JP3293115B2 - Optical fiber array and optical waveguide module coupling method - Google Patents

Optical fiber array and optical waveguide module coupling method

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JP3293115B2
JP3293115B2 JP18931594A JP18931594A JP3293115B2 JP 3293115 B2 JP3293115 B2 JP 3293115B2 JP 18931594 A JP18931594 A JP 18931594A JP 18931594 A JP18931594 A JP 18931594A JP 3293115 B2 JP3293115 B2 JP 3293115B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光ファイバアレイ及び
光導波路モジュールの粗い位置決めを簡潔に行って、こ
れらを短い時間で結合する方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for simplifying the rough positioning of an optical fiber array and an optical waveguide module and coupling them in a short time.

【0002】[0002]

【従来の技術】図4は、例えば、特開平4−16190
7号公報に記載された、従来の光ファイバアレイ及び光
導波路モジュールの結合方法を説明する図である。
2. Description of the Related Art FIG.
FIG. 7 is a diagram illustrating a conventional method for coupling an optical fiber array and an optical waveguide module described in Japanese Patent Publication No.

【0003】光ファイバアレイと光導波路モジュールと
を結合するには、まず、光導波路モジュール10を固定
台(図示せず)に、光ファイバアレイ12を調節台(図
示せず)にそれぞれセットし、光導波路モジュール10
の入射側端面に光ファイバアレイ12を突き合わせる。
次に、光導波路モジュール10の出射側端面にNFP
(near field pattern)装置(図示せず)を配置し、光
導波路モジュール10に含まれる光導波路14の出射光
のフィールドパターンをディスプレイ装置でモニタしな
がら、光ファイバアレイ12の位置を微調整し、各光フ
ァイバ芯線16とこれに対応する光導波路14との光軸
合わせを行う。
To couple the optical fiber array and the optical waveguide module, first, the optical waveguide module 10 is set on a fixed base (not shown), and the optical fiber array 12 is set on an adjustment base (not shown). Optical waveguide module 10
The optical fiber array 12 is abutted against the end face on the incident side.
Next, an NFP is placed on the exit side end face of the optical waveguide module 10.
(Near field pattern) A device (not shown) is arranged, and while the field pattern of the light emitted from the optical waveguide 14 included in the optical waveguide module 10 is monitored by a display device, the position of the optical fiber array 12 is finely adjusted. The optical axis of each optical fiber core wire 16 and the corresponding optical waveguide 14 are aligned.

【0004】しかる後、光導波路モジュール10の出射
端側からNFP装置を移動させ、光導波路14の出射側
端面のそれぞれに光パワーメータに接続された光ファイ
バ(図示せず)を突き合せる。
[0004] Thereafter, the NFP device is moved from the output end side of the optical waveguide module 10, and an optical fiber (not shown) connected to an optical power meter is abutted on each of the output side end faces of the optical waveguide 14.

【0005】次に、光パワーメータで出射光をモニタし
ながら、調節台により光ファイバアレイ12の位置を微
調節し、カップリングロスが最も小さくなる位置に光フ
ァイバアレイ12を位置決めする。
Next, while monitoring the emitted light with the optical power meter, the position of the optical fiber array 12 is finely adjusted by the adjusting table, and the optical fiber array 12 is positioned at a position where the coupling loss is minimized.

【0006】このようにして、光ファイバアレイ12を
光導波路モジュール10に対して光学的に位置決めした
後、紫外線硬化樹脂を滴下し、光導波路モジュール10
と光ファイバアレイ12とを接着固定する。
[0006] After optically positioning the optical fiber array 12 with respect to the optical waveguide module 10 in this manner, an ultraviolet curable resin is dropped and the optical fiber module 12 is positioned.
And the optical fiber array 12 are bonded and fixed.

【0007】さらに、上記と同様の手順によってもう一
方の光ファイバアレイ18を光導波路モジュール10に
対して位置決めし、接着固定する。
Further, the other optical fiber array 18 is positioned with respect to the optical waveguide module 10 by the same procedure as described above, and is bonded and fixed.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】このような従来方法に
おいては、光導波路モジュール10の出射側端面に配置
されたNFP装置によって光導波路モジュール10に含
まれる光導波路14の出射光のフィールドパターンをデ
ィスプレイ装置でモニターしながら、光ファイバアレイ
12の位置を微調整し、各光ファイバ芯線16と対応す
る光導波路14とを光軸合わせを行う必要がある。しか
も、光導波路モジュール10や光ファイバアレイ12
は、その大きさが微小である。従って、この従来技術に
は、煩雑でありかつ多大な作業時間を要するという問題
点があった。
In such a conventional method, the field pattern of the light emitted from the optical waveguide 14 included in the optical waveguide module 10 is displayed by an NFP device disposed on the exit side end face of the optical waveguide module 10. It is necessary to finely adjust the position of the optical fiber array 12 while monitoring with an apparatus, and to align the optical axis of each optical fiber core wire 16 with the corresponding optical waveguide 14. Moreover, the optical waveguide module 10 and the optical fiber array 12
Has a very small size. Therefore, this conventional technique has a problem that it is complicated and requires a long working time.

【0009】そこで、本発明の目的は、光ファイバアレ
イと光導波路モジュールとを粗く位置決めする作業を簡
略化することにより、作業時間の短縮化を図ることが可
能な光ファイバアレイ及び光導波路モジュールの結合方
法を提供することにある。
Accordingly, an object of the present invention is to provide an optical fiber array and an optical waveguide module capable of shortening the operation time by simplifying the operation of roughly positioning the optical fiber array and the optical waveguide module. It is to provide a coupling method.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1に係る発明は、整列された光ファイバを有
する光ファイバアレイを、光導波路を有する光導波路モ
ジュールに結合する方法であって、光ファイバアレイに
おける上面と側面との交わりの角を機械加工により面取
りし第1の面取り部を形成することで、光ファイバアレ
イの上面と第1の面取り部との交線を、光ファイバに対
して平行で且つ光ファイバからの水平方向の距離が規定
された第1の上面マークとすると共に、光ファイバアレ
イの側面と第1の面取り部との交線を、光ファイバに対
して平行で且つ光ファイバからの垂直方向の距離が規定
された第1の側面マークとする工程と、光導波路モジュ
ールにおける上面と側面との交わりの角を機械加工によ
り面取りし第2の面取り部を形成することで、光導波路
モジュールの上面と第2の面取り部との交線を、光導波
路に対して平行で且つ光導波路からの水平方向の距離が
規定された第2の上面マークとすると共に、光導波路モ
ジュールの側面と第2の面取り部との交線を、光導波路
に対して平行で且つ光導波路からの垂直方向の距離が規
定された第2の側面マークとする工程と、第1の上面マ
ークと第2の上面マークとが垂直方向において一直線に
なり、且つ第1の側面マークと第2の側面マークとが水
平方向において一直線になるように、光ファイバアレイ
及び光導波路モジュールを位置決めする工程と、光ファ
イバアレイ及び光導波路モジュールを固定する工程とを
備えている。
To achieve the above object, the present invention provides a method for coupling an optical fiber array having aligned optical fibers to an optical waveguide module having an optical waveguide. To an optical fiber array
Corner of the intersection between the upper surface and the side surface
By forming the first chamfer, the optical fiber array
The line of intersection between the upper surface of b and the first chamfered part is
Parallel and horizontal distance from optical fiber
And the optical fiber array
The line of intersection between the side of b and the first chamfered part is
Parallel and perpendicular distance from optical fiber
Forming a first side mark formed on the optical waveguide module;
The corner of the intersection between the top and side of the
By forming the second chamfered portion by chamfering, the optical waveguide
The line of intersection between the top of the module and the second chamfer is
Parallel to the path and horizontal distance from the optical waveguide
In addition to the specified second upper surface mark, the optical waveguide module
The line of intersection between the side surface of the joule and the second chamfer is
Parallel to the optical waveguide and in the vertical direction from the optical waveguide.
Forming a second side surface mark, and a first top surface mark.
Mark and the second top mark are aligned in the vertical direction.
And the first side mark and the second side mark are
The method includes a step of positioning the optical fiber array and the optical waveguide module so as to be aligned in a horizontal direction, and a step of fixing the optical fiber array and the optical waveguide module.

【0011】[0011]

【0012】[0012]

【0013】[0013]

【作用】本発明においては、光ファイバアレイには、そ
の上面と側面との交わりの角を機械加工により面取りす
ることで、光ファイバに対して平行で且つ光ファイバか
らの水平方向の距離が規定された第1の上面マーク、及
び光ファイバに対して平行で且つ光ファイバからの垂直
方向の距離が規定された第1の側面マークを同時に設け
る。また、光導波路モジュールには、その上面と側面と
の交わりの角を機械加工により面取りすることで、光導
波路に対して平行で且つ光導波路からの水平方向の距離
が規定された第2の上面マーク、及び光導波路に対して
平行で且つ光導波路からの垂直方向の距離が規定された
第2の側面マークを同時に設ける。そして、第1の上面
マークと第2の上面マークとが垂直方向において一直線
になり、且つ第1の側面マークと第2の側面マークとが
水平方向において一直線になるように位置決めした後、
光ファイバアレイ及び光導波路モジュールを固定する。
従って、簡潔に位置決めを行うことが可能であり、光フ
ァイバアレイ及び光導波路モジュールの結合を短時間で
行うことが可能となる。
According to the present invention, the optical fiber array has
Chamfering the corner of intersection between the top and side of the machine by machining
Is parallel to the optical fiber and
A first upper surface mark defining the horizontal distance between them, and
Parallel to and perpendicular to the optical fiber
A first side mark with a prescribed distance in the direction is provided at the same time.
You. In addition, the optical waveguide module has an upper surface and side surfaces.
By chamfering the corner of intersection by machining
Horizontal distance parallel to the waveguide and from the optical waveguide
Is defined for the second top surface mark and the optical waveguide
Parallel and vertical distance from optical waveguide specified
A second side mark is provided at the same time. And the first upper surface
The mark and the second upper surface mark are aligned in the vertical direction
And the first side mark and the second side mark are
After positioning so that it is straight in the horizontal direction ,
The optical fiber array and the optical waveguide module are fixed.
Therefore, the positioning can be performed simply, and the coupling between the optical fiber array and the optical waveguide module can be performed in a short time.

【0014】[0014]

【実施例】以下、添付図面に沿って本発明の実施例につ
いて説明する。なお、図面において同一又は相当部分に
は同一符号を用いるものとする。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same or corresponding parts have the same reference characters allotted.

【0015】図1( a) 及び( b) は、光導波路モジュ
ール10の両端面に光ファイバアレイ12、18を結合
する前の状態を示す平面図及び側面図である。光導波路
モジュール10には5本の光導波路14が設けられてお
り、光ファイバアレイ12、18には光導波路14に対
応してそれぞれ5本ずつの光ファイバ20、22が設け
られている。なお、光導波路モジュール10はSiO2
またはシリコン基板上に構成されている。
FIGS. 1A and 1B are a plan view and a side view showing a state before the optical fiber arrays 12 and 18 are coupled to both end faces of the optical waveguide module 10, respectively. The optical waveguide module 10 is provided with five optical waveguides 14, and the optical fiber arrays 12 and 18 are provided with five optical fibers 20 and 22, respectively, corresponding to the optical waveguides 14. The optical waveguide module 10 is made of SiO 2
Alternatively, it is configured on a silicon substrate.

【0016】まず、光導波路モジュール10の角を面取
りすることにより、光導波路モジュール10の上面及び
側面にマークを設ける。この面取りの加工は、光導波路
モジュール10に含まれる光導波路14に対する相対的
位置の精度が高くなるように行われる。すなわち、図2
に示すように、面取り部及び上面の交線L1 と端に配置
された光ファイバ14との水平方向の距離をx1 、面取
り部及び側面の交線L 2 と端に配置された光ファイバ1
4との垂直方向の距離をy1 としたときに、x1 、y1
の長さの精度は高くされている。従って、この場合に
は、交線L1 、L2 がマークになる。
First, the corner of the optical waveguide module 10 is chamfered.
The upper surface of the optical waveguide module 10 and
Marks are provided on the sides. The processing of this chamfer is based on the optical waveguide
Relative to the optical waveguide 14 included in the module 10
This is performed so as to increase the accuracy of the position. That is, FIG.
As shown in FIG.1And placed on the edge
X is the horizontal distance from the optical fiber 141, Chamfer
Intersection line L TwoAnd the optical fiber 1 placed at the end
Y is the vertical distance from1And x1, Y1
The accuracy of the length has been increased. So in this case
Is the intersection line L1, LTwoBecomes a mark.

【0017】同様に、光ファイバアレイ12、18にも
面取り加工を行い、光ファイバアレイ12にマーク
3 、L4 を設け、光ファイバアレイ18にマーク
5 、L6 を設ける(図1参照)。光ファイバ20に対
するマークL3 、L4 の相対的位置の精度は高くされて
おり、光ファイバ22に対するマークL5 、L6 の相対
的位置の精度は高くされている。
Similarly, the optical fiber arrays 12 and 18 are also chamfered, and the marks L 3 and L 4 are provided on the optical fiber array 12 and the marks L 5 and L 6 are provided on the optical fiber array 18 (see FIG. 1). ). The accuracy of the relative positions of the marks L 3 and L 4 with respect to the optical fiber 20 is increased, and the accuracy of the relative positions of the marks L 5 and L 6 with respect to the optical fiber 22 is increased.

【0018】次に、光導波路モジュール10及び光ファ
イバアレイ12の上方に設置されたテレビカメラ(図示
せず)によって図1( a) に示すような画像をモニタし
つつ、光導波路モジュール10または光ファイバアレイ
12のうちの少なくとも一方を移動させることにより、
光導波路モジュール10に設けられたマークL1 と光フ
ァイバアレイ12に設けられたマークL3 とを一直線に
する。同様に、光導波路モジュール10及び光ファイバ
アレイ12の側方に設置されたテレビカメラ(図示せ
ず)によって図1( b) に示すような画像をモニタしつ
つ、光導波路モジュール10に設けられたマークL2
光ファイバアレイ12に設けられたマークL4 とを一直
線にする。
Next, while monitoring an image as shown in FIG. 1A with a television camera (not shown) installed above the optical waveguide module 10 and the optical fiber array 12, By moving at least one of the fiber arrays 12,
To line a mark L 3 provided in the mark L 1 and the optical fiber array 12 provided in the optical waveguide module 10. Similarly, a television camera (not shown) installed on the side of the optical waveguide module 10 and the optical fiber array 12 monitors the image shown in FIG. to line a mark L 2 and mark L 4 provided in the optical fiber array 12.

【0019】続いて、同様に、光導波路モジュール10
及び光ファイバアレイ18の上方に設置されたテレビカ
メラ(図示せず)によって図1( a) に示すような画像
をモニタしつつ、光ファイバアレイ18を移動させるこ
とにより、光導波路モジュール10に設けられたマーク
1 と光ファイバアレイ18に設けられたマークL5
を一直線にする。同様に、光導波路モジュール10及び
光ファイバアレイ18の側方に設置されたテレビカメラ
(図示せず)によって図1( b) に示すような画像をモ
ニタしつつ、光導波路モジュール10に設けられたマー
クL2 と光ファイバアレイ18に設けられたマークL6
とを一直線にする。
Subsequently, similarly, the optical waveguide module 10
By monitoring the image shown in FIG. 1A by a television camera (not shown) installed above the optical fiber array 18 and moving the optical fiber array 18, the to line a mark L 5 provided on the mark L 1 and the optical fiber array 18 which is. Similarly, a television camera (not shown) provided on the side of the optical waveguide module 10 and the optical fiber array 18 monitors the image shown in FIG. The mark L 2 and the mark L 6 provided on the optical fiber array 18
And are aligned.

【0020】前述のように、光導波路14や光ファイバ
20、22に対するマークL1 〜L6 の相対的位置は精
度よくされているため、マークL1 及びマークL3 を一
直線にするとともにマークL2 及びマークL4 を一直線
にすることにより、光導波路14と光ファイバ20とを
調芯することができる。同様に、マークL1 及びマーク
5 を一直線にするとともにマークL2 及びマークL6
を一直線にすることにより、光導波路14と光ファイバ
22とを調芯することができる。このように、光導波路
モジュール10の端面からの光を観察する必要がないた
め、作業時間を短縮することが可能である。
As described above, since the relative positions of the marks L 1 to L 6 with respect to the optical waveguide 14 and the optical fibers 20 and 22 are precisely set, the marks L 1 and L 3 are aligned and the marks L 1 to L 3 are aligned. by the 2 and mark L 4 in a straight line, it is possible to wick adjusting an optical waveguide 14 and the optical fiber 20. Similarly, the mark L 1 and the mark L 5 are aligned, and the mark L 2 and the mark L 6
Are aligned, the optical waveguide 14 and the optical fiber 22 can be aligned. As described above, since it is not necessary to observe the light from the end face of the optical waveguide module 10, the operation time can be reduced.

【0021】最後に、光ファイバアレイ12を光導波路
モジュール10に接着固定する。光ファイバアレイ18
についても同様である。なお、マークの加工精度によっ
ては、接着固定の前に、光導波路モジュール10及び光
ファイバアレイ12の間で精密な光軸合わせを行っても
よい。この光軸合わせ作業は、パソコンに接続したステ
ージ(調節台)及び光量測定器を用いて、自動的に行う
ことが可能である。光ファイバアレイ18についても同
様である。
Finally, the optical fiber array 12 is bonded and fixed to the optical waveguide module 10. Optical fiber array 18
The same applies to. Depending on the processing accuracy of the mark, precise optical axis alignment may be performed between the optical waveguide module 10 and the optical fiber array 12 before the adhesive fixing. This optical axis alignment work can be automatically performed using a stage (adjustment table) connected to a personal computer and a light amount measuring device. The same applies to the optical fiber array 18.

【0022】図3は、マークについての別の実施例を示
す図である。この実施例においては、マークは光導波路
モジュール10の上面に形成されたV溝L11、及び側面
に形成されたV溝L12によって構成されている。そし
て、図3に示すように、V溝L11と端に配置された光フ
ァイバ14との水平方向の距離をx2 、V溝L12と端に
配置された光ファイバ14との垂直方向の距離をy2
したときに、x2 、y2の長さの精度は高くされてい
る。
FIG. 3 is a diagram showing another embodiment of the mark. In this embodiment, the mark is constituted by a V groove L 11 formed on the upper surface of the optical waveguide module 10 and a V groove L 12 formed on the side surface. Then, as shown in FIG. 3, the vertical and V groove L 11 and the horizontal distance between the optical fiber 14 arranged on the end x 2, V grooves L 12 and the optical fiber 14 disposed at the end distance is taken as y 2, the length of the accuracy of the x 2, y 2 are high.

【0023】同様に、光ファイバアレイ12、18にも
V溝を加工し、光ファイバアレイ12にマークL13、L
14を設け、光ファイバアレイ18にマークL15、L16
設ける(図示せず)。そして、光ファイバ20に対する
マークL13、L14の相対的位置の精度は高くし、光ファ
イバ22に対するマークL15、L16の相対的位置の精度
は高くする。
Similarly, V-grooves are formed on the optical fiber arrays 12 and 18 so that the marks L 13 and L
14 are provided, and marks L 15 and L 16 are provided on the optical fiber array 18 (not shown). Then, the accuracy of the relative positions of the marks L 13 and L 14 with respect to the optical fiber 20 is increased, and the accuracy of the relative positions of the marks L 15 and L 16 with respect to the optical fiber 22 is increased.

【0024】[0024]

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、光ファ
イバアレイと光導波路モジュールとを粗く位置決めする
作業を簡略化したので、作業時間の短縮化を図ることが
可能な光ファイバアレイ及び光導波路モジュールの結合
方法を得ることができる。
As described above, according to the present invention, since the operation of roughly positioning the optical fiber array and the optical waveguide module is simplified, the optical fiber array capable of shortening the operation time is provided. A method of coupling the optical waveguide module can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】光導波路モジュールの両端面に光ファイバアレ
イを結合する前の状態を示す平面図及び側面図である。
1A and 1B are a plan view and a side view showing a state before an optical fiber array is coupled to both end faces of an optical waveguide module.

【図2】面取り部を形成することによってマークを設け
た光導波路モジュールを示す斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing an optical waveguide module provided with a mark by forming a chamfer.

【図3】V溝を形成することによってマークを設けた光
導波路モジュールを示す斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view showing an optical waveguide module provided with a mark by forming a V groove.

【図4】光ファイバアレイ及び光導波路モジュールを結
合するための従来の方法を説明する斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view illustrating a conventional method for coupling an optical fiber array and an optical waveguide module.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…光導波路モジュール、12、18…光ファイバア
レイ、14…光導波路、20、22…光ファイバ、L1
〜L6 、L11〜L16…マーク。
10 optical waveguide module, 12, 18 optical fiber array, 14 optical waveguide, 20, 22 optical fiber, L 1
~L 6, L 11 ~L 16 ... mark.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平4−343304(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 6/30 G02B 6/24 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-4-343304 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G02B 6/30 G02B 6/24

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 整列された光ファイバを有する光ファイ
バアレイを、光導波路を有する光導波路モジュールに結
合する方法であって、前記光ファイバアレイにおける上面と側面との交わりの
角を機械加工により面取りし第1の面取り部を形成する
ことで、前記光ファイバアレイの上面と前記第1の面取
り部との交線を、前記光ファイバに対して平行で且つ前
記光ファイバからの水平方向の距離が規定された第1の
上面マークとすると共に、前記光ファイバアレイの側面
と前記第1の面取り部との交線を、前記光ファイバに対
して平行で且つ前記光ファイバからの垂直方向の距離が
規定された第1の側面マークとする工程と、 前記光導波路モジュールにおける上面と側面との交わり
の角を機械加工により面取りし第2の面取り部を形成す
ることで、前記光導波路モジュールの上面と前記第2の
面取り部との交線を、前記光導波路に対して平行で且つ
前記光導波路からの水平方向の距離が規定された第2の
上面マークとすると共に、前記光導波路モジュールの側
面と前記第2の面取り部との交線を、前記光導波路に対
して平行で且つ前記光導波路からの垂直方向の距離が規
定された第2の側面マークとする工程と、 前記第1の上面マークと前記第2の上面マークとが垂直
方向において一直線になり、且つ前記第1の側面マーク
と前記第2の側面マークとが水平方向において一直線に
なるように、 前記光ファイバアレイ及び前記光導波路モ
ジュールを位置決めする工程と、 前記光ファイバアレイ及び前記光導波路モジュールを固
定する工程と、 を備えた光ファイバアレイ及び光導波路モジュールの結
合方法。
1. A method of coupling an optical fiber array having aligned optical fibers to an optical waveguide module having an optical waveguide, the method comprising:
Chamfering the corner by machining to form a first chamfer
The upper surface of the optical fiber array and the first chamfer
The line of intersection with the optical fiber is parallel to the optical fiber and
A first specified horizontal distance from the optical fiber;
A top surface mark and a side surface of the optical fiber array
And the first chamfered portion is aligned with the optical fiber.
And the vertical distance from the optical fiber is
The step of defining the first side surface mark and the intersection of the upper surface and the side surface of the optical waveguide module
Chamfered by machining to form a second chamfer
By doing so, the upper surface of the optical waveguide module and the second
The line of intersection with the chamfer is parallel to the optical waveguide and
A second distance defined in the horizontal direction from the optical waveguide;
The upper surface mark and the side of the optical waveguide module
A line of intersection between a surface and the second chamfered part is paired with the optical waveguide.
Are parallel and perpendicular to the optical waveguide.
Setting the second upper surface mark to a predetermined second side surface mark, and making the first upper surface mark and the second upper surface mark perpendicular to each other.
Direction, and said first side mark
And the second side mark are aligned in a horizontal direction.
Become such, process and binding method for the optical fiber array and the optical waveguide module with a step of fixing the optical fiber array and the optical waveguide module for positioning the optical fiber array and the optical waveguide module.
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