JP3196744B2 - Liquid crystal display device and method of manufacturing the same - Google Patents

Liquid crystal display device and method of manufacturing the same

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JP3196744B2
JP3196744B2 JP33151098A JP33151098A JP3196744B2 JP 3196744 B2 JP3196744 B2 JP 3196744B2 JP 33151098 A JP33151098 A JP 33151098A JP 33151098 A JP33151098 A JP 33151098A JP 3196744 B2 JP3196744 B2 JP 3196744B2
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伸一 上原
悟郎 齋藤
研 住吉
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は2枚の基板間隔を均
一に保って歩留まり良く接着し耐衝撃性を向上させた液
晶表示素子ならびにその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device in which the distance between two substrates is kept uniform and adhesion is improved at a high yield to improve impact resistance, and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、小型、薄型、軽量、低消費電力と
いう利点から液晶を使用した表示素子が重要視されてい
る。現在主流となっている液晶表示素子はネマティック
液晶を使用したものであるが、その応答時間は最も早い
ものでも30ms程度であり、完全な動画を表示するこ
とは不可能である。そこで、1ms以下での応答が可能
な強誘電性液晶や反強誘電性液晶を液晶表示素子へ適用
することが検討されている。ところが、これらの液晶を
使用した表示素子では、スメクティックC相に特有な欠
陥によりコントラスト比が低く、また外部からの衝撃に
より容易に配向が乱れてしまうことが問題となってい
る。そこで、特開平9−304756号公報、特開平7
−318912号公報では、アクリル樹脂などを主成分
とする感光性材料を使用して互いに隔離された平行に並
ぶ複数の直線状空間を形成し、この空間に液晶8を充填
する。その後、基板2の面内において直線状空間に垂直
な温度勾配をかけ、液晶の体積収縮力を利用して欠陥を
低減する手法が記されている。この概略透視図を図13
に示す。本手法によれば、欠陥を低減することにより高
コントラスト比が実現できる。また、直線状空間を形成
している隔壁52は、2枚の基板を接着しているので衝
撃に強く、外部衝撃に対する液晶配向の耐性をも実現す
ることができる。
2. Description of the Related Art In recent years, a display element using a liquid crystal has been regarded as important because of its advantages of small size, thin thickness, light weight, and low power consumption. The currently mainstream liquid crystal display element uses a nematic liquid crystal, but its response time is about 30 ms at the earliest, and it is impossible to display a complete moving image. Therefore, application of a ferroelectric liquid crystal or an antiferroelectric liquid crystal capable of responding in 1 ms or less to a liquid crystal display device is being studied. However, display devices using these liquid crystals have problems that the contrast ratio is low due to defects specific to the smectic C phase, and the alignment is easily disturbed by external impact. Therefore, Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-304756,
In JP-A-318912, a plurality of parallel linear spaces separated from each other are formed by using a photosensitive material mainly composed of an acrylic resin or the like, and the space is filled with a liquid crystal 8. Thereafter, a method is described in which a temperature gradient perpendicular to the linear space is applied in the plane of the substrate 2 and defects are reduced by utilizing the volume shrinkage force of the liquid crystal. This schematic perspective view is shown in FIG.
Shown in According to this method, a high contrast ratio can be realized by reducing defects. Further, since the partition wall 52 forming the linear space is bonded to the two substrates, the partition wall 52 is strong against impact and can realize the resistance of the liquid crystal alignment to external impact.

【0003】また、第23回液晶討論会講演予稿集45
0ページには、アクリル樹脂などを主成分とする感光性
材料により柱状樹脂スペーサ51を形成し2枚の基板2
を接着させ、液晶表示素子の耐衝撃性を向上させる試み
が記されている。この試みによれば、2枚の基板2を接
着することにより、耐衝撃性が大幅に向上するという結
果が得られている。この概略透視図を図14に示す。
[0003] In addition, the 23rd Liquid Crystal Symposium
On page 0, columnar resin spacers 51 are formed of a photosensitive material mainly composed of acrylic resin or the like, and two substrates 2 are formed.
To improve the impact resistance of the liquid crystal display element. According to this trial, the result that the impact resistance is greatly improved by bonding the two substrates 2 is obtained. This schematic perspective view is shown in FIG.

【0004】以上のように、アクリル樹脂などを主成分
とする材料を使用して樹脂スペーサを作製し、この樹脂
スペーサを使用して2枚の基板を接着することにより、
液晶表示素子の耐衝撃性を向上させる試みが盛んに行わ
れつつある。
As described above, a resin spacer is manufactured using a material mainly composed of an acrylic resin or the like, and two substrates are bonded using the resin spacer.
Attempts to improve the impact resistance of liquid crystal display devices have been actively made.

【0005】一方で、プラスチックやシリカの球状また
は円筒状スペーサを基板に散布して基板間隔を得る従来
の手法では、球状または円筒状スペーサの位置を基板内
で固定できず、表示部位内にも配置されるため、液晶の
配向が乱れコントラスト比が低下する点が問題になって
いる。さらに近年、基板間隔を薄くし高速応答を実現す
る試みが、例えばアイ・ディー・アール・シー97(I
DRC97)のL−66ページなどに記載されている。
しかし、球状または円筒状スペーサが基板上で凝集する
ために面内で均一な基板間隔の実現が難しく、特に基板
間隔が薄くなるに従い均一化はより困難となる。そこ
で、球状または円筒状スペーサとアクリル樹脂などを主
成分とする材料を併用し、球状または円筒状スペーサの
凝集を防止するとともに基板面内における位置を固定し
て、薄い基板間隔を面内で均一にし、かつ表示品質を向
上させる試みが特開平9−197414号公報に記載さ
れている。この断面図を図15に示す。
[0005] On the other hand, in the conventional method of obtaining a spacing between substrates by spraying spherical or cylindrical spacers made of plastic or silica on the substrate, the position of the spherical or cylindrical spacer cannot be fixed within the substrate, and the position of the spherical or cylindrical spacer cannot be fixed within the display region. Since they are arranged, there is a problem that the alignment of the liquid crystal is disturbed and the contrast ratio is lowered. In recent years, attempts to reduce the distance between substrates to achieve a high-speed response have been made, for example, by IDR 97 (I
DRC97), page L-66.
However, since the spherical or cylindrical spacers agglomerate on the substrate, it is difficult to achieve uniform substrate spacing in the plane, and in particular, as the substrate spacing becomes thinner, uniformity becomes more difficult. Therefore, a spherical or cylindrical spacer and a material mainly composed of acrylic resin etc. are used together to prevent the aggregation of the spherical or cylindrical spacer and to fix the position in the substrate plane to make the thin substrate spacing uniform in the plane. An attempt to improve the display quality and display quality is described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-197414. This sectional view is shown in FIG.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】一般に、アクリル樹脂
などを主成分とする樹脂スペーサを使用して2枚の基板
を接着し表示素子面内で均一な基板間隔を実現するため
には、樹脂スペーサの接着力と硬度が重要な要素とな
る。樹脂スペーサの接着力を向上させるためには、フォ
トリソグラフィや印刷などの樹脂スペーサ形状形成過程
の後で行うポストベークの温度を下げて、熱硬化を完全
に進行させない状況で2枚の基板を貼り合わせ、加圧し
ながら組立焼成を行う。この際に、組立焼成前の樹脂ス
ペーサの熱硬化が進み過ぎていると接着力が低下し、衝
撃や圧力により樹脂スペーサの接着部位が剥げてしま
う。そこで、組立焼成前の樹脂スペーサの熱硬化が進行
していない条件で組立焼成を行えば、接着力を強化する
ことができる。しかし、樹脂スペーサの熱硬度が進行し
ていないために組立焼成時の圧力で潰れてしまい、均一
な基板間隔が実現不可能となることが問題となってい
る。
Generally, in order to bond two substrates by using a resin spacer mainly composed of an acrylic resin or the like and to realize a uniform distance between the substrates in the display element surface, a resin spacer is generally used. The adhesion and hardness of the steel are important factors. In order to improve the adhesive strength of the resin spacer, the temperature of the post-bake performed after the resin spacer shape forming process such as photolithography or printing is reduced, and the two substrates are bonded in a state where the thermosetting does not completely proceed. Assemble and bake while applying pressure. At this time, if the thermosetting of the resin spacer before the assembly and firing is excessively advanced, the adhesive force is reduced, and the bonded portion of the resin spacer is peeled off by impact or pressure. Therefore, if the assembly and firing are performed under the condition that the thermosetting of the resin spacer before the assembly and firing has not progressed, the adhesive strength can be enhanced. However, since the thermal hardness of the resin spacer has not progressed, the resin spacer is crushed by the pressure at the time of assembling and firing, and there is a problem that uniform substrate spacing cannot be realized.

