JP3206615B2 - Inkjet head - Google Patents

Inkjet head

Info

Publication number
JP3206615B2
JP3206615B2 JP7406793A JP7406793A JP3206615B2 JP 3206615 B2 JP3206615 B2 JP 3206615B2 JP 7406793 A JP7406793 A JP 7406793A JP 7406793 A JP7406793 A JP 7406793A JP 3206615 B2 JP3206615 B2 JP 3206615B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ink
flow path
adhesive
chamber
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP7406793A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH06286134A (en
Inventor
泰史 直井
清光 須賀
幸春 清水
剛 早川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP7406793A priority Critical patent/JP3206615B2/en
Publication of JPH06286134A publication Critical patent/JPH06286134A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3206615B2 publication Critical patent/JP3206615B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、インク滴をノズルから
吐出させて印字する、いわゆるオンデマンド型のインク
ジェットヘッドとその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a so-called on-demand type ink jet head for printing by discharging ink droplets from nozzles and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のインクジェットヘッドは、平板状
の流路基板の上面に、共通インク室と溝状のインク流路
が形成され、流路を封止する流路基板蓋と流路基板との
接合面を接着剤により接合してなるものである。このイ
ンク流路は、共通インク室と連通するインク供給路と、
このインク供給路と連通する圧力室と、圧力室とノズル
とを連通する連通路とから構成されている。そして、流
路基板蓋の外面に、圧力室に対向的に圧電素子等の加圧
手段を設けている。通常、流路基板と流路基板蓋とはプ
ラスチック,ガラスなどの同一の材質を用いて構成され
ているので、流路の4つの壁面は同一材質となり、すべ
て同じ弾性率の面となっている。また、加圧手段により
流路の壁面の1つを変形させて圧力を発生させるため
に、流路の材料として変形の少ない剛性の高い材料が用
いられている。
2. Description of the Related Art In a conventional ink jet head, a common ink chamber and a groove-like ink flow path are formed on the upper surface of a flat flow path substrate. Are joined by an adhesive. The ink flow path includes an ink supply path communicating with the common ink chamber,
The pressure chamber includes a pressure chamber that communicates with the ink supply path, and a communication path that communicates the pressure chamber with the nozzle. A pressure means such as a piezoelectric element is provided on the outer surface of the flow path substrate cover so as to face the pressure chamber. Normally, the flow path substrate and the flow path substrate lid are made of the same material such as plastic or glass, so that the four wall surfaces of the flow path are made of the same material and all have the same elastic modulus. . Further, in order to generate a pressure by deforming one of the wall surfaces of the flow channel by the pressurizing means, a material having a small rigidity and a small deformation is used as a material of the flow channel.

【0003】このようなインクジェットヘッドを製造す
る方法として、流路基板と流路基板蓋との接合に際し
て、これらの材質がプラスチックの場合には、流路基板
の接合面に接着剤を塗付し、流路基板蓋を対接させて押
圧することにより接合したり、接合面に溶剤を塗付して
溶融接着したりしている(例えば、特公昭60−377
97号公報)。
[0003] As a method of manufacturing such an ink jet head, an adhesive is applied to the joint surface of the flow path substrate when the flow path substrate and the flow path substrate lid are joined together when the material is plastic. In this method, the flow path substrate lids are brought into contact with each other and pressed to join them together, or a solvent is applied to the joining surfaces to be melt-bonded (for example, Japanese Patent Publication No. 60-377).
No. 97).

【0004】しかし、接着剤や溶剤を塗付する方法で
は、接着剤等がインク流路内に流入して性能に悪影響を
与えたり、インク流路を塞いだりすることがあるので、
接着剤等を用いないで、ねじまたは弾性部材を用いて流
路基板と流路基板蓋とを押圧保持してインク流路をシー
ルしたり、また、加熱圧着により接合したりしている
(例えば、特開昭63−120659号公報)。
However, in the method of applying an adhesive or a solvent, the adhesive or the like may flow into the ink flow path and adversely affect the performance, or may block the ink flow path.
Instead of using an adhesive or the like, the ink flow path is sealed by pressing and holding the flow path substrate and the flow path substrate lid using a screw or an elastic member, or joined by heat compression (for example, And JP-A-63-120659).

