JP3254474B2 - 軟ｘ線分光素子用材料 - Google Patents
軟ｘ線分光素子用材料Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、０．５ｋｅＶ以上
のエネルギーを持つ軟Ｘ線の分光を可能にする軟Ｘ線分
光素子材料を提供すること、およびｌｋｅＶ以上の軟Ｘ
線の分光において、Ｘ線反射率を高め、１ｋｅＶ以上の
エネルギーを持つ軟Ｘ線の分光性能を改善、実用性を向
上させた軟Ｘ線分光素子材料を提供することにある。
のエネルギーを持つ軟Ｘ線の分光を可能にする軟Ｘ線分
光素子材料を提供すること、およびｌｋｅＶ以上の軟Ｘ
線の分光において、Ｘ線反射率を高め、１ｋｅＶ以上の
エネルギーを持つ軟Ｘ線の分光性能を改善、実用性を向
上させた軟Ｘ線分光素子材料を提供することにある。
【０００２】
【従来の技術】従来、軟Ｘ線の分光にはβ- アルミナ、
ベリル、無添加六十六ホウ化イットリウムが用いられて
きた。β- アルミナは０．６ｋｅＶ以上１．６ｋｅＶま
で、また、ベリルは０．８ｋｅＶ以上から２ｋｅＶ以上
まで分光可能であるが、実際上、Ｘ線照射損傷が激し
く、短時間の使用で分解能を低下させることから、使用
できるＸ線強度の範囲が非常に狭い欠点があり、放射光
に対する使用はごく限られたものであった。
ベリル、無添加六十六ホウ化イットリウムが用いられて
きた。β- アルミナは０．６ｋｅＶ以上１．６ｋｅＶま
で、また、ベリルは０．８ｋｅＶ以上から２ｋｅＶ以上
まで分光可能であるが、実際上、Ｘ線照射損傷が激し
く、短時間の使用で分解能を低下させることから、使用
できるＸ線強度の範囲が非常に狭い欠点があり、放射光
に対する使用はごく限られたものであった。
【０００３】この欠点を克服するために、本発明者ら
は、無添加六十六ホウ化イットリウム（ＹＢ66）単結晶
を用いた軟Ｘ線分光素子を開発した。この無添加六十六
ホウ化イットリウム単結晶は４００回折を使用すること
でｌｋｅＶから２ｋｅＶまでの軟Ｘ線を分光するのに適
しているが、１ｋｅＶ以下の軟Ｘ線分光には使用できな
かった。また、回折格子を用いて分光することも行われ
ているが、０．５ｋｅＶ以上のエネルギーを持つ軟Ｘ線
の分光には、Ｘ線入射角度を極端に低くとる必要があ
り、強度、分解能とも満足のいく性能を得ることができ
なかった。
は、無添加六十六ホウ化イットリウム（ＹＢ66）単結晶
を用いた軟Ｘ線分光素子を開発した。この無添加六十六
ホウ化イットリウム単結晶は４００回折を使用すること
でｌｋｅＶから２ｋｅＶまでの軟Ｘ線を分光するのに適
しているが、１ｋｅＶ以下の軟Ｘ線分光には使用できな
かった。また、回折格子を用いて分光することも行われ
ているが、０．５ｋｅＶ以上のエネルギーを持つ軟Ｘ線
の分光には、Ｘ線入射角度を極端に低くとる必要があ
り、強度、分解能とも満足のいく性能を得ることができ
なかった。
【０００４】このため、結晶材料で、耐Ｘ線照射損傷性
に優れ、しかも、０．５ｋｅＶ以上のエネルギーを持つ
軟Ｘ線の分光が可能なものが開発されることが期待され
ていた。本発明者らは、ＹＢ66に代わりうる材料の探
索、開発も行いつつあり、新規材料の発見もあるが、こ
れら材料の開発にも課題は多く、未だ、ＹＢ66に代わり
うる材料の開発は成功していない。
に優れ、しかも、０．５ｋｅＶ以上のエネルギーを持つ
軟Ｘ線の分光が可能なものが開発されることが期待され
ていた。本発明者らは、ＹＢ66に代わりうる材料の探
索、開発も行いつつあり、新規材料の発見もあるが、こ
れら材料の開発にも課題は多く、未だ、ＹＢ66に代わり
うる材料の開発は成功していない。
【０００５】さらに、無添加六十六ホウ化イットリウム
（ＹＢ66）単結晶を用いた軟Ｘ線分光素子では４００回
折を使用するが、１ｋｅＶから２ｋｅＶまでの軟Ｘ線に
対するＸ線反射率はあまり高くなく、おおよそ３％であ
り、分光に際し、大部分の入射Ｘ線を失っていることか
ら、ｌｋｅＶから２ｋｅＶまでの軟Ｘ線に対するＸ線反