【0007】例えば、特開平9−304756号公報、
特開平7−318912号公報では、樹脂スペーサを2
枚の基板間で隔壁状にして接着させているが、組立焼成
後に液晶表示素子のスクライブ・ブレイク工程に関する
記述はない。量産性を考慮すると、スクライブ・ブレイ
ク工程が必要であり、この工程における衝撃に耐えられ
る接着力が必要とされる。 また、上記特開平9−30
4756号公報、特開平7−318912号公報では、
隔壁状の樹脂スペーサの隔壁幅は25μmとなっている
が、近年、特開平10−104645号公報のように液
晶表示素子の高精細・大容量化が進みつつあり、より小
さな隔壁幅が必要とされる。また液晶プロジェクタのラ
イトバルブとして液晶表示素子を使用する場合には高精
細であることが必須条件となる。これらの液晶表示素子
に上記樹脂スペーサを使用する場合には、隔壁幅を25
μmより小さくしなければならない。それは、表示絵素
間の遮光層部内に隔壁を設けなければ、表示に影響が現
れるためである。また、隔壁間幅はある一定の範囲にな
ければならず、隔壁数を増やすことも不可能である。す
ると、素子に占める隔壁の接着面積割合が減少し、接着
力が低下するため、スクライブ・ブレイク工程等の衝撃
により、より接着部が剥がれやすくなるという問題を生
じる。
For example, JP-A-9-304756,
In Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 7-318912, two resin spacers are used.
The substrates are bonded in a partition shape between the substrates, but there is no description about a scribe-break process of the liquid crystal display element after assembling and firing. In consideration of mass productivity, a scribe-break process is required, and an adhesive force that can withstand an impact in this process is required. Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-30 / 1990
No. 4,756, JP-A-7-318912,
The partition wall width of the partition-like resin spacer is 25 μm. In recent years, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-104645, high definition and large capacity of the liquid crystal display element are progressing, and a smaller partition width is required. Is done. When a liquid crystal display element is used as a light valve of a liquid crystal projector, high definition is an essential condition. When the above-mentioned resin spacer is used for these liquid crystal display elements, the partition wall width is set to 25
It must be smaller than μm. This is because display is affected unless a partition is provided in the light shielding layer between display picture elements. Further, the width between partition walls must be within a certain range, and it is impossible to increase the number of partition walls. Then, the bonding area ratio of the partition wall to the element is reduced, and the bonding strength is reduced. Therefore, there is a problem that the bonded portion is more easily peeled off by an impact such as a scribe-break process.

【0008】更に、熱硬化の程度がポストベークの温度
・時間に大きく依存する材料を樹脂スペーサとして使用
する場合には、ポストベーク時の基板面内温度分布が一
様でないと樹脂スペーサの硬度に分布が生じ、均一な基
板間隔が実現不可能となるという問題点が生じる。 ま
た、現在の液晶表示素子は特開平8−152857号公
報に記載されているように、外力による変化の影響を受
けやすく、例えば液晶表示素子に触れただけで表示が変
化し、所望の表示が得られないという問題が存在する。
これは、外力により液晶表示素子の基板間隔が変化する
ことが原因である。
Further, when a material whose degree of thermal curing largely depends on the temperature and time of post-baking is used as the resin spacer, the hardness of the resin spacer may be reduced if the temperature distribution in the substrate surface during post-baking is not uniform. A problem arises in that distribution occurs, making uniform substrate spacing impossible. Further, as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-152857, current liquid crystal display elements are easily affected by changes due to external force. For example, the display changes only by touching the liquid crystal display element, and a desired display is not obtained. There is a problem that it cannot be obtained.
This is because the distance between the substrates of the liquid crystal display element changes due to external force.

【0009】本発明の目的は上記の問題点に鑑み、樹脂
スペーサを使用して2枚の基板を接着した際に、基板間
隔を面内で均一にするとともに、接着力を強化しスクラ
イブまたはブレイク工程等の衝撃にも耐え、樹脂スペー
サの接着剥がれの生じにくい液晶表示素子ならびにその
作製方法を提供し、また作製歩留を向上するとともに表
示素子としての耐衝撃性を向上させることである。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above problems, it is an object of the present invention to make uniform the spacing between substrates when bonding two substrates by using a resin spacer, to enhance the adhesive force, and to provide a scribe or break. It is an object of the present invention to provide a liquid crystal display element that can withstand the impact of a process or the like and is less likely to cause peeling of a resin spacer, and a method of manufacturing the same.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の液晶表示素子の製造方法は、アクリル樹脂
等を主成分とする材料とプラスティックまたはシリカの
球状、または円筒状スペーサを併用する。 この際に、
プラスティックまたはシリカの球状または円筒状スペー
サの直径より、アクリル樹脂等を主成分とする材料の塗
布厚を大きくすることにより、アクリル樹脂等を主成分
とする材料で2枚の基板を接着することができる。ま
た、接着力を向上し外力による接着剥がれを防止するた
めに、アクリル樹脂等を主成分とする材料の硬化があま
り進行しておらず、組立焼成時の圧力によってアクリル
樹脂等を主成分とする材料の潰れが発生する条件にして
おく。その後、組立焼成時の圧力により潰れが発生する
ものの、樹脂スペーサにより基板間隔は均一な状態で潰
れ接着される。以上により、2枚の基板を、基板間隔が
均一な状態に保ち、かつ強力に接着することができる。
図1にその断面図を示す。 ただし、遮光層の存在する
基板に適用する場合には、アクリル樹脂等を主成分とす
る材料は、組立焼成時の圧力で潰れた際に、遮光層より
はみ出してはならない。遮光層から表示画素部へはみ出
した部分は表示に使用することができないので、表示画
素部における未表示部分が発生し、表示に悪影響を与え
るからである。
In order to achieve the above object, a method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention uses a material mainly composed of an acrylic resin or the like and a spherical or cylindrical spacer made of plastic or silica. . At this time,
By increasing the coating thickness of a material mainly composed of acrylic resin or the like to be larger than the diameter of the spherical or cylindrical spacer of plastic or silica, the two substrates can be bonded with a material mainly composed of acrylic resin or the like. it can. In addition, in order to improve the adhesive strength and prevent the adhesive peeling due to external force, the hardening of the material mainly composed of an acrylic resin or the like has not progressed much, and the acrylic resin or the like is mainly composed by the pressure at the time of assembling and firing. Conditions are set so that the material collapses. After that, although crushing occurs due to the pressure at the time of assembling and firing, the substrate is crushed and adhered in a uniform state by the resin spacer. As described above, the two substrates can be strongly adhered while maintaining a uniform distance between the substrates.
FIG. 1 shows a cross-sectional view thereof. However, when applied to a substrate having a light-shielding layer, a material mainly composed of an acrylic resin or the like must not protrude from the light-shielding layer when crushed by pressure during assembly and firing. This is because a portion protruding from the light-shielding layer to the display pixel portion cannot be used for display, and a non-display portion in the display pixel portion occurs, which adversely affects display.

【0011】この様子を図2に示す。そこで、柱状樹脂
スペーサの形状を高さh、幅(直径)wとし、併用する
プラスティックまたはシリカの球状または円筒状スペー
サの直径をR、遮光層の幅をBとした際に、これらの関
係が数式(1)を満たすようにする。
FIG. 2 shows this state. Therefore, when the shape of the columnar resin spacer is height h and the width (diameter) w, the diameter of the plastic or silica spherical or cylindrical spacer used together is R, and the width of the light shielding layer is B, these relationships are Equation (1) should be satisfied.

