JP3341397B2 - Ozone generator - Google Patents
Ozone generatorInfo
- Publication number
- JP3341397B2 JP3341397B2 JP25619393A JP25619393A JP3341397B2 JP 3341397 B2 JP3341397 B2 JP 3341397B2 JP 25619393 A JP25619393 A JP 25619393A JP 25619393 A JP25619393 A JP 25619393A JP 3341397 B2 JP3341397 B2 JP 3341397B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron
- ozone generator
- chamber
- electron beam
- discharge chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、水処理，殺菌など用い
られ、オゾンを生成するオゾン発生装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ozone generator used for water treatment, sterilization, etc., for generating ozone.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来用いられているオゾン発生装置とし
て、例えば二重管型オゾン発生管の構造を図６の模式断
面図に示す。図６（ａ）は、二重管型オゾン発生管を側
面からみ見た断面図であり、図６（ｂ）は、これと直角
な方向からみ見た断面図である。図６（ａ），（ｂ）に
おいて、この二重管型オゾン発生管は、ステンレス鋼製
の円筒形の接地電極１の内面に、ステンレス鋼製の高圧
電極３が放電ギャップ４を隔てて同心状に配置されてお
り、接地電極１の内側表面には、誘電体層２として例え
ばガラスを密着してある。高圧電極３の寸法は、例えば
直径６０ｍｍ，全長１０００ｍｍ，放電ギャップ４は１
ｍｍである。そして接地電極１と高圧電極３の間に、交
流電源５が接続されている。2. Description of the Related Art As a conventional ozone generator, for example, the structure of a double tube type ozone generator is shown in a schematic sectional view of FIG. FIG. 6A is a cross-sectional view of the double tube type ozone generating tube viewed from the side, and FIG. 6B is a cross-sectional view viewed from a direction perpendicular to the side. 6 (a) and 6 (b), this double-tube type ozone generating tube has a stainless steel high-voltage electrode 3 concentric with a discharge gap 4 on the inner surface of a cylindrical stainless steel ground electrode 1. For example, glass is closely adhered to the inner surface of the ground electrode 1 as the dielectric layer 2. The dimensions of the high-voltage electrode 3 are, for example, 60 mm in diameter, 1000 mm in total length, and the discharge gap 4 is 1
mm. An AC power supply 5 is connected between the ground electrode 1 and the high voltage electrode 3.
【０００３】このような構成を持つ装置の放電ギャップ
４の一端から、矢印で示した原料ガス６の空気または酸
素を充填し、酸素ガス圧を１．５気圧として、交流電源
５により電圧を印加すると、無声放電が生じて、放電ギ
ャップ４の他端から、点線の矢印で示したオゾン７を発
生させることができる。[0003] In the apparatus having such a configuration, air or oxygen of the raw material gas 6 indicated by an arrow is filled from one end of the discharge gap 4, the oxygen gas pressure is set to 1.5 atm, and a voltage is applied by the AC power supply 5. Then, a silent discharge is generated, and ozone 7 indicated by a dotted arrow can be generated from the other end of the discharge gap 4.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、以上の
オゾン発生装置には、次のような問題がある。それは、
オゾン濃度を増すためには、放電ギャップ４を１ｍｍ以
下にに狭くすることが有効であるが、接地電極１および
高圧電極３の長さ方向の曲がりを、極めて精度高く製作
するのが困難なことである。However, the above-mentioned ozone generator has the following problems. that is,
In order to increase the ozone concentration, it is effective to narrow the discharge gap 4 to 1 mm or less. However, it is difficult to manufacture the bending in the longitudinal direction of the ground electrode 1 and the high voltage electrode 3 with extremely high precision. It is.
【０００５】例えば、接地電極１の内面には、誘電体層
２としてガラスを密着してあり、金属のように切削加工
を行なうことができず、ある程度の凹凸は避けられな
い。また高圧電極３は、ステンレス鋼製の引き抜き管を
使用しているが、１０００ｍｍに亘って曲がり精度を確
保するためには、研磨加工を必要とし、製作費用が大幅
に増大するので実用性がない。因みに放電ギャップ４を
０．５ｍｍとするためには、これらの曲がり精度は０．
０５ｍｍ以下の精度が要求される。したがって、放電ギ
ャップ４を調整してオゾン濃度を増すのは、現状では実
験装置レベルでしか達成することができない。For example, glass is closely adhered to the inner surface of the ground electrode 1 as a dielectric layer 2, so that it cannot be cut like a metal, and some unevenness cannot be avoided. The high-voltage electrode 3 uses a drawn tube made of stainless steel. However, in order to ensure bending accuracy over 1000 mm, polishing is required, and the production cost is greatly increased, so that it is not practical. . Incidentally, in order to make the discharge gap 4 0.5 mm, these bending precisions are required to be 0.