射率を高めることができるＹＢ66単結晶の開発が期待さ
れている。
（ＹＢ66）単結晶を用いた軟Ｘ線分光素子では４００回
折を使用するが、１ｋｅＶから２ｋｅＶまでの軟Ｘ線に
対するＸ線反射率はあまり高くなく、おおよそ３％であ
り、分光に際し、大部分の入射Ｘ線を失っていることか
ら、ｌｋｅＶから２ｋｅＶまでの軟Ｘ線に対するＸ線反
射率を高めることができるＹＢ66単結晶の開発が期待さ
れている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】無添加六十六ホウ化イ
ットリウム（ＹＢ66）単結晶を用いた軟Ｘ線分光素子で
は、４００回折を使用することで１ｋｅＶから２ｋｅＶ
までの軟Ｘ線を分光する。この４００回折の２ｄ値は１
１．７６Ａであり、原理的にこの値より長い波長を持つ
軟Ｘ線の分光はできず、より大きい２ｄ値を持つ回折に
よる分光が必要である。粉末Ｘ線回折法で観測できる４
００回折より長い２ｄ値を持つのは、無添加ＹＢ66では
唯一２２２回折がある。しかし、この２２２回折の反射
強度は低く、４００回折の１／３程度であり、４００回
折の反射率が３％程度であることを考慮すれば、２２２
回折の反射率は１％程度に過ぎず実用的ではない。
ットリウム（ＹＢ66）単結晶を用いた軟Ｘ線分光素子で
は、４００回折を使用することで１ｋｅＶから２ｋｅＶ
までの軟Ｘ線を分光する。この４００回折の２ｄ値は１
１．７６Ａであり、原理的にこの値より長い波長を持つ
軟Ｘ線の分光はできず、より大きい２ｄ値を持つ回折に
よる分光が必要である。粉末Ｘ線回折法で観測できる４
００回折より長い２ｄ値を持つのは、無添加ＹＢ66では
唯一２２２回折がある。しかし、この２２２回折の反射
強度は低く、４００回折の１／３程度であり、４００回
折の反射率が３％程度であることを考慮すれば、２２２
回折の反射率は１％程度に過ぎず実用的ではない。
【０００７】粉末Ｘ線回折法では観測はほとんどできな
いが、無添加ＹＢ66における４００回折より長い２ｄ値
を持つものとして２００回折、２２０回折もあるが、そ
の反射強度は、２２２回折に比してもさらに低い。本発
明の課題は、なんらかの手段でこれらの４００回折より
長い２ｄ値を持つ回折の反射強度を高め、実用的にも利
用可能であるところの０．５ｋｅＶ以上の軟Ｘ線を分光
できる軟Ｘ線分光素子材料を提供することである。ま
た、４００回折の反射率が３％程度であり、一般的に使
用される二結晶分光器では、分光器を透過後のＸ線強度
は、入射Ｘ線の１／１０００でしかない。本発明の課題
は、この４００回折の反射率を高め、１ｋｅＶから２ｋ
ｅＶまでの軟Ｘ線を分光するＹＢ66軟Ｘ線分光素子材料
の実用性を高めることにもある。
いが、無添加ＹＢ66における４００回折より長い２ｄ値
を持つものとして２００回折、２２０回折もあるが、そ
の反射強度は、２２２回折に比してもさらに低い。本発
明の課題は、なんらかの手段でこれらの４００回折より
長い２ｄ値を持つ回折の反射強度を高め、実用的にも利
用可能であるところの０．５ｋｅＶ以上の軟Ｘ線を分光
できる軟Ｘ線分光素子材料を提供することである。ま
た、４００回折の反射率が３％程度であり、一般的に使
用される二結晶分光器では、分光器を透過後のＸ線強度
は、入射Ｘ線の１／１０００でしかない。本発明の課題
は、この４００回折の反射率を高め、１ｋｅＶから２ｋ
ｅＶまでの軟Ｘ線を分光するＹＢ66軟Ｘ線分光素子材料
の実用性を高めることにもある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明者は、六十六ホウ
化イットリウムに遷移金属元素を添加することで、従
来、反射強度が低く使用に耐えなかった２００回折の反
射強度を高め、ｌｋｅＶ以下０．５ｋｅＶまでの軟Ｘ線
の分光を可能にするとともに、４００回折の反射強度を
も高め、ｌｋｅＶから２ｋｅＶまでの軟Ｘ線を分光する
ＹＢ66軟Ｘ線分光素子材料の実用性を高めることに成功
