JP3206947B2 - Scanning optical device - Google Patents

Scanning optical device

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JP3206947B2
JP3206947B2 JP00664592A JP664592A JP3206947B2 JP 3206947 B2 JP3206947 B2 JP 3206947B2 JP 00664592 A JP00664592 A JP 00664592A JP 664592 A JP664592 A JP 664592A JP 3206947 B2 JP3206947 B2 JP 3206947B2
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scanning
light
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light beam
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玲 森本
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旭光学工業株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は走査偏向器を用いて光
束を走査面上に走査させるレーザープリンター等の走査
光学系に関し、特に走査光学系のゴースト光対策に関す
るものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a scanning optical system such as a laser printer for scanning a scanning surface with a light beam using a scanning deflector, and more particularly to a countermeasure against ghost light in the scanning optical system.

【0002】[0002]

【従来の技術】ポリゴンミラーを偏向器として用いる従
来の走査光学系は、ポリゴンミラーの面倒れ誤差による
影響を補正するため、光束を副走査面内で一旦結像さ
せ、アナモフィックなfθレンズを用いて走査面上にス
ポットを形成している。
2. Description of the Related Art In a conventional scanning optical system using a polygon mirror as a deflector, a light beam is once imaged in a sub-scanning plane and an anamorphic fθ lens is used in order to correct the influence of a surface tilt error of the polygon mirror. To form a spot on the scanning surface.

【0003】このような構成とすると、副走査面内の結
像位置が走査面の周辺部でfθレンズから遠ざかる傾向
がある。そこで、ポリゴンミラーの径を比較的大きく設
定することにより、回転に伴う偏向点変化によって上記
の結像位置の変化、すなわち走査面湾曲を補正してい
る。
With such a configuration, the image forming position in the sub-scanning plane tends to be farther from the fθ lens at the periphery of the scanning plane. Therefore, by setting the diameter of the polygon mirror to be relatively large, the above-described change in the imaging position, that is, the scanning surface curvature, is corrected by the change in the deflection point due to the rotation.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
走査光学系は、ポリゴンミラーへ入射する光束とfθレ
ンズの光軸とのなす角度が一般に50゜〜90゜程度である
ため、ポリゴンミラーの偏向点変化が光軸に対して非対
称となり、走査面湾曲が非対称に現れ、光軸に対して対
称形状のレンズを用いる場合には補正できないという問
題があった。
However, in the conventional scanning optical system, the angle between the light beam incident on the polygon mirror and the optical axis of the fθ lens is generally about 50 ° to 90 °. There is a problem that the point change becomes asymmetric with respect to the optical axis, the scanning surface curvature appears asymmetrically, and correction cannot be performed when a lens symmetrical with respect to the optical axis is used.

【0005】[0005]

【発明の目的】この発明は、上記の課題に鑑みてなされ
たものであり、走査面湾曲の発生を抑え、しかも、ゴー
スト光による走査面への影響を抑えることができる走査
光学系を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and provides a scanning optical system capable of suppressing the occurrence of a curved scanning surface and suppressing the influence of ghost light on the scanning surface. The purpose is to:

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】この発明にかかる走査光
学系は、上記の目的を達成するため、レーザー光源と、
該レーザー光源から発したレーザー光を主走査面内で偏
向させる走査偏向器と、偏向されたレーザー光を像面上
に収束させる走査レンズと、レーザー光源からの光束を
走査偏向器へ入射する手前で前記主走査断面と垂直な副
走査面内で一旦結像させる集光レンズと、走査偏向器に
よる反射光の光路中で前記集光レンズによる光束の結像
位置に設けられ、レーザー光源からの光束を走査偏向器
へ反射させる幅狭のスリットミラーと、前記走査偏向器
と前記走査レンズとの間に設けられた平行平面板とを有
し、該平行平面板の側面に反射防止処理が施されている
ことを特徴とする。
According to the present invention, there is provided a scanning optical system comprising: a laser light source;
A scanning deflector for deflecting laser light emitted from the laser light source in the main scanning plane, a scanning lens for converging the deflected laser light on an image plane, and a light beam from the laser light source.
Before entering the scanning deflector, a sub-scan perpendicular to the main scanning section is used.
A focusing lens that forms an image once in the scanning plane and a scanning deflector
Of light flux by the condenser lens in the optical path of reflected light
Light beam from a laser light source
A narrow slit mirror for reflecting light to the scanning deflector
And a parallel plane plate provided between the scanning lens and the scanning lens.
The parallel flat plate is characterized in that a side surface thereof is subjected to an anti-reflection treatment .

