JP3281349B2 - 光ファイバー格子の製造方法及び装置 - Google Patents

光ファイバー格子の製造方法及び装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバーブラ
ッグ格子のような光ファイバー格子を製造する技術に関
する。
【0002】
【従来の技術】このような技術の一般的な概説として、
T.Erdogan による「ファイバー格子スペクトル(Fiber G
rating Spectra) 」(Journal of Lightwave Technolog
y 、Vol.15、No.8、1997年8月、1277〜129
4頁)が参照できる。特に、本発明は、これも前記文献
に記載されているアポダイゼーション(apodisation) と
して公知の技術に係り、該技術は、本質的にファイバー
軸に沿って屈折率の増加を生じさせ、その包絡線は、一
定の平均屈折率が得られるような特定の空間分布を示
す。この包絡線は、両凸状又は目状(eye) 挙動を示す
(例えば、「レイズド・ガウシアン(raised Gaussian)
」と称される型の分布を有する)。
【0003】異なるアポダイゼーション技術が、H.Sing
h とM.Zippinによる論文「一様な位相マスクを用いたD
WDM用アポダイゼーションファイバーブラッグ格子(A
podized fiber Bragg gratings for DWDM applications
using uniform phase masks) 」(ECOC’98コン
ファレンスに提出、1998年9月20〜24日、マド
リッド、スペイン)だけでなく、例えば、R.Kashyap と
P.J.Armes による「チャープ及び非チャープファイバー
ブラッグ格子をアポダイゼーションするための簡単な技
術(Simple technique for apodising chirped and unch
irped fibre Bragg gratings) 」(Electronics Letter
s 、1996年6月10日、Vol.32、No13、1226〜
1227頁)、M.Guy 、J.Lauzon、M.Palletier 、P.Eh
bets、D.Asselin による論文「スペクトル的に全ファイ
バーフィルターを設計しファイバー格子をアポダイゼー
ションするための簡単かつ柔軟な技術(Simple and flex
ible technique for spectrally designing all-fibre
filter and apodizing fibre gratings)」(ECOC’
97コンファレンスに提出、1997年9月22〜25
日、Conference Publication No 448 、IEE 1997、19
5〜198頁)、及びJ.J.Pan 、F.Q.Zhou、Y.She 、S.
X.Liによる論文「最適FBGのためアポダイゼーション
された有効位相マスク(Effective Apodized Phase Mask
For OptimumFBGs)」(Cleo Europe’98
コンファレンスに提出、1998年9月14〜18日、
グラスゴー、スコットランド)にも記載されている。上
記H.Singh とM.Zippinによる論文は、請求項1の前段の
基礎として使用されている。
【0004】上記引用した文献に記載のアポダイゼーシ
ョン技術は全て、アポダイゼーション・プロセスを実施
することの複雑さ/高コスト、並びに/又はマスクの除
去及び/若しくはファイバーの縦方向変位若しくはいず
れにしてもファイバー自身への作用の必要性を主たる原
因とする不正確さのような要因による幾つかの欠点を多
かれ少なかれ有する。前記不正確さは、ファイバー内に
作られる格子の特性に悪影響を与える。さらに、参照し
てきた技術の一つでは、ファイバーの両面を照射するこ
とが要求され、このことは、光誘導光学ベンチの構造に
重大な制限を加える。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、アポ
ダイゼーションされた格子を光ファイバー内に製造する
技術であって、上記欠点に影響されず、かつ、簡単で正
確で経済的な方法で実現できる該技術を提供することで
ある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明により、上記目的
は、特許請求の範囲に記載の特徴を有する方法により達
成される。本発明は、関連の装置にも関する。
【0007】
【実施例】以下、単に非制限的な例により添付図面を参
照して本発明を説明する。図1と図2は、本発明による
方法を実施する連続した2つの段階を略示する。図3
は、図2の変形を示す。図4〜10は、書き込み放射の
強度の、及び/又は本方法の連続段階にて得られるファ