【0005】また、材質がガラスの場合には、熱融着さ
せて接合している(例えば、特開昭62−8316号公
報)。
Further, when the material is glass, it is bonded by heat fusion (for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-8316).

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】上記のインクジェット
ヘッドのように、壁面が同一の弾性率の硬質の面である
と、流路内に発生した圧力波が壁面で反射され、振動が
減衰するまでに長い時間がかかり、このためにノズル面
でのメニスカスの減衰時間が長くなり、ヘッドの応答周
波数を下げなければならず、このために印字速度が低下
するという問題がある。
When the wall surface is a hard surface having the same elastic modulus as in the above-described ink jet head, the pressure wave generated in the flow path is reflected by the wall surface until the vibration is attenuated. It takes a long time, and therefore, the meniscus decay time on the nozzle surface becomes long, so that the response frequency of the head must be reduced, which causes a problem that the printing speed is reduced.

【0007】また、接着剤や溶剤を用いないで押圧保持
してインク流路をシールする方法では、両者の接合面の
平滑性が要求され、インク流路のシール性を確保するこ
とが困難である。平滑性を得るためには、流路基板とし
てはガラスまたは金属(ステンレス)が適当である。し
かし、ガラスを用いた場合にはエッチングによりインク
流路を形成することが必要となり、エッチングを行うた
めに工程数が多くなりコストの上昇を招く問題がある。
Also, in the method of sealing the ink flow path by pressing and holding without using an adhesive or a solvent, the smoothness of the joint surface between the two is required, and it is difficult to secure the sealing property of the ink flow path. is there. In order to obtain smoothness, glass or metal (stainless steel) is suitable for the flow path substrate. However, when glass is used, it is necessary to form an ink flow path by etching, and there is a problem that the number of steps is increased due to the etching, which leads to an increase in cost.

【0008】製造を容易にするためには、プラスチック
を用いることが望ましいが、加熱圧着による場合には、
加熱により全体が溶融温度以上に上昇してしまい、平板
状の流路基板を変形させることがあり、また、プラスチ
ックの温度による特性変化が緩慢でばらつきも大きいな
どの問題がある。
[0008] In order to facilitate the manufacture, it is desirable to use plastic, but in the case of heat compression,
Heating causes the whole to rise to a temperature higher than the melting temperature, thereby deforming the flat channel substrate. In addition, there is a problem that the characteristic change due to the temperature of the plastic is slow and large in variation.

【0009】そこで本発明の目的は、インク流路内のイ
ンクの振動の減衰を早め、ヘッドの応答周波数を上げる
ことが可能なインクジェットヘッドを提供することであ
る。
[0009] It is an object of the present invention, Kotodea to provide an inkjet head capable of increasing early attenuation of the vibration of the ink in the ink flow path, a response frequency of the head
You.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】このような課題を達成す
るために本発明においては、一端がノズル開口に、他端
がインク供給口を介して共通インク室に連通する加圧室
と、前記加圧室の加圧領域の1つの壁面に固定され、前
記加圧室の容積を変化させてインクを加圧する加圧手段
とを備え、前記加圧室の前記加圧手段が固定されている
壁面以外の前記加圧室の壁面の内面に、前記加圧室を構
成する壁面よりも剛性の低い層が形成されている。
According to the present invention, there is provided a pressure chamber having one end communicating with a nozzle opening and the other end communicating with a common ink chamber via an ink supply port. Pressurizing means fixed to one wall surface of a pressurizing area of the pressurizing chamber, and pressurizing the ink by changing the volume of the pressurizing chamber, wherein the pressurizing means of the pressurizing chamber is fixed.
A layer having a lower rigidity than a wall surface forming the pressure chamber is formed on an inner surface of a wall surface of the pressure chamber other than the wall surface.

【0011】[0011]

【0012】[0012]

【0013】[0013]

【作用】加圧手段による加圧力を無用に減衰させること
なく、インク滴吐出後の加圧室のインクの振動波を剛性
の低い層により早期に減衰させる。
[Function] Unnecessarily attenuating the pressing force by the pressurizing means.
And rigidity of the vibration wave of ink in the pressurized chamber after ink droplet ejection
Attenuate earlier with lower layers.

