JP3319330B2 - Discharge lamp - Google Patents
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、放電容器内にゲッ
ターが配置されてなる放電ランプに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a discharge lamp having a getter disposed in a discharge vessel.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、放電ランプとしては、種々の構成
のものが知られており、最近においては、一部が誘電体
により構成された放電容器内に、適宜の放電用ガスが充
填され、当該放電容器内において誘電体バリア放電（別
名「オゾナイザ放電」あるいは「無声放電」。電気学会
発行改定新版「放電ハンドブック」平成１年６月再版７
刷発行第２６３頁参照。）を発生させることにより、エ
キシマが生成されてエキシマ光が放出される誘電体バリ
ア放電ランプが開発されている。例えば、特開平１−１
４４５６０号公報には、少なくとも一部が誘電体である
石英ガラスにより構成された中空円筒状の放電容器内に
放電用ガスが充填されてなる誘電体バリア放電ランプが
記載されている。2. Description of the Related Art Conventionally, various types of discharge lamps have been known. Recently, a discharge vessel partially constituted by a dielectric has been filled with an appropriate discharge gas. Dielectric barrier discharge (also known as “ozonizer discharge” or “silent discharge” in the discharge vessel. New edition “Discharge Handbook” published by the Institute of Electrical Engineers of Japan, reprinted in June 2001, 7
See page 263 of printing press. ), A dielectric barrier discharge lamp has been developed in which excimer is generated and excimer light is emitted. For example, Japanese Patent Laid-Open No. 1-1
No. 44560 describes a dielectric barrier discharge lamp in which a discharge gas is filled in a hollow cylindrical discharge vessel at least partially made of quartz glass which is a dielectric.
【０００３】このような放電ランプにおいては、放電容
器内に、例えば酸素、水素、一酸化炭素、水などの不純
ガスが存在すると、点灯時間が経過するに従って放射光
の強度が低下しやすくなるため、必要に応じて、これら
の不純ガスを吸着するゲッターが放電容器内に設けられ
ている。このようなゲッターは、これが放電空間内に位
置されると安定した放電特性が得られないため、通常、
電極または電極を保持するためのリード棒に固定された
状態で放電容器内に配置されている。[0003] In such a discharge lamp, if an impure gas such as oxygen, hydrogen, carbon monoxide, or water is present in the discharge vessel, the intensity of emitted light tends to decrease as the operating time elapses. If necessary, getters for absorbing these impurity gases are provided in the discharge vessel. Since such a getter cannot obtain stable discharge characteristics when it is located in a discharge space, it is usually used.
It is arranged in the discharge vessel while being fixed to the electrode or a lead rod for holding the electrode.
【０００４】然るに、電極の各々が放電容器の外部に配
置された誘電体バリア放電ランプにおいては、ゲッター
を電極等に固定することができない。そのため、ゲッタ
ーが放電容器内における放電空間以外の特定の位置に保
持されるよう、放電容器に特殊な加工が施されている。
具体的には、放電容器の一端側において、当該放電容器
の壁部を内方に突出するよう変形させて隔壁を形成する
ことにより、この隔壁と放電容器の端部との間に放電空
間に連通するゲッター収容室を形成する。そして、この
ゲッター収容室内にゲッターが収容される。[0004] However, in a dielectric barrier discharge lamp in which each of the electrodes is arranged outside the discharge vessel, the getter cannot be fixed to the electrode or the like. Therefore, the discharge vessel is specially processed so that the getter is held at a specific position other than the discharge space in the discharge vessel.
Specifically, at one end of the discharge vessel, a wall is formed by deforming the wall of the discharge vessel so as to protrude inward, so that a discharge space is formed between the partition and the end of the discharge vessel. A communicating getter storage chamber is formed. Then, a getter is stored in the getter storage chamber.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな放電ランプにおいては、以下のような問題がある。
例えば放電ランプを運搬することなどによって当該放電
ランプが振動すると、ゲッターが、ゲッター収容室と放
電空間とを連通する連通部を介してゲッター収容室から
放電空間内に移動してしまうことがあるため、放電容器
内における固定位置に、ゲッターを安定に保持すること
が困難である。また、放電容器の壁部を変形させて隔壁
を形成することにより、当該放電容器の壁部における隔
壁が形成された個所に歪みが生じるため、放電ランプの
点灯中に放電容器にクラックなどが生じて長い使用寿命
が得られない。However, such a discharge lamp has the following problems.
For example, if the discharge lamp vibrates due to, for example, carrying the discharge lamp, the getter may move from the getter storage chamber to the discharge space via the communication part that communicates the getter storage chamber with the discharge space. It is difficult to stably hold the getter at a fixed position in the discharge vessel. Further, by forming the partition wall by deforming the wall of the discharge vessel, distortion occurs at the place where the partition wall is formed in the wall section of the discharge vessel, so that a crack or the like occurs in the discharge vessel during the lighting of the discharge lamp. Long service life cannot be obtained.
【０００６】本発明は、以上のような事情に基づいてな
されたものであって、その目的は、放電容器に特殊な加
工を施すことなしに、当該放電容器内における固定位置
に、ゲッターを安定に保持することのできる放電ランプ
を提供することにある。The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to stabilize a getter at a fixed position in a discharge vessel without performing special processing on the discharge vessel. It is an object of the present invention to provide a discharge lamp which can be held at a constant pressure.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明の放電ランプは、
放電容器と、この放電容器内に配置されたゲッターと、
前記放電容器の壁部の外面に固定されたゲッター保持用
部材とを具えてなり、前記ゲッターおよび前記ゲッター
保持用部材の少なくともいずれか一方が磁力を有し、こ
の磁力によって、前記ゲッター保持用部材が固定された
前記放電容器の壁部の内面に、前記ゲッターが固定され
ていることを特徴とする。DISCLOSURE OF THE INVENTION The discharge lamp of the present invention comprises:
A discharge vessel, and a getter disposed in the discharge vessel,
A getter holding member fixed to the outer surface of the wall of the discharge vessel, and at least one of the getter and the getter holding member has a magnetic force, and the getter holding member is The getter is fixed to an inner surface of a wall portion of the discharge vessel to which is fixed.
【０００８】本発明の放電ランプにおいては、ゲッター
保持用部材が磁力を有する材料により構成される場合に
は、ゲッターの少なくとも一部が強磁性を有する材料に
より構成されていることが好ましい。また、ゲッターの
少なくとも一部が磁力を有する材料により構成される場
合には、ゲッター保持用部材が強磁性を有する材料によ
り構成されていることが好ましい。また、本発明の放電
ランプは、誘電体バリア放電によりエキシマが生成され
てエキシマ光が放出される誘電体バリア放電ランプであ
ることが好ましい。In the discharge lamp of the present invention, when the getter holding member is made of a material having magnetic force, it is preferable that at least a part of the getter is made of a material having ferromagnetism. When at least a part of the getter is made of a material having a magnetic force, the getter holding member is preferably made of a material having ferromagnetism. Further, the discharge lamp of the present invention is preferably a dielectric barrier discharge lamp in which excimer is generated by dielectric barrier discharge and excimer light is emitted.
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を誘電
体バリア放電ランプを構成する場合について詳細に説明
する。図１は、本発明に係る誘電体バリア放電ランプの
一例における構成を示す説明用断面図である。この誘電
体バリア放電ランプにおいては、中空円筒状の放電容器
１０が設けられている。具体的に説明すると、放電容器
１０は、誘電体よりなる円筒状の一方の壁部１１と、こ
の一方の壁部１１内にその筒軸に沿って設けられた、当
該一方の壁部１１の内径より小さい外径を有する誘電体
よりなる円筒状の他方の壁部１２とを有し、一方の壁部
１１および他方の壁部１２の各々の両端部分が封止壁部
１３，１４によって接合されており、一方の壁部１１と
他方の壁部１２との間に円筒状の放電空間Ｓが形成され
ている。この放電容器１０内には希ガスまたはハロゲン
ガスなどの放電用ガスが封入されている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail for a case where a dielectric barrier discharge lamp is formed. FIG. 1 is an explanatory sectional view showing a configuration of an example of a dielectric barrier discharge lamp according to the present invention. In this dielectric barrier discharge lamp, a hollow cylindrical discharge vessel 10 is provided. More specifically, the discharge vessel 10 includes a cylindrical one wall portion 11 made of a dielectric material and the one wall portion 11 provided in the one wall portion 11 along the cylinder axis. A cylindrical wall made of a dielectric material having an outer diameter smaller than the inner diameter, and both end portions of the one wall and the other wall are joined by sealing walls and A cylindrical discharge space S is formed between one wall 11 and the other wall 12. A discharge gas such as a rare gas or a halogen gas is sealed in the discharge vessel 10.
【００１０】放電容器１０における一方の壁部１１およ
び他方の壁部１２を構成する誘電体としては、放電空間
Ｓにおいて放出されるエキシマ光に対して透光性を有す
るもの、例えば石英ガラス、サファイア、フッ化マグネ
シウムなどを用いることができる。The dielectric material constituting the one wall portion 11 and the other wall portion 12 of the discharge vessel 10 has a property of transmitting excimer light emitted in the discharge space S, such as quartz glass or sapphire. And magnesium fluoride.
【００１１】放電容器１０における一方の壁部１１に
は、その外面１６に密接して、導電性材料よりなる網状
の一方の電極２１が設けられ、放電容器１０における他
方の壁部１２には、その内周面である外面１７を覆うよ
う例えばアルミニウムよりなる膜状の他方の電極２２が
設けられており、一方の電極２１および他方の電極２２
は、高周波電源（図示省略）に接続されている。One wall 11 of the discharge vessel 10 is provided with one net-like electrode 21 made of a conductive material in close contact with the outer surface 16 thereof, and the other wall 12 of the discharge vessel 10 has The other electrode 22 in the form of a film made of, for example, aluminum is provided so as to cover the outer surface 17 which is the inner peripheral surface, and one electrode 21 and the other electrode 22 are formed.
Are connected to a high-frequency power supply (not shown).
【００１２】放電容器１０の両端部には、セラミックベ
ース３０が設けられている。このセラミックベース３０
は、放電容器１０における一方の壁部１１を取り囲む外
筒部３１と、放電容器１０における他方の壁部１２の筒
孔内に挿入された内筒部３２とを有し、外筒部３１およ
び内筒部３２の外端は、円板状の底部３３に一体に連結
されている。また、セラミックベース３０における外筒
部３１の内端には、筒状の金属ベース３５が例えばボル
ト（図示省略）により固定されている。At both ends of the discharge vessel 10, ceramic bases 30 are provided. This ceramic base 30
Has an outer tubular portion 31 surrounding one wall portion 11 of the discharge vessel 10 and an inner tubular portion 32 inserted into a tubular hole of the other wall portion 12 of the discharge vessel 10. The outer end of the inner cylindrical portion 32 is integrally connected to a disk-shaped bottom portion 33. A cylindrical metal base 35 is fixed to an inner end of the outer cylindrical portion 31 of the ceramic base 30 by, for example, a bolt (not shown).
【００１３】放電容器１０内における一端側（図におい
て左側）には、リング状の基材４１の一面にゲッター物
質４２が担持されてなるゲッター４０が、当該基材４１
の他面が封止壁部１３の内面に接した状態で配置され、
封止壁部１３の外面には、リング状のゲッター保持用部
材４５が、当該封止壁部１３とセラミックベース３０に
おける底部３３との間に挟持されて固定されている。On one end side (left side in the figure) of the discharge vessel 10, a getter 40 in which a getter substance 42 is carried on one surface of a ring-shaped base material 41 is provided.
Is arranged in a state where the other surface thereof is in contact with the inner surface of the sealing wall portion 13,
On the outer surface of the sealing wall 13, a ring-shaped getter holding member 45 is sandwiched and fixed between the sealing wall 13 and the bottom 33 of the ceramic base 30.
【００１４】この例においては、ゲッター４０における
基材４１が強磁性材料により構成され、ゲッター保持用
部材４５が磁力を有する材料により構成されており、ゲ
ッター保持用部材４５の磁力によって、ゲッター４０に
おける基材４１が封止壁部１３の内面に保持されてい
る。In this example, the base material 41 of the getter 40 is made of a ferromagnetic material, and the getter holding member 45 is made of a material having a magnetic force. The base material 41 is held on the inner surface of the sealing wall 13.
【００１５】ゲッター４０における基材４１を構成する
強磁性材料としては、鉄、ニッケル、ケイ素鋼、パーマ
ロイ、商品名で「アルパーム」、「アルフェ」、「セン
ダスト」、「パーミンバー」、「イソパーム」等の鉄系
合金などを用いることができる。ゲッター保持用部材４
５を構成する材料磁力を有する材料としては、例えば４
００℃程度の耐熱性を有する永久磁石を用いることがで
き、その具体例としては、サマリウムコバルト磁石、ア
ルニコ磁石などが挙げられる。また、永久磁石として
は、３００ガウス以上の表面磁束密度を有するものを用
いることが好ましい。The ferromagnetic material constituting the base material 41 of the getter 40 includes iron, nickel, silicon steel, permalloy, trade names such as "Alpalm", "Alfe", "Sendust", "Perminbar", "Isopalm" and the like. Iron-based alloys can be used. Getter holding member 4
Examples of the material having magnetic force that constitute the material 5 include, for example, 4
A permanent magnet having a heat resistance of about 00 ° C. can be used, and specific examples thereof include a samarium-cobalt magnet and an alnico magnet. Further, it is preferable to use a permanent magnet having a surface magnetic flux density of 300 gauss or more.
【００１６】ゲッター物質４２としては、バリウム、バ
リウム合金、アルミニウム−ジルコニウム合金、チタ
ン、タンタル等の金属よりなるもの、アルミナ粉やシリ
カ等の酸化物の多孔質成形体などを用いることができ
る。As the getter material 42, a material made of a metal such as barium, a barium alloy, an aluminum-zirconium alloy, titanium or tantalum, or a porous formed body of an oxide such as alumina powder or silica can be used.
【００１７】上記の誘電体バリア放電ランプにおいて
は、一方の電極２１と他方の電極２２との間に高周波電
圧が印加されると、放電容器１０内の放電空間Ｓにおい
て誘電体バリア放電が発生し、これにより、放電用ガス
を構成する元素によるエキシマが生成され、このエキシ
マから放出されるエキシマ光が、放電容器１０における
一方の壁部１１を介して一方の電極２１の網目から外部
に放出される。In the above-described dielectric barrier discharge lamp, when a high-frequency voltage is applied between one electrode 21 and the other electrode 22, a dielectric barrier discharge occurs in the discharge space S in the discharge vessel 10. Thereby, an excimer is generated by an element constituting the discharge gas, and excimer light emitted from the excimer is emitted to the outside from the mesh of one electrode 21 through one wall 11 of the discharge vessel 10. You.
【００１８】このような誘電体バリア放電ランプによれ
ば、放電容器１０内の不純ガスがゲッター４０に吸着さ
れるため、放射されるエキシマ光の強度が長期間安定に
維持される。そして、ゲッター４０が、ゲッター保持用
部材４５の磁力によって、当該ゲッター保持用部材４５
が固定された放電容器１０の封止壁部１３の内面に固定
されているので、当該ゲッター４０を放電容器１０内に
おける固定位置に安定に保持することができる。従っ
て、誘電体バリア放電ランプの運搬等により当該誘電体
バリア放電ランプが振動しても、ゲッター４０が放電空
間Ｓ内に移動することがないため、安定した放電特性が
得られる。また、ゲッター４０を保持するために放電容
器１０に特殊な加工を施すことが不要となるので、放電
容器１０の製造が容易となり、しかも、特殊な加工によ
って放電容器１０に歪みが生ずることが回避される結
果、ランプの点灯中に放電容器１０にクラックなどが生
じることがなくて長い使用寿命が得られる。According to such a dielectric barrier discharge lamp, since the impure gas in the discharge vessel 10 is adsorbed by the getter 40, the intensity of the emitted excimer light is stably maintained for a long time. Then, the getter 40 is moved by the magnetic force of the getter holding member 45 to the getter holding member 45.
Is fixed to the inner surface of the sealing wall 13 of the discharge vessel 10 to which the getter 40 is fixed, so that the getter 40 can be stably held at a fixed position in the discharge vessel 10. Therefore, even if the dielectric barrier discharge lamp vibrates due to the transport of the dielectric barrier discharge lamp, the getter 40 does not move into the discharge space S, so that stable discharge characteristics can be obtained. In addition, since it is not necessary to perform special processing on the discharge vessel 10 to hold the getter 40, it is easy to manufacture the discharge vessel 10, and further, it is possible to prevent the discharge vessel 10 from being distorted by the special processing. As a result, a long service life can be obtained without cracks or the like occurring in the discharge vessel 10 during the operation of the lamp.
【００１９】図２は、本発明に係る誘電体バリア放電ラ
ンプの一例における構成を示す説明用断面図である。こ
の誘電体バリア放電ランプにおいては、図１に示す誘電
体バリア放電ランプと同様にして、放電容器１０、一方
の電極２１、他方の電極２２、セラミックベース３０お
よび金属ベース３５が設けられている。FIG. 2 is an explanatory sectional view showing the structure of one example of the dielectric barrier discharge lamp according to the present invention. In this dielectric barrier discharge lamp, a discharge vessel 10, one electrode 21, the other electrode 22, a ceramic base 30, and a metal base 35 are provided in the same manner as the dielectric barrier discharge lamp shown in FIG.
【００２０】放電容器１０内における一端側には、リン
グ状の基材４１の内周面にゲッター物質４２が担持され
てなるゲッター４０が、当該基材４１の外周面が一方の
壁部１１の内面に接した状態で配置され、放電容器１０
の一端部における一方の壁部１１の外面１６には、当該
一方の壁部１１の外径に適合する内径を有するリング状
のゲッター保持用部材４５が、当該一方の壁部１１とセ
ラミックベース３０における外筒部３１との間に挟持さ
れて固定されている。At one end of the discharge vessel 10, a getter 40 in which a getter substance 42 is carried on an inner peripheral surface of a ring-shaped substrate 41 is provided. The discharge vessel 10 is disposed in contact with the inner surface.
A ring-shaped getter holding member 45 having an inner diameter matching the outer diameter of the one wall portion 11 is provided on the outer surface 16 of the one wall portion 11 at one end portion of the one wall portion 11 and the ceramic base 30. And is fixed between the outer cylindrical portion 31 and
【００２１】この例においては、ゲッター４０における
基材４１が磁力を有する材料により構成され、ゲッター
保持用部材４５が強磁性材料により構成されており、ゲ
ッター４０における基材４１の磁力によって、当該基材
４１が、ゲッター保持用部材４５が固定された放電容器
１０の一方の壁部１１の内面に保持されている。In this example, the base material 41 of the getter 40 is made of a material having a magnetic force, and the getter holding member 45 is made of a ferromagnetic material. A material 41 is held on the inner surface of one wall 11 of the discharge vessel 10 to which the getter holding member 45 is fixed.
【００２２】このような誘電体バリア放電ランプによれ
ば、ゲッター４０が、当該ゲッター４０における基材４
１の磁力によって、ゲッター保持用部材４５が固定され
た放電容器１０の一方の壁部１１の内面に固定されてい
るので、当該ゲッター４０を放電容器１０内における固
定位置に安定に保持することができる。According to such a dielectric barrier discharge lamp, the getter 40 is formed by the base material 4 of the getter 40.
Since the getter holding member 45 is fixed to the inner surface of the one wall portion 11 of the fixed discharge vessel 10 by the magnetic force of 1, the getter 40 can be stably held at a fixed position in the discharge vessel 10. it can.
【００２３】以上、本発明の実施の形態を説明したが、
本発明は、これらの誘電体バリア放電ランプに限定され
ず、次のような種々の変更を加えることができる。ゲッ
ターにおける基材は必須のものではなく、例えば、
（１）ゲッター保持用部材を磁力を有する材料により構
成する場合には、ゲッターとして、強磁性を有するゲッ
ター物質よりなるもの、ゲッター物質中に強磁性材料が
含有されてなるものを用いることができ、（２）ゲッタ
ー保持用部材を強磁性材料により構成する場合には、ゲ
ッターとして磁力を有するゲッター物質よりなるもの、
ゲッター物質中に磁力を有する材料が含有されてなるも
のを用いることができる。また、ゲッターおよびゲッタ
ー保持用部材の両方が磁力を有するものであってもよ
い。また、本発明は、誘電体バリア放電ランプ以外の種
々の放電ランプに適用することができる。The embodiment of the present invention has been described above.
The present invention is not limited to these dielectric barrier discharge lamps, and various modifications can be made as follows. The substrate in the getter is not essential, for example,
(1) When the getter holding member is made of a material having magnetic force, a getter made of a ferromagnetic getter material or a getter material containing a ferromagnetic material can be used. (2) when the getter holding member is made of a ferromagnetic material, the getter holding member is made of a magnetic getter material;
A material in which a material having magnetic force is contained in the getter substance can be used. Further, both the getter and the getter holding member may have a magnetic force. Further, the present invention can be applied to various discharge lamps other than the dielectric barrier discharge lamp.
【００２４】[0024]
【発明の効果】本発明の放電ランプによれば、ゲッター
およびゲッター保持用部材の少なくともいずれか一方が
磁力を有し、この磁力によって、ゲッター保持用部材が
固定された放電容器の壁部の内面にゲッターが固定され
ているので、当該ゲッターを放電容器内における固定位
置に安定に保持することができる。従って、誘電体バリ
ア放電ランプの運搬等により当該誘電体バリア放電ラン
プが振動しても、ゲッターが放電空間内に移動すること
がないため、安定した放電特性が得られる。また、ゲッ
ターを保持するために放電容器に特殊な加工を施すこと
が不要となるので、放電容器の製造が容易となり、しか
も、特殊な加工によって放電容器に歪みが生ずることが
回避される結果、ランプの点灯中に放電容器にクラック
などが生じることがなくて長い使用寿命が得られる。According to the discharge lamp of the present invention, at least one of the getter and the getter holding member has a magnetic force, and the magnetic force causes the inner surface of the wall of the discharge vessel to which the getter holding member is fixed. Since the getter is fixed to the discharge vessel, the getter can be stably held at a fixed position in the discharge vessel. Therefore, even if the dielectric barrier discharge lamp vibrates due to transportation of the dielectric barrier discharge lamp, the getter does not move into the discharge space, and thus stable discharge characteristics can be obtained. In addition, since it is not necessary to perform special processing on the discharge vessel in order to hold the getter, it is easy to manufacture the discharge vessel, and furthermore, as a result of preventing the discharge vessel from being distorted by the special processing, A long service life can be obtained without cracks or the like occurring in the discharge vessel during operation of the lamp.
【図１】本発明に係る誘電体バリア放電ランプの一例に
おける構成を示す説明用断面図である。FIG. 1 is an explanatory sectional view showing a configuration of an example of a dielectric barrier discharge lamp according to the present invention.
【図２】本発明に係る誘電体バリア放電ランプの他の例
における構成を示す説明用断面図である。FIG. 2 is an explanatory sectional view showing a configuration of another example of the dielectric barrier discharge lamp according to the present invention.
１０ 放電容器 １１ 一方の壁部 １２ 他方の壁部 １３，１４ 封止壁部 １６ 一方の壁部の外面 １７ 他方の壁部の外面（内周面） ２１ 一方の電極 ２２ 他方の電極 ３０ セラミックベース ３１ 外筒部 ３２ 内筒部 ３３ 底部 ３５ 金属ベース ４０ ゲッター ４１ 基材 ４２ ゲッター物質 ４５ ゲッター保持用部材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Discharge container 11 One wall part 12 The other wall part 13, 14 Sealing wall part 16 Outer surface of one wall part 17 Outer surface (inner peripheral surface) of the other wall part 21 One electrode 22 The other electrode 30 Ceramic base 31 outer cylinder part 32 inner cylinder part 33 bottom 35 metal base 40 getter 41 base material 42 getter substance 45 getter holding member
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平８−138629（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−57701（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−338302（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−272693（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−236150（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−241675（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01J 61/26 H01J 61/04 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-8-138629 (JP, A) JP-A-7-57701 (JP, A) JP-A-6-338302 (JP, A) JP-A-7-107 272693 (JP, A) JP-A-3-236150 (JP, A) JP-A-8-241675 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H01J 61/26 H01J 61 / 04
Claims (4)
たゲッターと、前記放電容器の壁部の外面に固定された
ゲッター保持用部材とを具えてなり、 前記ゲッターおよび前記ゲッター保持用部材の少なくと
もいずれか一方が磁力を有し、 この磁力によって、前記ゲッター保持用部材が固定され
た前記放電容器の壁部の内面に、前記ゲッターが固定さ
れていることを特徴とする放電ランプ。1. A discharge vessel, a getter disposed in the discharge vessel, and a getter holding member fixed to an outer surface of a wall of the discharge vessel, wherein the getter and the getter holding member are provided. Wherein at least one of the discharge lamps has a magnetic force, and the magnetic force fixes the getter to an inner surface of a wall of the discharge vessel to which the getter holding member is fixed.
により構成され、ゲッターの少なくとも一部が強磁性を
有する材料により構成されていることを特徴とする請求
項１に記載の放電ランプ。2. The discharge lamp according to claim 1, wherein the getter holding member is made of a material having magnetic force, and at least a part of the getter is made of a material having ferromagnetism.
る材料により構成され、ゲッター保持用部材が強磁性を
有する材料により構成されていることを特徴とする請求
項１に記載の放電ランプ。3. The discharge lamp according to claim 1, wherein at least a part of the getter is made of a material having magnetic force, and the getter holding member is made of a material having ferromagnetism.
されてエキシマ光が放出される誘電体バリア放電ランプ
であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれ
か一に記載の放電ランプ。4. The discharge lamp according to claim 1, wherein the discharge lamp is a dielectric barrier discharge lamp in which excimer is generated by a dielectric barrier discharge and excimer light is emitted.
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