し、本発明を完成した。
化イットリウムに遷移金属元素を添加することで、従
来、反射強度が低く使用に耐えなかった２００回折の反
射強度を高め、ｌｋｅＶ以下０．５ｋｅＶまでの軟Ｘ線
の分光を可能にするとともに、４００回折の反射強度を
も高め、ｌｋｅＶから２ｋｅＶまでの軟Ｘ線を分光する
ＹＢ66軟Ｘ線分光素子材料の実用性を高めることに成功
し、本発明を完成した。
【０００９】本発明は、六十六ホウ化イットリウム（Ｙ
Ｂ66）構造をとるところのＹＢn 、ただし、５２＜ｎ＜
７２に、遷移金属元素であるＴｉ，Ｖ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｆ
ｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏのいずれかま
たは二種以上を添加し、その軟Ｘ線分光特性を改善し、
結晶格子内原子配置、位置占有率を変化させることによ
り、その軟Ｘ線分光特性を改善し、より低エネルギーで
あるところの０．５ｋｅＶ以上の軟Ｘ線の分光を可能と
したことを特徴とする軟Ｘ線分光素子用材料である。
Ｂ66）構造をとるところのＹＢn 、ただし、５２＜ｎ＜
７２に、遷移金属元素であるＴｉ，Ｖ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｆ
ｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏのいずれかま
たは二種以上を添加し、その軟Ｘ線分光特性を改善し、
結晶格子内原子配置、位置占有率を変化させることによ
り、その軟Ｘ線分光特性を改善し、より低エネルギーで
あるところの０．５ｋｅＶ以上の軟Ｘ線の分光を可能と
したことを特徴とする軟Ｘ線分光素子用材料である。
【００１０】また、同様の手段により、４００回折の反
射強度をも高め、１ｋｅＶから２ｋｅＶまでの軟Ｘ線を
分光するＹＢ66軟Ｘ線分光素子材料の実用性を高めたこ
とを特徴とする軟Ｘ線分光素子用材料である。
射強度をも高め、１ｋｅＶから２ｋｅＶまでの軟Ｘ線を
分光するＹＢ66軟Ｘ線分光素子材料の実用性を高めたこ
とを特徴とする軟Ｘ線分光素子用材料である。
【００１１】本発明者は、ＹＢ66軟Ｘ線分光素子の開発
を行う一方で、ＹＢ66の持つ弱点、低Ｘ線反射率、低熱
伝導性およびｌｋｅＶ以下の分光ができないなどを克服
するために、ＹＢ66を代替できる新規希土類多ホウ化
物、ホウ炭化物の探索を行い、多くのものを見出してき
た。しかし、分光素子として利用するためには、これら
の大型、良質単結晶を育成する必要があるが、いずれの
新規化合物も高温で分解し、融液を利用した単結晶育成
が困難で、未だＹＢ66を代替できるまでの材料は見つか
っていない。
を行う一方で、ＹＢ66の持つ弱点、低Ｘ線反射率、低熱
伝導性およびｌｋｅＶ以下の分光ができないなどを克服
するために、ＹＢ66を代替できる新規希土類多ホウ化
物、ホウ炭化物の探索を行い、多くのものを見出してき
た。しかし、分光素子として利用するためには、これら
の大型、良質単結晶を育成する必要があるが、いずれの
新規化合物も高温で分解し、融液を利用した単結晶育成
が困難で、未だＹＢ66を代替できるまでの材料は見つか
っていない。
【００１２】一方、ホウ素単体であるβ- ボロンは、そ
の結晶構造に、大きな空隙を含み、種々の遷移金属元
素、希土類元素を不純物として添加できることは良く知
られている。しかも、これらの添加により、Ｘ線回折特
性は大きく変化し、無添加であるβ- ボロンでは強度の
低かった回折が、添加により大幅に改善されるものがあ
ることも知られていた。しかし、これらを添加したβ-
ボロンの単結晶のＸ線回折線の線幅は広く、分光結晶と
して使用するのに必要な十分な分解能を与えることがで
きない。
の結晶構造に、大きな空隙を含み、種々の遷移金属元
素、希土類元素を不純物として添加できることは良く知
られている。しかも、これらの添加により、Ｘ線回折特
性は大きく変化し、無添加であるβ- ボロンでは強度の
低かった回折が、添加により大幅に改善されるものがあ
ることも知られていた。しかし、これらを添加したβ-
ボロンの単結晶のＸ線回折線の線幅は広く、分光結晶と
して使用するのに必要な十分な分解能を与えることがで
きない。
【００１３】本発明者は、しかし、このβ- ボロンにお
ける遷移金属元素、希土類元素を不純物として添加した
ときの、回折特性の変化の事実に着目し、ＹＢ66に遷移
金属元素を添加したとき、同様のＸ線回折特性の変化が
起こり得ると期待し、鋭意研究を重ねた結果、本発明を
なしえたものである。
ける遷移金属元素、希土類元素を不純物として添加した
ときの、回折特性の変化の事実に着目し、ＹＢ66に遷移
金属元素を添加したとき、同様のＸ線回折特性の変化が
起こり得ると期待し、鋭意研究を重ねた結果、本発明を
なしえたものである。
【００１４】すなわち、まず、無添加の六十六ホウ化イ
ットリウム構造をとるＹＢn （ただし、５２＜ｎ＜７
２）単結晶を育成し、この単結晶と、Ｙとほぼ当モルの
遷移金属元素であるＴｉ，Ｖ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｆｅ，Ｃ
ｏ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏのいずれかを加え、
アークメルト法により溶融する。この溶融帯を粉砕し、
粉末Ｘ線回折法で解析する。粉末Ｘ線回折図形に現れる
各回折の強度を無添加のＹＢn の粉末Ｘ線回折図形と比
較し、それぞれの回折の強度変化を見るとき、上記いず
れの遷移金属元素の添加に対しても２００回折強度の著
しい増加を認めることができる。この回折強度の変化は
２００回折のみにとどまらず、２２０回折も著しく強度
が増加するが、他方、２２２および４４２回折の強度は
大幅に減少する。また、無添加のＹＢ66軟Ｘ線分光素子
で回折面として用いられている４００回折の強度も増加
する。２００回折強度の増加にはＣｕが最も顕著な効果
を示すが、同時に組成ｎもまた回折強度変化に大きな寄
与を果たす。すなわち、ｎの小さい値に対して、この回
折強度変化はより大きく現れる。
ットリウム構造をとるＹＢn （ただし、５２＜ｎ＜７
２）単結晶を育成し、この単結晶と、Ｙとほぼ当モルの
遷移金属元素であるＴｉ，Ｖ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｆｅ，Ｃ
ｏ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏのいずれかを加え、
アークメルト法により溶融する。この溶融帯を粉砕し、
粉末Ｘ線回折法で解析する。粉末Ｘ線回折図形に現れる
各回折の強度を無添加のＹＢn の粉末Ｘ線回折図形と比
較し、それぞれの回折の強度変化を見るとき、上記いず
れの遷移金属元素の添加に対しても２００回折強度の著
しい増加を認めることができる。この回折強度の変化は
２００回折のみにとどまらず、２２０回折も著しく強度
が増加するが、他方、２２２および４４２回折の強度は
大幅に減少する。また、無添加のＹＢ66軟Ｘ線分光素子
で回折面として用いられている４００回折の強度も増加
する。２００回折強度の増加にはＣｕが最も顕著な効果
を示すが、同時に組成ｎもまた回折強度変化に大きな寄
与を果たす。すなわち、ｎの小さい値に対して、この回
折強度変化はより大きく現れる。
【００１５】一方、ＣｏまたはＮｉの両者の添加は回折
強度の変化のみならず、結晶構造の明らかな変化も引き
起こす。すなわち、ＣｏまたはＮｉの両者以外の上記遷
移金属元素添加に対して、ＹＢ66は無添加の時の結晶構
造系である面心立方型結晶構造を保つが、ＣｏまたはＮ
ｉの両者の添加に対して結晶構造系は単純立方型結晶構
造へと変化する。
強度の変化のみならず、結晶構造の明らかな変化も引き
起こす。すなわち、ＣｏまたはＮｉの両者以外の上記遷
移金属元素添加に対して、ＹＢ66は無添加の時の結晶構
造系である面心立方型結晶構造を保つが、ＣｏまたはＮ
ｉの両者の添加に対して結晶構造系は単純立方型結晶構
造へと変化する。
【００１６】軟Ｘ線分光素子として遷移金属元素を添加
したＹＢ66単結晶を利用するが、単結晶育成は、光集光
加熱浮遊帯域法または高周波間接加熱浮遊帯域法などを
用いることができる。必要な量の遷移金属元素とあらか
じめ合成したＹＢn 、ただし５２＜ｎ＜７２、を混合、
１５００〜１８００℃の温度範囲のいずれかの温度、不
活性ガスまたは真空中で数時間反応させ、浮遊帯域法原
料棒とする。遷移金属元素の種類によっては、アークメ
ルト法、ホットプレス法などにより原料棒をさらに高密
度化させておく必要がある。また原料棒の合成は、ＹＢ
4 のような比較的ホウ素量の少ない原料に、遷移金属元
素と所望量のホウ素を同時に加え、あらかじめＹＢn を
合成することなく、反応させることも可能である。
したＹＢ66単結晶を利用するが、単結晶育成は、光集光
加熱浮遊帯域法または高周波間接加熱浮遊帯域法などを
用いることができる。必要な量の遷移金属元素とあらか
じめ合成したＹＢn 、ただし５２＜ｎ＜７２、を混合、
１５００〜１８００℃の温度範囲のいずれかの温度、不
活性ガスまたは真空中で数時間反応させ、浮遊帯域法原
料棒とする。遷移金属元素の種類によっては、アークメ
ルト法、ホットプレス法などにより原料棒をさらに高密
度化させておく必要がある。また原料棒の合成は、ＹＢ
4 のような比較的ホウ素量の少ない原料に、遷移金属元
素と所望量のホウ素を同時に加え、あらかじめＹＢn を
合成することなく、反応させることも可能である。
【００１７】このようにして合成した原料棒を用い、光
集光加熱浮遊帯域法または高周波間接加熱浮遊帯域法な
どを用い単結晶を育成する。育成した単結晶を軟Ｘ線分
光素子として利用するためには単結晶が高品質であるこ
とが必須であるが、一回の浮遊帯域法単結晶育成のみで
は不十分なことが多く、二回以上融帯通過を繰り返すこ
とで高品質を達成する。この時、融帯からの遷移金属元
素の蒸発は避けられず、したがってＣｕのような蒸気圧
の高いものでは二回以上の融帯通過によるＣｕの損失分
を補うべくあらかじめ余分に添加して原料棒を作成して
おく必要がある。
集光加熱浮遊帯域法または高周波間接加熱浮遊帯域法な
どを用い単結晶を育成する。育成した単結晶を軟Ｘ線分
光素子として利用するためには単結晶が高品質であるこ
とが必須であるが、一回の浮遊帯域法単結晶育成のみで
は不十分なことが多く、二回以上融帯通過を繰り返すこ
とで高品質を達成する。この時、融帯からの遷移金属元
素の蒸発は避けられず、したがってＣｕのような蒸気圧
の高いものでは二回以上の融帯通過によるＣｕの損失分
を補うべくあらかじめ余分に添加して原料棒を作成して
おく必要がある。
【００１８】
【実施例】実施例１ 六十六ホウ化イットリウム構造をとるものの中で最もイ
ットリウム濃度の高いｎ＝［Ｂ］／［Ｙ］＝５６および
一致溶融組成であるｎ＝６２を持つ六十六ホウ化イット
リウムに、遷移金属元素であるＴｉ，Ｖ，Ｃｒ，Ｍｎ，
Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏの内の一つ
をＹと等モル濃度になる量を加え、アークメルト法によ
り溶融添加した。得られたペレットを粉砕し、粉末Ｘ線
回折法により、評価し、それぞれの２００回折の強度を
無添加六十六ホウ化イットリウムの２００および４００
回折の強度と比較した。代表的なものを図１に示す。
ットリウム濃度の高いｎ＝［Ｂ］／［Ｙ］＝５６および
一致溶融組成であるｎ＝６２を持つ六十六ホウ化イット
リウムに、遷移金属元素であるＴｉ，Ｖ，Ｃｒ，Ｍｎ，
Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏの内の一つ
をＹと等モル濃度になる量を加え、アークメルト法によ
り溶融添加した。得られたペレットを粉砕し、粉末Ｘ線
回折法により、評価し、それぞれの２００回折の強度を
無添加六十六ホウ化イットリウムの２００および４００
回折の強度と比較した。代表的なものを図１に示す。
【００１９】無添加六十六ホウ化イットリウムでは２０
０回折の４００回折に対する強度比が約１／３５である
のに、ｎ＝５６のものに対するＣｕ添加では、２００回
折の強度は４００回折より強度が増大し、４００回折の
約１．５／１になった。同様組成のものに対するＭｏ添
加では０．７／ｌとやはり無添加のものに対して２００
回折の強度が大幅に増加した。またｎ＝６２のものに対
するＮｉ添加でも２００回折の強度は４００回折に対
し、１／５にまで増大した。また、Ｎｉ添加では、無添
加六十六ホウ化イットリウムの持つ面心立方型結晶構造
では観測できない筈の新しい回折線（図中矢印）が観測
されている。これから、Ｎｉ添加六十六ホウ化イットリ
ウムは、面心立方型から単純立方型へと結晶形を変えた
ことも認められる。これにより、遷移金属元素を添加し
たＹＢ66単結晶の２００回折を用いることにより、０．
５ｋｅＶ以上のエネルギーの軟Ｘ線分光素子が作成でき
ることを確認した。
０回折の４００回折に対する強度比が約１／３５である
のに、ｎ＝５６のものに対するＣｕ添加では、２００回
折の強度は４００回折より強度が増大し、４００回折の
約１．５／１になった。同様組成のものに対するＭｏ添
加では０．７／ｌとやはり無添加のものに対して２００
回折の強度が大幅に増加した。またｎ＝６２のものに対
するＮｉ添加でも２００回折の強度は４００回折に対
し、１／５にまで増大した。また、Ｎｉ添加では、無添
加六十六ホウ化イットリウムの持つ面心立方型結晶構造
では観測できない筈の新しい回折線（図中矢印）が観測
されている。これから、Ｎｉ添加六十六ホウ化イットリ
ウムは、面心立方型から単純立方型へと結晶形を変えた
ことも認められる。これにより、遷移金属元素を添加し
たＹＢ66単結晶の２００回折を用いることにより、０．
５ｋｅＶ以上のエネルギーの軟Ｘ線分光素子が作成でき
ることを確認した。
【００２０】実施例２ ＹＢ58粉末を合成した後、Ｙと当モルのＮｉを加え、ア
ークメルト法により浮遊帯域法用原料棒を作成した。こ
の原料棒を用い、光集光加熱浮遊帯域法により、単結晶
を育成した。育成した単結晶を粉砕し、粉末Ｘ線回折法
により各回折線の強度変化を調べた。図２に示すよう
に、無添加ＹＢ62に対し、２００回折が格段に増大する
一方、４００回折も、無添加ＹＢ62の約２倍になってい
ることを確認した。このように遷移金属元素を添加した
六十六ホウ化イットリウムでは、４００回折の反射率が
増大し、従来の無添加のものに比し、実用性を増した軟
Ｘ線分光素子とすることができることを確認した。
ークメルト法により浮遊帯域法用原料棒を作成した。こ
の原料棒を用い、光集光加熱浮遊帯域法により、単結晶
を育成した。育成した単結晶を粉砕し、粉末Ｘ線回折法
により各回折線の強度変化を調べた。図２に示すよう
に、無添加ＹＢ62に対し、２００回折が格段に増大する
一方、４００回折も、無添加ＹＢ62の約２倍になってい
ることを確認した。このように遷移金属元素を添加した
六十六ホウ化イットリウムでは、４００回折の反射率が
増大し、従来の無添加のものに比し、実用性を増した軟
Ｘ線分光素子とすることができることを確認した。
【図面の簡単な説明】
【図１】遷移金属元素の例としてＣｕ、Ｎｉ、Ｍｏを添
加した六十六ホウ化イットリウムと無添加六十六ホウ化
イットリウムを比較した粉末Ｘ線回折図。
加した六十六ホウ化イットリウムと無添加六十六ホウ化
イットリウムを比較した粉末Ｘ線回折図。
【図２】Ｎｉを添加したＹＢ58Ｎｉ単結晶と無添加六十
六ホウ化イットリウムを比較した粉末Ｘ線回折図。
六ホウ化イットリウムを比較した粉末Ｘ線回折図。
Claims (2)
- 【請求項１】 軟Ｘ線分光素子用材料であり、六十六ホ
ウ化イットリウム（ＹＢ66）構造をとるところのＹ
