JP3222755B2 - Scanning optical device - Google Patents

Scanning optical device

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JP3222755B2
JP3222755B2 JP4206096A JP4206096A JP3222755B2 JP 3222755 B2 JP3222755 B2 JP 3222755B2 JP 4206096 A JP4206096 A JP 4206096A JP 4206096 A JP4206096 A JP 4206096A JP 3222755 B2 JP3222755 B2 JP 3222755B2
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scanning optical
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浩 金沢
直志 水口
政博 大野
光規 飯間
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザープリンタ
等において光ビームを走査する走査光学装置に関するも
のである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a scanning optical device for scanning a light beam in a laser printer or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】高精細用の走査光学装置は、走査光学装
置からの射出光の結像面の傾きや湾曲の許容範囲が、通
常の走査光学装置に比べて厳しい。そのため、製造時に
は、走査光学装置を単体として組み上げてから、結像面
の傾きや湾曲等を測定しつつ、走査光学装置内のレンズ
の傾き等の微調整を行うのが一般的である。
2. Description of the Related Art In a scanning optical device for high definition, an allowable range of inclination and curvature of an image forming surface of light emitted from the scanning optical device is stricter than that of a normal scanning optical device. Therefore, at the time of manufacture, it is common to assemble the scanning optical device as a single unit and then finely adjust the inclination and the like of the lens in the scanning optical device while measuring the inclination and curvature of the image forming surface.

【0003】具体的には、走査光学装置から静止ビーム
(走査を行わないビーム)を発し、結像面近傍における
ビーム径を専用の測定器により測定すると共に、当該測
定器を光軸方向に移動させつつ測定を行うことにより、
ビーム径が最小になる位置、即ち結像位置を求める。そ
して、主走査方向の3箇所で測定した結像位置のデータ
から、結像面の傾きあるいは湾曲が求められる。そし
て、結像面が設計通りの平面になるよう、レンズの傾き
等の微調整が行われる。従って、この調整は多数回の測
定を伴い、作業工数が多い。
More specifically, a scanning optical device emits a stationary beam (a beam that does not perform scanning), measures the beam diameter in the vicinity of the image plane with a dedicated measuring instrument, and moves the measuring instrument in the optical axis direction. By making measurements while
A position where the beam diameter is minimized, that is, an image forming position is obtained. Then, the inclination or curvature of the imaging plane is obtained from the data of the imaging positions measured at three points in the main scanning direction. Then, fine adjustment such as the inclination of the lens is performed so that the image forming plane becomes a designed plane. Therefore, this adjustment involves a large number of measurements and requires a large number of work steps.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、高精細
用のプリンタでは、走査光学系が略同一平面に配置さ
れ、感光体ドラムがこの平面に直交する方向に所定量離
れた位置に配置されるのが一般的である。即ち、結像面
は、略同一面に配列された走査光学装置に対して直交す
る方向に離れた位置に形成される。そのため、走査光学
装置に対し3次元で多数回の測定を行わなければなら
ず、作業効率が悪いという問題点がある。さらに、近
年、大画面化に伴ってプリンタは大型化する傾向にあ
り、走査光学装置がさらに大きくなり、作業者の作業ス
ペース自体が確保しずらい治具構造となっている。
However, in a high-definition printer, the scanning optical system is arranged substantially on the same plane, and the photosensitive drum is arranged at a position separated by a predetermined amount in a direction perpendicular to this plane. Is common. That is, the image forming surface is formed at a position separated in a direction orthogonal to the scanning optical devices arranged on the substantially same surface. Therefore, a large number of measurements must be performed three-dimensionally on the scanning optical device, and there is a problem that work efficiency is poor. Further, in recent years, printers have tended to increase in size with an increase in screen size, and the scanning optical device has become even larger, resulting in a jig structure in which it is difficult to secure a work space for an operator.

