JP3326751B2 - Test head moving method and apparatus, and probe apparatus - Google Patents
Test head moving method and apparatus, and probe apparatusInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、テストヘッドの移動方
法及び装置並びにプローブ装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a test head moving method and apparatus, and a probe apparatus.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来のプローブ装置Aは、図5に示すよ
うに、装置本体Bに装着されたプロービングカードCと
電気的に導通可能なテストヘッドDと、このテストヘッ
ドDを回転可能に支持する支持体Eと、この支持体Eを
介してテストヘッドD側の接続端子をプロービングカー
ドC側の接続端子と接触させる方向または離間する方向
へ回転移動させる回転駆動機構Fとを備え、回転駆動機
構Fを用いてテストヘッドDをプロービングカードCと
電気的に導通させて被検査体例えば半導体ウエハWの電
気的検査を行なうように構成されている。2. Description of the Related Art As shown in FIG. 5, a conventional probe device A has a test head D electrically connected to a probing card C mounted on a device body B, and rotatably supports the test head D. And a rotation drive mechanism F for rotating the connection terminal of the test head D through the support E in a direction to contact or separate from the connection terminal of the probing card C. The test head D is electrically connected to the probing card C by using the mechanism F so as to perform an electrical inspection of an object to be inspected, for example, a semiconductor wafer W.
【0003】即ち、プローブ装置本体にはその天面を形
成するヘッドプレート(図示せず)が例えばヒンジを介
して取り付けられ、このヘッドプレートは装置本体の背
面側へ開放可能になっている。また、ヘッドプレートの
略中央には開口部が形成され、この開口部にインサート
リング(図示せず)が装着され、このインサートリング
に対してプロービングカードCがカードホルダーを介し
て着脱自在に装着されている。更に、このプロービング
カードCの上方にはこれと電気的に導通するテストヘッ
ドDが配設されている。このテストヘッドDは例えば回
転軸Gなどを介して装置本体Bの一方の側面側に取り付
けられ、プロービングカードCを交換する時あるいは装
置本体内を点検する時などにテストヘッドDを二点鎖線
で示すように一方の側面へ回転移動させ、テストヘッド
Dを開放時のヘッドプレートと干渉しない位置まで退避
させるようにしてある。That is, a head plate (not shown) forming the top surface is attached to the probe device main body via, for example, a hinge, and this head plate can be opened to the rear side of the device main body. An opening is formed substantially at the center of the head plate, and an insert ring (not shown) is attached to the opening, and a probing card C is detachably attached to the insert ring via a card holder. ing. Further, a test head D electrically connected to the probing card C is provided above the probing card C. The test head D is attached to one side surface of the apparatus main body B via, for example, a rotating shaft G, and is used to replace the probing card C or to inspect the inside of the apparatus main body. As shown in the figure, the test head D is rotated to one side and retracted to a position where it does not interfere with the head plate when it is opened.
【0004】また、テストヘッドDとプロービングカー
ドCとはパフォーマンスボードH、接続リングIなどを
介して互いに電気的に導通し得るようになっている。テ
ストヘッドDの内部には半導体ウエハ上に作り込まれた
ICチップに電圧を印加する試料用電源やICチップか
らの出力を測定部に取り込むための入力部などからなる
ピンエレクトロニクス(図示せず)が内蔵され、このピ
ンエレクトロニクスはパフォーマンスボードHに搭載さ
れた複数の電子部品回路に対して電気的に接続されてい
る。そして、これらの電子部品回路の接続端子は、パフ
ォーマンスボードHの下面に同心円状に配列され、接続
リングIの上面には配列されたポゴピン(図示せず)に
圧接することにより、プロービングカードCと電気的に
導通可能になっている。Further, the test head D and the probing card C can be electrically connected to each other via a performance board H, a connection ring I and the like. Inside the test head D, pin electronics (not shown) including a sample power supply for applying a voltage to an IC chip formed on a semiconductor wafer and an input unit for taking an output from the IC chip into a measuring unit. The pin electronics are electrically connected to a plurality of electronic component circuits mounted on the performance board H. The connection terminals of these electronic component circuits are concentrically arranged on the lower surface of the performance board H, and are pressed against the pogo pins (not shown) arranged on the upper surface of the connection ring I to connect the probing card C to the probing card C. It is electrically conductive.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
プローブ装置Aに場合には、上述のようにテストヘッド
DをプロービングカードC側へ回転移動させてテストヘ
ッドD側の接続端子がプロービングカードC側に同心円
状に配列されたポゴピンと圧接させることによりテスト
ヘッドDとプロービングカードC間が電気的に導通する
ようになっている。ところが、テストヘッドDを回転移
動させてテストヘッドD側の各接続端子がプロービング
カードC側の全てのポゴピンと圧接する時に、テストヘ
ッドD側の各接続端子は全てのポゴピンと同時に圧接せ
ず、まず回転半径の短い側の接続端子がそれに対応する
ポゴピンに圧接し、その後回転半径の長いポゴピンへと
順次圧接するため、回転半径の短い側のポゴピンほど斜
め方向の力、即ちポゴピンを曲げる方向の力を受けてポ
ゴピンが損傷し易く、その結果オペレータはポゴピンの
損傷程度を常に監視し、必要に応じてポゴピンを交換す
るなどのメンテナンスを行なわなくてはならないという
課題があった。However, in the case of the conventional probe device A, the test head D is rotated to the probing card C side as described above, and the connection terminal on the test head D side is connected to the probing card C side. The test head D and the probing card C are electrically connected to each other by pressure contact with the pogo pins arranged concentrically. However, when the test head D is rotated and the connection terminals on the test head D are pressed against all the pogo pins on the probing card C, the connection terminals on the test head D are not pressed against all the pogo pins at the same time. First, since the connection terminal on the short turning radius presses against the corresponding pogo pin, and then successively presses on the pogo pin with the long turning radius, the pogo pin on the short turning radius has a more oblique force, i.e., in the direction of bending the pogo pin. Pogo pins are easily damaged by the force, and as a result, there has been a problem that the operator must constantly monitor the degree of damage of the pogo pins and perform maintenance such as replacing the pogo pins as necessary.
【0006】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、ポゴピンとプローブカードとの接触あるい
は離間する際の力を均一に付加しあるいは解除でき、プ
ロービングカードとの導通を図るポゴピンなどの接続端
子の損傷を防止し、メンテナンス性を向上でき、もって
検査装置の稼動率を向上できるテストヘッドの移動方法
及び装置並びにプローブ装置を提供することを目的とし
ている。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems. For example, a pogo pin capable of uniformly applying or releasing a force at the time of contact or separation between a pogo pin and a probe card and achieving conduction with a probing card is provided. It is an object of the present invention to provide a method and apparatus for moving a test head, and a probe apparatus, which can prevent damage to the connection terminals, improve the maintainability, and thereby improve the operation rate of the inspection apparatus.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に記載
のテストヘッドの移動方法は、テストヘッドとプローブ
装置のプロービングカードとを電気的に導通させあるい
は導通を解除するために上記テストヘッドを移動させる
方法において、上記テストヘッドを上記プロービングカ
ードと導通させる時には、上記プローブ装置本体の一側
面に沿う回転軸を中心に上記テストヘッドを上記プロー
ブ装置本体の外側から上記プローブ装置本体の上方へ回
転させて上記プロービングカードと平行に対向させた
後、上記テストヘッドを下降させて上記テストヘッド側
の接続端子を上記プロービングカード側の接続端子に接
触させ、また、上記テストヘッドと上記プロービングカ
ードとの導通を解除する時には、上記テストヘッドを上
記プローブカード側から上記プローブ装置本体の上方へ
一旦上昇させた後、上記回転軸を中心に上記テストヘッ
ドを上記プローブ装置本体の上方から上記プローブ装置
本体の外側へ反転可能に回転させるものである。According to a first aspect of the present invention, there is provided a method of moving a test head, the method comprising the steps of: providing electrical connection between a test head and a probing card of a probe device; In the method of moving the probe head, when the test head is brought into conduction with the probing card , one side of the probe device body is
Place the test head above the probe around the axis of rotation along the surface.
