JP3288760B2 - Semiconductor memory device - Google Patents

Semiconductor memory device

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JP3288760B2
JP3288760B2 JP22752392A JP22752392A JP3288760B2 JP 3288760 B2 JP3288760 B2 JP 3288760B2 JP 22752392 A JP22752392 A JP 22752392A JP 22752392 A JP22752392 A JP 22752392A JP 3288760 B2 JP3288760 B2 JP 3288760B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は半導体メモリ装置に関
し、特に、NAND型読み出し専用メモリ(ROM)に
用いて好適な半導体メモリ装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor memory device, and more particularly to a semiconductor memory device suitable for use in a NAND type read-only memory (ROM).

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、NOR型のROMでは、ダミービ
ットライン及びダミーセルをセルアレー内に設けて、電
源電位VccやVss接地電位のノイズによってビットライ
ンにゆれが生じるのをキャンセルする方式が用いられて
いた。図3は、かかるノイズ対策を施した従来の半導体
メモリ装置の概略構成図である。図3に示すように、メ
モリセルC1〜C3のゲートはワードラインWL1〜W
L3に接続され、読み出し用のドレインがビットライン
BLに接続されている。そして、ビットラインBLは、
カラムセレクタCS1〜CS2を通じて、ビットライン
バイアス回路BBに接続されている。一方、ワードライ
ンWL1〜WL3は、メモリセルC1〜Cnと対称に配
されたダミーセルDC1〜DC3のゲートにも接続され
ている。ダミーセルDC1〜DC3のドレインは、ダミ
ービットラインDBLに接続されている。ダミービット
ラインDBLは、トランスファーゲートDS1、DS2
を介して、ダミービットラインバイアス回路DBBに接
続されている。ビットラインバイアス回路BBは、入力
電圧VSAを発生して、差動アンプリファイアSAに入力
する。一方、ダミービットラインバイアス回路DBB
は、基準電圧VREF を発生して、差動アンプリファイア
SAに入力する。差動アンプリファイアSAは基準電圧
REF と入力電圧VSAを比較センスして、出力Dout
出力する。
Conventionally, the NOR type ROM, provided with a dummy bit line and the dummy cell in the cell array, a method of canceling from occurring shaking is used to supply potential V cc and V ss ground potential the bit lines by the noise Had been. FIG. 3 is a schematic configuration diagram of a conventional semiconductor memory device in which such a noise measure is taken. As shown in FIG. 3, the gates of the memory cells C1 to C3 are connected to the word lines WL1 to WL.
L3, and the drain for reading is connected to the bit line BL. And the bit line BL is
It is connected to the bit line bias circuit BB through the column selectors CS1 and CS2. On the other hand, the word lines WL1 to WL3 are also connected to gates of dummy cells DC1 to DC3 arranged symmetrically with the memory cells C1 to Cn. The drains of the dummy cells DC1 to DC3 are connected to the dummy bit line DBL. Dummy bit lines DBL are connected to transfer gates DS1, DS2.
Is connected to a dummy bit line bias circuit DBB. The bit line bias circuit BB generates an input voltage V SA and inputs it to the differential amplifier SA. On the other hand, the dummy bit line bias circuit DBB
Generates a reference voltage V REF and inputs it to a differential amplifier SA. The differential amplifier SA compares and senses the reference voltage V REF and the input voltage V SA and outputs an output D out .

【0003】なお、ビットラインバイアス回路BBは、
カラムセレクタCS1〜CSnを通じて、ビットライン
BLに接続されている。ダミービットラインバイアス回
路DBBは、トランスファーゲートDS1、DS2を通
じて、ダミービットラインDBLに接続されている。い
ずれのバイアス回路BB、DBBも、図6の回路構成図
に例示する構成を有し、差動アンプリファイアSAに、
入力電圧VSAならびに基準電圧VREF をそれぞれ供給す
る。一方、差動アンプリファイアSAは、図7に例示す
る構成を有し、入力電圧VSAと基準電圧VREF をセンス
演算して、出力Dout を出力する。
The bit line bias circuit BB is
It is connected to the bit line BL through the column selectors CS1 to CSn. The dummy bit line bias circuit DBB is connected to the dummy bit line DBL through transfer gates DS1 and DS2. Each of the bias circuits BB and DBB has a configuration illustrated in the circuit configuration diagram of FIG.
An input voltage V SA and a reference voltage V REF are supplied. On the other hand, the differential amplifier SA has a configuration illustrated in FIG. 7, performs a sensing operation on the input voltage V SA and the reference voltage V REF , and outputs an output D out .