【0005】本発明は、走査光学装置において、結像面
の傾き等を調整する作業を容易に行うことを可能にす
る、走査光学装置を提供することを目的とするものであ
る。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a scanning optical device which makes it possible to easily adjust the inclination of an image forming surface in the scanning optical device.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1に記載の走査光学装置は、光源と、該光源
から射出されたビームを走査させる偏向手段と、前記偏
向手段で偏向された前記複数のビームを描画面上に収束
させるためのfθレンズと、前記光源、偏向手段および
fθレンズを収納するケースと、を備え、前記ケースに
は、第1の開口および第2の開口が形成され、前記第2
の開口は、前記偏向手段により偏向され前記fθレンズ
を透過したビームの延長線と交差する前記ケースの面に
設けられ、前記ケースの、前記第2の開口が形成された
面とは異なる面に前記第1の開口が形成され、前記偏向
手段により偏向され前記fθレンズを透過したビームが
前記第2の開口へ向かう光路中に退避可能にミラーが挿
入される構成となっており、前記ミラー挿入時には、前
記fθレンズを透過したビームは前記ミラーにより前記
第1の開口に向けて反射され、前記ミラーの非挿入時に
は、前記fθレンズを透過したビームは前記第2の開口
に入射し、前記第1及び第2の開口のうち、一方の開口
を透過したビームは前記描画面に入射すること、を特徴
としている。このように構成することにより、描画用の
開口とは別の開口を用いて調整作業を行うことが可能と
なるため、感光ドラムと走査光学装置が3次元の配置で
あっても、調整作業を容易に行うことが可能となる。特
に、前記第1の開口がビームを前記描画面へ導くための
開口とし、前記第2の開口を調整用の開口とすれば、走
査光学装置とほぼ同一面内で調整作業を行うことができ
る。なお、この場合、調整時には前記ミラーは取り外さ
れており、描画時には前記ミラーが取り付けられる(請
求項2、3)。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a scanning optical apparatus, comprising: a light source; a deflecting unit for scanning a beam emitted from the light source; A lens for converging the plurality of beams on the drawing surface, and a case for housing the light source, the deflecting unit, and the fθ lens, wherein the case has a first opening and a second opening. Formed in the second
Is provided on the surface of the case that intersects with the extension of the beam that has been deflected by the deflecting means and transmitted through the fθ lens, and on the surface of the case that is different from the surface on which the second opening is formed. The first opening is formed, and a mirror is inserted so that a beam deflected by the deflecting means and transmitted through the fθ lens can be retracted into an optical path toward the second opening. Sometimes, the beam transmitted through the fθ lens is reflected by the mirror toward the first aperture, and when the mirror is not inserted, the beam transmitted through the fθ lens enters the second aperture, and A beam transmitted through one of the first and second openings is incident on the drawing surface. With this configuration, since the adjustment operation can be performed using an opening different from the drawing opening, the adjustment operation can be performed even when the photosensitive drum and the scanning optical device have a three-dimensional arrangement. This can be easily performed. In particular, if the first opening is an opening for guiding a beam to the drawing surface and the second opening is an adjustment opening, the adjustment operation can be performed in substantially the same plane as the scanning optical device. . In this case, the mirror is removed during adjustment, and the mirror is attached during drawing (claims 2 and 3).

【0007】ここで、前記光源は、複数のビームを同時
に射出するマルチビーム光源であり、前記偏向手段は、
前記複数のビームを同時に偏向する構成としてもよい
(請求項5)。この場合、前記光源は、複数の半導体レ
ーザと、各半導体レーザーから射出されるビームをそれ
ぞれ伝送する複数の光ファイバーと、前記複数の光ファ
イバーの光射出端面を整列させるファイバーアラインメ
ントブロックとを有する構成とすることができる(請求
項6)。
Here, the light source is a multi-beam light source for simultaneously emitting a plurality of beams, and the deflecting means includes:
The plurality of beams may be simultaneously deflected (claim 5). In this case, the light source is configured to include a plurality of semiconductor lasers, a plurality of optical fibers respectively transmitting beams emitted from the respective semiconductor lasers, and a fiber alignment block for aligning light emitting end faces of the plurality of optical fibers. (Claim 6).

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】以下、この発明にかかる走査光学
装置の実施形態を説明する。実施形態として示される走
査光学装置は、8本のレーザ光を同時に走査させること
により、一回の走査で8本の走査線を同時に形成するマ
ルチビーム走査光学装置である。まず、装置全体の概略
構成を説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a scanning optical device according to the present invention will be described below. The scanning optical device shown as the embodiment is a multi-beam scanning optical device that simultaneously forms eight scanning lines by one scanning by simultaneously scanning eight laser beams. First, a schematic configuration of the entire apparatus will be described.

【0009】図1は走査光学装置の実施形態を示す斜視
図、図2は走査光学装置の実施形態を感光体ドラムと共
に示す側面図である。走査光学装置は、図1に示される
ように、ほぼ直方体状の偏平なケーシング1内に走査光
学系を配して構成されている。ケーシング1の上部開口
は、使用時には上部蓋体2により閉成される。
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of the scanning optical device, and FIG. 2 is a side view showing the embodiment of the scanning optical device together with the photosensitive drum. As shown in FIG. 1, the scanning optical device is configured by disposing a scanning optical system in a substantially rectangular parallelepiped flat casing 1. The upper opening of the casing 1 is closed by the upper lid 2 during use.