Accuracy of not more than 05 mm is required. Therefore, increasing the ozone concentration by adjusting the discharge gap 4 can only be achieved at the experimental device level at present.
【０００６】このように、従来の無声放電を利用したオ
ゾン発生管は、放電ギャップ４の間隔が接地電極１およ
び高圧電極３の曲がり精度で制約を受け、得られるオゾ
ン７の濃度に限界がある。なお、ここでは、便宜上二重
管型オゾン発生管についてのべたが、この問題は平行平
板型のオゾン発生管に関しても同様である。As described above, in the conventional ozone generating tube using silent discharge, the interval between the discharge gaps 4 is limited by the bending accuracy of the ground electrode 1 and the high voltage electrode 3, and the concentration of the obtained ozone 7 is limited. . Here, the double tube type ozone generating tube is described for convenience, but the same problem applies to the parallel plate type ozone generating tube.
【０００７】本発明は上述の点に鑑みてなされたもので
あり、その目的は、放電ギャップを高精度に調整するの
が困難なオゾン発生管を用いることなく、高濃度のオゾ
ンを得ることができるオゾン発生装置を提供することに
ある。[0007] The present invention has been made in view of the above points, and an object thereof is to obtain high-concentration ozone without using an ozone generating tube in which it is difficult to adjust a discharge gap with high accuracy. An object of the present invention is to provide an ozone generator capable of performing the above-mentioned steps.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明の第１の装置は、一端から流入する原料ガ
スを他端に流出させる管状体の一部に形成した放電室
と、この放電室の一側面開口部に電子透過窓を介して取
り付けた高真空を保持する電子発生室と、この電子発生
室内に設けて高速電子線を発生し、原料ガスの流れ方向
に直交するように、この高速電子線を電子透過窓を透過
させ放電室内を流れる原料ガスに照射する電子銃とを備
えており、電子銃として用いるフィラメントとを通電加
熱し、高圧の直流を印加して熱電子を発生させ、この熱
電子を原料ガスに照射するものであり、本発明の第２の
装置は、上述と同様の電子発生室をオリフィスにより２
分割し、高真空を保持する第１の部屋と、プラズマガス
を導入する第２の部屋を有し、第１の部屋に電子銃とし
て設けた金属ターゲットと、第２の部屋で発生するグロ
ー放電中の加速されたプラズマイオンとの衝突により二
次電子を発生させ、この二次電子を原料ガスの流れ方向
に直交するように、原料ガスに照射するものである。In order to solve the above-mentioned problems, a first apparatus of the present invention comprises a discharge chamber formed in a part of a tubular body through which a raw material gas flowing from one end flows out to the other end. An electron generating chamber attached to one side opening of the discharge chamber through an electron transmitting window to maintain a high vacuum, and provided in the electron generating chamber to generate a high-speed electron beam and to be orthogonal to the flow direction of the source gas. And an electron gun for irradiating the high-speed electron beam through the electron transmission window and irradiating the source gas flowing in the discharge chamber. The second device of the present invention generates electrons and irradiates the raw material gas with thermions. In the second apparatus of the present invention, the same electron generation chamber as described above is formed by an orifice.
A first chamber for dividing and maintaining a high vacuum, a second chamber for introducing a plasma gas, a metal target provided as an electron gun in the first chamber, and a glow discharge generated in the second chamber Secondary electrons are generated by collision with the accelerated plasma ions therein, and the secondary electrons are irradiated on the source gas so as to be orthogonal to the flow direction of the source gas.
【０００９】[0009]
【作用】本発明は上記の如く、熱電子と二次電子という
電子の生成法が異なる二つの装置を構成したものであ
り、上記二つの装置はいずれも高速電子線を原料ガスの
酸素に照射し、電子と酸素分子の衝突を連続的に生じさ
せて、効率よく酸素を解離し高濃度のオゾンを発生させ
ることができる。この装置は無電極放電であるから、従
来のような電極ギャップの調整は全く不要である。According to the present invention, as described above, two devices differing in the method of generating electrons, ie, thermionic electrons and secondary electrons, are formed. Each of the two devices irradiates a high-speed electron beam to oxygen of a source gas. Then, collision between electrons and oxygen molecules is continuously caused, so that oxygen can be efficiently dissociated, and high-concentration ozone can be generated. Since this device is an electrodeless discharge, there is no need to adjust the electrode gap as in the related art.