【0004】以上のような構成において、例えば、ワー
ドラインWL1によってメモリセルC1が選択されたと
する。メモリセルC1の状態はビットラインBLに出力
される。同時に、ワードラインWL1に接続されるダミ
ーセルDC1も選択され、ダミービットラインDBLに
基準レベルが表われる。ビットラインBLは、カラムセ
レクタCS1〜CSnを通じて、ビットラインバイアス
回路BBに接続される。同様にダミービットラインDB
Lは、トランスファーゲートDS1、DS2を通じて、
ダミービットラインバイアス回路DBBに接続される。
ビットラインバイアス回路BBとダミービットラインバ
イアス回路DBBのそれぞれの負荷トランジスタの大き
さは、基準電圧VREF が、差動アンプリファイアSA入
力VSAがハイレベルHのときとロウレベルLのときのほ
ぼ中間のレベルとなるように設定されている。そして、
メモリセルC1のトランジスタの閾値が通常のレベル
(=1V)か高い(=7V)かを差動アンプリファイア
SAにより増幅し、セルC1の記憶データが“1”か
“0”かをセンスしている。一般には、ダミーセルDC
1のトランジスタの閾値は通常のレベル範囲にある。し
かし、VccやVssのノイズによって、ビットラインBL
電位が揺れたとする。この場合、ダミービットラインD
BLの電位も同様に揺れる。このため、差動アンプリフ
ァイアSAへの2つの入力、即ち、入力電圧VSAと基準
電圧VREF も同様に揺れる。これにより、各ノイズはお
互いに相殺し合って、出力Dout にはノイズの影響は表
われない。
In the above configuration, for example, it is assumed that the memory cell C1 is selected by the word line WL1. The state of the memory cell C1 is output to the bit line BL. At the same time, the dummy cell DC1 connected to the word line WL1 is also selected, and the reference level appears on the dummy bit line DBL. The bit line BL is connected to a bit line bias circuit BB through column selectors CS1 to CSn. Similarly, the dummy bit line DB
L passes through transfer gates DS1 and DS2,
It is connected to a dummy bit line bias circuit DBB.
The size of each of the load transistors of the bit line bias circuit BB and the dummy bit line bias circuit DBB is substantially intermediate between when the reference voltage V REF is high and when the differential amplifier SA input V SA is high L and low. Level is set. And
Whether the threshold value of the transistor of the memory cell C1 is the normal level (= 1 V) or high (= 7 V) is amplified by the differential amplifier SA, and whether the storage data of the cell C1 is "1" or "0" is sensed. I have. Generally, the dummy cell DC
The threshold of one transistor is in the normal level range. However, by V cc and V ss of the noise, the bit line BL
Suppose the potential fluctuates. In this case, the dummy bit line D
The potential of BL fluctuates similarly. Therefore, two inputs to the differential amplifier SA, that is, the input voltage V SA and the reference voltage V REF also fluctuate. As a result, the noises cancel each other out, and the effect of the noise does not appear on the output Dout.

【0005】これに対して、NAND型ROMは、ダミ
ーセルの構成がNOR型ROMとは異なっている。即
ち、NAND型ROMでは、メモリセルをエンハンスメ
ント型トランジスタとデプレッション型トランジスタを
直列に接続して構成している。このため、メモリセル
(トランジスタ)がオンの場合には、特に選択されたト
ランジスタがデプレッション型トランジスタのときに
は、直列に接続されたデプレッション型トランジスタの
個数によりセル電位が異なることになる。差動アンプリ
ファイアSAを用いる方式では、セル電流が最小となる
ときでもセンスできる必要がある。ダミーセルも、同様
に、セル電流最小としなければならない。
[0005] On the other hand, the configuration of the dummy cells of the NAND type ROM is different from that of the NOR type ROM. That is, in the NAND type ROM, the memory cell is configured by connecting an enhancement type transistor and a depletion type transistor in series. For this reason, when the memory cell (transistor) is on, especially when the selected transistor is a depletion transistor, the cell potential varies depending on the number of depletion transistors connected in series. In the method using the differential amplifier SA, it is necessary to be able to sense even when the cell current is minimized. Similarly, the dummy cell must have the minimum cell current.