【0014】[0014]

【0015】[0015]

【実施例】図1及び図2を参照し、本発明のインクジェ
ットヘッドの一実施例の全体構成について説明する。流
路基板1は、インクに対して強く、接着に適したポリサ
ルフォン等の成形品であり、溝状のインク流路1bが刻
設され、このインク流路と連通するノズル1aが厚み方
向に貫通して穿設してある。図示のように、流路基板1
の中央部前面に突出部1cを設け、ノズル1a…をエキ
シマレーザ加工などにより突出部1cを貫通して穿設す
る。流路基板1の背面に刻設されノズル1aと実質的に
直交して連通するインク流路1bは、複数の加圧室1d
…を有しており、、この各加圧室1dと、各ノズル1a
および後述の各インク供給孔2aとをそれぞれ連通する
連通路1e…とインク供給路1f…とから構成されてい
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS With reference to FIGS. 1 and 2, the overall structure of an embodiment of the ink jet head of the present invention will be described. The flow path substrate 1 is a molded article made of polysulfone or the like which is strong against ink and is suitable for adhesion. A groove-shaped ink flow path 1b is engraved, and a nozzle 1a communicating with the ink flow path penetrates in the thickness direction. It has been drilled. As shown, the flow path substrate 1
Is provided on the front surface of the central portion of the nozzle, and the nozzles 1a are penetrated through the protrusion 1c by excimer laser processing or the like. An ink flow path 1b engraved on the back surface of the flow path substrate 1 and communicating with the nozzle 1a substantially orthogonally includes a plurality of pressure chambers 1d.
, And each pressurizing chamber 1d and each nozzle 1a
And ink supply paths 1f which communicate with the respective ink supply holes 2a to be described later.

【0016】流路基板1の背後には、インク流路を封止
する流路基板蓋である第1の基板2が積層され、両者が
シート状接着剤3により接合してある。第1の基板2に
は、複数のインク供給孔2a…が厚み方向に貫通して穿
設してあるもので、インク供給孔2aはエキシマレーザ
加工などにより穿設され、上記インク供給路1fに開口
している。シート状接着剤3は、例えばゴム系の基材に
エポキシ樹脂などを含浸させたシート状のものを用い
る。このシート状接着剤3には、予めインク供給孔2a
に対応して孔3aが形成してある。
Behind the flow path substrate 1, a first substrate 2 serving as a flow path substrate lid for sealing the ink flow path is laminated, and both are joined by a sheet adhesive 3. A plurality of ink supply holes 2a are formed in the first substrate 2 so as to penetrate in the thickness direction. The ink supply holes 2a are formed by excimer laser processing or the like, and are formed in the ink supply path 1f. It is open. The sheet-like adhesive 3 is, for example, a sheet-like adhesive obtained by impregnating a rubber-based substrate with an epoxy resin or the like. This sheet-like adhesive 3 has ink supply holes 2a in advance.
A hole 3a is formed corresponding to.

【0017】このように、流路基板1と第1の基板2と
はシート状接着剤3により接合してあるので、ノズル1
aの近傍のインク流路1eの断面形状を図3に拡大して
示すと、インク流路1eの4つの壁面のうち、3つの壁
面a,b,cは流路基板1の材料であるポリサルファン
で構成されるが、他の1つの壁面dはシート状接着剤3
の材料であるゴム系の基材で構成されることになるの
で、1つの壁面dが弾性率の異なる壁面となる。
As described above, since the flow path substrate 1 and the first substrate 2 are joined by the sheet adhesive 3, the nozzle 1
FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of the ink flow path 1e in the vicinity of a. Among the four wall faces of the ink flow path 1e, three wall surfaces a, b, and c are made of poly- It is composed of sulfan, but the other wall d is a sheet-like adhesive 3
Therefore, one wall surface d is a wall surface having a different elastic modulus.

【0018】第1の基板2の背後には、第2の基板4が
上記と同様なシート状接着剤5により接合してある。第
2の基板4の前面側には、インク供給孔2b…と直交す
るように、かつこれに連通するように、大面積の共通イ
ンク室4aが形成してある。共通インク室4aの中央部
には、インクを供給する開口4bが設けてあり、この開
口4bにフィルタ6が熱融着により接合してあり、これ
により、インク中のごみなどが共通インク室4aへ侵入
するのを防いでいる。なお、シート状接着剤5には、上
記と同様に予めインク供給孔2bに対応して孔5aが形
成してある。
Behind the first substrate 2, a second substrate 4 is bonded by a sheet-like adhesive 5 similar to the above. On the front side of the second substrate 4, a large-area common ink chamber 4a is formed so as to be orthogonal to and communicate with the ink supply holes 2b. An opening 4b for supplying ink is provided at the center of the common ink chamber 4a, and a filter 6 is joined to the opening 4b by heat fusion, so that dust and the like in the ink can be removed from the common ink chamber 4a. To prevent intrusions. In the sheet-like adhesive 5, holes 5a are formed in advance corresponding to the ink supply holes 2b as described above.

【0019】流路基板1の前面には加圧室1dと対向す
る位置に加圧手段が設けてある。すなわち、加圧手段
は、リン青銅または黄銅などの金属で作られた複数の振
動板7…と複数の圧電素子8…とをそれぞれ重ね合わせ
てなるもので、エポキシ等の接着剤で流路基板1に接合
してある。各圧電素子8は、図示しない外部の圧電素子
駆動用のドライバICと電気的に導通するパターン電極
が形成してあるフレキシブルケーブル9の所定の電極
に、導電ペースト等によって接合してある。また、流路
基板1の前面に図示しない共通電極が導電ペーストによ
り形成してあり、この共通電極は、各圧電素子8を接合
した各振動板7と導通すると共に、フレキシブルケーブ
ル9の所定のパターン電極と導電ペーストにより導通さ
せてある。
On the front surface of the flow path substrate 1, a pressure means is provided at a position facing the pressure chamber 1d. That is, the pressurizing means is formed by laminating a plurality of vibrating plates 7 made of a metal such as phosphor bronze or brass and a plurality of piezoelectric elements 8. 1 Each piezoelectric element 8 is joined to a predetermined electrode of a flexible cable 9 on which a pattern electrode electrically connected to an external driver IC (not shown) for driving a piezoelectric element is formed by a conductive paste or the like. A common electrode (not shown) is formed on the front surface of the flow path substrate 1 by a conductive paste. The common electrode is electrically connected to the respective vibration plates 7 to which the respective piezoelectric elements 8 are joined, and a predetermined pattern of the flexible cable 9 is formed. The electrodes and the conductive paste are electrically connected.

【0020】そこで本発明のインクジェッヘッドの製造
方法の一実施例について説明する。流路基板1と第1の
基板2との間にシート状接着剤3を介在させ、圧力を加
えて加熱して両者を接合する。シート状接着剤3は、ゴ
ム系の基材にエポキシ系の接着剤を含浸させたもので、
厚さ20〜60μmのシート状のものを用いる。
An embodiment of the method for manufacturing an ink jet head according to the present invention will now be described. The sheet-like adhesive 3 is interposed between the flow path substrate 1 and the first substrate 2, and the two are joined by applying pressure and heating. The sheet adhesive 3 is obtained by impregnating a rubber base material with an epoxy adhesive.
A sheet having a thickness of 20 to 60 μm is used.

【0021】1例として、シート状接着剤3として厚
さ40μmのものを用い、60℃で120時間保持する
エージング処理を行った。これによってシート状接着剤
3に含浸させた接着剤の流動を抑える。
As an example, an aging treatment in which a sheet-like adhesive 3 having a thickness of 40 μm was held at 60 ° C. for 120 hours was performed. This suppresses the flow of the adhesive impregnated in the sheet adhesive 3.

【0022】第1の基板2の接合面は、表面粗度5μ
m程度に形成してあり、この面に上記のエージングした
シート状接着剤3を、孔3aとインク供給孔2aとを位
置合わせして配置し、15±1.5kg/cm2 の圧力を加
えつつ150℃に加熱する。これによりシート状接着剤
3は半硬化状態となって、第1の基板2に仮止めされる
ことになる。
The bonding surface of the first substrate 2 has a surface roughness of 5 μm.
m, and the aged sheet-like adhesive 3 is placed on this surface with the holes 3a and the ink supply holes 2a aligned with each other, and a pressure of 15 ± 1.5 kg / cm 2 is applied. While heating to 150 ° C. As a result, the sheet adhesive 3 is in a semi-cured state, and is temporarily fixed to the first substrate 2.

