23 of the glass bulb. For these reasons, the amount of mercury consumed in the glass bulb 2 can be greatly suppressed, and the amount of mercury enclosed in the fluorescent lamp can be kept to the minimum amount required for light emission.
【００３５】次に、本実施例の第１の薄膜４、第２の薄
膜５及び連結体６として用いられる金属酸化物材料にお
ける水銀の侵入状態について図１１を用いて説明する。
図１１は、各種材料における水銀の深さ方向への拡散量
を示すグラフである。図１１において、水銀の拡散量と
して、ＳＩＭＳ（２次イオン質量分析装置）を用いて水
銀イオンのカウント数を測定した。この測定において用
いたランプは、（ａ）ソーダガラスからなるクリアバル
ブのみのランプと、（ｂ）同じクリアバルブの内面上に
酸化アルミニウム膜体を約０．５μｍの厚みで作成した
ランプと、（ｃ）同じクリアバルブの内面上に酸化イッ
トリウム膜体を約０．５μｍの厚みで作成したランプで
ある。これらのランプを２０００時間点灯した後、各ラ
ンプにおける水銀の深さ方向への拡散量を分析した。そ
の結果を図１１に示す。Next, the penetration state of mercury in the metal oxide material used as the first thin film 4, the second thin film 5 and the connector 6 of this embodiment will be described with reference to FIG.
FIG. 11 is a graph showing the diffusion amount of mercury in various materials in the depth direction. In FIG. 11, as the amount of diffusion of mercury, the number of counting mercury ions was measured using SIMS (secondary ion mass spectrometer). The lamps used in this measurement were (a) a lamp having only a clear bulb made of soda glass, and (b) a lamp having an aluminum oxide film body formed on the inner surface of the same clear bulb to a thickness of about 0.5 μm. c) A lamp in which an yttrium oxide film body having a thickness of about 0.5 μm is formed on the inner surface of the same clear bulb. After these lamps were lit for 2000 hours, the amount of diffusion of mercury in each lamp in the depth direction was analyzed. The result is shown in FIG.
【００３６】図１１において、曲線Ａはソーダガラスの
みからなるクリアバルブにおける水銀の拡散曲線を示
し、曲線Ｂはクリアバルブ上の酸化アルミニウム膜体へ
の水銀の拡散曲線を示している。また、曲線Ｃはクリア
バルブ上の酸化イットリウム膜体への水銀の拡散曲線を
示している。なお、図１１において、横軸は深さ（μ
ｍ）を通常の１０進数目盛で示し、縦軸は水銀イオンの
カウント数（個数）を対数目盛で示した。図１１に示す
ように、金属酸化物の膜体を形成したランプは、水銀の
侵入量が極めて少なく、水銀の蛍光体粒子への吸着を防
止する効果を有する。このため、本実施例の金属酸化物
の膜体等を有する蛍光ランプは水銀の消費を抑制するこ
とが実験的に確認された。In FIG. 11, a curve A shows a mercury diffusion curve in a clear valve made of only soda glass, and a curve B shows a mercury diffusion curve into an aluminum oxide film on the clear valve. Curve C shows a diffusion curve of mercury into the yttrium oxide film on the clear valve. In FIG. 11, the horizontal axis represents depth (μ
m) is shown on a normal decimal scale, and the vertical axis shows the count number (number) of mercury ions on a logarithmic scale. As shown in FIG. 11, the lamp in which the metal oxide film body is formed has an extremely small amount of invasion of mercury, and has an effect of preventing adsorption of mercury to the phosphor particles. Therefore, it was experimentally confirmed that the fluorescent lamp having the metal oxide film body of the present example suppresses the consumption of mercury.
【００３７】次に、本実施例の蛍光ランプ内に封入する
水銀の使用量について説明する。以下の説明において、
金属酸化物の膜体として酸化イットリウムを用いた実施
例の蛍光ランプ（直管形状の２０Ｗ；ＦＬ２０ＳＳ・Ｅ
Ｘ−Ｎ／１８）を例にとり、図１２を用いて説明する。
図１２は、蛍光体層のみの蛍光ランプと、金属酸化物と
して酸化イットリウムを用いた蛍光ランプとにおける、
光束と点灯時間との関係を解析したグラフである。従来
の蛍光ランプにおける水銀使用量は直管形状２０Ｗの場
合、約１０ｍｇであるが、この解析において用いた直管
形状２０Ｗの本実施例の蛍光ランプは水銀使用量を０．
５ｍｇときわめて少量に制限した。Next, the amount of mercury used in the fluorescent lamp of this embodiment will be described. In the following explanation,
A fluorescent lamp of the embodiment using yttrium oxide as a metal oxide film body (straight tube type 20W; FL20SS.E).
