JP3333278B2 - Radiation image detecting method and a radiation image detector - Google Patents

Radiation image detecting method and a radiation image detector

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【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【産業上の利用分野】本発明は、シンチレータと固体検出器との組合せを利用する放射線画像検出方法および放射線画像検出器に関するものである。 The present invention relates to relates to a radiation image detecting method and a radiation image detector utilizing a combination of a scintillator and a solid state detector.

【0002】 [0002]

【従来の技術】従来より、医療診断を目的とする放射線撮影の医療用放射線撮影、物質の被破壊検査等を目的とする工業用放射線撮影等の種々の分野における放射線撮影において、増感紙と放射線写真フイルムとを組合せたいわゆる放射線写真法が利用されている。 Conventionally, medical radiography radiography for the purpose of medical diagnosis, in radiographic in various fields of industrial radiography or the like for the purpose of the destructive inspection, etc. of the material, and intensifying screen the so-called radiography that a combination of a radiographic film has been utilized. この方法によれば、被写体を透過したX線等の放射線が増感紙に入射すると,増感紙に含まれる蛍光体はこの放射線のエネルギーを吸収して蛍光(瞬時発光)を発する。 According to this method, the radiation such as X-rays transmitted through an object enters the intensifying screen, phosphor contained in the intensifying screen fluoresces (instantaneous light emission) by absorbing the energy of the radiation. この発光により、増感紙に密着させるように重ね合わされた放射線写真フイルムが感光し、放射線写真フイルム上には放射線画像が形成される。 This emission, and the photosensitive superimposed radiation photographic film so as to close contact with the intensifying screen, is on radiographic film radiation image is formed. このようにして放射線画像は直接に放射線フイルム上に可視化された画像として得ることができる。 In this way, the radiation image can be obtained as a visible image on a radiation film directly.

【0003】一方、放射線写真フイルムに記録された放射線画像を光電的に読み取って画像信号を得、この画像信号に適切な画像処理を施した後、画像を再生記録することが種々の分野で行われている。 On the other hand, to obtain an image signal by reading out the radiation image recorded on the radiographic film photoelectrically, carrying out appropriate image processing on the image signal, the row in the various fields and then reproducing the image are we. たとえば、後の画像処理に適合するように設計されたガンマ値の低いフィルムを用いてX線画像を記録し、このX線画像が記録されたフィルムからX線画像を読み取って電気信号に変換し、この電気信号(画像信号)に画像処理を施した後コピー写真等に可視像として再生することにより、コントラスト,シャープネス,粒状性等の画質性能の良好な再生画像を得ることが行われている(特公昭61-5193 号公報参照)。 For example, using a low film having designed gamma value chosen according to the type of image processing after recording the X-ray image is converted into an electric signal the X-ray image is read X-ray images from a recording film by playing as a visible image on a copy photograph or the like after image processing to the electric signal (image signal), contrast, sharpness, and it it has been conducted to obtain a satisfactory reproduced image quality performance such as graininess are (see JP-B-61-5193).

【0004】また本願出願人により、放射線(X線,α [0004] The applicant, radiation (X-ray, alpha
線,β線,γ線,電子線,紫外線等)を照射するとこの放射線エネルギーの一部が蓄積され、その後可視光等の励起光を照射すると蓄積されたエネルギーに応じて輝尽発光を示す蓄積性蛍光体(輝尽性蛍光体)を利用して、 Line, beta rays, gamma rays, an electron beam, is irradiated with ultraviolet rays or the like) a portion of the radiation energy is accumulated, the accumulation then indicates the stimulated emission in proportion to the stored energy when irradiated with excitation light such as visible light using sex phosphor (stimulable phosphor),
人体等の被写体の放射線画像情報を一旦シート状の蓄積性蛍光体に記録し、この蓄積性蛍光体シートをレーザー光等の励起光で走査して輝尽発光光を生ぜしめ、得られた輝尽発光光を光電的に読み取って画像信号を得、この画像データに基づき被写体の放射線画像を写真感光材料等の記録材料、CRT等に可視像として出力させる放射線画像記録再生システムがすでに提案されている(特開昭55-12429号,同56-11395号,同55-163472 号,同56-1 Once recorded into a sheet having a stimulable phosphor radiation image information of a subject such as a human body, give rise to stimulated emission of the stimulable phosphor sheet is scanned with excitation light such as a laser beam, resulting bright obtain an image signal by reading the fluorescent light photoelectrically, recording material of the photographic photosensitive material such a radiation image of the object based on the image data, the radiation image recording and reproducing system to output as a visible image has already been proposed to CRT or the like and that (JP-A-55-12429, 56-11395 same issue, same 55-163472 JP, the 56-1
04645 号,同55- 116340号等)。 No. 04645, the same 55- 116340 No., etc.).