【0010】ケーシング1の図中上部には、画像情報に
関する信号を受けるコネクタ部102が設けられてい
る。コネクタ102に隣接してレーザーブロック支持基
板300が設けられ、支持基板300には、上記信号に
基づき光束を発する8つの半導体レーザー101と光フ
ァイバー120の入力端とを向き合わせて保持するレー
ザーブロック310が固定されている。これにより、8
つの光ファイバー120に光束が導かれる。
In the upper part of the casing 1 in the figure, a connector part 102 for receiving a signal relating to image information is provided. A laser block support substrate 300 is provided adjacent to the connector 102. The support substrate 300 includes a laser block 310 that holds the eight semiconductor lasers 101 that emit light beams based on the signals and the input ends of the optical fibers 120, facing each other. Fixed. As a result, 8
A light beam is guided to the two optical fibers 120.

【0011】光ファイバー120の射出側の端面120
bは、ファイバーアライメントブロック130により保
持されている。射出端面120bからの光束は、後述す
るコリメートレンズ140、ハーフミラー144、ダイ
ナミックプリズム160、及びシリンドリカルレンズ1
70を介して、ポリゴンミラー180に入射する。ポリ
ゴンミラー180は、ケーシングに固定されたポリゴン
モータ371(図2参照)により回転駆動されており、
ミラー面に入射した光束を反射・偏向する。ポリゴンミ
ラー180により偏向された光束は、結像レンズである
fθレンズ190に入射する。fθレンズ190からの
光束は、折り返しミラー200によって図中下側に反射
され、図2に示されるように走査対象面である感光体ド
ラム210上に結像する。
The end face 120 of the optical fiber 120 on the emission side
b is held by the fiber alignment block 130. The light beam from the exit end face 120b is transmitted to a collimating lens 140, a half mirror 144, a dynamic prism 160, and the cylindrical lens 1 described later.
The light is incident on the polygon mirror 180 via 70. The polygon mirror 180 is rotationally driven by a polygon motor 371 (see FIG. 2) fixed to the casing.
Reflects and deflects the light beam incident on the mirror surface. The light beam deflected by the polygon mirror 180 enters an fθ lens 190 that is an imaging lens. The light beam from the fθ lens 190 is reflected downward by the turning mirror 200 in the figure, and forms an image on the photosensitive drum 210 as a scanning target surface as shown in FIG.

【0012】ここで、光学素子の作用を規定するため、
光軸に垂直な面内でfθレンズ190や感光体ドラム2
10(図2)上での光束の走査方向を主走査方向、光軸
に垂直な面内で主走査方向に直行する方向を副走査方向
として定義する。また、図中にfθレンズ190の光軸
と平行なX軸、このX軸に垂直な面内で互いに直行する
Y軸、Z軸を定義する。Y軸およびZ軸は、それぞれ主
走査方向および副走査方向に一致する。
Here, in order to define the operation of the optical element,
Fθ lens 190 and photosensitive drum 2 in a plane perpendicular to the optical axis.
The scanning direction of the light beam on 10 (FIG. 2) is defined as the main scanning direction, and the direction perpendicular to the main scanning direction in a plane perpendicular to the optical axis is defined as the sub-scanning direction. In the drawing, an X axis parallel to the optical axis of the fθ lens 190, and a Y axis and a Z axis orthogonal to each other in a plane perpendicular to the X axis are defined. The Y axis and the Z axis correspond to the main scanning direction and the sub scanning direction, respectively.

【0013】次に、上記の装置の光学系の概略を示す図
3に基づいて光学系の各構成要素について説明する。光
源部100は、8つの半導体レーザー101と、これら
の半導体レーザーから発する発散光束を伝送する8本の
光ファイバー120と、これらの光ファイバー120を
直線上に整列させるファイバーアライメントブロック1
30とから構成されている。光ファイバー120は、コ
ア径が6μm、クラッドを含めた全体の径が125μmの
石英ガラスファイバーである。
Next, each component of the optical system will be described with reference to FIG. The light source unit 100 includes eight semiconductor lasers 101, eight optical fibers 120 that transmit divergent light beams emitted from these semiconductor lasers, and a fiber alignment block 1 that linearly aligns these optical fibers 120.
30. The optical fiber 120 is a quartz glass fiber having a core diameter of 6 μm and an overall diameter including the cladding of 125 μm.