【0012】 (h−R)×w≦(B−w)×R ・・・(1) 数式(1)の条件を利用すれば、遮光層から表示画素部
へのアクリル樹脂等を主成分とする材料のはみ出しを防
止することができる。
(H−R) × w ≦ (B−w) × R (1) If the condition of Expression (1) is used, an acrylic resin or the like from the light shielding layer to the display pixel portion is mainly used. Material that runs out can be prevented.

【0013】更に、球状スペーサと柱状樹脂スペーサを
併用する場合には、 2×R+w≦B ・・・(2) を満たすことが望ましい。これは、球状スペーサの中心
と樹脂スペーサの中心は一致しない状況が発生するの
で、樹脂スペーサからはみ出した球状スペーサが遮光層
へはみ出すのを防止するためである。図3に斜視図を示
す。同様に、円筒状粒子スペーサと柱状樹脂スペーサを
併用した場合には、円筒状スペーサの長さをLとして、 2×L+w≦B ・・・(3) を満たすことが望ましい。図4に斜視図を示す。
Further, when a spherical spacer and a columnar resin spacer are used together, it is desirable that the following condition is satisfied: 2 × R + w ≦ B (2) This is to prevent a situation in which the center of the spherical spacer does not coincide with the center of the resin spacer, so that the spherical spacer protruding from the resin spacer does not protrude into the light shielding layer. FIG. 3 shows a perspective view. Similarly, when the cylindrical particle spacer and the columnar resin spacer are used together, it is desirable that the length of the cylindrical spacer be L, and that 2 × L + w ≦ B (3) be satisfied. FIG. 4 shows a perspective view.

【0014】また、本作製法を適用した液晶表示素子で
は、素子に外力が加わった場合の表示変化も防止するこ
とができる。2枚の基板が樹脂スペーサにより接着さ
れ、外力による基板間隔の変化を抑制することができる
からである。
Further, in a liquid crystal display device to which the present manufacturing method is applied, a change in display when an external force is applied to the device can be prevented. This is because the two substrates are adhered by the resin spacer, and a change in the distance between the substrates due to an external force can be suppressed.

【0015】上記手段により、表示素子作製工程での外
部衝撃による樹脂スペーサと2枚の基板との接着剥がれ
を防止するとともに、外力による表示変化のない液晶表
示素子を実現できるだけでなく、樹脂スペーサを作製す
る際の温度分布が許容されるので、作製歩留も向上する
ことになる。
The above means not only prevents the resin spacer from being peeled off from the two substrates due to an external impact in the display element manufacturing process, but also realizes a liquid crystal display element in which the display does not change due to an external force. Since the temperature distribution during manufacturing is allowed, the manufacturing yield is also improved.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。図5は本発明の第1の実施
の形態を示す概略透視図である。基板2にスピンコート
法、または印刷法を使用して配向膜4を塗布する。
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 5 is a schematic perspective view showing the first embodiment of the present invention. The alignment film 4 is applied to the substrate 2 by using a spin coating method or a printing method.

【0017】一方の基板2に、アクリル樹脂等を主成分
とする材料を使用して柱状樹脂スペーサ51を形成す
る。形成方法はフォトリソグラフィ法でも印刷法でも良
いが、フォトリソグラフィ法を使用する場合には感光性
材料を混入する必要がある。しかし、フォトリソグラフ
ィ法ではより微細な構造を形成することができる。印刷
法を使用する場合には、感光性材料はなくても構わな
い。または、円筒状粒子スペーサ61を混入していない
アクリル樹脂等を主成分とする材料を塗布した後に、円
筒状粒子スペーサ61を散布しても良い。ただし、アク
リル樹脂等を主成分とする材料の塗布厚は、プラスティ
ック製またはシリカ製の円筒状粒子スペーサの直径より
大きくしておく。また、スペーサ形成後のポストベーク
は短時間にする。
A columnar resin spacer 51 is formed on one substrate 2 using a material mainly composed of acrylic resin or the like. The photolithography method or the printing method may be used for the formation method, but when using the photolithography method, it is necessary to mix a photosensitive material. However, a finer structure can be formed by photolithography. When a printing method is used, the photosensitive material may be omitted. Alternatively, the cylindrical particle spacer 61 may be sprayed after applying a material mainly composed of an acrylic resin or the like into which the cylindrical particle spacer 61 is not mixed. However, the coating thickness of the material mainly composed of an acrylic resin or the like is set to be larger than the diameter of the cylindrical particle spacer made of plastic or silica. The post-bake after the formation of the spacer is performed in a short time.

【0018】次に、柱状樹脂スペーサ51を形成した基
板2ならびにもう一方の基板2に対し、ラビング法など
の配向処理を施す。表示領域を囲い液晶注入用の開口部
を設けた形状にシール材9を塗布し、この両基板2を張
り合わせる。加熱ならびに加圧等の手段を使用し柱状樹
脂スペーサ51を硬化させ、両基板2を完全に接着す
る。この後、接着した両基板からスクライブ・ブレイク
工程を使用して表示素子として使用する部位を切り出
す。その結果スクライブ・ブレイク工程による樹脂スペ
ーサの接着剥がれは発生しない。次に、2枚の基板間に
液晶8を注入して液晶表示素子1とすると、液晶表示素
子1は、外力が加わった場合でも表示変化が発生しな
い。
Next, the substrate 2 on which the columnar resin spacer 51 is formed and the other substrate 2 are subjected to an alignment treatment such as a rubbing method. A sealing material 9 is applied in a shape surrounding the display area and having an opening for injecting liquid crystal, and the two substrates 2 are bonded together. The columnar resin spacers 51 are cured by using means such as heating and pressurizing, and the two substrates 2 are completely bonded. Thereafter, a portion to be used as a display element is cut out from both bonded substrates using a scribe-break process. As a result, the resin spacer does not peel off due to the scribe-break process. Next, when the liquid crystal 8 is injected between the two substrates to form the liquid crystal display element 1, the liquid crystal display element 1 does not change its display even when an external force is applied.

【0019】図6は本発明の第2の実施の形態の概略を
示す斜視図である。本発明の第1の実施の形態と異なる
のは、一方の基板2には遮光層7が設けられている点、
遮光層7上に数式(1)、(2)および(3)の条件を
満たすように柱状樹脂スペーサ51を形成する点であ
る。本発明の第1の実施の形態と比較して、遮光層7に
より光漏れを低減できコントラスト比を向上させ、かつ
遮光層7から表示画素部への樹脂スペーサ51ならびに
円筒状粒子61のはみ出しを防止できるので、表示画素
内の未表示部分の発生を防止することができる。 図7
は本発明の第3の実施の形態を示す概略透視図である。
本発明の第2の実施の形態と異なるのは、円筒状粒子6
1のかわりに球状粒子62を使用する点である。球状粒
子62の方が柱状樹脂スペーサ51を大きく設置するこ
とができ、接着力を強化できるので、特に遮光層7の幅
が小さな高精細表示素子に適用する際に有利である。
FIG. 6 is a perspective view schematically showing a second embodiment of the present invention. The difference from the first embodiment of the present invention is that one substrate 2 is provided with a light shielding layer 7,
The point is that the columnar resin spacer 51 is formed on the light shielding layer 7 so as to satisfy the conditions of the equations (1), (2) and (3). As compared with the first embodiment of the present invention, light leakage can be reduced by the light shielding layer 7 and the contrast ratio can be improved, and the resin spacer 51 and the cylindrical particles 61 from the light shielding layer 7 to the display pixel portion can be prevented from protruding. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of an undisplayed portion in the display pixel. FIG.
FIG. 7 is a schematic perspective view showing a third embodiment of the present invention.
The difference from the second embodiment of the present invention is that the cylindrical particles 6
The point is that spherical particles 62 are used instead of 1. The spherical particles 62 can provide a larger columnar resin spacer 51 and enhance the adhesive strength, and are particularly advantageous when applied to a high-definition display device in which the width of the light shielding layer 7 is small.

【0020】図8は本発明の第4の実施の形態を示す概
略透視図である。本発明の第3の実施の形態と異なるの
は、柱状樹脂スペーサ51のかわりに隔壁状樹脂スペー
サ52を形成する点である。隔壁状樹脂スペーサ52は
接着面積を大きくすることができるので、更なる高精細
化に有利である。
FIG. 8 is a schematic perspective view showing a fourth embodiment of the present invention. The difference from the third embodiment of the present invention is that a partition-like resin spacer 52 is formed instead of the column-shaped resin spacer 51. The partition-like resin spacer 52 can increase the bonding area, which is advantageous for further higher definition.