X-N / 18) will be described as an example with reference to FIG.
FIG. 12 shows a fluorescent lamp having only a phosphor layer and a fluorescent lamp using yttrium oxide as a metal oxide.
It is a graph which analyzed the relationship between luminous flux and lighting time. The amount of mercury used in the conventional fluorescent lamp is about 10 mg in the case of the straight tube shape of 20 W.
Limited to a very small amount of 5 mg.
【００３８】図１２において、曲線Ｄは蛍光体層のみの
比較例の蛍光ランプの光束変化曲線を示し、曲線Ｅは酸
化イットリウムの金属酸化物を有する本実施例の蛍光ラ
ンプの光束変化曲線を示している。図１２のグラフから
明らかなように、蛍光体層のみの蛍光ランプ（曲線Ｄ）
は、約２０００時間で水銀が消失して、点灯しなくなっ
た。これに対して、酸化イットリウムの金属酸化物を有
する蛍光ランプ（曲線Ｅ）は、５０００時間経過した時
点で光束維持率９０％を維持していた。図１２に示した
グラフの結果から、本実施例の蛍光ランプは金属酸化物
を有する混合膜３や、金属酸化物からなる第１の薄膜４
及び第２の薄膜５を有している。このため、本実施例の
蛍光ランプは水銀使用量を大幅に削減する効果があるこ
とが確認された。In FIG. 12, a curve D shows the luminous flux change curve of the fluorescent lamp of the comparative example having only the phosphor layer, and a curve E shows the luminous flux change curve of the fluorescent lamp of this embodiment having the metal oxide of yttrium oxide. ing. As is clear from the graph of FIG. 12, a fluorescent lamp having only a phosphor layer (curve D)
In about 2000 hours, mercury disappeared and it stopped lighting. On the other hand, the fluorescent lamp having the metal oxide of yttrium oxide (curve E) maintained the luminous flux maintenance factor of 90% after 5000 hours. From the results of the graph shown in FIG. 12, in the fluorescent lamp of the present embodiment, the mixed film 3 containing metal oxide and the first thin film 4 made of metal oxide.
And a second thin film 5. Therefore, it was confirmed that the fluorescent lamp of this example has an effect of significantly reducing the amount of mercury used.
【００３９】次に、蛍光ランプ内に封入される水銀の消
費量について説明する。蛍光ランプ内の水銀消費量を計
測するために、非破壊で蛍光ランプ中の水銀量を定量分
析できるカタホレシス法（Cataphoresis-analysis）を
用いた。図１３は水銀の消費量と点灯時間との関係を解
析したグラフである。この解析において用いた蛍光ラン
プは、直管形状の２０Ｗの蛍光ランプ（ＦＬ２０ＳＳ・
ＥＸ−Ｎ／１８）に３．０ｍｇの水銀を封入した。図１
３において、曲線Ｆは蛍光体層のみの蛍光ランプの水銀
消費曲線を示し、曲線Ｇは酸化イットリウムの金属酸化
物を有する蛍光ランプの水銀消費曲線を示している。図
１３のグラフから明らかなように、金属酸化物を有する
蛍光ランプは蛍光体層のみの蛍光ランプに比べて水銀消
費量が極めて少ない。図１３のグラフから、金属酸化物
を有する蛍光ランプは、蛍光体層のみの蛍光ランプに比
べて、５０００時間点灯時において約６５％の水銀消費
量が低減できることが理解できる。Next, the consumption of mercury enclosed in the fluorescent lamp will be described. In order to measure the mercury consumption in fluorescent lamps, we used the cataphoresis method (Cataphoresis-analysis), which allows non-destructive quantitative analysis of mercury in fluorescent lamps. FIG. 13 is a graph that analyzes the relationship between the amount of mercury consumed and the lighting time. The fluorescent lamp used in this analysis is a straight tube-shaped 20 W fluorescent lamp (FL20SS.
EX-N / 18) was filled with 3.0 mg of mercury. Figure 1
3, the curve F shows the mercury consumption curve of the fluorescent lamp having only the phosphor layer, and the curve G shows the mercury consumption curve of the fluorescent lamp having the metal oxide of yttrium oxide. As is clear from the graph of FIG. 13, the fluorescent lamp having the metal oxide consumes much less mercury than the fluorescent lamp having only the phosphor layer. From the graph of FIG. 13, it can be understood that the fluorescent lamp having the metal oxide can reduce the mercury consumption by about 65% at the time of lighting for 5000 hours, as compared with the fluorescent lamp having only the phosphor layer.