From the outside of the probe device body to above the probe device body.
After turning over and facing the probing card in parallel, the test head is lowered to bring the connection terminal on the test head side into contact with the connection terminal on the probing card side, and the test head and the probing card when releasing the conduction of, the test head was raised once <br/> from the probe card side to the upper side of the probe device body, the test head about said rotation axis from the upper side of the probe device body Above probe device
It is to be turned reversibly to the outside of the main body .
【0008】また、本発明の請求項2に記載のテストヘ
ッドの移動装置は、テストヘッドとプローブ装置のプロ
ービングカードとを電気的に導通させあるいは導通を解
除するために上記テストヘッドを移動させる装置におい
て、上記テストヘッドを上記プローブ装置本体の一側面
に沿う回転軸を中心に回転可能に支持する支持体と、こ
の支持体を介して上記テストヘッド側の接続端子を上記
プロービングカード側の接続端子と接触させる方向また
は離間する方向へ移動させるために、上記テストヘッド
を上記プローブ装置本体の外側と上記プローブ装置本体
の上方との間で上記回転軸を介して反転可能に正逆回転
させる回転駆動機構と、この回転駆動機構を介して上記
テストヘッドを上記プロービングカードの上側において
昇降させる昇降駆動機構とを備えたものである。According to a second aspect of the present invention, there is provided an apparatus for moving a test head for electrically connecting or disconnecting a test head and a probing card of a probe device. In the above, the test head is placed on one side of the probe device main body.
A support for rotatably supporting the rotation axis along the axis, and a connection terminal on the test head side to be moved in a direction in which the connection terminal on the test head side comes into contact with or apart from the connection terminal on the probing card side via the support. The above test head
The outside of the probe device body and the probe device body
A rotation driving mechanism for reversibly rotating the test head through the rotation shaft between the upper and lower sides of the probing card, and moving the test head up and down on the probing card via the rotation driving mechanism. it is obtained by a lifting drive mechanism for.
【0009】また、本発明の請求項3に記載のプローブ
装置は、プローブ装置のプロービングカードと電気的に
導通可能なテストヘッドと、このテストヘッドを上記プ
ローブ装置本体の一側面に沿う回転軸を中心に回転可能
に支持する支持体と、この支持体を介して上記テストヘ
ッド側の接続端子を上記プロービングカード側の接続端
子と接触させる方向または離間する方向へ移動させるた
めに、上記テストヘッドを上記プローブ装置本体の外側
と上記プローブ装置本体の上方との間で上記回転軸を介
して反転可能に正逆回転させる回転駆動機構と、この回
転駆動機構を介して上記テストヘッドを上記プロービン
グカードの上側において昇降させる昇降駆動機構とを備
えたものである。[0009] The probe apparatus of claim 3 of the present invention, the electrically conductive manner test head and probing card of the probe system, the flop the test head
A support that rotatably supports a rotation axis along one side surface of the lobe device main body, and separates or separates the connection terminal on the test head side and the connection terminal on the probing card side via the support. Move in the direction
The test head outside the probe device body
And the upper part of the probe device main body via the rotation shaft.
A rotation driving mechanism for reversible normally and reversely rotate, the rotating
Bei an elevating drive mechanism for elevating the test head in the upper side of the probing card via a rotation drive mechanism
It is a thing.
【0010】また、本発明の請求項4に記載のプローブ
装置は、請求項3に記載の発明において、上記回転駆動
機構は、モータと、このモータの回転を伝達する伝達機
構とを備えたものである。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a probe device according to the third aspect, wherein the rotation drive mechanism includes a motor and a transmission mechanism for transmitting rotation of the motor. It is.
【0011】また、本発明の請求項5に記載のプローブ
装置は、請求項3または請求項4に記載の発明におい
て、上記昇降駆動機構は、モータと、このモータの回転
を伝達する伝達機構と、この伝達機構の回転運動を上下
運動に変換する変換機構とを備えたものである。According to a fifth aspect of the present invention, in the probe device according to the third or fourth aspect, the lifting drive mechanism includes a motor and a transmission mechanism for transmitting rotation of the motor. And a conversion mechanism for converting the rotational movement of the transmission mechanism into a vertical movement.
【0012】[0012]
【作用】本発明の請求項1及び請求項2に記載の発明に
よれば、テストヘッドをプロービングカードと導通させ
る時には回転駆動機構が駆動してテストヘッドがプロー
ブ装置本体の一側面に沿う回転軸を中心にプローブ装置
本体外側のテストヘッドの退避位置からプロービングカ
ードと平行になるプローブ装置本体上方の位置まで回転
する。その後、昇降駆動機構が駆動して回転駆動機構を
介してテストヘッドが下降してテストヘッド側の接続端
子がプロービングカード側の接続端子例えば全てのポゴ
ピンに圧接する。この時、テストヘッド側の全ての接続
端子はこれらに対応するプロービングカード側の全ての
ポゴピンと垂直方向から下降して同時に圧接するため、
全てのポゴピンに均等な力を加えることができる。また
逆に、テストヘッドとプロービングカードとの導通を解
除する時には、昇降駆動機構が駆動してテストヘッドが
一旦上昇してテストヘッド側の接続端子がプロービング
カード側のポゴピンから垂直上方へ上昇して離間してプ
ローブ装置本体の上方に達する。その後、回転駆動機構
が駆動してテストヘッドが回転軸を中心にプローブ装置
本体の上方からプローブ装置本体の外側へ反転可能に回
転する。この時、テストヘッド側の接続端子はプロービ
ングカード側のポゴピンから垂直上方へ移動してプロー
ビングカード側の全てのポゴピンから同時に離間するた
め、ポゴピンに曲げ応力を加えることなく、押圧力を解
除することができる。According to the first and second aspects of the present invention, when the test head is brought into conduction with the probing card, the rotary drive mechanism is driven to drive the test head.
Probe device centering on the rotation axis along one side of the probe device body
Rotates to the position of the probe device body upward parallel to the body outside of the test head retracted position or Lapu roving card. After that, the elevating drive mechanism drives to rotate the rotation drive mechanism.
The test head is lowered via the test head, and the connection terminals on the test head side are pressed against the connection terminals on the probing card side, for example, all pogo pins. At this time, all the connection terminals on the test head side are lowered from the vertical direction and pressed simultaneously with all the pogo pins on the corresponding probing card side, so that
An equal force can be applied to all pogo pins. Conversely, when the conduction between the test head and the probing card is released, the lifting drive mechanism is driven to raise the test head once, and the connection terminals on the test head side rise vertically upward from the pogo pins on the probing card side. Separate and push
To reach the upper side of the lobe apparatus main body. After that, the rotation drive mechanism is driven and the test head is moved around the rotation axis to the probe device.
It can be turned over from the top of the main body to the outside of the probe
Turn over. At this time, since the connection terminals on the test head move vertically upward from the pogo pins on the probing card and are simultaneously separated from all the pogo pins on the probing card, release the pressing force without applying bending stress to the pogo pins. Can be.
