JP3344084B2 - Semiconductor laser device - Google Patents

Semiconductor laser device

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JP3344084B2 JP13868894A JP13868894A JP3344084B2 JP 3344084 B2 JP3344084 B2 JP 3344084B2 JP 13868894 A JP13868894 A JP 13868894A JP 13868894 A JP13868894 A JP 13868894A JP 3344084 B2 JP3344084 B2 JP 3344084B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光照射により情報の記
録、再生または消去を行う光情報記録装置に使用する光
ピックアップ装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical pickup device used for an optical information recording device for recording, reproducing or erasing information by irradiating light.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の磁気ヘッドによるビデオテープ方
式に対して光学ヘッドを使用し、情報を記録した記録媒
体上に収束した光ビームを照射し、記録媒体から反射さ
れた光を検出して記録媒体の情報内容を映像や音として
再生する光ディスク方式の普及が最近著しくなってき
た。記録媒体としてはオーディオ分野ではコンパクトデ
ィスク、ビデオ分野ではレーザディスクがよく知られて
おり、光ディスクから情報を読み出すために光学ヘッド
として光半導体装置を用いた光ピックアップ装置が用い
られる。これらの光半導体応用による光記録再生技術は
大型のコンピュータネットワーク、またはパーソナルコ
ンピュータにおけるデータ記憶にも適用できるものとし
ていわゆるマルチメディアと呼ばれる高度情報社会の中
枢を担う技術として発展しつつある。
2. Description of the Related Art An optical head is used for a video tape system using a conventional magnetic head, a converged light beam is irradiated on a recording medium on which information is recorded, and light reflected from the recording medium is detected and recorded. Recently, an optical disk system for reproducing information content of a medium as video or sound has become remarkably widespread. As a recording medium, a compact disk is well known in the audio field, and a laser disk is well known in the video field, and an optical pickup device using an optical semiconductor device as an optical head is used to read information from the optical disk. The optical recording / reproducing technology using these optical semiconductors is being developed as a technology that plays a key role in a so-called multimedia, which is a center of the advanced information society, as it can be applied to data storage in a large computer network or a personal computer.

【0003】以下に従来の光ピックアップ装置について
説明する。図3は従来の光ピックアップ装置の構成図で
ある。
Hereinafter, a conventional optical pickup device will be described. FIG. 3 is a configuration diagram of a conventional optical pickup device.

【0004】図3において、1は半導体レーザ素子、2
は受光素子、3は回折格子、4はホログラム、5はレン
ズ、6は情報を記録した記録媒体、7aは半導体レーザ
素子1から射出される光ビーム、7bは回折格子3によ
り分割された分割光ビーム、8は記録媒体6から反射し
てきた信号光ビームである。
In FIG. 3, reference numeral 1 denotes a semiconductor laser device;
Is a light receiving element, 3 is a diffraction grating, 4 is a hologram, 5 is a lens, 6 is a recording medium on which information is recorded, 7a is a light beam emitted from the semiconductor laser element 1, and 7b is a divided light divided by the diffraction grating 3. A beam 8 is a signal light beam reflected from the recording medium 6.

【0005】以上のように構成された従来の光ピックア
ップ装置では単一のレーザビームの半導体レーザ素子1
が用いられており、半導体レーザ素子1から射出された
光ビーム7aは回折格子3によって3本に分割された光
ビーム7bとなり、レンズ5を通って記録媒体6に到達
する。記録媒体6上には情報を記録するためのピットな
どが形成されている。この記録媒体6から反射してきた
信号光ビーム8はホログラム4によってその光路を大き
く変更され、受光素子2に入射する。従来の光ピックア
ップ装置では以上のようにして、受光素子2に入射した
信号光ビーム8を電気信号に変換し、情報を読み取るよ
うになっている。
In the conventional optical pickup device configured as described above, the semiconductor laser device 1 of a single laser beam is used.
Is used, and the light beam 7a emitted from the semiconductor laser device 1 becomes a light beam 7b divided into three by the diffraction grating 3, and reaches the recording medium 6 through the lens 5. Pits and the like for recording information are formed on the recording medium 6. The optical path of the signal light beam 8 reflected from the recording medium 6 is largely changed by the hologram 4 and enters the light receiving element 2. As described above, the conventional optical pickup device converts the signal light beam 8 incident on the light receiving element 2 into an electric signal and reads information.

【0006】次に従来の光ピックアップ装置に使用する
半導体レーザ素子について説明する。図4は同半導体レ
ーザ素子の要部断面図である。図4に示すように、n型
GaAs基板21の上にn型GaAlAsからなるクラ
ッド層22が形成されており、その上にGaAlAsか
らなる活性層23が形成されている。活性層23の上に
はp型GaAlAsからなる光ガイド層24が形成され
ており、その上にストライプ状の窓25aを有する、n
型GaAsからなる電流ブロック層25が形成されてい
る。その上には、窓25aを埋めてp型GaAlAsか
らなるクラッド層26が形成され、さらにp型GaAs
からなるコンタクト層27が形成されている。
Next, a semiconductor laser device used in a conventional optical pickup device will be described. FIG. 4 is a sectional view of a main part of the semiconductor laser device. As shown in FIG. 4, a clad layer 22 made of n-type GaAlAs is formed on an n-type GaAs substrate 21, and an active layer 23 made of GaAlAs is formed thereon. An optical guide layer 24 made of p-type GaAlAs is formed on the active layer 23, and has a striped window 25 a thereon.
A current blocking layer 25 of type GaAs is formed. On top of this, a cladding layer 26 made of p-type GaAlAs is formed to fill the window 25a, and furthermore, p-type GaAs
Is formed.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の構成では、単一ビームの半導体レーザ素子を用いて
いるため、ビームを分割するための回折格子を必要と
し、さらには半導体レーザ素子とホログラムと回折格子
の3つを位置合わせしなければならないという課題を有
していた。
However, in the above-mentioned conventional configuration, since a single-beam semiconductor laser device is used, a diffraction grating for splitting a beam is required, and furthermore, a semiconductor laser device and a hologram are required. There was a problem that three diffraction gratings had to be aligned.

【0008】また一般に、光ピックアップ装置では、光
学系の製作誤差や記録媒体における複屈折により半導体
レーザ素子からの出力の約1%前後が再び半導体レーザ
素子に戻り、そのために半導体レーザ素子の光出力が変
動して雑音が発生し、再生時のS/N比が低下するとい
う課題があった。この課題を解決するために、半導体レ
ーザ素子を駆動する直流電流に高周波電流を重畳して多
重モード発振させてコヒーレンスを低下させることによ
り雑音を制御する方法が採用されており効果を上げてい
るが、単一ビームの半導体レーザ素子であっても回路構
成が複雑になるという課題を有していた。
Generally, in an optical pickup device, about 1% of the output from the semiconductor laser element returns to the semiconductor laser element again due to a manufacturing error of the optical system or birefringence in the recording medium. Fluctuates to generate noise, and the S / N ratio during reproduction is reduced. In order to solve this problem, a method has been adopted in which a high-frequency current is superimposed on a DC current for driving a semiconductor laser device to cause multi-mode oscillation and reduce coherence to control noise, thereby improving the effect. However, there is a problem that the circuit configuration becomes complicated even with a single-beam semiconductor laser device.

【0009】また光ビームを分割するための回折格子を
省略して光学系を簡略化するためにマルチビームを発振
する半導体レーザ素子を使用する試みがなされている
が、従来のマルチビームの半導体レーザ素子ではそれぞ
れの発光点に流れる高周波電流の振幅は同じでもその位
相が異なり、その点を解決するために回路構成が複雑に
なるという課題を有していた。
Attempts have been made to use a semiconductor laser device which oscillates a multi-beam in order to simplify the optical system by omitting a diffraction grating for splitting a light beam. In the element, the phase of the high-frequency current flowing through each light-emitting point is different even if the amplitude is the same, and there is a problem that the circuit configuration becomes complicated to solve the point.

【0010】本発明は上記従来の課題を解決するもの
で、動作電流値が低く、高信頼性で3ビームを発振する
半導体素子を用い、回折格子を必要としない光ピックア
ップ装置を提供することを目的とする。
An object of the present invention is to provide an optical pickup device which uses a semiconductor element which oscillates three beams with high reliability and a low operating current value and does not require a diffraction grating. Aim.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の半導体レーザ装置は、Ga 1-x Al x As活性
層(0≦x≦1)の主面の少なくとも一方の側に一導電
型のGa 1-y3 Al y3 Asクラッド層(x<y3<1)お
よび逆導電型のGa 1-z Al z As電流ブロック層(y3
<z≦1)が形成され、前記活性層と前記クラッド層と
の間に、前記活性層側より、Ga 1-y1 Al y1 Asよりな
る第1光ガイド層、Ga 1-y2 Al y2 As(x<y2<y
1<y3)よりなる第2光ガイド層が順次設けられ、前
記電流ブロック層には複数のストライプ状の溝が形成さ
れ、前記ストライプ状の溝を埋めるように前記電流ブロ
ック層が形成されたものである。
Means for Solving the Problems A semiconductor laser device of the present invention to achieve this object, Ga 1-x Al x As active
One conductive layer on at least one side of the main surface of the layer (0 ≦ x ≦ 1)
Ga 1-y3 Al y3 As clad layer (x <y3 <1) and
And a Ga 1 -z Al z As current blocking layer (y3
<Z ≦ 1) is formed, and the active layer and the cladding layer
Between the active layer side and Ga 1-y1 Al y1 As.
A first light guide layer, Ga 1-y2 Al y2 As (x <y2 <y
1 <y3), a second light guide layer is sequentially provided.
A plurality of stripe-shaped grooves are formed in the current block layer.
The current blower so as to fill the stripe-shaped groove.
A lock layer is formed .

【0012】[0012]

【作用】 この構成によって、低電流動作が可能で、高
信頼性で、かつ安定して3ビームを発振することのでき
半導体レーザ素子を実現できる。すなわち、本発明の
構成による半導体レーザ素子では、電流ブロック層のA
lAs混晶比をクラッド層のAlAs混晶比より高く設
定しているために単一な横モードで発振し、レーザ光の
電流ブロック層による光吸収がないために低電流動作が
可能となるものである。
With this configuration, it is possible to realize a semiconductor laser device that can operate at a low current, is highly reliable, and can stably emit three beams. That is, in the semiconductor laser device according to the configuration of the present invention, A
Oscillation in a single transverse mode because the lAs mixed crystal ratio is set higher than the AlAs mixed crystal ratio in the cladding layer, and low current operation is possible because there is no light absorption by the current block layer of laser light. It is.

【0013】[0013]

【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。図1は本実施例における光ピックア
ップ装置の構成図である。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram of an optical pickup device according to the present embodiment.

【0014】図1において、図3に示す従来例と同一箇
所には同一符号を付して説明を省略し、異なる点につい
てのみ説明する。なお11は3つの光ビーム12aを発
振する半導体レーザ素子である。このように、半導体レ
ーザ素子11が3つの光ビーム12aを発振できるため
に、図3に示す従来例で必要とした回折格子3が不要と
なる。
In FIG. 1, the same portions as those in the conventional example shown in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted. Only different points will be described. Reference numeral 11 denotes a semiconductor laser device that oscillates three light beams 12a. As described above, since the semiconductor laser element 11 can oscillate three light beams 12a, the diffraction grating 3 required in the conventional example shown in FIG. 3 becomes unnecessary.

【0015】半導体レーザ素子11から出射された3本
の光ビーム12aはレンズ5を通って照射光12bとな
り、記録媒体6に照射される。記録媒体6から反射しホ
ログラム4によって光路を変更された信号光12cは受
光素子2に入射し、そこで電気信号に変換され信号処理
される。このとき半導体レーザ素子11はスペクトルの
点からは多重モードで発振しており、半導体レーザ素子
に戻る反射光との干渉性が弱く、低雑音特性が得られ
る。
The three light beams 12a emitted from the semiconductor laser element 11 pass through the lens 5 to become irradiation light 12b, which is irradiated on the recording medium 6. The signal light 12c reflected from the recording medium 6 and the optical path of which is changed by the hologram 4 enters the light receiving element 2, where it is converted into an electric signal and processed. At this time, the semiconductor laser element 11 oscillates in multiple modes from the point of spectrum, has low coherence with the reflected light returning to the semiconductor laser element, and has low noise characteristics.

【0016】次に本実施例における光ピックアップ装置
に使用する半導体レーザ素子について説明する。図2は
同半導体レーザ素子の要部断面図である。
Next, a semiconductor laser device used in the optical pickup device according to the present embodiment will be described. FIG. 2 is a sectional view of a main part of the semiconductor laser device.

【0017】図2に示すように、n型のGaAs基板3
1の上にn型Ga0.4Al0.6Asからなる第1クラッド
層32、Ga0.85Al0.15Asからなる活性層33、p
型のGa0.5Al0.5Asからなる第1光ガイド層34、
p型Ga0.8Al0.2Asからなる第2光ガイド層35が
形成されており、電流狭窄のために電流チャンネルとな
る窓36a,36b,36c以外の領域にはn型Ga
0.4Al0.6Asからなる電流ブロック層36が形成され
ている。これらの上にp型Ga0.5Al0.5Asからなる
第2クラッド層37、p型GaAsからなるコンタクト
層38が形成されている。
As shown in FIG. 2, an n-type GaAs substrate 3
1, a first cladding layer 32 made of n-type Ga 0.4 Al 0.6 As, an active layer 33 made of Ga 0.85 Al 0.15 As, p
A first light guide layer 34 of Ga 0.5 Al 0.5 As type,
A second optical guide layer 35 made of p-type Ga 0.8 Al 0.2 As is formed, and n-type Ga is provided in a region other than the windows 36a, 36b, and 36c serving as current channels for current confinement.
A current block layer 36 made of 0.4 Al 0.6 As is formed. On these, a second cladding layer 37 made of p-type Ga 0.5 Al 0.5 As and a contact layer 38 made of p-type GaAs are formed.

【0018】ここで、安定な単一横モード発振を得るた
めに、電流ブロック層36のAlAs混晶比を第2クラ
ッド層37のAlAs混晶比より高く設定する。もし電
流ブロック層36のAlAs混晶比が第2クラッド層3
7と同じである場合、プラズマ効果によるストライプ内
の屈折率の低下があり、アンチガイドの導波路となり、
単一な横モード発振は得られない。まして電流ブロック
層36のAlAs混晶比が第2クラッド層37より低い
場合は、完全に横モードが不安定になる。本実施例では
図2に示すように、電流ブロック層36のAlAs混晶
比を第2クラッド層37のAlAs混晶比より0.1高
く0.6としている。
Here, in order to obtain stable single transverse mode oscillation, the AlAs mixed crystal ratio of the current blocking layer 36 is set higher than the AlAs mixed crystal ratio of the second cladding layer 37. If the current blocking layer 36 has an AlAs mixed crystal ratio of
If it is the same as 7, there is a decrease in the refractive index in the stripe due to the plasma effect, and it becomes an anti-guide waveguide,
A single transverse mode oscillation cannot be obtained. Further, when the AlAs mixed crystal ratio of the current blocking layer 36 is lower than that of the second cladding layer 37, the transverse mode becomes completely unstable. In the present embodiment, as shown in FIG. 2, the AlAs mixed crystal ratio of the current blocking layer 36 is set to 0.1 higher than the AlAs mixed crystal ratio of the second cladding layer 37 to 0.6.

【0019】この構造において、コンタクト層38から
注入された電流は窓36a,36b,36c内に閉じ込
められ、その下部の活性層33で780nm帯のレーザ
発振が生じる。ここで第1光ガイド層34のAlAs混
晶比は活性層33のAlAs混晶比より十分に高く、活
性層33へ有効にキャリアを閉じ込めている。780n
m帯のレーザ発振を得るためには、AlAs混晶比とし
て0.45以上が必要であり、本実施例では0.5とし
た。再成長はAlAs混晶比の低い第2光ガイド層35
の上への成長となるため、表面酸化の問題は全くない。
第2光ガイド層35のAlAs混晶比としては、再成長
が容易な0.3以下でかつレーザの発振波長に対して透
明であることが望ましく、本実施例では0.2としてい
る。さらにその膜厚は光分布にあまり影響を与えない
0.05μm以下が望ましく、本実施例では0.03μm
としている。また電流ブロック層36の禁制帯幅は活性
層33の禁制帯幅よりも大きいので、電流ブロック層3
6による光吸収がなく、導波路の損失の小さい低動作電
流の半導体レーザ素子が得られる。低電流動作は、発熱
量の低減につながるため、長寿命特性が得られる。ま
た、この構造では電流ブロック層36による光吸収がな
いため、レーザ光が電流ブロック層36の下部にも広が
り、スペクトルが多重モードになりやすく、低雑音のレ
ーザが容易に得られる。なお、AlAs混晶比を変える
ことにより、半導体レーザ素子の発振波長を変えること
ができる。
In this structure, the current injected from the contact layer 38 is confined in the windows 36a, 36b, and 36c, and laser oscillation in the 780 nm band occurs in the lower active layer 33. Here, the AlAs mixed crystal ratio of the first optical guide layer 34 is sufficiently higher than the AlAs mixed crystal ratio of the active layer 33, and carriers are effectively confined in the active layer 33. 780n
In order to obtain m-band laser oscillation, the AlAs mixed crystal ratio must be 0.45 or more, and is set to 0.5 in this embodiment. Regrowth is performed by the second light guide layer 35 having a low AlAs mixed crystal ratio.
There is no problem of surface oxidation at all.
The AlAs mixed crystal ratio of the second light guide layer 35 is desirably 0.3 or less, which facilitates regrowth, and is transparent to the laser oscillation wavelength. In this embodiment, it is 0.2. Further, the film thickness is desirably 0.05 μm or less which does not significantly affect the light distribution, and is 0.03 μm in this embodiment.
And Further, since the forbidden band width of current blocking layer 36 is larger than the forbidden band width of active layer 33, current blocking layer 3
6, a semiconductor laser device with a low operating current and a small waveguide loss can be obtained. Low-current operation leads to a reduction in the amount of heat generated, so that long life characteristics can be obtained. Further, in this structure, since there is no light absorption by the current blocking layer 36, the laser beam spreads to the lower portion of the current blocking layer 36, the spectrum tends to be multimode, and a low-noise laser can be easily obtained. The oscillation wavelength of the semiconductor laser device can be changed by changing the AlAs mixed crystal ratio.

【0020】以上のように本実施例は、3つの窓36
a,36b,36cを有し3つの光ビームを出射できる
半導体レーザ素子を用いることにより、回折格子を必要
としない光ピックアップ装置を構成できる。
As described above, in the present embodiment, three windows 36 are provided.
By using a semiconductor laser device having a, 36b, and 36c and capable of emitting three light beams, an optical pickup device that does not require a diffraction grating can be configured.

【0021】[0021]

【発明の効果】以上のように本発明は、半導体レーザ素
子の各層の組成と混晶比を適切に選択することにより実
現した多重モード、低電流動作かつ低雑音の3ビーム半
導体レーザ素子を用い、回折格子を省略して光学系を簡
略化した優れた光ピックアップ装置を実現できるもので
ある。
As described above, the present invention uses a multi-mode, low-current operation, and low-noise three-beam semiconductor laser device realized by appropriately selecting the composition and the mixed crystal ratio of each layer of the semiconductor laser device. An excellent optical pickup device in which the diffraction grating is omitted and the optical system is simplified can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例における光ピックアップ装置
の構成図
FIG. 1 is a configuration diagram of an optical pickup device according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例における光ピックアップ装置
に使用する半導体レーザ素子の要部断面図
FIG. 2 is a sectional view of a main part of a semiconductor laser device used in an optical pickup device according to an embodiment of the present invention.

【図3】従来の光ピックアップ装置の構成図FIG. 3 is a configuration diagram of a conventional optical pickup device.

【図4】従来の光ピックアップ装置に使用する半導体レ
ーザ素子の要部断面図
FIG. 4 is a sectional view of a main part of a semiconductor laser device used in a conventional optical pickup device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 半導体レーザ素子 2 受光素子 3 回折格子 4 ホログラム 5 レンズ 6 記録媒体 7a 光ビーム 7b 分割光ビーム 8 信号光ビーム 11 半導体レーザ素子 12a 光ビーム 12b 照射光 12c 信号光 21 n型GaAs基板 22 クラッド層 23 活性層 24 光ガイド層 25a ストライプ状の窓 25 電流ブロック層 26 クラッド層 27 コンタクト層 31 n型GaAs基板 32 第1クラッド層 33 活性層 34 第1光ガイド層 35 第2光ガイド層 36a,36b,36c 窓 36 電流ブロック層 37 第2クラッド層 38 コンタクト層 Reference Signs List 1 semiconductor laser element 2 light receiving element 3 diffraction grating 4 hologram 5 lens 6 recording medium 7a light beam 7b divided light beam 8 signal light beam 11 semiconductor laser element 12a light beam 12b irradiation light 12c signal light 21 n-type GaAs substrate 22 cladding layer 23 Active layer 24 Light guide layer 25a Striped window 25 Current block layer 26 Cladding layer 27 Contact layer 31 n-type GaAs substrate 32 First clad layer 33 Active layer 34 First light guide layer 35 Second light guide layer 36a, 36b, 36c window 36 current blocking layer 37 second cladding layer 38 contact layer

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 Ga1-xAlxAs活性層(0≦x≦1)
の主面の少なくとも一方の側に一導電型のGa1-y3 Al
y3 Asクラッド層(x<y<1)および逆導電型のG
1-zAlzAs電流ブロック層(y<z≦1)が形成
され、前記活性層と前記クラッド層との間に、前記活性
層側より、Ga 1-y1 Al y1 Asよりなる第1光ガイド
層、Ga1-y2 Aly2 As(x<y2<y1<y)より
なる第2光ガイド層が順次設けられ、前記電流ブロック
層には複数のストライプ状の溝が形成され、前記ストラ
イプ状の溝を埋めるように前記電流ブロック層が形成さ
れた半導体レーザ装置。
1. A Ga 1-x Al x As active layer (0 ≦ x ≦ 1)
Ga 1-y 3 Al of one conductivity type is provided on at least one side of the main surface of
y 3 As clad layer (x <y 3 <1) and G of opposite conductivity type
a 1-z Al z As current blocking layer (y 3 <z ≦ 1) is formed, between the active layer and the cladding layer, said active
First light guide made of Ga 1-y1 Al y1 As from the layer side
A second light guide layer made of Ga 1 -y 2 Al y 2 As (x < y 2 <y 1 <y 3 ) is sequentially provided, and a plurality of stripe-shaped grooves are formed in the current block layer ; Stra
The current blocking layer is formed to fill the groove
Semiconductor laser device.
【請求項2】 前記第2光ガイド層の層厚が0.05μ
m以下である請求項記載の半導体レーザ装置。
2. The method according to claim 1, wherein the second light guide layer has a thickness of 0.05 μm.
2. The semiconductor laser device according to claim 1 , wherein m is equal to or less than m.
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