【0007】[0007]

【実施例】以下、この発明の実施例を図1〜図4に基づい
て説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.

【0008】図1は、実施例にかかる走査光学系の光学
素子の配置を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an arrangement of optical elements of a scanning optical system according to an embodiment.

【0009】図示される光学系は、光源としての半導体
レーザー10と、半導体レーザー10から発する発散光を平
行光束とするコリメートレンズ11と、ミラー12と、コリ
メートされた光束を線状に結像させるシリンドリカルレ
ンズ13と、線像位置に一致して設けられたスリットミラ
ー21を有する平行平面板としてのプリズムブロック20
と、スリットミラー21により反射された光束を反射偏向
させる走査偏向器としてのポリゴンミラー30と、ポリゴ
ンミラー30による反射光束を集光して走査面上にスポッ
トを形成する走査レンズとしてのアナモフィックなfθ
レンズ40とを備えている。
The optical system shown in FIG. 1 forms a semiconductor laser 10 as a light source, a collimating lens 11 that converts divergent light emitted from the semiconductor laser 10 into a parallel light beam, a mirror 12, and a linearly formed image of the collimated light beam. A prism block 20 as a parallel plane plate having a cylindrical lens 13 and a slit mirror 21 provided at the position corresponding to the line image position
A polygon mirror 30 as a scanning deflector for reflecting and deflecting the light beam reflected by the slit mirror 21, and an anamorphic fθ as a scanning lens for condensing the light beam reflected by the polygon mirror 30 and forming a spot on a scanning surface.
The lens 40 is provided.

【0010】以下の説明では、ポリゴンミラー30によっ
て光束が走査される面を主走査面とし、主走査面に対し
て垂直で走査レンズの光軸を含む面を副走査面とする。
In the following description, a surface on which a light beam is scanned by the polygon mirror 30 is defined as a main scanning surface, and a surface perpendicular to the main scanning surface and including the optical axis of the scanning lens is defined as a sub-scanning surface.

【0011】プリズムブロック20は、三角柱プリズム22
をベースとなる台形プリズム23に貼合わせた直方体形状
であり、貼合わせ面に全反射鏡であるスリットミラー21
が蒸着されている。スリットミラー21の主走査面に対す
る角度はほぼ45°であり、スリットミラー21と主走査面
との交線は、副走査面と垂直となる。
The prism block 20 includes a triangular prism 22
Is a rectangular parallelepiped shape bonded to a trapezoidal prism 23 serving as a base, and a slit mirror 21 which is a total reflection mirror on the bonding surface.
Has been deposited. The angle of the slit mirror 21 with respect to the main scanning plane is approximately 45 °, and the line of intersection between the slit mirror 21 and the main scanning plane is perpendicular to the sub-scanning plane.

【0012】半導体レーザー10を出射した発散光はコリ
メートされた後にシリンドリカルレンズ13によって副走
査面と垂直な線状に結像させる。この線像に一致してス
リットミラー21が設けられているため、光源からの光束
はスリットミラー21上に結像すると共に、この反射面に
より全光量が反射され、fθレンズ40の光軸を通ってポ
リゴンミラー30へと向かう。
The divergent light emitted from the semiconductor laser 10 is collimated and then imaged by a cylindrical lens 13 in a line perpendicular to the sub-scanning surface. Since the slit mirror 21 is provided so as to coincide with this line image, the light beam from the light source forms an image on the slit mirror 21 and the total amount of light is reflected by this reflecting surface, and passes through the optical axis of the fθ lens 40. To the polygon mirror 30.

【0013】ポリゴンミラー30で反射、偏向された光束
は、所定の広がりを持って再びプリズムブロック20に達
する。ここで、大部分の光束はスリットミラー21の周囲
の部分を透過してfθレンズ40へ入射し、図示せぬ走査
面上にスポットを形成する。このような構成によれば、
ポリゴンミラーに対する入射光束とfθレンズの光軸と
の角度が0となるため、像面湾曲が完全に対称となり、
補正が容易となる。
The light beam reflected and deflected by the polygon mirror 30 reaches the prism block 20 again with a predetermined spread. Here, most of the light flux passes through a portion around the slit mirror 21 and enters the fθ lens 40 to form a spot on a scanning plane (not shown). According to such a configuration,
Since the angle between the light beam incident on the polygon mirror and the optical axis of the fθ lens is 0, the curvature of field is completely symmetric,
Correction becomes easy.

【0014】なお、上述した実施例の光学系は、光束を
一旦スリットミラー上に結像させるために、副走査方向
の正のパワーが大きく設定されており、走査面の周辺部
では走査面湾曲がアンダーとなる傾向がある。そこで、
この実施例では、走査面の周辺部における副走査面内で
の集光位置を中心部における集光位置より実質上fθレ
ンズ側へ近接させる機能を持つプリズムブロック20を配
置し、ポリゴンミラー30の偏向点変化と、プリズムブロ
ックによる集光点の移動とを利用して走査面湾曲の補正
を行っている。
In the optical system of the above-described embodiment, the positive power in the sub-scanning direction is set to be large in order to temporarily form the light beam on the slit mirror. Tends to be under. Therefore,
In this embodiment, a prism block 20 having a function of causing the light condensing position in the sub-scanning surface in the peripheral portion of the scanning surface to be substantially closer to the fθ lens side than the light condensing position in the central portion is arranged. The correction of the scanning surface curvature is performed by using the change of the deflection point and the movement of the condensing point by the prism block.

【0015】ポリゴンミラーからfθレンズへ向かう光
束は、主走査面内では平行光であり、副走査面内では発
散光束である。このため、光路中に設けられたプリズム
ブロック20は、主走査面では光束に対して作用せず、副
走査面では入射する角度によって焦点移動の作用を生ず
る。すなわち、軸外光は、軸上光線と比較して物体距離
が短くなり、結像点の位置がfθレンズ側に近づき、周
辺の像面湾曲が改善される。
The light beam traveling from the polygon mirror to the fθ lens is a parallel light in the main scanning plane and a divergent light beam in the sub-scanning plane. For this reason, the prism block 20 provided in the optical path does not act on the light beam on the main scanning surface, but produces a function of moving the focal point on the sub-scanning surface depending on the incident angle. That is, the object distance of the off-axis light is shorter than that of the on-axis light, the position of the image forming point is closer to the fθ lens side, and the peripheral field curvature is improved.

【0016】次に、図2、図3に基づいてプリズムブロッ
クの側面での内面反射によるゴースト光の発生について
説明する。
Next, generation of ghost light due to internal reflection on the side surface of the prism block will be described with reference to FIGS.

【0017】この種の光学系では、水平同期信号を得る
ためにプリズムブロック20の端面に光線が当たるタイミ
ングでも、半導体レーザーが点灯している。スリットミ
ラー21に入射する光束は点P1,P6間の広がりを有してお
り、光線F1,F2は光束の幅を示している。図2、図3は、
共にポリゴンミラーにより反射される光束がプリズムブ
ロックの端面に当る場合、すなわち光束が描画範囲外に
ある場合を示している。
In this type of optical system, the semiconductor laser is turned on even when a light beam strikes the end face of the prism block 20 in order to obtain a horizontal synchronization signal. The light beam incident on the slit mirror 21 has a spread between the points P1 and P6, and the light beams F1 and F2 indicate the width of the light beam. Figures 2 and 3 show
In both cases, the light beam reflected by the polygon mirror impinges on the end face of the prism block, that is, the light beam is outside the drawing range.

【0018】図2において、スリットミラー21上の点P
1、ポリゴンミラー30上の点P2で反射された実線で示す
描画光F1は、プリズムブロック20の端面20b上の点P3に
達する。点P3で端面20bを透過した光束は、描画範囲外
にありレンズ枠などでけられる。
In FIG. 2, a point P on the slit mirror 21
1. The drawing light F1 indicated by a solid line reflected at the point P2 on the polygon mirror 30 reaches a point P3 on the end surface 20b of the prism block 20. The light beam transmitted through the end face 20b at the point P3 is out of the drawing range and is removed by the lens frame or the like.

【0019】一方、点P3で反射した光束は、側面20d上
の点P4で反射され、破線で示すゴースト光G1としてポリ
ゴンミラー30の点P5に達する。
On the other hand, the light beam reflected at the point P3 is reflected at the point P4 on the side surface 20d, and reaches the point P5 of the polygon mirror 30 as ghost light G1 indicated by a broken line.

【0020】プリズムブロックの端面20a,20bと側面20
c,20dとは垂直であるため、点P1からP3に達する描画光F
1と点P4からP5に達するゴースト光G1とはポリゴンミラ
ーの角度によらず互いに平行となる。このため、ポリゴ
ンミラーで反射された光束G1は、ポリゴンミラーの回転
角度に関係なく、ポリゴンミラー30への入射光と平行
に、すなわちfθレンズの光軸Axと平行にfθレンズ40に
入射し、走査面の中央に向けて収束される。
The end faces 20a, 20b and side faces 20 of the prism block
Drawing light F that reaches P3 from point P1 because it is perpendicular to c and 20d
1 and the ghost light G1 reaching the point P5 from the point P4 are parallel to each other regardless of the angle of the polygon mirror. Therefore, the light beam G1 reflected by the polygon mirror is incident on the fθ lens 40 in parallel with the light incident on the polygon mirror 30, that is, in parallel with the optical axis Ax of the fθ lens, regardless of the rotation angle of the polygon mirror. It is converged toward the center of the scanning plane.

【0021】スリットミラー21上の点P6、ポリゴンミラ
ー30上の点P7で反射されてプリズムブロック20に入射す
る描画光F2は、側面20d上の点P8で反射して端面20bに達
し、一部がゴースト光G2としてポリゴンミラー30の点P1
0に戻り、プリズムブロック20、fθレンズ40を透過して
走査面に達する。
The drawing light F2 reflected on the point P6 on the slit mirror 21 and the point P7 on the polygon mirror 30 and incident on the prism block 20 is reflected on the point P8 on the side surface 20d, reaches the end surface 20b, and partially. Is the point P1 of the polygon mirror 30 as the ghost light G2
Returning to 0, the light passes through the prism block 20 and the fθ lens 40 and reaches the scanning surface.

【0022】図3は、図2の状態からポリゴンミラー30が
反時計回りに微小に回転した際の光路を示している。破
線で示すゴースト光G1,G2は、fθレンズ40に対して図2
の場合と同様に光軸Axと平行にfθレンズ40に入射し、
入射位置は図2の場合より図中下側に移動している。た
だし、光軸Axと平行に入射する光束は、fθレンズによ
って走査面の中央に向けて収束されるため、入射位置が
変化しても走査面上でのゴーストの位置はほぼ一定であ
る。
FIG. 3 shows an optical path when the polygon mirror 30 is slightly rotated counterclockwise from the state shown in FIG. The ghost light beams G1 and G2 indicated by broken lines are shown in FIG.
Incident on the fθ lens 40 in parallel to the optical axis Ax as in the case of
The incident position has moved downward in the figure from the case of FIG. However, the luminous flux incident parallel to the optical axis Ax is converged toward the center of the scanning surface by the fθ lens, so that the position of the ghost on the scanning surface is substantially constant even if the incident position changes.

【0023】図4は、プリズムブロックの端面と側面と
のなす角度が90°でない場合に発生するゴースト光の経
路示す。なお、図4では、説明を簡単にするため、側面
での反射とは関係ない端面20aでの屈折を考慮しない。
FIG. 4 shows the path of ghost light generated when the angle between the end face and the side face of the prism block is not 90 °. In FIG. 4, for simplicity of description, refraction at the end face 20a which is not related to reflection at the side face is not considered.

【0024】プリズムブロック20の側面20dと端面20bと
のなす角度を(90-α)°、側面20dとポリゴンミラー30の
反射面とのなす角度をβ、光線と各面との入射、反射角
をそれぞれθ0、θ1、θ2、θ3とすると、これらの角度
の関係は以下の式1のとおりとなる。
The angle formed between the side surface 20d and the end surface 20b of the prism block 20 is (90-α) °, the angle formed between the side surface 20d and the reflection surface of the polygon mirror 30 is β, and the angle of incidence and reflection between the light beam and each surface. Are θ0, θ1, θ2, and θ3, respectively, the relationship between these angles is as shown in Equation 1 below.

【0025】[0025]

【式1】θ1= 90°+ θ0 + α - β θ2= 90°- θ1 - α θ3= β - θ2 θ3= θ0 + 2α[Equation 1] θ1 = 90 ° + θ0 + α-β θ2 = 90 °-θ1-α θ3 = β-θ2 θ3 = θ0 + 2α

【0026】すなわち、最初にポリゴンミラーに入射す
る光線の方向と、プリズムのコーナー部分で内面反射さ
れてポリゴンミラーで2回反射されてfθレンズに入射す
る光線の方向とは一定の関係にあり、その関係はポリゴ
ンミラー30の回転位置に依存しない。したがって、ゴー
スト光は常に一定の角度でfθレンズに入射し、走査面
上の一定の位置にゴーストを形成する。図2に示した状
態は、図4においてα=0、すなわち、上式からθ3= θ0
となる特異なケースである。
That is, the direction of the light beam that first enters the polygon mirror and the direction of the light beam that is internally reflected at the corner of the prism, reflected twice by the polygon mirror, and enters the fθ lens have a fixed relationship. The relationship does not depend on the rotational position of the polygon mirror 30. Therefore, the ghost light always enters the fθ lens at a fixed angle, and forms a ghost at a fixed position on the scanning surface. In the state shown in FIG. 2, α = 0 in FIG. 4, that is, θ3 = θ0 from the above equation.
This is a unique case.

【0027】なお、走査面に達するゴースト光G1,G2の
光路長は、端面20bを一回で透過する通常の描画光F1よ
り長くなるため、ゴースト光は走査面より手前側で結像
することとなって走査面上での時間当りのエネルギー密
度は低い。しかし、描画光が走査面上を走査するのに対
して、ゴースト光は常に走査面の中央に静止してエネル
ギーが一点に集中するため、単位時間あたりのエネルギ
ーが描画光に比べて微小であっても、走査面の一点に与
えるエネルギーは大きくなりがちである。
Since the optical path lengths of the ghost lights G1 and G2 reaching the scanning surface are longer than the normal drawing light F1 transmitted through the end face 20b at one time, the ghost light must be imaged before the scanning surface. Thus, the energy density per unit time on the scanning surface is low. However, while the drawing light scans on the scanning surface, the ghost light always stops at the center of the scanning surface and the energy is concentrated at one point, so that the energy per unit time is smaller than that of the drawing light. However, the energy applied to one point on the scanning surface tends to be large.

【0028】描画光パワーをIi、ゴースト光パワーをI
g、毎秒のスキャン数をr、走査効率をη、走査幅をL、
走査ピッチをp、主走査スポット径をsとすると、描画光
エネルギーJi及びゴースト光エネルギーJgは、それぞれ
(1)式及び(2)式で表される。
The drawing light power is Ii, and the ghost light power is I
g, number of scans per second r, scan efficiency η, scan width L,
Assuming that the scanning pitch is p and the main scanning spot diameter is s, the drawing light energy Ji and the ghost light energy Jg are respectively
It is expressed by the equations (1) and (2).

【0029】[0029]

【式2】Ji =Ii・(η/rLp) (1) Jg =Ig / rsp (2)[Equation 2] Ji = Ii · (η / rLp) (1) Jg = Ig / rsp (2)

【0030】(1)式及び(2)式から(3)式が得られる。The equation (3) is obtained from the equations (1) and (2).

【0031】[0031]

【式3】Jg /Ji = (Ig/Ii)L/(η・s) (3) ここで、例えばL = 600mm、s = 30μ、η = 0.5の値を
設定すると、(4)式が得られる。
[Equation 3] Jg / Ji = (Ig / Ii) L / (η · s) (3) Here, for example, when values of L = 600 mm, s = 30 μ, η = 0.5 are set, the equation (4) is obtained. Can be

【0032】[0032]

【式4】Jg /Ji =40000Ig /Ii (4)[Equation 4] Jg / Ji = 40000Ig / Ii (4)

【0033】すなわち、ゴースト光強度が描画光の1/40
000であっても、描画光と同じエネルギーで露光対象で
ある感光対ドラムを感光させる。
That is, the ghost light intensity is 1/40 of the drawing light.
Even if it is 000, the photosensitive pair drum to be exposed is exposed with the same energy as the drawing light.

【0034】実施例では、上記のゴースト光が走査面に
達するのを阻止するため、プリズムブロックの側面20c,
20dを粗面として形成している。このため、例えば側面2
0d上の点P4,P4に入射した光線は粗面によって散乱され
て、ポリゴンミラーに戻ることがなく、側面での反射に
よるゴースト発生を防止することができる。
In the embodiment, in order to prevent the ghost light from reaching the scanning surface, the side surfaces 20c,
20d is formed as a rough surface. For this reason, for example, side 2
The light rays incident on the points P4 and P4 on 0d are scattered by the rough surface, do not return to the polygon mirror, and can prevent the occurrence of ghost due to reflection on the side surface.

【0035】なお、実施例ではプリズムブロックの側面
に粗面を形成する場合を説明したが、この発明は実施例
に限定されるものでなく、例えば側面に反射防止膜を形
成してもよい。
In the embodiment, the case where the rough surface is formed on the side surface of the prism block has been described. However, the present invention is not limited to the embodiment, and for example, an antireflection film may be formed on the side surface.

【0036】[0036]

【発明の効果】以上説明したように、この発明では走査
偏向器と走査レンズとの間に平行平面板を配置すること
により、像面湾曲の発生を抑えることができ、また、平
行平面板の側面に反射防止手段を設けることにより、側
面での反射による静止ゴーストの発生を防止することが
できる。
As described in the foregoing, by arranging the parallel flat plate between the scanning deflector and the scanning lens in the present invention, it is possible to suppress the occurrence of field curvature, also flat <br / > By providing antireflection means on the side surface of the row plane plate, it is possible to prevent the occurrence of stationary ghost due to reflection on the side surface.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 この発明の実施例にかかる走査光学系の光学
素子の配置を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an arrangement of optical elements of a scanning optical system according to an embodiment of the present invention.

【図2】 プリズムブロックの側面の内面反射によるゴ
ースト光の発生を示す説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram showing generation of ghost light due to internal reflection on a side surface of a prism block.

【図3】 プリズムブロックの側面の内面反射によるゴ
ースト光の発生を示す説明図であり、ポリゴンミラーの
回転位置が図2とは異なる場合を示している。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing generation of ghost light due to internal reflection on the side surface of a prism block, and shows a case where the rotational position of a polygon mirror is different from that in FIG. 2;

【図4】 プリズムブロックの側面の内面反射によるゴ
ースト光の発生を示す説明図であり、プリズムブロック
の端面と側面とが垂直でない場合を示す。
FIG. 4 is an explanatory diagram showing generation of ghost light due to internal reflection of the side surface of the prism block, and shows a case where the end surface and the side surface of the prism block are not perpendicular.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…半導体レーザー 20…プリズムブロック 21…スリットミラー 30…ポリゴンミラー 40…走査レンズ 10 ... Semiconductor laser 20 ... Prism block 21 ... Slit mirror 30 ... Polygon mirror 40 ... Scanning lens

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】レーザー光源と、 該レーザー光源から発したレーザー光を主走査面内で偏
向させる走査偏向器と、 偏向されたレーザー光を像面上に収束させる走査レンズ
と、レーザー光源からの光束を走査偏向器へ入射する手前で
前記主走査断面と垂直な副走査面内で一旦結像させる集
光レンズと、 走査偏向器による反射光の光路中で前記集光レンズによ
る光束の結像位置に設けられ、レーザー光源からの光束
を走査偏向器へ反射させる幅狭のスリットミラーと、 前記走査偏向器と前記走査レンズとの間に設けられた平
行平面板とを有し、該平行平面板の側面に反射防止処理
が施されていることを特徴とする走査式光学装置。
A laser light source [1 claim], a scanning deflector for deflecting the laser beam emitted from the laser light source in the main scanning plane, a scanning lens for the deflected laser beam is converged on the image plane, from a laser light source Before the light beam enters the scanning deflector
A collection that forms an image once in a sub-scanning plane perpendicular to the main scanning section
An optical lens and the condenser lens in the optical path of the light reflected by the scanning deflector.
Beam from the laser light source
Having a narrow slit mirror for reflecting the light to the scanning deflector, and a parallel flat plate provided between the scanning deflector and the scanning lens, and a side surface of the parallel flat plate is subjected to antireflection processing. A scanning optical device.
【請求項2】前記スリットミラーは、前記平行平面板内
に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の走
査式光学装置。
2. The apparatus according to claim 1 , wherein said slit mirror is provided in said plane parallel plate.
The scanning optical device according to claim 1 , wherein the scanning optical device is provided.
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