【0013】本発明の請求項3に記載の発明によれば、
プローブ装置を用いて被検査体の検査を行なうに当り、
プローブ装置のテストヘッドをプロービングカードと導
通させる時には回転駆動機構が駆動してテストヘッドが
プローブ装置本体の一側面に沿う回転軸を中心にプロー
ブ装置本体外側のテストヘッドの退避位置からプロービ
ングカードと平行になるプローブ装置本体上方の位置ま
で回転する。その後、昇降駆動機構が駆動して回転駆動
機構を介してテストヘッドが下降してテストヘッド側の
接続端子がプロービングカード側の接続端子例えば全て
のポゴピンに圧接する。この時、テストヘッド側の全て
の接続端子はこれらに対応するプロービングカード側の
全てのポゴピンと垂直方向から下降して同時に圧接する
ため、全てのポゴピンに均等な力を加えることができ
る。また逆に、被検査体の検査終了に当り、テストヘッ
ドとプロービングカードとの導通を解除する時には、昇
降駆動機構が駆動してテストヘッドが一旦上昇してテス
トヘッド側の接続端子がプロービングカード側のポゴピ
ンから垂直上方へ上昇して離間してプローブ装置本体の
上方に達する。その後、回転駆動機構が駆動して回転軸
を中心にプローブ装置本体の上方からプローブ装置本体
の外側へ反転可能に回転する。この時、テストヘッド側
の接続端子はプロービングカード側のポゴピンから垂直
上方へ移動してプロービングカード側の全てのポゴピン
から同時に離間するため、ポゴピンに曲げ応力を加える
ことなく、押圧力を解除することができる。According to the third aspect of the present invention,
In performing the inspection of the inspection object using the probe device,
When the test head of the probe device is brought into conduction with the probing card, the rotation drive mechanism drives and the test head
Probing around the rotation axis along one side of the probe device body
Rotates to the probe apparatus main body above the position parallel to the blanking apparatus main body outside of the test head retracted position or Lapu Robi <br/> ring card. Then, the lifting drive mechanism is driven to rotate
The test head is lowered via the mechanism, and the connection terminals on the test head side are pressed against the connection terminals on the probing card side, for example, all pogo pins. At this time, all the connection terminals on the test head side are lowered from the vertical direction and are simultaneously pressed against all the corresponding pogo pins on the probing card side, so that an even force can be applied to all the pogo pins. Conversely, at the end of the inspection of the device under test, when the conduction between the test head and the probing card is released, the lifting / lowering drive mechanism is driven to raise the test head once, and the connection terminal on the test head side becomes the probing card side. Rise vertically upward and away from the pogo pin of
To reach upward. Then, the rotation drive mechanism is driven to rotate
Probe device body from above the probe device body
Rotates reversibly to the outside of . At this time, since the connection terminals on the test head move vertically upward from the pogo pins on the probing card and are simultaneously separated from all the pogo pins on the probing card, release the pressing force without applying bending stress to the pogo pins. Can be.
【0014】また、本発明の請求項4に記載の発明によ
れば、請求項3に記載の発明において、上記回転駆動機
構は、モータと、このモータの回転を伝達する伝達機構
とを備えているため、回転駆動機構のモータが回転駆動
すると、この回転運動を伝達機構を介して支持体に伝達
し、これによりテストヘッドが回転することができる。According to a fourth aspect of the present invention, in the third aspect of the invention, the rotation drive mechanism includes a motor and a transmission mechanism for transmitting rotation of the motor. Therefore, when the motor of the rotation drive mechanism is driven to rotate, this rotation is transmitted to the support via the transmission mechanism, whereby the test head can be rotated.
【0015】また、本発明の請求項5記載の発明によれ
ば、請求項3たは請求項4記載の発明において、上記昇
降駆動機構は、モータと、このモータの回転を伝達する
伝達機構と、この伝達機構の回転運動を上下運動に変換
する変換機構とを備えているため、昇降駆動機構のモー
タが回転駆動すると、この回転運動が伝達機構を介して
変換機構に伝達した後、変換機構では回転運動を上下変
換すると、テストヘッドが昇降する。According to a fifth aspect of the present invention, in the third or fourth aspect, the lifting drive mechanism includes a motor and a transmission mechanism for transmitting rotation of the motor. A conversion mechanism for converting the rotational movement of the transmission mechanism into a vertical movement. When the motor of the lifting drive mechanism is driven to rotate, the rotational movement is transmitted to the conversion mechanism via the transmission mechanism, and then the conversion mechanism is rotated. Then, when the rotational motion is converted up and down, the test head is moved up and down.
【0016】[0016]
【実施例】以下、図1〜図4に示す実施例に基づいて本
発明を説明する。本発明のテストヘッドの移動方法を説
明する前に、まず、本実施例のテストヘッドの移動装置
及びこれを用いたプローブ装置について説明する。本実
施例のプローブ装置1は、図1に示すように、装置本体
2の天面を形成するヘッドプレート2Aの中央開口部に
装着されたプロービングカード3と、このプロービング
カード3の接触端子3Aと電気的に導通する接続端子
(図示せず)を有するテストヘッド(二点鎖線で示す)
4と、このテストヘッド4を左側へ回転可能に支持する
可動支持体5と、この可動支持体5を介してテストヘッ
ド4をプロービングカード3と接触させる方向または離
間する方向へ回転移動させる回転駆動機構6とを備えて
構成されている。また、プローブ装置1にはテストヘッ
ド4を可動支持体5及び回転駆動機構6と共に一体的に
昇降させる昇降駆動機構7(図2及び図3参照)が設け
られている。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the embodiments shown in FIGS. Before describing the test head moving method of the present invention, first, a test head moving device of the present embodiment and a probe device using the same will be described. As shown in FIG. 1, the probe device 1 of the present embodiment includes a probing card 3 mounted on a central opening of a head plate 2A forming a top surface of an apparatus main body 2, and a contact terminal 3A of the probing card 3. Test head having connection terminals (not shown) that are electrically conductive (indicated by a two-dot chain line)
4, a movable support 5 rotatably supporting the test head 4 to the left, and a rotational drive for rotating the test head 4 through the movable support 5 in a direction to contact with or away from the probing card 3. A mechanism 6 is provided. Further, the probe device 1 is provided with an elevating drive mechanism 7 (see FIGS. 2 and 3) for integrally moving the test head 4 together with the movable support 5 and the rotary drive mechanism 6.
【0017】そして、可動支持体5、回転駆動機構6及
び昇降駆動機構7は、テストヘッド4をプロービングカ
ード3に対して移動させるテストヘッドの移動装置8と
して構成され、このテストヘッドの移動装置8が本発明
のテストヘッドの移動方法を実施する場合に用いられ
る。このテストヘッドの移動装置8は、図1に示すよう
に、装置本体2の正面の左側面に隣接して配設され、後
述のように装置本体2から分離可能に構成されている。
即ち、上記可動支持体5の下方には固定枠体9が配設さ
れ、この固定枠体9によって可動支持体5が支承され、
これらの支持体5、9は全体として矩形状の枠体として
形成されている。この固定枠体9の下端周縁には複数の
車輪10が取り付けられ、これらの車輪10によりテス
トヘッドの移動装置8は装置本体2から分離して移動で
きるようにしてある。The movable support 5, the rotary drive mechanism 6, and the elevation drive mechanism 7 are configured as a test head moving device 8 for moving the test head 4 with respect to the probing card 3, and the test head moving device 8 is used. Is used when the test head moving method of the present invention is performed. As shown in FIG. 1, the test head moving device 8 is disposed adjacent to the front left side of the apparatus main body 2 and is configured to be separable from the apparatus main body 2 as described later.
That is, a fixed frame 9 is disposed below the movable support 5, and the movable support 5 is supported by the fixed frame 9.
These supports 5 and 9 are formed as rectangular frames as a whole. A plurality of wheels 10 are attached to the lower peripheral edge of the fixed frame 9, and the test head moving device 8 can be moved separately from the device main body 2 by these wheels 10.