【0006】図4はかかる従来の半導体メモリ装置の他
の例を示す概略構成図である。メモリセルC1〜Cnと
の関係で設けられるダミーセルDC1〜DCnは、ゲー
トしきい値が0Vのデプレッション型トランジスタと、
ゲートしきい値がVccのトランジスタとの直列構成で成
る。そして、メモリセルC1〜Cnには、ナンドセレク
トラインNSLにゲートが接続されたナンドセレクトゲ
ートNCが直列に接続されており、ナンドセレクトゲー
トNCを介してビットラインBLに接続されている。
FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing another example of such a conventional semiconductor memory device. Dummy cells DC1 to DCn provided in relation to memory cells C1 to Cn include a depletion type transistor having a gate threshold value of 0 V,
It is configured in series with a transistor having a gate threshold value of Vcc . The memory cells C1 to Cn are connected in series to a NAND select gate NC whose gate is connected to a NAND select line NSL, and are connected to the bit line BL via the NAND select gate NC.

【0007】かかる構成にあっては、ワードラインWL
1〜WLnによって選択されたメモリセルC1〜Cnの
状態は、ナンドセレクトラインNSLによって選択され
るナンドセレクトゲートNCを通じて、ビットラインB
Lに出力され、さらにカラムセレクタCS1〜CSnを
介してビットラインバイアス回路BBに入力される。一
方、ダミーセルDC1〜DCnに接続されるダミービッ
トラインDBLは、トランスファーゲートDS1、DS
2を介して、ダミービットラインバイアス回路DBBに
接続されている。そして、ビットラインバイアス回路B
Bからの入力電圧VSAと、ダミービットラインバイアス
回路DBBからの基準電圧VREF とが、差動アンプリフ
ァイアSAでセンスされ、出力Dout として出力され
る。
In such a configuration, the word line WL
The states of the memory cells C1 to Cn selected by 1 to WLn are stored in the bit line B through the NAND select gate NC selected by the NAND select line NSL.
L, and further input to the bit line bias circuit BB via the column selectors CS1 to CSn. On the other hand, the dummy bit lines DBL connected to the dummy cells DC1 to DCn are connected to the transfer gates DS1, DS1.
2 is connected to a dummy bit line bias circuit DBB. And a bit line bias circuit B
The input voltage V SA from B and the reference voltage V REF from the dummy bit line bias circuit DBB are sensed by the differential amplifier SA and output as an output D out .

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】以上のような構成で
も、セル電流が最小となる組み合わせが必要である。こ
れはデプレッション型トランジスタが1つであって、な
おそのゲート電位が0Vになる場合である。
Even in the above configuration, a combination that minimizes the cell current is required. This is the case where there is one depletion type transistor and its gate potential is still 0V.

【0009】いま、もし、ダミーセルDC1〜DCnを
セルアレー内に構成したとする。例えば、メモリセルC
2が選択された場合でも、メモリセルC3やC4が選択
された場合でも、それに対応するダミーセルDC1〜D
Cnは、常に、ゲートが0Vのデプレッション型トラン
ジスタが1つとゲートがVccのエンハンスメント型トラ
ンジスタの直列接続とならなければ成らない。しかしな
がら、これは、実際の問題として、不可能である。
Now, suppose that dummy cells DC1 to DCn are configured in a cell array. For example, the memory cell C
2 and the memory cells C3 and C4 are selected, the corresponding dummy cells DC1 to D4 are selected.
Cn must always be a series connection of one depletion-type transistor having a gate of 0 V and an enhancement-type transistor having a gate of Vcc . However, this is not possible as a practical matter.

【0010】従って、NAND型ROMでは、図3のよ
うなセルアレー内にダミーセルを設けた構成をとること
ができない。このため、VccやVssのノイズによるビッ
トラインBLの揺れの影響を十分にキャンセルすること
ができない。そして、図5の出力波形図に示すように、
差動アンプリファイアSA入力にはVccやVssのノイズ
によるビットラインBLの揺れの影響が出るが、基準電
圧VREF にはこの影響はほとんどない。このため、最悪
の場合、出力Dout の状態が反転してしまう。
Therefore, the NAND type ROM cannot have a configuration in which dummy cells are provided in a cell array as shown in FIG. For this reason, it is not possible to cancel a sufficient effect of shaking of V cc and V ss of noise due to the bit line BL. Then, as shown in the output waveform diagram of FIG.
Exits the influence of fluctuation of the bit line BL according to V cc and V ss of the noise to the differential amplifier SA input, the influence is little on the reference voltage V REF. Therefore, in the worst case, the state of the output D out is inverted.

