JP3309199B2 - Lead frame supply device - Google Patents
Lead frame supply deviceInfo
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Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、カセットに積載さ
れたリードフレームを順次1枚ずつ供給する装置に関す
るものであり、特に多品種のリードフレームとカセット
に対応することができるものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for sequentially supplying lead frames loaded on a cassette one by one, and more particularly to an apparatus capable of supporting various kinds of lead frames and cassettes.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来のリードフレーム2の供給装置を図
11に示す。2. Description of the Related Art FIG. 11 shows a conventional lead frame 2 supply device.
【0003】多数枚のリードフレーム2をカセット3に
積み重ねて満載する。図11は、向側のカセット3に
は、リードフレーム2が満載され、手前側のカセット3
は空の状態を示す。1個又は複数個のカセット3を治工
具10を介してカセットマガジン4に搭載する。カセッ
ト3に満載された多数枚のリードフレーム2の最上位の
リードフレーム2が供給されると、昇降機構8が治工具
10を介して順次リードフレーム2を1枚ずつ押し上げ
る。1個のカセット3に満載されたリードフレーム2が
全部供給されると、カセットマガジン4は、手前側に移
動し、次に隣のカセット3からリードフレーム2が供給
されることになる。以上の構造でカセット供給部5が構
成される。[0005] A large number of lead frames 2 are stacked on a cassette 3 to be fully loaded. FIG. 11 shows that the cassette 3 on the opposite side is fully loaded with the lead frame 2 and the cassette 3 on the near side is shown.
Indicates an empty state. One or a plurality of cassettes 3 are mounted on a cassette magazine 4 via a jig 10. When the uppermost lead frame 2 of the many lead frames 2 loaded in the cassette 3 is supplied, the lifting mechanism 8 sequentially pushes up the lead frames 2 one by one via the jig 10. When the entire lead frame 2 loaded in one cassette 3 is supplied, the cassette magazine 4 moves to the front side, and then the lead frame 2 is supplied from the next cassette 3. The cassette supply unit 5 is configured with the above structure.
【0004】カセット3に満載された多数枚のリードフ
レーム2を最上位のリードフレーム2から1枚ずつ順次
ピックアップ部6が、治工具10を介して吸着又は把持
して次工程に供給する。[0004] The pickup unit 6 sequentially sucks or holds a large number of lead frames 2 loaded in the cassette 3 one by one from the uppermost lead frame 2 via a jig 10 and supplies the same to the next step.
【0005】1個又は複数個のカセット3からリードフ
レーム2が全部供給されて空となった場合には、作業者
は、リードフレームの供給装置の運転を停止して空のカ
セット3を満載のカセット3に交換しなければならな
い。When the lead frame 2 is completely supplied from one or a plurality of cassettes 3 and becomes empty, the operator stops the operation of the lead frame supply device and fills the empty cassette 3 with a full load. It must be replaced with cassette 3.
【0006】また、他の品種のリードフレームを供給す
る際は、リードフレームのみならずカセットとカセット
マガジンとピックアップ部も交換するか、又は、他の品
種専用の供給装置が、必要とされた。When supplying lead frames of other types, not only the lead frame but also the cassette, the cassette magazine and the pickup section must be exchanged, or a supply device dedicated to other types is required.
【0007】なお、その他の従来の技術は、次の文献に
記載されている。[0007] Other conventional techniques are described in the following document.
【0008】(1)特開平6−84972号公報 空マ
ガジン供給部から供給されたマガジンをエレベーターで
所定位置に上昇させ、そこで複数枚のリードフレームを
収納し、満杯になったマガジンを排出側に移動させるア
ンローダにおいて、上記所定位置でリードフレームを満
杯となったマガジンと空マガジンとを交替させるため、
フレーム収納エレベーターとマガジン供給エレベーター
の2つのエレベーターを設ける。(1) Japanese Patent Laid-Open Publication No. Hei 6-84772 The magazine supplied from the empty magazine supply unit is lifted to a predetermined position by an elevator, where a plurality of lead frames are stored, and the full magazine is discharged to the discharge side. In the unloader to be moved, in order to replace the magazine that is full of the lead frame at the predetermined position with an empty magazine,
There will be two elevators, a frame storage elevator and a magazine supply elevator.
【0009】(2)特開昭64−2940号公報 マガ
ジン供給コンベアに載置されたリードフレームマガジン
を、エレベーターに設けた機構が授受し、順次切り出す
ことにより、リードフレームマガジンの交換時間を短縮
する。(2) Japanese Patent Laid-Open Publication No. Sho 64-2940 A mechanism provided in an elevator exchanges a lead frame magazine placed on a magazine supply conveyor and cuts out the lead frame magazine sequentially, thereby shortening the lead frame magazine replacement time. .
【0010】(3)特開平1−143225号公報 異
なる寸法のリードフレームに対応してエレベーター部と
位置決部とロボット部の調節とハンドに取付けるチャッ
クとを変更することにより、1台の装置で多品種のリー
ドフレームを運搬枠に供給することができる。(3) Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-143225 By adjusting the elevator section, the positioning section, the robot section, and changing the chuck attached to the hand in accordance with lead frames of different dimensions, one apparatus can be used. A variety of lead frames can be supplied to the transport frame.