【００１０】[0010]
【実施例】以下本発明を実施例に基づき説明する。図１
は本発明による電子線照射型オゾン発生装置の要部構成
を示す模式断面図である。この装置は大別して、原料ガ
ス６が通過する流路を持つ放電室１２と、この放電室の
一部に接続した電子発生室８からなる。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to embodiments. FIG.
FIG. 1 is a schematic sectional view showing a configuration of a main part of an electron beam irradiation type ozone generator according to the present invention. This device is roughly divided into a discharge chamber 12 having a flow path through which the raw material gas 6 passes, and an electron generation chamber 8 connected to a part of the discharge chamber.
【００１１】以下、図１を参照して装置構成とともに、
その作動について説明する。まず電子の発生について述
べる。図示を省略した排気装置を用いて、約１ｍＰａの
真空を保つ容器である電子発生室８の内部に、電子銃と
して、フィラメント９例えばタングステンフィラメント
を配置し、これに加熱電源１０を接続して通電加熱す
る。さらにフィラメント９と加熱電源１０に接続した直
流高圧電源１１により、電子発生室８に対して負の電圧
を印加すると、赤熱したフィラメント９の表面から、熱
電子が対向する放電室１２に向かって加速される。グリ
ッド１３とシールド１４は、電子線の方向を揃えるため
の電極である。Hereinafter, referring to FIG. 1, together with the device configuration,
The operation will be described. First, generation of electrons will be described. Using an exhaust device (not shown), a filament 9 such as a tungsten filament is disposed as an electron gun inside an electron generating chamber 8 which is a container for maintaining a vacuum of about 1 mPa, and a heating power supply 10 is connected thereto to supply electricity. Heat. Further, when a negative voltage is applied to the electron generating chamber 8 by the DC high-voltage power supply 11 connected to the filament 9 and the heating power supply 10, the thermoelectrons are accelerated from the surface of the red-heated filament 9 toward the discharge chamber 12 opposed thereto. Is done. The grid 13 and the shield 14 are electrodes for aligning the direction of the electron beam.
【００１２】次に、電子の透過について述べる。電子発
生室８の内部は約１ｍＰａ，放電室１２の内部は約１０
5 Ｐａであり、これらの境界面は圧力差を保持するため
に、Ｏリングなどを用いて機密構造としなければならな
い。一方、電子発生室８で生成し加速した電子線を放電
室１２に透過させることが必要であるから、上述の境界
面には、例えばアルミニウム薄膜の電子透過窓１５と、
その窓押さえ１６を設けている。Next, the transmission of electrons will be described. The inside of the electron generation chamber 8 is about 1 mPa, and the inside of the discharge chamber 12 is about 10 mPa.
5 Pa, and these interfaces must have a confidential structure using an O-ring or the like in order to maintain a pressure difference. On the other hand, since it is necessary to allow the electron beam generated and accelerated in the electron generation chamber 8 to pass through the discharge chamber 12, the above-described boundary surface includes an electron transmission window 15 made of, for example, an aluminum thin film.
The window holder 16 is provided.
【００１３】図２は本発明者の実験による電子の加速電
圧とアルミニウム薄膜の透過率の関係を示す線図であ
り、厚さ１０μｍのアルミニウム薄膜に、加速電圧１０
０ｋＶで電子線を衝突させたところ、図２に示す如く９
５％の電子が透過した。次に原料ガス６の酸素に電子線
を照射すると、オゾンが発生する機構について述べる。
オゾン生成反応の過程は次の二つの式から成り立ってお
り、 Ｏ2 ＋ｅ→２Ｏ＋ｅ （１） Ｏ2 ＋Ｏ→Ｏ3 （２） 式（１）は電子による酸素分子の解離，式（２）は酸素
分子と酸素原子の結合を表わしている。式（１）の反応
から、酸素分子の解離を促進することにより、オゾン濃
度を高めることができる。即ち、従来の二重管型オゾン
発生管は、放電ギャップ４を狭くすることにより、電子
のエネルギーを高めて酸素分子の解離を向上させようと
したのに対して、本発明ではあらかじめ高エネルギーの
電子を生成し、これを原料ガス６に照射するという点に
大きな特徴を有する。FIG. 2 is a graph showing the relationship between the electron acceleration voltage and the transmittance of the aluminum thin film in an experiment conducted by the present inventors. The acceleration voltage of 10 μm was applied to an aluminum thin film having a thickness of 10 μm.