【0023】この半硬化状態のシート状接着剤3に、
流路基板1のインク流路を形成した側の面を位置合わせ
して対接し、15±1.5kg/cm2 の圧力を加えつつ1
50℃に加熱する。これによりシート状接着剤3は完全
に硬化した状態となり、流路基板1と第1の基板2とが
接合される。
The semi-cured sheet adhesive 3 is
The surfaces of the flow path substrate 1 on which the ink flow paths are formed are aligned and brought into contact with each other, and while applying a pressure of 15 ± 1.5 kg / cm 2 ,
Heat to 50 ° C. As a result, the sheet adhesive 3 is in a completely cured state, and the flow path substrate 1 and the first substrate 2 are joined.

【0024】なお、図2に示すように、第1の基板2の
上下両面にシート状接着剤3,5により流路基板1と第
2の基板4を接合する際には、上記の工程でシート状
接着剤3,5を同時にエージング処理し、上記工程で
第1の基板2の両面にシート状接着剤3,5を仮止め
し、上記工程で流路基板1と第2の基板4とを同時に
接合すればよい。
As shown in FIG. 2, when the flow path substrate 1 and the second substrate 4 are bonded to the upper and lower surfaces of the first substrate 2 with the sheet-like adhesives 3, 5, the above-described steps are performed. The sheet adhesives 3 and 5 are simultaneously subjected to an aging treatment, and the sheet adhesives 3 and 5 are temporarily fixed to both surfaces of the first substrate 2 in the above step, and the flow path substrate 1 and the second substrate 4 are May be joined at the same time.

【0025】工程のエージング処理の条件や、工程
の仮止めの条件は、基材の厚み,接着剤として用いられ
た樹脂の流れ性,加圧力,加熱温度,その他、接合面の
表面粗さなどにより大きく変化するので、これらのすべ
てを考慮してその条件が決定されるものである。
The conditions for the aging treatment in the process and the conditions for the temporary fixing in the process include the thickness of the base material, the flowability of the resin used as the adhesive, the pressure, the heating temperature, and the surface roughness of the joint surface. Therefore, the condition is determined in consideration of all of these.

【0026】上記の条件に至る前に、本発明者は、エー
ジング処理を80℃で100時間保持して行ったが、こ
の場合には接着剤が硬化しすぎてしまい、工程で仮止
めできない部分を生じてしまった。
Before reaching the above conditions, the inventor carried out the aging treatment at 80 ° C. for 100 hours. In this case, the adhesive was excessively hardened, and the part which could not be temporarily fixed in the process was used. Has occurred.

【0027】また、本発明者は、工程で仮止めする際
に、圧力を10±1.5kg/cm2 とし、他の条件を同じ
にして行ったが、この場合には仮止めの接合強度が十分
に得られず、シート状接着剤がインク流路内にたれ込む
部分ができてしまった。
Further, the present inventor performed the temporary fixing in the process by setting the pressure to 10 ± 1.5 kg / cm 2 under the same other conditions. In this case, the bonding strength of the temporary fixing was used. Was not sufficiently obtained, and a portion where the sheet-like adhesive ran into the ink flow path was formed.

【0028】シート状接着剤は、エポキシ樹脂以外の接
着剤を用いて形成してもよい。
The sheet adhesive may be formed using an adhesive other than the epoxy resin.

【0029】本発明のインクジェットヘッドによりイン
クを吐出する際には、フレキシブルケーブル9を介して
ドライバICからの駆動信号を圧電素子8に供給する
と、圧電素子8が変形して振動板7及び流路基板1を加
圧室1d内側に屈曲させ、これにより加圧室内のインク
を加圧して圧力を発生させる。この圧力により、インク
は連通路1eを通過して、ノズル1aから吐出する。吐
出後には圧電素子8に対する印加電圧は0となり、圧電
素子8は反動で外方に屈曲して加圧室1d内の圧力がマ
イナスになる。この負圧により、共通インク室4aから
インク供給孔2a,インク供給路1fを通過して、加圧
室1dにインクが供給される。
When ink is ejected by the ink jet head of the present invention, when a driving signal from a driver IC is supplied to the piezoelectric element 8 through the flexible cable 9, the piezoelectric element 8 is deformed to The substrate 1 is bent toward the inside of the pressurizing chamber 1d, whereby the ink in the pressurizing chamber is pressurized to generate pressure. By this pressure, the ink passes through the communication path 1e and is ejected from the nozzle 1a. After the ejection, the voltage applied to the piezoelectric element 8 becomes 0, and the piezoelectric element 8 is bent outward by reaction and the pressure in the pressurizing chamber 1d becomes negative. By this negative pressure, ink is supplied from the common ink chamber 4a to the pressure chamber 1d through the ink supply hole 2a and the ink supply path 1f.

【0030】インク滴吐出のために加えられた圧力によ
りインクがインク流路内を通過する際に、従来のように
流路の壁面がすべて均一な剛性の高い材質で形成されて
いると、流路内に生じた圧力波が壁面で反射し続けるの
で、振動が減衰するのに長い時間がかかる。これに対し
、壁面a,b,c,dのうちの、圧電素子8が固定さ
れていない1つの壁面a、c、dの少なくとも1つに、
シート状接着剤3の層、つまり加圧室1dを構成する壁
面よりも剛性の低い層が存在すると、この接着剤3の層
によりインク滴吐出時の加圧力を弱めることなく、イン
ク滴吐出後のインクの振動が吸収されるため、振動が
期に減衰する。これにより、次の駆動信号をそれだけ早
印加できて、印字スピードを向上することができる。
When the ink passes through the ink flow path due to the pressure applied to discharge the ink droplets , if all the wall surfaces of the flow path are formed of a uniform and highly rigid material as in the prior art, Since the pressure wave generated in the road continues to be reflected on the wall surface, it takes a long time for the vibration to attenuate. In contrast
The piezoelectric element 8 of the wall surfaces a, b, c, and d is fixed.
On at least one of the unwalled walls a, c, d,
A layer of the sheet-like adhesive 3, that is, a wall constituting the pressure chamber 1 d
If there is a layer having a lower rigidity than the surface, the layer of the adhesive 3
Without weakening the pressure when ejecting ink droplets.
Since the vibration of the ink after click ejection is absorbed, vibration early
Period . As a result , the next drive signal can be applied earlier and the printing speed can be improved.

【0031】[0031]

【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
一端がノズル開口に他端がインク供給口を介して共通
インク室に連通する加圧室と、加圧室の加圧領域の壁面
に固定され、加圧室の容積を変化させてインクを加圧す
る加圧手段とを備え、加圧室の加圧手段が固定されてい
る壁面以外の加圧室の壁面の内面に、加圧室を構成する
壁面よりも剛性の低い層が形成されているので、加圧手
段による加圧力を無用に減衰させることなく、インク滴
吐出後のインクの振動波を剛性の低い層により早期に減
衰させ、高速印字を可能とすることができる。
As described above, in the present invention,
One end is connected to the nozzle opening, and the other end is fixed to the wall of the pressurized area of the pressurized chamber, which communicates with the common ink chamber via the ink supply port. Pressurizing means for pressurizing, wherein the pressurizing means of the pressurizing chamber is fixed.
Since a layer having a lower rigidity than the wall constituting the pressurizing chamber is formed on the inner surface of the wall of the pressurizing chamber other than the wall of the pressurizing chamber, the pressure applied by the pressurizing means is not unnecessarily attenuated and the ink droplets are ejected. Vibration waves of the subsequent ink can be attenuated early by the layer having low rigidity, thereby enabling high-speed printing.

【0032】[0032]

【0033】[0033]

【0034】[0034]

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のインクジェットヘッドの一実施例を示
す一部切欠正面図である。
FIG. 1 is a partially cutaway front view showing one embodiment of an ink jet head of the present invention.

【図2】図1A−A線断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along the line AA of FIG. 1;

【図3】図1のノズル近傍のインク流路を示す拡大断面
図である。
FIG. 3 is an enlarged sectional view showing an ink flow path near a nozzle in FIG. 1;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 流路基板 1d インク流路(加圧室) 1e インク流路(連通路) 1f インク流路(インク供給路) 2 流路基板蓋(第1の基板) 3 シート状接着剤 a,b,c インク流路の壁面 d 弾性率の異なるインク流路の壁面 Reference Signs List 1 flow path substrate 1d ink flow path (pressurized chamber) 1e ink flow path (communication path) 1f ink flow path (ink supply path) 2 flow path substrate lid (first substrate) 3 sheet adhesive a, b, c Wall surface of ink channel d Wall surface of ink channel with different elastic modulus

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 早川 剛 千葉県四街道市鹿渡934−13番地 株式 会社精工舎 千葉事業所内 (56)参考文献 特開 平5−8388(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B41J 2/045 B41J 2/055 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Go Hayakawa 934-13 Shiwatari Yotsukaido-shi, Chiba Seikosha Co., Ltd. Chiba Works (56) References JP-A-5-8388 (JP, A) (58) Survey Field (Int.Cl. 7 , DB name) B41J 2/045 B41J 2/055

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 一端がノズル開口に、他端がインク供給
口を介して共通インク室に連通する加圧室と、前記加圧
室の加圧領域の1つの壁面に固定され、前記加圧室の容
積を変化させてインクを加圧する加圧手段とを備え、
記加圧室の前記加圧手段が固定されている壁面以外の前
記加圧室の壁面の内面に、前記加圧室を構成する壁面よ
りも剛性の低い層が形成されているインクジェットヘッ
ド。
A pressurizing chamber having one end connected to a nozzle opening and the other end communicating with a common ink chamber via an ink supply port; varying the chamber volume and a pressurizing means for pressurizing the ink, before
An inkjet head in which a layer having a lower rigidity than a wall constituting the pressure chamber is formed on an inner surface of a wall surface of the pressure chamber other than a wall surface to which the pressure unit of the pressure chamber is fixed .
【請求項2】 前記層が、前記加圧室を形成する部材を
接合する接着剤により形成されている請求項1に記載の
インクジェットヘッド。
2. The ink jet head according to claim 1, wherein the layer is formed of an adhesive for joining members forming the pressure chamber.
【請求項3】 前記接着剤が、ゴム系の基材にエポキシ
樹脂を含浸させたシートである請求項2に記載のインク
ジェットヘッド。
3. The ink jet head according to claim 2, wherein the adhesive is a sheet in which a rubber base material is impregnated with an epoxy resin.
JP7406793A 1993-03-31 1993-03-31 Inkjet head Expired - Fee Related JP3206615B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7406793A JP3206615B2 (en) 1993-03-31 1993-03-31 Inkjet head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7406793A JP3206615B2 (en) 1993-03-31 1993-03-31 Inkjet head

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06286134A JPH06286134A (en) 1994-10-11
JP3206615B2 true JP3206615B2 (en) 2001-09-10

Family

ID=13536475

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7406793A Expired - Fee Related JP3206615B2 (en) 1993-03-31 1993-03-31 Inkjet head

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3206615B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8273066B2 (en) 2003-07-18 2012-09-25 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Absorbent article with high quality ink jet image produced at line speed

Also Published As

Publication number Publication date
JPH06286134A (en) 1994-10-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3163878B2 (en) Ink jet device
EP1005986A1 (en) Fluid jetting device and its production process
US6188416B1 (en) Orifice array for high density ink jet printhead
JP3212382B2 (en) Precision brazing method
JP3389987B2 (en) Ink jet recording head and method of manufacturing the same
KR20000038967A (en) Method for manufacturing fluid injecting apparatus and fluid injecting apparatus thereof
JP3206615B2 (en) Inkjet head
JP4214798B2 (en) Ink jet recording head and manufacturing method thereof
JP4363150B2 (en) Method for manufacturing droplet discharge head
JP3006111B2 (en) Method of manufacturing piezoelectric actuator element for pulse droplet deposition device
JP3539296B2 (en) Inkjet head manufacturing method
JPH09123466A (en) Manufacture of ink jet printer head
JP3669013B2 (en) Inkjet device
JP3213861B2 (en) Inkjet recording head
JPH04371846A (en) Ink jet head
JP2002019109A (en) Ink jet recording head
JPH06106724A (en) Ink-jet head
JP3444257B2 (en) Inkjet recording head
JP3106030B2 (en) Piezoelectric / electrostrictive actuator
JP2004188687A (en) Inkjet head and inkjet recording apparatus
JPH08169107A (en) Ink jet head
JPH05212863A (en) Ink jet printing head and production thereof
JPH09239994A (en) Bonding of nozzle plate
JP3508362B2 (en) Method of manufacturing inkjet head
JPH10119259A (en) Ink jet head

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20010606

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080706

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090706

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100706

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110706

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110706

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120706

Year of fee payment: 11

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees