JP3290299B2 - Fluid flow meter - Google Patents

Fluid flow meter

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JP3290299B2
JP3290299B2 JP13629894A JP13629894A JP3290299B2 JP 3290299 B2 JP3290299 B2 JP 3290299B2 JP 13629894 A JP13629894 A JP 13629894A JP 13629894 A JP13629894 A JP 13629894A JP 3290299 B2 JP3290299 B2 JP 3290299B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ガスメータ等に利用さ
れるフルイディック流量計に係り、特に流体に含まれる
ダストやミストが圧力検出のための導圧孔に付着するこ
とを防止する手段を有するフルイディック流量計に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fluid flow meter used for a gas meter or the like, and more particularly to a means for preventing dust and mist contained in a fluid from adhering to a pressure guiding hole for detecting pressure. And a fluidic flow meter having the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】フルイディック流量計は、噴流を発生さ
せるノズルの下流側に、一対の側壁によって流路拡大部
を形成すると共に、側壁の外側に設けられたリターンガ
イドによって、ノズルを通過した流体を各側壁の外側に
沿ってノズルの噴出口側へ導く一対のフィードバック流
路を形成し、ノズルを通過した流体が一対のフィードバ
ック流路を交互に流れる現象を利用し、ノズルを通過し
た流体の流れる方向の切り替わりの周波数に基づいて流
体の流量を計量するものである。
2. Description of the Related Art In a fluidic flow meter, a flow path enlarged portion is formed by a pair of side walls on a downstream side of a nozzle for generating a jet flow, and a fluid passing through the nozzle is formed by a return guide provided outside the side walls. Of the fluid passing through the nozzle by utilizing a phenomenon in which the fluid passing through the nozzle alternately flows through the pair of feedback channels. The flow rate of the fluid is measured based on the frequency of the switching of the flowing direction.

【0003】ここで、図5を参照して、ガスメータとし
て利用されるフルイディック流量計の一例について説明
する。このフルイディック流量計は、気体(ガス)を受
け入れる入口部111と気体を排出する出口部112と
を有する本体110を備えている。本体110内には隔
壁113が設けられ、この隔壁113と入口部111と
の間に第1の気体流路114が形成され、隔壁113と
出口部112との間に第2の気体流路115が形成され
ている。隔壁113には開口部116が設けられ、第1
の気体流路114内には、開口部116を閉塞可能な遮
断弁117が設けられている。また、本体110の外側
にはソレノイド118が固定され、このソレノイド11
8のプランジャ119が、本体110の側壁を貫通して
遮断弁117に接合されている。また、遮断弁117と
本体110との間におけるプランジャ119の周囲には
ばね120が設けられ、このばね120が遮断弁117
を開口部116側へ付勢している。
Here, an example of a fluidic flow meter used as a gas meter will be described with reference to FIG. The fluidic flow meter includes a main body 110 having an inlet 111 for receiving gas (gas) and an outlet 112 for discharging gas. A partition 113 is provided in the main body 110, a first gas channel 114 is formed between the partition 113 and the inlet 111, and a second gas channel 115 is formed between the partition 113 and the outlet 112. Are formed. An opening 116 is provided in the partition 113 and the first
A shutoff valve 117 capable of closing the opening 116 is provided in the gas flow path 114. A solenoid 118 is fixed to the outside of the main body 110.
Eight plungers 119 are connected to the shutoff valve 117 through the side wall of the main body 110. A spring 120 is provided around the plunger 119 between the shut-off valve 117 and the main body 110, and the spring 120 is connected to the shut-off valve 117.
Is urged toward the opening 116 side.

【0004】第2の気体流路115内には、入口部11
1から受け入れた気体を通過させて噴流を発生させるノ
ズル121が設けられている。このノズル121の上流
側には気体の流れを整えるための整流部材122が設け
られている。ノズル121の下流側には、拡大された流
路を形成する一対の側壁123、124が設けられてい
る。この側壁123、124の間には、所定の間隔を開
けて、上流側に第1ターゲット125、下流側に第2タ
ーゲット126がそれぞれ配設されている。また、側壁
123、124の外側には、ノズル121を通過した気
体を各側壁123、124の外周部に沿ってノズル12
1の噴出口側へ帰還させる一対のフィードバック流路1
27、128を形成するリターンガイド129が配設さ
れている。また、フィードバック流路127、128の
各出口部分と出口部112との間には、リターンガイド
129の背面と本体110とによって、一対の排出路1
31、132が形成されている。また、ノズル121の
噴出口の近傍には、ノズル121を通過した気体の流れ
る方向の切り替わりを検出するための差圧センサに通じ
る導圧孔133、134が設けられている。
The second gas flow path 115 has an inlet 11
There is provided a nozzle 121 for generating a jet by passing the gas received from the nozzle 1. A rectifying member 122 for adjusting the flow of gas is provided upstream of the nozzle 121. Downstream of the nozzle 121, a pair of side walls 123 and 124 that form an enlarged flow path are provided. A first target 125 is disposed on the upstream side and a second target 126 is disposed on the downstream side at predetermined intervals between the side walls 123 and 124. In addition, outside the side walls 123 and 124, the gas that has passed through the nozzle 121 is applied to the nozzle 12 along the outer periphery of each side wall 123 and 124.
A pair of feedback channels 1 that return to the ejection port side 1
A return guide 129 forming the parts 27 and 128 is provided. In addition, between the outlets of the feedback channels 127 and 128 and the outlet 112, a pair of discharge channels 1 is provided by the back surface of the return guide 129 and the main body 110.
31 and 132 are formed. In the vicinity of the ejection port of the nozzle 121, pressure guiding holes 133 and 134 are provided to communicate with a differential pressure sensor for detecting a change in the direction of flow of the gas passing through the nozzle 121.

【0005】図6は図5に示すフルイディック流量計の
ノズル121の噴出口近傍を示す斜視図である。この図
に示すように、導圧孔133、134は、ノズル121
を通過する気体の進行方向に平行な本体110の底部に
設けられている。この導圧孔133、134は、本体1
10の底部の外側に設けられた図示しない差圧センサに
接続されている。そして、この差圧センサによって、ノ
ズル121を通過した気体の流れる方向の切り替わりを
検出するようになっている。なお、図中、符号138は
気体の流れの方向を示している。
FIG. 6 is a perspective view showing the vicinity of the nozzle 121 of the fluidic flow meter shown in FIG. As shown in this figure, the pressure guiding holes 133 and 134 are
Is provided at the bottom of the main body 110 parallel to the direction of travel of the gas passing therethrough. The pressure guiding holes 133 and 134 are
10 is connected to a differential pressure sensor (not shown) provided outside the bottom portion. The differential pressure sensor detects a change in the direction in which the gas flowing through the nozzle 121 flows. In the drawing, reference numeral 138 indicates the direction of gas flow.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図5に
示すようなフルイディック流量計をガスメータとして用
いた場合、供給ガスに含まれるダストやミストが導圧孔
133、134に付着し、導圧孔133、134が塞が
って正確な流量を計測できなくなる場合があるという問
題点があった。
However, when a fluidic flow meter as shown in FIG. 5 is used as a gas meter, dust or mist contained in the supplied gas adheres to the pressure guiding holes 133 and 134, and There is a problem that the flow rate cannot be measured accurately due to the blocks 133 and 134 being blocked.