イバーの屈折率の代表的な特性を示す。図11は、本方
法を実施するための装置の可能な実施態様を略示する。
【0008】ブラッグ格子のような格子を光ファイバー
F内に作るため、現在のところ好適な本発明の実施態様
では、以下の要素を使用する必要がある。 (1)格子をファイバー内に書き込むのに用いられる電
磁放射の発生用光源1。これは、単色紫外光源(例え
ば、周波数重複により約244ナノメートルの範囲内に
放出波長を有するようされたアルゴンレーザー)であ
り、例えばほぼガウス型とし得るビーム強度の2次元(b
i-dimensional)プロファイルを有する。 (2)レンズ2。代表的には円柱レンズ。これにより、
光源1を出た書き込みビームをフォーカシングでき、図
1、2、3に示されたデカルト基準系のz軸の方向に延
びたフォーカシング軸A−A’上に書き込みビームを集
中できる。 (3)レンズ2とファイバーFの間に配置される位相マ
スク3。 (4)交換可能な第1及び第2絞り4、4’。後でさら
に説明する基準に従って光源1と円柱レンズ2の間に配
置される。 上記要素1、2、3、4(及び4’)は、光源1により
発生される放射の一般的な伝播方向に沿って相互に整列
される。この伝播方向は、図1、2及び3に示された基
準系のy軸に対応する。後で分かるように、絞り4を使
用しないこともできる。
【0009】光源1、レンズ2及び位相マスク3を選択
する基準は、当該技術では一般に知られており、本発明
を理解するのに重要でもないので、ここでさらに詳細に
説明する必要はないであろう。このことは、特に、位相
マスク3の特性に関しても当てはまる。この位相マスク
は、直線表面エッチングのアレイにより、ファイバーF
に面する表面3a上に設けられる。この直線表面エッチ
ングは、通常は軸A−A’に対して直交する方向、すな
わち、後によく分かるように、ファイバーFの軸に直交
する方向に配置される。本発明による方法は、本質的
に、両段階においてマスクを除去することなく、光源1
により発生された放射にファイバーFを二回露光する。
最初の露光は、図1に示された基準に従って行われる。
すなわち、ファイバーFは、レンズ2の焦点軸A−A’
に沿って配置され、位相マスク3は、ファイバーFに近
接して(通常は直接接触して)配置され、y軸(すなわ
ち、光源1から到達しレンズ2により集中される書き込
み放射の伝播方向)に対し直交する面内に存在する。図
1にて、参照符号「+1」と「−」は、位相マスクの対
応する第1次の回折を略示し、これらは干渉領域を与え
る。ファイバーFは、干渉領域内に配置され、ファイバ
ーに入射する書き込み放射の強度変調の所望の効果を生
じさせ、その結果、同ファイバーの屈折率の対応する変
調が得られる。
【0010】上記既に述べたように、光源1から来る紫
外放射のビームは、通常はほぼガウス型の2次元強度プ
ロファイルを有する。レンズ2を介してファイバーFの
コアー上に集中される前に、ビームは、特定の場合にと
って最適な形状を有する絞り4により成形される。絞り
4は、放射ビームが円柱レンズ2の焦点において焦点軸
A−A’に平行な方向に(すなわちファイバーコアーの
軸に沿って)所望の数学関数により表し得る強度プロフ
ァイルを有することが可能なように、(公知の方法に
て)設計される。図1は、例として、z軸方向の軸に対
称的な2つのガウス型曲線により定められる開口を有す
る絞りを示し、位相マスク3が存在しない場合には光学
軸A−A’に沿って光強度のガウス型プロファイルが理
想的に得られる。このプロファイルは、図4に示され
る。図5は、ファイバーFに接触して又は近接して配置
された位相マスク3の効果を示す。実際、マスクは、フ
ァイバーコアーに入射する書き込み放射の強度を変調
し、それにより、そのコアー内に図7に表された型の特
性を有する屈折率の変調を生じさせる。図7では、包絡
線及び平均値は、実質的にガウス型の特性を有する。
【0011】図4及び図5では、図6〜10と同様に、
図の横軸は、図1〜3のデカルト基準系のz軸に実際に
対応する。特に、図6は、図1の構成中の直線B−B’
に沿って検出される放射強度の特性を示す。該直線B−
B’は、軸A−A’に平行であり、かつ、書き込み放射
の伝播方向yにおいて同軸A−A’に整列又は実質的に
整列している。直線B−B’とA−A’の距離は、格子
長に関係する。例えば、直線B−B’は、格子が5〜1
0mm長の場合、軸A−A’から約10〜20mmの距
離にそれぞれ配置され得る。実際には、直線B−B’に
おいて位相マスクにより導入される回折次数+1と−1
間の相互干渉の効果が存在し得ないだけの距離で十分で
ある。この直線に沿って検出できる放射の強度プロファ
イルが、実際には2つのベル形に対応し、ベル形の各々
は、(図示された例では)ガウス型プロファイルを有