【0005】このシステムは、従来の銀塩写真を用いる放射線写真システムと比較して極めて広い放射線露出域にわたって画像を記録しうるという実用的な利点を有している。 [0005] This system has the practical advantage compared to the radiographic system using a conventional silver halide photographic can record images over an extremely wide radiation exposure range. すなわち、蓄積性蛍光体においては、放射線露光量に対して蓄積後に励起によって輝尽発光する発光光の光量が極めて広い範囲にわたって比例することが認められており、従って種々の撮影条件により放射線露光量がかなり大幅に変動しても、蓄積性蛍光体シートより放射される輝尽発光光の光量を読取ゲインを適当な値に設定して光電変換手段により読み取って電気信号に変換し、この電気信号を用いて写真感光材料等の記録材料、 That is, in the stimulable phosphor, the light amount of the emitted light to bright Jin light by excitation after storage with respect to radiation exposure has been observed to proportional over a very wide range, thus the radiation exposure by various imaging conditions There also vary quite significantly, and converted into an electrical signal is read by the photoelectric conversion means to gain read the amount of the stimulable phosphor sheet from the radiation being stimulated light is set to an appropriate value, the electric signal recording material of the photographic photosensitive materials using,
CRT等の表示装置に放射線画像を可視像として出力させることによって、放射線露光量の変動に影響されない放射線画像を得ることができる。 By a radiation image on a display device such as a CRT or the like is output as a visible image, it is possible to obtain a radiographic image which is not affected by the variation of the radiation exposure.

【0006】しかしながら、このような放射線写真システムにより放射線画像を得るためには、上述した放射線画像を直接可視化する際に、撮影に用いる放射線写真フイルムと増感シートとの感度領域を一致させて撮影を行う必要がある。 However, in order to obtain a radiation image by such radiographic systems, when directly visualized radiation image described above, captured by matching the sensitivity region of the radiographic film and intensifying the sheet used for the shooting it is necessary to carry out.

【0007】また、上述した放射線写真フイルム、蓄積性蛍光体シートを用いて光電的に放射線画像を読み取るシステムにおいては、上述したように放射線画像に画像処理をおこなって目的に応じた濃度およびコントラストを有するように調整したり、放射線画像を一旦電気信号に変換しなければならず、そのための画像読取装置を用いて読取り走査を行う必要があり、放射線画像を得るための操作が煩雑なものとなり、放射線画像を得るまでの時間がかかるものとなっている。 Further, radiographic film described above, in a system for reading the photoelectrically radiation image using a stimulable phosphor sheet, the density and contrast according to the purpose by performing image processing on the radiation image, as described above adjustment or to have the radiation image temporarily must be converted into an electric signal, it is necessary to read scanned with an image reading apparatus therefor, operation for obtaining a radiation image becomes cumbersome, time for obtaining a radiation image has become such a thing.

【0008】そこで、放射線写真システムによる上記のような問題点を解決するために、放射線画像検出器が提案されている(例えば特開昭59-211263 号公報、特開平 [0008] In order to solve the above problems by radiographic system, the radiation image detector has been proposed (e.g., JP 59-211263, JP Hei
2-164067号公報、PCT国際公開番号WO92/06501号、 2-164067 JP, PCT International Publication No. WO92 / 06501 issue,
Signal,noise,and read outconsiderations in the dev Signal, noise, and read outconsiderations in the dev
elopment of amorphous silicon photodiode arrays fo elopment of amorphous silicon photodiode arrays fo
r radiotherapy and diagnostic x-ray imaging,LEA r radiotherapy and diagnostic x-ray imaging, LEA
ntonuk et.al ,University of Michigan,RAStreet ntonuk et.al, University of Michigan, RAStreet
Xerox,PARC,SPIE Vol.1443 Medical Imaging V;Ima Xerox, PARC, SPIE Vol.1443 Medical Imaging V; Ima
ge Physics(1991) ,p.108-119 )。 ge Physics (1991), p.108-119).

【0009】この放射線画像検出器は、例えば厚さ3mm [0009] The radiation image detector, a thickness of 3mm
の石英ガラスからなる基板にアモルファス半導体膜を挟んで透明導電膜と導電膜とからなる複数の信号線と走査線とがそれぞれ直交するようにマトリクス上にパターン形成して構成されている固体検出器に放射線を可視光に変換するシンチレータを積層することにより構成されてなるものである。 Solid state detector having a plurality of signal lines on a substrate made of quartz glass consisting of a transparent conductive film and the conductive film across the amorphous semiconductor film between the scanning line is configured with a pattern formed on the matrix so as to be orthogonal to each is made is configured by laminating a scintillator that converts the visible light radiation.

【0010】この放射線画像検出器をシンチレータが放射線入射側の面を向くように配置し、放射線画像検出器に被写体を透過した放射線を照射することにより、放射線がシンチレータに直接入射して可視光に変換され、この変換された可視光が固体検出器により検出されて放射線画像情報を担持する画像信号に光電変換される。 [0010] The radiation image detector arranged such scintillator facing surface of the radiation incidence side, by irradiating the radiation transmitted through the subject to a radiation image detector, the radiation is incident directly on the scintillator into visible light is converted, the converted visible light is photoelectrically converted into an image signal carrying the is detected radiation image information by the solid state detector. この画像信号は、所定の画像処理がなされた後にCRT等の再生手段により再生される。 The image signal is reproduced by the reproducing means such as a CRT after predetermined image processing has been performed. このような放射線画像検出器を用いることにより、被写体の放射線画像を煩雑な操作を行うことなくただちに再生することができ、直ちにリアルタイムで放射線画像を得ることができ、上述した放射線写真システムの欠点を解消することができる。 By using such a radiation image detector immediately can be reproduced without performing the radiation image of a subject complicated operation, can immediately be obtained a radiation image in real time, the disadvantages of radiographic systems described above it can be eliminated.

【0011】 [0011]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述した放射線画像検出器に用いられるシンチレータは、その厚み方向に対して放射線の入射面に近い方が放射線がより多く吸収されるため、発光量も多いものである。 However [0007] A scintillator for use in the radiation image detector described above, since the closer to the incident surface of the radiation with respect to the thickness direction is more absorbed radiation amount of light emission is often it is intended. したがって、上述した放射線画像検出器においては、固体検出器は放射線の入射方向に対してシンチレータの後方に配置される構成であるため、シンチレータにより変換された可視光が固体検出器に到達するまでにシンチレータ自身により吸収もしくは散乱されてしまい、固体検出器における可視光の検出効率が低下し、得られる放射線画像の鮮鋭度が低下してしまうものであった。 Therefore, in the radiation image detector mentioned above, since the solid-state detector is configured to be placed behind the scintillator with respect to the direction of incidence of radiation, until the visible light converted by the scintillator reaches the solid-state detector is absorbed or scattered by the scintillator itself, the detection efficiency of the visible light is reduced in the solid-state detector, the sharpness of the resulting radiographic image were those lowered.

【0012】本発明は上記事情に鑑み、固体検出器における可視光の検出効率を向上させ、得られた放射線画像の画質を向上させることができる放射線画像検出方法および放射線画像検出器を提供することを目的とするものである。 [0012] The present invention has been made in view of the above circumstances, improve the detection efficiency of the visible light in a solid-state detector, providing a radiation image detecting method and a radiation image detector capable of improving the image quality of a radiation image obtained the it is an object of the present invention.

【0013】 [0013]

【課題を解決するための手段】本発明による放射線画像検出方法は、照射された放射線を可視光に変換するシンチレータと、該シンチレータにより変換された可視光を検出して放射線画像を表す電気信号に変換する固体検出器とにより前記放射線画像を検出する放射線画像検出方法において、前記放射線が照射される側に前記固体検出器を、該放射線が照射される側とは反対側に前記シンチレータを配して、前記固体検出器を透過した前記放射線を前記シンチレータによって変換することにより得られた前記可視光を検出することを特徴とするものである。 Radiation image detecting method according to the present invention SUMMARY OF] is the irradiated radiation and scintillator for converting the visible light into an electrical signal representing the radiation image by detecting the converted visible light by the scintillator a radiation image detecting method for detecting the radiation image by a solid state detector for converting, the solid state detector on the side where the radiation is irradiated, arranged said scintillator on the side opposite to the side where the radiation is irradiated Te, it is characterized in detecting the visible light obtained by converting the radiation that has passed through the solid-state detector by the scintillator.

【0014】本発明による放射線画像検出器は、照射された放射線を可視光に変換するシンチレータと、該シンチレータにより変換された可視光を検出して放射線画像を表す電気信号に変換する固体検出器とからなる放射線画像検出器において、前記放射線が照射される側に前記固体検出器を、該放射線が照射される側とは反対側に前記シンチレータを配したことを特徴とするものである。 [0014] The radiation image detector according to the invention includes a scintillator that converts the irradiated radiation into visible light, and solid state detector for converting into an electric signal representing the radiation image by detecting the converted visible light by the scintillator in the radiation image detector consisting of, the solid state detector on the side where the radiation is irradiated, to the side where the radiation is irradiated it is characterized in that arranged the scintillator on the opposite side.

【0015】なお、本発明による放射線画像検出器においては、前記固体検出器がアモルファスシリコンからなることが好ましい。 [0015] In the radiation image detector according to the present invention, it is preferable that the solid state detector made of amorphous silicon.

【0016】また、前記シンチレータが、Gd [0016] In addition, the scintillator is, Gd 2 O
SまたはCsIを主成分とする蛍光体からなることが好ましい。 It is preferably formed of a phosphor mainly composed of 2 S or CsI.

【0017】さらに、前記固体検出器が、所定の厚さおよび/または所定の放射線吸収率を有する基板上に形成されてなることが好ましい。 Furthermore, the solid-state detector are preferably formed by forming on a substrate having a predetermined thickness and / or a predetermined radiation absorptivity.

【0018】ここで、所定の厚さとは、放射線の吸収量が放射線画像の画質を低下させるほどに大きくない程度の厚さをいうが、具体的には固体検出器を支持するためのある程度の強度が必要であるため、数百ミクロン程度であることをいう。 [0018] Here, the predetermined thickness, absorption of radiation refers to an thickness such not large enough to lower the quality of the resultant image, specifically some for supporting the solid state detector the strength is required, it refers to the order of a few hundred microns. また、所定の放射線吸収率とは、放射線の吸収量が放射線画像の画質を低下させるほどに大きくない程度の吸収率であることをいうものである。 Further, the predetermined radiation absorptivity, is intended to refer to absorption of the radiation is the absorption rate of the extent not large enough to lower the quality of the resultant image. このような条件を満たす材料としては、例えば樹脂シートまたは石英ガラスが挙げられる。 As the materials satisfying these requirements include, for example, a resin sheet or quartz glass.

【0019】さらに、本発明による放射線画像検出器においては、前記基板が樹脂シートまたは石英ガラスからなることが好ましい。 Furthermore, in the radiation image detector according to the present invention, it is preferable that the substrate is made of a resin sheet or quartz glass.

【0020】 [0020]

【作用】本発明によれば、放射線が照射される側に固体検出器を、放射線が照射される側とは反対側にシンチレータを配したため、固体検出器に照射された放射線はそれほど吸収されることなくシンチレータに到達し、このシンチレータによって可視光に変換される。 According to the present invention, a solid-state detector on the side the radiation is irradiated, for which arranged scintillator on the side opposite to the side where the radiation is irradiated, radiation irradiated on the solid state detector is so absorbed It reaches the scintillator without, being converted into visible light by the scintillator. シンチレータは放射線の入射面に近い部分においてより多くの放射線が吸収され可視光の発光量も多いものである。 The scintillator is intended often more radiation is absorbed amount of light emission of visible light in a portion near the incident surface of the radiation. このため、シンチレータにより変換された可視光は、ほとんど散乱されたり吸収されたりすることなく固体検出器に検出されることとなる。 Therefore, the visible light converted by the scintillator will be detected in the solid-state detector without or absorbed or almost scattered. したがって、固体検出器における可視光の検出効率は向上され、本発明による放射線画像検出方法および放射線画像検出器により得られる放射線画像の鮮鋭度を向上させることができ、全体として高画質の放射線画像を得ることができる。 Accordingly, the detection efficiency of the visible light in the solid-state detector is improved, the radiographic image obtained by the radiation image detecting method and a radiation image detector according to the present invention sharpness can be improved, the quality of the radiation image as a whole it is possible to obtain.

【0021】また、固体検出器をアモルファスシリコンで形成することにより、大面積を有する均一な固体検出器を構成することができる。 Further, the solid-state detector by forming an amorphous silicon, it is possible to construct a uniform solid state detector having a large area.

【0022】さらに、基板を樹脂シートまたは石英ガラスで構成することにより、固体検出器を透過する放射線の減衰をより少なくすることができる。 Furthermore, the substrate by a resin sheet or quartz glass, it is possible to reduce the attenuation of the radiation passing through the solid-state detector.

【0023】 [0023]

【実施例】以下図面を参照して本発明の実施例について説明する。 EXAMPLES For Examples of the present invention with reference to the drawings will be described.

【0024】図1は本発明による放射線画像検出器の実施例を表す図である。 [0024] FIG. 1 is a diagram showing an example of the radiation image detector according to the invention. 図1に示すように本発明の実施例による放射線画像検出器1は、固体検出器2とシンチレータ3とを積層させてなるものであり、固体検出器2がX線が照射される側に配置されている。 Radiation image detector 1 according to an embodiment of the present invention as shown in FIG. 1 is made of by laminating the solid state detector 2 and the scintillator 3, disposed on the side of the solid-state detector 2 is X-rays are irradiated It is. ここで、固体検出器2は、図2に示すように樹脂シートからなる基板11 Here, the solid-state detector 2, a substrate 11 made of a resin sheet as shown in FIG. 2
の上にパターン成形した導電膜からなる信号線12A ,12 Signal line 12A, 12 consisting of a pattern molded conductive film on the
B があり、アモルファスシリコン13と透明電極14とからなるフォトダイオード15およびアモルファスシリコン16 There are B, photodiode 15 and the amorphous silicon 16 formed of amorphous silicon 13 transparent electrode 14 which
からなる薄膜トランジスタ17により固体検出素子18が多数形成されてなるものである。 The thin film transistor 17 consisting of in which state detecting devices 18, which are formed a number. そしてこの上にGd And Gd 2 on this
S,CsI等の蛍光体からなるシンチレータ3が積層されているものである。 O 2 S, a scintillator 3 consisting of phosphor such as CsI is what are stacked. ここで、シンチレータ3 Here, the scintillator 3
は、数十ミクロンから数百ミクロン程度の厚みを有する。 Has a thickness of about several hundred microns from a few tens of microns. また、固体検出器2の樹脂シート11の厚さは数百ミクロン程度であり、X線吸収率は低いものである。 The thickness of the solid state detector 2 of the resin sheet 11 is about several hundred microns, X-rays absorption rate is low. また、アモルファスシリコン13の厚さは1ミクロン程度である。 The thickness of the amorphous silicon 13 is approximately 1 micron.

【0025】X線源4より発せられたX線5は被写体6 [0025] X-ray 5 emitted from the X-ray source 4 subject 6
に照射され、被写体6を透過する。 It is irradiated on, transmitted through the object 6. 被写体6を透過したX線5は放射線画像検出器1に照射される。 X-rays 5 passing through the object 6 is irradiated to the radiation image detector 1. 放射線画像検出器1に照射されたX線5は固体検出器2を透過し、 X-ray 5 emitted to the radiation image detector 1 passes through the solid state detector 2,
シンチレータ3に到達する。 To reach the scintillator 3. なお、X線5が固体検出器2を透過する際において、樹脂シートからなる基板11はX線の吸収率は低く、また、アモルファスシリコン層13 Note that in the case where the X-ray 5 is transmitted through a solid state detector 2, a substrate 11 made of a resin sheet absorption of X-rays is low, also, the amorphous silicon layer 13
の厚さも1ミクロン程度であることから、X線5はほとんど減衰されることなくシンチレータ3に到達する。 Since also the thickness of about 1 micron, and reaches the scintillator 3 without X-ray 5 is hardly attenuated. また、このときアモルファスシリコン層13に吸収されたX Further, X at this time is absorbed in the amorphous silicon layer 13
線5はそのまま信号に寄与される。 Line 5 is contributed directly to signal. シンチレータ3は到達したX線5の強度に応じた強度の可視光を発光し、この可視光はアモルファスシリコン層13により検出される。 The scintillator 3 emits visible light of an intensity corresponding to the intensity of X-rays 5 that has reached, the visible light is detected by the amorphous silicon layer 13. そしてこの可視光が光電変換され発光強度に応じてアモルファスシリコン層13内に電荷が蓄積される。 The charge in the amorphous silicon layer 13 is accumulated in accordance with the emission intensity visible light is photoelectrically converted. その後この電荷が読み出され、電気信号としての画像信号S Then the charges are read out, the image signal S as an electric signal
が出力される。 There is output.

【0026】出力された画像信号Sは情報処理手段7に入力されて所定の画像処理等がなされ、処理がなされた処理済画像信号S′は再生手段8に入力されて被写体6 The output image signal S is inputted predetermined image processing such as the information processing unit 7 is made, the processing is input to the processed image signal S 'is reproducing unit 8 has been made the subject 6
の放射線画像が可視像として再生される。 The radiation image is reproduced as a visible image.

【0027】なお、再生手段8としては、CRT等の電子的に表示するもの、CRT等に表示された放射線画像をビデオプリンタ等に記録するものなど種々のものを採用することができる。 [0027] As the reproducing means 8, can be employed which electronically display such as a CRT, any of various such as those for recording a radiation image displayed on CRT and the like to a video printer or the like. また、被写体6の放射線画像は磁気テープ、光ディスク等の記録保存するようにしてもよい。 The radiation image of the object 6 may be recorded and stored, such as magnetic tape, optical disk.

【0028】また、上述した実施例においては、固体検出器の基板として樹脂シートを用いているが、これに限定されるものではなく、放射線画像を吸収しない数百ミクロン程度の厚さであれば、石英ガラス等の無機材料を用いるようにしてもよい。 Further, in the embodiment described above, but using the resin sheet as the substrate of the solid state detector is not limited to this, if the thickness of several hundred microns which does not absorb radiation image it may be used an inorganic material such as quartz glass.

【0029】さらに上述した実施例においては、半導体層としてアモルファスシリコン層を用いているが、これに限定されるものではなく、いかなる半導体層を用いるようにしてもよいものである。 [0029] In a further embodiment described above, although an amorphous silicon layer as a semiconductor layer, is not limited thereto, but may be used any semiconductor layer.

【0030】 [0030]

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によれば、放射線が入射される側に、放射線吸収率の低い基板上に形成された固体検出器を配するようにしたため、 As described [Effect Invention above in detail, according to the present invention, on the side where radiation is incident, since the so arranging the solid-state detector formed on a lower substrate radiation absorptivity,
放射線を減衰させることなくシンチレータまで到達せしめることができる。 Radiation can be allowed to reach the scintillator without attenuation. これにより、シンチレータにより変換された可視光の検出効率は向上され、本発明による放射線検出方法および放射線画像検出器により得られる放射線画像の鮮鋭度を向上させることができ、全体として高画質の放射線画像を得ることができる。 Accordingly, the detection efficiency of the converted visible light by the scintillator is improved, the present invention the sharpness of the obtained radiographic image by a radiation detecting method and a radiation image detector can be improved by, high-quality radiographic image as a whole it is possible to obtain.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明による放射線画像検出器の実施例を表す図 Diagram illustrating an embodiment of the radiation image detector according to the invention; FIG