【0018】上記可動支持体5は、例えば図1及び図2
の(a)に示すように、テストヘッド4の収納体4Aに
連結された一対のアーム5Aと、これらのアーム5Aが
取り付けられ且つ装置本体2の側面全長に沿って配設さ
れた中空状の回転軸5Bと、この回転軸5Bを両端部で
回転自在に軸支する一対のピロー型軸受5Cと、こられ
の軸受5Cが上面で固定された枠体5Dとを備えてい
る。そして、上述のように枠体5Cと固定枠体9とは全
体として矩形状の枠体として形成され、図1に示すよう
に装置本体2の側面に納まる大きさに形成されている。
可動支持体5は昇降駆動機構7により固定枠体9の上側
で昇降可能にしてある。また、固定枠体9の下面には固
定用の脚11が取り付けられ、装置本体2に対してテス
トヘッドの移動装置8が位置決めされた時点で固定脚1
1によりテストヘッドの移動装置8を固定するようにし
てある。The movable support 5 is, for example, shown in FIGS.
(A), a pair of arms 5A connected to the housing 4A of the test head 4, and a hollow arm to which these arms 5A are attached and arranged along the entire side surface of the apparatus body 2. It includes a rotating shaft 5B, a pair of pillow-type bearings 5C rotatably supporting the rotating shaft 5B at both ends, and a frame 5D to which these bearings 5C are fixed on the upper surface. As described above, the frame 5C and the fixed frame 9 are formed as rectangular frames as a whole, and are formed to have a size that can be accommodated in the side surface of the apparatus main body 2 as shown in FIG.
The movable support 5 can be raised and lowered above the fixed frame 9 by a lifting drive mechanism 7. A fixing leg 11 is attached to the lower surface of the fixed frame 9.
1, the moving device 8 of the test head is fixed.
【0019】上記可動支持体5の後端部(図2の(a)
では左端部)には回転駆動機構6が配設され、この回転
駆動機構6は可動支持体5と共に後述のように昇降でき
るようになっている。この回転駆動機構6は、例えば図
2の(a)に示すように、前向きに配設されたブレーキ
付きギヤーモータ6Aと、このモータ6Aの回転軸に固
定された歯車6Bと、この歯車6Bと噛合し且つ回転軸
5Bの後端部に固定された歯車6Cとを備えている。こ
の回転駆動機構6はモータ6Aの駆動により歯車6B、
6Cを介して回転軸5Bを回転させ、もってテストヘッ
ド4を回転移動させるようにしてある。この回転駆動機
構6は、例えば、最大重量260Kgのテストヘッド4
を装置本体2に対して平行に対峙した位置、即ち図3の
実線で示すアーム5Aの位置から時計方向へ90°ある
いは180°回転した二点鎖線で示すアーム5Aの位置
まで移動させるようにしてある。そして、この回転駆動
機構6によりテストヘッド4は例えば90°を11秒間
で、180°を22秒間で回転移動できるようになって
いる。勿論、回転駆動機構6による回転範囲及び回転速
度は上述の数値に制限されるものではない。The rear end of the movable support 5 (FIG. 2A)
(A left end) is provided with a rotary drive mechanism 6, which can be moved up and down together with the movable support 5 as described later. As shown in FIG. 2A, for example, the rotary drive mechanism 6 includes a gear motor 6A with a brake disposed forward, a gear 6B fixed to a rotating shaft of the motor 6A, and a mesh with the gear 6B. And a gear 6C fixed to the rear end of the rotating shaft 5B. The rotary drive mechanism 6 drives a gear 6B by driving a motor 6A.
The rotating shaft 5B is rotated via 6C, so that the test head 4 is rotated. The rotation drive mechanism 6 is, for example, a test head 4 having a maximum weight of 260 kg.
3 is moved from the position of the arm 5A indicated by a solid line in FIG. 3 to the position of the arm 5A indicated by a two-dot chain line rotated 90 ° or 180 ° clockwise. is there. The rotation drive mechanism 6 enables the test head 4 to rotate, for example, at 90 ° for 11 seconds and at 180 ° for 22 seconds. Of course, the rotation range and the rotation speed by the rotation drive mechanism 6 are not limited to the above numerical values.
【0020】また、枠体5D上面の後端部には回転軸5
Bの左端上側に位置するテストヘッド4の位置決め用の
エアシリンダ12が配設され、また、回転軸5Bに固定
された歯車6Cにはエアシリンダ12のシリンダロッド
12Aが嵌入する複数例えば3個の孔6Dが周方向90
°間隔で形成されている。従って、シリンダロッド12
Aはエアシリンダ12の駆動により歯車6Cに向けて進
出して歯車6Cの孔6Dに嵌入してテストヘッド4の位
置決めを行なうと共に、歯車6Cから後退して孔6Dか
ら抜け出して歯車6Cを開放してテストヘッド4が回転
できるようにしてある。例えば、テストヘッド4が装置
本体2に対して平行になった時にエアシリンダ12のシ
リンダロッド12Aが歯車6Cの孔6Dに嵌入してテス
トヘッド4を水平状態に位置決めし、テストヘッド4を
装置本体2から回転させて離間させる時にはシリンダロ
ッド12Aが後退するようにしてある。尚、このエアシ
リンダ12は、枠体5Dの後端部に取り付けられた支持
部材13によって水平に支持されている。A rotating shaft 5 is provided at the rear end of the upper surface of the frame 5D.
An air cylinder 12 for positioning the test head 4 located on the upper left end of B is provided, and a plurality of, for example, three, cylinder rods 12A of the air cylinder 12 are fitted into a gear 6C fixed to the rotating shaft 5B. Hole 6D is circumferential 90
° formed at intervals. Therefore, the cylinder rod 12
A moves toward the gear 6C by driving the air cylinder 12 and fits into the hole 6D of the gear 6C to position the test head 4, and retreats from the gear 6C to escape from the hole 6D to open the gear 6C. Thus, the test head 4 can be rotated. For example, when the test head 4 is parallel to the apparatus main body 2, the cylinder rod 12A of the air cylinder 12 is fitted into the hole 6D of the gear 6C to position the test head 4 in a horizontal state, and the test head 4 is moved to the apparatus main body. When the cylinder rod 12A is rotated away from the cylinder rod 12, the cylinder rod 12A is retracted. The air cylinder 12 is horizontally supported by a support member 13 attached to the rear end of the frame 5D.
【0021】また、固定枠9には昇降駆動機構7が配設
されている。この昇降駆動機構7は、例えば、下向きに
配設されたブレーキ付きギヤーモータ7Aと、このモー
タ7Aの回転軸に固定された歯車7Bと、この歯車7B
と噛合する歯車7Cと、この歯車7Cを下端に有するボ
ールネジ7Dと、このボールネジ7Dを回転自在に支持
する軸受7Eと、この軸受7Eの上側でボールネジ7D
と螺合するナット7Fとを備えている。そして、ナット
7Fは円筒状に形成された枠体7Gを介して可動支持体
5の枠体5Dの中間枠の下面にボルト連結され、ボール
ネジ7Dの回転により可動支持体5を昇降させるように
してある。これらのボールネジ7D、ナットF及び枠体
7Gが歯車列7B、7Cの回転運動を上下運動に変換す
る変換機構として構成されている。この昇降駆動機構7
は、例えば、テストヘッド4とプロービングカード3と
が導通した状態からテストヘッド4を800Kgの上昇
推力で且つ5mm/秒の速度で120mmの高さまで上
昇させあるいは下降させることができるようにしてあ
る。勿論、昇降駆動機構7による昇降範囲及び昇降速度
は上述の数値に制限されるものではない。A lifting drive mechanism 7 is provided on the fixed frame 9. The lifting drive mechanism 7 includes, for example, a gear motor 7A with a brake disposed downward, a gear 7B fixed to a rotating shaft of the motor 7A, and a gear 7B
And a ball screw 7D having the lower end of the gear 7C, a bearing 7E rotatably supporting the ball screw 7D, and a ball screw 7D above the bearing 7E.
And a nut 7F to be screwed together. The nut 7F is bolted to the lower surface of the intermediate frame of the frame 5D of the movable support 5 via a cylindrical frame 7G, and the movable support 5 is moved up and down by the rotation of the ball screw 7D. is there. The ball screw 7D, the nut F, and the frame 7G are configured as a conversion mechanism that converts the rotational motion of the gear trains 7B, 7C into a vertical motion. This lifting drive mechanism 7
For example, the test head 4 can be raised or lowered to a height of 120 mm at a rising thrust of 800 kg and a speed of 5 mm / sec from a state where the test head 4 and the probing card 3 are electrically connected. Of course, the lifting range and the lifting speed by the lifting drive mechanism 7 are not limited to the above values.
【0022】また、モータ7A及びボールネジ7Dの前
後(図2の(a)では左右)には図2の(b)及び図3
に示すように一対のガイドレール7Hが上下方向に配設
され、これらのガイドレール7Hには係合部材7Iが係
合している。そして、ガイドレール7Hは固定枠体9の
垂直柱9Aに上下方向に固定され、また、係合部材7I
は可動支持体5の枠体5Dに固定されている。これによ
り、昇降駆動機構7は、モータ7Aの駆動により歯車列
7B、7Cを介してボールネジ7Dに回転運動を伝達す
ると、ボールネジ7Dがナット7Fを介して回転運動を
上下運動に変換して可動支持体5を回転駆動機構6と共
に一体的に固定枠体9の上側において昇降させるように
してある。従って、ガイドレール7H及び係合部材7I
は可動支持体5が水平を維持した状態で昇降する場合の
ガイド機構として構成されている。Also, before and after the motor 7A and the ball screw 7D (right and left in FIG. 2A), FIG.
As shown in the figure, a pair of guide rails 7H are arranged in the vertical direction, and an engaging member 7I is engaged with these guide rails 7H. The guide rail 7H is vertically fixed to the vertical column 9A of the fixed frame 9, and the engagement member 7I
Is fixed to the frame 5D of the movable support 5. Thereby, when the rotation drive mechanism 7 transmits the rotational motion to the ball screw 7D via the gear trains 7B and 7C by the drive of the motor 7A, the ball screw 7D converts the rotational motion into a vertical motion via the nut 7F and is movable. The body 5 is moved up and down integrally with the rotation drive mechanism 6 above the fixed frame 9. Therefore, the guide rail 7H and the engaging member 7I
Is configured as a guide mechanism when the movable support 5 moves up and down while maintaining the horizontal state.
【0023】次に、上記プローブ装置を用いてテストヘ
ッドを移動させる本発明のテストヘッドの移動方法の一
実施態様について説明する。まず、プロービングカード
3とテストヘッド4との導通状態を解除する場合につい
て説明する。導通状態を解除するには、まず昇降駆動機
構7を駆動してテストヘッド4をプローブカード3側か
ら一旦上昇させ、テストヘッド4をプロービングカード
3の上方へ持ち上げる。この場合、昇降駆動機構7のモ
ータ7Aが始動すると、歯車列7B、7Cを介してボー
ルネジ7Dが回転する。これによりボールネジ7Dに螺
合したナット7Fを介して可動支持体5がテストヘッド
46と共に上昇する。そして、テストヘッド4が所定の
高さに達するとモータ7Aが停止する。これらの動作に
おいてテストヘッド4がプロービングカード3側から離
れる際に、テストヘッド4の接続端子はプロービングカ
ード3側のポゴピン(図示せず)から垂直上方へ移動し
て全てのポゴピンから同時に離間するため、テストヘッ
ド4はポゴピンに無理な力を掛けることとなく円滑に離
れることができる。Next, an embodiment of the test head moving method of the present invention in which the test head is moved by using the probe device will be described. First, a case where the conduction state between the probing card 3 and the test head 4 is released will be described. To release the conduction state, first, the elevation drive mechanism 7 is driven to raise the test head 4 once from the probe card 3 side, and lift the test head 4 above the probing card 3. In this case, when the motor 7A of the lifting drive mechanism 7 starts, the ball screw 7D rotates via the gear trains 7B and 7C. As a result, the movable support 5 moves up with the test head 46 via the nut 7F screwed to the ball screw 7D. When the test head 4 reaches a predetermined height, the motor 7A stops. In these operations, when the test head 4 separates from the probing card 3 side, the connection terminals of the test head 4 move vertically upward from the pogo pins (not shown) on the probing card 3 side and simultaneously separate from all the pogo pins. The test head 4 can be separated smoothly without applying excessive force to the pogo pins.
【0024】その後、位置決め用のエアシリンダ12が
駆動し、シリンダロッド12Aが回転駆動機構6の歯車
6Cの孔6Dから抜けて歯車6Cを回転可能な状態にす
る。然る後、回転駆動機構6のモータ6Aが始動する。
これにより歯車列6B、6Cを介して可動支持体5の回
転軸5Bが回転し、更にアーム5Aに連結されたテスト
ヘッド4がプロービングカード3から遠ざかる方向へ回
転移動する。そして、例えばテストヘッド4が90°、
あるいは180°回転した時点で回転駆動機構6が停止
し、テストヘッド4が垂直向きあるいは180°反転し
た状態で停止する。この時にもエアシリンダ12が駆動
してシリンダロッド12Aを歯車6Cの孔6D内へ差し
込む。これによりテストヘッド4が装置本体2の上方か
ら退避するため、プロービングカード3を交換したり、
装置本体2の内部点検を行なう際にヘッドプレート2A
を自由に開放することができる。Thereafter, the positioning air cylinder 12 is driven, and the cylinder rod 12A comes out of the hole 6D of the gear 6C of the rotary drive mechanism 6 to make the gear 6C rotatable. After that, the motor 6A of the rotary drive mechanism 6 starts.
As a result, the rotating shaft 5B of the movable support 5 rotates via the gear trains 6B and 6C, and the test head 4 connected to the arm 5A further rotates in a direction away from the probing card 3. And, for example, when the test head 4 is 90 °,
Alternatively, the rotation drive mechanism 6 stops at the time when the test head 4 is rotated by 180 °, and stops when the test head 4 is vertically or 180 ° inverted. Also at this time, the air cylinder 12 is driven to insert the cylinder rod 12A into the hole 6D of the gear 6C. As a result, the test head 4 is retracted from above the apparatus main body 2, so that the probing card 3 can be replaced,
When inspecting the inside of the apparatus main body 2, the head plate 2A
Can be freely opened.
【0025】次いで、プロービングカードの交換や装置
本体2のメンテナンスの終了後、テストヘッド4をプロ
ービングカード3と導通させる。この場合にはまずエア
シリンダ12が駆動して歯車6Cを解放した後、回転駆
動機構6のモータ6Aが上述の場合とは逆方向へ始動す
る。これにより歯車列6B、6Cを介して可動支持体5
の回転軸5Bが回転し、アーム5Aに連結されたテスト
ヘッド4が反転位置あるいは垂直向きの位置からプロー
ビングカード3へ近づく方向へ回転移動する。そして、
テストヘッド4が180°あるいは90°回転して装置
本体2の上方で平行に対峙した時点で回転駆動機構6が
停止すると共に、エアシリンダ12が駆動してシリンダ
ロッド12Aを回転駆動機構6の歯車7Cの孔6Dへ差
し込み、テストヘッド4を装置本体2に対して平行に対
峙した状態を保持する。Next, after replacement of the probing card or maintenance of the apparatus main body 2 is completed, the test head 4 is electrically connected to the probing card 3. In this case, first, the air cylinder 12 is driven to release the gear 6C, and then the motor 6A of the rotary drive mechanism 6 starts in the opposite direction to the above case. As a result, the movable support 5 can be moved through the gear trains 6B and 6C.
Is rotated, and the test head 4 connected to the arm 5A is rotationally moved from the reversing position or the vertical position toward the probing card 3. And
When the test head 4 rotates by 180 ° or 90 ° and faces in parallel above the apparatus main body 2, the rotation drive mechanism 6 stops, and the air cylinder 12 drives to move the cylinder rod 12 </ b> A to the gear of the rotation drive mechanism 6. The test head 4 is inserted into the hole 6 </ b> D of 7 </ b> C, and the test head 4 is held in a state of facing the apparatus main body 2 in parallel.
【0026】然る後、昇降駆動機構7のモータ7Aが上
述の場合とは逆方向へ駆動し、歯車列7B、7Cを介し
てボールネジ7Dが回転する。これによりボールネジ7
Dに螺合したナット7Fを介してテストヘッド4を支持
した可動支持体5が回転駆動機構6と共に下降する。そ
して、テストヘッド4側の接続端子がプロービングカー
ド3側のポゴピンに圧接してテストヘッド4とプロービ
ングカード3とが導通状態になると、モータ7Aが停止
する。これらの動作においてテストヘッド4がプロービ
ングカード3に向けて接近し、接続端子がポゴピンに圧
接する際に、テストヘッド4側の接続端子はプロービン
グカード3側のポゴピンに向けて垂直下方へ移動するた
め、各接続端子がこれらに対応したポゴピンに対して同
時に圧接するため、ポゴピンに対して斜め方向の無理な
力が掛かる虞がなく、各接続端子を各ポゴピンに対して
円滑に圧接することができる。Thereafter, the motor 7A of the lifting drive mechanism 7 is driven in the opposite direction to that described above, and the ball screw 7D is rotated via the gear trains 7B and 7C. Thereby, the ball screw 7
The movable support 5 that supports the test head 4 via the nut 7F screwed to D moves down together with the rotary drive mechanism 6. Then, when the connection terminal on the test head 4 side is pressed against the pogo pin on the probing card 3 and the test head 4 and the probing card 3 are brought into conduction, the motor 7A stops. In these operations, when the test head 4 approaches the probing card 3 and the connection terminal presses against the pogo pin, the connection terminal on the test head 4 moves vertically downward toward the pogo pin on the probing card 3. Since each connection terminal is pressed against the corresponding pogo pin at the same time, there is no fear that an excessive force in the oblique direction is applied to the pogo pin, and each connection terminal can be pressed against each pogo pin smoothly. .
【0027】以上説明したように本実施例によれば、テ
ストヘッド4をプロービングカード3側へ接続させる時
には、回転駆動機構6を駆動してテストヘッド4を退避
位置から装置本体2から離間した位置まで回転移動さ
せ、テストヘッド4を一旦プロービングカード3に対し
て平行な状態にした後、昇降駆動機構7を駆動してテス
トヘッド4をプロービングカード3と平行を保持した状
態のまま下降させ、テストヘッド4側の全ての接続端子
がプロービングカード3側の全てのポゴピンに同時に圧
接するようにしたため、各ポゴピンに対して斜め方向の
無理な力が作用せず、テストヘッド4の接触動作の際に
不均一な押圧力をかけることによるポゴピンの損傷を防
止することができ、延いてはポゴピンを部分的に取り替
えるなどのメンテナンスを行なう必要がなく、メンテナ
ンス作業を軽減し、もって検査装置の稼動効率を向上さ
せることができる。また、プロービングカード3を交換
したり、装置本体2の内部を点検する場合などには、テ
ストヘッド4を装置本体2から反転させて退避させる必
要がある時には、テストヘッド4を昇降駆動機構7によ
り装置本体2から一旦持ち上げた後、回転駆動機構6に
よりテストヘッド4を反転させるため、テストヘッド4
側の接続端子がポゴピンから同時に離れるため、上述し
た理由からポゴピンの損傷を防止することができる。As described above, according to the present embodiment, when the test head 4 is connected to the probing card 3 side, the rotational drive mechanism 6 is driven to move the test head 4 away from the retracted position from the apparatus main body 2. After the test head 4 is once rotated in parallel with the probing card 3, the elevation drive mechanism 7 is driven to lower the test head 4 while keeping the test head 4 parallel to the probing card 3. Since all the connection terminals on the head 4 side are pressed against all the pogo pins on the probing card 3 at the same time, an excessive force in the oblique direction does not act on each of the pogo pins. Pogo pins can be prevented from being damaged by applying uneven pressing force, and maintainers such as partially replacing pogo pins can be prevented. It is not necessary to scan, reduces maintenance, have been able to improve the operating efficiency of the inspection apparatus. When the probing card 3 is replaced or the inside of the apparatus main body 2 is inspected, if the test head 4 needs to be turned over from the apparatus main body 2 and retracted, the test head 4 is moved by the elevation drive mechanism 7. After being lifted once from the apparatus main body 2, the test head 4 is turned over by the rotation drive mechanism 6.
Since the connection terminal on the side is simultaneously separated from the pogo pin, it is possible to prevent the pogo pin from being damaged for the above-described reason.
【0028】また、本実施例によれば、回転駆動機構6
は、モータ6Aと、このモータ6Aの回転力を伝達する
歯車列6B、6Cを備えているため、テストヘッド4を
任意の角度位置まで等速で回転移動させることができ
る。また、昇降駆動機構7は、モータ7Aと、このモー
タ7Aの回転力を伝達する歯車列7B、7Cと、歯車列
7B、7Cからの回転力を上下運動に変換するボールネ
ジ7D及びナット7Fを備えているため、テストヘッド
4の昇降距離を正確に制御し、任意の位置まで上昇させ
ることができ、もってテストヘッドを回転させて装置本
体から退避させずに内部点検を行なうことができる。Further, according to the present embodiment, the rotary drive mechanism 6
Has a motor 6A and gear trains 6B and 6C for transmitting the rotational force of the motor 6A, so that the test head 4 can be rotationally moved to an arbitrary angular position at a constant speed. Further, the lifting drive mechanism 7 includes a motor 7A, gear trains 7B and 7C for transmitting the rotational force of the motor 7A, ball screws 7D and nuts 7F for converting the rotational force from the gear trains 7B and 7C into a vertical motion. Therefore, the elevation distance of the test head 4 can be accurately controlled, and the test head 4 can be raised to an arbitrary position, so that the internal inspection can be performed without rotating the test head and retreating from the apparatus main body.
【0029】尚、本発明は上記実施例に何等制限される
ものではなく、本発明の要旨に反しない限り本発明に包
含される。即ち、テストヘッドをプロービングカードと
導通させる時には、回転駆動機構によりテストヘッドを
回転移動させてプロービングカードと平行に対向させた
後、昇降駆動機構によりテストヘッドを下降させてテス
トヘッドの接続端子をプロービングカード側に接触さ
せ、逆に、テストヘッドとプロービングカードとの導通
を解除する時には、昇降駆動機構によりテストヘッドを
プローブカード側から一旦上昇させた後、回転駆動機構
によりテストヘッドをプロービングカードから遠ざかる
方向へ回転移動させるようにした、テストヘッドの移動
方法及びテストヘッドの移動装置並びにプローブ装置で
あれば、そのようなテストヘッドの移動方法及びテスト
ヘッドの移動装置並びにプローブ装置は本発明に包含さ
れる。It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and is included in the present invention unless it is contrary to the gist of the present invention. That is, when the test head is brought into conduction with the probing card, the test head is rotated and moved by the rotation drive mechanism so as to face the probing card in parallel, and then the test head is lowered by the elevation drive mechanism to probe the connection terminals of the test head. When the test head is brought into contact with the card side and the conduction between the test head and the probing card is released, the test head is once raised from the probe card side by the lifting drive mechanism, and then the test head is moved away from the probing card by the rotary drive mechanism. In the case of a test head moving method, a test head moving device, and a probe device that are rotated and moved in the directions, such a test head moving method, a test head moving device, and a probe device are included in the present invention. You.
【0030】[0030]
【発明の効果】本発明の請求項1及び請求項2に記載の
発明によれば、テストヘッドをプロービングカードと導
通させる時には、回転駆動機構を用いてテストヘッドを
プローブ装置本体の一側面に沿う回転軸を中心にプロー
ブ装置本体外側からプローブ装置本体上方の位置まで回
転させてプロービングカードと平行に対向させた後、昇
降駆動機構を用いてテストヘッドを下降させてテストヘ
ッド側の接続端子をプロービングカード側の接続端子に
接触させ、また、テストヘッドとプロービングカードと
の導通を解除する時には、昇降駆動機構を用いてテスト
ヘッドをプローブカード側から一旦上昇させた後、回転
駆動機構を用いてテストヘッドを回転軸を中心にプロー
ブ装置本体の上方からプローブ装置本体の外側の反転可
能な位置まで回転させるようにしたため、ポゴピンとプ
ローブカードとの接触あるいは離間する際の力を均一に
付加しあるいは解除でき、プロービングカードとの導通
を図るポゴピンなどの接続端子の損傷を防止し、メンテ
ナンス性を向上でき、もって検査装置の稼動率を向上で
き、また、プローブ装置本体内のメンテナンス時にはテ
ストヘッドを手作業によることなくプローブ装置本体上
からその外側へ安全且つ確実に退避させてメンテナンス
作業を容易に行うことができるテストヘッドの移動方法
及びテストヘッドの移動装置を提供することができる。According to the first and second aspects of the present invention, when the test head is electrically connected to the probing card, the test head is rotated by using the rotary drive mechanism.
Probing around the rotation axis along one side of the probe device body
From the outside of the probe unit to the position above the probe unit.
After turning the test head in parallel with the probing card, the test head is lowered using the lifting / lowering drive mechanism to bring the connection terminal on the test head into contact with the connection terminal on the probing card. when releasing the conduction of, after a test head with a lifting drive mechanism is once raised from the probe card side, probe about an axis of rotation of the test head with a rotary drive mechanism
Reversible outside the probe unit from above the probe unit
Function, so that the force when the pogo pin and the probe card come into contact with or separate from the probe card can be uniformly applied or released, preventing damage to the connection terminals such as the pogo pin that establishes conduction with the probing card, can improve the maintainability, have made improved operating rate of the inspection apparatus, and the maintenance of the probe device body Te
Storing head on probe body without manual operation
For safe and secure evacuation from outside
It is possible to provide a mobile device in a mobile way, and the test head of the test head that can be performed easily work.
【0031】本発明の請求項3に記載の発明によれば、
テストヘッドをプロービングカードと導通させる時に
は、回転駆動機構を用いてテストヘッドをプローブ装置
本体の一側面に沿う回転軸を中心にプローブ装置本体外
側からプローブ装置本体上方の位置まで回転させてプロ
ービングカードと平行に対向させた後、昇降駆動機構を
用いてテストヘッドを下降させてテストヘッド側の接続
端子をプロービングカード側の接続端子に接触させ、ま
た、テストヘッドとプロービングカードとの導通を解除
する時には、昇降駆動機構を用いてテストヘッドをプロ
ーブカード側から一旦上昇させた後、回転駆動機構を用
いてテストヘッドを回転軸を中心にプローブ装置本体の
上方からプローブ装置本体の外側の反転可能な位置まで
回転させるようにしたため、ポゴピンとプローブカード
との接触あるいは離間する際の力を均一に付加しあるい
は解除でき、プロービングカードとの導通を図るポゴピ
ンなどの接続端子の損傷を防止し、メンテナンス性を向
上でき、もって検査装置の稼動率を向上でき、また、プ
ローブ装置本体内のメンテナンス時にはテストヘッドを
手作業によることなくプローブ装置本体上からその外側
へ安全且つ確実に退避させてメンテナンス作業を容易に
行うことができるプローブ装置を提供することができ
る。According to the third aspect of the present invention,
When the test head is connected to the probing card, the test head is connected to the probe device using a rotary drive mechanism.
Outside the probe unit centering on the rotation axis along one side of the main unit
After the side to the position of the probe device body upward by rotating by faces parallel to the probing card, it lowers the test head with the lifting drive mechanism contacting the connection terminals of the test head side connection terminals of the probing card side When the test head and the probing card are disconnected from each other, the test head is first lifted from the probe card side using the lifting drive mechanism, and then the test head is rotated around the rotation axis using the rotation drive mechanism. Of the probe unit
From above to the reversible position outside the probe unit
Rotation enables uniform application or release of force when contacting or separating the pogo pin from the probe card, preventing damage to the connection terminals such as the pogo pin that establishes conduction with the probing card and improving maintainability. And increase the operating rate of the inspection equipment , and
When performing maintenance inside the lobe unit,
Outside from the probe unit body without manual operation
Evacuate safely and reliably to maintenance work easily
It can be to provide a can be Ru probe apparatus for performing.
【0032】また、本発明の請求項4に記載の発明によ
れば、請求項3に記載の発明において、上記回転駆動機
構は、モータと、このモータの回転を伝達する伝達機構
とを備えているため、テストヘッド4を任意の角度位置
まで等速で回転移動させることができ、任意の位置でテ
ストヘッドを停止できるプローブ装置を提供することが
できる。According to a fourth aspect of the present invention, in the third aspect of the invention, the rotation drive mechanism includes a motor and a transmission mechanism for transmitting the rotation of the motor. Therefore, it is possible to provide a probe device that can rotate and move the test head 4 to an arbitrary angular position at a constant speed and stop the test head at an arbitrary position.
【0033】また、本発明の請求項5に記載の発明によ
れば、請求項3または請求項4に記載の発明において、
上記昇降駆動機構は、モータと、このモータの回転を伝
達する伝達機構と、この伝達機構の回転運動を上下運動
に変換する変換機構とを備えているため、テストヘッド
4の昇降距離を正確に制御し、任意の位置まで上昇させ
ることができ、もってテストヘッドを回転させて装置本
体から退避させずに内部点検を行なうことができるプロ
ーブ装置を提供することができる。According to the fifth aspect of the present invention, in the third or fourth aspect,
Since the lifting drive mechanism includes a motor, a transmission mechanism for transmitting the rotation of the motor, and a conversion mechanism for converting the rotational movement of the transmission mechanism into a vertical movement, the vertical movement distance of the test head 4 can be accurately determined. It is possible to provide a probe device which can be controlled and raised to an arbitrary position, thereby performing an internal inspection without rotating the test head and retreating from the device main body.
【図1】本発明のプローブ装置の一実施例を示す斜視図
である。FIG. 1 is a perspective view showing one embodiment of a probe device of the present invention.
【図2】(a)は図1に示すプローブ装置のテストヘッ
ドの移動装置を左側面から見た正面図、(b)は同図
(a)のB−B方向から見た断面図である。2 (a) is a front view of the moving device of the test head of the probe device shown in FIG. 1 as viewed from the left side, and FIG. 2 (b) is a cross-sectional view as viewed from the BB direction of FIG. .
【図3】図2に示すプローブ装置のテストヘッドの移動
装置を後方から見た正面図である。3 is a front view of a test head moving device of the probe device shown in FIG. 2 as viewed from the rear.
【図4】図2に示すプローブ装置のテストヘッドの移動
装置の平面図である。FIG. 4 is a plan view of a test head moving device of the probe device shown in FIG. 2;
【図5】従来のプローブ装置の一例を示す正面図であ
る。FIG. 5 is a front view showing an example of a conventional probe device.