【0011】(4)特開昭61−46032号公報 フ
ィーダ部とローダ部を、品種を認識して所定の信号を出
力する制御部により制御することにより、多品種のリー
ドフレームを任意に選択して自動的に供給する。(4) Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-46032 By controlling a feeder section and a loader section by a control section which recognizes a type and outputs a predetermined signal, a lead frame of various types can be arbitrarily selected. Supply automatically.
【0012】[0012]
【発明が解決しようとする課題】前記従来のリードフレ
ームの供給装置は、カセット3のカセットマガジン4へ
の搭載個数に制限があり、また、1個又は複数個のカセ
ット3からリードフレーム2が全部供給された場合に
は、作業者は、リードフレームの供給装置の運転を停止
して空のカセット3を満載のカセット3に交換しなけれ
ばならず、作業効率が低下していた。In the conventional lead frame supply apparatus, the number of cassettes 3 to be mounted on the cassette magazine 4 is limited. If supplied, the operator has to stop the operation of the supply device of the lead frame and replace the empty cassette 3 with the cassette 3 which is full, and the work efficiency has been reduced.
【0013】また、リードフレームの生産形態が、多品
種少量生産に移行した場合には、各品種専用のカセット
マガジン4とピックアップ部6の頻繁な部品交換作業が
必要となり、リードフレーム供給装置の稼動率が下が
り、生産性が低下した。Further, when the production form of the lead frame shifts to multi-product small-quantity production, frequent replacement work of the cassette magazine 4 and the pickup unit 6 dedicated to each product is required, and the operation of the lead frame supply device is required. Rates have fallen, and productivity has declined.
【0014】更に、リードフレームの品種が増加する
と、各品種専用の治工具10の保管場所が必要となり、
工場の床面積活用率が低下するという欠点が生じてい
る。Further, as the types of lead frames increase, it becomes necessary to store a jig 10 dedicated to each type.
There is a disadvantage that the floor area utilization rate of the factory is reduced.
【0015】そこで、本発明は、前記従来のリードフレ
ームの供給装置の欠点を改良し、リードフレーム又は半
導体装置とカセットは、品種毎にサイズが異なることが
多いが、多品種への対応を可能とし、また、カセットの
補充(追加)投入と空カセットの回収(排出)を容易に
間断なく行えるように図るものである。Therefore, the present invention improves the drawbacks of the above-mentioned conventional lead frame supply device, and the lead frame or semiconductor device and the cassette often differ in size for each type, but it is possible to cope with many types. The replenishment (addition) of the cassette and the collection (discharge) of the empty cassette can be performed easily and without interruption.
【0016】[0016]
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明によ
れば、多品種のリードフレームを積載して収容したカセ
ットから順次リードフレームを供給するリードフレーム
供給装置において、前記カセットには、その幅方向及び
長さ方向の寸法において多品種のものが含まれ、前記カ
セットを搬送経路上に搭載し所定位置にセットするカセ
ット供給部と、のカセット供給部において前記カセット
が所定位置にセットされた時に、カセットの品種に応じ
て前記カセットの長さ方向を案内するカセット長ガイド
と、記カセットの幅方向を案内するカセット幅ガイドと
を有し、さらに前記カセットの長さ方向及び幅方向の案
内が完了するとカセットに積載された前記リードフレー
ムを所定位置まで上昇させる昇降機構部と、前記リード
フレームの上昇後、リードフレームの品種に応じて前記
リードフレームの長さ方向を案内するリードフレーム長
ガイドと、前記リードフレームの幅方向を案内するリー
ドフレーム長ガイドとを有し、さらに前記リードフレー
ムの長さ方向及び幅方向の案内が完了したリードフレー
ムを最上部から1枚ずつ取り出し搬送機構に移載する移
載部と、備えることを特徴とするリードフレーム供給装
置を得ることができる。According to the first aspect of the present invention, there is provided a lead frame supply apparatus for sequentially supplying lead frames from a cassette in which various types of lead frames are loaded and accommodated, wherein the cassette includes A cassette supply unit for mounting the cassette on a transport path and setting the cassette at a predetermined position is included in the cassette supply unit, and the cassette is set at a predetermined position in the width direction and the length direction. Occasionally, a cassette length guide that guides the length direction of the cassette according to the type of the cassette and a cassette width guide that guides the width direction of the cassette are provided, and further, guides in the length direction and the width direction of the cassette. When the lead frame is lifted to a predetermined position when the lead frame loaded on the cassette is lifted, A lead frame length guide that guides the length direction of the lead frame according to the type of lead frame; and a lead frame length guide that guides the width direction of the lead frame. It is possible to obtain a lead frame supply device comprising: a transfer section that takes out one lead frame at a time from the uppermost part and guides the lead frame to the transport mechanism, for which the guide in the width direction is completed.
【0017】請求項2記載の発明によれば、前記移載部
は、吸着により前記リードフレームを取り出すことを特
徴とする請求項1記載のリードフレーム供給装置を得る
ことができる。According to the second aspect of the present invention, it is possible to obtain the lead frame supply device according to the first aspect, wherein the transfer section takes out the lead frame by suction.
【0018】請求項3記載の発明によれば、前記移載部
は、吸着したリードフレームを反転する機構を備え、反
転後のリードフレームを前記搬送機構に移載することを
特徴とする請求項2記載のリードフレーム供給装置を得
ることができる。According to the third aspect of the present invention, the transfer section includes a mechanism for reversing the sucked lead frame, and transfers the lead frame after reversal to the transport mechanism. 2 can be obtained.
【0019】請求項4記載の発明によれば、前記移載部
は、前記リードフレームの長さ方向に配列された複数の
吸着口から構成され、リードフレーム幅の中心に吸着す
ることを特徴とする請求項2又は3記載のリードフレー
ム供給装置を得ることができる。According to a fourth aspect of the present invention, the transfer section is constituted by a plurality of suction ports arranged in the length direction of the lead frame, and is suctioned at the center of the width of the lead frame. The lead frame supply device according to claim 2 or 3 can be obtained.
【0020】請求項5記載の発明によれば、前記移載部
の反転機構は、前記リードフレームの長さ方向を中心に
反転することを特徴とする請求項3又は4記載のリード
フレーム供給装置を得ることができる。According to a fifth aspect of the present invention, in the lead frame supply device according to the third or fourth aspect, the reversing mechanism of the transfer portion reverses the lead frame around a longitudinal direction of the lead frame. Can be obtained.
【0021】請求項6記載の発明によれば、前記リード
フレーム供給装置は、前記移載部によるリードフレーム
の取り出しにより空になった前記カセットを前記搬送経
路上から排出し排出経路上に回収するカセット回収部を
備えることを特徴とする請求項1〜5記載のリードフレ
ーム供給装置を得ることができる。According to the invention described in claim 6, the lead frame supply device discharges the cassette emptied by the removal of the lead frame by the transfer section from the transport path and recovers the cassette on the discharge path. The lead frame supply device according to any one of claims 1 to 5, further comprising a cassette collection unit.
【0022】[0022]
【発明の実施の形態】以下に、本発明の一実施形態につ
いて図1〜図10を参照して説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.
【0023】複数のリードフレーム2が段積み状に整列
して収納されたカセット3を搭載するテーブル11上
に、カセットの長さ方向を案内するカセット長ガイド1
2が対向して1組設けられている。各ガイドは、1軸ス
テージ13上に配置され、NC(数値制御)モータ14
の動力を移動軸15へ伝達し、制御部16からのデータ
値に基づいて移動動作を行う開閉機構を有している。カ
セット3の幅方向を案内するカセット幅ガイド17は、
昇降機構18の側板に左右2組設置され、各カセット幅
ガイド17は、1軸ステージ20上に配置され、NCモ
ータ21の動力を例えばベルト22によって移動軸23
へ伝達し、制御部16からのデータ値に基づいて移動動
作を行う開閉機構を有している。テーブル11の下面
に、1軸ステージ24と係合した流体シリンダ25を駆
動力として動作する押し板26は、満載のカセット7の
先頭がカセット幅ガイド17に当接するまで押し出す
(前進する)押し出し機構から構成されたカセット供給
部が設けられている。A cassette length guide 1 for guiding the length direction of a cassette on a table 11 on which a plurality of lead frames 2 are housed in a stacked manner and in which a cassette 3 is stored.
2 are provided so as to face each other. Each guide is arranged on a one-axis stage 13 and has an NC (numerical control) motor 14.
Is transmitted to the moving shaft 15 and the opening and closing mechanism performs a moving operation based on the data value from the control unit 16. The cassette width guide 17 for guiding the width direction of the cassette 3 is
Two cassette width guides 17 are provided on the side plate of the elevating mechanism 18, and each cassette width guide 17 is disposed on a one-axis stage 20, and the power of the NC motor 21 is moved by a moving shaft 23 by a belt 22, for example.
And an opening / closing mechanism for performing a moving operation based on the data value from the control unit 16. A push plate 26, which operates on the lower surface of the table 11 by using the fluid cylinder 25 engaged with the one-axis stage 24 as a driving force, pushes (forwards) until the leading end of the full cassette 7 comes into contact with the cassette width guide 17. Is provided.
【0024】カセット供給部は、制御部16からのデー
タで設定位置に移動したカセット長ガイド12、カセッ
ト幅ガイド17の動作完了後、テーブル11上にリード
フレーム2が満載されたカセット7をカセット長ガイド
12で案内して並列に順次搭載し、押し板26がカセッ
ト腹面(図3のM面)を押し、満載のカセット7の先頭
がカセット幅ガイド17に当接するまで押し出し、押し
出し動作の完了後は、流体シリンダ25の推力は無負荷
状態となるように制御構成しているので、押し板26を
容易に手作業で引き出せ、その引き出したスペースに新
たなリードフレーム2の満載のカセット7を搭載し、順
次満載のカセット7の補充もしくは追加投入が可能であ
る。After the operation of the cassette length guide 12 and the cassette width guide 17 moved to the set positions by the data from the control unit 16, the cassette supply unit removes the cassette 7 on which the lead frame 2 is fully loaded on the table 11 from the cassette length. Guided by guides 12 and mounted sequentially in parallel, push plate 26 pushes the cassette abdominal surface (M surface in FIG. 3) and pushes out until the leading end of full cassette 7 abuts on cassette width guide 17, and after completion of the pushing operation Is designed so that the thrust of the fluid cylinder 25 is in a no-load state, so that the push plate 26 can be easily pulled out by hand, and a new cassette 7 full of lead frames 2 is mounted in the drawn-out space. However, it is possible to replenish or add additional cassettes 7 which are sequentially loaded.
【0025】カセット供給部に満載のカセット7が満杯
状態では追加投入は不可能であるが、空になったカセッ
ト9は後述するカセット収納部に順次回収されるので暫
時供給可能となる。When the cassette 7 fully loaded in the cassette supply unit is in a full state, no additional insertion is possible. However, the empty cassettes 9 are sequentially collected in a cassette storage unit to be described later, and can be temporarily supplied.
【0026】カセット3の形状は、上面から見るとコの
字形状に開口している。その開口に干渉しない大きさの
コの字形状のアーム27を固接した昇降スライダ28
は、テーブル11下のカセット最下面位置からNCモー
タ29の動力を例えばベルト30によって移動軸31へ
伝達し、制御部16からのデータ値に基づいて移動動作
を行う。昇降スライダ28の動作で最上面のリードフレ
ーム2は、レベル検出センサ32で停止するように構成
され、後述する反転移載部のリードフレーム受け渡し位
置(移載位置:図1のN位置)まで上昇するように構成
された昇降機構により、昇降中の移載時にリードフレー
ム2も上述満載のカセット7同様に幅方向と長さ方向が
案内されるように構成されている。The shape of the cassette 3 is U-shaped when viewed from above. Elevating slider 28 to which a U-shaped arm 27 of a size not interfering with the opening is fixedly connected.
Transmits the power of the NC motor 29 from the lowermost position of the cassette below the table 11 to the moving shaft 31 by, for example, the belt 30 and performs the moving operation based on the data value from the control unit 16. The lead frame 2 on the uppermost surface is configured to be stopped by the level detection sensor 32 by the operation of the elevating slider 28, and ascends to a lead frame transfer position (transfer position: N position in FIG. 1) of a reversal transfer unit described later. The lead frame 2 is also configured to be guided in the width direction and the length direction by the lifting mechanism configured to perform the transfer during the lifting and lowering, similarly to the above-described cassette 7 which is fully loaded.
【0027】リードフレーム長ガイド33は、リードフ
レーム案内ベース34に対向して2組設けられており、
各ガイドは、1軸ステージ35上に配置され、NCモー
タ36の動力を移動軸38へ伝達し、制御部16からの
データ値に基づいて移動動作を行う開閉機構を有してい
る。Two sets of lead frame length guides 33 are provided facing the lead frame guide base 34.
Each guide is disposed on a one-axis stage 35 and has an opening / closing mechanism for transmitting the power of the NC motor 36 to the moving shaft 38 and performing a moving operation based on a data value from the control unit 16.
【0028】リードフレーム2の幅方向を案内するリー
ドフレーム幅ガイド39は、リードフレーム案内ベース
34に上記リードフレーム長ガイド33と直交位置に配
置されている。A lead frame width guide 39 for guiding the width direction of the lead frame 2 is arranged on the lead frame guide base 34 at a position orthogonal to the lead frame length guide 33.
【0029】リードフレーム幅ガイド39は、2組対向
して設置しており、各リードフレーム幅ガイド39は、
1軸ステージ40上に配置され、NCモータ41の動力
を例えばベルト42によって移動軸43へ伝達し、制御
部16からのデータ値に基づいて移動動作を行う開閉機
構から構成されたセパレータ部が設けられている。セパ
レータ部は、制御部16からのデータで設定位置に移動
したリードフレーム長ガイド33、リードフレーム幅ガ
イド39の動作完了後に、昇降スライダ28が動作し
て、リードフレーム2が各ガイド33,39で案内され
て上昇し最上面のリードフレーム位置(図1のN位置)
で停止し、後述する反転移載部で受け取られると、前述
同様に次の最上面のリードフレーム2が順次上昇し、移
載動作が繰り返される。Two sets of the lead frame width guides 39 are opposed to each other.
A separator unit is provided on the single-axis stage 40 and includes an opening / closing mechanism that transmits the power of the NC motor 41 to the moving shaft 43 by, for example, a belt 42 and performs a moving operation based on a data value from the control unit 16. Have been. After the operation of the lead frame length guide 33 and the lead frame width guide 39 moved to the set position by the data from the control unit 16 is completed, the lifting slider 28 is operated, and the lead frame 2 is moved by the guides 33 and 39. Guided and ascended to the topmost lead frame position (N position in FIG. 1)
, And when it is received by a reversing transfer section, which will be described later, the next uppermost lead frame 2 is sequentially raised as described above, and the transfer operation is repeated.
【0030】前述セパレータ部で所定の高さ位置に切り
出されたリードフレーム2は、複数の吸着口37(例え
ば吸着パッド)を備えた吸着バー44により吸着して引
き上げられる。吸着バー44の吸着口37は、リードフ
レーム2の半導体装置1の搭載ピッチ(アイランドピッ
チと呼ばれる)の品種データによって制御部16で使用
する吸着口37が選択される。吸着バー44は、リード
フレーム2の半導体装置1の品種対応で特に厚さ方向に
係ることで、昇降するZステージ45に係合して設置さ
れ、NCモータ46の動力を例えばベルト47によって
移動軸48へ伝達し、制御部16からのデータ値に基づ
いて移動動作を行う。The lead frame 2 cut out to a predetermined height position in the separator section is sucked and pulled up by a suction bar 44 having a plurality of suction ports 37 (for example, suction pads). The suction port 37 used in the control unit 16 is selected as the suction port 37 of the suction bar 44 according to the type data of the mounting pitch (called an island pitch) of the semiconductor device 1 of the lead frame 2. The suction bar 44 is installed in engagement with a Z stage 45 that moves up and down, and is mounted on a moving shaft by, for example, a belt 47 so as to be associated with the type of the semiconductor device 1 of the lead frame 2 and in the thickness direction. 48 to perform a moving operation based on the data value from the control unit 16.
【0031】また、リードフレーム2を反転(表裏を逆
に替える。)させて搬送面(図3のO位置)に移載する
回転用流体シリンダ49を動力とした反転機構で構成さ
れた反転移載部が構成されている。反転移載部は、所定
高さ位置(図1のN位置)に切り出されたリードフレー
ム位置に、複数の吸着口37を備えた吸着バー44が下
降して、制御部16のデータで設定された吸着口37が
吸着し、予め設定された高さに上昇リードフレーム2を
反転させる。反転後は搬送面(図3のO位置)までさら
に上昇し、後述する搬送部で受け取られる。受け取り完
了で吸着が解除され、反転機構を有した吸着バー44は
復帰して、前述同様に次のリードフレーム2を受け取る
動作を順次行う。Further, the reversing mechanism constituted by a reversing mechanism using the rotating fluid cylinder 49 as a power for reversing the lead frame 2 (reversing the front and back sides) and transferring the lead frame 2 to the conveying surface (the O position in FIG. 3). A mounting portion is configured. The reverse transfer unit is set by the data of the control unit 16 by lowering the suction bar 44 having the plurality of suction ports 37 at the lead frame position cut out to a predetermined height position (the N position in FIG. 1). The suction port 37 sucks, and the lead frame 2 is turned upside down to a preset height. After the reversal, the sheet further rises to the transport surface (the O position in FIG. 3) and is received by the transport unit described later. At the completion of the reception, the suction is released, the suction bar 44 having the reversing mechanism returns, and the operation of receiving the next lead frame 2 is sequentially performed as described above.
【0032】前述した反転移載部で移載されたリードフ
レーム2は、上部ローラ51を有する一対のローラプレ
ート52と、下部ローラ50を有する一対の揺動アーム
53とから構成される把持機構により抱え込まれ、所定
の搬送面(図3のO位置)に配置される。一対の揺動ア
ーム53は、流体シリンダ54の動力で動作される。前
述把持機構は、一対の1軸ステージ55上に配置され、
リードフレーム2の幅方向を設定するNCモータ56の
動力を例えばベルト57によって移動軸73へ伝達し、
制御部16からのデータ値に基づいて移動動作を行わ
れ、搬送時に下部ローラ50が上部ローラ51側に圧接
するように構成され、リードフレーム2を上部ローラ5
1と下部ローラ50の間で挾持する。NCモータ58の
動力を例えばベルト59によって上部ローラ51に伝達
し、制御部16からのデータ値に基づいて次工程の装置
仕様に準じた、搬送速度もしくは任意の搬送位置に搬送
(または停止)する搬送機構が構成される。制御部16
からのデータで設定位置に移動したリードフレーム幅方
向を案内するローラプレート52と揺動アーム53の動
作完了後に揺動アーム53が開口された状態で、リード
フレーム2を所定の搬送面(図3のO位置)に、前述し
た反転移載部で移載し、揺動アーム53が閉じる、いわ
ゆる、リードフレーム2が抱え込まれたような状態とな
り、搬送面に移載が完了する。移載完了後は、下部ロー
ラ50が制御部16からのデータ値に基づいて次工程の
装置仕様に準じ搬送する。The lead frame 2 transferred by the above-mentioned reversing transfer section is gripped by a pair of roller plates 52 having upper rollers 51 and a pair of swing arms 53 having lower rollers 50. It is held and placed on a predetermined transport surface (O position in FIG. 3). The pair of swing arms 53 are operated by the power of the fluid cylinder 54. The gripping mechanism is disposed on a pair of uniaxial stages 55,
The power of the NC motor 56 for setting the width direction of the lead frame 2 is transmitted to the moving shaft 73 by, for example, the belt 57,
The moving operation is performed based on the data value from the control unit 16 so that the lower roller 50 is pressed against the upper roller 51 at the time of conveyance, and the lead frame 2 is connected to the upper roller 5.
1 and the lower roller 50. The power of the NC motor 58 is transmitted to the upper roller 51 by, for example, a belt 59, and is conveyed (or stopped) to a conveyance speed or an arbitrary conveyance position based on the data value from the control unit 16 in accordance with the device specification of the next process. A transport mechanism is configured. Control unit 16
When the swing arm 53 is opened after the operation of the swing arm 53 and the roller plate 52 that guides the lead frame in the width direction of the lead frame moved to the set position based on the data from the lead frame 2, the lead frame 2 is moved to a predetermined transport surface (FIG. (O position), the above-described reversing transfer section transfers the swing arm 53 to close, that is, a state in which the lead frame 2 is held, and the transfer to the transport surface is completed. After the transfer is completed, the lower roller 50 conveys according to the device specification of the next process based on the data value from the control unit 16.
【0033】次工程に搬送する前述搬送部の搬送口(出
口)では、リードフレーム2が正規の姿勢で供給された
ことを認識判定するカメラ60を有した姿勢判定部が設
置されている。次工程に搬送する搬送部の所定位置にリ
ードフレーム2を一時停止させ、各品種のリードフレー
ム2の形状を認識装置61に登録し、搬送口の上部に設
置したカメラ60で検出して、制御部16からデータに
基づいて認識装置61が姿勢を判定し、次工程への判断
を行うように構成している。At the transfer port (exit) of the transfer section for transferring to the next step, there is provided a posture determination section having a camera 60 for recognizing that the lead frame 2 has been supplied in a normal posture. The lead frame 2 is temporarily stopped at a predetermined position of the transport unit for transporting to the next process, the shape of the lead frame 2 of each type is registered in the recognition device 61, and detected by the camera 60 installed above the transport port, and controlled. The recognition device 61 is configured to determine the posture based on the data from the unit 16 and determine the next process.
【0034】前述セパレータ部で移載が全て完了して空
になったカセット9は、流体シリンダ62を動力とする
スライダ63に固接された空カセット押し板64で押し
出され、複数収納可能で、且つ、所定間隔で仕切られた
回収ラック65に収納される。The cassette 9 which has been completely emptied after the transfer in the separator section is pushed out by an empty cassette push plate 64 fixedly connected to a slider 63 driven by a fluid cylinder 62, and a plurality of cassettes 9 can be stored. And it is stored in the collection rack 65 partitioned at a predetermined interval.
【0035】回収ラック65は、ラックテーブル66に
設置され、ラックテーブル66は、1軸ステージ67上
に搭載されNCモータ68の動力を例えばベルト69に
よって移動軸70へ伝達し制御部16からのデータ値に
基づいて移動動作を行う移動機構を有している。The collection rack 65 is installed on a rack table 66. The rack table 66 is mounted on a one-axis stage 67 and transmits the power of an NC motor 68 to a moving shaft 70 by, for example, a belt 69, and transmits data from the control unit 16. It has a moving mechanism that performs a moving operation based on the value.
【0036】空のカセット9の満杯時に手作業で回収ラ
ック65を引き出せるスライダ機構を有したカセット回
収部が構成されている。空になったカセット9を、空カ
セット押し板64で空カセット9が収納されていない空
きポジションをセンサ71でサーチし、回収ラック65
に押し込み収納する。収納後は次の空きポジションをセ
ンサ71でサーチし収納位置まで移動する。押し込み完
了後の押し板64は復帰し、前述カセット供給部により
新たなリードフレーム2が満載したカセット7が順次供
給される。A cassette recovery section having a slider mechanism for manually pulling out the recovery rack 65 when the empty cassette 9 is full is constructed. The empty cassette 9 is searched by the sensor 71 for an empty position where the empty cassette 9 is not stored by the empty cassette push plate 64 using the empty cassette push plate 64.
And store it. After storing, the next empty position is searched by the sensor 71 and moved to the storing position. After the completion of the pushing, the push plate 64 returns, and the cassette 7 in which the new lead frame 2 is fully loaded is sequentially supplied by the cassette supply unit.
【0037】回収ラック65内に空カセット9が満杯と
なった回収ラック65は、排出側(図2のP方向)にラ
ックテーブル66が移動する。移動完了後は、ラックテ
ーブル66と緊密に締結したロック機構72が回収ラッ
ク65から解除され、手作業で回収ラック65を引き出
し空カセット9を取り出し排出する。排出後は、回収ラ
ック65を押し戻すと、再度、ラックテーブル66がロ
ックされ、前述動作が繰り返される。When the empty cassette 9 is full in the collection rack 65, the rack table 66 moves to the discharge side (P direction in FIG. 2). After the movement is completed, the lock mechanism 72 tightly fastened to the rack table 66 is released from the collection rack 65, and the collection rack 65 is manually pulled out, and the empty cassette 9 is taken out and discharged. After the discharge, when the collection rack 65 is pushed back, the rack table 66 is locked again, and the above-described operation is repeated.
【0038】上述したように、カセット3やリードフレ
ーム2の幅、長さ、リードフレーム内の半導体装置1の
データ等は、予め登録された品種データに基づいて各部
の機構部を自動的に位置設定し、あらゆるカセット3と
リードフレーム2の移載や空のカセット9の回収が行
え、次工程からの搬入許可信号によって間断無くリード
フレーム2を枚葉で供給する多品種に対応した汎用性を
提供するものである。As described above, the width and length of the cassette 3 and the lead frame 2, the data of the semiconductor device 1 in the lead frame, and the like are automatically determined based on the type data registered in advance. By setting, all cassettes 3 and lead frames 2 can be transferred and empty cassettes 9 can be collected, and versatility corresponding to multiple types of single-sheet supply of lead frames 2 without interruption by a carry-in permission signal from the next process. To provide.
【0039】[0039]
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、次の効果を奏することができる。As is apparent from the above description, the present invention has the following advantages.
【0040】(1)リードフレーム又は半導体装置とカ
セットは、品種毎にサイズが異なることが多いが、多品
種への対応が可能であるため、便利である。(1) The size of the lead frame or the semiconductor device and the cassette often differs depending on the type, but it is convenient because it can handle many types.
【0041】(2)カセットの補充(追加)投入と空カ
セットの回収(排出)を容易に間断なく行うことが可能
となり、作業効率が向上する。(2) Replenishment (addition) of cassettes and collection (discharge) of empty cassettes can be easily performed without interruption, thereby improving work efficiency.
【0042】(3)カメラ撮影による認識装置を設置し
て、次工程への搬送前にリードフレームの供給姿勢を判
定し、品質の向上に役立つ。(3) A recognition device for photographing with a camera is installed to determine the supply attitude of the lead frame before transporting to the next process, which is useful for improving the quality.
【0043】(4)従来必要としていた異なる品種の部
品保管が無用となるため、工場の床面積活用効率が向上
する。(4) Since the storage of different types of parts, which has been required conventionally, becomes unnecessary, the floor area utilization efficiency of the factory is improved.
【図1】本発明の一実施形態の正面図である。FIG. 1 is a front view of an embodiment of the present invention.
【図2】本発明の一実施形態の平面図である。FIG. 2 is a plan view of one embodiment of the present invention.
【図3】本発明の一実施形態の側面図である。FIG. 3 is a side view of one embodiment of the present invention.
【図4】本発明の一実施形態における搬送部のリードフ
レーム把持機構の拡大側面図である。FIG. 4 is an enlarged side view of a lead frame gripping mechanism of a transport unit in one embodiment of the present invention.
【図5】本発明に適用される各品種のリードフレームの
平面図であり、順次(a)、(b)、(c)、(d)に
示す。FIG. 5 is a plan view of a lead frame of each type applied to the present invention, which is shown in (a), (b), (c), and (d) in order.
【図6】本発明に適用されるリードフレーム内の半導体
装置の正面図である。FIG. 6 is a front view of a semiconductor device in a lead frame applied to the present invention.
【図7】本発明に適用されるカセットの平面図である。FIG. 7 is a plan view of a cassette applied to the present invention.
【図8】本発明に適用されるカセットの正面図である。FIG. 8 is a front view of a cassette applied to the present invention.
【図9】本発明に適用されるカセットの側面図である。FIG. 9 is a side view of a cassette applied to the present invention.
【図10】本発明に適用されるカセットの斜視図であ
る。FIG. 10 is a perspective view of a cassette applied to the present invention.
【図11】従来のリードフレームの供給装置の斜視図で
ある。FIG. 11 is a perspective view of a conventional lead frame supply device.
1 半導体装置 2 リードフレーム 3 カセット 4 カセットマガジン 5 カセット供給部 6 ピックアップ部 7 カセット 8 昇降機構 9 カセット 10 治工具 11 テーブル 12 カセット長ガイド 13 1軸ステージ 14 NCモータ 15 移動軸 16 制御部 17 カセット幅ガイド 18 昇降機構 19 側板 20 1軸ステージ 21 NCモータ 22 ベルト 23 移動軸 24 1軸ステージ 25 流体シリンダ 26 押し板 27 アーム 28 昇降スライダ 29 NCモータ 30 ベルト 31 移動軸 32 レベル検出センサ 33 リードフレーム長ガイド 34 リードフレーム案内ベース 35 1軸ステージ 36 NCモータ 37 吸着口 38 移動軸 39 リードフレーム幅ガイド 40 1軸ステージ 41 NCモータ 42 ベルト 43 移動軸 44 吸着バー 45 Zステージ 46 NCモータ 47 ベルト 48 移動軸 49 回転用流体シリンダ 50 下部ローラ 51 上部ローラ 52 ローラプレート 53 揺動アーム 54 流体シリンダ 55 1軸ステージ 56 NCモータ 57 ベルト 58 NCモータ 59 ベルト 60 カメラ 61 認識装置 62 流体シリンダ 63 スライダ 64 空カセット押し板 65 回収ラック 66 ラックテーブル 67 1軸ステージ 68 NCモータ 69 ベルト 70 移動軸 71 センサ 72 ロック機構 73 移動軸 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Semiconductor device 2 Lead frame 3 Cassette 4 Cassette magazine 5 Cassette supply part 6 Pickup part 7 Cassette 8 Elevating mechanism 9 Cassette 10 Jig tool 11 Table 12 Cassette length guide 13 Single axis stage 14 NC motor 15 Moving axis 16 Control part 17 Cassette width Guide 18 Lifting mechanism 19 Side plate 20 1-axis stage 21 NC motor 22 Belt 23 Moving axis 24 1-axis stage 25 Fluid cylinder 26 Push plate 27 Arm 28 Elevating slider 29 NC motor 30 Belt 31 Moving axis 32 Level detection sensor 33 Lead frame length guide 34 Lead frame guide base 35 1 axis stage 36 NC motor 37 Suction port 38 Moving axis 39 Lead frame width guide 40 1 axis stage 41 NC motor 42 Belt 43 Moving axis 44 Suction Bar 45 Z stage 46 NC motor 47 Belt 48 Moving shaft 49 Rotating fluid cylinder 50 Lower roller 51 Upper roller 52 Roller plate 53 Swing arm 54 Fluid cylinder 55 Uniaxial stage 56 NC motor 57 Belt 58 NC motor 59 Belt 60 Camera 61 Recognition device 62 Fluid cylinder 63 Slider 64 Empty cassette push plate 65 Collection rack 66 Rack table 67 Single axis stage 68 NC motor 69 Belt 70 Moving axis 71 Sensor 72 Lock mechanism 73 Moving axis
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平5−291311(JP,A) 特開 昭61−150920(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 21/50 Continuation of the front page (56) References JP-A-5-291311 (JP, A) JP-A-61-150920 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H01L 21 / 50
Claims (6)
したカセットから順次リードフレームを供給するリード
フレーム供給装置において、 前記カセットには、その幅方向及び長さ方向の寸法にお
いて多品種のものが含まれ、 前記カセットを搬送経路上に搭載し所定位置にセットす
るカセット供給部と、このカセット供給部において前記
カセットが所定位置にセットされた時に、カセットの品
種に応じて前記カセットの長さ方向を案内するカセット
長ガイドと、 前記カセットの幅方向を案内するカセット幅ガイドとを
有し、 さらに前記カセットの長さ方向及び幅方向の案内が完了
するとカセットに積載された前記リードフレームを所定
位置まで上昇させる昇降機構部と、 前記リードフレームの上昇後、リードフレームの品種に
応じて前記リードフレームの長さ方向を案内するリード
フレーム長ガイドと、前記リードフレームの幅方向を案
内するリードフレーム長ガイドとを有し、 さらに前記リードフレームの長さ方向及び幅方向の案内
が完了したリードフレームを最上部から1枚ずつ取り出
し搬送機構に移載する移載部と、 を備えることを特徴とするリードフレーム供給装置。 1. A variety of lead frames are loaded and accommodated.
To supply lead frames sequentially from the cassette
In the frame supply device, the cassette has a dimension in a width direction and a length direction.
The cassette is mounted on a transport path and set at a predetermined position.
Cassette supply section, and the cassette supply section
When the cassette is set in place, the cassette
Cassette for guiding the length direction of the cassette according to the species
A long guide and a cassette width guide for guiding the cassette in the width direction.
And the guide in the length and width directions of the cassette is completed.
Then, the lead frame loaded on the cassette is
The lifting mechanism that raises the lead frame, and after the lead frame is lifted,
Lead to guide the length direction of the lead frame accordingly
Consider the frame length guide and the width direction of the lead frame.
And a guide in the length direction and width direction of the lead frame.
Take out the completed lead frames one by one from the top
And a transfer unit for transferring the data to a transfer mechanism .
レームを取り出すことを特徴とする請求項1記載のリー
ドフレーム供給装置。 2. The method according to claim 1, wherein the transfer section is configured to hold the lead
The reel according to claim 1, wherein the frame is taken out.
Frame feeding device.
を反転する機構を備え、反転後のリードフレームを前記
搬送機構に移載することを特徴とする請求項2記載のリ
ードフレーム供給装置。 3. The lead frame according to claim 1, wherein
A mechanism for reversing the lead frame after reversal.
3. The reloading device according to claim 2, wherein the transfer is performed on a transport mechanism.
Card frame supply device.
さ方向に配列された複数の吸着口から構成され、リード
フレーム幅の中心に吸着することを特徴とする請求項2
又は3記載のリードフレーム供給装置。 4. The transfer section has a length of the lead frame.
Composed of a plurality of suction ports arranged in
3. The apparatus according to claim 2, wherein the suction is performed at the center of the frame width.
Or the lead frame supply device according to 3.
レームの長さ方向を中心に反転することを特徴とする請
求項3又は4記載のリードフレーム供給装置。 5. The reversing mechanism of the transfer section, wherein the lead
A contractor characterized by reversing around the length direction of the frame.
The lead frame supply device according to claim 3 or 4.
載部によるリード フレームの取り出しにより空になった
前記カセットを前記搬送経路上から排出し排出経路上に
回収するカセット回収部を備えることを特徴とする請求
項1〜5記載のリードフレーム供給装置。 6. The lead frame supply device according to claim 1 , wherein
Empty due to removal of lead frame by mounting part
Discharge the cassette from the transport path and place it on the discharge path
Claims characterized by comprising a cassette collecting section for collecting
Item 6. The lead frame supply device according to any one of Items 1 to 5.
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP01859796A JP3309199B2 (en) | 1996-02-05 | 1996-02-05 | Lead frame supply device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP01859796A JP3309199B2 (en) | 1996-02-05 | 1996-02-05 | Lead frame supply device |
Publications (2)
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JPH09213718A JPH09213718A (en) | 1997-08-15 |
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ID=11976060
Family Applications (1)
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JP01859796A Expired - Fee Related JP3309199B2 (en) | 1996-02-05 | 1996-02-05 | Lead frame supply device |
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---|---|---|---|---|
CN102923516B (en) * | 2012-08-09 | 2015-02-25 | 浙江捷华电子有限公司 | Fixed length conveying device for integrated chip lead frame |
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1996
- 1996-02-05 JP JP01859796A patent/JP3309199B2/en not_active Expired - Fee Related
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