【図2】本発明による放射線画像検出器の実施例に用いられる固体検出器を表す一部拡大図 Partially enlarged view showing a solid-state detector used in the embodiment of the radiation image detector according to the invention, FIG

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1 放射線画像検出器 2 固体検出器 3 シンチレータ 4 X線源 5 X線 6 被写体 7 情報処理手段 8 再生手段 11 基板 13 アモルファスシリコン層 18 固体検出素子 1 the radiation image detector 2 solid state detector 3 scintillator 4 X-ray source 5 X-ray 6 object 7 information processing means 8 reproducing unit 11 substrate 13 amorphous silicon layer 18 state detecting devices

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl. 7 ,DB名) G01T 1/20 H04N 5/32 Front page of the continuation (58) investigated the field (Int.Cl. 7, DB name) G01T 1/20 H04N 5/32

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】 (57) [the claims]
  1. 【請求項1】 照射された放射線を可視光に変換するシンチレータと、該シンチレータにより変換された可視光を検出して放射線画像を表す電気信号に変換する、該シンチレータと略同一面積を有する固体検出器とにより前記放射線画像を検出する放射線画像検出方法において、 前記放射線が照射される側に前記固体検出器を、該放射線が照射される側とは反対側に前記シンチレータを配して、前記固体検出器を透過した前記放射線を前記シンチレータによって変換することにより得られた前記可視光を検出することを特徴とする放射線画像検出方法。 And 1. A scintillator that converts the irradiated radiation into visible light, into an electric signal representing the radiation image by detecting the converted visible light by the scintillator, solid state detector having the scintillator substantially the same area a radiation image detecting method for detecting the radiation image by a vessel, the solid state detector on the side where the radiation is irradiated, to the side where the radiation is irradiated by arranging the scintillator on the opposite side, the solid the radiation image detecting method and detecting the visible light obtained by converting the radiation transmitted through the detector by the scintillator.
  2. 【請求項2】 照射された放射線を可視光に変換するシンチレータと、該シンチレータにより変換された可視光を検出して放射線画像を表す電気信号に変換する、該シンチレータと略同一面積を有する固体検出器とからなる放射線画像検出器において、 前記放射線が照射される側に前記固体検出器を、該放射線が照射される側とは反対側に前記シンチレータを配したことを特徴とする放射線画像検出器。 A scintillator 2. A converts the irradiated radiation into visible light, into an electric signal representing the radiation image by detecting the converted visible light by the scintillator, solid state detector having the scintillator substantially the same area in the radiation image detector consisting of a vessel, the solid state detector on the side where the radiation is irradiated, the radiation image detector, characterized in that arranged the scintillator on the side opposite to the side where the radiation is irradiated .
  3. 【請求項3】 前記固体検出器がアモルファスシリコンからなることを特徴とする請求項2記載の放射線画像検出器。 3. A radiation image detector according to claim 2, wherein said solid state detector made of amorphous silicon.
  4. 【請求項4】 前記シンチレータが、Gd Wherein said scintillator, Gd 2 O 2 S
    またはCsIを主成分とする蛍光体からなることを特徴とする請求項2または3記載の放射線画像検出器。 Or radiation image detector according to claim 2 or 3, wherein the consisting of phosphor mainly composed of CsI.
  5. 【請求項5】 前記固体検出器が、所定の厚さおよび/ Wherein said solid-state detector, a predetermined thickness and /
    または所定の放射線吸収率を有する基板上に形成されてなることを特徴とする請求項2から4のいずれか1項記載の放射線画像検出器。 Or radiation image detector of any one of claims 2 4, characterized in that formed on a substrate having a predetermined radiation absorptivity.
  6. 【請求項6】 前記基板が樹脂シートまたは石英ガラスからなることを特徴とする請求項5記載の放射線画像検出器。 6. The radiation image detector of claim 5 wherein said substrate is made of a resin sheet or quartz glass.
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