【0011】本発明は、上記に鑑みてなされたもので、
その目的は、NAND型ROMにおいてVccやVssレベ
ルがノイズに基づいて変動し、ビットラインの電位に揺
れが生じた場合でも、これを効果的にキャンセルして安
定したメモリの読み出しを可能とすることにある。
[0011] The present invention has been made in view of the above,
Its purpose is, V cc and V ss level is varied based on the noise in the NAND ROM, even if occurring shaking to the potential of the bit line, enabling stable reading of the memory to cancel this effectively Is to do.

【0012】本発明の装置は、各選択ラインに各メモリ
セルのゲートが接続されたNAND型メモリセル群と、
前記メモリセル群と同一のアレー内に構成、配置され、
前記各選択ラインに各ゲートが、前記各メモリセルのゲ
ートと共通に接続されたエンハンスメント型トランジス
タの複数を有するNAND型の第1ダミーセル群と、前
記各メモリセル群のアレーとは分離した場所に配置さ
れ、それぞれゲート電位が固定された複数のトランジス
タを有する第2ダミーセル群と、前記メモリセル群のビ
ットラインに接続されたビットラインバイアス回路と、
前記第1ダミーセル群と前記第2ダミーセル群に接続さ
れたダミービットラインに接続されたダミービットライ
ンバイアス回路と、前記ビットラインバイアス回路の出
力と前記ダミービットラインバイアス回路段からの基準
電圧とを比較して、比較結果を出力する演算回路と、を
備えるものとして構成される。
An apparatus according to the present invention comprises a NAND type memory cell group in which the gate of each memory cell is connected to each select line;
Configured and arranged in the same array as the memory cell group,
A gate of each of the select lines has a first dummy cell group of a NAND type having a plurality of enhancement-type transistors connected in common with a gate of each of the memory cells, and an array of each of the memory cell groups in a separate place. A second dummy cell group having a plurality of transistors, each having a fixed gate potential, and a bit line bias circuit connected to a bit line of the memory cell group;
A dummy bit line bias circuit connected to a dummy bit line connected to the first dummy cell group and the second dummy cell group; an output of the bit line bias circuit and a reference voltage from the dummy bit line bias circuit stage; And an arithmetic circuit for comparing and outputting a comparison result.

【0013】[0013]

【作用】NAND型メモリセル群からのデータがビット
ラインバイアス回路に加えられる。そのバイアス回路は
入力データに応じた信号を演算回路の一方の入力端に加
える。NAND型の第1ダミーセル群からの信号と、第
2ダミーセル群からの信号が、共に、ダミービットライ
ンバイアス回路に入力される。そのダミービットライン
バイアス回路は、2つの入力信号に応じた基準電圧を、
演算回路の他方の入力端に加える。その演算回路は、2
つの入力に基づいた出力を出力する。
The data from the NAND type memory cell group is applied to the bit line bias circuit. The bias circuit applies a signal corresponding to input data to one input terminal of the arithmetic circuit. A signal from the NAND type first dummy cell group and a signal from the second dummy cell group are both input to the dummy bit line bias circuit. The dummy bit line bias circuit supplies a reference voltage corresponding to two input signals,
It is applied to the other input terminal of the arithmetic circuit. The arithmetic circuit is 2
Output an output based on one input.

【0014】而して、NAND型メモリセル群の各メモ
リセルのゲートとNAND型第1ダミーセル群の各ダミ
ーセルのゲートとが各選択線に共通に接続され、且つメ
モリセル群とダミーメモリセル群とが同一アレイ中に構
成され、さらに、DC的な基準電位を設定するための第
2ダミーセル群が設けられていることから、ノイズによ
る電源電位及び接地電位のゆれは2つのセル群に共通に
表われ、結果的に相殺される。
Thus, the gate of each memory cell of the NAND type memory cell group and the gate of each dummy cell of the NAND type first dummy cell group are commonly connected to each select line, and the memory cell group and the dummy memory cell group Are arranged in the same array and a second dummy cell group for setting a DC reference potential is provided, so that fluctuations in the power supply potential and the ground potential due to noise are common to the two cell groups. Appears and is eventually offset.

【0015】[0015]

【実施例】以下、図面を参照しながら本発明の実施例を
説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0016】図1は本発明の一実施例に係る半導体メモ
リ装置の概略構成図である。図1に示すように、ダミー
セルDC1〜DCnの直列回路が、トランスファーゲー
トDS1、DS2を通じて、ダミービットラインバイア
ス回路DBBに接続されている。さらに、セルアレー内
に、エンハンスメント型トランジスタから成るNAND
型セルで構成されるダミーセルDC1a〜DCnaが設
けられている。これらのセルDC1a〜DCnaが、ナ
ンドセレクトラインNSLにゲート接続されたナンドセ
レクトゲートDNCを介して、ダミービットラインDB
Lに接続されている。ダミービットラインDBLは、ト
ランスファーゲートDS1a、DS2aを通じて、ダミ
ービットラインバイアス回路DBBに接続されている。
そして、ダミーセルDC1a〜DCnaはメモリセルC
1〜Cnに対しており、共通のワードラインWL1〜W
Lnに接続されている。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a semiconductor memory device according to one embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, a series circuit of dummy cells DC1 to DCn is connected to a dummy bit line bias circuit DBB via transfer gates DS1 and DS2. Further, a NAND array comprising enhancement type transistors is provided in the cell array.
Dummy cells DC1a to DCna each composed of a mold cell are provided. These cells DC1a to DCna are connected to a dummy bit line DB via a NAND select gate DNC connected to a NAND select line NSL.
L. The dummy bit line DBL is connected to a dummy bit line bias circuit DBB through transfer gates DS1a and DS2a.
The dummy cells DC1a to DCna are the memory cells C
1 to Cn and common word lines WL1 to WL
Ln.

【0017】以上のような構成においては、ワードライ
ンWL1〜WLnによって選択されたメモリセルC1〜
Cnの状態は、ナンドセレクトゲートNCを通じて、ビ
ットラインBLに伝えられる。さらに、セルの状態は、
カラムセレクタCS1〜CSnを通じてビットラインバ
イアス回路BBに与えられる。一方、ダミーセルDC1
〜DCnの状態は、ダミーセルDC1〜DCnを通じて
ダミービットラインバイアス回路DBBに接続される。
同時に、ダミービットラインDBLの状態も、ダミーセ
ルDC1a〜DCnaを通じてダミービットラインバイ
アス回路DBBに与えられる。ダミーセルDC1a〜D
Cnaは、メモリセルC1〜Cnと共通のワードライン
WL1〜WLnに接続されている。このため、ワードラ
インWL1〜WLnで選択されたダミーセルDC1a〜
DCnaの状態は、ナンドセレクトゲートDNCを通じ
て、ダミービットラインDBLに与えられる。
In the configuration described above, the memory cells C1 to C1 selected by the word lines WL1 to WLn are used.
The state of Cn is transmitted to the bit line BL through the NAND select gate NC. Furthermore, the state of the cell is
The signal is applied to the bit line bias circuit BB through the column selectors CS1 to CSn. On the other hand, the dummy cell DC1
To DCn are connected to the dummy bit line bias circuit DBB through the dummy cells DC1 to DCn.
At the same time, the state of the dummy bit line DBL is also supplied to the dummy bit line bias circuit DBB through the dummy cells DC1a to DCna. Dummy cells DC1a-D
Cna is connected to the common word lines WL1 to WLn with the memory cells C1 to Cn. Therefore, the dummy cells DC1a to DC1a selected by the word lines WL1 to WLn are
The state of DCna is given to the dummy bit line DBL through the NAND select gate DNC.