し、両方のベル形の相互に内側の裾野が重なり合ってい
るところは、最も僅かな加法的影響しか与えないので、
実際には無視できることが分かる。ここに例示された実
施例では、絞り4を使用するのが好ましいのではある
が、決して強制されるものではない。このことは、少な
くとも、光源1により発生される放射強度の空間分布が
(ガウス型か否かに関わらず)それ自身満足なものと見
なされるプロファイルを有するならば、当てはまる。明
らかに、光源とは異なる強度プロファイルがファイバー
書き込みのために使用されるならば、このような異なる
プロファイルを生じるような絞り4が採用される。
【0012】図2及び図3において2つの可能な実施態
様により表されているように、本方法の第2段階では、
ファイバーFと位相マスク3を相対的に変位させ、位相
マスク3の回折次数+1と−1がもはや干渉しない領域
内にファイバーFを存在させる。図6は、それらの条件
を示す。この結果は、図3に示されるように、マスク3
をレンズ2の焦点に保持し、ファイバーFの軸が直線B
−B’に一致するようにファイバーFを変位させること
により達成できる。これと等価で現在のところ好ましい
解決策が図2に示される。すなわち、ファイバーFが円
柱レンズ2の焦点に保持され、図1の軸B−B’がA−
A’に一致するようにマスク3が配置される。採用され
る解決策に関わらず、上記相対的な変位は、通常は光源
1のスイッチが切られた状態で行われ、それにより、上
記変位中にファイバーFが書き込み放射に露光しないよ
うにする。
【0013】いずれにしても、上記変位は相対的なもの
である。というのは、(図3に示されるように)レンズ
2と位相マスク3(及び通常は光源1)により形成され
る設定を静止させてファイバーFを移動させることによ
り、又は(図2に示されるように)ファイバーとレンズ
2を静止させてマスクを変位させることにより、又は関
連部分の両方の設定を変位させることにより、上記相対
変位を実行できるからである。ファイバー及び/又はマ
スクの変位は、公知タイプの並進装置、例えばマイクロ
メーター・スクリュー装置、圧電並進機などにより実行
し得る。その選択は変位範囲にも依存する。上記相対変
位は、実際には位相マスク3の面に直交する方向におけ
るファイバーFの位相マスク3に対する相対的な空間配
置に対応する。従って、位相マスクに対するファイバー
Fの縦方向のどんな平行移動よりも十分に高い精度にて
変位を実行できる。本明細書の冒頭部分で述べたよう
に、この縦方向の変位に関係する不正確さは、公知技術
による幾つかのアポダイゼーション方法に存在する不正
確さの原因となる。
【0014】このような相対変位の実際の実施に関する
限り、異なる解決策が利用できる。例えば、図11は、
位置決め装置10を示し、位相マスク3は、L形要素1
01の垂直アームのフレームに取り付けられ、ファイバ
ーFは、第2のL形要素102に取り付けられる。これ
らの要素101、102の水平アームは、同一の水平ガ
イド105上をスライドする夫々のスライド器103、
104に取り付けられる。マスク3を支持するスライド
器103をガイド105から取り外すこと、又はいずれ
にしても位相マスクを取り替えることができる程度まで
それをファイバー保持器102から離すことも可能であ
る。スライド器103、104の駆動要素(一般にはマ
イクロメーター・スクリュー)は106により示され
る。ここに記載された変位装置は、全く従来のものであ
り、詳細な説明は必要ないであろう。ファイバーFと位
相マスク3の相対的な変位と同時に、光源1に対するフ
ァイバーFの露光の第2段階を進めるために、(もし存
在すれば)前に使用された絞り4が、絞り4’と置換さ
れる。第1の露光がガウス型強度プロファイルにより行
われた場合、絞り4’は、位相マスク3が存在しないと
きレンズ2のフォーカシング軸A−A’に沿って生じる
光強度プロファイルが、図8に示される型となり相補的
なガウス型として定められ得るように、設計される。こ
の用語(相補的なガウス型)は、横軸において頂点が一
致したガウス型曲線の傾斜部と実質的に類似の特性を有
する傾斜部を備えたベル形プロファイルを示す。
【0015】図9は、第2露光段階において位相マスク
3が存在している場合にファイバーFの軸に沿って検出
される放射強度の特性を示す。マスクが存在することに
よる効果は、回折次数+1と−1相互の干渉に関しては
もはや生起せず、2つの曲線により形成される強度プロ
ファイルは、「加法的に相補的ガウス型」特性を有す
る。用語「加法的に相補的ガウス型」は、図9により良
く記載されているように、2つの回折次数+1と−1
(各々は実質的に図8に示された型のプロファイルに対
応する)に対応する強度プロファイルは、それぞれの2
つの最大値の間の領域Sにおいて、総和がガウス型プロ
ファイルに対して正確に相補的であるようなプロファイ
