JP3293207B2 - Method for treating volatile organic halogen compound-containing gas - Google Patents
Method for treating volatile organic halogen compound-containing gasInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は揮発性有機ハロゲン化合
物含有ガスの処理方法の改良に関するものである。さら
に詳しくいえば、本発明は、揮発性有機ハロゲン化合物
を気相還元分解処理する際に、処理対象ガス中の水分の
影響を抑制して、該化合物の気相分解処理を効率よく行
う方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improvement in a method for treating a gas containing a volatile organic halogen compound. More specifically, the present invention relates to a method for efficiently performing a gas phase decomposition treatment of a volatile organic halogen compound by suppressing the influence of moisture in a gas to be treated when performing a gas phase reduction decomposition treatment of a volatile organic halogen compound. Things.
【0002】[0002]
【従来の技術】揮発性有機ハロゲン化合物は地下水、土
壌、大気などの環境汚染物質の一つであって、該化合物
を除去処理することが必要であり、これまで揮発性有機
ハロゲン化合物を含む用水や排水、地下水、あるいは土
壌抽気ガスや排ガスの処理方法が種々検討されてきた。
この処理方法としては、例えば(1)揮散(曝気)処
理、(2)吸着処理、(3)酸化分解処理、(4)生物
処理、(5)熱分解処理などが知られている。しかしな
がら、これらの方法はいずれもなんらかの問題を有し、
必ずしも満足しうるものではない。例えば、(1)の方
法は地下水や土壌中に混入されている揮発性有機ハロゲ
ン化合物を単に大気中に移行させるだけである。また、
(2)の方法は、揮発性有機ハロゲン化合物を吸着・回
収する方法であって、前記(1)の方法と組み合わせて
利用されることが多いが、この場合、吸着剤の再生が必
要であり、再生時には高濃度の該化合物を含む再生排液
や排ガスが排出される。これらの方法は、汚染物質がそ
のまま残留するため、環境問題の根本的な解決策とはな
りえず、該化合物を無害化できる分解処理技術が必要で
ある。揮発性有機ハロゲン化合物を分解処理する方法と
しては前記(3)〜(5)の方法が検討されている。し
かしながら、(3)の方法は紫外線、オゾン、過酸化水
素などを利用する方法であるが、紫外線照射やオゾンの
発生、あるいは加熱などに要するエネルギーが大きく、
コスト高になるのを免れない。また、(4)や(5)の
処理方法も報告されているが、実施例はあまり多くな
い。このように、揮発性有機ハロゲン化合物を効率よく
無害化処理できる実用的な方法は、まだ見い出されてい
ないのが実状である。2. Description of the Related Art Volatile organic halogen compounds are one of environmental pollutants such as groundwater, soil and air, and it is necessary to remove the compounds. Various methods of treating wastewater, wastewater, groundwater, or soil bleed gas or exhaust gas have been studied.
As this treatment method, for example, (1) volatilization (aeration) treatment, (2) adsorption treatment, (3) oxidative decomposition treatment, (4) biological treatment, and (5) thermal decomposition treatment are known. However, each of these methods has some problems,
It is not always satisfactory. For example, the method (1) simply transfers volatile organic halogen compounds mixed in groundwater or soil to the atmosphere. Also,
The method (2) is a method for adsorbing and recovering a volatile organic halogen compound, and is often used in combination with the method (1). In this case, it is necessary to regenerate the adsorbent. During regeneration, regenerated effluent and exhaust gas containing a high concentration of the compound are discharged. Since these pollutants remain as they are, they cannot be a fundamental solution to environmental problems, and require a decomposition treatment technique capable of rendering the compounds harmless. As a method of decomposing a volatile organic halogen compound, the above-mentioned methods (3) to (5) have been studied. However, the method (3) is a method utilizing ultraviolet rays, ozone, hydrogen peroxide, etc., but requires a large amount of energy for ultraviolet irradiation, generation of ozone, heating, and the like.
It is inevitable that costs will increase. Although the processing methods (4) and (5) have been reported, there are not many examples. As described above, a practical method for efficiently detoxifying volatile organic halogen compounds has not been found yet.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
事情のもとで、揮発性有機ハロゲン化合物含有ガス中の
該化合物を効率よく分解処理して無害化することがで
き、かつ長時間にわたって安定な処理運転が可能な揮発
性有機ハロゲン化合物含有ガスの処理方法を提供するこ
とを目的としてなされたものである。SUMMARY OF THE INVENTION Under such circumstances, the present invention can efficiently decompose a compound contained in a volatile organic halogen compound-containing gas to detoxify the compound, and can provide a long-term treatment. It is an object of the present invention to provide a method for treating a volatile organic halogen compound-containing gas capable of performing a stable treatment operation over a long period of time.
【0004】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記目的
を達成するために鋭意研究を重ねた結果、揮発性有機ハ
ロゲン化合物含有ガスに還元性ガスを混合し、触媒層を
通して該揮発性有機ハロゲン化合物を還元分解処理する
際に、被処理ガス中に含まれる水分が還元分解処理性能
に影響を及ぼすことに着目し、被処理ガスの相対湿度を
低減させたのち、金属触媒の存在下、前記ガスを還元性
ガスと接触させることにより、その目的を達成しうるこ
とを見い出し、この知見に基づいて本発明を完成するに
至った。すなわち、本発明は、水分と揮発性有機ハロゲ
ン化合物を含有するガスの相対湿度を低減させた状態
で、金属触媒の存在下、前記ガスを還元性ガスと接触さ
せることを特徴とする揮発性有機ハロゲン化合物含有ガ
スの処理方法を提供するものである。Means for Solving the Problems The present inventors have conducted intensive studies to achieve the above object, and as a result, mixed a reducing gas with a volatile organic halogen compound-containing gas and passed the volatile gas through a catalyst layer. Focusing on the fact that the moisture contained in the gas to be treated has an effect on the performance of the reductive decomposition when the organic halogen compound is subjected to reductive decomposition, after reducing the relative humidity of the gas to be treated, It has been found that the object can be achieved by bringing the gas into contact with a reducing gas, and the present invention has been completed based on this finding. That is, the present invention provides a volatile organic compound comprising: bringing a gas containing a volatile organic halogen compound into contact with a reducing gas in the presence of a metal catalyst while reducing the relative humidity of the gas. An object of the present invention is to provide a method for treating a halogen compound-containing gas.
【0005】以下、本発明を詳細に説明する。本発明の
対象となる揮発性有機ハロゲン化合物含有ガスとして
は、例えば各種製造工程から出る揮発性有機ハロゲン化
合物含有排ガス、揮発性有機ハロゲン化合物を含む用水
や排水、地下水などから曝気処理などによって得られる
ガス、あるいは揮発性有機ハロゲン化合物を含む土壌か
ら抽気処理などによって得られるガスなどが挙げられ
る。排水などの液相からは、液中に窒素ガスや空気など
のガスを通気(曝気)することにより簡単に得られる。
土壌などの場合は、土壌の中に複数のパイプを突き刺
し、ブロアで空気を引き込みそれをタンクに溜めること
により得られる。また、土壌などの固体の場合は含有す
る揮発性有機ハロゲン化合物を水などで抽出して、液相
に含有させてから、曝気することもできる。揮発性有機
ハロゲン化合物含有ガス中の該有機ハロゲン化合物の濃
度は、特に制限はないが、0.1〜10,000容量ppm
程度のものを使用することができる。このようにして得
られた揮発性有機ハロゲン化合物含有ガスには水分が含
まれており、この水分が気相還元分解処理に悪影響を及
ぼす。特に曝気した場合にはガスの相対湿度は100%
近く、長時間にわたるSV5000hr-1以上の高速の
安定な気相還元分解処理を達成するためには、有効な湿
度(水分)対策が必要である。Hereinafter, the present invention will be described in detail. The volatile organic halogen compound-containing gas to be the object of the present invention is obtained by, for example, aeration treatment from volatile organic halogen compound-containing exhaust gas from various manufacturing processes, water or wastewater containing volatile organic halogen compounds, groundwater, and the like. Examples of the gas include gas obtained from soil containing a volatile organic halogen compound by bleeding or the like. From a liquid phase such as waste water, it can be easily obtained by aerating (aeration) a gas such as nitrogen gas or air in the liquid.
In the case of soil or the like, it can be obtained by piercing a plurality of pipes into the soil, drawing air in with a blower, and storing the air in a tank. In the case of a solid such as soil, the volatile organic halogen compound contained therein may be extracted with water or the like and contained in a liquid phase before aeration. The concentration of the organic halogen compound in the volatile organic halogen compound-containing gas is not particularly limited, but is 0.1 to 10,000 ppm by volume.
Of the degree can be used. The volatile organic halogen compound-containing gas thus obtained contains water, and this water has an adverse effect on the gas phase reductive decomposition treatment. Especially when aerated, the relative humidity of the gas is 100%
In order to achieve a high-speed and stable gas-phase reductive decomposition treatment of SV5000 hr -1 or more over a long period of time, effective measures against humidity (moisture) are necessary.
【0006】したがって、本発明においては、気相還元
分解処理を施す前に水分と揮発性有機ハロゲン化合物を
含有する被処理ガスの相対湿度を低減させる処置がとら
れる。この相対湿度を低減させる方法については特に制
限はなく、例えば(1)被処理ガス又は触媒層の加温に
より、相対湿度を低減させる方法、(2)乾燥空気混合
により、相対湿度を低減させる方法、(3)イオン交換
樹脂による除湿によって、相対湿度を低減させる方法、
などを用いることができる。前記(1)の方法における
加温はヒーター、ヒートポンプ、ルーツブロアなどの利
用により行うことができるし、(2)の方法における乾
燥空気は、除湿PSA(圧力スイング吸着法)などの利
用により得ることができる。また(3)の方法における
イオン交換樹脂としては、例えばNa型強カチオン交換
樹脂などが利用できる。さらに、これらの方法以外に膜
を利用する方法、工業用吸着剤を利用する方法なども用
いることができる。Therefore, in the present invention, measures are taken to reduce the relative humidity of the gas to be treated containing water and volatile organic halogen compounds before performing the gas phase reductive decomposition treatment. There is no particular limitation on the method for reducing the relative humidity. For example, (1) a method for reducing the relative humidity by heating the gas to be treated or the catalyst layer, and (2) a method for reducing the relative humidity by mixing dry air. (3) a method of reducing the relative humidity by dehumidification with an ion exchange resin,
Etc. can be used. The heating in the method (1) can be performed by using a heater, a heat pump, a roots blower, or the like, and the dry air in the method (2) can be obtained by using a dehumidified PSA (pressure swing adsorption method). it can. Further, as the ion exchange resin in the method (3), for example, a Na-type strong cation exchange resin or the like can be used. Further, in addition to these methods, a method using a membrane, a method using an industrial adsorbent, and the like can also be used.
【0007】目標とする相対湿度は触媒担体表面の化学
的性質や構造により異なり、適宜選ばれるが、例えば触
媒として白金/γ−アルミナを使用する場合には、相対
湿度を通常60%以下、好ましくは40%以下とするこ
とにより、還元分解処理性能が大幅に向上する。本発明
方法における還元分解処理に用いられる金属触媒として
は、担体に金属を担持したものが好ましく、該金属とし
ては、例えば白金、パラジウム、ルテニウム、ロジウ
ム、鉄、銅、イリジウム、ニッケルなどが挙げられる
が、これらの中でパラジウム、白金、ルテニウム、ロジ
ウムなどの貴金属が好ましく、特にパラジウムと白金が
好適である。これらの貴金属は金属、酸化物、水酸化物
などの形で用いられる。また、担体としては、例えばア
ルミナ、シリカ、シリカアルミナ、チタニア、活性炭、
ジルコニア、ゼオライト、ガラス、プラスチック、ペレ
ット、イオン交換樹脂などが挙げられるが、これらの中
でアルミナ、ジルコニア及びイオン交換樹脂が好適であ
る。イオン交換樹脂としては、スチレン−ジビニルベン
ゼン共重合体を母体にした弱塩基性アニオン交換樹脂が
好ましい。前記金属の担持量は、担体に対して通常0.
1〜10重量%程度である。該触媒の形状については特
に制限はなく、球状、ペレット状、粉末状、粒状など、
いずれの形状のものも用いることができるが、球状、ペ
レット状、粒状のものはカラムなどに充填し、連続的に
被処理ガスを通気するとよい。粉末状のものでもカラム
に充填して流動床状態にして運転することができる。The target relative humidity varies depending on the chemical properties and structure of the surface of the catalyst carrier and is appropriately selected. For example, when platinum / γ-alumina is used as the catalyst, the relative humidity is usually 60% or less, preferably 60% or less. By reducing the content to 40% or less, reductive decomposition treatment performance is greatly improved. The metal catalyst used in the reductive decomposition treatment in the method of the present invention is preferably a metal supported on a carrier, and examples of the metal include platinum, palladium, ruthenium, rhodium, iron, copper, iridium and nickel. However, among these, noble metals such as palladium, platinum, ruthenium, and rhodium are preferable, and palladium and platinum are particularly preferable. These noble metals are used in the form of metals, oxides, hydroxides and the like. Further, as the carrier, for example, alumina, silica, silica alumina, titania, activated carbon,
Examples thereof include zirconia, zeolite, glass, plastic, pellets, and ion exchange resins. Of these, alumina, zirconia and ion exchange resins are preferred. As the ion exchange resin, a weakly basic anion exchange resin having a styrene-divinylbenzene copolymer as a base is preferable. The loading amount of the metal is usually 0.1 to the carrier.
It is about 1 to 10% by weight. There is no particular limitation on the shape of the catalyst, such as spherical, pellet, powder, granular,
Any shape can be used, but it is preferable to fill a spherical or pellet-like or granular one into a column or the like and to continuously feed the gas to be treated. Even a powdery material can be packed in a column and operated in a fluidized bed state.
【0008】本発明方法において用いられる還元性ガス
としては、水素ガスの他、例えば水素吸蔵合金などの水
素を発生するもの及び水の電気分解による水素が用いら
れる。本発明方法においては、前記金属触媒の存在下、
相対湿度の低減処置が施された揮発性有機ハロゲン化合
物含有ガスを還元性ガスと接触させることにより、該揮
発性有機ハロゲン化合物が還元分解される。還元性ガス
の添加量は、通常揮発性有機ハロゲン化合物のハロゲン
化合物のハロゲンと置換するに必要な水素量若しくはそ
れ以上の範囲で選ばれる。本発明方法における揮発性有
機ハロゲン化合物含有ガスの処理方式としては、金属触
媒をカラムに充填し、これに被処理ガスと還元性ガスと
を通気する連続方式、あるいはバッチ方式のいずれも用
いることができるが、前者の連続方式が好ましい。この
連続方式の場合は被処理ガスの流速は空間速度で100
〜20,000hr-1程度が好ましい。また、本発明方
法が適用できる揮発性有機ハロゲン化合物は通常沸点が
150℃以下、好ましくは80℃以下の揮発性のもので
あり、このようなものとしては、例えばトリクロロエチ
レン、テトラクロロエチレン、トランス−1,2−ジク
ロロエチレン、シス−1,2−ジクロロエチレン、四塩化
炭素、クロロエタン、メチレンクロリド、クロロホル
ム、塩化ビニル、1,1−ジクロロエタン、1,2−ジク
ロロエタン、1,2−ジクロロプロパン、ジクロロブロ
モエチレン、1,1,1−トリクロロエタン、ブロモジク
ロロメタン、クロロジブロモメタン、ブロモホルム、各
種フロンなどが挙げられる。As the reducing gas used in the method of the present invention, in addition to hydrogen gas, for example, those generating hydrogen such as a hydrogen storage alloy and hydrogen obtained by electrolysis of water are used. In the method of the present invention, in the presence of the metal catalyst,
By bringing the volatile organic halogen compound-containing gas subjected to the relative humidity reduction treatment into contact with the reducing gas, the volatile organic halogen compound is reductively decomposed. The amount of the reducing gas to be added is usually selected in the range of the amount of hydrogen necessary for replacing the halogen of the halogen compound of the volatile organic halogen compound or more. As a method for treating the volatile organic halogen compound-containing gas in the method of the present invention, either a continuous method in which a metal catalyst is packed in a column and a gas to be treated and a reducing gas are passed through the column, or a batch method can be used. Although it is possible, the former continuous method is preferable. In the case of this continuous system, the flow rate of the gas to be treated is 100
It is preferably about 20,000 hr -1 . The volatile organic halogen compound to which the method of the present invention can be applied is generally a volatile organic compound having a boiling point of 150 ° C. or lower, preferably 80 ° C. or lower, such as trichloroethylene, tetrachloroethylene, trans-1, 2-dichloroethylene, cis-1,2-dichloroethylene, carbon tetrachloride, chloroethane, methylene chloride, chloroform, vinyl chloride, 1,1-dichloroethane, 1,2-dichloroethane, 1,2-dichloropropane, dichlorobromoethylene, , 1,1-trichloroethane, bromodichloromethane, chlorodibromomethane, bromoform, various fluorocarbons, and the like.
【0009】[0009]
【実施例】次に実施例により本発明をさらに詳細に説明
するが、本発明はこれらの例によってなんら限定される
ものではない。 実施例1 被処理ガス(触媒層)の加温 図1に示す装置を用いて実施した。貯槽1よりトリクロ
ロエチレン含有水を放散塔2に導き上方から散水し、下
方からブロア3により空気を送風して向流接触させたと
ころ、トリクロロエチレン0.5容量ppmを含むガス(相
対湿度90%、25℃)を得た。触媒として、0.5wt
%Pt/r−Al2O3約50gを充填した触媒層(内径
30mm、長さ70mm)4に、前記トリクロロエチレン含
有ガスをSV12,000hr-1で、水素発生器5から
の水素と共に通気した。触媒層出口における処理ガス中
のトリクロロエチレン濃度は、水素添加開始後8時間で
入口濃度とほとんど同じであった。触媒層のジャケット
6に恒温層7から約40℃の恒温水を循環し、触媒層を
加温した以外は、前記と同様の条件下で気相分解処理を
7日間継続して行ったところ、トリクロロエチレンの除
去率は経時によってもほとんど変らず、約85%であっ
た。温度25℃、相対湿度90%の被処理ガス中の水の
蒸気圧は21.4mmHgであり、これを40℃に加温する
と相対湿度は約39%になる。Next, the present invention will be described in more detail by way of examples, which should not be construed as limiting the present invention. Example 1 Heating of Gas to be Treated (Catalyst Layer) The test was carried out using the apparatus shown in FIG. When trichlorethylene-containing water was introduced from the storage tank 1 to the stripping tower 2 and sprinkled from above, air was blown from below by the blower 3 and brought into countercurrent contact. As a result, a gas containing 0.5 ppm by volume of trichlorethylene (relative humidity 90%, 25% ° C). 0.5wt as catalyst
The trichloroethylene-containing gas was passed through the catalyst layer (inner diameter 30 mm, length 70 mm) 4 filled with about 50 g of% Pt / r-Al 2 O 3 together with hydrogen from the hydrogen generator 5 at SV 12,000 hr -1 . The concentration of trichlorethylene in the processing gas at the outlet of the catalyst layer was almost the same as the concentration of the inlet 8 hours after the start of hydrogenation. The gas phase decomposition treatment was continued for 7 days under the same conditions as described above, except that constant temperature water of about 40 ° C. was circulated from the constant temperature layer 7 to the jacket 6 of the catalyst layer and the catalyst layer was heated. The removal rate of trichlorethylene hardly changed with time, and was about 85%. The vapor pressure of water in the gas to be treated at a temperature of 25 ° C. and a relative humidity of 90% is 21.4 mmHg. When this is heated to 40 ° C., the relative humidity becomes about 39%.
【0010】実施例2 乾燥空気による希釈 図2に示す装置を用いて実施した。実施例1と同様にし
てトリクロロエチレン0.5容量ppmを含む空気(相対湿
度90%、25℃)を得、これに、PSA装置8からの
乾燥空気(相対湿度ほぼ0%)を容量比1:1の割合で
混合し、実施例1と同様に触媒層に通気して気相分解処
理を行ったところ、トリクロロエチレンの除去率は約8
0〜90%であり、継続期間は7日間であった。なお、
PSA装置8は、塔径40mm、高さ400mm、容積0.
5リットルの吸着塔に合成ゼオライト5Aを充填した2
塔式装置を用い、吸着圧力9kgf/cm2、サイクル時間10
分で運転した。Example 2 Dilution with dry air This was carried out using the apparatus shown in FIG. In the same manner as in Example 1, air containing 0.5 ppm by volume of trichloroethylene (relative humidity: 90%, 25 ° C.) was obtained, and dried air (relative humidity: almost 0%) from the PSA device 8 was added to the air at a volume ratio of 1: The mixture was mixed at a ratio of 1 and subjected to a gas phase decomposition treatment by ventilating the catalyst layer in the same manner as in Example 1. As a result, the removal rate of trichlorethylene was about 8%.
0-90% and duration was 7 days. In addition,
The PSA device 8 has a tower diameter of 40 mm, a height of 400 mm, and a volume of 0.4 mm.
5 liters of adsorption tower filled with synthetic zeolite 5A
Using a tower apparatus, adsorption pressure 9 kgf / cm 2 , cycle time 10
Driven in minutes.
【0011】実施例3 カチオン交換樹脂による除湿 図3に示す装置を用いて実施した。実施例1と同様にし
てトリクロロエチレン0.5容量ppmを含む空気(相対湿
度90%、25℃)を得、これをNa型強カチオン交換
樹脂(SK1B)500ミリリットルを充填したカラム
(内径30mm、長さ700mm)9にSV5,000hr
-1で通気した。出口ガス中のトリクロロエチレン濃度は
入口濃度とほぼ同一で、トリクロロエチレンは樹脂には
吸着しなかったが、出口ガスの相対湿度は1%以下であ
った。この除湿ガスを、実施例1と同様に触媒層4に通
気して気相分解処理実験を行ったところ、触媒層出口の
処理ガス中にはトリクロロエチレンは検出されなかっ
た。継続時間は30時間であった。30時間後、運転を
中止し、イオン交換樹脂を150℃に1時間加温して水
分を蒸発させた。その後、再度同一条件で使用したとこ
ろ、やはり30時間運転することができた。Example 3 Dehumidification by a cation exchange resin The measurement was carried out using the apparatus shown in FIG. In the same manner as in Example 1, air containing 0.5 ppm by volume of trichloroethylene (relative humidity 90%, 25 ° C.) was obtained, and this was packed with a column (30 mm in inner diameter, length 30 mm) packed with 500 ml of Na-type strong cation exchange resin (SK1B). SV 5,000 hr at 9)
Ventilated with -1 . The concentration of trichlorethylene in the outlet gas was almost the same as that of the inlet gas. Although trichlorethylene did not adsorb to the resin, the relative humidity of the outlet gas was 1% or less. When this dehumidified gas was passed through the catalyst layer 4 in the same manner as in Example 1 to conduct a gas phase decomposition treatment experiment, no trichlorethylene was detected in the treatment gas at the catalyst layer outlet. Duration was 30 hours. After 30 hours, the operation was stopped, and the ion exchange resin was heated to 150 ° C. for 1 hour to evaporate water. After that, when it was used again under the same conditions, it could be operated for 30 hours.
【0012】[0012]
【発明の効果】本発明によると、揮発性有機ハロゲン化
合物含有ガスの相対湿度を低減させる処置を施したの
ち、これを金属触媒の存在下、水素と接触させることに
より、該揮発性有機ハロゲン化合物を効率よく分解処理
して無害化することができ、かつ長時間にわたって安定
な処理運転が可能である。According to the present invention, a treatment for reducing the relative humidity of a volatile organic halogen compound-containing gas is performed, and then the gas is brought into contact with hydrogen in the presence of a metal catalyst to thereby form the volatile organic halogen compound. Can be efficiently decomposed to make it harmless, and a stable processing operation can be performed for a long time.
【図1】図1は実施例1で用いた装置の概略図である。FIG. 1 is a schematic diagram of an apparatus used in Example 1.
【図2】図2は実施例2で用いた装置の概略図である。FIG. 2 is a schematic diagram of an apparatus used in Example 2.
【図3】図3は実施例3で用いた装置の概略図である。FIG. 3 is a schematic diagram of an apparatus used in Example 3.
1 貯槽 2 放散塔 3 ブロア 4 触媒層 5 水素発生器 6 ジャケット 7 恒温槽 8 PSA装置 9 カチオン交換樹脂充填カラム DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Storage tank 2 Stripping tower 3 Blower 4 Catalyst layer 5 Hydrogen generator 6 Jacket 7 Thermostat 8 PSA apparatus 9 Cation exchange resin packed column
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平4−321634(JP,A) 特開 昭63−99413(JP,A) 特開 昭61−200836(JP,A) 特開 昭54−59233(JP,A) 特公 昭56−39290(JP,B1) 米国特許5013424(US,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C07B 35/06 A62D 3/00 B01D 53/26 B01D 53/70 B01D 53/86 WPI(DIALOG)Continuation of the front page (56) References JP-A-4-321634 (JP, A) JP-A-63-99413 (JP, A) JP-A-61-200836 (JP, A) JP-A-54-59233 (JP) U.S. Pat. No. 5,134,424 (US, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) C07B 35/06 A62D 3/00 B01D 53/26 B01D 53/70 B01D 53/86 WPI (DIALOG)
Claims (1)
るガスの相対湿度を低減させた状態で、金属触媒の存在
下、前記ガスを還元性ガスと接触させることを特徴とす
る揮発性有機ハロゲン化合物含有ガスの処理方法。1. A volatile organic halogen compound comprising: contacting a gas containing water and a volatile organic halogen compound with a reducing gas in the presence of a metal catalyst while reducing the relative humidity of the gas. A method for treating a compound-containing gas.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32739692A JP3293207B2 (en) | 1992-11-12 | 1992-11-12 | Method for treating volatile organic halogen compound-containing gas |
US08/032,573 US5490941A (en) | 1992-03-25 | 1993-03-17 | Method of treatment of a fluid containing volatile organic halogenated compounds |
Applications Claiming Priority (1)
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JP32739692A JP3293207B2 (en) | 1992-11-12 | 1992-11-12 | Method for treating volatile organic halogen compound-containing gas |
Publications (2)
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