【0007】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、流体に含まれるダストやミストが圧
力検出のための導圧孔に付着することを防止できるよう
にしたフルイディック流量計を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to provide a fluid flow rate capable of preventing dust and mist contained in a fluid from adhering to a pressure guiding hole for detecting pressure. To provide a total.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】請求項1記載のフルイデ
ィック流量計は、流体を受け入れる入口部と、入口部か
ら受け入れた流体を通過させて噴出口より噴流を発生さ
せるノズルと、このノズルの下流側に設けられ、拡大さ
れた流路を形成する一対の側壁と、この側壁の外側に設
けられ、ノズルを通過した流体を各側壁の外側に沿って
ノズルの噴出口側へ帰還させる一対のフィードバック流
路を形成するリターンガイドと、フィードバック流路を
通過した流体を排出する出口部と、ノズルの噴出口の近
傍において、この噴出口を形成する壁面に設けられた導
圧孔と、この導圧孔に接続され、ノズルを通過した流体
の流れる方向の切り替わりを検出するための圧力センサ
とを備えたものである。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a fluidic flow meter, comprising: an inlet for receiving a fluid; a nozzle for passing a fluid received from the inlet to generate a jet from an outlet; A pair of side walls provided on the downstream side and forming an enlarged flow path, and a pair of side walls provided outside the side walls and returning the fluid passing through the nozzle to the nozzle outlet side along the outside of each side wall. A return guide for forming a feedback flow path, an outlet for discharging the fluid that has passed through the feedback flow path, a pressure guide hole provided in a wall forming the jet port in the vicinity of the jet port of the nozzle; And a pressure sensor connected to the pressure hole for detecting a change in the direction in which the fluid flows through the nozzle.

【0009】このフルイディック流量計では、ノズルを
通過した流体は一対のフィードバック流路を交互に流れ
る。圧力センサは、導圧孔を介して、流体の流れる方向
の切り替わりに伴う圧力の変化を検出する。また、導圧
孔が、ノズルの噴出口を形成する壁面に設けられている
ことから、流体に含まれるダストやミストが導圧孔に付
着し難くなる。
In this fluidic flow meter, the fluid that has passed through the nozzle flows alternately through a pair of feedback channels. The pressure sensor detects a change in pressure due to switching of a flowing direction of the fluid via the pressure guiding hole. Further, since the pressure guiding hole is provided on the wall surface forming the ejection port of the nozzle, dust and mist contained in the fluid are less likely to adhere to the pressure guiding hole.

【0010】請求項2記載のフルイディック流量計は、
請求項1記載のフルイディック流量計において、噴出口
が下側になるようにノズルが配置され、導圧孔が下側に
向いているものである。
[0010] The fluidic flow meter according to claim 2 is
2. The fluidic flowmeter according to claim 1, wherein the nozzle is arranged so that the ejection port is on the lower side, and the pressure guiding hole faces downward.

【0011】このフルイディック流量計では、導圧孔が
下側に向いていることから、例えダストやミストが導圧
孔に付着しても自重で落下して、導圧孔が塞がることが
防止される。
In this fluidic flow meter, since the pressure-guiding hole is directed downward, even if dust or mist adheres to the pressure-guiding hole, it does not fall under its own weight and block the pressure-guiding hole. Is done.

【0012】[0012]

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0013】図1は本発明の一実施例に係るフルイディ
ック流量計の構成を示す断面図である。なお、本実施例
は、ガスメータとして使用するフルイディック流量計の
例である。図1に示すように、本実施例のフルイディッ
ク流量計は、気体(ガス)を受け入れる入口部11と気
体を排出する出口部12とを有する本体10を備えてい
る。本体10内には隔壁13が設けられ、この隔壁13
と入口部11との間に第1の気体流路14が形成され、
隔壁13と出口部12との間に第2の気体流路15が形
成されている。隔壁13には開口部16が設けられ、第
1の気体流路14内には、開口部16を閉塞可能な遮断
弁17が設けられている。また、本体10の外側にはソ
レノイド18が固定され、このソレノイド18のプラン
ジャ19が、本体10の側壁を貫通して遮断弁17に接
合されている。また、遮断弁17と本体10との間にお
けるプランジャ19の周囲には、ばね20が設けられ、
このばね20が遮断弁17を開口部16側へ付勢してい
る。
FIG. 1 is a sectional view showing the configuration of a fluidic flow meter according to one embodiment of the present invention. The present embodiment is an example of a fluidic flow meter used as a gas meter. As shown in FIG. 1, the fluidic flow meter of the present embodiment includes a main body 10 having an inlet 11 for receiving gas (gas) and an outlet 12 for discharging gas. A partition 13 is provided in the main body 10.
A first gas flow path 14 is formed between
A second gas passage 15 is formed between the partition 13 and the outlet 12. An opening 16 is provided in the partition 13, and a shutoff valve 17 capable of closing the opening 16 is provided in the first gas flow path 14. A solenoid 18 is fixed to the outside of the main body 10, and a plunger 19 of the solenoid 18 penetrates a side wall of the main body 10 and is joined to the shutoff valve 17. A spring 20 is provided around the plunger 19 between the shut-off valve 17 and the main body 10.
The spring 20 urges the shutoff valve 17 toward the opening 16.

【0014】第2の気体流路15内には、入口部11か
ら受け入れた気体を通過させて噴流を発生させるノズル
21が設けられている。このノズル21の上流側には気
体の流れを整えるための整流部材22が設けられてい
る。ノズル21の下流側には、拡大された流路を形成す
る一対の側壁23、24が設けられている。この側壁2
3、24の間には、所定の間隔を開けて、上流側に第1
ターゲット25、下流側に第2ターゲット26がそれぞ
れ配設されている。また、側壁23、24の外側には、
ノズル21を通過した気体を各側壁23、24の外周部
に沿ってノズル21の噴出口側へ帰還させる一対のフィ
ードバック流路27、28を形成するリターンガイド2
9が配設されている。また、フィードバック流路27、
28の各出口部分と出口部12との間には、リターンガ
イド29の背面と本体10とによって、一対の排出路3
1、32が形成されている。
In the second gas passage 15, there is provided a nozzle 21 for passing the gas received from the inlet 11 to generate a jet. A rectifying member 22 for regulating the flow of gas is provided upstream of the nozzle 21. Downstream of the nozzle 21, a pair of side walls 23 and 24 that form an enlarged flow path are provided. This side wall 2
A predetermined interval is left between 3, 24, and the first
A target 25 and a second target 26 are provided on the downstream side, respectively. In addition, outside the side walls 23 and 24,
A return guide 2 that forms a pair of feedback channels 27 and 28 that return the gas that has passed through the nozzle 21 to the ejection port side of the nozzle 21 along the outer peripheral portions of the side walls 23 and 24.
9 are provided. Also, the feedback channel 27,
28, a pair of discharge paths 3 is provided between the outlet portion 12 and the outlet portion 12 by the back surface of the return guide 29 and the main body 10.
1, 32 are formed.

【0015】図2は図1に示すフルイディック流量計の
ノズル21の噴出口近傍を示す斜視図である。この図に
示すように、ノズル21は、フルイディック流量計の厚
み方向に延びる縦長の噴出口21aを有している。この
噴出口21aの近傍において、この噴出口21aを形成
する一対の壁面21b、21cには、一対の導圧孔3
3、34が設けられている。また、図1に示すように、
ノズル21を構成する本体10内には、導圧孔33、3
4に連通する導圧通路35、36が設けられている。な
お、図2において、符号38は気体の流れの方向を示し
ている。
FIG. 2 is a perspective view showing the vicinity of the ejection port of the nozzle 21 of the fluidic flow meter shown in FIG. As shown in this figure, the nozzle 21 has a vertically long ejection port 21a extending in the thickness direction of the fluidic flow meter. In the vicinity of the jet port 21a, a pair of pressure guiding holes 3 are formed on a pair of wall surfaces 21b and 21c forming the jet port 21a.
3 and 34 are provided. Also, as shown in FIG.
In the main body 10 constituting the nozzle 21, pressure guiding holes 33, 3 are provided.
4 are provided with pressure guiding passages 35 and 36. In FIG. 2, reference numeral 38 indicates the direction of gas flow.

【0016】図3は導圧孔33と導圧通路35を含むノ
ズル21の断面を示す断面図である。この図に示すよう
に、ノズル21を形成する本体10は、入口部11およ
び出口部12を除いて上面が開放された枠体10aと、
この枠体10aの上面を覆う蓋体10bとで構成されて
いる。ノズル21の下側における枠体10aの下部に
は、圧力センサとして、圧電膜等を用いて差圧を検出す
る差圧センサ37が取り付けられている。導圧通路3
5、36は、この差圧センサ37の各圧力導入口に接続
されている。そして、この差圧センサ37によって、導
圧孔33と導圧孔34における差圧を検出して、この差
圧の変化に基づいて流体の流れる方向の切り替わりを検
出するようになっている。
FIG. 3 is a sectional view showing a section of the nozzle 21 including the pressure guiding hole 33 and the pressure guiding passage 35. As shown in this figure, the main body 10 forming the nozzle 21 includes a frame 10a having an open top except for an inlet 11 and an outlet 12,
And a lid 10b that covers the upper surface of the frame 10a. A differential pressure sensor 37 that detects a differential pressure using a piezoelectric film or the like is attached as a pressure sensor below the frame 10 a below the nozzle 21. Pressure guiding passage 3
Reference numerals 5 and 36 are connected to the respective pressure introduction ports of the differential pressure sensor 37. The differential pressure sensor 37 detects a differential pressure between the pressure guiding holes 33 and 34, and detects a change in the direction of fluid flow based on a change in the differential pressure.

【0017】また、本実施例のフルイディック流量計
は、図1に示す通りに、入口部11および出口部12が
下側となるように設置されるようになっている。従っ
て、ノズル21は噴出口21aが下側になるように配置
され、導圧孔33、34は下側に向いている。
Further, the fluidic flow meter according to the present embodiment is installed such that the inlet 11 and the outlet 12 are on the lower side as shown in FIG. Therefore, the nozzle 21 is disposed so that the ejection port 21a is on the lower side, and the pressure guiding holes 33 and 34 face downward.

【0018】図4は本実施例のフルイディック流量計の
回路部分の構成を示すブロック図である。この図に示す
ように、フルイディック流量計は、差圧センサ37の出
力信号を入力とし、この入力信号を基に流量を演算する
流量演算部41と、この流量演算部41によって演算さ
れた流量を表示する表示部42と、流量演算部41によ
って制御され、ソレノイド18を駆動するソレノイド駆
動回路43とを備えている。流量演算部41は、例えば
差圧センサ37の出力を“+1”、“0”に2値化し
て、“+1”と“0”のパルスを生成し、単位時間当た
りのパルスの数をカウントして、ノズル21を通過した
気体の流れる方向の切り替わりの周波数を求め、この周
波数を流量に換算する。また、本実施例のフルイディッ
ク流量計は、ガスメータとして使用した場合における安
全機能として、例えば、流量演算部41が所定量以上の
流量を検出した場合や所定の流量を所定時間以上検出し
た場合等に、ソレノイド駆動回路43を動作させてソレ
ノイド18を動作させ、弁17によって開口部16を閉
塞してガスを遮断するようになっている。なお、流量演
算部41は、例えばマイクロコンピュータによって実現
される。
FIG. 4 is a block diagram showing the configuration of the circuit portion of the fluidic flow meter of the present embodiment. As shown in the figure, the fluidic flow meter receives an output signal of the differential pressure sensor 37 as an input, and calculates a flow rate based on the input signal, and a flow rate calculated by the flow rate calculating section 41. And a solenoid drive circuit 43 that is controlled by the flow rate calculator 41 and drives the solenoid 18. The flow rate calculator 41 binarizes the output of the differential pressure sensor 37 into “+1” and “0”, generates “+1” and “0” pulses, and counts the number of pulses per unit time. Thus, the switching frequency of the direction in which the gas flowing through the nozzle 21 flows is obtained, and this frequency is converted into a flow rate. The fluidic flow meter according to the present embodiment has a safety function when used as a gas meter, for example, when the flow rate calculation unit 41 detects a flow rate equal to or more than a predetermined amount, or when the flow rate detection unit detects a predetermined flow amount for a predetermined time or more. Then, the solenoid drive circuit 43 is operated to operate the solenoid 18, and the valve 17 closes the opening 16 to shut off gas. The flow rate calculation unit 41 is realized by, for example, a microcomputer.

【0019】次に、本実施例のフルイディック流量計の
作用について説明する。
Next, the operation of the fluidic flow meter of this embodiment will be described.

【0020】フルイディック流量計の入口部11から受
け入れられた気体は、第1の気体流路14、開口部1
6、第2の気体流路15、整流部材22を順に経て、ノ
ズル21に入る。
The gas received from the inlet 11 of the fluidic flow meter passes through the first gas passage 14 and the opening 1.
6, the gas enters the nozzle 21 through the second gas flow path 15 and the flow regulating member 22 in this order.

【0021】ノズル21を通過した気体は、噴流となっ
て噴出口21aより噴出される。噴出口21aより噴出
された気体は、コアンダ効果により一方の側壁に沿って
流れる。ここでは、まず側壁23に沿って流れるものと
する。側壁23に沿って流れた気体は、更にフィードバ
ック流路27を経て、ノズル21の噴出口側へ帰還さ
れ、排出路31を経て出口部12より排出される。この
とき、ノズル21より噴出された気体は、フィードバッ
ク流路27を流れてきた気体によって方向が変えられ、
今度は他方の側壁24に沿って流れるようになる。この
気体は、更にフィードバック流路28を経て、ノズル2
1の噴出口側へ帰還され、排出路32を経て出口部12
より排出される。すると、ノズル21より噴出された気
体は、今度は、フィードバック流路28を流れてきた気
体によって方向が変えられ、再び側壁23、フィードバ
ック流路27に沿って流れるようになる。以上の動作を
繰り返すことにより、ノズル21を通過した気体は一対
のフィードバック流路27、28を交互に流れる。この
気体の流れる方向の切り替わりの周波数は流量と対応関
係がある。ノズル21を通過した気体の流れる方向の切
り替わりの周波数は、差圧センサ37の出力に基づいて
流量演算部41によって求められる。流量演算部41
は、求めた周波数より流量を演算し、表示部42に表示
する。また、流量演算部41は、所定量以上の流量を検
出した場合や所定の流量を所定時間以上検出した場合等
に、ソレノイド駆動回路43を動作させてソレノイド1
8を動作させ、弁17によって開口部16を閉塞し、フ
ルイディック流量計の下流側への気体(ガス)の供給を
停止する。
The gas that has passed through the nozzle 21 is jetted out of the jet port 21a as a jet. The gas ejected from the ejection port 21a flows along one side wall due to the Coanda effect. Here, it is assumed that the flow first flows along the side wall 23. The gas flowing along the side wall 23 is further returned to the ejection port side of the nozzle 21 through the feedback channel 27 and discharged from the outlet section 12 through the discharge path 31. At this time, the direction of the gas ejected from the nozzle 21 is changed by the gas flowing through the feedback flow path 27,
This time it will flow along the other side wall 24. This gas is further passed through the feedback passage 28 to the nozzle 2.
1 is returned to the ejection port side, and the outlet 12
Is more exhausted. Then, the direction of the gas ejected from the nozzle 21 is changed by the gas flowing through the feedback flow path 28, and flows again along the side wall 23 and the feedback flow path 27. By repeating the above operation, the gas that has passed through the nozzle 21 flows alternately through the pair of feedback channels 27 and 28. The switching frequency of this gas flow direction has a correspondence with the flow rate. The frequency at which the direction of flow of the gas passing through the nozzle 21 is switched is determined by the flow rate calculation unit 41 based on the output of the differential pressure sensor 37. Flow rate calculator 41
Calculates the flow rate from the obtained frequency and displays it on the display unit 42. The flow rate calculation unit 41 operates the solenoid drive circuit 43 to detect the flow rate of a predetermined amount or more, or to detect the predetermined flow amount for a predetermined time or more.
8 is operated, the opening 16 is closed by the valve 17, and the supply of gas (gas) to the downstream side of the fluidic flow meter is stopped.

【0022】なお、第1ターゲット25および第2ター
ゲット26は、ノズル21を通過した気体の流れる方向
の切り替えを安定に行わせる作用がある。
The first target 25 and the second target 26 have an effect of stably switching the flow direction of the gas passing through the nozzle 21.

【0023】ところで、本実施例では、導圧孔33、3
4を、ノズル21の噴出口21aの近傍において、この
噴出口21aを形成する一対の壁面21b、21cに設
けている。従って、導圧孔33、34が噴出口21aの
前方にないことから、気体に含まれるダストやミストが
導圧孔33、34に付着し難い。更に、本実施例では、
噴出口21aが下側になるようにノズル21が配置さ
れ、導圧孔33、34が下側に向いていることから、例
えダストやミストが導圧孔33、34に付着しても自重
で落下して、導圧孔33、34が塞がることが防止され
る。従って、本実施例によれば、正確な流量の測定が可
能となる。
In this embodiment, the pressure guiding holes 33, 3
4 is provided on a pair of wall surfaces 21b and 21c forming the ejection port 21a in the vicinity of the ejection port 21a of the nozzle 21. Therefore, since the pressure guiding holes 33 and 34 are not in front of the ejection port 21a, dust and mist contained in the gas hardly adhere to the pressure guiding holes 33 and 34. Further, in this embodiment,
The nozzle 21 is arranged so that the ejection port 21a is on the lower side, and the pressure guiding holes 33 and 34 are directed downward, so that even if dust or mist adheres to the pressure guiding holes 33 or 34, the nozzle 21 is under its own weight. The pressure guiding holes 33 and 34 are prevented from falling and being blocked. Therefore, according to the present embodiment, it is possible to measure the flow rate accurately.

【0024】なお、導圧孔33、34の位置は、噴出口
21aの近傍において、この噴出口21aを形成する一
対の壁面21b、21cであれば、噴出口21aの長手
方向の任意の位置で良い。また、導圧孔33、34は、
一対ではなく複数対設けても良い。
The pressure guiding holes 33 and 34 may be located at any position in the longitudinal direction of the jet port 21a if the pair of wall surfaces 21b and 21c forming the jet port 21a is near the jet port 21a. good. The pressure guiding holes 33 and 34 are
A plurality of pairs may be provided instead of a pair.

【0025】また、差圧センサ37の代わりに、各導圧
通路35、36に接続された2つの圧力センサを設け、
この2つの圧力センサの出力から流量を演算するように
しても良い。
Further, instead of the differential pressure sensor 37, two pressure sensors connected to the pressure guiding passages 35 and 36 are provided,
The flow rate may be calculated from the outputs of the two pressure sensors.

【0026】また、上記実施例ではガス等の気体の流量
を計量するフルイディック流量計について説明したが、
本発明のフルイディック流量計は、気体のみならず液体
の流量を計量する流量計としても利用することができ
る。
In the above embodiment, the fluidic flow meter for measuring the flow rate of gas such as gas has been described.
The fluidic flow meter of the present invention can be used as a flow meter for measuring the flow rate of not only gas but also liquid.

【0027】[0027]

【発明の効果】以上説明したように請求項1記載のフル
イディック流量計によれば、導圧孔を、ノズルの噴出口
の近傍において、この噴出口を形成する一対の壁面に設
けたので、流体に含まれるダストやミストが導圧孔に付
着することを防止することができるという効果がある。
As described above, according to the fluidic flow meter according to the first aspect, the pressure guide hole is provided in the pair of wall surfaces forming the ejection port in the vicinity of the ejection port of the nozzle. There is an effect that dust and mist contained in the fluid can be prevented from adhering to the pressure guiding holes.

【0028】また、請求項2記載のフルイディック流量
計によれば、導圧孔が下側に向いていることから、上記
効果に加え、例えダストやミストが導圧孔に付着しても
自重で落下して、導圧孔が塞がることを防止することが
できるという効果がある。
According to the fluidic flow meter of the present invention, since the pressure-guiding hole is directed downward, in addition to the above-mentioned effects, even if dust or mist adheres to the pressure-guiding hole, the weight of the fluid increases. And the pressure guiding hole can be prevented from being blocked.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例に係るフルイディック流量計
の構成を示す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing a configuration of a fluidic flow meter according to one embodiment of the present invention.

【図2】図1に示すフルイディック流量計のノズルの噴
出口の近傍を示す斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing the vicinity of an ejection port of a nozzle of the fluidic flow meter shown in FIG.

【図3】図1に示すフルイディック流量計における導圧
孔と導圧通路を含むノズルの断面を示す断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a cross section of a nozzle including a pressure guiding hole and a pressure guiding passage in the fluidic flow meter shown in FIG.

【図4】本発明の一実施例に係るフルイディック流量計
の回路部分の構成を示すブロック図である。
FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of a circuit portion of a fluidic flow meter according to one embodiment of the present invention.

【図5】ガスメータとして利用されるフルイディック流
量計の一例の構成を示す断面図である。
FIG. 5 is a sectional view showing a configuration of an example of a fluidic flow meter used as a gas meter.

【図6】図5に示すフルイディック流量計のノズルの噴
出口の近傍を示す斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view showing the vicinity of a nozzle of the fluidic flow meter shown in FIG. 5;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 入口部 12 出口部 21 ノズル 23、24 側壁 27、28 フィードバック流路 29 リターンガイド 33、34 導圧孔 35、36 導圧通路 37 差圧センサ DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Inlet part 12 Outlet part 21 Nozzle 23, 24 Side wall 27, 28 Feedback flow path 29 Return guide 33, 34 Pressure guiding hole 35, 36 Pressure guiding passage 37 Differential pressure sensor

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 流体を受け入れる入口部と、 前記入口部から受け入れた流体を通過させて噴出口より
噴流を発生させるノズルと、 このノズルの下流側に設けられ、拡大された流路を形成
する一対の側壁と、 この側壁の外側に設けられ、前記ノズルを通過した流体
を各側壁の外側に沿って前記ノズルの噴出口側へ帰還さ
せる一対のフィードバック流路を形成するリターンガイ
ドと、 前記フィードバック流路を通過した流体を排出する出口
部と、 前記ノズルの噴出口の近傍において、この噴出口を形成
する壁面に設けられた導圧孔と、 この導圧孔に接続され、前記ノズルを通過した流体の流
れる方向の切り替わりを検出するための圧力センサとを
具備することを特徴とするフルイディック流量計。
An inlet for receiving a fluid, a nozzle for passing a fluid received from the inlet to generate a jet from an outlet, and an enlarged flow path provided downstream of the nozzle. A pair of side walls, a return guide provided outside the side walls, and forming a pair of feedback flow paths for returning the fluid passing through the nozzle to the nozzle outlet side along the outside of each side wall; An outlet for discharging the fluid that has passed through the flow path; a pressure guiding hole provided in a wall forming the nozzle in the vicinity of the nozzle of the nozzle; and a pressure guiding hole connected to the pressure guiding hole and passing through the nozzle. And a pressure sensor for detecting a change in the flowing direction of the fluid.
【請求項2】 前記ノズルは噴出口が下側になるように
配置され、前記導圧孔は下側に向いていることを特徴と
する請求項1記載のフルイディック流量計。
2. The fluidic flowmeter according to claim 1, wherein the nozzle is arranged so that a jet port is located on a lower side, and the pressure guiding hole is oriented on a lower side.
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