ルを定めるということを示す。既に述べたように、図7
は、図1に示された様式に従って実行された第1の露光
によりファイバーFのコアー内に得られた屈折率の特性
を表す。従って、図2又は図3に示された設定を用いて
実行される第2の露光段階の効果は、図9の強度図の領
域S内で得られる型の相補的ガウス型特性を、図7に示
された屈折率特性に「加える」効果である。
【0016】全体の結果は、相補的ガウス型を図7に表
される屈折率特性に加法的に重ね合わせることとなり、
図10に示される型の特性が最終的に得られる。図10
で、ファイバーコアーの屈折率は、所与の平均値を中心
として振動する特性を有し(周波数は第1露光中に位相
マスク3の特性により定められる)、全体の包絡線は、
一般に「レイズド・ガウシアン(raised Gaussian) 」と
称される型の目状特性(eye behaviour) を有する。当該
技術において公知であり本明細書の冒頭にて記載した種
々の従来文献に説明されているように、屈折率のこのよ
うな特性は、所望のアポダイゼーション効果を得ること
に対応する。しかしながら、明らかに、このような結果
の達成においては、第2露光で得られる屈折率の「上昇
(raising) 」が(屈折率の変動の観点から)十分な値を
有することは当然である。このことは、書き込み放射の
強度の及び/又は露光時間の対応する調整を必要とす
る。いずれにしても、この操作は周知の基準に従って行
われ、その説明はここでは不要であろう。構成の詳細や
実施態様は、本発明の原理は変えずに、特許請求の範囲
に定められたような発明自身の範囲から逸脱することな
く、ここに記載されていることに対してかなり変え得る
ことは明らかである。
【0017】特に、上記与えられた詳細な記載は、屈折
率特性をガウス型包絡線にすることに関するものである
が、同じ解決策が、記載してきたシステムの種々の要素
に対し公知の方法にて介入することにより採用でき、異
なる型の特性を有する所望のアポダイゼーション効果を
も達成できることは全く明らかである。第1絞り4を使
用することの選択的かつ非強制的な特徴に関し上記述べ
たことは、第2の絞り4’に対しても、そのまま当ては
まる。さらに、ここに記載の方法及び装置は、格子の同
時アポダイゼーションにも適用でき、EP−A0880
042に記載の基準に従って軸A−A’の周りに平行に
整列された複数のファイバーに同時に光誘導され得る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による方法を実施する連続した2つの段
階のうちの最初の段階を略示する。
【図2】本発明による方法を実施する連続した2つの段
階のうちの二番目の段階を略示する。
【図3】図2の変形を示す。
【図4】位相マスク3の前での書き込み放射の強度の代
表的な特性を示す。
【図5】位相マスク3の後での書き込み放射の強度の代
表的な特性を示す。
【図6】書き込み放射の強度の代表的な特性を示す。
【図7】本方法の連続段階(第1の露光段階)にて得ら
れるファイバーの屈折率の代表的な特性を示す。
【図8】書き込み放射の強度の代表的な特性を示す。
【図9】第2露光段階での書き込み放射の強度の代表的
な特性を示す。
【図10】本方法の連続段階にて得られるファイバーの
屈折率の代表的な特性を示す。
【図11】本方法を実施するための装置の可能な実施態
様を略示する。
【符号の説明】
F 光ファイバー 1 光源 2 レンズ 3 位相マスク 4 絞り 10 位置決め装置 101、102 L形要素 103、104 スライド器 105 水平ガイド 106 駆動要素
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 オリアナ・ロツソツト イタリー国 10040 アルメセ(トリ ノ)、ヴイア・カステレツト 11/1 (72)発明者 ルイジ・タローネ イタリー国 12034 パエサナ(クネ オ)、ヴイア・ヴイラツジオ・ベルヴエ デレ 2 (56)参考文献 特開 平9−304638(JP,A) 特開 平11−52148(JP,A) 国際公開96/36895(WO,A1) 国際公開98/36296(WO,A1) ERDOGAN,T,Fiber g rating spectra,Jou rnal of Lightwave Technology,米国,IEE E,1997年 8月 8日,Volume 15,Issue 8,p.1277−1294 SINGH,H et al,Apo dized fiber Bragg gratings for DWDM applications using uniform phase mas k,24th European Con ference on Optical Communication 1998 (ECOC98),ES,IEE,1998年 9月20日,Volume 1,p. 189−190 KASHYAP,R et al,S imple technique fo r apodising chirpe d and unchirped fi bre Bragg grating s,ELECTRONICS LETT ERS,英国,IEE,1996年 6月20 日,Vol.32 No.13,p.1226− 1228 GUY,M et al,Simpl e and flexible tec hnique for spectra lly disigning all− fibre filter and a podizing fibre gra tings,23rd,European Conference on Opt ical Communication s 97(OCEC97),IEE,1997年 9月22日,No.448,p.195−198 PAN,J et al,Effec tive Apodized Phas e Mask for Optimum FBGs,Conference o n Lasers and Elect ro−Optics Europe, 1998(1998 CLEO/Europ e),1998年 7月14日,p.359 ALBERT,J et al,Ap odisation of the s pectral response o f fibre Bragg grat ings using a phase mask with variabl e diffra,ELECTRONI CS LETTERS,英国,IEE, 1995年 2月 2日,Vol.31 N o.3,p.222−223 小向 哲郎 外3名,ファイバグレー ティングのスペクトルフィルタリングへ の応用,電子情報通信学会論文誌C−▲ I▼,日本,電子情報通信学会,1997年 1月25日,Vol.J80−C−I N o.1,p.32−40 (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 6/00 - 6/02 G02B 6/10 G02B 6/16 - 6/22 G02B 6/44 JICSTファイル(JOIS) JQUICKファイル(JOIS) IEEE/IEE Electroni c Library(IEEE Xpl ore)

Claims (14)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 アポダイゼーションされた格子を光ファ
    イバー(F)内に作る方法であって、 書き込み放射(1)に対する二回の露光を少なくとも1
    つのファイバー(F)に行い、少なくとも一回の露光
    は、ファイバー(F)に近接して配置され、かつ、書き
    込み放射の強度を空間的に変調する干渉縞を作る位相マ
    スク(3)により行う上記方法において、 位相マスク(3)を介した書き込み放射に対するファイ
    バー(F)の第1及び第2露光を連続して行い、(ア)
    第1露光は、位相マスク(3)に近接して配置されたフ
    ァイバー(F)を用いて行われる前記少なくとも一回の
    露光であり、(イ)第2露光は、書き込み放射(1)の
    伝播方向(y)において位相マスク(3)から空間的に
    離れたファイバー(F)を用いて行われ、その距離は、
    位相マスク(3)により発生される第1次の回折間で相
    互の干渉が実際に存在せず、ファイバー(F)に入射す
    る放射が前記第1次の回折により実質的に定められるよ
    うな領域内にファイバー(F)が存在するような距離で
    ある、ことを特徴とする上記方法。
  2. 【請求項2】 少なくとも前記第2露光中、前記書き込
    み放射の強度プロファイルを絞り(4、4’)により成
    形する操作を含むことを特徴とする請求項1記載の方
    法。
  3. 【請求項3】 前記絞り(4’)は、前記第2露光中、
    前記第1次の回折により定められる放射強度に対し加法
    的に相補的ガウス型プロファイルを与えるように選択さ
    れることを特徴とする請求項2記載の方法。
  4. 【請求項4】 所与のフォーカシング軸(A−A’)に
    沿って前記書き込み放射をフォーカシングする操作を含
    むこと、及び前記第1及び第2露光中、ファイバー
    (F)は、実質的に前記フォーカシング軸(A−A’)
    に対応して配置され、ファイバー(F)と位相マスク
    (3)間の変位は、前記位相マスク(3)の平行移動に
    より得られることを特徴とする請求項1〜3のいずれか
    一項に記載の方法。
  5. 【請求項5】 所与のフォーカシング軸(A−A’)に
    沿って前記書き込み放射をフォーカシングする操作を含
