JP3335736B2 - Ink jet recording head - Google Patents

Ink jet recording head

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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、インク液滴を記録媒体
に向けて飛翔させる形式の記録装置、特に熱エネルギを
利用して記録する記録装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a recording apparatus of the type in which ink droplets are caused to fly toward a recording medium, and more particularly to a recording apparatus for transferring heat energy.
The present invention relates to a recording device for recording using .

【0002】[0002]

【従来の技術】パルス加熱によってインクの一部を急速
に気化させ、その膨張力によってインク液滴をオリフィ
スから吐出させる方式のインクジェット記録装置は特開
昭48−9622号公報、特開昭54−51837号公
報等によって開示されている。
2. Description of the Related Art An ink jet recording apparatus of a type in which a part of ink is rapidly vaporized by pulse heating and ink droplets are ejected from an orifice by its expanding force is disclosed in JP-A-48-9622 and JP-A-54-962. No. 51837 discloses this.

【0003】このパルス加熱の最も簡便な方法は発熱抵
抗体にパルス通電することであるが、このようなインク
ジェット記録装置は、高速にプリントが行えるように、
インク吐出用ノズルを2次元的に大規模且つ高密度に集
積して形成したラインヘッド、例えば30〜60ppm
(ページ/分)のA4フルカラープリンタのラインヘッ
ド等を備えることが望まれている。
[0003] The most convenient method for the pulse heating is to pulsed current to the heating resistor, such inks
The jet recording device can print at high speed,
Large-scale and high-density collection of ink ejection nozzles in two dimensions
Line head formed by stacking, for example, 30 to 60 ppm
(Page / min) A4 full color printer line head
It is desired to provide such a device.

【0004】しかし、このラインヘッドはSiウエハを
利用したモノリシックLSI基板から製造するため、ラ
インヘッドの中央部において前記ヘッドを接続したもの
となっている。このため、接続された中央部においても
印字すべきドット密度は他の部分と違えないようにする
必要があり、ドット密度が高くなればなる程この接続が
技術的に困難となってくる。
However, since this line head is manufactured from a monolithic LSI substrate using a Si wafer, the head is connected at the center of the line head. For this reason, it is necessary to keep the dot density to be printed at the connected central portion different from that of other portions, and the higher the dot density, the technically difficult this connection becomes.

【0005】本発明の目的は、ドット密度が高くなって
もこの接続・組立が容易な方法を提供し、ラインヘッド
のような長尺ヘッドを容易に実現できるようにすること
である。
An object of the present invention is to provide a method for easily connecting and assembling even if the dot density is increased, so that a long head such as a line head can be easily realized.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的は、複数のイン
ク吐出用ノズルを用いてオリフィスを直線状に配列した
吐出面からインク液滴を吐出するインク噴射記録ヘッド
であって、前記吐出面は、前記オリフィスの配列方向に
突き合わせて接続した、前記オリフィスを有する2つの
オリフィスプレートによって形成され、この2つのオリ
フィスプレートの各々におけるインク吐出用ノズルはす
べて、前記オリフィスの配列方向のうち、前記オリフィ
スプレートの接続部に向く方向に、同一の傾斜角度で傾
斜していることを特徴とするインク噴射記録ヘッドによ
って達成される。ここで、前記オリフィスプレートの接
続部における印字ドット密度が、接続部分以外の印字ド
ット密度と同一となるように、前記傾斜角度が設定され
ているのが好ましい。また、前記傾斜角度は、0.5度
以上10度以下であるのが好ましい。ここで、前記吐出
面からのインク液滴の吐出は、発熱抵抗体の発熱駆動に
よって行うのが好ましい。
An object of the present invention is to provide an ink jet recording head for ejecting ink droplets from an ejection surface in which orifices are linearly arranged using a plurality of ink ejection nozzles, wherein the ejection surface is , In the arrangement direction of the orifices
Two butt connected orifices with said orifices
The two orifices are formed by orifice plates.
Ink nozzles for each of the fiss plates
In all of the arrangement directions of the orifices,
Tilt at the same tilt angle in the direction toward the connection of the plate
This is achieved by an ink jet recording head characterized by being inclined . Here, it is preferable that the inclination angle is set so that the print dot density at the connection portion of the orifice plate is the same as the print dot density at the portion other than the connection portion. Further, it is preferable that the inclination angle is not less than 0.5 degrees and not more than 10 degrees. Here, it is preferable that the ejection of the ink droplets from the ejection surface is performed by a heating drive of the heating resistor.

