JP3222571B2 - X-ray diffractometer - Google Patents

X-ray diffractometer

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JP3222571B2
JP3222571B2 JP25092192A JP25092192A JP3222571B2 JP 3222571 B2 JP3222571 B2 JP 3222571B2 JP 25092192 A JP25092192 A JP 25092192A JP 25092192 A JP25092192 A JP 25092192A JP 3222571 B2 JP3222571 B2 JP 3222571B2
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radiation image
image storage
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storage plate
sample
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幸宏 志村
忠二 片山
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株式会社マック・サイエンス
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、放射線画像蓄積板に試
料のX線回折像を蓄積させ、これを読み取ることによっ
て前記試料のX線回折情報を得るようにしたX線回折装
置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an X-ray diffraction apparatus which stores an X-ray diffraction image of a sample on a radiation image storage plate and obtains X-ray diffraction information of the sample by reading the image. is there.

【0002】[0002]

【従来の技術】これまで、放射線画像蓄積板に結晶性試
料のX線回折像を蓄積させ、これを読み取ることによっ
て前記試料のX線回折情報を得るようにしたX線回折装
置が種々開発されている。この種のX線回折装置では、
X線ゴニオメータで回転自在に保持した試料にX線源か
ら射出されたX線を照射し、このとき前記試料からの回
折X線を所定位置(画像蓄積位置)に配置した放射線画
像蓄積板に蓄積し、しかるのち、この蓄積が終了した放
射線画像蓄積板を放射線画像読取装置における画像読取
位置にセットして、蓄積されている画像を読み取る。
2. Description of the Related Art Various X-ray diffraction apparatuses have been developed which accumulate an X-ray diffraction image of a crystalline sample on a radiation image storage plate and obtain the X-ray diffraction information of the sample by reading the image. ing. In this type of X-ray diffractometer,
A sample held rotatably by an X-ray goniometer is irradiated with X-rays emitted from an X-ray source. At this time, diffracted X-rays from the sample are stored on a radiation image storage plate arranged at a predetermined position (image storage position). Thereafter, the radiation image storage plate whose storage has been completed is set at an image reading position in the radiation image reading apparatus, and the stored image is read.

【0003】ところで、この種のX線回折装置は、当初
は、前記放射線画像蓄積板を一つしか備えておらず、一
つの画像蓄積が終了した場合、その蓄積されている画像
を読み取って蓄積画像を消去するまでは、次の画像蓄積
作業が始められないという欠点があり、例えば、結晶の
形態が時々刻々変化するような試料について結晶の時間
分解解析を行うような場合には、その時間分解能を向上
させることに一定の限界が生じていた。
Incidentally, this type of X-ray diffractometer initially has only one radiation image storage plate, and when one image storage is completed, the stored image is read and stored. There is a disadvantage that the next image accumulation work cannot be started until the image is erased.For example, when time-resolved analysis of a crystal is performed on a sample whose crystal form changes every moment, the time Certain limits have been placed on improving the resolution.

【0004】そこで、このような欠点を解消することか
ら、従来、図2および図3に示すX線回折装置が提案さ
れた。このX線回折装置は、特開平3−57947号公
報に開示されたもので、試料1に対するX線照射方向を
変化させるために試料1を回転自在に保持したX線ゴニ
オメータ2と、前記試料1にX線を照射したときに該試
料から生ずるX線回折像を蓄積するための2枚の放射線
画像蓄積板31,32と、前記放射線画像蓄積板31,
32に蓄積された放射線画像を読み取る放射線画像読取
装置4と、前述の2枚の放射線画像蓄積板31,32の
内の一方を画像蓄積位置に移動させ他方を前記放射線画
像読取装置4による画像読取位置に移動させるための移
動機構5とを具備した構成である。なお、図中の矢印X
は、入射X線を示している。
Therefore, in order to solve such a defect, an X-ray diffraction apparatus shown in FIGS. 2 and 3 has been conventionally proposed. This X-ray diffractometer is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-57947. The X-ray goniometer 2 rotatably holds the sample 1 to change the X-ray irradiation direction on the sample 1; Two radiation image storage plates 31 and 32 for storing an X-ray diffraction image generated from the sample when the sample is irradiated with X-rays;
A radiation image reading device 4 for reading the radiation image stored in the radiation image storage device 32, and moving one of the two radiation image storage plates 31 and 32 to the image storage position and reading the other image by the radiation image reading device 4 And a moving mechanism 5 for moving to a position. The arrow X in the figure
Indicates an incident X-ray.

【0005】ここに、前記放射線画像蓄積板31,32
は、共に略円弧板状を呈している。図2および図3にお
いて、第1の放射線画像蓄積板31の存在している位置
が画像蓄積位置であり、また、第2の放射線画像蓄積板
32の存在している位置が画像読取位置である。
Here, the radiation image storage plates 31, 32
Have a substantially arc-shaped plate shape. 2 and 3, the position where the first radiation image storage plate 31 exists is the image storage position, and the position where the second radiation image storage plate 32 exists is the image reading position. .

【0006】第1の放射線画像蓄積板31は、前記移動
機構5の第1のねじ棒51に螺合した第1の移動台51
cに取り付けられていて、第1のねじ棒51の回転によ
って画像蓄積位置と画像読取位置との間を直線的に往復
移動可能にされている。一方、第2の放射線画像蓄積板
32は、補助移動台32aに取り付けられており、この
補助移動台32aが第2のねじ棒52に螺合した第2の
移動台52cに取り付けられている。前記第2のねじ棒
52は、前述の第1のねじ棒51と平行に配備されてい
る。また、前記補助移動台32aは、第2の移動台52
c上に装備されたねじ棒52gに螺合しており、このね
じ棒52gの回転によって、第2の移動台52cの移動
方向(第2のねじ棒52の軸線方向)とは直交する方向
に直線的に進退可能にされている。このような構成によ
って、第2の放射線画像蓄積板32は、前記第2のねじ
棒52の軸線方向(即ち、画像蓄積位置と画像読取位置
とが並ぶ方向)への往復移動と、第2のねじ棒52の軸
線に直交する方向の進退移動とが可能にされており、こ
れらの移動動作を組み合わせて移動操作することによっ
て、第1の放射線画像蓄積板31とぶつからずに位置を
入れ替えることができる。
The first radiographic image storage plate 31 is provided with a first moving table 51 screwed to a first screw rod 51 of the moving mechanism 5.
The first screw rod 51 rotates to reciprocate linearly between the image storage position and the image reading position. On the other hand, the second radiation image storage plate 32 is mounted on an auxiliary moving table 32a, and the auxiliary moving table 32a is mounted on a second moving table 52c screwed to the second screw rod 52. The second screw rod 52 is provided in parallel with the first screw rod 51 described above. Further, the auxiliary moving table 32a includes a second moving table 52.
The screw 52g is screwed onto the screw rod 52g mounted on the second moving table 52c, and the rotation of the screw rod 52g causes the second moving table 52c to move in a direction orthogonal to the moving direction (axial direction of the second screw rod 52). It is possible to advance and retreat linearly. With such a configuration, the second radiation image storage plate 32 reciprocates in the axial direction of the second screw bar 52 (that is, the direction in which the image storage position and the image reading position are arranged), and Advancing and retreating in a direction orthogonal to the axis of the screw rod 52 is enabled, and by performing a moving operation by combining these moving operations, the position can be switched without colliding with the first radiation image storage plate 31. it can.

【0007】なお、前記放射線画像読取装置4は、詳細
はしないが、読取装置本体42に回転可能に装備された
回転プローブ41の先端から、励起光の照射や発光光の
検出を行う方式のものである。
Although not described in detail, the radiation image reading device 4 is of a type that emits excitation light and detects emitted light from the tip of a rotary probe 41 rotatably mounted on a reading device main body 42. It is.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】図2および図3に示し
た従来のX線回折装置では、最初は、第1の放射線画像
蓄積板31を画像蓄積位置に位置させるとともに、第2
の放射線画像蓄積板32を画像読取位置に位置させてお
く。そして、この状態で第1の放射線画像蓄積板31に
X線回折像を蓄積する。
In the conventional X-ray diffraction apparatus shown in FIGS. 2 and 3, first, the first radiation image storage plate 31 is positioned at the image storage position, and
The radiation image storage plate 32 is positioned at the image reading position. Then, in this state, the X-ray diffraction image is stored in the first radiation image storage plate 31.

