JP3371057B2 - Pressure sensor monitoring device - Google Patents
Pressure sensor monitoring deviceInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、圧力センサが正常
か否かを監視する圧力センサ監視装置に関し、特に、圧
力センサ監視装置の信頼性を向上させる技術に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pressure sensor monitoring device for monitoring whether or not a pressure sensor is normal, and more particularly to a technique for improving the reliability of the pressure sensor monitoring device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】圧力を駆動源とする機械を取り扱う場合
は、作業者の安全対策として、圧力源を遮断して機械可
動部に圧力が供給されていないことを確認した後、作業
者に機械可動部への接近を許可するような方法がとられ
る。この場合、例えば、圧力センサで機械可動部内の残
圧が無いことを検出してランプ等で表示して作業者に知
らせるような安全システムが考えられる。このような残
圧が無いことを検出する圧力センサは、ゼロメカニカル
ステート（以下、ＺＭＳとする）センサの１つとして安
全管理上重要な役割を果たす。2. Description of the Related Art When handling a machine that uses pressure as a drive source, as a safety measure for the operator, shut off the pressure source and confirm that no pressure is being supplied to the moving parts of the machine. A measure is taken to allow access to the moving parts. In this case, for example, a safety system is conceivable in which a pressure sensor detects that there is no residual pressure in the movable part of the machine and displays it with a lamp or the like to notify the operator. A pressure sensor that detects the absence of such residual pressure plays an important role in safety management as one of zero mechanical state (hereinafter referred to as ZMS) sensors.
【０００３】この種の圧力センサとして、圧力源と機械
可動部とを接続する圧力供給パイプにブルドン管を取付
け、機械可動部への圧力供給が停止してブルドン管感圧
部に導入される圧力が無い時に、圧力無しを示す高レベ
ルの出力信号を発生させることでフェールセーフに構成
したものが、本出願人により提案されている（特開平６
−３０７９５２号公報）。As a pressure sensor of this type, a Bourdon tube is attached to a pressure supply pipe connecting a pressure source and a mechanical moving part, and the pressure supply to the mechanical moving part is stopped and the pressure introduced into the pressure sensitive part of the Bourdon tube. The present applicant has proposed a fail-safe configuration by generating a high-level output signal indicating no pressure when there is no pressure.
No. 307952).
【０００４】ところで、この種の圧力センサを使用する
場合、圧力配管に目詰まりが生じて圧力センサの感圧部
に圧力が伝達されないと、機械可動部内に圧力が残って
いるにも拘らず、圧力センサが残圧無しを通報する虞れ
がある。従って、圧力配管の目詰まり等圧力センサが異
常動作した時にこれを通報できる安全対策が必要とな
る。By the way, when this type of pressure sensor is used, if pressure is not transmitted to the pressure sensitive portion of the pressure sensor due to clogging of the pressure pipe, the pressure remains in the movable portion of the machine. The pressure sensor may report that there is no residual pressure. Therefore, it is necessary to take a safety measure to notify the abnormal operation of the pressure sensor such as clogging of the pressure pipe.
【０００５】圧力配管に目詰まり等がなく圧力センサが
正常に動作していることを監視し、圧力センサが正常の
時のみセンサ正常を示す高レベルの出力を発生する圧力
センサ監視装置として、本出願人により提案されたもの
がある（ＰＣＴ／ＪＰ９４／００８５８）。この圧力セ
ンサ監視装置では、運転中に圧力センサが圧力有りを検
出し、その後、圧力無しを検出して初めて残圧無しを通
報する構成である。As a pressure sensor monitoring device for monitoring whether the pressure sensor is operating normally without clogging of the pressure pipe and for producing a high level output indicating the sensor normality only when the pressure sensor is normal, Some have been proposed by the applicant (PCT / JP94 / 00858). In this pressure sensor monitoring device, the pressure sensor detects that there is pressure during operation, and then detects that there is no pressure, and then reports that there is no residual pressure.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記圧
力センサ監視装置では、機械可動部内に圧力があること
を示す圧力有りの信号を、センサから直接生成するので
はなく、圧力無しの状態を高レベルで出力するセンサ出
力を否定演算して生成している。即ち、圧力有りの時の
低レベルのセンサ出力を否定演算することによって高レ
ベルの圧力有りを示すセンサ信号を生成している。However, in the above-mentioned pressure sensor monitoring device, a signal with pressure indicating that there is pressure in the mechanical moving part is not directly generated from the sensor, but a high level without pressure is generated. The sensor output that is output at is generated by performing a negative operation. That is, the sensor signal indicating that there is a high level of pressure is generated by performing a negative operation on the low level sensor output when there is a pressure.
【０００７】この場合、センサの圧力無しの検出範囲以
外は、全て圧力有りとして判定されることになり、例え
ば加圧過程で圧力無しの範囲を越えれば即座に圧力有り
の検出信号が発生し機械可動部に所定の圧力が供給され
たかどうかを検出できない。また、圧力無しの判定と圧
力有りの判定との間にマージンを設定できず、不具合が
発生する。即ち、感圧部が圧力無しの検出範囲内で検出
範囲境界近傍に位置する時、振動或いは衝撃を受けて感
圧部が変位した場合に圧力無しの検出範囲境界を横切っ
て出入りする。このため、振動或いは衝撃を受けた時、
目詰まりで感圧部に圧力が伝達されない状態であるにも
拘らず、恰も、一旦圧力有りを検出した後、圧力無しを
検出したような信号発生形態となって圧力センサの正常
判定出力が発生する可能性がある。このため、目詰まり
検出のための信号処理が有効に機能しない虞れがある。In this case, all the areas other than the pressureless detection range of the sensor are determined as having pressure. For example, if the pressureless range is exceeded during the pressurization process, a pressure detection signal is immediately generated. It is not possible to detect whether or not a predetermined pressure is supplied to the movable part. Moreover, a margin cannot be set between the determination of no pressure and the determination of pressure, which causes a problem. That is, when the pressure sensitive portion is located in the vicinity of the detection range boundary within the pressureless detection range, when the pressure sensitive portion is displaced due to vibration or shock, the pressure sensitive portion moves in and out across the pressureless detection range boundary. Therefore, when it receives vibration or shock,
Despite the fact that pressure is not transmitted to the pressure-sensitive part due to clogging, the signal generation form is such that once pressure is detected and then no pressure is detected, the normal judgment output of the pressure sensor is generated. there's a possibility that. Therefore, the signal processing for detecting the clogging may not function effectively.
【０００８】本発明は上記の事情に鑑みなされたもの
で、互いに異なる圧力値を示すセンサ出力をそれぞれ直
接生成することにより、振動や衝撃等の影響を受けない
高い信頼性を有する圧力センサ監視装置を提供すること
を目的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances and has a highly reliable pressure sensor monitoring device which is not affected by vibration or shock by directly generating sensor outputs showing different pressure values. The purpose is to provide.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】このため、請求項１記載
の発明では、一端が閉塞され他端開口部から導入される
圧力の増減に伴い閉塞端側が変位する感圧パイプと、該
感圧パイプの閉塞端の変位位置を検出して電気出力を発
生し導入圧力を電気信号に変換する圧力−電気変換手段
とを備えた圧力センサの正常・異常を監視する圧力セン
サ監視装置において、前記感圧パイプの閉塞端の変位方
向に沿って間隔を設けて第１及び第２の圧力−電気変換
手段を配置し、前記感圧パイプの閉塞端が予め定めた第
１の圧力値に対応する第１の変位位置にある時に第１の
圧力−電気変換手段から電気出力が発生し、前記感圧パ
イプ内の圧力変化に伴って閉塞端が移動して当該閉塞端
が前記第１の圧力値と異なる第２の圧力値に対応する第
２の変位位置になった時に第２の圧力−電気変換手段か
ら電気出力が発生する構成とし、前記第１及び第２の圧
力−電気変換手段からの電気出力に基づいて圧力センサ
の正常・異常を判定し、感圧パイプの圧力変化過程で前
記閉塞端が前記第１の変位位置から移動して第１の圧力
−電気変換手段からの電気出力が停止し、その後所定時
間以内に前記閉塞端が前記第２の変位位置に移動して第
２の圧力−電気変換手段から電気信号が発生した時に圧
力センサが正常と判定する判定手段とを備えて構成し
た。Therefore, in the invention according to claim 1, a pressure-sensitive pipe whose one end is closed and the closed end is displaced as the pressure introduced from the opening of the other end is changed, and the pressure-sensitive pipe. pressure and converts the detected electrical output generated by introducing pressure displacement position of the closed end of the pipe to an electrical signal - a pressure sensor monitoring apparatus for monitoring a normal or abnormal pressure sensor comprising an electrical conversion unit, the sense of Displacement of closed end of pressure pipe
First and second pressure-electricity conversions spaced apart along the direction
Means for locating the closed end of the pressure sensitive pipe.
When the first displacement position corresponding to a pressure value of 1
An electric output is generated from the pressure-electricity conversion means, and the pressure-sensitive
The closed end moves along with the pressure change in the pipe
Is a second pressure value different from the first pressure value.
When the second displacement position is reached, is it the second pressure-electricity conversion means?
From the first and second pressure-electricity conversion means, the pressure sensor determines whether the pressure sensor is normal or abnormal, and the pressure sensor detects whether the pressure sensor is in the pressure change process.
The closed end moves from the first displacement position to stop the electric output from the first pressure-electricity conversion means, and then the closed end moves to the second displacement position within a predetermined time and then The second pressure-electricity converting means is provided with a judging means for judging that the pressure sensor is normal when an electric signal is generated.
【００１０】かかる構成では、第１及び第２の圧力−電
気変換手段で、感圧パイプ閉塞端の第１と第２の変位位
置を直接検出し、予め定めた２つの異なる圧力値に対応
するセンサ出力を直接生成する。判定手段は、第１の圧
力−電気変換手段からの出力が停止し、その後、所定時
間以内に第２の圧力−電気変換手段から出力が発生した
時に圧力センサが正常と判定する。In such a configuration, the first and second pressure-electricity converting means directly detect the first and second displacement positions of the closed end of the pressure-sensitive pipe, and correspond to two predetermined different pressure values. Generate sensor output directly. The determining means determines that the pressure sensor is normal when the output from the first pressure-electricity converting means is stopped and thereafter the output is generated from the second pressure-electricity converting means within a predetermined time.
【００１１】こうすることにより、第１及び第２の圧力
−電気変換手段をそれぞれ個別にセットすることで確認
したい圧力値を検出できる。また、第１と第２の各圧力
−電気変換手段のセット位置に間隔を設けることがで
き、振動・衝撃の影響を排除することができる。請求項
２記載の発明では、具体的に、前記第１及び第２の圧力
−電気変換手段は、１つのスリットを有し前記感圧パイ
プ閉塞端に固着されて閉塞端の変位に応じて変位するプ
レートを挟んで対向配置した第１及び第２の投光素子と
第１及び第２の受光素子とをそれぞれ備えた第１及び第
２の光センサからなり、第１の光センサは、前記感圧パ
イプの閉塞端が前記第１の変位位置にある時に第１の投
光素子の交流の光ビームが前記スリットを介して第１の
受光素子で受光されて交流出力を発生する構成であり、
第２の光センサは、前記感圧パイプの閉塞端が前記第２
の変位位置に移動した時に第２の投光素子の交流の光ビ
ームが前記スリットを介して第２の受光素子で受光され
て交流出力を発生する構成とした。By doing so, the pressure value to be confirmed can be detected by individually setting the first and second pressure-electricity converting means. Further, an interval can be provided at the set position of each of the first and second pressure-electricity converting means, and the influence of vibration and impact can be eliminated. In the invention according to claim 2, specifically, the first and second pressure- electricity converting means have one slit, are fixed to the pressure-sensitive pipe closed end, and are displaced in accordance with the displacement of the closed end. The first and second photosensors are respectively provided with the first and second light projecting elements and the first and second light receiving elements, which are arranged to face each other with the plate in between. be a configuration in which the closed end of the pressure sensing pipe is the light beam of the AC of the first light projecting element for generating an AC output is received by the first light receiving element via the slit when in the first displacement position ,
In the second optical sensor, the closed end of the pressure-sensitive pipe is the second optical sensor.
The light beam of the AC of the second light projecting element when moving according to the position of the configured for generating an AC output is received by the second light receiving element via the slit.
【００１２】請求項３記載の発明では、前記判定手段
は、前記第１の光センサからの交流出力を整流して電源
電圧に重畳して出力する第１の整流回路と、該第１の整
流回路の出力立ち下がりを前記所定時間遅延するオフ・
ディレー回路と、前記第２の光センサからの交流出力を
整流して電源電圧に重畳して出力する第２の整流回路
と、前記オフ・ディレー回路の出力をトリガ入力信号と
し前記第２の整流回路の出力をホールド入力信号とし前
記トリガ入力信号を自己保持する自己保持回路とを備
え、該自己保持回路から出力が発生した時に圧力センサ
正常を示す構成とした。According to a third aspect of the present invention, the determining means includes a first rectifier circuit that rectifies the AC output from the first optical sensor and superimposes the AC output on a power supply voltage for output, and the first rectifier circuit. OFF ・ which delays the output fall of the circuit for the predetermined time
A delay circuit, a second rectifier circuit that rectifies the AC output from the second photosensor and superimposes it on a power supply voltage, and outputs the second delay rectifier using the output of the off-delay circuit as a trigger input signal. and a self-holding circuit you self-holding said trigger input signal to the hold input signal the output of the circuit, has a structure indicating a normal pressure sensor when the output from said self hold circuit occurs.
【００１３】請求項４記載の発明では、前記感圧パイプ
の閉塞端位置は、感圧パイプ内に予め定めた所定圧力値
が存在する時に前記第１の変位位置に位置し、感圧パイ
プ内に圧力が存在しない時に前記第２の変位位置に位置
する構成とした。かかる構成により、機械可動部内に残
圧がないことを通報するＺＭＳセンサとすることができ
る。According to a fourth aspect of the invention, the pressure-sensitive pipe is provided.
The closed end position of is located at the first displacement position when a predetermined pressure value is present in the pressure-sensitive pipe, and at the second displacement position when no pressure is present in the pressure-sensitive pipe. position
It was configured to do. With such a configuration, it is possible to provide a ZMS sensor that reports that there is no residual pressure in the movable part of the machine.
【００１４】請求項５記載の発明では、感圧パイプ内に
圧力が存在しない時に感圧パイプの閉塞端が第２の変位
位置に位置する場合に、運転開始により圧力が供給され
る機械可動部の運転の開始・停止を操作する運転操作手
段の運転停止指令に伴って発生する運転停止信号と、前
記第２の圧力−電気変換手段の電気信号との論理積演算
を行う論理積回路を設け、該論理積回路から論理値１の
出力が発生する時に前記判定手段から圧力センサの正常
判定出力が発生する構成とした。According to the fifth aspect of the invention, the pressure-sensitive pipe is provided inside.