1 プローブ装置 2 装置本体 3 プロービングカード 4 テストヘッド 5 可動支持体(支持体) 6 回転駆動機構 6A モータ 6B 歯車(伝達機構) 6C 歯車(伝達機構) 7 昇降駆動機構 7A モータ 7B 歯車(伝達機構) 7C 歯車(伝達機構) 7D ボールネジ(変換機構) 7F ナット(変換機構) 8 テストヘッドの移動装置 REFERENCE SIGNS LIST 1 probe device 2 device main body 3 probing card 4 test head 5 movable support (support) 6 rotation drive mechanism 6A motor 6B gear (transmission mechanism) 6C gear (transmission mechanism) 7 elevating drive mechanism 7A motor 7B gear (transmission mechanism) 7C Gear (transmission mechanism) 7D Ball screw (conversion mechanism) 7F Nut (conversion mechanism) 8 Test head moving device
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平8−148534(JP,A) 特開 平7−147305(JP,A) 特開 平5−175290(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 21/66 G01R 1/06 G01R 31/26 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (56) References JP-A-8-148534 (JP, A) JP-A-7-147305 (JP, A) JP-A-5-175290 (JP, A) (58) Field (Int.Cl. 7 , DB name) H01L 21/66 G01R 1/06 G01R 31/26
Claims (5)
ングカードとを電気的に導通させあるいは導通を解除す
るために上記テストヘッドを移動させる方法において、
上記テストヘッドを上記プロービングカードと導通させ
る時には、上記プローブ装置本体の一側面に沿う回転軸
を中心に上記テストヘッドを上記プローブ装置本体の外
側から上記プローブ装置本体の上方へ回転させて上記プ
ロービングカードと平行に対向させた後、上記テストヘ
ッドを下降させて上記テストヘッド側の接続端子を上記
プロービングカード側の接続端子に接触させ、また、上
記テストヘッドと上記プロービングカードとの導通を解
除する時には、上記テストヘッドを上記プローブカード
側から上記プローブ装置本体の上方へ一旦上昇させた
後、上記回転軸を中心に上記テストヘッドを上記プロー
ブ装置本体の上方から上記プローブ装置本体の外側へ反
転可能に回転させることを特徴とするテストヘッドの移
動方法。1. A method for moving a test head to electrically connect or disconnect a test head and a probing card of a probe device, the method comprising:
When the test head is brought into conduction with the probing card, a rotating shaft along one side of the probe device body
With the test head out of the probe device body
After rotating from above to the upper side of the probe device main body so as to face the probing card in parallel, the test head is lowered to bring the connection terminal on the test head side into contact with the connection terminal on the probing card side, and When the conduction between the test head and the probing card is released, the test head is connected to the probe card.
From the side to the top of the probe device main body, and then move the test head around the rotation axis to the probe head.
From above the probe device body to the outside of the probe device body.
A test head moving method, characterized in that the test head is rotatably rotated .
ングカードとを電気的に導通させあるいは導通を解除す
るために上記テストヘッドを移動させる装置において、
上記テストヘッドを上記プローブ装置本体の一側面に沿
う回転軸を中心に回転可能に支持する支持体と、この支
持体を介して上記テストヘッド側の接続端子を上記プロ
ービングカード側の接続端子と接触させる方向または離
間する方向へ移動させるために、上記テストヘッドを上
記プローブ装置本体の外側と上記プローブ装置本体の上
方との間で上記回転軸を介して反転可能に正逆回転させ
る回転駆動機構と、この回転駆動機構を介して上記テス
トヘッドを上記プロービングカードの上側において昇降
させる昇降駆動機構とを備えたことを特徴とするテスト
ヘッドの移動装置。2. An apparatus for moving said test head for electrically connecting or disconnecting a test head and a probing card of a probe device, comprising:
Place the test head along one side of the probe
A support that rotatably supports the rotation axis, and a connection terminal on the test head side that moves through the support in a direction to contact or separate from the connection terminal on the probing card side . Above test head
Outside of the probe unit and above the probe unit
And a rotation drive mechanism for reversibly rotating the test head through the rotation shaft , and raising and lowering the test head above the probing card via the rotation drive mechanism. moving device of the test head, characterized in that a lifting drive mechanism for.
気的に導通可能なテストヘッドと、このテストヘッドを
上記プローブ装置本体の一側面に沿う回転軸を中心に回
転可能に支持する支持体と、この支持体を介して上記テ
ストヘッド側の接続端子を上記プロービングカード側の
接続端子と接触させる方向または離間する方向へ移動さ
せるために、上記テストヘッドを上記プローブ装置本体
の外側と上記プローブ装置本体の上方との間で上記回転
軸を介して反転可能に正逆回転させる回転駆動機構と、
この回転駆動機構を介して上記テストヘッドを上記プロ
ービングカードの上側において昇降させる昇降駆動機構
とを備えたことを特徴とするプローブ装置。3. A test head electrically connectable to a probing card of a probe device, and the test head is
A support rotatably supporting a rotation axis along one side surface of the probe device main body, and a connection terminal on the test head side and a connection terminal on the probing card side via the support. Move in the direction of contact or separation
The test head to the probe device main body.
Rotation between the outside of the probe device and above the probe device body
A rotation drive mechanism for reversibly rotating forward and backward through a shaft ,
An elevating drive mechanism that raises and lowers the test head above the probing card via the rotary drive mechanism
Probe apparatus comprising the and.
ータの回転を伝達する伝達機構とを備えたことを特徴と
する請求項3に記載のプローブ装置。4. The probe device according to claim 3, wherein the rotation drive mechanism includes a motor and a transmission mechanism for transmitting rotation of the motor.
ータの回転を伝達する伝達機構と、この伝達機構の回転
運動を上下運動に変換する変換機構とを備えたことを特
徴とする請求項3または請求項4に記載のプローブ装
置。5. The lifting drive mechanism according to claim 1, further comprising a motor, a transmission mechanism for transmitting the rotation of the motor, and a conversion mechanism for converting a rotational motion of the transmission mechanism into a vertical motion. The probe device according to claim 3 or 4.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10904195A JP3326751B2 (en) | 1995-04-10 | 1995-04-10 | Test head moving method and apparatus, and probe apparatus |
US08/628,516 US5912555A (en) | 1995-04-10 | 1996-04-05 | Probe apparatus |
KR1019960010613A KR100263841B1 (en) | 1995-04-10 | 1996-04-09 | Probe apparatus |
TW085104127A TW298616B (en) | 1995-04-10 | 1996-04-09 | Probing apparatus |
US09/275,042 US6262570B1 (en) | 1995-04-10 | 1999-03-24 | Probe apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10904195A JP3326751B2 (en) | 1995-04-10 | 1995-04-10 | Test head moving method and apparatus, and probe apparatus |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08288341A JPH08288341A (en) | 1996-11-01 |
JP3326751B2 true JP3326751B2 (en) | 2002-09-24 |
Family
ID=14500115
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10904195A Expired - Lifetime JP3326751B2 (en) | 1995-04-10 | 1995-04-10 | Test head moving method and apparatus, and probe apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3326751B2 (en) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6000632B2 (en) * | 2012-05-11 | 2016-10-05 | オリンパス株式会社 | Scanning probe microscope and operation method thereof |
JP5967510B1 (en) * | 2015-03-24 | 2016-08-10 | 株式会社東京精密 | Prober |
JP6447553B2 (en) | 2016-03-18 | 2019-01-09 | 株式会社東京精密 | Prober |
-
1995
- 1995-04-10 JP JP10904195A patent/JP3326751B2/en not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH08288341A (en) | 1996-11-01 |
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