【0014】光ファイバー120の入射端面120aを
含む端部は支持管であるファイバー支持体319により
保持されている。ファイバー支持体319は、入射端1
20aと半導体レーザー101が対向した状態で、レー
ザーブロック310に保持される。そして、半導体レー
ザー101から発せられた光束は、光ファイバー120
の入射端面120aに入射する。
An end of the optical fiber 120 including the incident end face 120a is held by a fiber support 319 which is a support tube. The fiber support 319 is located at the input end 1.
The laser block 310 is held with the semiconductor laser 101 facing the semiconductor laser 20a. The light beam emitted from the semiconductor laser 101 is transmitted to the optical fiber 120.
Incident on the incident end face 120a.

【0015】図3に示すように、光源部100とポリゴ
ンミラー180との間の光路中には、光ファイバーの射
出端面から射出する発散光束を平行光束にするコリメー
トレンズ140、コリメートレンズ140を射出した光
束の主走査方向と副走査方向の辺をもつ長方形の開口部
によってビーム形状を制御するスリット142、スリッ
ト142を透過した光束を2つに分離するハーフミラー
144、ハーフミラー144で反射された光束の副走査
方向の角度を回転することにより逐次制御するダイナミ
ックプリズム160、そして、ダイナミックプリズム1
60により角度制御された光束を副走査方向に収束させ
るシリンドリカルレンズ170が設けられている。
As shown in FIG. 3, in the optical path between the light source unit 100 and the polygon mirror 180, a collimating lens 140 and a collimating lens 140 for converting a divergent light beam emitted from the exit end face of the optical fiber into a parallel light beam are emitted. A slit 142 for controlling the beam shape by a rectangular opening having sides in the main scanning direction and the sub-scanning direction of the light beam, a half mirror 144 for separating the light beam transmitted through the slit 142 into two, and a light beam reflected by the half mirror 144 Dynamic prism 160 that sequentially controls by rotating the angle in the sub-scanning direction, and dynamic prism 1
A cylindrical lens 170 that converges the light beam whose angle is controlled by 60 in the sub-scanning direction is provided.

【0016】なお、ハーフミラー144を透過した光束
は、光量を検出して半導体レーザーの出力をコントロー
ルするための信号を得るAPC(オートマチックパワー
コントロール)信号検出部150に入射する。APC信
号検出部150は、ハーフミラー144を透過した光束
をコンデンサレンズ151により収束させ、偏光ビーム
スプリッタ153に入射する。偏光ビームスプリッタ1
53は、入射光束を入射方向に透過する透過光と、入射
方向に対し直交する方向に偏光する偏光光とに分離す
る。透過光はAPC用第1受光素子155により検出さ
れ、偏光光はAPC用第2受光素子157により検出さ
れる。
The light beam transmitted through the half mirror 144 is incident on an APC (automatic power control) signal detector 150 for detecting a light amount and obtaining a signal for controlling the output of the semiconductor laser. The APC signal detection section 150 converges the light beam transmitted through the half mirror 144 by the condenser lens 151 and makes the light beam enter the polarization beam splitter 153. Polarizing beam splitter 1
Reference numeral 53 separates the incident light beam into transmitted light that is transmitted in the incident direction and polarized light that is polarized in a direction orthogonal to the incident direction. The transmitted light is detected by the first light receiving element 155 for APC, and the polarized light is detected by the second light receiving element 157 for APC.

【0017】ファイバー120の射出端面120bは、
後述のファイバーアライメントブロック130及びファ
イバーアライメントブロックホルダ300(図示せず)
によって、図4のように主走査方向に対して所定角度傾
斜した直線上に所定間隔をおいて配列され、点光源列を
形成する。この8つの点光源よりなる点光源列からの光
束は、図3において、コリメートレンズ140、シリン
ドリカルレンズ170等を透過し、ポリゴンミラー18
0のミラー面近傍に、副走査方向に結像する。ポリゴン
ミラー180への入射光束は、ポリゴンミラー180の
回転によりY方向に走査され、fθレンズ190に入射
する。
The exit end face 120b of the fiber 120 is
Fiber alignment block 130 and fiber alignment block holder 300 (not shown) to be described later.
As shown in FIG. 4, they are arranged at predetermined intervals on a straight line inclined at a predetermined angle with respect to the main scanning direction to form a point light source array. In FIG. 3, the light flux from the point light source array composed of the eight point light sources passes through the collimator lens 140, the cylindrical lens 170, and the like, and
An image is formed in the sub-scanning direction near the 0 mirror surface. The light beam incident on the polygon mirror 180 is scanned in the Y direction by the rotation of the polygon mirror 180, and is incident on the fθ lens 190.

【0018】fθレンズ190は、ポリゴンミラー18
0側から折り返しミラー200側に向けて順に、主走査
方向、副走査方向の両方向に関してそれぞれ負、正、
正、負のパワーを有する第1、第2、第3、第4レンズ
191、193、195、197よりなるものである。
fθレンズ190透過した光束は、折り返しミラー20
0を介して、感光体ドラム210表面(図2)に結像す
ると共に、主走査方向の走査速度が等速になる。このよ
うにして、8つの点光源からの光束は、結像面上に、図
5に示すビームスポットの列を形成する。感光体ドラム
210は、走査に同期して矢印R方向に回転駆動され、
これにより感光体ドラム210の表面に静電潜像が形成
される。
Lens 190 is a polygon mirror 18
From the 0 side to the folding mirror 200 side, in the order of the main scanning direction and the sub scanning direction, negative, positive,
It comprises first, second, third, and fourth lenses 191, 193, 195, and 197 having positive and negative powers.
The light beam transmitted through the fθ lens 190 is reflected by the folding mirror 20.
0, an image is formed on the surface of the photosensitive drum 210 (FIG. 2), and the scanning speed in the main scanning direction becomes constant. In this way, the light beams from the eight point light sources form a row of beam spots as shown in FIG. 5 on the image plane. The photosensitive drum 210 is driven to rotate in the direction of arrow R in synchronization with scanning,
Thus, an electrostatic latent image is formed on the surface of the photosensitive drum 210.

【0019】次に、本発明の走査光学装置の実施形態に
ついて説明する。図2に示すように、ケーシング1の底
面には、第1の開口である描画用開口11が設けられ、
ケーシング1の側面(fθレンズ190の光軸と交差す
る面)には第2の開口である調整用開口12が設けられ
ている。描画用開口11は、結像レンズであるfθレン
ズ190からの射出光が折り返しミラー200により反
射されたものを、結像面である感光体ドラム210表面
まで導くためのものである。そのため、描画用開口11
は、fθレンズ190からの射出光が通過できるよう
に、主走査方向および副走査方向に走査範囲よりも長い
辺を有する長方形状となっている。また、ミラー200
は、ケーシング1に対して取り外し可能となっている。
Next, an embodiment of the scanning optical device of the present invention will be described. As shown in FIG. 2, a drawing opening 11 which is a first opening is provided on the bottom surface of the casing 1.
An adjustment opening 12 as a second opening is provided on a side surface of the casing 1 (a surface intersecting with the optical axis of the fθ lens 190). The drawing aperture 11 is for guiding the light emitted from the fθ lens 190, which is an image forming lens, reflected by the return mirror 200 to the surface of the photosensitive drum 210, which is an image forming surface. Therefore, the drawing opening 11
Has a rectangular shape having sides longer than the scanning range in the main scanning direction and the sub-scanning direction so that light emitted from the fθ lens 190 can pass therethrough. Also, the mirror 200
Is detachable from the casing 1.

【0020】調整用開口12も、描画用開口11と同様
に、主走査方向および副走査方向の走査範囲よりも長い
辺を有する長方形状となっている。また、調整用開口1
2は、ミラー200を取り外した状態でfθレンズ19
0からの射出光(ポリゴンミラー180により偏向さ
れ、fθレンズ190を透過した光束)が透過できるよ
う、fθレンズ190の光軸方向に位置している。ま
た、調整用開口12には、ケーシング1内部に埃が入ら
ないようにするための蓋13が設けられている。蓋13
は、簡単に外れないようにケーシング1にねじ止めされ
ている。
The adjustment opening 12, like the drawing opening 11, has a rectangular shape having sides longer than the scanning ranges in the main scanning direction and the sub-scanning direction. In addition, adjustment opening 1
2 is the fθ lens 19 with the mirror 200 removed.
It is positioned in the optical axis direction of the fθ lens 190 so that light emitted from 0 (a light beam deflected by the polygon mirror 180 and transmitted through the fθ lens 190) can be transmitted. In addition, the adjustment opening 12 is provided with a lid 13 for preventing dust from entering the inside of the casing 1. Lid 13
Is screwed to the casing 1 so as not to easily come off.

【0021】図6に、調整時の走査光学装置を示す。調
整時には、走査光学装置はベースフレーム410に取り
付けられる。ベースフレーム410には走査光学装置の
ケーシング1を支持する脚部411が設けられ、これに
よって走査光学装置は水平に支持される。調整用開口1
2は主走査方向および副走査方向に走査範囲よりも長い
辺を有し、ミラー20と蓋13を外すことにより、fθ
レンズ190からの透過光をケーシング1の外部に導く
ものである。つまり、fθレンズ190からの透過光
は、調整用開口12を通って、走査光学装置1とほぼ同
一の平面内、言い換えれば、ケーシング1の下面と上部
蓋体2を夫々延長した面の間に導かれる。
FIG. 6 shows the scanning optical device at the time of adjustment. At the time of adjustment, the scanning optical device is attached to the base frame 410. The base frame 410 is provided with legs 411 for supporting the casing 1 of the scanning optical device, whereby the scanning optical device is horizontally supported. Adjustment opening 1
2 has sides longer than the scanning range in the main scanning direction and the sub-scanning direction.
The transmitted light from the lens 190 is guided to the outside of the casing 1. That is, the transmitted light from the fθ lens 190 passes through the adjustment opening 12 and is substantially in the same plane as the scanning optical device 1, in other words, between the lower surface of the casing 1 and the surface of the upper cover 2 extended respectively. Be guided.

【0022】ベースフレーム410には、走査光学装置
の調整用開口12からの射出光の光軸方向に、ビーム径
を測定するための測定器400が設けられる。測定器4
00はその先端部に受光面を備えており、受光面内での
ビーム径を測定するものである。
The base frame 410 is provided with a measuring device 400 for measuring the beam diameter in the optical axis direction of the light emitted from the adjusting aperture 12 of the scanning optical device. Measuring instrument 4
Reference numeral 00 is provided with a light receiving surface at its tip, and measures the beam diameter within the light receiving surface.

【0023】測定器400はベースフレーム410によ
り保持され、このベースフレーム410に固定された板
部材であるユニットフレーム420には、主走査方向
(Y方向:図6では紙面に直交する方向)に沿って延び
る一対のガイドレール422が設けられている。夫々ガ
イドレール422上をナット423が移動可能に係合し
ており、ナット423にはテーブル425が固定されて
いる。テーブル425には、光軸方向(X方向)に延び
るガイドレール426が形成され、ガイドレール426
にはナット427が移動可能に係合している。そして、
ナット427には測定器400を保持した保持プレート
430が固定されている。このようにして、測定器40
0は主走査方向(Y方向)及び光軸方向(X方向)に移
動可能となる。
The measuring device 400 is held by a base frame 410. A unit frame 420, which is a plate member fixed to the base frame 410, has a main scanning direction (Y direction: a direction perpendicular to the plane of FIG. 6). A pair of extended guide rails 422 is provided. A nut 423 is movably engaged on each of the guide rails 422, and a table 425 is fixed to the nut 423. A guide rail 426 extending in the optical axis direction (X direction) is formed on the table 425.
, A nut 427 is movably engaged. And
A holding plate 430 holding the measuring device 400 is fixed to the nut 427. Thus, the measuring device 40
0 is movable in the main scanning direction (Y direction) and the optical axis direction (X direction).

【0024】次に、調整用開口部12を利用した光学系
の微調整の概略について、結像面を示す図7を参照して
説明する。走査光学装置の製造時には、走査光学装置を
単体として組み上げてから、結像面の傾きや湾曲等の測
定しつつ、走査光学装置内のレンズの傾き等の微調整を
行う。この時、ポリゴン180(図6)を停止させ、射
出光として単ビームを発する。単ビームは開口12を通
り、図7に示すように、結像面F上に静止したビームス
ポットが形成する。
Next, an outline of the fine adjustment of the optical system using the adjustment aperture 12 will be described with reference to FIG. At the time of manufacturing the scanning optical device, the scanning optical device is assembled as a single unit, and fine adjustment of the inclination and the like of the lens in the scanning optical device is performed while measuring the inclination and curvature of the imaging surface. At this time, the polygon 180 (FIG. 6) is stopped, and a single beam is emitted as emission light. The single beam passes through the aperture 12 and forms a stationary beam spot on the image plane F as shown in FIG.

【0025】測定器400により、光軸X方向の数カ所
でビーム径を測定し、ビーム径が最小になった位置がビ
ームウェスト位置即ち結像位置である。このような結像
位置の測定を、さらに主走査方向の数カ所(図7におけ
る主走査方向の中央部A及び両端部B,C)についても
行う。そして、上記の主走査方向の数カ所で祖規定され
た結像位置のデータから、結像面の傾きあるいは湾曲が
算出される。
The beam diameter is measured at several points in the direction of the optical axis X by the measuring device 400, and the position where the beam diameter becomes minimum is the beam waist position, that is, the image forming position. Such measurement of the image forming position is further performed at several places in the main scanning direction (the central portion A and both end portions B and C in the main scanning direction in FIG. 7). Then, the inclination or curvature of the imaging plane is calculated from the data of the imaging positions defined at several places in the main scanning direction.

【0026】即ち、例えば図7において、本来B点であ
るべき結像位置がB’点であり、本来C点であるべき結
像位置がC’点であった場合には、像面Fが図中D方向
に傾いている(あるいは回転している)ことが分かる。
このような場合には、B’点やC’点にある結像位置が
夫々B点あるいはC’点に移るまで、fθレンズ190
中の適当なレンズの傾き調整等の微調整を行う。
That is, for example, in FIG. 7, when the image forming position that should be point B is point B ′ and the image forming position that should be point C is point C ′, the image plane F becomes It can be seen that it is inclined (or rotated) in the direction D in the figure.
In such a case, the fθ lens 190 is moved until the imaging position at the point B ′ or C ′ moves to the point B or C ′, respectively.
Fine adjustment such as adjustment of the inclination of the appropriate lens inside is performed.

【0027】このように、本実施の形態の走査光学系に
よると、測定器400を光軸X方向と主走査方向Yに高
い精度で移動させるための位置決めは、走査光学装置と
略同一面内で行うことができる。そのため、測定器を走
査光学装置1の下部において3次元で調整作業を行う従
来のものに比べ、調整作業が極めて容易になる。
As described above, according to the scanning optical system of the present embodiment, positioning for moving the measuring instrument 400 with high accuracy in the optical axis X direction and the main scanning direction Y is performed in substantially the same plane as the scanning optical device. Can be done with For this reason, the adjustment operation becomes extremely easy as compared with the conventional one in which the measurement device is adjusted three-dimensionally below the scanning optical device 1.

【0028】以上のように、本発明の走査光学装置によ
ると、射出光を、描画用の開口と別に設けられた調整用
の開口から、測定器に導くことができるため、調整作業
を容易に行うことができる。特に、fθレンズの光軸と
交差するケーシングの面(第2の開口)を調整用の開口
とすれば、走査光学装置とほぼ同一面内(ケーシングの
上下の面をそれぞれ延長した面内)に光束が導かれるた
め、測定器の位置決めを走査光学装置とほぼ同一面内で
行うことが可能になり、極めて容易に調整作業を行うこ
とが可能となる。
As described above, according to the scanning optical apparatus of the present invention, the emitted light can be guided to the measuring instrument from the adjusting aperture provided separately from the drawing aperture, so that the adjusting operation can be easily performed. It can be carried out. In particular, if the surface of the casing (the second opening) that intersects with the optical axis of the fθ lens is set as the opening for adjustment, the surface is substantially in the same plane as the scanning optical device (in the plane in which the upper and lower surfaces of the casing are extended). Since the light beam is guided, the positioning of the measuring instrument can be performed in substantially the same plane as the scanning optical device, and the adjustment operation can be performed extremely easily.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る走査光学装置の実施形態を示す斜
視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a scanning optical device according to the present invention.

【図2】図1の走査光学装置の側面図である。FIG. 2 is a side view of the scanning optical device of FIG.

【図3】図1の走査光学装置の光学系を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating an optical system of the scanning optical device in FIG. 1;

【図4】点光源列を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a point light source array.

【図5】ビームスポットを示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a beam spot.

【図6】調整時の走査光学装置を示す側面図である。FIG. 6 is a side view showing the scanning optical device at the time of adjustment.

【図7】結像面を示す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view showing an image forming plane.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ケーシング(ケース) 2 蓋体 11 描画用開口(一方の開口) 12 調整用開口(他方の開口) 13 蓋 100 光源部 120 ファイバー 140 コリメートレンズ 180 ポリゴンミラー 190 fθレンズ 200 折り返しミラー 210 感光体ドラム 400 測定器 410 ベースフレーム Reference Signs List 1 casing (case) 2 lid 11 drawing opening (one opening) 12 adjustment opening (the other opening) 13 lid 100 light source unit 120 fiber 140 collimating lens 180 polygon mirror 190 fθ lens 200 folding mirror 210 photosensitive drum 400 Measuring instrument 410 Base frame

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 飯間 光規 東京都板橋区前野町2丁目36番9号 旭 光学工業株式会社内 (56)参考文献 特開 平8−82759(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 26/10 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Mitsunori Iima 2-36-9 Maenocho, Itabashi-ku, Tokyo Asahi Optical Industry Co., Ltd. (56) References JP-A-8-82759 (JP, A) ( 58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G02B 26/10

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 光源と、 該光源から射出されたビームを走査させる偏向手段と、 前記偏向手段で偏向された前記複数のビームを描画面上
に収束させるためのfθレンズと、 前記光源、偏向手段およびfθレンズを収納するケース
と、を備え、 前記ケースには、第1の開口および第2の開口が形成さ
れ、 前記第2の開口は、前記偏向手段により偏向され前記f
θレンズを透過したビームの延長線と交差する前記ケー
スの面に設けられ、 前記ケースの、前記第2の開口が形成された面とは異な
る面に前記第1の開口が形成され、 前記偏向手段により偏向され前記fθレンズを透過した
ビームが前記第2の開口へ向かう光路中に退避可能にミ
ラーが挿入される構成となっており、 前記ミラー挿入時には、前記fθレンズを透過したビー
ムは前記ミラーにより前記第1の開口に向けて反射さ
れ、前記ミラーの非挿入時には、前記fθレンズを透過
したビームは前記第2の開口に入射し、 前記第1及び第2の開口のうち、一方の開口を透過した
ビームは前記描画面に入射すること、を特徴とする走査
光学装置。
A light source; a deflecting unit for scanning a beam emitted from the light source; an fθ lens for converging the plurality of beams deflected by the deflecting unit on a drawing surface; And a case for storing the fθ lens. The case has a first opening and a second opening, and the second opening is deflected by the deflecting means.
the first opening is formed on a surface of the case that intersects with an extension of the beam transmitted through the θ lens, and the first opening is formed on a surface of the case different from the surface on which the second opening is formed; A mirror deflected by the means and transmitted through the fθ lens is inserted into the optical path toward the second opening so that a mirror can be retracted. When the mirror is inserted, the beam transmitted through the fθ lens is A beam reflected by the mirror toward the first opening and transmitted through the fθ lens when the mirror is not inserted is incident on the second opening, and one of the first and second openings is A beam transmitted through an aperture is incident on the drawing surface.
【請求項2】 前記第1の開口がビームを前記描画面へ
導くための開口であり、前記第2の開口は調整用の開口
であること、を特徴とする請求項1に記載の走査光学装
置。
2. The scanning optical system according to claim 1, wherein the first opening is an opening for guiding a beam to the drawing surface, and the second opening is an adjustment opening. apparatus.
【請求項3】 調整時には前記ミラーは取り外されてい
ることを特徴とする請求項2に記載の走査光学装置。
3. The scanning optical device according to claim 2, wherein the mirror is removed during adjustment.
【請求項4】 描画時には前記ミラーが取り付けられる
ことを特徴とする請求項2に記載の走査光学装置。
4. The scanning optical device according to claim 2, wherein the mirror is attached at the time of drawing.
【請求項5】 前記光源は、複数のビームを同時に射出
するマルチビーム光源であり、前記偏向手段は、前記複
数のビームを同時に偏向することを特徴とする、請求項
1から請求項4のいずれかに記載の走査光学装置。
5. The light source according to claim 1, wherein the light source is a multi-beam light source that emits a plurality of beams simultaneously, and the deflecting unit deflects the plurality of beams simultaneously. A scanning optical device according to any one of the above.
【請求項6】 前記光源は、複数の半導体レーザと、各
半導体レーザーから射出されるビームをそれぞれ伝送す
る複数の光ファイバーと、前記複数の光ファイバーの光
射出端面を整列させるファイバーアラインメントブロッ
クとを有することを特徴とする請求項5に記載の走査光
学装置。
6. The light source includes a plurality of semiconductor lasers, a plurality of optical fibers respectively transmitting beams emitted from the respective semiconductor lasers, and a fiber alignment block for aligning light emitting end faces of the plurality of optical fibers. The scanning optical device according to claim 5, wherein:
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