The closed end of the pressure-sensitive pipe makes a second displacement when there is no pressure
When the vehicle is located at the position, the operation stop signal generated in response to the operation stop command of the operation operation means for operating the start / stop of the operation of the machine movable part to which the pressure is supplied by the operation start, and the second pressure- A logical product circuit for performing a logical product operation with the electric signal of the electrical converting means is provided, and when the logical product circuit outputs the logical value 1, the normal judging output of the pressure sensor is generated from the judging means.
【００１５】かかる構成では、機械可動の運転停止中に
目詰まりが発生して感圧パイプ内への圧力導入がなくな
って第２の圧力−電気変換手段からの信号が継続した場
合でも、運転開始により判定手段のセンサ正常判定信号
が一旦リセットされる。その後は、第１の圧力−電気変
換手段から出力が発生しないのでセンサの異常を通報で
きる。With such a configuration, even if the clogging occurs during the operation stoppage of the machine operation and the pressure is not introduced into the pressure-sensitive pipe and the signal from the second pressure-electricity conversion means continues, the operation is started. Thus, the sensor normality determination signal of the determination means is once reset. After that, since no output is generated from the first pressure-electricity converting means, the abnormality of the sensor can be notified.
【００１６】請求項６記載の発明では、前記第１の圧力
−電気変換手段は、感圧パイプ閉塞端の変位方向に沿っ
て移動可能に構成した。かかる構成では、第１の圧力−
電気変換手段の検出圧力を適当に可変設定することがで
きる。According to a sixth aspect of the present invention, the first pressure-electricity converting means is movable along the displacement direction of the closed end of the pressure-sensitive pipe. In such a configuration, the first pressure −
The pressure detected by the electrical conversion means can be appropriately variably set.
【００１７】[0017]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図１及び図２に本発明の第１実施形
態を示す。図１は、本実施形態に適用する圧力センサの
構成図であり、図２は、本発明の圧力センサ監視装置の
第１実施形態の回路図である。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 and 2 show a first embodiment of the present invention. FIG. 1 is a configuration diagram of a pressure sensor applied to this embodiment, and FIG. 2 is a circuit diagram of a first embodiment of a pressure sensor monitoring device of the present invention.
【００１８】図１において、基台１の下部に、中空角柱
状の圧力導入パイプ２が固定されている。圧力導入パイ
プ２は、例えば圧力発生源から機械可動部に圧力を供給
する供給パイプ（図示せず）に取り付けて圧力を導入す
るためのもので、一端が閉塞され、他端側に、前記供給
パイプに接続するための中空円柱状の接続ネジ部３及び
接続時に圧力を取り入れるための圧力取入口４が設けら
れている。略Ｃ字状に湾曲形成された感圧パイプ５は、
基端側が前記圧力導入パイプ２に連通接続して固定さ
れ、先端側が閉塞端５Ａとなっているもので、圧力導入
パイプ２を介して圧力が導入された時にその圧力の上昇
に応じて閉塞端５Ａが、図中の矢印方向（上方）に変位
する構造である。In FIG. 1, a hollow prismatic pressure introducing pipe 2 is fixed to a lower portion of a base 1. The pressure introducing pipe 2 is, for example, attached to a supply pipe (not shown) for supplying pressure from a pressure generation source to a mechanical movable part, and introduces pressure. One end is closed and the other end side is provided with the supply. A hollow cylindrical connection screw part 3 for connecting to a pipe and a pressure inlet 4 for taking in pressure at the time of connection are provided. The pressure-sensitive pipe 5 curved in a substantially C shape is
The base end side is connected and fixed to the pressure introducing pipe 2 and is fixed, and the tip end side is a closed end 5A. When pressure is introduced through the pressure introducing pipe 2, the closed end corresponds to an increase in the pressure. 5A is a structure that is displaced in the direction of the arrow (upward) in the figure.
【００１９】前記感圧パイプ５の先端閉塞端５Ａには、
プレート６が閉塞端５Ａの変位方向と略平行に固着さ
れ、該プレート６にスリット７を形成してある。前記プ
レート６を挟んで互いに対向する投光素子８ａ，９ａと
受光素子８ｂ，９ｂとを有する第１及び第２の光センサ
であるフォトインタラプタ８，９が、プレート６の変位
方向に沿って配置され前記基台１に固定されて、圧力セ
ンサ20が構成される。前記フォトインタラプタ８，９
が、それぞれ第１の圧力−電気変換手段と第２の圧力−
電気変換手段に相当する。At the tip closed end 5A of the pressure sensitive pipe 5,
The plate 6 is fixed substantially parallel to the displacement direction of the closed end 5A, and a slit 7 is formed in the plate 6. Photo interrupters 8 and 9 as first and second optical sensors having light emitting elements 8a and 9a and light receiving elements 8b and 9b that face each other across the plate 6 are arranged along the displacement direction of the plate 6. Then, the pressure sensor 20 is configured by being fixed to the base 1. The photo interrupters 8 and 9
Respectively, the first pressure-electric conversion means and the second pressure-
It corresponds to an electric conversion means.
【００２０】前記フォトインタラプタ８は、運転開始に
より機械可動部に予め定めた所定圧力が供給されて感圧
パイプ５の閉塞端５Ａが第１の変位位置に移動した時
に、投光素子８ａの交流の光ビームがプレート６のスリ
ット７を介して受光素子８ｂで受光される位置に設けら
れる。フォトインタラプタ９は、運転停止により機械可
動部内の残圧がなくなり感圧パイプ５への導入圧力がな
く閉塞端５Ａが圧力無しに相当する第２の変位位置にあ
る時に、投光素子９ａの交流の光ビームがプレート６の
スリット７を介して受光素子９ｂで受光される位置に設
けられる。The photo interrupter 8 receives an alternating current of the light projecting element 8a when a predetermined pressure is supplied to the movable portion of the machine upon operation start and the closed end 5A of the pressure sensitive pipe 5 moves to the first displacement position. Is provided at a position where the light beam is received by the light receiving element 8b through the slit 7 of the plate 6. The photo interrupter 9 has an alternating current of the light projecting element 9a when the residual pressure in the movable part of the machine disappears due to the operation stop and there is no pressure introduced to the pressure sensitive pipe 5 and the closed end 5A is in the second displacement position corresponding to no pressure. Is provided at a position where the light beam is received by the light receiving element 9b through the slit 7 of the plate 6.
【００２１】前記フォトインタラプタ８の投光素子８ａ
は、図２に示すように、信号発生器10から抵抗Ｒ１を介
して供給される交流信号によってトリガされて交流の光
ビームを発生する。受光素子８ｂは抵抗Ｒ２を介して電
源電圧ＶCCがコレクタに入力され受光した光に応じて交
流信号を発生する。前記フォトインタラプタ９もフォト
インタラプタ８と同様で、投光素子９ａは、図２に示す
ように、信号発生器11から抵抗Ｒ３を介して供給される
交流信号によってトリガされて交流の光ビームを発生
し、受光素子９ｂは抵抗Ｒ４を介して電源電圧ＶCCがコ
レクタに入力され受光した光に応じて交流信号を発生す
る。Projecting element 8a of the photo interrupter 8
2 is triggered by an AC signal supplied from a signal generator 10 through a resistor R1, as shown in FIG. 2, to generate an AC light beam. The light receiving element 8b generates an AC signal according to the light received by the collector of the power source voltage V CC via the resistor R2. The photo interrupter 9 is also similar to the photo interrupter 8, and the light projecting element 9a generates an AC light beam by being triggered by an AC signal supplied from the signal generator 11 through the resistor R3, as shown in FIG. Then, the light receiving element 9b generates an AC signal according to the light received by the collector of the power supply voltage V CC via the resistor R4.
【００２２】コンデンサＣ１，Ｃ２とダイオードＤ１，
Ｄ２とで構成される倍電圧整流回路12は、フォトインタ
ラプタ８の交流出力信号を整流し、この整流出力に電源
電圧ＶCCを重畳して出力し、後述する自己保持回路14の
トリガ入力端子（図中Ｔで示す）に印加する。コンデン
サＣ３，Ｃ４とダイオードＤ３，Ｄ４とで構成される倍
電圧整流回路13も同様に、フォトインタラプタ９の交流
出力信号を整流し、この整流出力に電源電圧ＶCCを重畳
して出力する。倍電圧整流回路13の出力は、前記自己保
持回路14のホールド入力端子（図中Ｈで示す）に印加さ
れる。Capacitors C1 and C2 and diode D1,
The voltage doubler rectifier circuit 12 composed of D2 rectifies the AC output signal of the photo interrupter 8, superimposes the power supply voltage V CC on the rectified output, and outputs the rectified output, and the trigger input terminal ( (Indicated by T in the figure). Similarly, the voltage doubler rectifier circuit 13 composed of the capacitors C3 and C4 and the diodes D3 and D4 rectifies the AC output signal of the photo interrupter 9 and superimposes the power supply voltage V CC on the rectified output and outputs it. The output of the voltage doubler rectifier circuit 13 is applied to the hold input terminal (indicated by H in the figure) of the self-holding circuit 14.
【００２３】自己保持回路14は、ウィンドウコンパレー
タ15と、倍電圧整流回路16と、帰還抵抗Ｒｆとを備えて
構成され、ウィンドウコンパレータ15の一方の入力端子
をトリガ端子とし、他方の入力端子をホールド端子と
し、両入力端子に予め設定した閾値以上の高レベルの信
号が印加された時、ウィンドウコンパレータ15から交流
の発振出力が発生し、倍電圧整流回路16の整流出力を帰
還抵抗Ｒｆを介してトリガ入力端子側に帰還して出力を
自己保持する構成である。The self-holding circuit 14 comprises a window comparator 15, a voltage doubler rectifying circuit 16 and a feedback resistor Rf. One input terminal of the window comparator 15 is used as a trigger terminal and the other input terminal is held. When a high level signal above a preset threshold is applied to both input terminals, an alternating oscillation output is generated from the window comparator 15, and the rectified output of the voltage doubler rectifier circuit 16 is fed through the feedback resistor Rf. It is configured to feed back to the trigger input terminal side and hold the output by itself.
【００２４】そして、前記倍電圧整流回路12の平滑機能
を有するコンデンサＣ２は、当該倍電圧整流回路12の出
力が所定の遅延時間を持って立ち下がるよう設定され
る。従って、倍電圧整流回路12は、オフ・ディレー回路
の機能も備えている。自己保持回路14の出力（ウィンド
ウコンパレータ15の交流出力）は、倍電圧整流回路17で
整流され電源電圧ＶCCが重畳されて、圧力センサ20の正
常・異常の表示及び機械可動部の残圧無しを兼ねて表示
する発光ダイオード18に抵抗を介して印加される。The capacitor C2 having the smoothing function of the voltage doubler rectifier circuit 12 is set so that the output of the voltage doubler rectifier circuit 12 falls with a predetermined delay time. Therefore, the voltage doubler rectifier circuit 12 also has the function of an off-delay circuit. The output of the self-holding circuit 14 (AC output of the window comparator 15) is rectified by the voltage doubler rectifying circuit 17 and the power supply voltage V CC is superposed on it, indicating whether the pressure sensor 20 is normal or abnormal and there is no residual pressure in the moving parts of the machine. It is applied via a resistor to the light emitting diode 18 which also serves as a display.
【００２５】ここで、倍電圧整流回路12，13及び自己保
持回路14で判定手段が構成される。また、倍電圧整流回
路16，17は、倍電圧整流回路12，13と同様に、２つのコ
ンデンサと２つのダイオードとで構成されるものであ
る。尚、前記ウィンドウコンパレータ15は、複数の抵抗
とトランジスタからなるフェールセーフ・ウィンドウコ
ンパレータで、米国特許4,661,880 号明細書、米国特許
4,667,184 号明細書、米国特許5,027,114 号明細書等で
公知であり、このフェールセーフ・ウィンドウコンパレ
ータを用いた自己保持回路は、米国特許第5,027,114 号
明細書等で公知である。Here, the voltage doubler rectifier circuits 12 and 13 and the self-holding circuit 14 constitute a judging means. Further, the voltage doubler rectifier circuits 16 and 17, like the voltage doubler rectifier circuits 12 and 13, are composed of two capacitors and two diodes. The window comparator 15 is a fail-safe window comparator composed of a plurality of resistors and transistors. US Pat. No. 4,661,880, US patent
4,667,184, U.S. Pat. No. 5,027,114, etc., and a self-holding circuit using this fail-safe window comparator is known in U.S. Pat. No. 5,027,114, etc.
【００２６】次に動作について説明する。圧力源から機
械可動部に駆動圧力を供給するための圧力供給パイプに
圧力が供給されない運転停止中では、感圧パイプ５の閉
塞端５Ａは変位せず、フォトインタラプタ９から交流出
力が生成される。運転開始により圧力が供給パイプに供
給されると、感圧パイプ５内に圧力が導入され、圧力の
増大に伴い閉塞端５Ａが変位し、プレート６も移動す
る。所定の圧力値になるとフォトインタラプタ８の投光
素子８ａからの光ビームがスリット７を介して受光素子
８ｂで受光されてフォトインタラプタ８からの交流出力
が生成される。Next, the operation will be described. During operation stop in which pressure is not supplied from the pressure source to the pressure supply pipe for supplying drive pressure to the movable part of the machine, the closed end 5A of the pressure sensitive pipe 5 is not displaced, and an AC output is generated from the photo interrupter 9. . When the pressure is supplied to the supply pipe by the start of the operation, the pressure is introduced into the pressure sensitive pipe 5, the closed end 5A is displaced with the increase of the pressure, and the plate 6 also moves. When a predetermined pressure value is reached, the light beam from the light projecting element 8a of the photo interrupter 8 is received by the light receiving element 8b through the slit 7, and an AC output from the photo interrupter 8 is generated.
【００２７】フォトインタラプタ８からの交流出力に基
づく倍電圧整流回路12の整流出力は自己保持回路14のト
リガ入力端子に印加される。このトリガ入力信号が生成
された後、運転停止に伴い圧力が減少すると、フォトイ
ンタラプタ８からの交流信号が停止する。そして、機械
可動部内の残圧がなくなって閉塞端５Ａが元の位置に復
帰すると、フォトインタラプタ９から交流信号が生成さ
れ、倍電圧整流回路13からの整流出力が自己保持回路14
のホールド入力端子に印加される。このホールド入力信
号の発生が、減圧過程でフォトインタラプタ８からの交
流信号が停止してから所定時間以内であれば、倍電圧整
流回路12のオフ・ディレー機能によってトリガ入力信号
が存在しているため、自己保持回路14から出力が発生し
て発光ダイオード18が点灯し、圧力センサ20の正常を通
報すると共に、機械可動部の残圧無しを通報する。自己
保持回路14の出力でトリガ入力信号は自己保持されるの
で、自己保持回路14からの出力が継続し、発光ダイオー
ド18は点灯し続ける。The rectified output of the voltage doubler rectifier circuit 12 based on the AC output from the photo interrupter 8 is applied to the trigger input terminal of the self-holding circuit 14. After the trigger input signal is generated, when the pressure is reduced due to the stop of the operation, the AC signal from the photo interrupter 8 is stopped. Then, when the residual pressure in the mechanical movable portion disappears and the closed end 5A returns to the original position, an AC signal is generated from the photo interrupter 9, and the rectified output from the voltage doubler rectifier circuit 13 is the self-holding circuit 14.
Applied to the hold input terminal of. If the hold input signal is generated within a predetermined time after the AC signal from the photo interrupter 8 is stopped during the pressure reduction process, the trigger input signal is present due to the off-delay function of the voltage doubler rectifier circuit 12. An output is generated from the self-holding circuit 14 and the light emitting diode 18 is turned on to report that the pressure sensor 20 is normal and that there is no residual pressure in the movable part of the machine. Since the trigger input signal is self-held by the output of the self-holding circuit 14, the output from the self-holding circuit 14 continues and the light emitting diode 18 keeps lighting.
【００２８】かかる構成によれば、圧力センサ20の検出
感度が低下し、機械可動部に所定圧力が存在しているに
も拘らず、閉塞端５Ａが所定の位置まで移動できない場
合は、フォトインタラプタ８からの交流出力が生成され
ないので、残圧なしの状態になっても自己保持回路14か
ら出力がなく発光ダイオード18が点灯せず、圧力センサ
20が異常であることを通報できる。また、フォトインタ
ラプタ８とフォトインタラプタ９を適切な間隔を設けて
配置することで、振動或いは衝撃を受けてプレート６が
上下に振動したとしても、一方のフォトインタラプタ８
又は９からは出力が発生することはなく、振動・衝撃に
起因する誤通報を防止できる。更に、倍電圧整流回路1
2，13，17及び自己保持回路14等は、故障時に出力が発
生しないフェールセーフな構成であり、これらが故障し
た時にも発光ダイオード18が消灯して異常の発生を通報
できる。According to this structure, when the detection sensitivity of the pressure sensor 20 is lowered and the closed end 5A cannot be moved to the predetermined position despite the existence of the predetermined pressure in the mechanical movable portion, the photo interrupter is used. Since the AC output from 8 is not generated, even if there is no residual pressure, there is no output from the self-holding circuit 14 and the light emitting diode 18 does not light up, and the pressure sensor
Can report that 20 is abnormal. Further, by arranging the photo interrupter 8 and the photo interrupter 9 with an appropriate interval, even if the plate 6 vibrates vertically due to vibration or impact, one photo interrupter 8
Or, no output is generated from 9, and it is possible to prevent erroneous notification due to vibration or shock. Furthermore, the voltage doubler rectifier circuit 1
2,13,17 and self-holding circuit 14 and the like is a fail-safe construction which output is not generated at the time of failure, the light emitting diode 18 even when these have failed can report the occurrence of the abnormality is off.
【００２９】尚、本実施形態では、フォトインタラプタ
９の出力に基づく倍電圧整流回路13の出力信号を直接に
自己保持回路14のホールド入力端子に印加する構成とし
たが、例えば、ＰＣＴ／ＪＰ９４／００８５８の第２図
に示しているように、倍電圧整流回路13の出力変化がな
くなって一定値となったことを検出して初めて圧力無し
の検出信号を生成し、この検出信号をホールド入力信号
とするよう構成してもよい。また、振動・衝撃の影響を
排除するためにフォトインタラプタ８と９を所定間隔離
して設ける構成としたが、フォトインタラプタ８の出力
が所定時間以上発生した時に初めて所定圧力有りのセン
サ出力が発生する構成とすれば、閉塞端５Ａの圧力変化
に伴う通常の変位動作と振動・衝撃等で生じる一瞬の変
位動作を区別することができる。この場合、フォトイン
タラプタ８の出力に基づくトリガ入力信号を、オン・デ
ィレー回路を介してトリガ入力端子に印加するよう構成
すればよい。In this embodiment, the output signal of the voltage doubler rectifier circuit 13 based on the output of the photo interrupter 9 is directly applied to the hold input terminal of the self-holding circuit 14, but, for example, PCT / JP94 / As shown in FIG. 2 of 00858, a pressureless detection signal is generated only after detecting that the output change of the voltage doubler rectifier circuit 13 has disappeared and has become a constant value, and this detection signal is held. May be configured. Further, the photo interrupters 8 and 9 are provided so as to be separated from each other by a predetermined distance in order to eliminate the influence of vibration and shock, but the sensor output with the predetermined pressure is generated only when the output of the photo interrupter 8 is generated for a predetermined time or more. With the configuration, it is possible to distinguish between the normal displacement operation associated with the pressure change of the closed end 5A and the instantaneous displacement operation caused by vibration, impact, or the like. In this case, the trigger input signal based on the output of the photo interrupter 8 may be applied to the trigger input terminal via the on-delay circuit.
【００３０】次に本発明の第２実施形態について説明す
る。図３は本発明の第２実施形態の要部の回路構成を示
す。尚、図２と同一部分には同一符号を付して説明を省
略する。図３において、運転開始により圧力が供給され
る機械可動部の運転の開始・停止を操作する図示しない
運転操作手段としての運転操作装置の運転停止指令に伴
って発生する交流の運転停止信号Ｓを整流する倍電圧整
流回路21を設ける。倍電圧整流回路21は、倍電圧整流回
路13と同様に２つのコンデンサＣ５，Ｃ６と２つのダイ
オードＤ５，Ｄ６で構成されるもので、整流出力に電源
電圧ＶCCを重畳する構成である。そして、この倍電圧整
流回路21の出力を、フォトインタラプタ９の交流出力を
整流する倍電圧整流回路13の整流出力に重畳する。Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 3 shows a circuit configuration of a main part of the second embodiment of the present invention. The same parts as those in FIG. 2 are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted. In FIG. 3, an AC operation stop signal S generated in response to an operation stop command of an operation operation device (not shown) as an operation operation means (not shown) for operating the start / stop of the operation of the movable part of the machine to which the pressure is supplied by the operation start. A voltage doubler rectifier circuit 21 for rectifying is provided. The voltage doubler rectifier circuit 21 is composed of two capacitors C5 and C6 and two diodes D5 and D6 like the voltage doubler rectifier circuit 13, and has a configuration in which the power supply voltage V CC is superimposed on the rectified output. Then, the output of the voltage doubler rectifier circuit 21 is superimposed on the rectified output of the voltage doubler rectifier circuit 13 that rectifies the AC output of the photo interrupter 9.
【００３１】この場合、各倍電圧整流回路13，21の整流
出力をＶ0 とすると、運転停止信号Ｓが発生している時
は倍電圧整流回路21の出力はＶCC＋Ｖ0 である。フォト
インタラプタ９の出力が発生している時は倍電圧整流回
路13の出力はＶCC＋Ｖ0 である。従って、運転停止信号
Ｓとフォトインタラプタ９の両出力が発生している時は
倍電圧整流回路13の出力はＶCC＋２Ｖ0 となる。そし
て、自己保持回路14のウィンドウコンパレータ15のホー
ルド入力端子の閾値をＶCC＋Ｖ0 とＶCC＋２Ｖ0の間に
設定する。これにより、自己保持回路14は、運転停止信
号Ｓとフォトインタラプタ９の両出力が生成されている
時のみ出力を発生することが可能となる。In this case, assuming that the rectified outputs of the voltage doubler rectifier circuits 13 and 21 are V 0 , the output of the voltage doubler rectifier circuit 21 is V CC + V 0 when the operation stop signal S is generated. When the output of the photo interrupter 9 is generated, the output of the voltage doubler rectifier circuit 13 is V CC + V 0 . Therefore, when both the operation stop signal S and the output of the photo interrupter 9 are generated, the output of the voltage doubler rectifier circuit 13 becomes V CC + 2V 0 . Then, the threshold value of the hold input terminal of the window comparator 15 of the self-holding circuit 14 is set between V CC + V 0 and V CC + 2V 0 . This allows the self-holding circuit 14 to generate an output only when both the operation stop signal S and the photo interrupter 9 output are being generated.
【００３２】ここで、倍電圧整流回路13，21は、運転停
止信号Ｓとフォトインタラプタ９の両出力の論理積演算
を実質的に行っており、倍電圧整流回路13，21で論理積
回路を構成している。次に動作を説明する。図２の回路
構成では、残圧無しを通報している運転停止の間に、感
圧パイプ５の導入部分に目詰まりを生じた場合、例え、
その後に運転開始によって機械可動部に圧力が供給され
ても閉塞端５Ａが変位せずに、フォトインタラプタ９の
交流信号の発生により自己保持回路14の出力が発生し続
ける虞れがある。Here, the voltage doubler rectifier circuits 13 and 21 substantially perform a logical product operation of both the operation stop signal S and the output of the photo interrupter 9, and the voltage doubler rectifier circuits 13 and 21 form a logical product circuit. I am configuring. Next, the operation will be described. In the circuit configuration of FIG. 2, in the case where the introduction portion of the pressure-sensitive pipe 5 is clogged during the operation stop reporting that there is no residual pressure, for example,
After that, even if pressure is supplied to the movable part of the machine by the start of operation, the closed end 5A may not be displaced, and the output of the self-holding circuit 14 may continue to be generated due to the generation of the AC signal of the photo interrupter 9.
【００３３】図３に示す第２実施形態の回路構成によれ
ば、運転が停止状態にあり、且つ、フォトインタラプタ
９によって残圧無しのセンサ出力が発生している時の
み、倍電圧整流回路13からＶCC＋２Ｖ0 の出力が発生し
自己保持回路14から出力が発生する。従って、万一、運
転停止中に目詰まりが生じても、運転開始により運転停
止信号Ｓが消滅すれば、例えフォトインタラプタ９から
の残圧無しのセンサ出力が生成されていても、自己保持
回路14の出力は必ず停止する。そして、目詰まりが生じ
ているので、その後は、所定圧力を検出した時に発生す
るフォトインタラプタ８からセンサ出力が生成されず、
自己保持回路14から出力が発生することはない。According to the circuit configuration of the second embodiment shown in FIG. 3, the voltage doubler rectifier circuit 13 is provided only when the operation is stopped and the photointerrupter 9 produces a sensor output without residual pressure. Output of V CC + 2V 0 is generated from the self-holding circuit 14. Therefore, even if clogging occurs during operation stop, if the operation stop signal S disappears due to operation start, even if the sensor output without residual pressure from the photo interrupter 9 is generated, the self-holding circuit The output of 14 always stops. Then, since clogging has occurred, thereafter, no sensor output is generated from the photo interrupter 8 that occurs when a predetermined pressure is detected,
No output is generated from the self-holding circuit 14.
【００３４】以上のように、第２実施形態によれば、運
転停止中に目詰まりが生じた場合でも、圧力センサ20の
異常を通報することができ、圧力センサの監視機能の信
頼性をより一層向上できる。また、図４に示すように、
図１の圧力センサ20において、基台１に固定したガイド
31に沿って移動自由なスライド板32に、フォトインタラ
プタ８を取付けるようにしてもよい。As described above, according to the second embodiment, it is possible to notify the abnormality of the pressure sensor 20 even when the clogging occurs during the operation stop, and the reliability of the monitoring function of the pressure sensor is further improved. It can be further improved. Also, as shown in FIG.
In the pressure sensor 20 of FIG. 1, a guide fixed to the base 1
The photo interrupter 8 may be attached to the slide plate 32 that can move freely along the line 31.
【００３５】かかる構成では、スライド板32でフォトイ
ンタラプタ８の位置を自由に移動することができ、フォ
トインタラプタ８による圧力検出範囲を調整することが
可能となる。圧力を駆動源とする機械の場合、所定の圧
力の時に限り予め定められた特定の運転を開始又は継続
するような運転形態が存在する。このような運転形態は
作業者による手動操作で行われる場合が多い。In this structure, the position of the photo interrupter 8 can be freely moved by the slide plate 32, and the pressure detection range by the photo interrupter 8 can be adjusted. In the case of a machine using a pressure as a drive source, there is an operation mode in which a predetermined specific operation is started or continued only at a predetermined pressure. Such an operation form is often performed manually by an operator.
【００３６】以下に、上述した圧力センサ監視装置をこ
のような運転形態に適用する場合の実施形態について説
明する。図５（Ａ）〜（Ｃ）に、運転停止で残圧無しの
状態に復帰したことを検出した後に加圧過程で特定の運
転操作を行う場合の実施形態を示す。尚、上記各実施形
態と同一部分には同一符号を付して説明を省略する。An embodiment in which the above-mentioned pressure sensor monitoring device is applied to such an operation mode will be described below. FIGS. 5A to 5C show an embodiment in which a specific driving operation is performed in the pressurizing process after it is detected that the state has returned to the state without residual pressure after the operation is stopped. The same parts as those in the above-mentioned respective embodiments are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
【００３７】図５（Ａ）において、圧力センサの一方の
フォトインタラプタ41は固定し、他方のフォトインタラ
プタ42を、図４のようにスライド板32に取付けて移動可
能とする。フォトインタラプタ42側では、図５（Ｂ）に
示すよう、信号発生器43の電源線に作業者により操作さ
れる手動の押し釦式の運転スイッチ44を設ける。そし
て、図５（Ｃ）に示すように、フォトインタラプタ42の
出力に基づく倍電圧整流出力をホールド入力信号とし
て、フォトインタラプタ41の出力に基づく倍電圧整流出
力をオフ・ディレー回路45でオフ・ディレーしてトリガ
入力信号として自己保持回路14に接続する。ここで、本
実施形態では、フォトインタラプタ41が第１の変位位置
を検出する第１の圧力−電気変換手段に相当し、フォト
インタラプタ42が第２の変位位置を検出する第２の圧力
−電気変換手段に相当する。In FIG. 5A, one photo interrupter 41 of the pressure sensor is fixed, and the other photo interrupter 42 is attached to the slide plate 32 as shown in FIG. 4 so as to be movable. On the photo interrupter 42 side, as shown in FIG. 5B, a manual push-button type operation switch 44 operated by an operator is provided on the power supply line of the signal generator 43. Then, as shown in FIG. 5C, the double voltage rectified output based on the output of the photo interrupter 42 is used as a hold input signal, and the double voltage rectified output based on the output of the photo interrupter 41 is turned off by the off delay circuit 45. Then, it is connected to the self-holding circuit 14 as a trigger input signal. Here, in the present embodiment, the photo interrupter 41 corresponds to the first pressure-electricity converting means for detecting the first displacement position, and the photo interrupter 42 is the second pressure-electricity detecting for the second displacement position. It corresponds to a conversion means.
【００３８】かかる構成では、フォトインタラプタ41で
残圧無しを検出した後に、加圧過程で機械可動部内の圧
力が所定値になった時、運転スイッチ44を操作する。圧
力センサが正常であれば、運転スイッチ44を操作した時
に感圧パイプ５の閉塞端５Ａが予め設定した所定位置に
移動しており、フォトインタラプタ42から交流信号が発
生して自己保持回路14から出力が発生する。圧力センサ
に目詰まり等が発生して異常な状態の時は、供給圧力の
変化に応じた閉塞端５Ａの移動がないため自己保持回路
14の出力は生成されず、異常が通報される。In such a structure, after the photo interrupter 41 detects that there is no residual pressure, the operation switch 44 is operated when the pressure in the movable portion of the machine reaches a predetermined value in the pressurizing process. If the pressure sensor is normal, when the operation switch 44 is operated, the closed end 5A of the pressure-sensitive pipe 5 has moved to a predetermined position set in advance, an AC signal is generated from the photo interrupter 42, and the self-holding circuit 14 is generated. Output is generated. When the pressure sensor is clogged or the like and is in an abnormal state, there is no movement of the closed end 5A according to the change of the supply pressure, so that the self-holding circuit.
No 14 output is generated and an anomaly is reported.
【００３９】上記実施形態では、運転停止で残圧無しの
状態に復帰したことを検出した後に加圧過程で特定の運
転操作を行う場合の例を示したが、高圧運転で予め定め
た高い圧力を検出した後、減圧過程で特定の運転操作を
行う場合も同様に構成することができる。即ち、この場
合は、高圧であることを検出するフォトインタラプタ側
を固定し、特定の運転操作を行う圧力を検出するフォト
インタラプタ側を移動可能に取付ければよい。In the above embodiment, an example is shown in which a specific driving operation is performed in the pressurizing process after detecting the return to the state of no residual pressure after the operation is stopped. The same configuration can be applied when a specific driving operation is performed in the depressurization process after detecting That is, in this case, the photo interrupter side that detects a high voltage may be fixed, and the photo interrupter side that detects a pressure for performing a specific driving operation may be movably attached.
【００４０】この場合も、高圧側フォトインタラプタで
感圧パイプの動作が正常であることを検査した後、減圧
過程で所定圧力値になった時に運転スイッチを操作する
ことで、圧力センサが正常であれば自己保持回路の出力
が生成されることになる。尚、上記の各実施形態では、
感圧部トランスデューサとしてブルドン管を示したが、
圧力を受けた時に変位する感圧体（ダイヤフラム等）を
有する圧力センサであれば、どのようなものでも適用で
きる。また、圧力−電気変換手段として、光センサを用
いたが、これに限らず磁気変化を利用するもの（トラン
ス等）でもよい。In this case as well, the pressure sensor operates normally by operating the operation switch when a predetermined pressure value is reached during the depressurization process after inspecting that the operation of the pressure sensitive pipe is normal by the high-voltage photointerrupter. If so, the output of the self-holding circuit is generated. In each of the above embodiments,
The Bourdon tube was shown as the pressure sensitive transducer,
Any pressure sensor can be applied as long as it has a pressure sensitive body (diaphragm or the like) that is displaced when a pressure is applied. Further, although the optical sensor is used as the pressure-electricity conversion means, the pressure-electricity conversion means is not limited to this, and may use a magnetic change (transformer or the like).
【００４１】[0041]
【発明の効果】以上説明したように請求項１記載の発明
によれば、予め定めた２つの検出圧力をそれぞれ直接圧
力センサで検出し、双対のセンサ出力に基づいて圧力セ
ンサの正常・異常を判定する構成としたので、振動・衝
撃等の影響を受けず異常検出能力が高く監視装置の信頼
性を向上できる。As described above, according to the first aspect of the present invention, two predetermined detection pressures are directly detected by the pressure sensor respectively, and normality / abnormality of the pressure sensor is detected based on the dual sensor output. Since the determination is made, the abnormality detection capability is high without being affected by vibration and shock, and the reliability of the monitoring device can be improved.
【００４２】請求項２及び請求項３記載の発明によれ
ば、回路故障時に出力が発生せず異常を示すことができ
るので、フェールセーフな構成であり、より一層圧力セ
ンサ監視装置の信頼性を向上できる。請求項４記載の発
明によれば、残圧がない安全状態を高エネルギ状態の出
力で示すことができ、圧力を駆動源とする機械可動部に
適用すれば、作業者の安全確保に有効である。According to the second and third aspects of the present invention, since an output can be generated and an abnormality can be shown at the time of circuit failure, the configuration is fail-safe, and the reliability of the pressure sensor monitoring device is further improved. Can be improved. According to the invention of claim 4, a safe state with no residual pressure can be indicated by the output of a high energy state, and if it is applied to a machine movable part using pressure as a drive source, it is effective for ensuring the safety of the operator. is there.
【００４３】請求項５記載の発明によれば、運転停止中
に目詰まり等の異常が発生した時にこれを通報すること
ができる。請求項６記載の発明によれば、検出圧力を適
宜設定することができ、汎用性のある圧力センサ監視装
置とすることができる。According to the fifth aspect of the present invention, when an abnormality such as clogging occurs during operation stop, this can be notified. According to the invention described in claim 6, the detected pressure can be appropriately set, and the pressure sensor monitoring device has versatility.
【図１】本発明に係る圧力センサ監視装置に適用する圧
力センサの構成図FIG. 1 is a configuration diagram of a pressure sensor applied to a pressure sensor monitoring device according to the present invention.
【図２】本発明に係る圧力センサ監視装置の第１実施形
態の回路図FIG. 2 is a circuit diagram of a first embodiment of a pressure sensor monitoring device according to the present invention.
【図３】本発明に係る圧力センサ監視装置の第２実施形
態の要部回路図FIG. 3 is a circuit diagram of a main part of a second embodiment of a pressure sensor monitoring device according to the present invention.
【図４】図１の圧力センサの別の実施形態の要部構成図FIG. 4 is a configuration diagram of essential parts of another embodiment of the pressure sensor of FIG.
【図５】本発明の第３実施形態を示す図で、（Ａ）はフ
ォトインタラプタ取付け状態図、（Ｂ）は運転スイッチ
操作でセンサ出力を発生するフォトインタラプタ回路
図、（Ｃ）は要部回路図5A and 5B are views showing a third embodiment of the present invention, in which FIG. 5A is a photointerrupter attachment state diagram, FIG. 5B is a photointerrupter circuit diagram for generating a sensor output by operating a switch, and FIG. circuit diagram
５ 感圧パイプ ５Ａ 閉塞端 ６ プレート ７ スリット ８，９，41，42 フォトインタラプタ 12，13，21 倍電圧整流回路 14 自己保持回路 18 発光ダイオード 20 圧力センサ 31 ガイド 32 スライド板 5 Pressure-sensitive pipe 5A closed end 6 plates 7 slits 8,9,41,42 Photointerrupter 12, 13, 21 times voltage rectifier circuit 14 Self-holding circuit 18 light emitting diode 20 Pressure sensor 31 Guide 32 slide plate
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−307952（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−152356（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−288849（ＪＰ，Ａ) 国際公開95／33190（ＷＯ，Ａ１) 国際公開96／31755（ＷＯ，Ａ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01L 9/00 G01L 19/12 G01D 21/00 G01D 1/18 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) Reference JP-A-6-307952 (JP, A) JP-A-9-152356 (JP, A) JP-A-6-288849 (JP, A) International Publication 95/33190 (WO, A1) International Publication 96/31755 (WO, A1) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) G01L 9/00 G01L 19/12 G01D 21/00 G01D 1/18
Claims (6)
圧力の増減に伴い閉塞端側が変位する感圧パイプと、該
感圧パイプの閉塞端の変位位置を検出して電気出力を発
生し導入圧力を電気信号に変換する圧力−電気変換手段
とを備えた圧力センサの正常・異常を監視する圧力セン
サ監視装置において、前記感圧パイプの閉塞端の変位方向に沿って間隔を設け
て第１及び第２の圧力−電気変換手段を配置し、前記感
圧パイプの閉塞端が予め定めた第１の圧力値に対応する
第１の変位位置にある時に第１の圧力−電気変換手段か
ら電気出力が発生し、前記感圧パイプ内の圧力変化に伴
って閉塞端が移動して当該閉塞端が前記第１の圧力値と
異なる第２の圧力値に対応する第２の変位位置になった
時に第２の圧力−電気変換手段から電気出力が発生する
構成とし、 前記第１及び第２の圧力−電気変換手段から
の電気出力に基づいて圧力センサの正常・異常を判定
し、感圧パイプの圧力変化過程で前記閉塞端が前記第１
の変位位置から移動して第１の圧力−電気変換手段から
の電気出力が停止し、その後所定時間以内に前記閉塞端
が前記第２の変位位置に移動して第２の圧力−電気変換
手段から電気信号が発生した時に圧力センサが正常と判
定する判定手段とを備えて構成したことを特徴とする圧
力センサ監視装置。1. A pressure-sensitive pipe whose one end is closed and whose closed end is displaced as the pressure introduced from an opening at the other end increases and decreases, and a displacement position of the closed end of the pressure-sensitive pipe is detected to generate an electric output. In the pressure sensor monitoring device for monitoring the normality / abnormality of the pressure sensor having a pressure-electricity conversion means for converting the introduced pressure into an electric signal, an interval is provided along the displacement direction of the closed end of the pressure-sensitive pipe.
The first and second pressure-electricity conversion means, and
The closed end of the pressure pipe corresponds to a predetermined first pressure value
The first pressure-electricity converting means when in the first displacement position?
Generates an electrical output from the pressure sensitive pipe
As a result, the closed end moves and the closed end moves to the first pressure value.
The second displacement position corresponding to a different second pressure value is reached.
Sometimes an electric output is generated from the second pressure-electricity conversion means.
It is configured that the normality / abnormality of the pressure sensor is determined based on the electric output from the first and second pressure-electricity converting means, and the closed end is the first end during the pressure change process of the pressure- sensitive pipe .
From the displacement position, the electric output from the first pressure-electricity converting means is stopped, and then the closed end is reached within a predetermined time.
Is equipped with a determination means for determining that the pressure sensor is normal when the second pressure-electric conversion means generates an electric signal by moving to the second displacement position. .
は、１つのスリットを有し前記感圧パイプ閉塞端に固着
されて閉塞端の変位に応じて変位するプレートを挟んで
対向配置した第１及び第２の投光素子と第１及び第２の
受光素子とをそれぞれ備えた第１及び第２の光センサか
らなり、第１の光センサは、前記感圧パイプの閉塞端が
前記第１の変位位置にある時に第１の投光素子の交流の
光ビームが前記スリットを介して第１の受光素子で受光
されて交流出力を発生する構成であり、第２の光センサ
は、前記感圧パイプの閉塞端が前記第２の変位位置に移
動した時に第２の投光素子の交流の光ビームが前記スリ
ットを介して第２の受光素子で受光されて交流出力を発
生する構成である請求項１記載の圧力センサ監視装置。2. The first and second pressure- electricity converting means are arranged so as to face each other with a plate having one slit fixed to the closed end of the pressure-sensitive pipe and displaced according to the displacement of the closed end. The first and second light sensors are respectively provided with the first and second light projecting elements and the first and second light receiving elements, and the first light sensor has a closed end of the pressure-sensitive pipe. a configuration in which the light beam of the AC of the first light projecting element for generating an AC output is received by the first light receiving element via the slit when in the first position of displacement, the second optical sensor , The closed end of the pressure sensitive pipe moves to the second displacement position .
2. The pressure sensor according to claim 1, wherein when moved, the AC light beam of the second light projecting element is received by the second light receiving element via the slit to generate an AC output. Monitoring equipment.
の交流出力を整流して電源電圧に重畳して出力する第１
の整流回路と、該第１の整流回路の出力立ち下がりを前
記所定時間遅延するオフ・ディレー回路と、前記第２の
光センサからの交流出力を整流して電源電圧に重畳して
出力する第２の整流回路と、前記オフ・ディレー回路の
出力をトリガ入力信号とし前記第２の整流回路の出力を
ホールド入力信号とし前記トリガ入力信号を自己保持す
る自己保持回路とを備え、該自己保持回路から出力が発
生した時に圧力センサ正常を示す構成である請求項２記
載の圧力センサ監視装置。3. The first determining means rectifies the AC output from the first optical sensor, superimposes the AC output on the power supply voltage, and outputs the superimposed AC output.
Rectifying circuit, an off-delay circuit that delays the output fall of the first rectifying circuit for the predetermined time, and an alternating output from the second photosensor that is rectified and superimposed on a power supply voltage for output. And a self-holding circuit that holds the output of the off-delay circuit as a trigger input signal and the output of the second rectifier circuit as a hold input signal to hold the trigger input signal by itself. The pressure sensor monitoring device according to claim 2, wherein the pressure sensor monitoring device is configured to indicate that the pressure sensor is normal when an output is generated from the pressure sensor monitoring device.
に予め定めた所定圧力値が存在する時に前記第１の変位
位置に位置し、感圧パイプ内に圧力が存在しない時に前
記第２の変位位置に位置する請求項１〜３のいずれか１
つに記載の圧力センサ監視装置。 4. The closed end of the pressure-sensitive pipe is the first displacement when a predetermined pressure value is present in the pressure-sensitive pipe.
In position, in front of when there is no pressure in the pressure sensitive pipe.
4. The method according to claim 1 , wherein the second displacement position is located.
Pressure sensor monitoring device.
パイプの閉塞端が第２の変位位置に位置する場合に、運
転開始により圧力が供給される機械可動部の運転の開始
・停止を操作する運転操作手段の運転停止指令に伴って
発生する運転停止信号と、前記第２の圧力−電気変換手
段の電気信号との論理積演算を行う論理積回路を設け、
該論理積回路から論理値１の出力が発生する時に前記判
定手段から圧力センサの正常判定出力が発生する構成で
ある請求項４記載の圧力センサ監視装置。5. Pressure sensing when there is no pressure in the pressure sensitive pipe.
When the closed end of the pipe is located at the second displacement position, the operation stop generated in accordance with the operation stop command of the operation operation means for operating the start and stop of the operation of the machine movable part to which the pressure is supplied by the operation start. A logical product circuit for performing a logical product operation of the signal and the electric signal of the second pressure-electricity converting means,
5. The pressure sensor monitoring device according to claim 4, wherein the judgment means outputs a normal judgment output of the pressure sensor when the logical product circuit outputs a logical value 1.
イプ閉塞端の変位方向に沿って移動可能に構成した請求
項１〜５のいずれか１つに記載の圧力センサ監視装置。6. The pressure sensor monitoring device according to claim 1, wherein the first pressure-electricity converting means is configured to be movable along the displacement direction of the closed end of the pressure-sensitive pipe.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13339396A JP3371057B2 (en) | 1996-05-28 | 1996-05-28 | Pressure sensor monitoring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13339396A JP3371057B2 (en) | 1996-05-28 | 1996-05-28 | Pressure sensor monitoring device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09318471A JPH09318471A (en) | 1997-12-12 |
| JP3371057B2 true JP3371057B2 (en) | 2003-01-27 |
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ID=15103706
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP (1) | JP3371057B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4544632B2 (en) * | 2006-01-16 | 2010-09-15 | 学校法人早稲田大学 | Medical procedure evaluation system |
-
1996
- 1996-05-28 JP JP13339396A patent/JP3371057B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
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|---|---|
| JPH09318471A (en) | 1997-12-12 |
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