    むこと、及び前記第1露光中、ファイバー(F)は、実
    質的に前記フォーカシング軸(A−A’)に対応して配
    置され、前記第2露光中、ファイバー(F)は、前記フ
    ォーカシング軸(A−A’)に平行で且つ該軸から空間
    的に離れている直線(B−B’)に沿って配置されるこ
    とを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の方
    法。
  6. 【請求項6】 前記第1露光中、ファイバー(F)は、
    位相マスク(3)に接触して配置されることを特徴とす
    る請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法。
  7. 【請求項7】 前記第1露光と第2露光の間では、前記
    書き込み放射のファイバー(F)への作用を禁じる操作
    を含むことを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に
    記載の方法。
  8. 【請求項8】 前記書き込み放射が、ほぼガウス型の2
    次元強度プロファイルを有することを特徴とする請求項
    1〜7のいずれか一項に記載の方法。
  9. 【請求項9】 前記第1及び第2露光の各々が、同一面
    に並べて配置された複数のファイバーに同時に行われる
    ことを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の
    方法。
  10. 【請求項10】 アポダイゼーションされた格子を光フ
    ァイバー(F)内に作るための装置であって、(ア)書
    き込み放射の光源(1)、及び(イ)前記光源(1)に
    より発生された書き込み放射に当てられる位相マスク
    (3)を含む上記装置において、 前記位相マスク(3)とアポダイゼーションされた格子
    が作られるファイバー(F)との相対的な位置決めを行
    うための手段(10)を含み、該位置決め手段(10)
    は、第1位置と第2位置を取るように構成され、 前記第1位置では、ファイバー(F)が前記位相マスク
    (3)に近接して配置され、 前記第2位置では、位相マスク(3)により発生される
    第1次の回折間での相互干渉が実質的に存在せず、ファ
    イバー(F)に入射する放射が第1次の回折により実質
    的に定められるように、前記ファイバー(F)が前記位
    相マスク(3)から十分な距離離れて配置されることを
    特徴とする上記装置。
  11. 【請求項11】 前記光源(1)により発生された放射
    をフォーカシング軸(A−A’)に沿って集中させるた
    めのレンズ(2)をさらに含み、位置決め手段(10)
    の前記第1及び第2位置は、ファイバー(F)がフォー
    カシング軸(A−A’)に対応して保持されていると
    き、それぞれ、前記位相マスク(3)が、前記フォーカ
    シング軸(A−A’)に近接して配置、及び該軸から一
    定の距離離れて配置されるような位置であることを特徴
    とする請求項10記載の装置。
  12. 【請求項12】 前記光源(1)により発生された放射
    を前記位相マスク(3)に近接して配置したフォーカシ
    ング軸(A−A’)に沿って集中させるためのレンズ
    (2)をさらに含み、位置決め手段(10)の前記第1
    位置は、ファイバー(F)が前記フォーカシング軸(A
    −A’)に対応して配置されるような位置であり、位置
    決め手段(10)の前記第2位置は、ファイバー(F)
    が前記フォーカシング軸(A−A’)に平行で且つ該軸
    から空間的に離れた直線(B−B’)に沿って配置され
    るような位置であることを特徴とする請求項10記載の
    装置。
  13. 【請求項13】 前記光源(1)により発生された書き
    込み放射の2次元強度分布を成形するための少なくとも
    1つの絞り(4、4’)をさらに含み、該絞りは、前記
    光源(1)と前記位相マスク(3)の間に配置され得る
    ことを特徴とする請求項10〜12のいずれか一項に記
    載の装置。
  14. 【請求項14】 前記光源(1)により発生された放射
    の強度分布を成形するための第1及び第2絞り(4、
    4’)を含み、前記第1絞り(4)と第2絞り(4’)
    は、相互に交換可能であり、それぞれ前記位置決め手段
    (10)の前記第1位置と前記第2位置にて使用可能で
    あることを特徴とする請求項13記載の装置。
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