Ｂn 、ただし、５２＜ｎ＜７２に、遷移金属元素である
Ｔｉ，Ｖ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｆｅ，Ｃｏ、Ｎｉ，Ｃｕ，Ｚ
ｒ，Ｎｂ，Ｍｏのいずれかまたは二種以上を添加し、結
晶格子内原子配置、位置占有率を変化させることによ
り、２００回折のＸ線反射率を増大させることによりそ
の軟Ｘ線分光特性を改善し、より低エネルギーであると
ころの０．５ｋｅＶ以上の軟Ｘ線の分光を可能としたこ
とを特徴とする軟Ｘ線分光素子用材料。 - 【請求項２】 軟Ｘ線分光素子用材料であり、六十六ホ
ウ化イットリウム（ＹＢ66）構造をとるところのＹ
Ｂn 、ただし、５２＜ｎ＜７２に、遷移金属元素である
Ｔｉ，Ｖ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｆｅ，Ｃｏ、Ｎｉ，Ｃｕ，Ｚ
ｒ，Ｎｂ，Ｍｏのいずれかまたは二種以上を添加し、結
晶格子内原子配置、位置占有率を変化させることによ
り、４００回折のＸ線反射率を高め、実用性を向上させ
たことを特徴とする１ｋｅＶ〜２ｋｅＶのエネルギー領
域の軟Ｘ線分光素子用材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24971799A JP3254474B2 (ja) | 1999-09-03 | 1999-09-03 | 軟ｘ線分光素子用材料 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24971799A JP3254474B2 (ja) | 1999-09-03 | 1999-09-03 | 軟ｘ線分光素子用材料 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| JP2001074894A JP2001074894A (ja) | 2001-03-23 |
| JP3254474B2 true JP3254474B2 (ja) | 2002-02-04 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24971799A Expired - Lifetime JP3254474B2 (ja) | 1999-09-03 | 1999-09-03 | 軟ｘ線分光素子用材料 |
Country Status (1)
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| JP (1) | JP3254474B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102017124296A1 (de) | 2017-10-18 | 2019-04-18 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Leuchteinrichtung für Fahrzeuge |
| DE102018115574A1 (de) | 2018-06-28 | 2020-01-02 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Leuchteneinrichtung für Fahrzeuge |
| DE102018117001A1 (de) | 2018-07-13 | 2020-01-16 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Leuchteinrichtung für Fahrzeuge |
-
1999
- 1999-09-03 JP JP24971799A patent/JP3254474B2/ja not_active Expired - Lifetime
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