【0018】今、VccやVssにノイズが発生してビット
ラインBLが揺れたとする。選択されたダミーセルDC
1a〜DCnaはセルアレー内に設けらてれいる。この
ため、それらのセルの状態もVccやVssの揺れに応じて
揺れることになる。そしてダミーセルDC1〜DCnの
状態の揺れは、ナンドセレクトゲートDNCを通じて、
ダミービットラインDBLに伝達される。これにより、
ダミービットラインDBLも同様に揺れる。これによ
り、ダミービットラインバイアス回路DBBから差動ア
ンプリファイアSAに与えられる基準電圧VREF も揺れ
ることになる。このため、図2の波形図に示すように、
たとえVccやVssの揺れのためにビットラインBLから
ビットラインバイアス回路BBを通じて得られる入力電
圧VSAが揺れても、ダミービットラインバイアス回路D
BBから出力される基準電圧VREFも同様に揺れる。こ
のため、差動アンプリファイアSAからの出力Dout
らはノイズがキャンセルされる。
[0018] Now, the noise shook the bit line BL occurred in the V cc and V ss. Selected dummy cell DC
1a to DCna are provided in the cell array. Therefore, so that sway in accordance with the swinging state even of V cc and V ss of those cells. The fluctuation of the state of the dummy cells DC1 to DCn is transmitted through the NAND select gate DNC.
The signal is transmitted to the dummy bit line DBL. This allows
The dummy bit line DBL swings similarly. As a result, the reference voltage V REF supplied from the dummy bit line bias circuit DBB to the differential amplifier SA also fluctuates. Therefore, as shown in the waveform diagram of FIG.
Even V cc or even swing the input voltage V SA obtained through a bit line bias circuit BB from the bit line BL for shaking the V ss, the dummy bit line bias circuit D
The reference voltage V REF output from BB fluctuates similarly. For this reason, noise is canceled from the output D out from the differential amplifier SA.

【0019】以上のように、NAND型ROMのよう
に、ダミーセルをメモリセルアレー内に設けることがで
きないような場合であっても、セルアレー内にエンハン
スメント型トランジスタから成るNAND型セルを接続
したダミーセルを設けることにより、VccやVssの変動
をダミービットラインバイアス回路DBBに伝達するよ
うにしたので、耐ノイズ性の優れたROMを構成するこ
とができる。
As described above, even in a case where a dummy cell cannot be provided in a memory cell array as in a NAND ROM, a dummy cell connected to a NAND cell composed of an enhancement transistor is provided in the cell array. by providing, since so as to transmit the variations in V cc and V ss to the dummy bit line bias circuit DBB, it is possible to configure the noise resistance of the excellent ROM.

【0020】なお、上記実施例では、ダミービットライ
ンDBLと別にダミーセルDC1〜DCnを設けてい
る。しかし、ダミーセルDC1〜DCnは基準電圧V
REF のDC的なレベルを設定するだけであるので、ダミ
ーセルDC1〜DCnをダミービットラインDBLに直
接接続しても良い。
In the above embodiment, the dummy cells DC1 to DCn are provided separately from the dummy bit line DBL. However, the dummy cells DC1 to DCn are connected to the reference voltage V
Since only the DC level of REF is set, the dummy cells DC1 to DCn may be directly connected to the dummy bit line DBL.

【0021】さらに、上記実施例では、NAND型RO
M全般について適用可能な回路を例示した。しかし、本
発明は、メモリセルがNAND型であれば、マスクRO
M、EPROM、EEPROMなどのいずれにでも適用
可能である。
Further, in the above embodiment, the NAND type RO
Circuits applicable to M in general have been illustrated. However, according to the present invention, if the memory cell is a NAND type, the mask RO
The present invention is applicable to any of M, EPROM, and EEPROM.

【0022】[0022]

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、Vccや
Vssのノイズによりメモリセルからの読み出しビットラ
イン電位に揺れが生じた場合でも、ダミービットライン
電位にも同様のゆれを発生させることができ、これによ
り差動アンプリファイアの入力とこれをセンスするため
の基準電圧が同様の揺れ持つことになり、ノイズはキャ
ンセルされ、出力にはノイズの影響のない信号を得るこ
とができる。
As described above, according to the present invention, even when the potential of the read bit line from the memory cell fluctuates due to the noise of Vcc or Vss, the same fluctuation occurs in the potential of the dummy bit line. As a result, the input of the differential amplifier and the reference voltage for sensing the same have the same fluctuation, so that noise is canceled and a signal free from noise is obtained at the output.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例に係る半導体メモリ装置の概
略構成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a semiconductor memory device according to one embodiment of the present invention.

【図2】図1における出力波形図である。FIG. 2 is an output waveform diagram in FIG.

【図3】従来の半導体メモリ装置の一例を示す概略構成
図である。
FIG. 3 is a schematic configuration diagram illustrating an example of a conventional semiconductor memory device.

【図4】従来の半導体メモリ装置の他の例を示す概略構
成図である。
FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing another example of a conventional semiconductor memory device.

【図5】図4の構成における出力波形図である。5 is an output waveform diagram in the configuration of FIG.

【図6】ビットラインバイアス回路、ダミービットライ
ンバイアス回路の構成の例を示す回路構成図である。
FIG. 6 is a circuit configuration diagram showing an example of a configuration of a bit line bias circuit and a dummy bit line bias circuit.

【図7】差動アンプリファイアの構成の例を示す回路構
成図である。
FIG. 7 is a circuit configuration diagram showing an example of the configuration of a differential amplifier.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

BB ビットラインバイアス回路 SA 差動アンプリファイア DBB ダミービットラインバイアス回路 BL ビットライン DBL ダミービットライン C1〜Cn メモリセル DC1〜DCn ダミーセル DC1a〜DCna ダミーセル WL1〜WLn ワードライン NSL ナンドセレクトライン NC ナンドセレクトゲート DNC ナンドセレクトゲート CS1〜CSn カラムセレクタ DS1 トランスファーゲート DS2 トランスファーゲート DS1a トランスファーゲート DS2a トランスファーゲート BB Bit line bias circuit SA Differential amplifier DBB Dummy bit line bias circuit BL Bit line DBL Dummy bit line C1 to Cn Memory cell DC1 to DCn Dummy cell DC1a to DCna Dummy cell WL1 to WLn Word line NSL Nand select line NC Nand select gate DNC NAND select gate CS1 to CSn column selector DS1 transfer gate DS2 transfer gate DS1a transfer gate DS2a transfer gate

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 瀧 沢 誠 神奈川県川崎市川崎区駅前本町25番地1 東芝マイクロエレクトロニクス株式会 社内 (72)発明者 石 黒 重 文 神奈川県川崎市川崎区駅前本町25番地1 東芝マイクロエレクトロニクス株式会 社内 (56)参考文献 特開 昭63−225998(JP,A) 特開 平3−263693(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11C 16/06 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Makoto Takizawa 25-1, Ekimae Honmachi, Kawasaki-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Prefecture Toshiba Microelectronics In-house (72) Inventor Shigefumi Ishiguro 25, Ekimae-Honcho, Kawasaki-ku, Kawasaki-ku, Kanagawa Address 1 In-house Toshiba Microelectronics Corporation (56) References JP-A-63-225998 (JP, A) JP-A-3-263693 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) ) G11C 16/06

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】各選択ラインに各メモリセルのゲートが接
続されたNAND型メモリセル群と、 前記メモリセル群と同一のアレー内に構成、配置され、
前記各選択ラインに各ゲートが、前記各メモリセルのゲ
ートと共通に接続されたエンハンスメント型トランジス
タの複数を有するNAND型の第1ダミーセル群と、前記各メモリセル群のアレーとは分離した場所に配置さ
れ、それぞれゲート電位が固定された複数のトランジス
タを有する 第2ダミーセル群と、 前記メモリセル群のビットラインに接続されたビットラ
インバイアス回路と、 前記第1ダミーセル群と前記第2ダミーセル群に接続さ
れたダミービットラインに接続されたダミービットライ
ンバイアス回路と、 前記ビットラインバイアス回路の出力と前記ダミービッ
トラインバイアス回路段からの基準電圧とを比較して、
比較結果を出力する演算回路と、 を備えることを特徴とする半導体メモリ装置。
A NAND type memory cell group in which a gate of each memory cell is connected to each select line; and a NAND type memory cell group configured and arranged in the same array as the memory cell group.
A gate of each of the select lines has a first dummy cell group of a NAND type having a plurality of enhancement-type transistors connected in common with a gate of each of the memory cells, and an array of each of the memory cell groups in a separate place. Arranged
Multiple transistors with fixed gate potentials
A dummy cell connected to a dummy bit line connected to the first dummy cell group and the second dummy cell group; a bit line bias circuit connected to a bit line of the memory cell group; A line bias circuit, comparing the output of the bit line bias circuit with a reference voltage from the dummy bit line bias circuit stage,
A semiconductor memory device, comprising: an arithmetic circuit that outputs a comparison result.
【請求項2】前記第2ダミーセル群は、ゲートが接地電
位に固定されたデプレッション型トランジスタと、ゲー
トが前記選択ラインの選択電位に固定されたエンハンス
メント型トランジスタとを有することを特徴とする請求
項1記載の半導体メモリ装置。
2. The second dummy cell group according to claim 1, wherein a gate of the second dummy cell group is grounded.
Depletion type transistor
Is fixed to the selection potential of the selection line.
And a transistor of the same type.
Item 2. The semiconductor memory device according to item 1.
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