【0009】そして、X線回折像の蓄積が終了したら、
第1および第2の放射線画像蓄積板31,32の位置を
互いに入れ替えて、今度は、第2の放射線画像蓄積板3
2にX線回折像を蓄積するとともに、第1の放射線画像
蓄積板31に蓄積されているX線回折像を放射線画像読
取装置4に読み取らせる。
When the accumulation of the X-ray diffraction image is completed,
The positions of the first and second radiation image storage plates 31 and 32 are exchanged with each other, and this time, the second radiation image storage plate 3
2, the X-ray diffraction image stored in the first radiation image storage plate 31 is read by the radiation image reading device 4.

【0010】そして、第2の放射線画像蓄積板32への
X線回折像の蓄積と第1の放射線画像蓄積板31からの
X線回折像の読み取りとが終了したら、また、それぞれ
の放射線画像蓄積板31,32の位置を入れ替えて、X
線回折像の蓄積と、X線回折像の読み取りとを繰り返
す。
When the storage of the X-ray diffraction image in the second radiation image storage plate 32 and the reading of the X-ray diffraction image from the first radiation image storage plate 31 are completed, the respective radiation image storage is performed again. The positions of the plates 31 and 32 are switched, and X
The accumulation of the X-ray diffraction image and the reading of the X-ray diffraction image are repeated.

【0011】以上の動作を次々と繰り返すことによっ
て、一つのX線回折像蓄積動作を終了した場合に、その
蓄積した画像の読み取りが終了するまで待たずに、直に
次のX線回折像の蓄積動作に移ることができ、したがっ
て、極めて能率的な測定が可能になり、例えば、結晶の
時間分解解析測定等における時間分解能の著しい向上も
期待できることとなる。
By repeating the above operations one after another, when one X-ray diffraction image accumulating operation is completed, the reading of the next X-ray diffraction image can be immediately performed without waiting until the reading of the stored image is completed. The operation can be shifted to the accumulation operation, so that extremely efficient measurement can be performed. For example, a remarkable improvement in the time resolution in time-resolved analysis measurement of a crystal can be expected.

【0012】しかし、図2および図3に示したX線回折
装置の場合、2枚の放射線画像蓄積板31,32同士を
蓄積板の面に沿う方向に離間させて同一面上に並べた構
造であるため、各放射線画像蓄積板31,32を移動操
作する移動機構5としては、図示のように、放射線画像
蓄積板の3枚分あるいはそれ以上の長さに渡って放射線
画像蓄積板を往復動させる機構(ねじ棒51,52や案
内用のレール等)や、一方の放射線画像蓄積板を面と直
交する方向に往復動させる機構(ねじ棒52gや案内用
のレール等)が必要で、移動機構5が大型化するととも
に移動機構5の構成が繁雑化するという問題があった。
そして、なによりも、大きな設置スペースが必要になる
という問題もあった。
However, in the case of the X-ray diffraction apparatus shown in FIGS. 2 and 3, two radiation image storage plates 31 and 32 are arranged on the same surface while being separated from each other in a direction along the surface of the storage plate. Therefore, the moving mechanism 5 for moving and operating each of the radiation image storage plates 31 and 32 reciprocates the radiation image storage plates over a length of three or more radiation image storage plates as shown in the figure. A mechanism (screw rods 51, 52, guide rails, etc.) and a mechanism (screw rod 52g, guide rails, etc.) for reciprocating one of the radiation image storage plates in a direction perpendicular to the surface are required. There is a problem that the size of the moving mechanism 5 increases and the structure of the moving mechanism 5 becomes complicated.
In addition, there is a problem that a large installation space is required.

【0013】また、X線回折像の蓄積処理に要する時間
よりも読み取り処理に要する時間の方が長い場合には、
1回の蓄積処理毎に、それらの処理時間の差分が次の蓄
積処理に移行する際の待ち時間として必要となるという
点も、改善が要求されていた。
If the time required for reading processing is longer than the time required for accumulating X-ray diffraction images,
Improvement has also been required in that the difference between the processing times is required as a waiting time at the time of shifting to the next storage processing for each storage processing.

【0014】また、2枚の放射線画像蓄積板しか取り扱
うことができないため、時間的な間隔をあけずに多数の
回折像の測定が必要となる回折測定には利用することが
できず、回折測定の用途が限られてしまうという問題も
あった。
[0014] Further, since only two radiation image storage plates can be handled, it cannot be used for diffraction measurement that requires measurement of a large number of diffraction images without leaving a time interval. There was also a problem that the use of this was limited.

【0015】本発明は、前記事情に鑑みてなされたもの
で、放射線画像蓄積板を画像蓄積位置および画像読取位
置に移動させる移動機構を単純でかつコンパクトな構成
とすることができ、X線回折装置としての設置スペース
をコンパクトにすることができ、しかも、X線回折像の
蓄積処理に要する時間よりも読み取り処理に要する時間
の方が長い場合でも、それらの処理時間の差分による待
ち時間が必要なく連続して多数のX線回折像を蓄積する
こともできて、測定処理の能率向上を図ると同時に、多
様な回折測定を可能にすることのできるX線回折装置を
提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and a moving mechanism for moving a radiation image storage plate to an image storage position and an image reading position can have a simple and compact structure. The installation space as an apparatus can be made compact, and even when the time required for reading processing is longer than the time required for accumulating X-ray diffraction images, a waiting time due to the difference between the processing times is required. An object of the present invention is to provide an X-ray diffraction apparatus capable of accumulating a large number of X-ray diffraction images continuously without improving the efficiency of the measurement processing and at the same time, enabling various diffraction measurements. I do.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】本発明に係るX線回折装
置は、試料に対するX線照射方向を変化させるために試
料を回転自在に保持したX線ゴニオメータと、前記試料
にX線を照射したときに該試料から生ずるX線回折像を
蓄積するための複数枚の放射線画像蓄積板と、これらの
複数枚の放射線画像蓄積板を画像読取位置あるいは画像
蓄積位置に移動操作する移動機構と、前記移動機構によ
って画像読取位置に位置設定されている放射線画像蓄積
板から放射線画像を読み取る放射線画像読取装置とを備
える。
An X-ray diffractometer according to the present invention comprises an X-ray goniometer which rotatably holds a sample in order to change the X-ray irradiation direction on the sample, and which irradiates the sample with X-rays. A plurality of radiation image storage plates for storing X-ray diffraction images sometimes generated from the sample, a moving mechanism for moving these plurality of radiation image storage plates to an image reading position or an image storage position, A radiation image reading device that reads a radiation image from a radiation image storage plate set at an image reading position by a moving mechanism;

【0017】そして、前記移動機構は、複数枚の放射線
画像蓄積板を前記放射線画像読取装置を中心とした円周
上で移動させるための蓄積板移動用回転盤と、この蓄積
板移動用回転盤上で各放射線画像蓄積板の放射線画像蓄
積面の向きを切り替えする向き回転手段とを備えた構成
とされる。
The moving mechanism includes a storage plate moving rotary plate for moving a plurality of radiation image storage plates on a circumference centered on the radiation image reading device, and a storage plate transfer rotary plate. The above configuration is provided with direction rotating means for switching the direction of the radiation image storage surface of each radiation image storage plate.

【0018】また、前記複数枚の放射線画像蓄積板のそ
れぞれは、放射線画像を蓄積する放射線画像蓄積面が前
記蓄積板移動用回転盤の回転中心軸を中心軸線とした円
柱の外周面に密着する如く湾曲した円弧板状に形成され
る。
In each of the plurality of radiation image storage plates, a radiation image storage surface for storing a radiation image is in close contact with an outer peripheral surface of a cylinder having a rotation axis of the storage plate moving rotary plate as a center axis. It is formed in the shape of a curved arc plate.

【0019】さらに、前記蓄積板移動用回転盤は、複数
枚の放射線画像蓄積板を保持するために複数個の蓄積板
取り付け部が前記放射線画像読取装置を中心とする円周
上に設定されて、前記放射線画像読取装置を中心とする
回転動作によって、放射線画像読取装置の周囲に保持し
た任意の放射線画像蓄積板を前記試料に対峙する画像蓄
積位置側へ移動させる構成とされる。
Further, in the storage plate moving rotary plate, a plurality of storage plate mounting portions are set on a circumference centered on the radiation image reading device to hold a plurality of radiation image storage plates. An arbitrary radiation image storage plate held around the radiation image reading device is moved to an image storage position side facing the sample by a rotation operation around the radiation image reading device.

【0020】また、前記向き回転手段は、前記蓄積板移
動用回転盤の前記蓄積板取り付け部において放射線画像
蓄積板を回転操作することによって、放射線画像蓄積板
の放射線画像蓄積面の向きを、前記放射線画像蓄積面の
円弧の中心が前記蓄積板移動用回転盤の回転中心に一致
して前記放射線画像読取装置による読み取りが可能な内
方向き、あるいは、前記放射線画像蓄積面の円弧の中心
が前記試料の回転軸線に一致して試料からの回折X線の
蓄積が可能な外方向きのいずれかに切り替える構成とさ
れる。
Further, the direction rotating means rotates the radiation image storage plate at the storage plate mounting portion of the storage plate moving rotary plate to change the direction of the radiation image storage surface of the radiation image storage plate. The center of the arc of the radiation image storage surface coincides with the center of rotation of the storage plate moving rotary plate, and is inwardly readable by the radiation image reading device. It is configured to switch to any one of the outward directions that can accumulate diffracted X-rays from the sample in accordance with the rotation axis of the sample.

【0021】[0021]

【作用】本発明に係るX線回折装置は、放射線画像読取
装置の周囲に複数の放射線画像蓄積板を配置し、放射線
画像読取装置を中心とした放射線画像蓄積板の公転運動
を移動機構の蓄積板移動用回転盤によって実現し、さら
に、前記公転運動の軌道上での各放射線画像蓄積板の自
転運動を前記移動機構の向き回転手段によって実現した
もので、前記公転運動によって任意の放射線画像蓄積板
を試料に対峙する画像蓄積位置側に位置させることがで
きる。そして、公転運動によって画像蓄積位置側に位置
させた放射線画像蓄積板は、前記自転運動によって、放
射線画像蓄積面の円弧の中心が前記蓄積板移動用回転盤
の回転中心に一致して前記放射線画像読取装置による読
み取りが可能な内方向きの状態、あるいは、前記放射線
画像蓄積面の円弧の中心が前記試料の回転軸線に一致し
て試料からの回折X線の蓄積が可能な外方向きの状態の
いずれかに切り替えることができる。
In the X-ray diffraction apparatus according to the present invention, a plurality of radiation image storage plates are arranged around a radiation image reading device, and the revolving motion of the radiation image storage plate centered on the radiation image reading device is stored in a moving mechanism. The rotation movement of each radiation image storage plate on the orbit of the orbital movement is realized by the direction rotating means of the moving mechanism, and any radiation image is stored by the orbital movement. The plate can be positioned on the image storage position side facing the sample. Then, the radiation image storage plate positioned on the image storage position side by the revolving motion is such that the center of the arc of the radiation image storage surface coincides with the rotation center of the storage plate moving rotary plate by the rotation motion, and An inward state where reading by the reading device is possible, or an outward state where the center of the arc of the radiation image storage surface coincides with the rotation axis of the sample and diffraction X-rays from the sample can be stored. Can be switched to either.

【0022】したがって、公転運動によって試料に対峙
する位置に移動させた放射線画像蓄積板の放射線画像蓄
積面の向きを前記自転運動によって外方向きの状態に切
り替え、その放射線画像蓄積面に対してX線回折像の蓄
積処理を済ませたら、前記自転運動によってその放射線
画像蓄積面の向きを内方向きの状態に切り替え、次の放
射線画像蓄積板を公転運動によって試料に対峙する位置
に移動させるという一連の動作を繰り返すことによっ
て、連続して、複数枚の放射線画像蓄積板にX線回折像
を蓄積させることができる。
Therefore, the direction of the radiation image storage surface of the radiation image storage plate moved to the position facing the sample by the revolving motion is switched to the outward direction by the rotation motion, and the radiation image storage surface is moved to X. After the accumulation processing of the X-ray diffraction image is completed, the direction of the radiation image storage surface is switched to the inward state by the rotation, and the next radiation image storage plate is moved to a position facing the sample by the orbital movement. By repeating the above operation, the X-ray diffraction images can be successively accumulated in a plurality of radiation image accumulation plates.

【0023】また、複数枚の放射線画像蓄積板は、放射
線画像読取装置の周囲を囲う円筒状の配列となっている
ため、前記向き回転手段によって全ての放射線画像蓄積
面を内方向きに設定しておけば、一括して各放射線画像
蓄積板に蓄積された放射線画像を読み取らせることもで
きる。
Further, since the plurality of radiation image storage plates are arranged in a cylindrical shape surrounding the periphery of the radiation image reading device, all the radiation image storage surfaces are set inward by the direction rotating means. If this is done, the radiation images stored in each radiation image storage plate can be read all together.

【0024】したがって、例えば、予め複数枚の放射線
画像蓄積板の全てに対して放射線画像の蓄積処理を済ま
せ、その後に一括して放射線画像の読取処理を行うこと
が可能で、このような利用法によって、X線回折像の蓄
積処理に要する時間よりも読み取り処理に要する時間の
方が長い場合でも、それらの処理時間の差分による待ち
時間が必要なく連続して多数のX線回折像を蓄積するこ
とができて、測定処理の能率向上を図ると同時に、多様
な回折測定への応用が可能になる。
Therefore, for example, it is possible to complete the radiation image accumulation processing on all of the plurality of radiation image accumulation plates in advance, and then perform the radiation image reading processing collectively thereafter. Therefore, even when the time required for the reading process is longer than the time required for the accumulation process of the X-ray diffraction images, a large number of X-ray diffraction images are continuously accumulated without the need for a waiting time due to the difference between the processing times. As a result, the efficiency of the measurement process can be improved, and at the same time, it can be applied to various diffraction measurements.

【0025】また、前記放射線画像蓄積板の寸法設定に
際して、幅寸法(即ち、前記蓄積板移動用回転盤の回転
中心を中心とした円周方向の寸法)を小さく設定すれ
ば、蓄積板移動用回転盤による公転運動の半径を増大さ
せずに、より多数の放射線画像蓄積板を装備することが
可能になり、X線回折装置としての設置スペースをコン
パクトに抑えた上で、X線回折像の蓄積能力を増大させ
ることが可能になる。しかも、移動機構を構成する蓄積
板移動用回転盤および向き回転手段は、いずれも単純な
回転運動機構でよいため、機構の単純化に適すると同時
に、移動位置の再現性を高めることも容易になる。
Further, when setting the dimensions of the radiation image storage plate, if the width dimension (that is, the size in the circumferential direction around the rotation center of the storage plate moving rotary plate) is set small, It is possible to equip a larger number of radiographic image storage plates without increasing the radius of the orbital motion by the rotating disk, and to reduce the installation space of the X-ray diffraction device compactly, It is possible to increase the storage capacity. In addition, since both the rotating plate for moving the storage plate and the direction rotating means that constitute the moving mechanism may be simple rotating motion mechanisms, it is suitable for simplification of the mechanism and easily enhances reproducibility of the moving position. Become.

【0026】[0026]

【実施例】図1および図4は、本発明に係るX線回折装
置の一実施例を示したものである。この一実施例のX線
回折装置は、試料1に対するX線照射方向を変化させる
ために試料1を回転自在に保持したX線ゴニオメータ2
と、前記試料1にX線を照射したときに該試料1から生
ずるX線回折像を蓄積するための2枚の放射線画像蓄積
板11,12と、これらの放射線画像蓄積板11,12
を画像読取位置あるいは画像蓄積位置に移動操作する移
動機構20と、前記移動機構20によって画像読取位置
に位置設定されている放射線画像蓄積板11,12から
放射線画像を読み取る放射線画像読取装置60とを具備
した構成である。なお、図中の矢印Xは入射X線を示
し、符号70はX線発生装置を示している。
1 and 4 show an embodiment of an X-ray diffraction apparatus according to the present invention. The X-ray diffractometer according to this embodiment includes an X-ray goniometer 2 that rotatably holds the sample 1 in order to change the X-ray irradiation direction on the sample 1.
And two radiation image storage plates 11 and 12 for storing an X-ray diffraction image generated from the sample 1 when the sample 1 is irradiated with X-rays, and these radiation image storage plates 11 and 12
A moving mechanism 20 for moving the image to the image reading position or the image storing position, and a radiation image reading device 60 for reading a radiation image from the radiation image storage plates 11 and 12 set at the image reading position by the moving mechanism 20. It is a configuration provided. Note that an arrow X in the figure indicates an incident X-ray, and a reference numeral 70 indicates an X-ray generator.

【0027】ここに、前記試料1は、結晶性試料であ
り、例えば、結晶の形態が時々刻々変化するコバロキシ
ム錯体等も対象とされ得る。X線ゴニオメータ2は図2
に示した従来例のものと同一のもので、公知のものであ
る。
Here, the sample 1 is a crystalline sample, and may be, for example, a covaloxime complex whose crystal form changes every moment. X-ray goniometer 2 is shown in FIG.
Are the same as those of the conventional example shown in FIG.

【0028】前記第1の放射線画像蓄積板11および第
2の放射線画像蓄積板12は、いずれも、円柱の外周面
に密着する如く湾曲した円弧板状の基板の内周面に放射
線画像蓄積性物質を塗布したもので、放射線画像蓄積性
物質が塗布された内周面全域が放射線画像蓄積面11
a,12aとなっている。また、これらの放射線画像蓄
積板11,12の放射線画像蓄積面11a,12aは、
後述の蓄積板移動用回転盤(図1に符号21で示してい
るもの)の回転中心軸Yを中心軸線とした円柱の外周面
に密着する如く湾曲した曲面(円弧面)となっている。
Each of the first radiation image storage plate 11 and the second radiation image storage plate 12 has a radiation image storage property on the inner peripheral surface of a circular arc plate-like substrate that is curved so as to be in close contact with the outer peripheral surface of a cylinder. The radiation image accumulating material 11 is applied to the radiation image accumulating material.
a and 12a. The radiation image storage surfaces 11a and 12a of the radiation image storage plates 11 and 12 are
It has a curved surface (arc surface) that is curved so as to be in close contact with the outer peripheral surface of a cylinder whose central axis is the rotation center axis Y of a storage plate moving rotary disk (shown by reference numeral 21 in FIG. 1) described later.

【0029】なお、これらの放射線画像蓄積板11,1
2に塗布されている放射線画像蓄積性物質は、X線等の
放射線が照射されると、その放射線照射による像を潜像
として蓄積し、その潜像に所定の励起用の光を照射する
と、その潜像に対応した発光を行う性質を有するもので
ある。なお、この放射線画像蓄積性物質自体は、公知の
ものである。
The radiation image storage plates 11, 1
When the radiation image accumulating substance applied to No. 2 is irradiated with radiation such as X-rays, the radiation image is accumulated as a latent image, and when the latent image is irradiated with predetermined excitation light, It has the property of emitting light corresponding to the latent image. The radiation image accumulating substance itself is a known substance.

【0030】前記移動機構20は、2枚の放射線画像蓄
積板11,12を前記放射線画像読取装置60を中心と
した円周上で移動させるための蓄積板移動用回転盤21
と、この蓄積板移動用回転盤21上で各放射線画像蓄積
板11,12の放射線画像蓄積面11a,12aの向き
を切り替えする向き回転手段22とを備えた構成とされ
ている。
The moving mechanism 20 includes a storage plate moving rotary plate 21 for moving the two radiation image storage plates 11 and 12 on a circumference around the radiation image reading device 60.
And a direction rotating means 22 for switching the directions of the radiation image storage surfaces 11a and 12a of the radiation image storage plates 11 and 12 on the storage plate moving rotary plate 21.

【0031】ここに、前記蓄積板移動用回転盤21は、
中央部に前記放射線画像読取装置60が挿通する中空部
21aを有したリング状を呈しており、回転量を高精度
に制御することのできる回転駆動機構(例えば、ウォー
ムとウォームホィールとの組み合わせによる回転駆動機
構など)によって、回転操作される。図1の軸Yは、こ
の蓄積板移動用回転盤21の回転中心軸であり、この一
実施例では鉛直に設定されている。そして、この回転中
心軸Yは、放射線画像読取装置60の回転中心軸Zと一
致している。この蓄積板移動用回転盤21には、前記放
射線画像蓄積板11,12を保持するための2個の蓄積
板取り付け部21b,21cが前記放射線画像読取装置
60を中心とする円周(即ち、軸Zを中心とする円周)
上に設定されており、前記放射線画像読取装置60を中
心とする回転動作(図に矢印Aで示す回転)によって、
放射線画像読取装置60の周囲に保持した任意の放射線
画像蓄積板を前記試料1に対峙する画像蓄積位置側へ移
動させる。
Here, the rotating plate 21 for moving the storage plate is
It has a ring shape having a hollow portion 21a through which the radiation image reading device 60 is inserted at the center, and a rotation driving mechanism (for example, a combination of a worm and a worm wheel, which can control the amount of rotation with high accuracy). The rotation operation is performed by a rotation drive mechanism or the like. The axis Y in FIG. 1 is a rotation center axis of the rotating plate 21 for moving the storage plate, and is set to be vertical in this embodiment. The rotation center axis Y coincides with the rotation center axis Z of the radiation image reading device 60. On the rotating plate 21 for moving the storage plate, two storage plate mounting portions 21b and 21c for holding the radiation image storage plates 11 and 12 have a circumference around the radiation image reading device 60 (ie, Circumference around axis Z)
It is set above, and by a rotation operation (rotation indicated by an arrow A in the figure) around the radiation image reading device 60,
An arbitrary radiation image storage plate held around the radiation image reading device 60 is moved to an image storage position side facing the sample 1.

【0032】前記向き回転手段22は、前記蓄積板取り
付け部21b,21cにおいて放射線画像蓄積板11,
12を回転操作するもので、回転操作の駆動源は、蓄積
板移動用回転盤21の裏面に取り付けたモータ22aで
ある。この向き回転手段22は、前記モータ22aによ
る回転操作によって、放射線画像蓄積板11,12の放
射線画像蓄積面11a,12aの向きを、内方向きの状
態あるいは外方向きの状態のいずれかに切り替える。
The direction rotating means 22 is provided at the storage plate mounting portions 21b, 21c to store the radiation image storage plate 11,
The motor 12a is mounted on the rear surface of the rotating plate 21 for moving the storage plate. The direction rotating means 22 switches the direction of the radiation image storage surfaces 11a and 12a of the radiation image storage plates 11 and 12 to either an inward state or an outward state by a rotation operation by the motor 22a. .

【0033】ここに、内方向きの状態とは、前記放射線
画像蓄積面11a,12aの円弧の中心が前記蓄積板移
動用回転盤21の回転中心に一致して、前記放射線画像
読取装置60による読み取りが可能な状態(図1に実線
で示した状態)を意味する。また、外方向きの状態と
は、前記放射線画像蓄積面11a,12aの円弧の中心
が前記X線ゴニオメータ2による試料1の回転軸線Pに
一致して試料1からの回折X線の蓄積が可能な状態のい
ずれかに切り替える。
Here, the inward state means that the center of the arc of the radiation image storage surfaces 11a and 12a coincides with the rotation center of the storage plate moving rotary plate 21 and the radiation image reading device 60 It means a state in which reading is possible (a state shown by a solid line in FIG. 1). Further, the outward state means that the center of the arc of the radiation image storage surfaces 11a and 12a coincides with the rotation axis P of the sample 1 by the X-ray goniometer 2, and the diffraction X-rays from the sample 1 can be stored. Switch to one of the different states.

【0034】図4は、放射線画像蓄積板11が内方向き
の状態に設定され、放射線画像蓄積板12が外方向きの
状態に設定された場合を示している。図4に示すよう
に、試料1と対峙するように外方向きの状態に設定され
た放射線画像蓄積板12の位置が画像蓄積位置である。
なお、放射線画像蓄積板11,12の双方が内方向きの
状態の時は、双方の放射線画像蓄積面11a,12aが
放射線画像読取装置60の回転中心軸Z(=Y)を中心
軸とした円筒面を構成する。この状態では、後述のよう
に、いずれの放射線画像蓄積面11a,12aも、放射
線画像読取装置60によって読み取りを実行することが
可能になる。換言すれば、内方向きの状態であれば、画
像読取位置にあると云える。
FIG. 4 shows a case where the radiation image storage plate 11 is set to the inward direction and the radiation image storage plate 12 is set to the outward direction. As shown in FIG. 4, the position of the radiation image storage plate 12 set to the outward direction so as to face the sample 1 is the image storage position.
When both of the radiation image storage plates 11 and 12 are inward, both radiation image storage surfaces 11a and 12a have the rotation center axis Z (= Y) of the radiation image reading device 60 as the center axis. Construct a cylindrical surface. In this state, as will be described later, it becomes possible to read the radiation image storage surfaces 11a and 12a by the radiation image reading device 60. In other words, if it is in the inward direction, it can be said that it is at the image reading position.

【0035】前記放射線画像読取装置60は、蓄積板移
動用回転盤21の回転中心軸Yに一致する軸線Zを回転
中心軸として回転する中空軸61と、この中空軸61の
先端側から中空軸61の半径方向に張り出したプローブ
62と、前記中空軸61の先端側においてプローブ62
と反対側に張り出したバランスアーム63と、前記中空
部21aを軸線Z方向に進退可能に支持した図示略の読
取装置本体とで構成されている。
The radiation image reading apparatus 60 includes a hollow shaft 61 that rotates about an axis Z that coincides with the rotation center axis Y of the rotating plate 21 for moving the storage plate, and a hollow shaft 61 that extends from the distal end of the hollow shaft 61. A probe 62 extending in the radial direction of the hollow shaft 61;
The balance arm 63 protrudes to the opposite side to the above, and a reading device main body (not shown) that supports the hollow portion 21a so as to be able to advance and retreat in the direction of the axis Z.

【0036】この図示略の読取装置本体は、この一実施
例では、前記蓄積板移動用回転盤21の下方に装備され
ており、蓄積板移動用回転盤21の中空部21aを挿通
した中空軸61を軸線Z方向に進退させる軸移動機構の
他に、励起光の光源や発光光の検出装置等を内蔵した構
成とされている。
In this embodiment, the main body of the reading device (not shown) is provided below the rotating plate 21 for moving the storage plate, and a hollow shaft inserted through the hollow portion 21a of the rotating plate 21 for moving the storage plate. In addition to an axis moving mechanism for moving the 61 forward and backward in the direction of the axis Z, a light source for excitation light, a detection device for emitted light, and the like are incorporated.

【0037】前記中空軸61およびプローブ62の内部
には、前記励起光を図示略の読取装置本体内に装備され
た光源からプローブ62の先端部まで導くとともに、放
射線画像蓄積板上での発光光を読取装置本体内に装備さ
れた発光光検出装置まで導く導光手段が挿通されてい
る。このような構成により、放射線画像読取装置60
は、プローブ62の先端部から励起光の照射および発光
光の検出を行う。なお、読取装置本体内に装備された発
光光検出手段は、コンピュータ等の画像処理装置に接続
されている。
In the inside of the hollow shaft 61 and the probe 62, the excitation light is guided from a light source provided in a reading device body (not shown) to the tip of the probe 62, and the light emitted from the radiation image storage plate is emitted. The light guiding means for guiding the light to the emitted light detection device provided in the reading device main body is inserted. With such a configuration, the radiation image reading device 60
Performs irradiation of excitation light and detection of emitted light from the tip of the probe 62. The emitted light detection means provided in the reading device main body is connected to an image processing device such as a computer.

【0038】前記中空軸61の中心軸線Zは、画像読取
位置にある各放射線画像蓄積板11,12の曲面のなす
円筒の中心軸と重なる。即ち、前記プローブ62を回転
させたとき、該プローブ62の先端が描く円筒と画像読
取位置に位置した放射線画像蓄積板11,12の放射線
画像蓄積面11a,12aのなす円筒とは同心であり、
プローブ62の描く円の僅かに外側に、前記放射線画像
蓄積面11a,12aが位置しする。図1において実線
で示した放射線画像蓄積板11,12は、画像読取位置
にある状態を示している。また、図1に2点鎖線で示し
た放射線画像蓄積板12は、画像蓄積位置に移動したと
きの状態を示している。
The central axis Z of the hollow shaft 61 overlaps the central axis of the cylinder formed by the curved surfaces of the radiation image storage plates 11 and 12 at the image reading position. That is, when the probe 62 is rotated, the cylinder drawn by the tip of the probe 62 and the cylinder formed by the radiation image storage surfaces 11a and 12a of the radiation image storage plates 11 and 12 located at the image reading positions are concentric,
The radiation image storage surfaces 11a and 12a are located slightly outside the circle drawn by the probe 62. In FIG. 1, the radiation image storage plates 11 and 12 indicated by solid lines are in a state of being at the image reading position. Further, the radiation image storage plate 12 shown by a two-dot chain line in FIG. 1 shows a state when it is moved to an image storage position.

【0039】前述の蓄積板移動用回転盤21の回転、向
き回転手段22による各放射線画像蓄積板11,12の
回転、前記中空軸61の回転によるプローブ62の回
転、中空軸61の軸線Z方向の進退量、X線回折像の蓄
積処理や読取処理のタイミング等は、いずれも、図示略
の制御装置によって制御される。
The rotation of the rotating plate 21 for moving the storage plate, the rotation of the radiation image storage plates 11 and 12 by the direction rotating means 22, the rotation of the probe 62 by the rotation of the hollow shaft 61, the axis Z of the hollow shaft 61 , And the timing of the X-ray diffraction image accumulation process and the reading process are all controlled by a controller (not shown).

【0040】ただし、この一実施例の場合、前記制御装
置は、放射線画像の読取処理に要する時間に応じて、放
射線画像読取装置60による読取処理の実行時期を変更
するようにしている。
However, in the case of this embodiment, the control device changes the execution timing of the reading process by the radiation image reading device 60 according to the time required for the reading process of the radiation image.

【0041】X線回折像の蓄積処理に要する時間よりも
読み取り処理に要する時間の方が短い場合、前記制御装
置は、例えば、最初に第1の放射線画像蓄積板11を画
像蓄積位置に位置させて、第1の放射線画像蓄積板11
に対してX線回折像の蓄積処理を実行させる。その間、
第2の放射線画像蓄積板12は放射線画像蓄積面12a
を内方向きの状態にしたままで待機させておく。
If the time required for the reading process is shorter than the time required for the X-ray diffraction image storage process, the control device, for example, first positions the first radiation image storage plate 11 at the image storage position. And the first radiation image storage plate 11
Is subjected to an X-ray diffraction image accumulation process. in the meantime,
The second radiation image storage plate 12 is a radiation image storage surface 12a.
Is kept in an inward state.

【0042】そして、第1の放射線画像蓄積板11に対
する蓄積処理が終了したら、まず、向き回転手段22に
よって放射線画像蓄積板11を180゜回転させて内方
向きの状態に戻すとともに、蓄積板移動用回転盤21を
180゜回転させて放射線画像蓄積板12を試料1側に
位置させ、さらに向き回転手段22によって放射線画像
蓄積板12を180゜回転させることによって、放射線
画像蓄積板12を外方向きの状態(即ち、画像蓄積位置
に位置させた状態)にして、第2の放射線画像蓄積板1
2に対してX線回折像の蓄積処理を実行させるととも
に、画像読取位置に退避している第1の放射線画像蓄積
板11に対して放射線画像読取装置60による読取処理
を実行させる。
When the storage processing for the first radiation image storage plate 11 is completed, first, the radiation image storage plate 11 is rotated by 180 ° by the direction rotating means 22 to return to the inward state, and the storage plate is moved. By rotating the rotating disk 21 by 180 ° to position the radiation image storage plate 12 on the sample 1 side, and further by rotating the radiation image storage plate 12 by 180 ° by the direction rotation means 22, the radiation image storage plate 12 is moved outward. The second radiographic image storage plate 1
2, the X-ray diffraction image storage process is executed, and the reading process by the radiation image reading device 60 is executed on the first radiation image storage plate 11 retracted to the image reading position.

【0043】そして、第2の放射線画像蓄積板12に対
する蓄積処理が終了したら、第2の放射線画像蓄積板1
2を向き回転手段22によって180゜回転させて内方
向きの状態にするとともに、蓄積板移動用回転盤21を
180゜回転させて放射線画像蓄積板11を試料1側に
位置させ、さらに放射線画像蓄積板11を向き回転手段
22によって180゜回転させることによって外方向き
の状態にして、第1の放射線画像蓄積板11に対してX
線回折像の蓄積処理を実行させるとともに、画像読取位
置に退避している第2の放射線画像蓄積板12に対して
放射線画像読取装置60による読取処理を実行させる。
When the storage processing for the second radiation image storage plate 12 is completed, the second radiation image storage plate 1
2 is rotated by 180 ° by the direction rotating means 22 so as to be in an inward direction, and the rotating plate 21 for rotating the storage plate is rotated by 180 ° to position the radiation image storage plate 11 on the sample 1 side. By rotating the storage plate 11 by 180 ° by the direction rotating means 22, the storage plate 11 is turned to the outward direction, and the first radiation image storage plate 11
In addition to the execution of the accumulation processing of the line diffraction image, the reading processing by the radiation image reading device 60 is executed on the second radiation image accumulation plate 12 retracted to the image reading position.

【0044】以後、同様に、放射線画像蓄積板11,1
2を交互に画像蓄積位置に移動させて、蓄積処理および
読取処理を繰り返させることによって、連続的なX線回
折像の蓄積処理を可能ならしめる。
Thereafter, similarly, the radiation image storage plates 11, 1
2 is alternately moved to the image storage position, and the storage processing and the reading processing are repeated, thereby enabling the continuous X-ray diffraction image storage processing.

【0045】なお、放射線画像読取装置60は、中空軸
61を1回転(即ち、プローブ62を1回転)させる毎
に中空軸61をZ軸方向に一定ピッチ送ることによっ
て、放射線画像蓄積面を走査してゆく。
The radiation image reading apparatus 60 scans the radiation image storage surface by feeding the hollow shaft 61 at a constant pitch in the Z-axis direction each time the hollow shaft 61 makes one rotation (ie, one rotation of the probe 62). I will do it.

【0046】一方、X線回折像の蓄積処理に要する時間
よりも読み取り処理に要する時間の方が長い場合には、
前記制御装置は、例えば、最初に第1の放射線画像蓄積
板11を画像蓄積位置に位置させて、第1の放射線画像
蓄積板11に対してX線回折像の蓄積処理を実行させ
る。その間、第2の放射線画像蓄積板12は内方向きの
状態に待機させておく。
On the other hand, when the time required for reading processing is longer than the time required for accumulating X-ray diffraction images,
The control device, for example, first positions the first radiation image storage plate 11 at the image storage position and causes the first radiation image storage plate 11 to execute an X-ray diffraction image storage process. During that time, the second radiation image storage plate 12 is kept in a standby state in an inward direction.

【0047】そして、第1の放射線画像蓄積板11に対
する蓄積処理が終了したら、まず、向き回転手段22に
よって放射線画像蓄積板11を180゜回転させて内方
向きの状態に戻すとともに、蓄積板移動用回転盤21を
180゜回転させて放射線画像蓄積板12を試料1側に
位置させ、さらに向き回転手段22によって放射線画像
蓄積板12を180゜回転させることによって、放射線
画像蓄積板12を外方向きの状態(即ち、画像蓄積位置
に位置させた状態)にして、第2の放射線画像蓄積板1
2に対してX線回折像の蓄積処理を実行させる。この第
2の放射線画像蓄積板12に対する蓄積処理の期間、放
射線画像蓄積板11は画像読取位置に待機させたままで
ある。
When the accumulation processing for the first radiation image accumulation plate 11 is completed, first, the radiation image accumulation plate 11 is rotated by 180 ° by the direction rotating means 22 to return to the inward state, and the accumulation plate is moved. By rotating the rotating disk 21 by 180 ° to position the radiation image storage plate 12 on the sample 1 side, and further by rotating the radiation image storage plate 12 by 180 ° by the direction rotation means 22, the radiation image storage plate 12 is moved outward. The second radiographic image storage plate 1
Then, an X-ray diffraction image accumulation process is executed for the sample No. 2. During the storage processing on the second radiation image storage plate 12, the radiation image storage plate 11 is kept on standby at the image reading position.

【0048】そして、第2の放射線画像蓄積板12に対
する蓄積処理が終了したら、第2の放射線画像蓄積板1
2を180゜回転させて内方向きの状態にし、第1およ
び第2の放射線画像蓄積板11,12の双方が放射線画
像蓄積面11a,12aを放射線画像読取装置60側に
向けた状態にする。そして、放射線画像読取装置60に
よって、互いに対面している放射線画像蓄積板11,1
2の双方に対して同時に読取処理を実行させる。
When the storage processing for the second radiation image storage plate 12 is completed, the second radiation image storage plate 1
2 is rotated by 180 ° so as to be directed inward, and both the first and second radiation image storage plates 11 and 12 face the radiation image storage surfaces 11a and 12a toward the radiation image reading device 60 side. . Then, the radiation image reading plates 60 cause the radiation image storage plates 11 and 1 facing each other.
2 are simultaneously read.

【0049】そして、放射線画像蓄積板11,12に対
する読取処理が終了したら、第1の放射線画像蓄積板1
1を画像蓄積位置に復帰させ、第1の放射線画像蓄積板
11に対する蓄積処理を実行させる。
When the reading process for the radiation image storage plates 11 and 12 is completed, the first radiation image storage plate 1
1 is returned to the image storage position, and the storage processing for the first radiation image storage plate 11 is executed.

【0050】以後、放射線画像蓄積板11,12の双方
にたいして連続して蓄積処理を実行したら、その後に、
放射線画像蓄積板11,12の双方を内方向きの状態に
して、放射線画像蓄積板11,12の双方に対して同時
に読取処理を実行させるという手順を繰り返す。
After that, if the accumulation processing is continuously performed on both the radiation image accumulation plates 11 and 12, then,
The procedure of setting both the radiation image storage plates 11 and 12 to the inward state and simultaneously performing the reading process on both the radiation image storage plates 11 and 12 is repeated.

【0051】これによって、X線回折像の蓄積処理に要
する時間よりも読み取り処理に要する時間の方が長い場
合でも、それらの処理時間の差分による待ち時間が必要
なく連続して2枚の放射線画像蓄積板11,12へ蓄積
処理を行うことが可能になり、また、放射線画像読取装
置60による読み取り処理回数の低減も相乗されて、蓄
積処理に要する時間と読取処理に要する時間の差分によ
る待ち時間が、実質的には1/2以下に低減されること
になり、測定処理の能率を大きく改善することが可能に
なる。
Thus, even if the time required for the reading process is longer than the time required for the accumulation process of the X-ray diffraction image, two radiation images can be continuously formed without a waiting time due to the difference between the processing times. The accumulation process can be performed on the accumulation plates 11 and 12, and the reduction in the number of times of the reading process by the radiation image reading device 60 is also synergistically performed, and the waiting time due to the difference between the time required for the accumulation process and the time required for the reading process. Is substantially reduced to 以下 or less, and the efficiency of the measurement processing can be greatly improved.

【0052】以上の説明から明らかなように、一実施例
のX線回折装置は、放射線画像読取装置60を中心とし
た放射線画像蓄積板11,12の公転運動を移動機構2
0の蓄積板移動用回転盤21によって実現し、さらに、
前記公転運動の軌道上での各放射線画像蓄積板11,1
2の自転運動を前記移動機構20の向き回転手段22に
よって実現したもので、前記公転運動によって任意の放
射線画像蓄積板を試料1に対峙する画像蓄積位置側に位
置させることができる。そして、公転運動によって画像
蓄積位置側に位置させた放射線画像蓄積板は、前記自転
運動によって、放射線画像蓄積面の円弧の中心が前記蓄
積板移動用回転盤21の回転中心Yに一致して前記放射
線画像読取装置60による読み取りが可能な内方向きの
状態、あるいは、前記放射線画像蓄積面の円弧の中心が
前記試料1の回転軸線に一致して試料1からの回折X線
の蓄積が可能な外方向きの状態のいずれかに切り替える
ことができる。
As is apparent from the above description, the X-ray diffractometer of one embodiment uses the moving mechanism 2 to revolve the radiation image storage plates 11 and 12 around the radiation image reading device 60.
0 is realized by the rotating plate 21 for moving the storage plate.
Each radiation image storage plate 11, 1 on the orbit of the orbital motion
2 is realized by the direction rotating means 22 of the moving mechanism 20, and an arbitrary radiation image storage plate can be positioned on the image storage position side facing the sample 1 by the orbital movement. Then, the radiation image storage plate positioned on the image storage position side by the revolving motion is such that the center of the arc of the radiation image storage surface coincides with the rotation center Y of the storage plate moving rotary plate 21 by the rotation motion. The radiation image reading device 60 can read inward, or the center of the circular arc of the radiation image storage surface coincides with the rotation axis of the sample 1 so that diffracted X-rays from the sample 1 can be stored. It can be switched to any of the outward facing states.

【0053】したがって、公転運動によって試料1に対
峙する位置に移動させた放射線画像蓄積板の放射線画像
蓄積面の向きを前記自転運動によって外方向きの状態に
切り替え、その放射線画像蓄積面に対してX線回折像の
蓄積処理を済ませたら、前記自転運動によってその放射
線画像蓄積面の向きを内方向きの状態に切り替え、次の
放射線画像蓄積板を公転運動によって試料1に対峙する
位置に移動させるという一連の動作を繰り返すことによ
って、連続して、2枚の放射線画像蓄積板11,12に
X線回折像を蓄積させることができる。
Therefore, the direction of the radiation image storage surface of the radiation image storage plate moved to the position facing the sample 1 by the revolving motion is switched to the outward direction by the rotation motion, and the radiation image storage surface is moved relative to the radiation image storage surface. After the accumulation processing of the X-ray diffraction image is completed, the direction of the radiation image accumulation surface is switched to the inward state by the rotation, and the next radiation image accumulation plate is moved to a position facing the sample 1 by the orbital movement. By repeating the series of operations described above, X-ray diffraction images can be successively accumulated in the two radiation image accumulation plates 11 and 12.

【0054】また、蓄積板移動用回転盤21に装備する
放射線画像蓄積板11,12は、前記向き回転手段22
によって双方の放射線画像蓄積面11a,12aを内方
向きの状態に設定しておけば、放射線画像読取装置60
の周囲を囲う円筒状の配列となり、一括して各放射線画
像蓄積板11,12に蓄積された放射線画像を読み取ら
せることもできる。
The radiation image accumulating plates 11 and 12 provided on the accumulating plate moving rotary plate 21 are provided with the direction rotating means 22.
If both radiation image storage surfaces 11a and 12a are set in an inward state, the radiation image reading device 60
, And the radiation images stored in the radiation image storage plates 11 and 12 can be read at once.

【0055】したがって、前述したように、予め2枚の
放射線画像蓄積板11,12に対して放射線画像の蓄積
処理を済ませ、その後に一括して放射線画像の読取処理
を行うことが可能で、このような利用法によって、X線
回折像の蓄積処理に要する時間よりも読み取り処理に要
する時間の方が長い場合でも、それらの処理時間の差分
による待ち時間が必要なく連続してX線回折像を蓄積す
ることができて、測定処理の能率向上を図ると同時に、
多様な回折測定に利用することが可能になる。
Therefore, as described above, the radiation image storage processing can be completed for the two radiation image storage plates 11 and 12 in advance, and the radiation image reading processing can be performed collectively thereafter. Even if the time required for the reading process is longer than the time required for the accumulation process of the X-ray diffraction image due to such a use method, the X-ray diffraction image can be continuously generated without a waiting time due to the difference between the processing times. It can accumulate and improve the efficiency of the measurement process,
It can be used for various diffraction measurements.

【0056】しかも、移動機構20を構成する蓄積板移
動用回転盤21および向き回転手段22は、いずれも単
純な回転運動機構でよいため、機構の単純化に適すると
同時に、移動機構のコンパクト化によって装置の省スペ
ース化を促進することができ、さらに、移動位置の再現
性を高めることも容易になる。
In addition, since both the rotating plate 21 for moving the storage plate and the direction rotating means 22 constituting the moving mechanism 20 need only be a simple rotating movement mechanism, it is suitable for simplification of the mechanism, and at the same time, the moving mechanism can be made compact. As a result, space saving of the apparatus can be promoted, and the reproducibility of the movement position can be easily improved.

【0057】なお、前述の一実施例では、蓄積板移動用
回転盤21上の装備する放射線画像蓄積板を2枚とした
が、前記放射線画像蓄積板の寸法設定に際して、幅寸法
(前記蓄積板移動用回転盤21の回転中心を中心とした
円周方向の寸法)を小さく設定すれば、蓄積板移動用回
転盤21による公転運動の半径を増大させずに、より多
数の放射線画像蓄積板を装備することが可能になる。図
5は、本発明の他の実施例として、蓄積板移動用回転盤
21上に4枚の放射線画像蓄積板13,14,15,1
6を装備した場合の構成を示したものである。このよう
に、放射線画像蓄積板の一枚当りの幅寸法を小さく設定
すれば、任意の枚数の放射線画像蓄積板を装備すること
が可能になり、これによって、X線回折装置としての設
置スペースをコンパクトに抑えた上で、画像蓄積処理の
多数回連続実行が可能になり、設置スペースをコンパク
トに抑えると同時に、多様な回折測定への対応を実現す
ることが可能になる。
In the above-described embodiment, two radiation image storage plates are provided on the storage plate moving rotary plate 21. However, when setting the dimensions of the radiation image storage plate, the width dimension (the storage plate) is set. If the size in the circumferential direction around the rotation center of the moving rotary plate 21 is set small, a larger number of radiation image storage plates can be formed without increasing the radius of revolving motion of the storage plate moving rotary plate 21. It becomes possible to equip. FIG. 5 shows another embodiment of the present invention, in which four radiation image storage plates 13, 14, 15, 1 are placed on a storage plate moving rotary plate 21.
6 shows a configuration in the case of being equipped. As described above, if the width of one radiation image storage plate is set to be small, it is possible to equip an arbitrary number of radiation image storage plates, thereby reducing the installation space as an X-ray diffraction device. It is possible to execute the image storage process many times continuously while keeping the size compact, and it is also possible to reduce the installation space and realize various diffraction measurements.

【0058】また、前述の一実施例では、放射線画像蓄
積板の画像蓄積面の全域を読取走査するために、放射線
画像読取装置60の中空軸61を軸線方向に進退可能に
したが、中空軸61は単純に回転させるだけの構成とし
て、代りに、放射線画像蓄積板を保持している蓄積板移
動用回転盤21を軸線Zの方向に進退させる構成として
もよい。
Further, in the above-described embodiment, the hollow shaft 61 of the radiation image reading device 60 is movable in the axial direction in order to read and scan the entire image storage surface of the radiation image storage plate. 61 may be configured to simply rotate, and instead, may be configured to move the storage plate moving rotary disk 21 holding the radiation image storage plate in the direction of the axis Z.

【0059】また、前述の一実施例では、放射線画像読
取装置60は、読取装置本体を蓄積板移動用回転盤21
の下方に配置し、蓄積板移動用回転盤21の下側から中
空軸61の回転動作や進退動作を制御する構成とした
が、これは、放射線画像読取装置60の可動部の動作と
移動機構20の動作との連動を容易にしたり、装置のコ
ンパクト化を図るための配慮であり、本発明は、このよ
うな各機構の位置関係を一実施例に限定するものではな
い。
Further, in the above-described embodiment, the radiation image reading device 60 is configured such that the main body of the reading device is the rotary plate 21 for moving the storage plate.
, And the rotation operation and the forward / backward movement of the hollow shaft 61 are controlled from below the storage plate moving rotary plate 21. This is because of the operation of the movable part of the radiation image reading device 60 and the moving mechanism. This is for the purpose of facilitating the interlocking with the operation of 20 and making the device compact, and the present invention does not limit the positional relationship between such mechanisms to one embodiment.

【0060】[0060]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係るX線回折装置は、放射線画像読取装置の周囲に複
数の放射線画像蓄積板を配置し、放射線画像読取装置を
中心とした放射線画像蓄積板の公転運動を移動機構の蓄
積板移動用回転盤によって実現し、さらに、前記公転運
動の軌道上での各放射線画像蓄積板の自転運動を前記移
動機構の向き回転手段によって実現したもので、前記公
転運動によって任意の放射線画像蓄積板を試料に対峙す
る画像蓄積位置側に位置させることができる。そして、
公転運動によって画像蓄積位置側に位置させた放射線画
像蓄積板は、前記自転運動によって、放射線画像蓄積面
の円弧の中心が前記蓄積板移動用回転盤の回転中心に一
致して前記放射線画像読取装置による読み取りが可能な
内方向きの状態、あるいは、前記放射線画像蓄積面の円
弧の中心が前記試料の回転軸線に一致して試料からの回
折X線の蓄積が可能な外方向きの状態のいずれかに切り
替えることができる。
As is apparent from the above description, the X-ray diffractometer according to the present invention has a plurality of radiation image storage plates arranged around a radiation image reader, and the radiation image is focused on the radiation image reader. The revolving motion of the image storage plate is realized by the rotating plate for moving the storage plate of the moving mechanism, and the rotation of each radiation image storage plate on the orbit of the revolving motion is realized by the direction rotating means of the moving mechanism. Thus, an arbitrary radiation image storage plate can be positioned on the image storage position side facing the sample by the orbital motion. And
The radiation image storage plate positioned on the image storage position side by the revolving motion is such that the center of the arc of the radiation image storage surface coincides with the rotation center of the storage plate moving rotary plate by the rotation motion, and the radiation image reading device In the direction in which the X-rays can be read, or in the outward direction where the center of the arc of the radiation image storage surface coincides with the rotation axis of the sample and diffraction X-rays from the sample can be stored. Can be switched.

【0061】したがって、公転運動によって試料に対峙
する位置に移動させた放射線画像蓄積板の放射線画像蓄
積面の向きを前記自転運動によって外方向きの状態に切
り替え、その放射線画像蓄積面に対してX線回折像の蓄
積処理を済ませたら、前記自転運動によってその放射線
画像蓄積面の向きを内方向きの状態に切り替え、次の放
射線画像蓄積板を公転運動によって試料に対峙する位置
に移動させるという一連の動作を繰り返すことによっ
て、連続して、複数枚の放射線画像蓄積板にX線回折像
を蓄積させることができる。
Therefore, the direction of the radiation image storage surface of the radiation image storage plate moved to the position facing the sample by the revolving motion is switched to the outward direction by the rotation motion, and the radiation image storage surface is moved to the X direction. After the accumulation processing of the X-ray diffraction image is completed, the direction of the radiation image storage surface is switched to the inward state by the rotation, and the next radiation image storage plate is moved to a position facing the sample by the orbital movement. By repeating the above operation, the X-ray diffraction images can be successively accumulated in a plurality of radiation image accumulation plates.

【0062】また、複数枚の放射線画像蓄積板は、放射
線画像読取装置の周囲を囲う円筒状の配列となっている
ため、前記向き回転手段によって全ての放射線画像蓄積
面を内方向きに設定しておけば、一括して各放射線画像
蓄積板に蓄積された放射線画像を読み取らせることもで
きる。
Further, since the plurality of radiation image storage plates are arranged in a cylindrical shape surrounding the periphery of the radiation image reading apparatus, all the radiation image storage surfaces are set inward by the direction rotating means. If this is done, the radiation images stored in each radiation image storage plate can be read all together.

【0063】したがって、例えば、予め複数枚の放射線
画像蓄積板の全てに対して放射線画像の蓄積処理を済ま
せ、その後に一括して放射線画像の読取処理を行うこと
が可能で、このような利用法によって、X線回折像の蓄
積処理に要する時間よりも読み取り処理に要する時間の
方が長い場合でも、それらの処理時間の差分による待ち
時間が必要なく連続して多数のX線回折像を蓄積するこ
とができて、測定処理の能率向上を図ると同時に、多様
な回折測定への応用が可能になる。
Therefore, for example, it is possible to complete the radiation image storage processing on all of the plurality of radiation image storage plates in advance, and thereafter perform the radiation image reading processing collectively. Therefore, even when the time required for the reading process is longer than the time required for the accumulation process of the X-ray diffraction images, a large number of X-ray diffraction images are continuously accumulated without the need for a waiting time due to the difference between the processing times. As a result, the efficiency of the measurement process can be improved, and at the same time, it can be applied to various diffraction measurements.

【0064】また、前記放射線画像蓄積板の寸法設定に
際して、幅寸法(即ち、前記蓄積板移動用回転盤の回転
中心を中心とした円周方向の寸法)を小さく設定すれ
ば、蓄積板移動用回転盤による公転運動の半径を増大さ
せずに、より多数の放射線画像蓄積板を装備することが
可能になり、X線回折装置としての設置スペースをコン
パクトに抑えた上で、X線回折像の蓄積能力を増大させ
ることが可能になる。しかも、移動機構を構成する蓄積
板移動用回転盤および向き回転手段は、いずれも単純な
回転運動機構でよいため、機構の単純化に適すると同時
に、移動位置の再現性を高めることも容易になる。
In setting the dimensions of the radiation image storage plate, if the width dimension (ie, the size in the circumferential direction around the rotation center of the storage plate moving rotary plate) is set small, the storage plate movement It is possible to equip a larger number of radiographic image storage plates without increasing the radius of the orbital motion by the rotating disk, and to reduce the installation space of the X-ray diffraction device compactly, It is possible to increase the storage capacity. In addition, since both the rotating plate for moving the storage plate and the direction rotating means that constitute the moving mechanism may be simple rotating motion mechanisms, it is suitable for simplification of the mechanism and easily enhances reproducibility of the moving position. Become.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例の斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of one embodiment of the present invention.

【図2】従来のX線回折装置の斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of a conventional X-ray diffraction apparatus.

【図3】従来のX線回折装置の平面図である。FIG. 3 is a plan view of a conventional X-ray diffraction apparatus.

【図4】本発明の一実施例の平面図である。FIG. 4 is a plan view of one embodiment of the present invention.

【図5】本発明の他の実施例の平面図である。FIG. 5 is a plan view of another embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 試料 2 X線ゴニオメータ 11,12,13,14,15,16 放射線画像蓄積
板 11a,12a 放射線画像蓄積面 20 移動機構 21 蓄積板移動用回転盤 22 向き回転手段 60 放射線画像読取装置 61 中空軸 62 プローブ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Sample 2 X-ray goniometer 11, 12, 13, 14, 15, 16 Radiation image storage plate 11a, 12a Radiation image storage surface 20 Moving mechanism 21 Storage plate moving rotary plate 22 Orientation rotating means 60 Radiation image reading device 61 Hollow shaft 62 probe

フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−161266(JP,A) 特開 平3−167458(JP,A) 特開 平2−12043(JP,A) 特開 平3−57947(JP,A) 実開 平1−152250(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 23/20 - 23/207 Continuation of front page (56) References JP-A-62-161266 (JP, A) JP-A-3-167458 (JP, A) JP-A-2-12043 (JP, A) JP-A-3-57947 (JP) , A) Hikaru Hei 1-152250 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G01N 23/20-23/207

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 試料に対するX線照射方向を変化させる
ために試料を回転自在に保持したX線ゴニオメータと、
前記試料にX線を照射したときに該試料から生ずるX線
回折像を蓄積するための複数枚の放射線画像蓄積板と、
これらの複数枚の放射線画像蓄積板を画像読取位置ある
いは画像蓄積位置に移動操作する移動機構と、前記移動
機構によって画像読取位置に位置設定されている放射線
画像蓄積板から放射線画像を読み取る放射線画像読取装
置とを備えたX線回折装置であって、 前記移動機構が、複数枚の放射線画像蓄積板を前記放射
線画像読取装置を中心とした円周上で移動させるための
蓄積板移動用回転盤と、この蓄積板移動用回転盤上で各
放射線画像蓄積板の放射線画像蓄積面の向きを切り替え
する向き回転手段とを備えた構成とされるとともに、 前記複数枚の放射線画像蓄積板のそれぞれは、放射線画
像を蓄積する放射線画像蓄積面が前記蓄積板移動用回転
盤の回転中心軸を中心軸線とした円柱の外周面に密着す
る如く湾曲した円弧板状に形成され、 かつ、前記蓄積板移動用回転盤は、複数枚の放射線画像
蓄積板を保持するために複数個の蓄積板取り付け部が前
記放射線画像読取装置を中心とする円周上に設定され
て、前記放射線画像読取装置を中心とする回転動作によ
って、放射線画像読取装置の周囲に保持した任意の放射
線画像蓄積板を前記試料に対峙する画像蓄積位置側へ移
動させる構成とされ、 前記向き回転手段は、前記蓄積板移動用回転盤の前記蓄
積板取り付け部において放射線画像蓄積板を回転操作す
ることによって、放射線画像蓄積板の放射線画像蓄積面
の向きを、前記放射線画像蓄積面の円弧の中心が前記蓄
積板移動用回転盤の回転中心に一致して前記放射線画像
読取装置による読み取りが可能な内方向き、あるいは、
前記放射線画像蓄積面の円弧の中心が前記試料の回転軸
線に一致して試料からの回折X線の蓄積が可能な外方向
きのいずれかに切り替える構成とされたことを特徴とす
るX線回折装置。
An X-ray goniometer that rotatably holds a sample so as to change an X-ray irradiation direction on the sample;
A plurality of radiation image storage plates for storing an X-ray diffraction image generated from the sample when the sample is irradiated with X-rays;
A moving mechanism for moving the plurality of radiation image storage plates to the image reading position or the image storage position; and a radiation image reading device for reading a radiation image from the radiation image storage plate positioned at the image reading position by the moving mechanism. An X-ray diffraction apparatus comprising: a storage plate moving rotary plate for moving the plurality of radiation image storage plates on a circumference centering on the radiation image reading device; And a direction rotating means for switching the direction of the radiation image storage surface of each radiation image storage plate on the storage plate moving rotary plate, and each of the plurality of radiation image storage plates, A radiation image accumulation surface for accumulating a radiation image is formed in a curved circular plate shape so as to be in close contact with the outer peripheral surface of a cylinder having the rotation axis of the accumulation plate moving rotary disk as a central axis. Further, the storage plate moving rotary plate has a plurality of storage plate mounting portions set on a circumference centered on the radiation image reading apparatus to hold a plurality of radiation image storage plates, and The rotation operation around the image reading device is configured to move any radiation image storage plate held around the radiation image reading device to the image storage position side facing the sample, and the direction rotation unit is By rotating the radiation image storage plate at the storage plate attachment part of the storage plate moving rotary plate, the direction of the radiation image storage surface of the radiation image storage plate is adjusted so that the center of the arc of the radiation image storage surface is the storage plate. Inward direction that can be read by the radiation image reading device in accordance with the rotation center of the moving rotary plate, or
X-ray diffraction characterized in that the center of the arc of the radiation image storage surface coincides with the rotation axis of the sample and is switched to any one of outward directions where diffraction X-rays from the sample can be stored. apparatus.
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