JP3219465B2 - Galvano mirror - Google Patents
Galvano mirrorInfo
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- JP3219465B2 JP3219465B2 JP15812392A JP15812392A JP3219465B2 JP 3219465 B2 JP3219465 B2 JP 3219465B2 JP 15812392 A JP15812392 A JP 15812392A JP 15812392 A JP15812392 A JP 15812392A JP 3219465 B2 JP3219465 B2 JP 3219465B2
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、光学式記録再生装置な
どに用いられ、基準光軸に沿ったレーザ光などの光束を
所定の方向に反射するガルバノミラーに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a galvanomirror used in an optical recording / reproducing apparatus or the like and reflecting a light beam such as a laser beam along a reference optical axis in a predetermined direction.
【０００２】[0002]
【従来の技術】上述の種のガルバノミラーとしては、例
えば、特開昭５５−４７８７号公報に開示されているも
のが知られている。このガルバノミラーを、図８乃至図
１３を用いて説明する。2. Description of the Related Art As a galvanomirror of the type described above, for example, one disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 55-4787 is known. This galvanometer mirror will be described with reference to FIGS.
【０００３】図８において、符号８０はベースを示す。
このベース８０は基準面８２を有している。この基準面
８２は、図示しない取り付け部材に固着されている。こ
の取り付け部材は、光学式記録再生装置のハウジングの
一部を構成している。In FIG. 8, reference numeral 80 indicates a base.
The base 80 has a reference surface 82. The reference surface 82 is fixed to a mounting member (not shown). This mounting member forms a part of the housing of the optical recording / reproducing apparatus.
【０００４】ミラー８４は支持部材８６の表面に固着さ
れている。この支持部材８６の裏面には、図９に示すよ
うに、ゴムなどの弾性体よりなる芯部８８の一端部が固
着されている。この芯部８８の他端部の周囲には、円筒
状の係止部材９０が固着されている。この係止部材９０
は、ベース８０に形成された孔９２内に図中左右方向に
沿って移動可能に挿入されている。係止部材９０の移動
は、図１１に示す第１のねじ９４によって規制されてい
る。[0004] The mirror 84 is fixed to the surface of a support member 86. As shown in FIG. 9, one end of a core 88 made of an elastic material such as rubber is fixed to the back surface of the support member 86. A cylindrical locking member 90 is fixed around the other end of the core 88. This locking member 90
Is movably inserted in a hole 92 formed in the base 80 along the left-right direction in the figure. The movement of the locking member 90 is regulated by the first screw 94 shown in FIG.
【０００５】図９に示すように、芯部８８の裏面９６に
は、溝９８と凹部１００とが形成されている。溝９８に
は、第２のねじ１０２の先端部が係合している。凹部１
００には、第３のねじ１０４の先端部が係合している。
第２のねじ１０２の先端部と第３のねじ１０４の先端部
とを結ぶ線は、支持部材８６の回動中心軸を形成してお
り、ミラー８４は図１２に示す矢印方向に回動すること
ができる。As shown in FIG. 9, a groove 98 and a concave portion 100 are formed on the back surface 96 of the core portion 88. The distal end of the second screw 102 is engaged with the groove 98. Recess 1
00 is engaged with the tip of the third screw 104.
A line connecting the distal end of the second screw 102 and the distal end of the third screw 104 forms the rotation center axis of the support member 86, and the mirror 84 rotates in the direction of the arrow shown in FIG. be able to.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】一般的に、ガルバノミ
ラーを用いた光学式記録再生装置では、ガルバノミラー
からの実際の反射光の光軸が、所望の反射光の光軸に対
してずれたり傾いたりすると、収差が大きくなったりサ
ーボ信号にオフセットが生じたりして、正確に信号を読
み出せなくなってしまう。従って、実際の光軸が所望の
光軸に対するずれが出来るだけ少なくなるように、ガル
バノミラーを取り付け部材に取り付ける必要がある。特
に、ミラーによる反射光の角度変化量は、ミラー自体の
角度変化量の２倍に拡大されるため、ミラー回動精度を
上げる必要がある。Generally, in an optical recording / reproducing apparatus using a galvanomirror, the optical axis of the actual reflected light from the galvanomirror is shifted from the optical axis of the desired reflected light. If it is tilted, the aberration will increase or an offset will occur in the servo signal, making it impossible to read the signal accurately. Therefore, it is necessary to attach the galvanomirror to the attachment member so that the deviation of the actual optical axis from the desired optical axis is as small as possible. In particular, since the angle change amount of the reflected light by the mirror is enlarged to twice the angle change amount of the mirror itself, it is necessary to increase the mirror rotation accuracy.
【０００７】上述した従来のガルバノミラーでは、ベー
ス８０の基準面８２が取り付け部材に取り付けられてい
る。しかし、取り付け部材に対するミラー８４の位置精
度は、複数の部材の形成精度を累積したものとなってい
る。即ち、ミラー８４は、支持部材８６と、芯部８８
と、係止部材９０と、ベース８０との４つの部材を介し
て取り付け部材に取り付けられているため、取り付け部
材に対するミラー８４の位置精度は、これら４つの部材
の形成精度を累積したものとなる。In the above-described conventional galvanomirror, the reference surface 82 of the base 80 is mounted on a mounting member. However, the positional accuracy of the mirror 84 with respect to the mounting member is obtained by accumulating the forming accuracy of a plurality of members. That is, the mirror 84 includes the support member 86 and the core 88
And the fixing member 90 and the base 80 are attached to the mounting member via four members, so that the positional accuracy of the mirror 84 with respect to the mounting member is obtained by accumulating the forming accuracy of these four members. .
【０００８】このため、ミラー８４の位置精度を上げる
ことは困難である。これを達成するには、取り付け部材
に取り付けられる基準面８２に対してミラー８４を傾け
る調節機構等が必要となるので、コストが上り、小型化
に不向きである。Therefore, it is difficult to improve the positional accuracy of the mirror 84. In order to achieve this, an adjustment mechanism or the like for inclining the mirror 84 with respect to the reference surface 82 attached to the attachment member is required, so that the cost is increased and it is not suitable for downsizing.
【０００９】又、特開昭６１−９６５３号公報には、ガ
ラス等のベースにフレネルレンズである対物レンズを形
成し、この対物レンズを圧電素子を利用して駆動する装
置が開示されているが、この公報には、支持部材の取り
付けに関して、即ち取り付け部材に対する対物レンズの
位置精度に関しては、何ら記載されていない。Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-9653 discloses an apparatus in which an objective lens, which is a Fresnel lens, is formed on a base such as glass and the objective lens is driven by using a piezoelectric element. This publication does not disclose anything about the mounting of the support member, that is, the positional accuracy of the objective lens with respect to the mounting member.
【００１０】本発明は上述の問題に鑑みてなされたもの
であり、その目的とするところは、取り付け部材に対す
るミラーの位置精度及び回動精度の高いガルバノミラー
を提供することである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a galvano mirror having a high positional accuracy and a high rotational accuracy with respect to a mounting member.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】従って、請求項１に記載
された発明によるガルバノミラーは、取り付け部材に取
り付けられて使用されるガルバノミラーであって：前記
取り付け部材に取り付けられる際の基準となる基準面を
有しており、前記基準面を介して前記取り付け部材に取
り付けられるベースと；ミラーと；前記ベースに固定さ
れる固定面を有し、前記固定面を介して前記ベースに固
定されており、前記ミラーを回動可能に支持している支
持部材と；前記支持部材を駆動し、前記ミラーを回動さ
せる駆動手段と；を備えており、前記ベースの前記基準
面と前記支持部材の前記固定面とが同一平面内にあると
ともに、前記支持部材が前記駆動手段により駆動されて
いない時には前記支持部材が支持しているミラーの反射
面が前記ベースの前記基準面に対し平行に配置されてい
る、ことを特徴としている。Accordingly, a galvanomirror according to the present invention is a galvanomirror that is used by being attached to a mounting member, and serves as a reference when being attached to the mounting member. A base having a reference surface, the base being attached to the attachment member via the reference surface; a mirror; having a fixed surface fixed to the base, being fixed to the base via the fixed surface. A supporting member that rotatably supports the mirror; and a driving unit that drives the supporting member and rotates the mirror. The reference surface of the base and the supporting member When the fixing surface is in the same plane and the support member is not driven by the driving means, the reflecting surface of the mirror supported by the support member is the base. Are arranged in parallel with the serial reference plane, it is characterized in that.
【００１２】請求項２に記載された発明によるガルバノ
ミラーは、取り付け部材に取り付けられて使用されるガ
ルバノミラーであって：ベースと；ミラーと；前記ベー
スに固定される固定面と前記取り付け部材に取り付ける
際の基準となる基準面とを有し、前記固定面を介して前
記ベースに固定されているとともに前記基準面を介して
前記取り付け部材に取り付けられており、前記ミラーを
回動可能に支持している支持部材と；前記支持部材を駆
動し、前記ミラーを回動させる駆動手段と；を備えてお
り、前記支持部材が前記駆動手段により駆動されていな
い時には前記支持部材が支持しているミラーの反射面が
前記支持部材の前記基準面に対し平行に配置されてい
る、ことを特徴としている。A galvanomirror according to a second aspect of the present invention is a galvanomirror used by being mounted on a mounting member: a base, a mirror, a fixing surface fixed to the base, and a mounting surface. A reference surface serving as a reference when mounting, fixed to the base via the fixing surface, and attached to the mounting member via the reference surface, and rotatably supporting the mirror. And a drive unit for driving the support member and rotating the mirror, and the support member supports the support member when the support member is not driven by the drive unit. The reflection surface of the mirror is arranged parallel to the reference surface of the support member.
【００１３】[0013]
【作用】上述した如く構成されていることを特徴とする
請求項１に記載された発明によるガルバノミラーは、取
り付け部材に取り付けられて使用される。そして、ベー
スが、取り付け部材に取り付けられる際の基準となる基
準面を有していて基準面を介して前記取り付け部材に取
り付けられている。ミラーを回動可能に支持している支
持部材が、前記ベースに固定される固定面を有し、前記
固定面を介して前記ベースに固定されている。前記支持
部材は駆動手段により駆動され、前記ミラーを回動させ
る。前記ベースの前記基準面と前記支持部材の前記固定
面とが同一平面内にあるとともに、前記支持部材が前記
駆動手段により駆動されていない時には前記支持部材が
支持しているミラーの反射面が前記ベースの前記基準面
に対し平行に配置されている。上述した如く構成されて
いることを特徴とする請求項２に記載された発明による
ガルバノミラーもまた、取り付け部材に取り付けられて
使用される。そして、ミラーを回動可能に支持している
支持部材が、ベースに固定される固定面と前記取り付け
部材に取り付ける際の基準となる基準面とを有してい
て、前記固定面を介して前記ベースに固定されていると
ともに前記基準面を介して前記取り付け部材に取り付け
られている。前記支持部材は駆動手段により駆動され、
前記ミラーを回動させる。前記支持部材が前記駆動手段
により駆動されていない時には前記支持部材が支持して
いるミラーの反射面が前記支持部材の前記基準面に対し
平行に配置されている。The galvanomirror according to the first aspect of the present invention is configured as described above, and is used by being mounted on a mounting member. The base has a reference surface that serves as a reference when the base is attached to the attachment member, and is attached to the attachment member via the reference surface. A support member rotatably supporting the mirror has a fixed surface fixed to the base, and is fixed to the base via the fixed surface. The support member is driven by driving means to rotate the mirror. The reference surface of the base and the fixed surface of the support member are in the same plane, and when the support member is not driven by the driving means, the reflection surface of the mirror supported by the support member is The base is arranged parallel to the reference plane. The galvanomirror according to the second aspect of the present invention, which is configured as described above, is also used by being mounted on a mounting member. A support member rotatably supporting the mirror has a fixed surface fixed to the base and a reference surface serving as a reference when the mirror is attached to the attachment member, and the reference surface is provided through the fixed surface. It is fixed to a base and attached to the attachment member via the reference surface. The support member is driven by driving means,
The mirror is rotated. When the support member is not driven by the driving means, a reflection surface of a mirror supported by the support member is arranged parallel to the reference surface of the support member.
【００１４】[0014]
【実施例】次に、本発明によるガルバノミラーの第１実
施例を図１乃至図６を参照して説明する。Next, a first embodiment of a galvanometer mirror according to the present invention will be described with reference to FIGS.
【００１５】図１において符号２はガルバノミラーを示
す。このガルバノミラー２は、ミラー４を有している。
このガルバノミラー２は、２本のビス６によって取り付
け部材８に取り付けられている。この取り付け部材８
は、光学式記録再生装置のハウジングの一部を構成して
いる。In FIG. 1, reference numeral 2 denotes a galvanometer mirror. This galvanometer mirror 2 has a mirror 4.
The galvanometer mirror 2 is attached to the attachment member 8 by two screws 6. This mounting member 8
Constitutes a part of the housing of the optical recording / reproducing apparatus.
【００１６】図２に示すように、ミラー４は前方（Ｚ1
側）に反射面１０を有している。このミラー４は、支持
部材である支持ばね１２の前面１４に固着されている。
この支持ばね１２は、厚さ０．１mm程度のリン青銅等の
金属板をエッチングしてなるものである。As shown in FIG. 2, the mirror 4 is moved forward (Z1
Side). The mirror 4 is fixed to a front surface 14 of a support spring 12 which is a support member.
The support spring 12 is formed by etching a metal plate such as phosphor bronze having a thickness of about 0.1 mm.
【００１７】この支持ばね１２の周部は、４隅と両側部
（Ｘ軸に沿った側部）の中央とを残して前方に曲げられ
ており、これによって６個の第１の位置決め片１６が形
成されている。ミラー４は、これら第１の位置決め片１
６によって位置決めされている。The periphery of the support spring 12 is bent forward, leaving four corners and the center of both sides (sides along the X-axis), whereby six first positioning pieces 16 are formed. Are formed. The mirror 4 is provided with these first positioning pieces 1.
6.
【００１８】支持ばね１２の両側部中央は、折曲されず
に左右（Ｘ1 ，Ｘ2 方向）に延出している。延出した部
分の先端は固定部１８を構成しており、延出した部分の
基端は変形部２０（図５に図示）を構成している。固定
部１８の中央部には、Ｚ軸に沿って貫通孔２２が形成さ
れている。変形部２０の周囲には、ブチルゴムよりなる
ダンパ２４が形成されている。The center of both sides of the support spring 12 extends left and right (X1, X2 directions) without being bent. The distal end of the extended portion constitutes a fixing portion 18, and the proximal end of the extended portion constitutes a deformable portion 20 (shown in FIG. 5). A through hole 22 is formed in the center of the fixing portion 18 along the Z axis. A damper 24 made of butyl rubber is formed around the deformed portion 20.
【００１９】この変形部２０は、図５に示すように、連
結部２６と、２個の内側突起２８と、２個の外側突起３
０とを有している。連結部２６は、支持ばね１２本体と
固定部１８とをＸ（Ｘ1 ，Ｘ2 の２方向を有する）軸を
中心として相対的に回動可能に連結している。内側突起
２８は、支持ばね１２の本体側から右側（Ｘ1 方向）に
突出している。外側突起３０は、固定部１８から左側
（Ｘ2 方向）に突出している。内側突起２８と外側突起
３０とは、僅かの間隔をもって離間している。As shown in FIG. 5, the deformed portion 20 includes a connecting portion 26, two inner protrusions 28, and two outer protrusions 3.
0. The connecting portion 26 connects the main body of the support spring 12 and the fixed portion 18 so as to be relatively rotatable about an X axis (having two directions, X1 and X2). The inner protrusion 28 protrudes rightward (X1 direction) from the main body side of the support spring 12. The outer protrusion 30 protrudes leftward (X2 direction) from the fixing portion 18. The inner protrusion 28 and the outer protrusion 30 are separated from each other with a small space.
【００２０】図２に示すように、支持ばね１２の周部の
４隅は後方に曲げられており、これによって４個の第２
の位置決め片３２が形成されている。支持ばね１２の後
面には、Ｚ軸を中心として四角柱状に巻回されたコイル
３４が固着されている。このコイル３４は、内側を第２
の位置決め片３２によって位置決めされている。As shown in FIG. 2, the four corners of the peripheral portion of the support spring 12 are bent rearward, whereby the four second
Are formed. A coil 34 wound in a square pole shape around the Z axis is fixed to the rear surface of the support spring 12. This coil 34 has a second inner side.
Are positioned by the positioning pieces 32 of the above.
【００２１】支持ばね１２の固定部１８は、ベース３６
の平坦部３８上に固着されている。この平坦部３８上に
は、第１及び第２の突起４０，４２と、Ｚ軸に沿って貫
通したビス穴４８とが形成されている。第１及び第２の
突起４０，４２とビス穴４８とを除いた平坦部３８の前
面（Ｚ1 側の面）は、基準面５０となっている。この基
準面５０は、図４に示すように、固定部１８の後面（Ｚ
2 側の面）である固定面５２と当接しており、同一平面
内に位置している。第１の突起４０は、固定部１８の貫
通孔２２（図２参照）と嵌合しており、固定部１８を位
置決めしている。The fixing portion 18 of the support spring 12 is
Is fixed on the flat portion 38. On the flat portion 38, first and second projections 40 and 42 and a screw hole 48 penetrating along the Z axis are formed. The front surface (the surface on the Z1 side) of the flat portion 38 excluding the first and second protrusions 40 and 42 and the screw hole 48 is a reference surface 50. As shown in FIG. 4, the reference surface 50 is located on the rear surface (Z
2), and are located in the same plane. The first protrusion 40 is fitted in the through hole 22 (see FIG. 2) of the fixing portion 18 and positions the fixing portion 18.
【００２２】図２に示すように、ベース３６は、鉄板を
曲げることにより形成されている。この曲げ形成によ
り、ベース３６上には２個の中央ヨーク５４と２個の外
側ヨーク５６とが設けられている。中央ヨーク５４の外
側には、２個のマグネット５８がそれぞれ固着されてい
る。これらマグネット５８は、異なる磁極が互いに向い
合うように設置されている。これらマグネット５８と、
外側ヨーク５６との間の２つの間隙によって２つの磁気
ギャップが形成されている。これら磁気ギャップ中に
は、コイル３４の上辺部と下辺部とが配置されている。As shown in FIG. 2, the base 36 is formed by bending an iron plate. By this bending, two center yokes 54 and two outer yokes 56 are provided on the base 36. Two magnets 58 are fixed to the outside of the center yoke 54, respectively. These magnets 58 are installed such that different magnetic poles face each other. With these magnets 58,
Two magnetic gaps are formed by the two gaps with the outer yoke 56. In these magnetic gaps, the upper side and the lower side of the coil 34 are arranged.
【００２３】図１に示すように、ベース３６の平坦部３
８上に形成された第２の突起４２は、取り付け部材８に
形成された小孔６０に嵌合されている。取り付け部材８
には、雌ねじ６２が形成されている。２個のビス６をベ
ース３６のビス穴４８に挿入し、雌ねじ６２にはめ込む
ことにより、支持ばね１２は取り付け部材８に固定され
る。図４に示すように、取り付け部材８の後面６４と、
基準面５０とは当接しており、同一平面内に位置してい
る。この様に構成されたガルバノミラーの作用を以下に
説明する。As shown in FIG. 1, the flat portion 3 of the base 36
The second protrusion 42 formed on the fitting 8 is fitted in a small hole 60 formed in the mounting member 8. Mounting member 8
Is formed with a female screw 62. The support spring 12 is fixed to the mounting member 8 by inserting the two screws 6 into the screw holes 48 of the base 36 and fitting them into the female screws 62. As shown in FIG. 4, a rear surface 64 of the mounting member 8,
It is in contact with the reference plane 50 and is located on the same plane. The operation of the galvanomirror configured as described above will be described below.
【００２４】図１に示すように、コイル３４に電流を流
すと、この電流が磁気ギャップ中の磁界と電磁的に作用
してＸ軸回りのトルクが生じる。図２に示す支持ばね１
２の変形部２０が変形してミラー４がＸ軸回りに回動さ
れる。As shown in FIG. 1, when a current is applied to the coil 34, the current electromagnetically acts on the magnetic field in the magnetic gap to generate a torque around the X axis. Support spring 1 shown in FIG.
The deformed portion 20 is deformed, and the mirror 4 is rotated around the X axis.
【００２５】このとき、図６に示すように、内側突起２
８は連結部２６内の回転中心軸６８から離れているため
に、連結部２６に比べて変位が大きい。従って、変位し
ない外側突起３０と内側突起２８との相対変位は大き
く、この内側突起２８と、外側突起３０の周囲のダンパ
２４の部分に大きな変形が生じる。従って、大きなダン
ピングが得られる。At this time, as shown in FIG.
8 has a larger displacement than the connecting portion 26 because it is separated from the rotation center axis 68 in the connecting portion 26. Therefore, the relative displacement between the outer projection 30 and the inner projection 28 that is not displaced is large, and large deformation occurs in the inner projection 28 and the portion of the damper 24 around the outer projection 30. Therefore, large damping is obtained.
【００２６】本実施例によれば、以下の効果を得ること
ができる。 １． ベース３６の基準面５０は、ベース３６を取り付
け部材８に取り付けるときの基準となっていると共に、
支持ばね１２を取り付けるときの基準にもなっている。
又、支持ばね１２に直接ミラー４を取り付けているの
で、取り付け部材８に対する反射面１０の精度は、支持
ばね１２とミラー４との各々の両面の平行度のみによっ
て決まる。これら２つのことから、取り付け部材８に対
するミラー４の位置精度及び回動精度が向上する。 ２． 支持ばね１２にミラー４とコイル３４との位置決
め手段（第１及び第２の位置決め片１６，３２）を形成
してあるので、他の位置決め手段が不要である。従って
可動部を軽量化・小型化できる。又、位置決め治具が不
要であるので組み立てが容易となる。 ３． 支持ばね１２の変形部（連結部２６）に離間して
外側突起３０及び内側突起２８が形成されており、これ
ら周囲にダンパ２４が設けられているので、ミラー４が
回動するときの振動を吸収しやすい。 ４． 支持ばね１２の変形部２０以外は、ミラー４、位
置決め片１６、コイル３４、基準面５０により補強され
るので、変形部２０以外の変形が少く、不要な共振が生
じにくい。次に第２実施例を図７を用いて説明する。な
お、第１実施例と同一の部材には同一の参照符号を付し
異なるところのみを説明する。According to this embodiment, the following effects can be obtained. 1. The reference surface 50 of the base 36 serves as a reference when the base 36 is mounted on the mounting member 8, and
It is also a reference when attaching the support spring 12.
In addition, since the mirror 4 is directly attached to the support spring 12, the accuracy of the reflection surface 10 with respect to the attachment member 8 is determined only by the parallelism of both surfaces of the support spring 12 and the mirror 4. From these two points, the positional accuracy and the rotational accuracy of the mirror 4 with respect to the mounting member 8 are improved. 2. Since the positioning means (first and second positioning pieces 16 and 32) for positioning the mirror 4 and the coil 34 is formed on the support spring 12, other positioning means is unnecessary. Therefore, the weight and size of the movable part can be reduced. In addition, since no positioning jig is required, assembly becomes easy. 3. An outer protrusion 30 and an inner protrusion 28 are formed separately from a deformed portion (connecting portion 26) of the support spring 12, and a damper 24 is provided around the outer protrusion 30 and the inner protrusion 28, so that the vibration when the mirror 4 rotates can be reduced. Easy to absorb. 4. Since the portions other than the deformed portion 20 of the support spring 12 are reinforced by the mirror 4, the positioning piece 16, the coil 34, and the reference surface 50, the deformation other than the deformed portion 20 is small, and unnecessary resonance hardly occurs. Next, a second embodiment will be described with reference to FIG. The same members as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and only different points will be described.
【００２７】第１実施例では、ベース３６の平坦部３８
の前面（Ｚ1 側の面）が基準面５０となっていたが、本
実施例では、支持ばね１２の固定部１８の前面が基準面
７０となっている。又、ミラー４の前面ではなく後面
（Ｚ2 側の面）が、反射面１０となっている。支持ばね
１２の固定部１８は、第１実施例のものに比べてＸ軸に
沿ってさらに延出しており、ベース３６の平坦部３８と
取り付け部材８との間に挟まれている。平坦部３８の第
１の突起４０は、取り付け部材８に形成された貫通孔７
２に固定部１８を介して嵌合している。この嵌合によっ
て、ベース３６と、支持ばね１２と、取り付け部材８と
の間の位置決めが行われる。In the first embodiment, the flat portion 38 of the base 36
Is the reference surface 50, but in this embodiment, the front surface of the fixing portion 18 of the support spring 12 is the reference surface 70. The rear surface (the surface on the Z2 side), not the front surface, of the mirror 4 is the reflection surface 10. The fixing portion 18 of the support spring 12 extends further along the X axis than that of the first embodiment, and is sandwiched between the flat portion 38 of the base 36 and the mounting member 8. The first protrusion 40 of the flat portion 38 is formed by a through hole 7 formed in the mounting member 8.
2 is fitted via a fixing portion 18. By this fitting, positioning between the base 36, the support spring 12, and the mounting member 8 is performed.
【００２８】本実施例によれば、以下の効果を得ること
ができる。 １． 支持ばね１２上の同一面上に取り付け部材８とミ
ラー４の反射面１０とが固定されるため、第１実施例に
比べて、取り付け部材８に対する反射面１０の精度がさ
らに良い。 ２． 位置決め手段として、ベース３６の第１の突起４
０が、支持ばね１２と取り付け部材８とに共用に使用さ
れているため、取り付け部材８に対する支持ばね１２の
位置精度、即ち、ミラー４の位置精度が良い。According to this embodiment, the following effects can be obtained. 1. Since the mounting member 8 and the reflecting surface 10 of the mirror 4 are fixed on the same surface on the support spring 12, the accuracy of the reflecting surface 10 with respect to the mounting member 8 is further improved as compared with the first embodiment. 2. The first protrusion 4 of the base 36 is used as a positioning means.
Since 0 is used for both the support spring 12 and the mounting member 8, the positional accuracy of the support spring 12 relative to the mounting member 8, that is, the positional accuracy of the mirror 4 is good.
【００２９】本発明は上記実施例に限定されるものでは
なく、様々な実施例・変形例が可能である。例えば、上
記２つの実施例では、ミラーの回転中心軸は１つしかな
かったが、これを２つにしても良い。また、支持部材は
プラスチックの形成体などでも良い。The present invention is not limited to the above embodiment, and various embodiments and modifications are possible. For example, in the above two embodiments, there was only one rotation center axis of the mirror, but it may be two. Further, the support member may be a plastic formed body or the like.
【００３０】[0030]
【発明の効果】本発明によれば、基準面に対するミラー
の位置精度及び回動精度が出しやすいので、取り付け部
材に対するガルバノミラーの位置調節などが不要とな
り、調整コストを低くすることができる。又、位置・回
動の調整機構が不要であるので、ガルバノミラーを小型
にすることができる。According to the present invention, the positional accuracy and the rotational accuracy of the mirror with respect to the reference surface can be easily obtained, so that the adjustment of the position of the galvanometer mirror with respect to the mounting member becomes unnecessary, and the adjustment cost can be reduced. Further, since a position / rotation adjustment mechanism is not required, the size of the galvanometer mirror can be reduced.
【図１】本発明によるガルバノミラーの第１実施例を取
り付け部材に取り付ける状態を示す斜視図。FIG. 1 is a perspective view showing a state in which a first embodiment of a galvanometer mirror according to the present invention is mounted on a mounting member.
【図２】図１に示すガルバノミラーの分解斜視図。FIG. 2 is an exploded perspective view of the galvanomirror shown in FIG.
【図３】図１に示すガルバノミラーをＹ−Ｚ平面で切断
した断面図。FIG. 3 is a sectional view of the galvanomirror shown in FIG. 1 cut along a YZ plane.
【図４】図１に示すガルバノミラーをＸ−Ｚ平面で切断
した断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view of the galvanomirror shown in FIG. 1 cut along an XZ plane.
【図５】支持部材の変形部を示す正面図。FIG. 5 is a front view showing a deformed portion of the support member.
【図６】図５における変形部をVI−VI線で切断した断面
図であり、変形部の作用を説明するための図。6 is a cross-sectional view of the deformed portion in FIG. 5 taken along the line VI-VI, and is a view for explaining the operation of the deformed portion.
【図７】第２実施例のガルバノミラーを示すＸ−Ｚ平面
での断面図FIG. 7 is a cross-sectional view in the XZ plane showing the galvanomirror of the second embodiment.
【図８】従来のガルバノミラーを示す側面図。FIG. 8 is a side view showing a conventional galvanomirror.
【図９】図８におけるガルバノミラーの縦断面図。FIG. 9 is a longitudinal sectional view of the galvanometer mirror in FIG. 8;
【図１０】図８におけるガルバノミラーの正面図。FIG. 10 is a front view of the galvanometer mirror in FIG. 8;
【図１１】図８におけるガルバノミラーの後面図。FIG. 11 is a rear view of the galvanomirror shown in FIG. 8;
【図１２】図８におけるガルバノミラーの上面図。FIG. 12 is a top view of the galvanometer mirror in FIG. 8;
【図１３】図８におけるガルバノミラーの底面図。FIG. 13 is a bottom view of the galvanometer mirror in FIG. 8;
２…ガルバノミラー、４…ミラー、８…取り付け部材、
１２…支持ばね、３４…コイル、３６…ベース、５０，
７０…基準面、５２…固定面。2 Galvano mirror, 4 Mirror, 8 Mounting member
12 ... support spring, 34 ... coil, 36 ... base, 50,
70: Reference surface, 52: Fixed surface.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 7/09 - 7/095 G02B 26/10 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G11B 7 /09-7/095 G02B 26/10
Claims (2)
るガルバノミラーであって： 前記取り付け部材に取り付けられる際の基準となる基準
面を有しており、前記基準面を介して前記取り付け部材
に取り付けられるベースと； ミラーと； 前記ベースに固定される固定面を有し、前記固定面を介
して前記ベースに固定されており、前記ミラーを回動可
能に支持している支持部材と； 前記支持部材を駆動し、前記ミラーを回動させる駆動手
段と； を備えており、 前記ベースの前記基準面と前記支持部材の前記固定面と
が同一平面内にあるとともに、前記支持部材が前記駆動
手段により駆動されていない時には前記支持部材が支持
しているミラーの反射面が前記ベースの前記基準面に対
し平行に配置されている、ことを特徴とするガルバノミ
ラー。1. A galvanometer mirror used by being attached to an attachment member, comprising: a reference surface serving as a reference when attached to the attachment member, and attached to the attachment member via the reference surface. A mirror having a fixing surface fixed to the base, fixed to the base via the fixing surface, and rotatably supporting the mirror; and the support. A driving unit for driving a member and rotating the mirror; wherein the reference surface of the base and the fixing surface of the support member are in the same plane, and the support member is the drive unit. Wherein the reflecting surface of the mirror supported by the supporting member is arranged parallel to the reference surface of the base when the mirror is not driven. .
るガルバノミラーであって： ベースと； ミラーと； 前記ベースに固定される固定面と前記取り付け部材に取
り付ける際の基準となる基準面とを有し、前記固定面を
介して前記ベースに固定されているとともに前記基準面
を介して前記取り付け部材に取り付けられており、前記
ミラーを回動可能に支持している支持部材と； 前記支持部材を駆動し、前記ミラーを回動させる駆動手
段と； を備えており、 前記支持部材が前記駆動手段により駆動されていない時
には前記支持部材が支持しているミラーの反射面が前記
支持部材の前記基準面に対し平行に配置されている、こ
とを特徴とするガルバノミラー。2. A galvano mirror used by being attached to a mounting member, comprising: a base; a mirror; a fixed surface fixed to the base, and a reference surface serving as a reference for mounting to the mounting member. A support member fixed to the base via the fixing surface and attached to the mounting member via the reference surface, and rotatably supporting the mirror; and Driving means for driving and rotating the mirror, wherein when the support member is not driven by the drive means, the reflection surface of the mirror supported by the support member is the reference of the support member. A galvanometer mirror, which is arranged parallel to a surface.
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|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|
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|---|---|
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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- 1992-06-17 JP JP15812392A patent/JP3219465B2/en not_active Expired - Fee Related
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| US7453613B2 (en) | 2004-03-01 | 2008-11-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Scanning type image forming apparatus having the same containing scanning mirror in a space sealed by first and second optical members and the housing, the second optical member includes five surfaces |
| US7649662B2 (en) | 2004-03-01 | 2010-01-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical scanning apparatus and image displaying apparatus having the same, wherein a light beam having entered a housing from a first optical member enters a scanning mirror without transmitting through a transmission-type optical element, the light beam deflected by the scanning mirror enters a second optical member without transmitting through a transmission-type optical element |
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