【００４０】次に、本発明の蛍光ランプの製造方法につ
いて、図１４に示すフローチャートに従って説明する。
ステップ１において、蛍光体材料、例えば三波長域発光
形の発光体材料を調合する。次に、この蛍光体材料をガ
ラスバルブ２の内面に塗布し、乾燥して、蛍光体層を形
成する（ステップ２）。その後、ステップ３において、
前記蛍光体層の上に金属アルコキシド、例えばイットリ
ウムイソプロポキシドを酢酸ブチルに溶解して、塗布
し、約１００℃で約１５分間乾燥するとともに、金属ア
ルコキシドを加水分解させる。さらに、金属アルコキシ
ドの重合反応が進むにつれてアルコールが発生するた
め、このアルコールを気化除去する。その後、ステップ
４において、前記蛍光体層をシンター炉で適時加熱処理
（約５００℃、約２分間）を施し、混合膜３、第１の薄
膜４及び第２の薄膜５を形成する。以降、通常のとおり
の次のステップからなる蛍光ランプの製造方法を経て、
本実施例の蛍光ランプが製造される：すなわちガラスバ
ルブを排気処理し（ステップ５）、そのガラスバルブ中
に希ガス及び水銀を封入し（ステップ６）、ガラスバル
ブを封止する（ステップ７）の各工程である。Next, a method of manufacturing the fluorescent lamp of the present invention will be described with reference to the flow chart shown in FIG.
In step 1, a phosphor material, for example, a three-wavelength band emission type phosphor material is prepared. Next, this phosphor material is applied to the inner surface of the glass bulb 2 and dried to form a phosphor layer (step 2). Then in step 3,
On the phosphor layer, a metal alkoxide, for example, yttrium isopropoxide is dissolved in butyl acetate, applied, dried at about 100 ° C. for about 15 minutes, and hydrolyzed. Further, since alcohol is generated as the polymerization reaction of the metal alkoxide progresses, this alcohol is vaporized and removed. Then, in step 4, the phosphor layer is heat-treated (about 500 ° C., about 2 minutes) in a sintering furnace at appropriate times to form the mixed film 3, the first thin film 4, and the second thin film 5. After that, through the manufacturing method of the fluorescent lamp which consists of the next step as usual,
The fluorescent lamp of this example is manufactured: the glass bulb is evacuated (step 5), the rare gas and mercury are enclosed in the glass bulb (step 6), and the glass bulb is sealed (step 7). Of each step.
【００４１】上記製造方法においては、蛍光体材料によ
り蛍光体層を形成した後、金属化合物を塗布したが、本
発明の蛍光ランプの製造方法は上記製造方法に限定する
ものではない。即ち、金属化合物と蛍光体材料とを予め
混合して、ガラスバルブ内面に混合膜３を形成すること
も可能である。ただし、金属化合物と蛍光体材料とを予
め混合して混合膜を形成する場合には、上記製造方法に
おけるステップ３及びステップ４は不要となり、ステッ
プ１における乾燥時間及び温度の設定変更が必要であ
る。本実施例の金属アルコキシドの金属化合物は、金属
酸化物からなる膜体等の分子構造が低分子構造の酸化物
（ＭＯx）でなく、高分子構造の酸化物（Ｍ−Ｏ−Ｍ−
Ｏ−・・・）が得られる金属アルコキシドを用いて、強
固な膜体等を形成している。In the above manufacturing method, the phosphor layer is formed of the phosphor material and then the metal compound is applied, but the manufacturing method of the fluorescent lamp of the present invention is not limited to the above manufacturing method. That is, it is possible to previously mix the metal compound and the phosphor material to form the mixed film 3 on the inner surface of the glass bulb. However, when the mixed film is formed by previously mixing the metal compound and the phosphor material, steps 3 and 4 in the above manufacturing method are not necessary, and it is necessary to change the setting of the drying time and the temperature in step 1. . The metal compound of the metal alkoxide of the present example is not a low molecular weight oxide (MO x ), such as a metal oxide film body, but a high molecular weight oxide (MOMM).
A strong film body or the like is formed by using a metal alkoxide from which O -...
【００４２】金属酸化物の膜体の一例として、金属元素
をイットリウム（Ｙ）としたときのイットリウムイソプ
ロポポキシドを例にとり、蛍光体粒子間等に形成される
金属酸化物の生成プロセスを金属アルコキシドの化学反
応の流れに基づいて示すと、次のとおりとなる。As an example of the metal oxide film body, yttrium isopropoxide where yttrium (Y) is used as the metal element is taken as an example, and a process for producing a metal oxide formed between phosphor particles is performed by a metal alkoxide. It is as follows based on the flow of the chemical reaction.
【００４３】[0043]
【化１】 [Chemical 1]
【００４４】イットリウムイソプロポポキシドは、加水
分解によりイットリウムイソプロポポキシドのイソプロ
ピル基（−ＯＣ3Ｈ7）が水酸基（−ＯＨ）に置換され、
プロパノールが生成される。このイットリウム化合物が
さらに脱水して重合する。この反応を繰り返し、約５０
０℃のアニール処理を行うことにより、酸化イットリウ
ム（Ｙ2Ｏ3）の連続した金属酸化物が形成される。な
お、本発明の製造方法は、アルキル基に代表されるよう
な有機金属化合物を出発材料としても酸化イットリウム
（Ｙ2Ｏ3）の連続した金属酸化物の膜体等が形成され
る。その一般的な化学反応を次に示す。Yttrium isopropoxide is hydrolyzed to replace the isopropyl group (-OC 3 H 7 ) of yttrium isopropoxide with a hydroxyl group (-OH).
Propanol is produced. This yttrium compound is further dehydrated and polymerized. Repeat this reaction for about 50
By performing the annealing treatment at 0 ° C., a continuous metal oxide of yttrium oxide (Y 2 O 3 ) is formed. In the production method of the present invention, a film body of a metal oxide in which yttrium oxide (Y 2 O 3 ) is continuous is formed even when an organometallic compound represented by an alkyl group is used as a starting material. The general chemical reaction is shown below.
【００４５】[0045]
【化２】 [Chemical 2]
【００４６】金属酸化物の膜体の他の一例として、金属
元素をシリコン（Ｓｉ）としたときのテトラエトキシシ
ラン（ＴＥＯＳ）を例にとり、蛍光体粒子間等に形成さ
れる金属酸化物の生成プロセスを金属アルコキシドの化
学反応の流れに基づいて示す次のとおりとなる。As another example of the metal oxide film body, taking tetraethoxysilane (TEOS) when the metal element is silicon (Si) as an example, formation of the metal oxide formed between the phosphor particles and the like. The process is shown below based on the flow of chemical reaction of metal alkoxide.
【００４７】[0047]
【化３】 [Chemical 3]
【００４８】テトラエトキシシランは、加水分解により
テトラエトキシシランのエトキシ基（−ＯＣ2Ｈ5）が水
酸基（−ＯＨ）に置換され、シラノールへと変化して、
エタノールが生成される。シラノールがさらに脱水して
重合する。この反応を繰り返し、約５００℃のアニール
処理を行うことでＳｉＯ2の強固な金属酸化物の膜体等
が形成される。In tetraethoxysilane, the ethoxy group (-OC 2 H 5 ) of tetraethoxysilane is replaced with a hydroxyl group (-OH) by hydrolysis, and it is converted to silanol.
Ethanol is produced. The silanol is further dehydrated and polymerized. By repeating this reaction and performing an annealing treatment at about 500 ° C., a film body of a metal oxide having strong SiO 2 is formed.
【００４９】さらに、本発明の蛍光ランプの製造方法で
は、金属酸化物を形成するための出発材料を金属硝酸
塩、金属硫酸塩、金属カルボン酸塩、金属β−ジケトナ
ート錯体などの無機金属化合物及び有機金属化合物を用
いることができる。このような金属化合物を用いた場合
には、加水分解反応過程を経ずに熱分解反応により有機
金属化合物が酸化され、最終生成物として前述の金属酸
化物と同様の膜体等が形成されることが確認された。Further, in the method for producing a fluorescent lamp of the present invention, the starting material for forming the metal oxide is an inorganic metal compound such as a metal nitrate, a metal sulfate, a metal carboxylate, a metal β-diketonate complex or an organic compound. Metal compounds can be used. When such a metal compound is used, the organometallic compound is oxidized by a thermal decomposition reaction without going through a hydrolysis reaction process, and a film body similar to the above metal oxide is formed as a final product. It was confirmed.
【００５０】なお、前述のいずれの無機金属化合物及び
有機金属化合物についても、熱分解反応と酸化反応を経
て膜体等を作成するためには、３００℃〜８００℃の範
囲の温度でアニール処理することが好ましい。この温度
範囲は示差熱分析により確認した。In order to form a film body or the like through the thermal decomposition reaction and the oxidation reaction, any of the above-mentioned inorganic metal compounds and organic metal compounds is annealed at a temperature in the range of 300 ° C to 800 ° C. It is preferable. This temperature range was confirmed by differential thermal analysis.
【００５１】なお、前述の実施例では、ランプ容器内に
少なくとも一対の電極を有する場合について説明した
が、本発明の蛍光ランプは無電極の蛍光ランプについて
も実施することができる。In the above-mentioned embodiment, the case where at least one pair of electrodes is provided in the lamp container has been described, but the fluorescent lamp of the present invention can be applied to an electrodeless fluorescent lamp.
【００５２】また、本発明の蛍光ランプにおいては、前
述の酸化イットリウム及び二酸化珪素の他に次の金属酸
化物も同様に用い得る。その例を示せば、酸化アルミニ
ウム、酸化ハフニウム、酸化ジルコニウム、酸化バナジ
ウム及び酸化ニオブの単体、またはそれらの中から選ば
れた二種以上からなるものを用いた場合である。この場
合も前述の酸化イットリウム及び二酸化珪素と同様に実
施することができる。In addition, in the fluorescent lamp of the present invention, the following metal oxides can be similarly used in addition to the above-mentioned yttrium oxide and silicon dioxide. For example, aluminum oxide, hafnium oxide, zirconium oxide, vanadium oxide, and niobium oxide may be used alone, or two or more selected from them may be used. Also in this case, it can be carried out in the same manner as the above-mentioned yttrium oxide and silicon dioxide.
【００５３】なお、本発明の蛍光ランプでは、金属アル
コキシド溶液に酸化防止剤を添加して、混合膜を形成す
ることにより、水銀の酸化を防止し、蛍光ランプ内に酸
化水銀の発生を抑制することができる。また、本発明の
蛍光ランプは、金属アルコキシド溶液に不純物としてリ
ンまたはボロンを添加して、混合膜を形成することによ
り、ガラスバルブからのナトリウムの移動を禁止し、ナ
トリウムと水銀との反応を確実に抑制することができ
る。また、前記金属アルコキシド溶液の代わりに、金属
硝酸塩、金属硫酸塩、金属カルボン酸塩、金属β−ジケ
トナート錯体を用いて、酸化防止剤及び、リン又はボタ
ンを添加しても前述の効果と同様の効果を有する。In the fluorescent lamp of the present invention, an antioxidant is added to the metal alkoxide solution to form a mixed film, thereby preventing the oxidation of mercury and suppressing the generation of mercury oxide in the fluorescent lamp. be able to. Further, in the fluorescent lamp of the present invention, by adding phosphorus or boron as an impurity to the metal alkoxide solution to form a mixed film, the movement of sodium from the glass bulb is prohibited, and the reaction between sodium and mercury is ensured. Can be suppressed. Further, in place of the metal alkoxide solution, a metal nitrate, a metal sulfate, a metal carboxylate, a metal β-diketonate complex is used, and an antioxidant and phosphorus or buttons are added, the same effect as described above. Have an effect.
【００５４】また、本発明の蛍光ランプの技術は、通常
のスタータ型蛍光ランプに適用できることはもちろんの
こと、導電性膜を有するラピッドスタータ型蛍光ランプ
にも適用することができる。Further, the technique of the fluorescent lamp of the present invention can be applied not only to a normal starter type fluorescent lamp but also to a rapid starter type fluorescent lamp having a conductive film.
【００５５】[0055]
【発明の効果】以上のように、本発明の蛍光ランプによ
れば、ランプ容器の内面に励起波長２５４ｎｍの光を透
過する連結体と蛍光体とを有する混合膜を形成すること
により、蛍光体に対する水銀の吸着を防止することがで
きる。またそれにより蛍光ランプ内に封入すべき水銀量
を発光に必要な最低量に抑えることができる。このた
め、本発明によれば、環境保護の観点から問題となって
いる水銀の使用量を著しく低減することが可能となり、
安全性の高い蛍光ランプを提供することができる。As described above, according to the fluorescent lamp of the present invention, the fluorescent substance is formed by forming the mixed film having the coupling substance and the fluorescent substance which transmits the light having the excitation wavelength of 254 nm on the inner surface of the lamp container. It is possible to prevent the adsorption of mercury on the. Further, by doing so, the amount of mercury to be sealed in the fluorescent lamp can be suppressed to the minimum amount required for light emission. Therefore, according to the present invention, it is possible to significantly reduce the amount of mercury used, which is a problem from the viewpoint of environmental protection,
A highly safe fluorescent lamp can be provided.
【００５６】また、本発明の蛍光ランプは、ガラス容器
と混合膜との間に第１の薄膜を形成し、混合膜の管中心
に近い面である内面に第２の薄膜を形成した。このた
め、ガラス容器内に封入された水銀がガラス容器及び蛍
光体から確実に隔離され、水銀のガラス容器及び蛍光体
への拡散、吸着等が防止され、水銀の消費量が大幅に低
減される。この結果、本発明によれば、無駄な水銀の使
用をなくすことができ、公害上問題となっている水銀の
使用量を著しく低減することが可能となる。Further, in the fluorescent lamp of the present invention, the first thin film was formed between the glass container and the mixed film, and the second thin film was formed on the inner surface of the mixed film, which was close to the tube center. For this reason, the mercury enclosed in the glass container is reliably separated from the glass container and the phosphor, the diffusion and adsorption of mercury to the glass container and the phosphor are prevented, and the consumption of mercury is significantly reduced. . As a result, according to the present invention, useless use of mercury can be eliminated, and the amount of use of mercury, which is a problem in terms of pollution, can be significantly reduced.
【００５７】また、本発明の蛍光ランプの製造方法によ
れば、金属アルコキシド等を保護膜の製造に用いること
により、前記金属アルコキシドの重合反応を蛍光体層上
で行い、強固な混合膜を得ることができる。またこの方
法により化学的に安定な混合膜を形成することができ
る。Further, according to the method for manufacturing a fluorescent lamp of the present invention, by using a metal alkoxide or the like for manufacturing the protective film, the polymerization reaction of the metal alkoxide is performed on the phosphor layer to obtain a strong mixed film. be able to. In addition, a chemically stable mixed film can be formed by this method.
【図１】本発明の一実施例である蛍光ランプの一部を破
断して示した側面断面図と、その一部を拡大して示した
拡大図である。FIG. 1 is a side cross-sectional view showing a partially cutaway fluorescent lamp according to an embodiment of the present invention and an enlarged view showing a part of the fluorescent lamp.
【図２】本発明の蛍光ランプにおける混合膜等を拡大し
て示した断面図である。FIG. 2 is an enlarged sectional view showing a mixed film and the like in the fluorescent lamp of the present invention.
【図３】二酸化硅素膜の光の透過率を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a light transmittance of a silicon dioxide film.
【図４】酸化アルミニウム膜の光の透過率を示す図であ
る。FIG. 4 is a diagram showing a light transmittance of an aluminum oxide film.
【図５】酸化ハフニウム膜の光の透過率を示す図であ
る。FIG. 5 is a diagram showing light transmittance of a hafnium oxide film.
【図６】酸化ジルコニウム膜の光の透過率を示す図であ
る。FIG. 6 is a diagram showing a light transmittance of a zirconium oxide film.
【図７】酸化バナジウム膜の光の透過率を示す図であ
る。FIG. 7 is a diagram showing a light transmittance of a vanadium oxide film.
【図８】酸化ニオブ膜の光の透過率を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing a light transmittance of a niobium oxide film.
【図９】酸化イットリウム膜の光の透過率を示す図であ
る。FIG. 9 is a diagram showing light transmittance of an yttrium oxide film.
【図１０】本発明の蛍光ランプの一部を破断して示した
概念図である。FIG. 10 is a conceptual diagram showing a partially cutaway fluorescent lamp of the present invention.
【図１１】酸化イットリウム膜、酸化アルミニウム膜等
における深さと水銀の拡散量との関係を示す図である。FIG. 11 is a diagram showing the relationship between the depth of an yttrium oxide film, an aluminum oxide film, etc. and the amount of diffusion of mercury.
【図１２】本発明の蛍光ランプと従来の蛍光ランプの光
束維持率と点灯時間との関係を示す図である。FIG. 12 is a diagram showing the relationship between the luminous flux maintenance factor and the lighting time of a fluorescent lamp of the present invention and a conventional fluorescent lamp.
【図１３】本発明の蛍光ランプと従来の蛍光ランプにお
ける、水銀の消費量と点灯時間との関係を示す図であ
る。FIG. 13 is a diagram showing a relationship between a mercury consumption amount and a lighting time in a fluorescent lamp of the present invention and a conventional fluorescent lamp.
【図１４】本発明の蛍光ランプの製造方法を説明するた
めのフローチャートである。FIG. 14 is a flowchart for explaining a method for manufacturing a fluorescent lamp of the present invention.
【図１５】従来の蛍光ランプ（４０Ｗ）における、水銀
の拡散量を示す図である。FIG. 15 is a diagram showing a diffusion amount of mercury in a conventional fluorescent lamp (40 W).
２ ガラスバルブ ３ 混合膜 ４ 第１の薄膜 ５ 第２の薄膜 ６ 連結体 ７ 蛍光体粒子 2 glass bulbs 3 mixed film 4 First thin film 5 Second thin film 6 connected body 7 Phosphor particles
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭64−2247（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−47351（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−49445（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−90264（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−25850（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01J 9/22 H01J 61/46 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) Reference JP-A 64-2247 (JP, A) JP-A 5-47351 (JP, A) JP-A 6-49445 (JP, A) JP-A 7- 90264 (JP, A) JP-A-3-25850 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) H01J 9/22 H01J 61/46
Claims (17)
に、蛍光体と金属酸化物との混合膜が酸化防止剤を有し
て形成されており、前記混合膜が前記蛍光体の粒子の隙
間に形成された前記金属酸化物の連結体を有し、前記連
結体により前記蛍光体の粒子間が連続した橋掛け状態に
なっていることを特徴とする蛍光ランプ。1. A mixed film of a phosphor and a metal oxide has an antioxidant on the inner surface of a lamp container in which mercury is sealed.
The mixed film has a connecting body of the metal oxide formed in a gap between the particles of the phosphor, and the connecting body forms a continuous bridge state between particles of the phosphor. Fluorescent lamp characterized by having.
間に連続した金属酸化物の第１の薄膜が形成されている
ことを特徴とする請求項１記載の蛍光ランプ。2. The fluorescent lamp according to claim 1, wherein a first thin film of metal oxide is formed between the inner surface of the lamp vessel and the mixed film.
に連続した金属酸化物の第２の薄膜が形成されているこ
とを特徴とする請求項１記載の蛍光ランプ。3. The fluorescent lamp according to claim 1, wherein a continuous second thin film of metal oxide is formed on the inner surface of the mixed film, which is a surface near the tube center.
間に連続した金属酸化物の第１の薄膜が形成され、かつ
前記混合膜の管中心に近い面である内面に連続した金属
酸化物の第２の薄膜が形成されていることを特徴とする
請求項１記載の蛍光ランプ。4. A first metal oxide continuous thin film is formed between the inner surface of the lamp vessel and the mixed film, and a continuous metal oxide is formed on the inner surface of the mixed film near the tube center. The fluorescent lamp according to claim 1, wherein a second thin film of the article is formed.
透過する物質からなることを特徴とする請求項１、２、
３又は４記載の蛍光ランプ。5. The metal oxide according to claim 1, wherein the metal oxide comprises a substance that transmits light having a wavelength of 254 nm.
The fluorescent lamp according to 3 or 4.
ミニウム、酸化ハフニウム、酸化ジルコニウム、酸化バ
ナジウム、酸化ニオブ及び酸化イットリウムからなる群
から選ばれた少なくとも一種からなることを特徴とする
請求項１、２、３又は４記載の蛍光ランプ。6. The metal oxide comprises at least one selected from the group consisting of silicon dioxide, aluminum oxide, hafnium oxide, zirconium oxide, vanadium oxide, niobium oxide and yttrium oxide. The fluorescent lamp described in 2, 3, or 4.
光を５０％以上遮断する物質からなることを特徴とする
請求項１、２、３又は４記載の蛍光ランプ。7. The fluorescent lamp according to claim 1, 2, 3 or 4, wherein the metal oxide is made of a substance that blocks 50% or more of light near a wavelength of 185 nm.
ロンを有することを特徴とする請求項１、２、３又は４
記載の蛍光ランプ。8. The mixed film contains phosphorus or boron as an impurity,
The fluorescent lamp described.
し、乾燥して蛍光体層を形成する工程、 金属アルコキシド溶液を前記蛍光体層の内面に塗布し、
加水分解させる工程、 前記蛍光体層を加熱し、前記蛍光体層の蛍光体の粒子間
に橋掛け状の金属酸化物からなる連結体を有する混合膜
を形成する工程、 を有することを特徴とする蛍光ランプの製造方法。9. A step of applying a phosphor material to the inner surface of a lamp vessel and drying it to form a phosphor layer, applying a metal alkoxide solution to the inner surface of the phosphor layer,
A step of hydrolyzing, a step of heating the phosphor layer to form a mixed film having a linking body made of a bridged metal oxide between particles of the phosphor of the phosphor layer, Manufacturing method of fluorescent lamp.
し、乾燥して蛍光体層を形成する工程、 金属アルコキシド溶液を前記蛍光体層の内面に塗布し、
加水分解させる工程、 前記蛍光体層を加熱し、前記蛍光体層の蛍光体の粒子間
に橋掛け状の金属酸化物からなる連結体を有する混合膜
を形成し、且つ前記蛍光体層を浸透した金属アルコキシ
ド溶液が前記ランプ容器内面と前記混合膜との間に連続
した金属酸化物からなる第１の薄膜を形成する工程、 を有することを特徴とする蛍光ランプの製造方法。10. A step of applying a phosphor material to the inner surface of a lamp vessel and drying it to form a phosphor layer, applying a metal alkoxide solution to the inner surface of the phosphor layer,
A step of hydrolyzing, heating the phosphor layer to form a mixed film having a linking body made of a bridged metal oxide between particles of the phosphor of the phosphor layer, and permeating the phosphor layer The method for producing a fluorescent lamp, comprising: forming a first thin film of a metal oxide, the metal alkoxide solution being formed between the inner surface of the lamp container and the mixed film.
し、乾燥して蛍光体層を形成する工程、 金属アルコキシド溶液を前記蛍光体層の内面に塗布し、
加水分解させる工程、 前記蛍光体層を加熱し、前期蛍光体層の内面に金属酸化
物からなる第２の薄膜を形成し、且つ前記蛍光体層の蛍
光体の粒子間に橋掛け状の金属酸化物からなる連結体を
有する混合膜を形成する工程、 を有することを特徴とする蛍光ランプの製造方法。11. A step of applying a phosphor material to the inner surface of a lamp container and drying it to form a phosphor layer, applying a metal alkoxide solution to the inner surface of the phosphor layer,
A step of hydrolyzing, heating the phosphor layer to form a second thin film made of a metal oxide on the inner surface of the phosphor layer, and forming a bridge-shaped metal between the particles of the phosphor of the phosphor layer And a step of forming a mixed film having a coupling body made of an oxide, the method for manufacturing a fluorescent lamp.
し、乾燥して蛍光体層を形成する工程、 金属アルコキシド溶液を前記蛍光体層の内面に塗布し、
加水分解させる工程、 前記蛍光体層を加熱し、前期蛍光体層の内面に金属酸化
物からなる第２の薄膜を形成し、前記蛍光体層の蛍光体
の粒子間に橋掛け状の金属酸化物からなる連結体を有す
る混合膜を形成し、且つ前記蛍光体層を浸透した金属ア
ルコキシド溶液が前記ランプ容器内面と前記混合膜との
間に連続した金属酸化物からなる第１の薄膜を形成する
工程、 を有することを特徴とする蛍光ランプの製造方法。12. A step of applying a phosphor material to the inner surface of a lamp vessel and drying it to form a phosphor layer, applying a metal alkoxide solution to the inner surface of the phosphor layer,
A step of hydrolyzing, heating the phosphor layer to form a second thin film of a metal oxide on the inner surface of the phosphor layer, and forming a bridge-shaped metal oxide between the particles of the phosphor of the phosphor layer. Forming a mixed film having a connected body of a metal, and forming a first thin film of a metal oxide in which the metal alkoxide solution permeating the phosphor layer is continuous between the inner surface of the lamp vessel and the mixed film. A method of manufacturing a fluorescent lamp, comprising:
される金属酸化物が二酸化硅素、酸化アルミニウム、酸
化ハフニウム、酸化ジルコニウム、酸化バナジウム、酸
化ニオブ及び酸化イットリウムからなる群から選ばれた
少なくとも一種からなることを特徴とする請求項９、１
０、１１又は１２記載の蛍光ランプの製造方法。13. The metal oxide formed by the metal alkoxide solution comprises at least one selected from the group consisting of silicon dioxide, aluminum oxide, hafnium oxide, zirconium oxide, vanadium oxide, niobium oxide and yttrium oxide. Claims 9 and 1 characterized
0. The manufacturing method of the fluorescent lamp of 11 or 12 .
に、金属硝酸塩、金属硫酸塩、金属カルボン酸塩、金属
β−ジケトナート錯体を用いることを特徴とする請求項
９、１０、１１又は１２記載の蛍光ランプの製造方法。Instead of claim 14 wherein the metal alkoxide solution, metal nitrates, metal sulfates, metal carboxylates, claims, characterized in that a metal β- diketonate complexes
13. The method for manufacturing a fluorescent lamp according to 9, 10, 11 or 12 .
薄膜及び連結体が、波長２５４ｎｍの光を透過する金属
化合物であることを特徴とする請求項９、１０、１１又
は１２記載の蛍光ランプの製造方法。The first thin film 15. The metal oxide, the second thin film and the connecting body according to claim 9, 10 and 11 also characterized in that it is a metal compound transmitting light having a wavelength of 254nm
Is a manufacturing method of the fluorescent lamp according to 12 .
剤を添加したことを特徴とする請求項９、１０、１１又
は１２記載の蛍光ランプの製造方法。16. The method according to claim 9, 10, or 11, wherein an antioxidant is added to the metal alkoxide solution.
Is a manufacturing method of the fluorescent lamp according to 12 .
してリンまたはボロンを添加したことを特徴とする請求
項９、１０、１１又は１２記載の蛍光ランプの製造方
法。17. claims, characterized in that the addition of phosphorus or boron as an impurity to the metal alkoxide solution
Item 13. A method for manufacturing a fluorescent lamp according to item 9, 10, 11 or 12 .
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