【0007】[0007]

【作用】上記のように構成されたインク噴射記録ヘッド
(以下ヘッドという)は、接続部を介してその右半分の
インク吐出用ノズルは少し左寄りに、左半分のインク吐
出用ノズルは同じ傾斜角度だけ右寄りにインク液滴を吐
出するため、吐出面(ヘッド面)から例えば1mm離れ
た位置を走行する記録紙上では、ヘッドの接続部でのオ
リフィス間距離が他のオリフィス間距離より大きくて
も、記録紙上の印字ドット密度を均一化させることが可
能となる。このことは、左右のヘッドの接続部付近の構
成とか端面形成、並びに組立てを容易にさせる大きな利
点を有することになる。
The ink jet recording head constructed as described above
(Hereinafter referred to as the head) is connected to the right half of the
The ink discharge nozzle is a little left side, the left half of ink ejection
Since the output nozzles discharge ink droplets to the right by the same inclination angle, the distance between the orifices at the connection part of the head is different from that of the other orifice on the recording paper traveling at a position away from the discharge surface (head surface) by, for example, 1 mm. Even if the distance is larger than the distance, the print dot density on the recording paper can be made uniform. This has a great advantage of facilitating the configuration near the connection portion between the left and right heads and the formation of the end faces and the assembling thereof.

【0008】[0008]

【実施例】以下、図面を用いて実施例を説明する。Embodiments will be described below with reference to the drawings.

【0009】図1は本実施例の一例を示す断面図であ
る。駆動用LSIデバイス5が形成されているSi基板
1上に保護層の不要な発熱抵抗体2が一体的に形成さ
れ、このSi基板上に共通インク通路11、個別イン
ク通路10、インク吐出用ノズル8、オリフィス19が
形成されている。前記Si基板1には共通インク通路1
3が設けられており、該通路13とフレーム16内のイ
ンク通路15とはシリコン基板内連結穴14によって継
がっており、外部よりインクが供給される。インク吐出
用ノズル8と発熱抵抗体2、及びこれにつながる個別イ
ンク通路10は図1の紙面に垂直方向に例えば360d
pi(ドット/インチ)の密度で並んでおり、A4サイ
ズのラインヘッドの場合、1512ケのノズルを持つ1
/2サイズのヘッドを2本、接続部で接続・組立てする
ことによって3024ドットのA4フルサイズのライン
ヘッドとすることができる。このような構成は、特願平
4−347150号、特願平5−68257号に詳細に
記載され、パルス通電するための駆動用LSIと保護層
の不要な薄膜発熱抵抗体を同一シリコン基板上に形成し
て、従来にない小形、高熱効率のインクジェットプリン
トヘッドの実現を可能にしている。本発明は、このイン
クジェットプリントヘッドの接続部における接続・組立
を容易にするヘッドを提供するものである。以下、
の具体例を図2に示す。
FIG. 1 is a sectional view showing an example of this embodiment. On the Si substrate 1 on which the driving LSI device 5 is formed, the heating resistor 2 that does not require a protective layer is integrally formed. On the Si substrate 1 , a common ink path 11, an individual ink path 10, The nozzle 8 and the orifice 19 are formed. The Si substrate 1 has a common ink passage 1
The passage 13 and the ink passage 15 in the frame 16 are connected by a connection hole 14 in the silicon substrate, and ink is supplied from the outside. The ink discharge nozzle 8, the heating resistor 2, and the individual ink passage 10 connected to the nozzle 8 are, for example, 360d in a direction perpendicular to the plane of FIG.
pi (dots / inch) and a line head of A4 size has 1 512 nozzles.
By connecting and assembling two / 2 size heads at the connection portion, an A4 full size line head of 3024 dots can be obtained . Such a configuration is
4-347150, Japanese Patent Application No. 5-68257
Driving LSI and protective layer for applying pulse current
Unnecessary thin film heating resistors on the same silicon substrate
Small, high-efficiency inkjet printer
Head realization. The present invention, this inn
An object of the present invention is to provide a head for facilitating connection and assembly at a connection portion of a jet print head . Hereinafter, a specific example thereof is shown in FIG.

【0010】図2は図1に示されるラインヘッドのA−
A´断面図であり、特にその中央での接続部付近を示す
ものである。同一フレーム16上に、例えば1512ケ
のインク吐出用ノズル8を持つ1/2サイズのラインヘ
ッドが2本、突き合わされて直線状になるよう接続実装
され、3024ケのインク吐出用ノズルを持つA4サイ
ズのラインヘッドとなっている。本実施例の場合、図2
に示されているように、右側のインク吐出用ノズル8
、吐出面の垂直方向に対して左側に例えば3°傾斜
し、左側のインク吐出用ノズル8は、吐出面の垂直方向
に対して右側に3°傾斜している(θ=3°)。
FIG. 2 is a sectional view of the line head shown in FIG.
It is A 'sectional drawing and especially shows the vicinity of the connection part in the center. On the same frame 16, for example, two 1 / 2-size line heads having 1512 ink discharge nozzles 8 are connected and mounted in a straight line by abutting each other, and an A4 having 3024 ink discharge nozzles 8 is provided. The size of the line head. In the case of this embodiment, FIG.
As shown in FIG.
Is left to example 3 ° inclination with respect to the vertical direction of the ejection surface, the left side of the ink discharge nozzle 8, the vertical direction of the discharge surface
It is 3 ° slope on the right side of the (θ = 3 °).

【0011】なお、このように全てのインク吐出用ノズ
ル8が小さな一定角度だけ傾斜するようにオリフィスプ
レート9を製造するのは、次のようにすれば比較的容易
である。第1の方法は、Ni板上に被覆した厚いフィル
ムレジスト(50μm)を斜め(θ=3°)露光して3
°傾斜したノズル柱を作り、これに40〜45μmの厚
さとなるようにNiメッキしてオリフィスプレート9を
作る方法である。第2の方法は感光性ガラス、例えば
(株)HOYA製ガラスセラミックスPEG3などを斜
め露光してオリフィスプレート9にするもので、この場
合の厚さも40〜100μmが可能である。
In addition, as described above, all the nozzles for ink ejection
It is relatively easy to manufacture the orifice plate 9 so that the nozzle 8 is inclined by a small constant angle as follows. The first method is to subject a thick film resist (50 μm) coated on a Ni plate to oblique (θ = 3 °) exposure to 3
In this method, an orifice plate 9 is formed by forming an inclined nozzle column and Ni-plating the nozzle column to a thickness of 40 to 45 μm. In the second method, photosensitive glass, for example, glass ceramic PEG3 manufactured by HOYA Co., Ltd. is obliquely exposed to form an orifice plate 9, and the thickness in this case can be 40 to 100 μm.

【0012】このようにして作成した、例えば5インチ
ウエハと同サイズのオリフィスプレート9を隔壁12が
形成されているSiウエハ1に位置合わせして接着し、
1/2サイズのラインヘッドに切り出してフレーム16
上に接続、実装したのが図2である。図のようにオリフ
ィスプレート9内のインク吐出用ノズルが3°傾斜して
いると、該オリフィスプレート9から吐出されるインク
液滴の飛跡もほぼ3°傾斜する。本実施例の場合はドッ
ト密度を360dpiとしているので、個別インク通路
10の幅は50μm、隔壁12の厚さは20μmであ
る。従って、オリフィスプレート9から1mm離れた位
置を走行する記録紙18上では約52μmだけずれた位
置に印字されるので、ヘッド端面での切断位置は本来の
切断位置より52μmだけ離れた位置で良いことにな
る。すなわち、接続部での個別インク通路10を形成す
る隔壁12の厚さは本来20μm/2=10μmまで薄
くしなければならなかったが、本発明により10μm+
52μm=62μmまで大幅な余裕を持たせることが可
能となる。このことはヘッド端面の切断を容易にするば
かりでなく、気泡発生時の圧力変動に対する信頼性を確
保し、接続、実装も容易となる。現実的には前記62μ
mの隔壁厚さを50〜55μmとし、接着剤の侵入によ
る拡幅の影響を解消させる方が良いことが分っている。
また、この傾斜角度θについてもオリフィスプレート9
と記録紙18との距離にも依存し、また接続部での隔壁
厚さの最小値は20μmまで許されるので、θ=0.5
〜10°の範囲、好ましくはθ=3〜6°で選ぶことが
可能である。但しこの傾斜角をあまり大きくするのはオ
リフィスプレート9の製造を難しくするのであまり好ま
しいとは言えない。
The orifice plate 9 formed as described above and having the same size as, for example, a 5-inch wafer is positioned and bonded to the Si wafer 1 on which the partition walls 12 are formed.
Cut out to a 1/2 size line head and cut out the frame 16
FIG. 2 shows the connection and mounting. As shown in the drawing, when the ink discharge nozzles in the orifice plate 9 are inclined by 3 °, the tracks of the ink droplets ejected from the orifice plate 9 are also inclined by approximately 3 °. In this embodiment, since the dot density is 360 dpi, the width of the individual ink passage 10 is 50 μm, and the thickness of the partition 12 is 20 μm. Therefore, since the printing is performed at a position shifted by about 52 μm on the recording paper 18 traveling at a position 1 mm away from the orifice plate 9, the cutting position at the head end face may be a position separated by 52 μm from the original cutting position. become. That is, the thickness of the partition walls 12 forming the individual ink passages 10 at the connection portions had to be originally reduced to 20 μm / 2 = 10 μm.
A large margin can be provided up to 52 μm = 62 μm. This not only facilitates cutting of the end face of the head, but also ensures reliability against pressure fluctuations when bubbles are generated, and facilitates connection and mounting. Realistically, 62μ
It has been found that it is better to set the partition wall thickness of m to 50 to 55 μm to eliminate the influence of widening due to the intrusion of the adhesive.
The inclination angle θ is also determined by the orifice plate 9.
Θ = 0.5 because the minimum value of the partition wall thickness at the connection portion is allowed up to 20 μm depending on the distance between the recording paper 18 and the recording paper 18.
It is possible to select in the range of 10 to 10 °, preferably θ = 3 to 6 °. However, it is not preferable to make the inclination angle too large because it makes the production of the orifice plate 9 difficult.

【0013】図1、図2に示すヘッドはノズル列が一本
である単色ヘッドの場合を示しているが、複数のノズル
列からなる一体構造のカラーヘッド(特願平5−901
23号)の場合にも全く同一の技術が適用できることは
更めて説明するまでもないであろう。
The head shown in FIGS. 1 and 2 is a single-color head having a single nozzle row, but has a monolithic color head composed of a plurality of nozzle rows (Japanese Patent Application No. 5-901).
In the case of No. 23), it is needless to say that exactly the same technique can be applied.

【0014】また、図1、図2に示すヘッドはインク吐
出方向と発熱抵抗体2がほぼ垂直の場合であるが、これ
が平行であるヘッドの場合にも同様の技術が適用でき
る。この場合は、個別インク通路の方向がオリフィス面
と直角になっている従来形式に比べ、0.5〜10°の
適当な角度だけ個別インク通路を傾斜させ、これが対向
するように2本の1/2サイズのヘッドを組立実装すれ
ば良い。この形式のヘッドは複数のノズル列を一体型に
することは出来ないが、このようにして組み立てられた
単色のラインヘッドを複数本組み合わせてカラーヘッド
にすることは可能である。
Although the head shown in FIGS. 1 and 2 has a case where the heating resistor 2 is substantially perpendicular to the ink discharge direction, the same technique can be applied to a case where the heating resistor 2 is parallel. In this case, the individual ink passages are inclined by an appropriate angle of 0.5 to 10 ° as compared with the conventional type in which the direction of the individual ink passage is perpendicular to the orifice surface, and the two ink passages are opposed to each other. A / 2 size head may be assembled and mounted. In this type of head, a plurality of nozzle rows cannot be integrated, but a plurality of monochromatic line heads assembled in this manner can be combined into a color head.

【0015】[0015]

【発明の効果】本発明によれば、高密度に配列されたオ
リフィス列を持つヘッドを2本、直線状に組立実装して
1本の長尺ラインヘッドにする場合でも、その接続部で
の印字ドット密度が他の部分と変わらず、しかもヘッド
の切断、組立、実装が非常に容易に行なうことができ
る。
According to the present invention, even when two heads having orifice rows arranged at high density are assembled and mounted in a straight line to form one long line head, the connection at the connection portion thereof is reduced. The print dot density is not different from other parts, and the cutting, assembling and mounting of the head can be performed very easily.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明のインク噴射記録ヘッドの一実施例の
断面図である。
FIG. 1 is a sectional view of an embodiment of an ink jet recording head of the present invention.

【図2】 図1のA−A´断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line AA ′ of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1はSi基板、2は発熱抵抗体、3は共通電極、4は個
別電極、5は駆動用LSIデバイス、6及び7は駆動用
配線電極、8はインク吐出用ノズル、9はオリフィスプ
レート、10は個別インク通路、11は共通インク通
路、12は隔壁、13はSi基板内共通インク通路、1
4は連結穴、15はフレーム内インク通路、16はフレ
ーム、17は吐出インク飛跡、18は記録紙、19はオ
リフィスである。
1 is a Si substrate, 2 is a heating resistor, 3 is a common electrode, 4 is an individual electrode, 5 is a drive LSI device, 6 and 7 are drive wiring electrodes, 8 is an ink discharge nozzle, 9 is an orifice plate, 10 Is an individual ink passage, 11 is a common ink passage, 12 is a partition, 13 is a common ink passage in the Si substrate, 1
Reference numeral 4 denotes a connection hole, 15 denotes an ink passage in a frame, 16 denotes a frame, 17 denotes a track of ejected ink, 18 denotes a recording sheet, and 19 denotes an orifice.

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】複数のインク吐出用ノズルを用いてオリフ
ィスを直線状に配列した吐出面からインク液滴を吐出す
るインク噴射記録ヘッドであって、 前記吐出面は、前記オリフィスの配列方向に突き合わせ
て接続した、前記オリフィスを有する2つのオリフィス
プレートによって形成され、 この2つのオリフィスプレートの各々におけるインク吐
出用ノズルはすべて、前記オリフィスの配列方向のう
ち、前記オリフィスプレートの接続部に向く方向に、同
一の傾斜角度で傾斜していることを特徴とするインク噴
射記録ヘッド。
1. An orifice using a plurality of ink discharge nozzles.
Ink droplets are ejected from the ejection surface in which
An ink ejection recording head, wherein the ejection surface is formed by two orifice plates having the orifices connected to each other in a direction in which the orifices are arranged, and an ink ejection nozzle in each of the two orifice plates is In all of the arrangement directions of the orifices, in the direction toward the connecting portion of the orifice plate ,
An ink jet recording head which is inclined at one inclination angle .
【請求項2】前記オリフィスプレートの接続部における
印字ドット密度が、接続部分以外の印字ドット密度と同
一となるように、前記傾斜角度が設定されている請求項
に記載のインク噴射記録ヘッド。
2. The inclination angle is set such that a print dot density at a connection portion of the orifice plate is the same as a print dot density at a portion other than the connection portion.
2. The ink jet recording head according to 1.
【請求項3】前記傾斜角度は、0.5度以上10度以下
である請求項1または2に記載のインク噴射記録ヘッ
ド。
Wherein the angle of inclination, the ink jet recording head according to claim 1 or 2 or less 10 degrees 0.5 degrees.
【請求項4】前記吐出面からのインク液滴の吐出は、発
熱抵抗体の発熱駆動によって行う請求項1〜のいずれ
かに記載のインク噴射記録ヘッド。
Wherein said discharging of ink droplets from the ejection face, the ink jet recording head according to any one of claims 1 to 3 for the heating operation of the heating resistor.
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