When the electron beam was collided at 0 kV, as shown in FIG.
5% of the electrons were transmitted. Next, a mechanism for generating ozone when an electron beam is irradiated to oxygen of the source gas 6 will be described.
The process of the ozone generation reaction consists of the following two equations: O 2 + e → 2O + e (1) O 2 + O → O 3 (2) Equation (1) is the dissociation of oxygen molecules by electrons, and equation (2) is It represents a bond between an oxygen molecule and an oxygen atom. From the reaction of the formula (1), the ozone concentration can be increased by promoting the dissociation of oxygen molecules. That is, the conventional double tube type ozone generating tube attempts to increase the energy of electrons to improve the dissociation of oxygen molecules by narrowing the discharge gap 4, whereas the present invention preliminarily increases the energy of the oxygen. It has a great feature in that electrons are generated and the source gas 6 is irradiated with the electrons.
【００１４】図３は電子のエネルギーと、酸素分子の解
離確率の関係を示す線図である。図３のように、電子の
エネルギーが約１００ｅＶで解離確率は最大となり、電
子のエネルギーの増加とともに解離確率は次第に減少す
る。図４は電子透過窓１５のアルミニウム薄膜を透過し
た後の電子のエネルギー分布を示す線図である。高エネ
ルギー側は電子の加速電圧の１００ｋＶまで、低エネル
ギー側は０ｅＶまでの幅がある。エネルギーが損失され
るのは、電子が加速されて電子透過窓１５に入射した
後、内部でアルミニウムの原子と衝突しながら透過する
ためである。電子が原料ガス６と衝突すると、さらにエ
ネルギーを失い、酸素分子の解離が積極的に行なわれる
が、図４から電子のエネルギーが高すぎると、酸素分子
の解離が行なわれ難いことがわかる。FIG. 3 is a diagram showing the relationship between the energy of electrons and the dissociation probability of oxygen molecules. As shown in FIG. 3, the dissociation probability becomes maximum when the electron energy is about 100 eV, and the dissociation probability gradually decreases as the electron energy increases. FIG. 4 is a diagram showing the energy distribution of electrons after passing through the aluminum thin film of the electron transmission window 15. The high energy side has a width up to 100 kV of the electron acceleration voltage, and the low energy side has a width up to 0 eV. The energy is lost because electrons are accelerated and incident on the electron transmission window 15 and then transmitted while colliding with aluminum atoms inside. When the electrons collide with the source gas 6, the energy is further lost, and the dissociation of the oxygen molecules is positively performed. However, it can be seen from FIG. 4 that if the energy of the electrons is too high, the dissociation of the oxygen molecules is difficult.
【００１５】図５は図１とは異なる本発明の第２の装置
の要部構成を示す模式断面図であり、図１と共通部分を
同一符号で表わしてある。図２が図１と異なる所は、フ
ィラメント９，グリッド１３，シールド１４および加熱
電源１０からなる電子銃を用いる代わりに、電子銃とし
て金属ターゲット１７，直流高圧電源１８を設け、電子
発生室８を、金属ターゲット１７を配置する第１の部屋
８ａと、プラズマガス１９を導入する第２の部屋８ｂと
に、オリフィス２０を用いて区分してあることである。FIG. 5 is a schematic sectional view showing a main part of a second apparatus of the present invention, which is different from FIG. 1, and the same parts as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals. Figure 2 is Figure 1 differs from the the filament 9, the grid 13, instead of using an electron gun comprising a shield 14 and a heating power source 10, a metal target 17, a DC high-voltage power supply 18 is provided as an electron gun, an electron-generating chamber 8 The first chamber 8a in which the metal target 17 is disposed and the second chamber 8b in which the plasma gas 19 is introduced are divided using the orifice 20.
【００１６】この装置では、排気装置（図示を省略）に
より第１の部屋８ａから排気し、図示を省略した装置に
より発生させたプラズマガス１９、例えばヘリウムガス
を第２の部屋８ｂに導入すると、第１の部屋８ａと第２
の部屋８ｂの境界に存在するオリフィス２０により、電
子発生室８内の圧力は、第２の部屋８ｂを２００ｍＴｏ
ｏｒ，第１の部屋８ａを数ｍＴｏｏｒの圧力差を保つこ
とができる。この状態でトリガー電極２１に高周波電源
２２から、例えば２００Ｗの電力を供給することによ
り、第２の部屋８ｂでグロー放電が発生する。このとき
金属ターゲット１７に−１００ｋＶの直流電圧を印加す
ると、グロー放電中のヘリウムイオンが加速され、金属
ターゲット１７に衝突する。その結果、金属ターゲット
１７から二次電子が放出され、対向する電子透過窓１５
に衝突する。本発明者の実験によれば、金属ターゲット
１８にモリブデンを用い、ヘリウムイオンを１００ｋＶ
で衝突させると、イオン１個当たり電子が７個放出され
る。その後は、図１に示した装置の場合と同様に、二次
電子が電子透過窓１５を通過し、原料ガス６に照射して
オゾンを発生する。In this apparatus, when the gas is exhausted from the first chamber 8a by an exhaust device (not shown) and the plasma gas 19, for example, helium gas, generated by the device not shown is introduced into the second chamber 8b, First room 8a and second room
Due to the orifice 20 present at the boundary of the second room 8b, the pressure in the electron generation chamber 8 increases the pressure in the second room 8b by 200 mTo.
or, a pressure difference of several mToor can be maintained in the first room 8a. In this state, by supplying power of, for example, 200 W from the high frequency power supply 22 to the trigger electrode 21, glow discharge occurs in the second room 8b. At this time, when a DC voltage of −100 kV is applied to the metal target 17, helium ions in the glow discharge are accelerated and collide with the metal target 17. As a result, secondary electrons are emitted from the metal target 17, and the opposing electron transmission window 15 is emitted.
Collide with According to the experiments of the present inventors, molybdenum was used for the metal target 18 and helium ions were supplied at 100 kV.
, Seven electrons are emitted per ion. Thereafter, as in the case of the apparatus shown in FIG. 1, the secondary electrons pass through the electron transmission window 15 and irradiate the source gas 6 to generate ozone.
【００１７】以上のように、本発明のオゾン発生装置
は、従来のオゾン発生管を用いることなく、高エネルギ
ーの電子線を生成してこれを原料ガスに照射するもので
あり、一つはフィラメントから放出される熱電子を用
い、他は金属ターゲットとプラズマイオンの衝突で生ず
る二次電子を用いているが、いずれも従来装置に比べて
装置を小型化することが可能であり、また、本発明の二
つの装置を比較すれば、二次電子を用いる方が装置構成
は簡単になる。As described above, the ozone generator of the present invention generates a high-energy electron beam and irradiates it with a source gas without using a conventional ozone generation tube. The method uses thermionic electrons emitted from the electron source, and the other uses secondary electrons generated by collision of plasma ions with the metal target. However, in each case, the size of the device can be reduced as compared with the conventional device. Comparing the two devices of the invention, the configuration of the device becomes simpler when secondary electrons are used.
【００１８】[0018]
【発明の効果】オゾン発生管を用いる従来のオゾン発生
装置は、高濃度オゾンを得るために、放電ギャップを狭
くして電子のエネルギーを高めようとしたが、電極の曲
がり寸法を精度よく抑えることが困難であったのに対
し、本発明では実施例で述べた如く、あらかじめ高エネ
ルギーの電子線をフィラメントから放出される熱電子と
して、または金属ターゲットとプラズマイオンの衝突で
生ずる二次電子として生成し、これを原料ガスに照射す
ることにより、オゾン発生管を用いることなく無電極放
電の小型装置を構成し、原料ガスの解離効率を向上さ
せ、高濃度のオゾンを発生させることができる。According to the conventional ozone generator using an ozone generating tube, in order to obtain high-concentration ozone, an attempt was made to increase the energy of electrons by narrowing the discharge gap. However, in the present invention, as described in the embodiment, a high-energy electron beam is previously generated as a thermal electron emitted from a filament or as a secondary electron generated by collision of a metal target with plasma ions. By irradiating the raw material gas with this, a compact device for electrodeless discharge can be configured without using an ozone generating tube, the dissociation efficiency of the raw material gas can be improved, and high-concentration ozone can be generated.
【図１】本発明装置の要部構成を示す模式断面図FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a configuration of a main part of a device of the present invention.
【図２】電子の加速電圧とアルミニウム薄膜の透過率と
の関係を示す線図FIG. 2 is a diagram showing the relationship between the electron acceleration voltage and the transmittance of an aluminum thin film.
【図３】電子のエネルギーと酸素分子の解離確率との関
係を示す線図FIG. 3 is a diagram showing the relationship between the energy of electrons and the dissociation probability of oxygen molecules.
【図４】アルミニウム薄膜透過後の電子のエネルギー分
布を示す線図FIG. 4 is a diagram showing an energy distribution of electrons after passing through an aluminum thin film.
【図５】図１とは異なる本発明装置の要部構成を示す模
式断面図FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing a main part configuration of the device of the present invention, which is different from FIG.
【図６】従来の二重管型オゾン発生管の構造を示す模式
断面図であり、（ａ）は側面からみ見た断面図、（ｂ）
はこれと直角な方向からみ見た断面図FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing the structure of a conventional double-tube ozone generating tube, where (a) is a cross-sectional view as viewed from the side and (b).
Is a cross-sectional view seen from a direction perpendicular to this
１ 接地電極 ２ 誘電体層 ３ 高圧電極 ４ 放電ギャップ ５ 交流電源 ６ 原料ガス ７ オゾン ８ 電子発生室８ 電子発生室 ８ａ 第１の部屋 ８ｂ 第２の部屋 ９ フィラメント １０ 加熱電源 １１ 直流高圧電源 １２ 放電室 １３ グリッド １４ シールド １５ 電子透過窓 １６ 窓押さえ １７ 金属ターゲット １８ 直流高圧電源 １９ プラズマガス ２０ オリフィス ２１ トリガー電極 ２２ 高周波電源DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ground electrode 2 Dielectric layer 3 High voltage electrode 4 Discharge gap 5 AC power source 6 Source gas 7 Ozone 8 Electron generation room 8 Electron generation room 8a First room 8b Second room 9 Filament 10 Heating power supply 11 DC high voltage power supply 12 Discharge Chamber 13 Grid 14 Shield 15 Electron transmission window 16 Window holder 17 Metal target 18 DC high voltage power supply 19 Plasma gas 20 Orifice 21 Trigger electrode 22 High frequency power supply
Claims (6)
出させる管状体の一部に形成した放電室、 ｂ．この放電室の一側面開口部に電子透過窓を介して取
り付けた高真空を保持する電子発生室、 ｃ．この電子発生室内に設けられ、高速電子線を発生
し、原料ガスの流れ方向に直交するように、この高速電
子線を電子透過窓を透過して放電室内を流れる原料ガス
に照射する電子銃、 を備えたことを特徴とするオゾン発生装置。1. A method according to claim 1, A discharge chamber formed in a part of a tubular body through which a raw material gas flowing from one end flows out to the other end; b. An electron generating chamber that holds a high vacuum and is attached to one side opening of the discharge chamber through an electron transmitting window; c. An electron gun that is provided in the electron generation chamber, generates a high-speed electron beam, and irradiates the raw material gas flowing through the electron transmission window with the high-speed electron beam through the electron transmission window so as to be orthogonal to the flow direction of the raw material gas; An ozone generator characterized by comprising:
電子銃はフィラメントとその加熱電源，グリッド，シー
ルドおよび直流高圧電源からなることを特徴とするオゾ
ン発生装置。2. The ozone generator according to claim 1, wherein
An ozone generator characterized in that the electron gun comprises a filament, a heating power supply for the filament, a grid, a shield, and a DC high-voltage power supply.
おいて、高速電子線は熱フィラメントから放出される熱
電子であることを特徴とするオゾン発生装置。3. The ozone generator according to claim 1, wherein the high-speed electron beam is a thermoelectron emitted from a hot filament.
出させる管状体の一側面部に形成した放電室、 ｂ．この放電室の一側面開口部に電子透過窓を介して取
り付け、オリフィスにより区分された高真空を保持する
第１の部屋とプラズマガスを導入して高周波電力を印加
する第２の部屋とからなる電子発生室、 ｃ．第１の部屋内に設けられ、高速電子線を発生し、原
料ガスの流れ方向に直交するように、この高速電子線が
第２の部屋を経て電子透過窓を透過して放電室内を流れ
る原料ガスに照射する電子銃、 を備えたことを特徴とするオゾン発生装置。4. A method according to claim 1, wherein A discharge chamber formed on one side surface of a tubular body through which a source gas flowing from one end flows out to the other end; b. The discharge chamber is provided at one side opening of the discharge chamber through an electron transmission window, and includes a first room for maintaining a high vacuum separated by an orifice and a second room for introducing a plasma gas and applying a high frequency power. Electron generation chamber, c. A high-speed electron beam is provided in the first room, and the high-speed electron beam passes through the electron transmission window through the second room and flows through the discharge chamber so as to be orthogonal to the flow direction of the raw material gas. An ozone generator, comprising: an electron gun for irradiating a gas.
電子銃は金属ターゲット，プラズマおよび直流高圧電源
からなることを特徴とするオゾン発生装置。5. The ozone generator according to claim 4, wherein
An ozone generator characterized in that the electron gun comprises a metal target, plasma and a DC high voltage power supply.
おいて、高速電子線は金属ターゲットと第２の部屋で発
生するグロー放電中の加速されたプラズマイオンとの衝
突により発生する二次電子であることを特徴とするオゾ
ン発生装置。6. The ozone generator according to claim 4, wherein the high-speed electron beam is secondary electrons generated by collision between a metal target and accelerated plasma ions generated during glow discharge generated in the second chamber. An ozone generator characterized by the following.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25619393A JP3341397B2 (en) | 1993-10-14 | 1993-10-14 | Ozone generator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25619393A JP3341397B2 (en) | 1993-10-14 | 1993-10-14 | Ozone generator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07109108A JPH07109108A (en) | 1995-04-25 |
| JP3341397B2 true JP3341397B2 (en) | 2002-11-05 |
Family
ID=17289207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25619393A Expired - Fee Related JP3341397B2 (en) | 1993-10-14 | 1993-10-14 | Ozone generator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3341397B2 (en) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10139404A (en) * | 1996-11-12 | 1998-05-26 | Nippon Kayaku Co Ltd | Ozone generator |
| JP4485916B2 (en) * | 2004-11-12 | 2010-06-23 | 光信電気工業株式会社 | Sewage purification method and sewage purification apparatus |
| JP4983087B2 (en) * | 2006-04-27 | 2012-07-25 | 富士通セミコンダクター株式会社 | Film-forming method, semiconductor device manufacturing method, computer-readable recording medium, sputtering apparatus |
| CN116207619A (en) * | 2023-02-10 | 2023-06-02 | 北京大学 | Electron beam ionization type ion wind device |
-
1993
- 1993-10-14 JP JP25619393A patent/JP3341397B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07109108A (en) | 1995-04-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3158236B2 (en) | Apparatus and method for igniting a plasma in a process module | |
| US8857371B2 (en) | Apparatus for generating dielectric barrier discharge gas | |
| TWI518733B (en) | An ion source, ion implantation system and method of generating multiply charged ions in ion source | |
| US4771447A (en) | X-ray source | |
| US3476968A (en) | Microwave ion source | |
| JP3341397B2 (en) | Ozone generator | |
| CA2011644C (en) | Vacuum switch apparatus | |
| JP2003036805A (en) | Micro x-ray source | |
| WO2022233343A1 (en) | Method and device for manufacturing hydrophilic substrate | |
| US6654446B2 (en) | Capillary discharge source | |
| US4627088A (en) | Intense X-ray source using a plasma microchannel | |
| US6774381B2 (en) | Electron beam system for treating filamentary workpiece, and method of fabricating optical fibers | |
| JPH0357191B2 (en) | ||
| JP2006260948A (en) | Ionizer equipped with x-ray generator | |
| JP2009059627A (en) | Ion source | |
| JP2849831B2 (en) | Plasma CVD equipment | |
| JPH02151021A (en) | Plasma processing and deposition apparatus | |
| KR900008155B1 (en) | Method and apparatus for forming a thin fim | |
| JP3169302B2 (en) | Activated gas generator | |
| JPH06232056A (en) | Treatment method using dielectric barrier discharge lamp | |
| US6710333B2 (en) | Process for structural modification of surfaces by treatment with an atomic or molecular gaseous medium excited to metastable level | |
| JPH10130093A (en) | Diamond like carbon thin film forming device | |
| JPH03159099A (en) | Plasma device and plasma generation method | |
| JPH05106030A (en) | Thin film forming apparatus | |
| JPH0713949B2 (en) | Photoreaction method and device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |