JP3290470B2 - Tilt adjustment device for rotating object holder - Google Patents
Tilt adjustment device for rotating object holderInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、チャックやコレット
等の回転物保持体において、保持された回転物保持体の
軸線の方向を所定の方向に調節する、いわゆる傾き調節
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a so-called tilt adjustment for adjusting the direction of an axis of a held rotating object holder in a predetermined direction in a rotating object holder such as a chuck or a collet.
【0002】[0002]
【従来の技術】チャックやコレット等の回転物保持体の
保持装置は、従来、エアスピンドル等に取付けられるベ
ースと、回転物保持体を保持するホルダーとから主に構
成されていた。2. Description of the Related Art Conventionally, a device for holding a rotating object holder such as a chuck or a collet has been mainly composed of a base attached to an air spindle or the like and a holder for holding the rotating object holder.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】回転物保持体の保持装
置では、ベース側に対するホルダーの軸線の傾きを所定
方向に確保するために、構成部材、特にベースとホルダ
ーの接触係合面を精度の極めて高い仕上げを行い、且つ
精度の高い組立を行っていた。このため、加工及び組立
が煩雑になるという問題があった。同様に、使用に伴
い、ベース側に対するホルダーの軸線の傾きが所定方向
から外れた際には、構成部材を分解、再加工及び再組立
を行うことで、ベースに対するホルダーの軸線の傾きを
所定方向に再確保する。が、これらは、大変に煩雑で手
間取る作業であり、結果的にコストが割高になるという
問題があった。In the holding device for the rotating object holder, in order to secure the inclination of the axis of the holder with respect to the base in a predetermined direction, the components, in particular, the contact engagement surface between the base and the holder are precisely formed. The finish was extremely high and the assembly was performed with high accuracy. For this reason, there was a problem that processing and assembly became complicated. Similarly, when the inclination of the axis of the holder with respect to the base side deviates from a predetermined direction due to use, the inclination of the axis of the holder with respect to the base is adjusted in a predetermined direction by disassembling, reworking, and reassembling the constituent members. To secure again. However, these are very complicated and time-consuming operations, resulting in a problem that the cost is increased.
【0004】又、組立及び再組立において、ホルダーを
ベース側に対して所定の傾き状態にさせるには多くの時
間と手間を必要とするという問題があった。この発明
は、上記の事情に鑑みてまされたものであり、一つに
は、ベース側に対するホルダーの任意の傾きを得ること
に対し、構成部材の加工や組立が簡単で結果的にコスト
が安く、二つには、組立及び再組立の際に、簡便で僅か
な時間でホルダーをベース側に対して所定の傾き状態に
させ得る回転物保持体の傾き調節装置を提供するもので
ある。In addition, in assembling and reassembling, there is a problem that much time and labor are required to bring the holder into a predetermined inclined state with respect to the base side. The present invention has been made in view of the above circumstances. One of the reasons is that, while obtaining an arbitrary inclination of the holder with respect to the base side, the processing and assembly of the constituent members are simple and the cost is consequently low. Inexpensively, the second object of the present invention is to provide an apparatus for adjusting the inclination of a rotating object holder which can easily and quickly bring a holder to a predetermined inclination state with respect to a base side during assembly and reassembly.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明にかかる回転物保持体の傾き調節装置は、ベー
スと、ホルダーと、スペーサと、を備えた回転物保持体
の傾き調節装置において、前記ホルダ及び/又はベース
のスペーサとの係合面を、ホルダー軸線を中心とする凹
面又は凸面に形成し、 前記スペーサは、前記ホルダ及び
/又はベースとの係合面に、該ホルダ及び/又はベース
の凹面又は凸面に対応する凸面又は凹面が形成され、か
つ前記ベースのスペーサとの係合部と前記ホルダのスペ
ーサとの係合部の間に、前記スペーサの各対応係合部を
直接当接させた状態で離隔配置され、それぞれ独立して
ホルダーの軸線に対し半径方向に摺動する複数個のスペ
ーサであり、 前記各スペーサをそれぞれ独立してホルダ
ーの軸線に対し半径方向に摺動させ、該各スペーサの半
径方向の送り位置を調節することにより、ベースに対す
るホルダの軸線の傾きを所定方向に調節することを特徴
とする。 ここで、前記ホルダーは、前記ベースに対向し
て配設され、回転物保持体を保持する。 また、前記スペ
ーサは、前記ベースとホルダーとの間に介在され、該ベ
ースとホルダーとの間隔を一定に保つ。スペーサを軸線
方向に対し半径方向に送りする手段として、送りネジを
用いる方法、圧電素子を用いる方法等が挙げられる。な
お、本発明においては、検出手段と、出力手段と、制御
演算手段と、を備えることが好適である。 ここで、前記
検出手段は、実質的に前記ベースに固定され、前記ベー
スに対するホルダの軸線の傾きを検出する。 また、前記
出力手段は、前記各スペーサをそれぞれ独立して前記半
径方向に送る。 前記演算制御手段は、前記検出手段から
のホルダの傾き情報に基づき、ベースに対するホルダー
の軸線の傾きが所定方向に一致するように前記出力手段
の出力量を演算して制御する。 [MEANS FOR SOLVING THE PROBLEMS] To achieve the above object
In addition, the device for adjusting the inclination of the rotating object holder according to the present invention is
Rotating object holder including a tool, a holder, and a spacer
The holder and / or the base.
The engagement surface with the spacer is recessed around the holder axis.
Formed on a surface or a convex surface, wherein the spacer comprises the holder and
And / or the holder and / or the base are provided on an engagement surface with the base.
A convex or concave surface corresponding to the concave or convex surface of
The space between the engagement portion of the base with the spacer and the space of the holder
Between the corresponding engagement portions of the spacer,
They are separated from each other in direct contact with each other,
Several spaces sliding radially with respect to the axis of the holder
And each of the spacers is a holder
And slide in the radial direction with respect to the axis of
By adjusting the feed position in the radial direction,
The feature is to adjust the inclination of the axis of the holder in a predetermined direction
And Here, the holder is opposed to the base.
And holds the rotating object holder. In addition,
The spacer is interposed between the base and the holder, and
Keep the distance between the base and holder constant. Means for feeding the spacer in the radial direction with respect to the axial direction include a method using a feed screw, a method using a piezoelectric element, and the like. What
In the present invention, the detecting means, the output means, the control
It is preferable to provide an arithmetic unit. Where
The detecting means is substantially fixed to the base, and
The inclination of the axis of the holder with respect to the axis is detected. In addition,
The output means independently connects each of the spacers to the half.
Send in the radial direction. The arithmetic control unit is configured to detect
Holder with respect to the base
The output means such that the inclination of the axis of
Is calculated and controlled.
【0006】[0006]
【作用】一の発明においては、スペーサがベースの半径
方向に送られると、スペーサがベース又は/及びホルダ
ーの凹面若しくは凸面に従って移動し、ベースとホルダ
ーとの距離が変化する。二の発明においては、ベース側
に対してホルダーの軸線が所定の傾きになるように、複
数個のスペーサは自動的にホルダーの軸線に対して半径
方向に送られる。In one aspect of the invention, when the spacer is fed in the radial direction of the base, the spacer moves according to the concave or convex surface of the base and / or the holder, and the distance between the base and the holder changes. In the second aspect, the plurality of spacers are automatically fed in a radial direction with respect to the axis of the holder so that the axis of the holder has a predetermined inclination with respect to the base side.
【0007】[0007]
【実施例】この発明を、図1〜図7に示す実施例に基づ
いて詳述する。しかし、この実施例によって、この発明
が限定されるものではない。一の発明に関わる回転物保
持体の傾き調節装置1は、図1〜図6に示すように、ホ
ルダー7と、ベース8と、6個のスペーサ9が設けられ
ている。更に、回転物保持体の傾き調節装置1は、回転
物保持体の心出しを行う手段が設けられている。つま
り、図1〜図6に示すように、基板2と、板部材3及び
4と、作動体5及び6が備えられている。基板2と板部
材3の間にクロスローラガイド10及び11が介在さ
れ、板部材3は基板2に対して、心出しすべき回転物保
持体の軸線と直交する方向である矢印X方向にスライド
可能となっている。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail with reference to the embodiments shown in FIGS. However, the present invention is not limited by the embodiment. As shown in FIGS. 1 to 6, the tilt adjusting device 1 for a rotating object holder according to one aspect of the present invention includes a holder 7, a base 8, and six spacers 9. Further, the tilt adjusting device 1 for the rotating object holder is provided with means for centering the rotating object holder. That is, as shown in FIGS. 1 to 6, the board 2, the plate members 3 and 4, and the operating bodies 5 and 6 are provided. Cross roller guides 10 and 11 are interposed between the substrate 2 and the plate member 3, and the plate member 3 slides with respect to the substrate 2 in the direction of the arrow X which is a direction orthogonal to the axis of the rotating object holder to be centered. It is possible.
【0008】基板2には、心出しすべき回転物保持体の
軸線と直交し且つ矢印X方向とも直交の方向である矢印
Y方向に延びる凹部12及びこの凹部12に連通するメ
ネジ孔13が形成され、板部材3には、凹部12の対向
部に矢印Y方向と3゜の角度を有して伸びる溝部14が
形成されている。そうして、基板2と板部材3の間に、
凹部13及び溝部14に係合し矢印Y方向にネジ送りさ
れる作動体5が介在されている。つまり、作動体5は、
凹部12に嵌合し矢印Y方向にスライド可能な基部15
と、溝部14に嵌合し矢印Y方向に3゜の角度の方向に
スライド可能な凸部16が備えられ、メネジ通孔13に
螺合するネジ送り部材17が挿通係止する通孔18が形
成されている。The substrate 2 has a recess 12 extending in the direction of arrow Y perpendicular to the axis of the rotating object holder to be centered and also perpendicular to the direction of arrow X, and a female screw hole 13 communicating with the recess 12. The plate member 3 is formed with a groove 14 extending at an angle of 3 ° from the direction of the arrow Y in a portion facing the recess 12. Then, between the substrate 2 and the plate member 3,
An operating body 5 that engages with the concave portion 13 and the groove portion 14 and that is screw-fed in the arrow Y direction is interposed. That is, the operating body 5
Base 15 that fits into recess 12 and is slidable in the direction of arrow Y
And a convex portion 16 which is fitted in the groove portion 14 and is slidable in a direction of an angle of 3 ° in the arrow Y direction, and a through hole 18 into which a screw feed member 17 screwed into the female screw through hole 13 is inserted and locked. Is formed.
【0009】従って、ネジ送り部材17を操作して作動
体5を矢印Yの方向にネジ送りすると、その送りの量と
3゜の角度の正接(tangent)との積だけ、基板
2と板部材3が矢印Xの方向に相対的にスライドする。
ネジ送り部材17の1ピッチが0.5mmの場合に、殆ど
の作業者が手動で確実に回転できる最小の角度を5゜と
すると、基板2に対して板部材3を矢印X方向に、最小
単位が以下に示す距離でスライドさせることができる。 0.5mm×5゜÷300゜×tan3゜≒ 0.36μm 尚、基板2と板部材3の間にクランプ手段が介在され、
ネジ送り部材17の操作によって板部材3の基板2に対
して矢印X方向の位置が得られる、つまり矢印X方向の
心出しが得られると、その位置を保持されるように構成
されている。クランプ手段は、板部材3にネジ止め固定
されるブロック19と、基板2に形成され、ブロック1
9を収納する凹部20と、基板2に形成したメネジ孔2
1に螺合し、ブロック19に当接してブロック19の位
置を規制するオネジ棒22から主に構成されている。Therefore, when the operating member 5 is screwed in the direction of the arrow Y by operating the screw feed member 17, the substrate 2 and the plate member are increased by the product of the amount of the feed and the tangent of an angle of 3 °. 3 relatively slides in the direction of arrow X.
If one pitch of the screw feed member 17 is 0.5 mm, and the minimum angle at which most workers can surely rotate manually is 5 °, the plate member 3 is moved in the direction of arrow X with respect to the substrate 2 in the minimum direction. The unit can be slid at the distance shown below. 0.5 mm × 5 ゜ ÷ 300 ゜ × tan3 ゜ ≒ 0.36 μm A clamping means is interposed between the substrate 2 and the plate member 3.
When the position of the plate member 3 in the direction of the arrow X is obtained with respect to the substrate 2 by operating the screw feed member 17, that is, when the centering in the direction of the arrow X is obtained, the position is held. The clamping means is formed on the base plate 2 with a block 19 fixed to the plate member 3 by screws.
And a female screw hole 2 formed in the substrate 2.
1 and is mainly constituted by a male screw rod 22 that abuts on the block 19 and regulates the position of the block 19.
【0010】又、板部材3と板部材4の間にクロスロー
ラガイド23及び24が介在され、板部材4は板部材3
に対して、心出しすべき回転物保持体の軸線と直交し且
つ矢印X方向とも直交する方向である矢印Y方向にスラ
イド可能となっている。板部材3には、矢印X方向に延
びる凹部25及びこの凹部25に連通するメネジ通孔2
6が形成され、板部材4には、凹部25の対向部に矢印
X方向と3゜の角度を有して伸びる溝部27が形成され
ている。そうして、板部材3と板部材4の間に、凹部2
5及び溝部27に係合し矢印X方向にネジ送りされる作
動体6が介在されている。つまり、作動体6は、凹部2
5に嵌合し矢印X方向にスライド可能な基部28と、溝
部27に嵌合し矢印X方向に3゜の角度の方向にスライ
ド可能な凸部29が備えられ、メネジ通孔26に螺合す
るネジ送り部材30が挿通する通孔31が形成されてい
る。Further, cross roller guides 23 and 24 are interposed between the plate member 3 and the plate member 4, and the plate member 4 is
In contrast to this, it is slidable in an arrow Y direction which is a direction orthogonal to the axis of the rotating object holder to be centered and also orthogonal to the arrow X direction. The plate member 3 has a concave portion 25 extending in the arrow X direction and a female screw through hole 2 communicating with the concave portion 25.
6 is formed, and a groove 27 is formed in the plate member 4 so as to extend at an angle of 3 ° with respect to the arrow X direction at a portion facing the concave portion 25. Then, between the plate member 3 and the plate member 4,
An operating body 6, which engages with the groove 5 and the groove 27 and is screwed in the direction of the arrow X, is interposed. That is, the operating body 6 is
5 and a convex portion 29 that fits in the groove 27 and slides in a direction of an angle of 3 ° in the arrow X direction, and is screwed into the female screw through hole 26. A through hole 31 through which the screw feed member 30 is inserted is formed.
【0011】従って、ネジ送り部材30を操作して作動
体6を矢印Xの方向にネジ送りすると、その送り量と3
゜の角度の正接(tangent)との積だけ、板部材
3と板部材4が矢印Yの方向に相対移動する。ネジ送り
部材30の1ピッチが0.5mmの場合に、殆どの作業者
が手動で確実に回転できる最小の角度を5゜とすると、
板部材3に対して板部材4を矢印Y方向に、最小単位が
以下に示す距離でスライドさせることができる。 0.5mm×5゜÷360゜×tan3゜≒ 0.36μm 尚、板部材3と板部材4の間にクランプ手段が介在さ
れ、ネジ送り部材30の操作によって板部材4の板部材
3に対して矢印Y方向の位置が得られる、つまり矢印Y
方向の心出し得られると、その位置を保持されるように
構成されている。クランプ手段は、板部材4にネジ止め
固定されるブロック32と、板部材3に形成され、ブロ
ック32を収納する凹部33と、板部材3に形成したメ
ネジ孔34に螺合し、ブロック34に当接してブロック
32の位置を規制するネジ棒(図示省略)から主に構成
されている。Accordingly, when the screw 6 is fed in the direction of the arrow X by operating the screw feed member 30, the feed amount is
The plate member 3 and the plate member 4 relatively move in the direction of arrow Y by the product of the tangent of the angle ゜. If one pitch of the screw feed member 30 is 0.5 mm and the minimum angle at which most workers can surely rotate manually is 5 °,
The plate member 4 can be slid with respect to the plate member 3 in the direction indicated by the arrow Y at the minimum unit distance shown below. 0.5 mm × 5 ゜ ÷ 360 ゜ × tan3 ゜ ≒ 0.36 μm A clamping means is interposed between the plate member 3 and the plate member 4, and the screw feed member 30 operates the plate member 4 so that To obtain a position in the direction of arrow Y, ie, arrow Y
When the centering in the direction is obtained, the position is maintained. The clamping means is screwed into a block 32 fixed to the plate member 4 by screwing, a concave portion 33 formed in the plate member 3 for accommodating the block 32, and a female screw hole 34 formed in the plate member 3. It mainly consists of a screw rod (not shown) that abuts and regulates the position of the block 32.
【0012】回転物保持体の傾きを調整装置1におい
て、ホルダー7は、チャックやコレット等の回転物保持
体を保持するのである。ベース8は、ドーナツ板の外周
に軸方向に伸びるフランジ部35が形成されてなり、ホ
ルダー7と共に板部材4にビス止固定される構成になっ
ている。ベース8の板部材4側の面は、平らな面になっ
ている。ベース8の板部材4側と逆の面は、ホルダー7
の軸線を中心として凹面36に形成されている。互いに
対向するホルダー7とベース8の間には、6個のスペー
サ9が介在されている。スペーサ9は、同一円周上の定
位置に配置すると、スペーサ9のベース8と対向する面
が、ベース8の凹面36と対応する凸面37に形成され
ている。ホルダー7、及びスペーサ9のホルダー7と対
向する面は共に、平らに形成されている。In the apparatus 1 for adjusting the inclination of the rotating object holder, the holder 7 holds the rotating object holder such as a chuck or a collet. The base 8 is formed with a flange portion 35 extending in the axial direction on the outer periphery of the donut plate, and is configured to be screwed and fixed to the plate member 4 together with the holder 7. The surface of the base 8 on the plate member 4 side is a flat surface. The surface of the base 8 opposite to the plate member 4 side is the holder 7
Are formed on the concave surface 36 with the axis of the center as the center. Six spacers 9 are interposed between the holder 7 and the base 8 facing each other. When the spacer 9 is arranged at a fixed position on the same circumference, the surface of the spacer 9 facing the base 8 is formed as a convex surface 37 corresponding to the concave surface 36 of the base 8. Both surfaces of the holder 7 and the spacer 9 facing the holder 7 are formed flat.
【0013】スペーサ9は、同一円周上の定位置に配置
すると、それぞれ互いに独立してホルダー7の軸線に対
して半径方向へのネジ送りが可能に構成されている。つ
まり、各スペーサ9は、ホルダー7の軸線に対し半径方
向に進むメネジ部38が形成されると共に、ベース8の
フランジ部35に形成した孔39を係合された送りネジ
40がメネジ部38に螺合されている。回転物保持体の
傾き調節装置1は、上述したように構成されている。従
って、送りネジ40を回転操作すると、スペーサ9はベ
ース8の半径方向にネジ送りされて、スペーサ9がベー
ス8の凹面に沿って移動し、各スペーサ9を介在させて
いる部位のベース8とホルダー7との距離が変化する。
一平面は三点で決まることより、ホルダー7のベース8
に体する傾きは、ホルダー7とベース8に介在されたス
ペーサ9のうちより大きくホルダー7とベース8を離隔
させている少なくとも3個のスペーサ9によって決まる
平面の傾きを調節することで、つまりスペーサ9のホル
ダー7の軸線に対する送りの量を調節することでベース
8に対するホルダー7の傾きを調節することができる。When the spacers 9 are arranged at fixed positions on the same circumference, they can be screwed in the radial direction with respect to the axis of the holder 7 independently of each other. That is, each spacer 9 is formed with a female screw portion 38 which advances in the radial direction with respect to the axis of the holder 7, and the feed screw 40 engaged with the hole 39 formed in the flange portion 35 of the base 8 is formed in the female screw portion 38. It is screwed. The tilt adjusting device 1 for the rotating object holder is configured as described above. Therefore, when the feed screw 40 is rotated, the spacer 9 is screw-fed in the radial direction of the base 8, and the spacer 9 moves along the concave surface of the base 8, and the spacer 8 intersects the base 8 where the spacer 9 is interposed. The distance from the holder 7 changes.
Since one plane is determined by three points, the base 8 of the holder 7
Is adjusted by adjusting the inclination of a plane determined by at least three spacers 9 that separate the holder 7 and the base 8 out of the spacers 9 interposed between the holder 7 and the base 8. The inclination of the holder 7 with respect to the base 8 can be adjusted by adjusting the amount of feed of the holder 9 with respect to the axis.
【0014】二の発明である回転物保持体の傾き調節装
置1aは、図7に示すように、回転物保持体の傾き調節
装置1と主構成を同じくしている。回転物保持体の傾き
調節装置1aは、更に、ホルダー7aのベース8aに対
する傾きを検出し、その検出結果に基づきホルダー7a
の軸線が保持する回転物保持体の軸線と同じ向きとなる
ように6個のスペーサ9aを自動送りするための手段が
備えられている。つまり、回転物保持体の傾き調節装置
1aには、ベース8a側に対するホルダー7aの傾きを
検出する検出手段と、6個のスペーサ9aをホルダー7
aの軸線に対して半径方向に送る出力手段と、検出手段
からの信号に基づき、ベース8a側に対するホルダー7
aの軸線の傾きが所定方向に一致するように出力手段の
出力量を演算して制御する演算制御手段45aが備えら
れている。As shown in FIG. 7, the rotary adjusting device 1a of the rotating object holder according to the second invention has the same main configuration as the tilt adjusting device 1 of the rotating object holder. The tilt adjusting device 1a of the rotating object holder further detects the tilt of the holder 7a with respect to the base 8a, and based on the detection result, the holder 7a
There is provided means for automatically feeding the six spacers 9a such that the axis of the rotating object holder is oriented in the same direction as the axis of the rotating object holder. That is, the tilt adjusting device 1a for the rotating object holder includes a detecting means for detecting the tilt of the holder 7a with respect to the base 8a, and the six spacers 9a.
output means for sending radially with respect to the axis of a, and a holder 7 for the base 8a side based on a signal from the detecting means.
An operation control means 45a is provided for calculating and controlling the output amount of the output means so that the inclination of the axis of a coincides with the predetermined direction.
【0015】ベース8a側に対するホルダー7aの傾き
を検出する検出手段は、スペーサ9aと同様にホルダー
7aの軸線をほぼ中心とする一円上に配設され、ホルダ
ー7aの軸線に対する半径方向の変位を検出する6個の
変位検出器41aと、基板2aに固定されて変位検出器
41aを定位置に保持する保持金具42aから主に構成
されている。スペーサ9aをホルダー7aの軸線に対し
て半径方向に送る出力手段は、スペーサ9aに形成され
たメネジ部38aと、ベース8aのフランジ部35aに
挿通して回転可能で支持され、メネジ部38aに螺合す
る送りネジ40aと、回転力を出力するギヤードモータ
43aと、ギヤードモータ43aの出力軸と送りネジ4
0aを連結するジョイント44aから主に構成されてい
る。The detecting means for detecting the inclination of the holder 7a with respect to the base 8a is disposed on a circle substantially centered on the axis of the holder 7a similarly to the spacer 9a, and detects the displacement in the radial direction with respect to the axis of the holder 7a. It is mainly composed of six displacement detectors 41a to be detected, and a holding fixture 42a fixed to the substrate 2a and holding the displacement detectors 41a at fixed positions. Output means for sending the spacer 9a in the radial direction with respect to the axis of the holder 7a is rotatably supported by being inserted through a female screw portion 38a formed on the spacer 9a and a flange portion 35a of the base 8a. A feed screw 40a, a geared motor 43a that outputs a rotational force, an output shaft of the geared motor 43a, and a feed screw 4a.
It is mainly composed of a joint 44a for connecting Oa.
【0016】演算制御手段45aは、変位検出器41a
からの検出信号に基づき、つまり、6個の変位検出器4
1aの求める、ベース8a側である基板2aの特定の位
置からホルダー7a(実質的には、ホルダー7aの軸
線)までの6個の距離に基づいて、ベース8aに対する
ホルダー7aの傾きの方向及び程度を演算し、更に、こ
の傾きをホルダー7aの軸線のベース8a側に対する傾
きに変換する演算部(図示省略)が設けられている。演
算制御手段45aは、更に、前記演算部が、演算結果に
基づいて、ホルダー7aの軸線の傾きがベース8a側の
軸線傾きと一致するための各スペーサ9aの位置、つま
りギヤードモータ43a出力させるべき量を演算するも
のである。演算制御手段45aは、演算部からギヤード
モータ43aの出力させるべき量を受けて、ギヤードモ
ータ43aの出力を制御する制御部(図示省略)が設け
られている。The operation control means 45a includes a displacement detector 41a
, That is, six displacement detectors 4
The direction and degree of inclination of the holder 7a with respect to the base 8a based on the six distances from the specific position of the substrate 2a on the base 8a side to the holder 7a (substantially the axis of the holder 7a) determined by 1a. And an arithmetic unit (not shown) for converting the inclination into an inclination with respect to the base 8a side of the axis of the holder 7a. The arithmetic control unit 45a should further cause the arithmetic unit to output the position of each spacer 9a so that the inclination of the axis of the holder 7a matches the inclination of the axis of the base 8a, that is, the geared motor 43a, based on the operation result. Calculate the quantity. The arithmetic control unit 45a is provided with a control unit (not shown) for controlling the output of the geared motor 43a by receiving an amount to be output from the geared motor 43a from the arithmetic unit.
【0017】回転物保持体の傾き調節装置1aは、上述
したように構成されている。従って、ホルダー7aに回
転物保持体であるチャック(図示省略)を保持させた際
に、上記検出手段、出力手段及び演算制御手段45aを
作動させる。変位検出器41aはベース8a側である基
板2aに対して当接しているホルダー7aの各部位の位
置を検出して、その検出結果を演算制御手段45aに信
号で送る。演算制御手段45aの演算部は、この検出結
果に基づいてホルダー7aの軸線がベース8a側に対し
てどの方向にどれだけ傾いているかを演算する。続い
て、演算制御手段45aの制御部は、ホルダー7aの軸
線が本来あるべき方向、つまりホルダー7aの軸線がベ
ース8a側に対して直交の方向とさせるべき各スペーサ
9aの位置を得るように、ギヤードモータ43aの出力
を制御する。つまり、演算制御手段45aの制御部は、
スペーサ9のホルダー7の軸線に対する送りの量を調節
すべく、ギヤードモータ43aに制御信号を送る。The tilt adjusting device 1a for the rotating object holder is configured as described above. Therefore, when the holder 7a holds a chuck (not shown), which is a rotating object holder, the detection means, the output means, and the arithmetic control means 45a are operated. The displacement detector 41a detects the position of each part of the holder 7a which is in contact with the substrate 2a on the base 8a side, and sends the detection result to the arithmetic control means 45a by a signal. The calculation unit of the calculation control means 45a calculates the direction and how much the axis of the holder 7a is inclined with respect to the base 8a based on the detection result. Subsequently, the control unit of the arithmetic control unit 45a obtains the position of each spacer 9a in which the axis of the holder 7a should be in the original direction, that is, the axis of the holder 7a should be in the direction orthogonal to the base 8a side. The output of the geared motor 43a is controlled. That is, the control unit of the arithmetic control unit 45a
A control signal is sent to the geared motor 43a in order to adjust the amount of feed of the spacer 9 with respect to the axis of the holder 7.
【0018】出力手段は、演算制御手段45aの制御部
からの信号を受けて、信号の通りに出力を行う。つま
り、各ギヤードモータ43aが出力すると、それぞれ連
結されている送りネジ40aが回転し各スペーサ9aは
ホルダー7aの軸線に対して半径方向に送られて、結果
的にベース8aに対するホルダー7aの傾きが所望の傾
きとなり、よってホルダー7aの軸線はベース8a側に
対して直交の位置を得る。従って、各部材の仕上げの程
度によってホルダー7aの軸線がベース8a側に対して
直交の位置を得るのが難しいということもなく、しかも
ホルダー7aの軸線をベース8a側に対して直交の位置
にさせるのが簡便で短時間の内に行うことができる。回
転物保持体の傾き調節装置1及び1aは、ホルダー7及
び7aの安定性を得るために、ホルダー7とベース8の
間に6個のスペーサ9を、ホルダー7aとベース8aの
間に6個のスペーサ9aがそれぞれ介在されている。
が、一平面の傾きは三点で決まることより、スペーサ9
及び9aの数は、3個以上であればよい。The output means receives a signal from the control section of the arithmetic control means 45a and outputs it in accordance with the signal. That is, when each geared motor 43a outputs, the connected feed screw 40a rotates, and each spacer 9a is sent in the radial direction with respect to the axis of the holder 7a. As a result, the inclination of the holder 7a with respect to the base 8a is reduced. A desired inclination is obtained, so that the axis of the holder 7a obtains a position orthogonal to the base 8a side. Therefore, it is not difficult to obtain a position where the axis of the holder 7a is orthogonal to the base 8a side depending on the degree of finishing of each member, and the axis of the holder 7a is set to a position orthogonal to the base 8a side. This is simple and can be performed within a short time. In order to obtain the stability of the holders 7 and 7a, the tilt adjusting devices 1 and 1a for the rotating object holder have six spacers 9 between the holder 7 and the base 8 and six spacers 9 between the holder 7a and the base 8a. Are interposed.
However, since the inclination of one plane is determined by three points, the spacer 9
And 9a may be three or more.
【0019】回転物保持体の傾き調節装置1及び1aで
はそれぞれ、ベース8とスペーサ9の間及びベース8a
とスペーサ9aの間に凹凸係合が介在されている。が、
凹凸係合はホルダー7とスペーサ9の間及びホルダー7
aとスペーサ9aの間に介在されていてもよい。スペー
サ9及び9aの凸面の程度、及び送りネジ40及び40
aのピッチは、制御の精度に合わせて適宜選択するのが
望ましい。スペーサと、ホルダー又は/及びベースとの
凹凸係合は、一方が凹面であって他方が凸面であればよ
い。In the inclination adjusting devices 1 and 1a for the rotating object holder, the inclination adjusting devices 1 and 1a are provided between the base 8 and the spacer 9 and the base 8a, respectively.
An uneven engagement is interposed between the spacer and the spacer 9a. But,
The concave and convex engagement is between the holder 7 and the spacer 9 and between the holder 7 and the spacer 7.
a and the spacer 9a. The degree of convexity of the spacers 9 and 9a, and the feed screws 40 and 40
It is desirable that the pitch a is appropriately selected according to the control accuracy. As for the concave and convex engagement between the spacer and the holder or / and the base, one may be a concave surface and the other may be a convex surface.
【0020】[0020]
【発明の効果】一の発明は、ベースと、回転物保持体を
保持するホルダーとの間に、ホルダーの軸線に対して半
径方向に送りすることによってベース側に対するホルダ
ーの傾きを調節するための複数個のスペーサを介在させ
たことにより、構成部材の加工や組立、特に表面仕上げ
の加工を簡便に済すことができ、従って製造コストが安
く、又、ベース側に対するホルダーの傾きの再調節が簡
便な回転物保持体の傾き調節装置である。二の発明は、
上記一の発明に加えて、ベース側に対するホルダーの傾
きを所望の傾きとする際に、その傾きを決めるスペーサ
の位置までの送りを自動としたこにより、ベース側に対
するホルダーの傾きを所望の傾きにする作業が簡便で極
めて短い時間で行い得る回転物保持体の傾き調節装置で
ある。One aspect of the present invention is to adjust the inclination of the holder with respect to the base side by feeding the base in a radial direction with respect to the axis of the holder between the base and the holder holding the rotating object holder. The interposition of a plurality of spacers simplifies the processing and assembly of the components, especially the processing of the surface finish, thus reducing the manufacturing cost and also re-adjusting the inclination of the holder with respect to the base. This is a simple device for adjusting the inclination of the rotating object holder. The second invention is
In addition to the above invention, when the inclination of the holder with respect to the base side is set to a desired inclination, the feed to the position of the spacer that determines the inclination is automatically performed, so that the inclination of the holder with respect to the base side is set to the desired inclination. This is a device for adjusting the inclination of the rotating object holder that can be performed easily and in a very short time.
【図1】一の発明の一実施例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing one embodiment of one invention.
【図2】図1に示す実施例の要部分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view of a main part of the embodiment shown in FIG.
【図3】図1に示す実施例の要部分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view of a main part of the embodiment shown in FIG. 1;
【図4】図1に示す実施例の要部分解斜視図である。FIG. 4 is an exploded perspective view of a main part of the embodiment shown in FIG. 1;
【図5】図1に示す実施例のI−I断面図である。FIG. 5 is a sectional view taken along line II of the embodiment shown in FIG. 1;
【図6】図1に示す実施例のII−II断面図である。FIG. 6 is a sectional view taken along line II-II of the embodiment shown in FIG.
【図7】二の発明の一実施例を示す、図5相当図であ
る。FIG. 7 is a diagram corresponding to FIG. 5, showing an embodiment of the second invention.
1,1a …… 回転物保持体の傾き調節
装置 2,2a …… 基板 3,3a,4,4a …… 板部材 5,5a,6 …… 作動体 7,7a …… ホルダー 8,8a …… ベース 9,9a …… スペーサ 35,35a …… フランジ部 36 …… 凹面 37 …… 凸面 38,38a …… メネジ部 40,40a …… 送りネジ 41a …… 変位検出器(検出手段) 43a …… ギヤードモータ(出力手
段) 45a …… 演算制御手段1, 1a ... Rotary object holder tilt adjusting device 2, 2a ... Board 3, 3a, 4, 4a ... Plate member 5, 5a, 6 ... Operating body 7, 7a ... Holder 8, 8a ... Base 9, 9a ... Spacer 35, 35a ... Flange 36 ... Concave surface 37 ... Convex surface 38, 38a ... Female thread 40, 40a ... Feed screw 41a ... Displacement detector (detection means) 43a ... Geared Motor (output means) 45a Calculation control means
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B23Q 1/00 - 1/76 B23B 31/36 G01B 5/00 G01B 21/00 G12B 5/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Fields surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) B23Q 1/00-1/76 B23B 31/36 G01B 5/00 G01B 21/00 G12B 5/00
Claims (2)
れ、回転物保持体を保持するホルダーと、前記ベースと
ホルダーの間に介在され、該ベースとホルダーとの間隔
を一定に保つためのスペーサと、を備えた回転物保持体
の傾き調節装置において、 前記ホルダ及び/又はベースのスペーサとの係合面を、
ホルダー軸線を中心とする凹面又は凸面に形成し、 前記スペーサは、前記ホルダ及び/又はベースとの係合
面に、該ホルダ及び/又はベースの凹面又は凸面に対応
する凸面又は凹面が形成され、かつ前記ベースのスペー
サとの係合部と前記ホルダのスペーサとの係合部の間
に、前記スペーサの各対応係合部を直接当接させた状態
で離隔配置され、それぞれ独立してホルダーの軸線に対
し半径方向に摺動する複数個のスペーサであり、 前記各スペーサをそれぞれ独立してホルダーの軸線に対
し半径方向に摺動させ、該各スペーサの半径方向の送り
位置を調節することにより、ベースに対するホルダの軸
線の傾きを所定方向に調節することを特徴とする 回転物
保持体の傾き調節装置。1. A base,SaidArranged opposite the base
A holder for holding the rotating object holder,SaidBase and
Interposed between the holders,Distance between the base and holder
And a spacer for keeping the rotation constant
In the tilt adjustment device of An engagement surface of the holder and / or the base with the spacer,
Formed on a concave or convex surface centered on the holder axis, The spacer engages with the holder and / or the base
Corresponding to the concave or convex surface of the holder and / or base
Convex or concave surface is formed, and the base has a space.
Between the engaging portion with the spacer and the engaging portion with the spacer of the holder.
And the corresponding engagement portions of the spacer are brought into direct contact with each other.
At a distance from each other and independently of the axis of the holder.
A plurality of spacers that slide in the radial direction, Each of the spacers is independently aligned with the axis of the holder.
And slide in the radial direction to feed each spacer in the radial direction.
By adjusting the position, the axis of the holder with respect to the base
Adjusting the inclination of the line in a predetermined direction Rotating object
Holder tilt adjustment device.
装置において、 実質的に前記ベースに固定され、前記ベースに対するホ
ルダの軸線 の傾きを検出する検出手段と、前記各スペーサをそれぞれ独立して 前記半径方向に送る
出力手段と、 前記検出手段からのホルダの傾き情報に基づき、ベース
に対するホルダーの軸線の傾きが所定方向に一致するよ
うに前記出力手段の出力量を演算して制御する演算制御
手段と、 を備えたことを特徴とする 回転物保持体の傾き調節装
置。(2)The tilt adjustment of the rotating object holder according to claim 1.
In the device, Substantially fixed to the base, and
Ruda's axis Detecting means for detecting the inclination ofEach of the spacers is independently Send in the radial direction
Output means; andHolder tilt informationBased onS
ToThe inclination of the axis of the holder with respect to
Sea urchinSaidCalculation control for calculating and controlling the output amount of the output means
meansWhen, Characterized by having Tilt adjustment device for rotating object holder
Place.
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP22218892A JP3290470B2 (en) | 1992-07-29 | 1992-07-29 | Tilt adjustment device for rotating object holder |
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---|---|
JPH0647639A JPH0647639A (en) | 1994-02-22 |
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---|---|---|---|---|
JP4888858B2 (en) * | 2006-03-30 | 2012-02-29 | 国立大学法人広島大学 | Tool holder tilt detection method and tilt detection apparatus for machine tools |
DE202006017178U1 (en) * | 2006-11-10 | 2007-01-25 | Thielenhaus Technologies Gmbh | Tool carriage arrangement for a machine tool for machining workpieces comprises a support connected to a base plate by a bearing to pivot the support about a pivoting axis orthogonal to the carriage axis |
JP7160619B2 (en) * | 2018-10-10 | 2022-10-25 | ファナック株式会社 | Accuracy adjustment device, accuracy adjustment method and accuracy adjustment program |
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1992
- 1992-07-29 JP JP22218892A patent/JP3290470B2/en not_active Expired - Fee Related
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