【0021】本発明の第4の実施の形態に対し、強誘電
性液晶や反強誘電性液晶などのスメクティックC相を示
す液晶8を使用し、隔壁方向に温度勾配を印加してスメ
クティックC相に特有の配向欠陥を低減した点を特徴と
する。配向欠陥の低減により、コントラスト比を向上さ
せることができた。更に、強誘電性液晶や反強誘電性液
晶を使用するので、高速表示を実現することができた。
In contrast to the fourth embodiment of the present invention, a liquid crystal 8 exhibiting a smectic C phase such as a ferroelectric liquid crystal or an antiferroelectric liquid crystal is used, and a smectic C phase is applied by applying a temperature gradient in a partition wall direction. Is characterized in that alignment defects peculiar to are reduced. By reducing the alignment defects, the contrast ratio could be improved. Furthermore, since a ferroelectric liquid crystal or an antiferroelectric liquid crystal is used, high-speed display can be realized.

【0022】[0022]

【実施例】次に、本発明の液晶表示素子の実施例につい
て述べる。
Next, embodiments of the liquid crystal display device of the present invention will be described.

【0023】実施例1:透明電極を有する無アルカリガ
ラス(日本電気硝子(株)製「OA2」)2枚に配向膜
(JSR(株)製「AL1254」)を塗布する。塗布
方法はスピンコート法を使用し、塗布後クリーンオーブ
ンにて200℃で焼成した。この後、一方の基板に、直
径3μm・長さ10μmである円筒状粒子スペーサ(日
本電気硝子(株)製液晶セル用スペーサ「マイクロ・ロ
ッド」)を混入した感光性材料(シプレイ・ファーイー
スト(株)製ポジ型レジストMP−S1808)をスピ
ンコート法により4μmの膜厚となるよう塗布した。円
筒状粒子スペーサの混入割合は、感光性材料10mlに
対し、円筒状粒子10mgとした。
Example 1 An alignment film ("AL1254" manufactured by JSR Corporation) is applied to two alkali-free glasses having transparent electrodes ("OA2" manufactured by NEC Corporation). The coating method used was a spin coating method, and the coating was baked at 200 ° C. in a clean oven after the coating. Thereafter, a photosensitive material (Shipley Far East (TM), in which a cylindrical particle spacer having a diameter of 3 μm and a length of 10 μm (“Micro Rod”, a spacer for a liquid crystal cell manufactured by NEC Corporation) is mixed into one of the substrates. Co., Ltd., positive resist MP-S1808) was applied to a thickness of 4 μm by spin coating. The mixing ratio of the cylindrical particle spacer was 10 mg of the cylindrical particles with respect to 10 ml of the photosensitive material.

【0024】次に、フォトリソグラフィにより一辺25
μmの柱状樹脂スペーサを100μm間隔で多数形成し
た。ポストベークとしてクリーンオーブン内で160℃
・1時間加熱し、感光性材料を硬化した。スペーサを形
成した基板ならびにもう一方の基板に対し、ラビング法
による配向処理を施した。更に、柱状樹脂スペーサを形
成した基板に、シール材を塗布した。塗布は、表示領域
を囲い液晶注入用の開口部を開けた形状を、ディスペン
サ法により形成した。この両基板を貼り合わせ、クリー
ンオーブンにて圧力0.8kgf/cm2・温度180
℃で2時間加熱することにより、両基板を接着した状態
で、面内均一な基板間隔を実現することができた。基板
間隔は3μmであった。接着した両基板からスクライブ
・ブレイク工程を使用して表示素子として使用する部位
を切り出した。スクライブ・ブレイク工程の際に、樹脂
スペーサの接着剥がれは発生しなかった。次に、2枚の
基板間にネマティック液晶(メルク(株)製ネマティッ
ク液晶「ZLI−4792」)を注入して液晶表示素子
とした。この液晶表示素子は、外力や衝撃による表示変
化が発生しなかった。 実施例2:第2の実施例では、
第1の実施例に対して、一方の基板2に透明電極および
幅30μmの遮光層を有する無アルカリガラス(日本電
気硝子(株)製「OA2」)を使用する点と、フォトリ
ソグラフィ法により一辺10μmの柱状樹脂スペーサを
100μm間隔で多数形成する点とが異なる。本実施例
においても、両基板を接着した状態で面内均一な基板間
隔を実現することができ、スクライブ・ブレイク工程の
際に樹脂スペーサの接着剥がれは発生しなかった。更に
外力や外部衝撃による表示変化は発生しなかった。ま
た、遮光層からのアクリル樹脂等を主成分とする材料5
ならびに円筒状粒子スペーサ61のはみ出しはなく、表
示画素部における未表示部分は発生しなかった。
Next, one side 25 is formed by photolithography.
Many μm columnar resin spacers were formed at 100 μm intervals. 160 ° C in a clean oven as post bake
-Heated for 1 hour to cure the photosensitive material. The substrate on which the spacer was formed and the other substrate were subjected to an alignment treatment by a rubbing method. Further, a sealing material was applied to the substrate on which the columnar resin spacers were formed. The coating was performed by a dispenser method so as to surround a display area and open an opening for liquid crystal injection. The two substrates are bonded together, and the pressure is set to 0.8 kgf / cm 2 and the temperature is set to 180 in a clean oven.
By heating at 2 ° C. for 2 hours, an in-plane uniform substrate interval could be realized with both substrates adhered. The distance between the substrates was 3 μm. A portion to be used as a display element was cut out from both bonded substrates using a scribe-break process. No adhesive peeling of the resin spacer occurred during the scribe-break process. Next, a nematic liquid crystal (a nematic liquid crystal “ZLI-4792” manufactured by Merck Ltd.) was injected between the two substrates to obtain a liquid crystal display device. In this liquid crystal display element, no display change due to external force or impact occurred. Embodiment 2: In the second embodiment,
In comparison with the first embodiment, the use of an alkali-free glass (“OA2” manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd.) having a transparent electrode and a light-shielding layer having a width of 30 μm on one substrate 2, and one side by photolithography The difference is that a large number of 10 μm columnar resin spacers are formed at 100 μm intervals. Also in the present embodiment, a uniform in-plane distance between the substrates can be realized in a state where both substrates are bonded, and no adhesive peeling of the resin spacer occurs during the scribe-break process. Further, no display change due to external force or external impact occurred. Further, a material 5 mainly composed of an acrylic resin or the like from the light shielding layer 5
Further, the cylindrical particle spacer 61 did not protrude, and no undisplayed portion in the display pixel portion did not occur.

【0025】実施例3:第3の実施例では、第2の実施
例に対して、透明電極および幅20μmの遮光層を有す
る低膨張率無アルカリガラス(日本電気硝子(株)製
「OA2」)を使用する点、直径3μmである球状粒子
スペーサ(日本触媒製LCD用スペーサ「リクリスタ
ー」)を混入した感光性材料(シプレイ・ファーイース
ト(株)製ポジ型レジストMP−S1808)をスピン
コート法により4μmの膜厚となるよう塗布した点、球
状粒子スペーサの混入割合は感光性材料10mlに対し
球状粒子100mgとした点が異なる。本実施例におい
ても、両基板を接着した状態で面内均一な基板間隔を実
現することができ、スクライブ・ブレイク工程の際に樹
脂スペーサの接着剥がれは発生しなかった。更に外力や
外部衝撃による表示変化は発生しなかった。また、遮光
層からのアクリル樹脂等を主成分とする材料5ならびに
球状粒子スペーサ62のはみ出しはなく、表示画素部に
おける未表示部分は発生しなかった。第2の実施例と比
較して、柱状樹脂スペーサの大きさは変えずに遮光層の
幅を小さくできるので、開口率を向上させることができ
た。
Embodiment 3 In the third embodiment, a low expansion coefficient alkali-free glass having a transparent electrode and a light-shielding layer having a width of 20 μm (“OA2” manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd.) is different from the second embodiment. ), A photosensitive material (positive resist MP-S1808, manufactured by Shipley Far East Co., Ltd.) mixed with spherical particle spacers having a diameter of 3 μm (Nippon Shokubai's LCD spacer “Ricister”) is spin-coated. The difference is that the coating was performed so as to have a film thickness of 4 μm, and the mixing ratio of the spherical particle spacer was 100 mg of the spherical particles per 10 ml of the photosensitive material. Also in the present embodiment, a uniform in-plane distance between the substrates can be realized in a state where both substrates are bonded, and no adhesive peeling of the resin spacer occurs during the scribe-break process. Further, no display change due to external force or external impact occurred. Further, the material 5 containing acrylic resin or the like as a main component and the spherical particle spacer 62 did not protrude from the light shielding layer, and no undisplayed portion in the display pixel portion did not occur. Compared with the second embodiment, the width of the light shielding layer can be reduced without changing the size of the columnar resin spacer, so that the aperture ratio can be improved.

【0026】実施例4:第4の実施例では、第3の実施
例に対して、直径1.5μmである球状粒子スペーサ
(日本触媒製LCD用スペーサ「リクリスター」)を混
入した感光性材料(シプレイ・ファーイースト(株)製
ポジ型レジストMP−S1808)をスピンコート法に
より2μmの膜厚となるよう塗布した点、球状粒子スペ
ーサの混入割合は感光性材料10mlに対し球状粒子ス
ペーサ50mgとした点、2枚の基板間に強誘電性液晶
(チッソ石油化学(株)製強誘電性液晶「CS−101
4」)を注入して液晶表示素子とした点が異なる。両基
板を接着した状態で面内均一な基板間隔を実現すること
ができ、スクライブ・ブレイク工程での樹脂スペーサの
接着剥がれは発生せず、また外力や衝撃による表示変化
が発生しない高速液晶表示素子を得ることができた。
Embodiment 4: The fourth embodiment is different from the third embodiment in that a photosensitive material mixed with a spherical particle spacer having a diameter of 1.5 μm (Nippon Shokubai's LCD spacer “Ricister”) is used. The positive resist MP-S1808 manufactured by Shipley Far East Co., Ltd.) was applied to a thickness of 2 μm by spin coating, and the mixing ratio of the spherical particle spacer was 50 mg of the spherical particle spacer per 10 ml of the photosensitive material. Between the two substrates, a ferroelectric liquid crystal (CS-101 manufactured by Chisso Petrochemical Co., Ltd.)
4 ") to form a liquid crystal display element. A high-speed liquid crystal display element that can achieve uniform in-plane spacing between the substrates with both substrates adhered, does not cause resin spacers to peel off during the scribe and break process, and does not cause display changes due to external force or impact. Could be obtained.

【0027】実施例5:第5の実施例では、第3の実施
例に対して、フォトリソグラフィ法により幅10μm、
長さ10cmの隔壁状樹脂スペーサを100μm間隔で
多数形成した点が異なる。本実施例においても、両基板
を接着した状態で面内均一な基板間隔を実現することが
でき、スクライブ・ブレイク工程の際に樹脂スペーサの
接着剥がれは発生しなかった。更に外力や外部衝撃によ
る表示変化は発生しなかった。また、遮光層からのアク
リル樹脂等を主成分とする材料ならびに球状粒子スペー
サのはみ出しはなく、表示画素部における未表示部分は
発生しなかった。第3の実施例と比較して、接着面積を
大きくとることができるので、接着力を向上させること
ができる。
Embodiment 5: The fifth embodiment is different from the third embodiment in that the width is 10 μm by photolithography.
The difference is that a large number of partition resin spacers having a length of 10 cm are formed at intervals of 100 μm. Also in the present embodiment, a uniform in-plane distance between the substrates can be realized in a state where both substrates are bonded, and no adhesive peeling of the resin spacer occurs during the scribe-break process. Further, no display change due to external force or external impact occurred. Further, the material mainly composed of acrylic resin or the like and the spherical particle spacer did not protrude from the light shielding layer, and no undisplayed portion in the display pixel portion did not occur. As compared with the third embodiment, the bonding area can be increased, so that the bonding strength can be improved.

【0028】実施例6: 第6の実施例では、第4の実
施例に対して、フォトリソグラフィ法により幅10μ
m、長さ10cmの隔壁状樹脂スペーサを100μm間
隔で多数形成した点、2枚の基板間に反強誘電性液晶
(チッソ石油化学(株)製反強誘電性液晶「CS−40
00」)を注入して液晶表示素子とした点が異なる。両
基板を接着した状態で面内均一な基板間隔を実現するこ
とができ、スクライブ・ブレイク工程での樹脂スペーサ
の接着剥がれは発生しなかった。更に、この液晶表示素
子を90℃の恒温層から大気中へ引き出しを行い、温度
勾配による配向改善を試みた。引き出しは隔壁方向に沿
って毎分0.5mmの速度で行い、欠陥のない均一な配
向を実現することができた。この液晶表示素子は、外力
や外部衝撃による表示変化が発生しなかった。
Embodiment 6: The sixth embodiment is different from the fourth embodiment in that a width of 10 μm is obtained by photolithography.
A large number of partition resin spacers having a length of 10 cm and a length of 10 cm were formed at intervals of 100 μm, and an antiferroelectric liquid crystal (an antiferroelectric liquid crystal “CS-40” manufactured by Chisso Petrochemical Co., Ltd.) was placed between two substrates.
00 ”) was injected to form a liquid crystal display element. A uniform spacing between the substrates could be achieved in a state where both substrates were bonded, and no adhesive peeling of the resin spacer occurred in the scribe-break process. Further, this liquid crystal display device was drawn out from a constant temperature layer at 90 ° C. into the air, and an attempt was made to improve the alignment by a temperature gradient. The drawing was performed at a speed of 0.5 mm per minute along the direction of the partition wall, and a uniform orientation without defects could be realized. In this liquid crystal display element, no display change due to external force or external impact occurred.

【0029】実施例7: 第7の実施例では、第6の実
施例に対して、感光性材料(シプレイ・ファーイースト
(株)製ポジ型レジストMP−S1808)をスピンコ
ート法により2μmの膜厚となるよう塗布した点、感光
性材料の乾燥前に直径1.5μmである球状粒子スペー
サ(日本触媒製LCD用スペーサ「リクリスター」)を
1mにつき10mg散布した点が異なる。本実施例に
おいても、両基板を接着した状態で面内均一な基板間隔
を実現することができ、スクライブ・ブレイク工程の際
に樹脂スペーサの接着剥がれは発生せず、温度勾配によ
り欠陥のない均一な配向を実現することができ、更に外
力や外部衝撃による表示変化は発生しなかった。また、
遮光層からの樹脂スペーサならびに球状粒子スペーサの
はみ出しは発生せず、表示に悪影響はなかった。散布方
式にすることにより、球状粒子スペーサの使用量を低減
することができた。
Embodiment 7: In the seventh embodiment, a photosensitive material (positive resist MP-S1808 manufactured by Shipley Far East Co., Ltd.) is applied to a film having a thickness of 2 μm by a spin coating method as compared with the sixth embodiment. The difference is that the photosensitive material is applied so as to be thicker, and that a spherical particle spacer having a diameter of 1.5 μm (Nippon Shokubai's LCD spacer “Licristar”) having a diameter of 1.5 μm is sprayed per 1 m 2 before drying the photosensitive material. In the present embodiment as well, a uniform in-plane spacing between the substrates can be realized in a state where both substrates are adhered, and no adhesive peeling of the resin spacer occurs during the scribe-break process, and there is no defect due to a temperature gradient. Orientation can be realized, and no display change due to external force or external impact occurred. Also,
The resin spacer and the spherical particle spacer did not protrude from the light-shielding layer, and there was no adverse effect on the display. By using the spraying method, the amount of the spherical particle spacer used could be reduced.

【0030】次に本発明の比較例について述べる。Next, a comparative example of the present invention will be described.

【0031】比較例1: 図9は本発明の第1の比較例
を示す断面図である。透明電極を有する無アルカリガラ
ス2(日本電気硝子(株)製「OA2」)2枚に配向膜
4(JSR(株)製「AL1254」)を塗布する。塗
布方法はスピンコート法を使用し、塗布後クリーンオー
ブンにて200℃で焼成した。この後、一方の基板に、
感光性材料(シプレイ・ファーイースト(株)製ポジ型
レジストMP−S1808)をスピンコート法により4
μmの膜厚となるよう塗布した。次にフォトリソグラフ
ィにより直径25μmの柱状樹脂スペーサ51を100
μm間隔で多数形成した。ポストベークとしてクリーン
オーブン内で160℃・3時間加熱し、感光性材料を硬
化した。スペーサを形成した基板、ならびにもう一方の
基板に対し、ラビング法による配向処理を施した。更
に、スペーサを形成した基板2に、シール材9を塗布し
た。塗布は、表示領域を囲い液晶注入用の開口部を開け
た形状を、ディスペンサ法により形成した。この両基板
2を貼り合わせ、クリーンオーブンにて圧力0.8kg
f/cm2・温度180℃で2時間加熱することによ
り、両基板2を接着した状態で、面内均一な基板間隔を
実現することができた。基板間隔は4μmであった。接
着した両基板からスクライブ・ブレイク工程を使用して
表示素子として使用する部位を切り出したが、衝撃で樹
脂スペーサに剥がれが発生した。次に、2枚の基板間に
ネマティック液晶8(メルク(株)製ネマティック液晶
「ZLI−4792」)を注入して液晶表示素子1とし
た。この液晶表示素子1は、2枚の基板2が樹脂スペー
サ51により接着されていないために、外力や衝撃によ
り表示変化が発生した。
Comparative Example 1: FIG. 9 is a sectional view showing a first comparative example of the present invention. An alignment film 4 ("AL1254" manufactured by JSR Corporation) is applied to two alkali-free glasses 2 ("OA2" manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd.) having transparent electrodes. The coating method used was a spin coating method, and the coating was baked at 200 ° C. in a clean oven after the coating. Then, on one of the substrates,
Photosensitive material (Positive resist MP-S1808 manufactured by Shipley Far East Co., Ltd.)
It was applied to a thickness of μm. Next, a columnar resin spacer 51 having a diameter of 25 μm is
Many were formed at intervals of μm. The photosensitive material was cured by heating at 160 ° C. for 3 hours in a clean oven as post-baking. An alignment treatment by a rubbing method was performed on the substrate on which the spacer was formed and the other substrate. Further, a sealing material 9 was applied to the substrate 2 on which the spacer was formed. The coating was performed by a dispenser method so as to surround a display area and open an opening for liquid crystal injection. The two substrates 2 are bonded together and the pressure is 0.8 kg in a clean oven.
By heating at f / cm 2 and a temperature of 180 ° C. for 2 hours, uniform in-plane substrate spacing could be achieved with both substrates 2 bonded together. The distance between the substrates was 4 μm. A portion to be used as a display element was cut out from both bonded substrates using a scribe-break process, but the resin spacer was peeled off by impact. Next, a nematic liquid crystal 8 (a nematic liquid crystal “ZLI-4792” manufactured by Merck Ltd.) was injected between the two substrates to obtain a liquid crystal display element 1. In the liquid crystal display element 1, since two substrates 2 were not bonded by the resin spacer 51, a display change occurred due to external force or impact.

【0032】比較例2: 第2の比較例では、第1の比
較例に対して、感光性材料(シプレイ・ファーイースト
(株)製ポジ型レジストMP−S1808)をスピンコ
ート法により2μmの膜厚となるよう塗布した点、その
結果基板間隔は2μmとなった点、強誘電性液晶(チッ
ソ石油化学(株)製強誘電性液晶「CS−1014」)
を注入して液晶表示素子とした点が異なる。スクライブ
・ブレイク工程を使用して表示素子として使用する部位
を切り出したが、衝撃で樹脂スペーサに剥がれが発生し
た。この液晶表示素子は、2枚の基板が樹脂スペーサに
より接着されていないために、外力や衝撃による表示変
化が発生した。 比較例3: 図10は本発明の第3の
比較例を示す断面図である。第2の比較例に対して、フ
ォトリソグラフィ法により幅25μm、長さ10cmの
隔壁状樹脂スペーサ52を100μm間隔で多数形成し
た点、反強誘電性液晶8(チッソ石油化学(株)製反強
誘電性液晶「CS−4000」)を注入して液晶表示素
子とした点が異なる。接着した両基板からスクライブ・
ブレイク工程を使用して表示素子として使用する部位を
切り出したが、衝撃で隔壁状樹脂スペーサ52に剥がれ
が発生した。この液晶表示素子1を90℃の恒温層から
大気中へ引き出しを行い、温度勾配による配向改善を試
みた。引き出しは隔壁方向に沿って毎分0.5mmの速
度で行った。しかし、隔壁状樹脂スペーサ52に剥がれ
が生じているため、配向改善の効果が得られなかった。
COMPARATIVE EXAMPLE 2 In the second comparative example, a photosensitive material (positive resist MP-S1808 manufactured by Shipley Far East Co., Ltd.) was applied to a film having a thickness of 2 μm by spin coating. Thick coating, resulting in a substrate spacing of 2 μm, ferroelectric liquid crystal (Chisso Petrochemical Co., Ltd. ferroelectric liquid crystal “CS-1014”)
In that a liquid crystal display element is obtained by injecting the liquid crystal. A part to be used as a display element was cut out using a scribe-break process, but the resin spacer was peeled off by impact. In this liquid crystal display element, a display change due to external force or impact occurred because the two substrates were not bonded by the resin spacer. Comparative Example 3 FIG. 10 is a sectional view showing a third comparative example of the present invention. Compared to the second comparative example, the anti-ferroelectric liquid crystal 8 (manufactured by Chisso Petrochemical Co., Ltd.) has a large number of partition resin spacers 52 having a width of 25 μm and a length of 10 cm formed at intervals of 100 μm by photolithography. The difference is that a dielectric liquid crystal “CS-4000”) is injected to form a liquid crystal display element. Scribing from both bonded substrates
A portion to be used as a display element was cut out using a breaking process, but the partition-like resin spacer 52 was peeled off by impact. The liquid crystal display element 1 was pulled out from a constant temperature layer at 90 ° C. into the air, and an attempt was made to improve the alignment by a temperature gradient. The drawing was performed at a speed of 0.5 mm / min along the partition wall direction. However, since the partition wall-shaped resin spacer 52 was peeled off, the effect of improving the alignment was not obtained.

【0033】比較例4: 図11は本発明の第4の比較
例を示す断面図である。第3の比較例に対して、ポスト
ベークとしてクリーンオーブン内で160℃・1時間加
熱した点が異なる。第3の比較例よりも感光性材料5の
硬化が進行していないために、2枚の基板2を貼り合わ
せた後での加圧焼成による接着力が強化され、したがっ
てスクライブ・ブレイク工程での隔壁状樹脂スペーサ5
2の接着剥がれは発生しなかった。しかし、基板間隔は
面内で1.1〜1.8μmとばらついた。温度勾配によ
り配向改善が得られたものの、基板間隔のばらつきに起
因する表示むらが発生した。
Comparative Example 4: FIG. 11 is a sectional view showing a fourth comparative example of the present invention. The difference from the third comparative example is that heating was performed at 160 ° C. for 1 hour in a clean oven as post-baking. Since the curing of the photosensitive material 5 has not progressed as compared with the third comparative example, the adhesive force by pressure baking after bonding the two substrates 2 is strengthened, and therefore, in the scribe-break process. Partition resin spacer 5
No peeling of the adhesive No. 2 occurred. However, the distance between the substrates varied from 1.1 to 1.8 μm in the plane. Although the orientation was improved by the temperature gradient, display unevenness occurred due to variations in the spacing between the substrates.

【0034】比較例5:図12は本発明の第5の比較例
を示す断面図である。第3の比較例にたいして、基板2
の一枚に透明電極および幅5μmNO遮光層7を有する
低膨張率アルカリガラス(日本電気硝子(株)製「OA
2」)を使用している点、直径1.5μmである球状粒
子スペーサ62(日本触媒製LCD用スペーサ「リクリ
スター」)を混入した感光性材料(シプレイ・ファーイ
ースト(株)製ポジ型レジストMP−S1804)をス
ピンコート法により2μmの膜厚となるように塗布した
点と、フォトリソグラフィ法により幅4μmNO隔壁状
樹脂スペーサ52を100μm間隔で多数形成した点
と、ポストベークとしてクリーンオーブン内で160℃
・1時間加熱した点とが異なる。スクライブ・ブレイク
工程の際に隔壁状樹脂スペーサ2の接着剥がれは発生せ
ず、温度勾配による配向は改善した。また外力や、外部
衝撃による表示変化発生しなかったが、遮光層7からの
隔壁状樹脂スペーサ52ならびに球状粒子スペーサ62
のはみ出しが発生し、表示に悪影響をあたえた。また、
第6の比較例では、第5の比較例に対して、球状粒子ス
ペーサ62の混入していない感光性材料(シプレイ・フ
ァースト(株)製ポジ形レジストMP−S1808)を
スピンコート法により2μmの膜厚となるように塗布し
た点、ならびに樹脂スペーサ形成後に直径3μmである
球状粒子スペーサ62(日本触媒製LCD用スペーサ
「リクリスター」)を散布した点が異なる。加圧焼成後
に2枚の基板は接着されなかった。
Comparative Example 5 FIG. 12 is a sectional view showing a fifth comparative example of the present invention. As compared with the third comparative example, the substrate 2
Low expansion coefficient alkali glass having a transparent electrode and a 5 μm wide NO light-shielding layer 7 on one sheet (“OA” manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd.)
2)), a photosensitive material (a positive resist MP manufactured by Shipley Far East Co., Ltd.) mixed with a spherical particle spacer 62 having a diameter of 1.5 μm (Liquistar, a spacer for LCD manufactured by Nippon Shokubai). -S1804) was applied by spin coating to a thickness of 2 μm, a large number of 4 μm wide NO partition resin spacers 52 were formed at 100 μm intervals by photolithography, and 160 mm in a clean oven as post bake. ° C
・ It is different from that heated for 1 hour. During the scribe-break process, no peeling of the partition-like resin spacer 2 occurred, and the orientation due to the temperature gradient was improved. Although no display change due to external force or external impact occurred, the partition resin spacer 52 and the spherical particle spacer 62 from the light shielding layer 7 did not change.
Overrunning occurred, which negatively affected the display. Also,
The sixth comparative example is different from the fifth comparative example in that the spherical particle
A photosensitive material containing no pacer 62 (Shipley F
Positive resist MP-S1808 manufactured by First Co., Ltd.)
Spin coating to a thickness of 2μm
3 μm in diameter after forming the resin spacer
Spherical particle spacer 62 (Nippon Shokubai LCD spacer
"Liclistar"). After pressure firing
The two substrates were not bonded.

【0035】[0035]

【発明の効果】以上説明したように、本発明による液晶
表示素子ならびにその製造方法によれば、アクリル樹脂
等を主成分とする材料とプラスティックまたはシリカの
球状または円筒状スペーサを併用し、プラスティックま
たはシリカの球状または円筒状スペーサの直径よりアク
リル樹脂等を主成分とする材料の塗布厚を大きくし、か
つアクリル樹脂等を主成分とする材料の硬化が進行して
いない状態で2枚の基板を貼り合わせ加圧焼成すること
により、2枚の基板を、基板間隔が均一な状態に保ち、
かつ強力に接着することができ、したがって液晶表示素
子の製造工程における耐衝撃性を向上させることができ
るので、耐衝撃性の向上した液晶表示素子を歩留まり良
く作製することができるという効果がある。
As described above, according to the liquid crystal display device and the method of manufacturing the same according to the present invention, a material mainly composed of an acrylic resin or the like and a spherical or cylindrical spacer made of plastic or silica are used in combination. The coating thickness of the material mainly composed of acrylic resin or the like is made larger than the diameter of the spherical or cylindrical spacer of silica, and the two substrates are placed in a state where the curing of the material mainly composed of acrylic resin or the like has not progressed. By bonding and sintering, the two substrates are kept in a uniform state,
In addition, since the liquid crystal display device can be strongly adhered, and the impact resistance in the manufacturing process of the liquid crystal display device can be improved, a liquid crystal display device with improved impact resistance can be manufactured with a high yield.

【0036】更には、アクリル樹脂等を主成分とする材
料ならびに球状または円筒状スペーサが、基板上に設け
られた遮光層から表示画素部へはみ出さない条件を使用
することにより、表示画素部における未表示部分をなく
すことができるので、表示への悪影響を低減することが
できる効果がある。
Further, by using a condition in which a material mainly composed of an acrylic resin or the like and a spherical or cylindrical spacer do not protrude from the light-shielding layer provided on the substrate to the display pixel portion, Since the undisplayed portion can be eliminated, there is an effect that the adverse effect on the display can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の液晶表示素子の概略を説明するための
断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view schematically illustrating a liquid crystal display device of the present invention.

【図2】遮光層から表示画素部への樹脂材料のはみ出し
を示した概念図である。
FIG. 2 is a conceptual diagram showing protrusion of a resin material from a light-shielding layer to a display pixel portion.

【図3】遮光層から表示画素部への樹脂スペーサならび
に球状粒子スペーサのはみ出しを防止した例を示す斜視
図である。
FIG. 3 is a perspective view showing an example in which a resin spacer and a spherical particle spacer are prevented from protruding from a light shielding layer to a display pixel portion.

【図4】遮光層から表示画素部への樹脂スペーサならび
に円筒状粒子スペーサのはみ出しを防止した例を示す斜
視図である。
FIG. 4 is a perspective view showing an example in which a resin spacer and a cylindrical particle spacer are prevented from protruding from a light-shielding layer to a display pixel portion.

【図5】本発明の液晶表示素子の第1の実施形態を示す
概略透視図であり、本発明を円筒状粒子スペーサならび
に柱状樹脂スペーサに適用した例を示す斜視図である。
FIG. 5 is a schematic perspective view showing a first embodiment of the liquid crystal display element of the present invention, and is a perspective view showing an example in which the present invention is applied to a cylindrical particle spacer and a columnar resin spacer.

【図6】本発明の液晶表示素子の第2の実施形態を示す
概略透視図であり、本発明を遮光層を有する液晶表示素
子に適用した例を示す斜視図である。
FIG. 6 is a schematic perspective view showing a second embodiment of the liquid crystal display device of the present invention, and is a perspective view showing an example in which the present invention is applied to a liquid crystal display device having a light shielding layer.

【図7】本発明の液晶表示素子の第3の実施形態を示す
概略透視図であり、本発明を球状粒子スペーサに適用し
た例を示す斜視図である。
FIG. 7 is a schematic perspective view showing a third embodiment of the liquid crystal display device of the present invention, and is a perspective view showing an example in which the present invention is applied to a spherical particle spacer.

【図8】本発明の液晶表示素子の第3の実施形態を示す
概略透視図であり、本発明を隔壁状樹脂スペーサに適用
した例を示す斜視図である。
FIG. 8 is a schematic perspective view showing a third embodiment of the liquid crystal display element of the present invention, and is a perspective view showing an example in which the present invention is applied to a partition resin spacer.

【図9】本発明の実施例と比較して欠陥を示した第1の
比較例の説明断面図である。
FIG. 9 is an explanatory cross-sectional view of a first comparative example showing a defect as compared with the example of the present invention.

【図10】第3の比較例を示す説明断面図である。FIG. 10 is an explanatory sectional view showing a third comparative example.

【図11】第4の比較例を示す説明断面図である。FIG. 11 is an explanatory sectional view showing a fourth comparative example.

【図12】第5の比較例を示す説明断面図である。FIG. 12 is an explanatory sectional view showing a fifth comparative example.

【図13】従来の隔壁状樹脂スペーサを使用した液晶表
示素子の説明用の斜視図である。
FIG. 13 is a perspective view for explaining a liquid crystal display element using a conventional partition-like resin spacer.

【図14】従来の柱状樹脂スペーサを使用した液晶表示
素子の説明用の斜視図である。
FIG. 14 is a perspective view for explaining a liquid crystal display element using a conventional columnar resin spacer.

【図15】従来の球状粒子スペーサと柱状樹脂スペーサ
を併用した液晶表示素子の説明用の斜視図である。
FIG. 15 is a perspective view for illustrating a conventional liquid crystal display element using both a spherical particle spacer and a columnar resin spacer.

【図16】従来の柱状樹脂スペーサ形成後に粒子スペー
サを散布し、樹脂スペーサの損傷を防止した液晶素子の
概略断面図である。
FIG. 16 is a schematic cross-sectional view of a conventional liquid crystal element in which particle spacers are scattered after formation of a columnar resin spacer to prevent damage to the resin spacer.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 液晶表示素子 2 基板 3 透明電極 4 配向膜 51 柱状樹脂スペーサ 52 隔壁状樹脂スペーサ 61 円筒状粒子スペーサ 62.球状粒子スペー
サ 7 遮光層 8 液晶 9 シール材
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Liquid crystal display element 2 Substrate 3 Transparent electrode 4 Alignment film 51 Columnar resin spacer 52 Partition resin spacer 61 Cylindrical particle spacer 62. Spherical particle spacer 7 Light shielding layer 8 Liquid crystal 9 Sealing material

フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−150224(JP,A) 特開 平1−113729(JP,A) 特開 平8−110524(JP,A) 特開 平8−304841(JP,A) 特開 平5−61051(JP,A) 特開 平5−27224(JP,A) 特開 平4−121709(JP,A) 特開 平2−154228(JP,A) 特開 平2−96119(JP,A) 特開 平1−96626(JP,A) 特開 昭63−220116(JP,A) 特開 昭62−231938(JP,A) 特開 昭62−174726(JP,A) 特開 昭62−75421(JP,A) 特開 昭62−73232(JP,A) 特開 昭55−36843(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02F 1/1339 500 Continuation of the front page (56) References JP-A-62-150224 (JP, A) JP-A-1-113729 (JP, A) JP-A-8-110524 (JP, A) JP-A-8-304841 (JP) JP-A-5-61051 (JP, A) JP-A-5-27224 (JP, A) JP-A-4-121709 (JP, A) JP-A-2-154228 (JP, A) 2-96119 (JP, A) JP-A-1-96626 (JP, A) JP-A-63-220116 (JP, A) JP-A-62-231938 (JP, A) JP-A-62-174726 (JP, A) A) JP-A-62-75421 (JP, A) JP-A-62-73232 (JP, A) JP-A-55-36843 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) ) G02F 1/1339 500

Claims (15)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 圧力および熱による変形の少ない第1の
種類のスペーサと、前記第1の種類の高さより高い高さ
を有し、第1のスペーサより低い温度で熔融する第2の
スペーサとを配向面間に有する液晶表示素子において、 第2のスペーサ個々が前記第1の種類のスペーサに接し
て特定の区域内に配置され、前記第1の種類の高さより
高い高さを有し、互いに近接する対向基板間で、前記第
1の種類のスペーサの高さまで潰され、潰された上部と
下部において対向基板に潰れ接着する手段を有し、 2枚の基板の内の一枚の基板上の前記特定の区域が遮光
層であり、該遮光層の幅内に配置される加圧焼成前の第
2の種類のスペーサの高さをh、幅をw、前記第1の種
類のスペーサの高さをR、前記特定の地域の幅をBとす
るとき、次式 (h−R)×≦(B−w)×R … …(1) 2×R+w≦B … … … …(2) を満たすことを特徴とする液晶表示素子。
1. A first type of spacer which is less deformed by pressure and heat, and a second spacer having a height higher than the first type of height and melting at a lower temperature than the first spacer. Wherein the second spacers are individually arranged in a specific area in contact with the first type of spacer, and have a height higher than the first type of height. Means for crushing the opposing substrates close to each other to the height of the first type of spacer and crushing and bonding the opposing substrates at the crushed upper and lower portions; one of the two substrates The above specific area is a light shielding layer, and the height, width, and height of the second type spacer before pressure firing, which are arranged within the width of the light shielding layer, are h, and the first type spacer is When the height of the specific area is R and the width of the specific area is B, the following equation (hR) ) × ≦ (B−w) × R (1) 2 × R + w ≦ B (2)
【請求項2】 前記第1の種類のスペーサと第2の種類
のスペーサの組み合わせが、球状粒子スペーサと柱状樹
脂スペーサである第1の組み合わせと、 球状粒子スペーサと隔壁スペーサである第2の組み合わ
せと、 円筒状粒子スペーサと柱状樹脂スペーサである第3の組
み合わせと、 円筒状粒子スペーサと隔壁樹脂スペーサである第4の組
み合わせのいずれかである請求項1記載の液晶表示素
子。
2. A combination of the first type of spacer and the second type of spacer is a first combination of a spherical particle spacer and a columnar resin spacer, and a second combination of a spherical particle spacer and a partition spacer. The liquid crystal display element according to claim 1, wherein the liquid crystal display element is any one of a third combination of a cylindrical particle spacer and a columnar resin spacer, and a fourth combination of a cylindrical particle spacer and a partition resin spacer.
【請求項3】 前記第1の種類のスペーサと、第2の周
類のスペーサが、球状粒子スペーサと柱状樹脂スペーサ
である第1の組み合わせと、球状粒子スペーサと隔壁樹
脂スペーサである第2の組み合わせとのいずれかである
請求項2記載の液晶表示素子。
3. A first combination in which the first type of spacer and the second peripheral spacer are a spherical particle spacer and a columnar resin spacer, and a second combination in which the first type of spacer is a spherical particle spacer and a partition resin spacer. 3. The liquid crystal display device according to claim 2, which is one of a combination.
【請求項4】 圧力および熱による変形の少ない第1の
種類のスペーサと、前記第1の種類の高さより高い高さ
を有し、第1のスペーサより低い温度で熔融する第2の
スペーサとを配向面間に有する液晶表示素子において、 第2のスペーサ個々が前記第1の種類のスペーサに接し
て特定の区域内に配置され、前記第1の種類の高さより
高い高さを有し、互いに近接する対向基板間で、前記第
1の種類のスペーサの高さまで潰され、潰された上部と
下部において対向基板に潰れ接着する手段を有、 2枚の基板の内の一枚の基板上の前記特定の区域が遮光
層であり、前記第1の種類のスペーサを高さL直径Rの
円筒状スペーサとし、第2の種類のスペーサの高さを
h、幅をwとし,前記遮光層の幅をBとするとき、第2
の種類のスペーサが、柱状樹脂スペーサと隔壁状樹脂ス
ペーサとのいずれかであり、次の数式 (h−R)×w≦(B−w)×R … …(1) 2×L+w≦B … … … …(3) を満たすことを特徴とする液晶表示素子。
4. A first type of spacer which is less deformed by pressure and heat, and a second spacer having a height higher than that of said first type and melting at a lower temperature than said first spacer. Wherein the second spacers are individually arranged in a specific area in contact with the first type of spacer, and have a height higher than the first type of height. Means for crushing the opposing substrates close to each other to the height of the first type of spacer and crushing and bonding the opposing substrates at the crushed upper and lower portions; on one of the two substrates The specific area is a light-shielding layer, the first type of spacer is a cylindrical spacer having a height L and a diameter R, the height of the second type of spacer is h, the width is w, and the light-shielding layer is When the width of B is B,
Is either a columnar resin spacer or a partition resin spacer, and the following formula (hR) × w ≦ (B−w) × R (1) 2 × L + w ≦ B …………………………………… (3)
【請求項5】 ネマティック液晶、強誘電性液晶、反強
誘電性液晶、無閾反強誘電性液晶、歪螺旋強誘電性液
晶、ねじれ強誘電性液晶、単安定強誘電性液晶スメクテ
ィックC相を呈する液晶をしようすることを特徴とする
請求項1乃至4のいずれか1項に記載の液晶表示素子。
5. A smectic C phase of a nematic liquid crystal, a ferroelectric liquid crystal, an antiferroelectric liquid crystal, a thresholdless antiferroelectric liquid crystal, a strain spiral ferroelectric liquid crystal, a twisted ferroelectric liquid crystal, and a monostable ferroelectric liquid crystal. 5. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein liquid crystal is used.
【請求項6】 前記遮光層が10μm以下である請求項
1乃至5項のいずれか1項に記載の液晶表示素子。
6. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the light-shielding layer has a thickness of 10 μm or less.
【請求項7】 前記柱状または隔壁状の樹脂スペーサ
が、アクリル樹脂と、ポリイミド樹脂と、ポリエステル
樹脂と、塩化ビニール樹脂と、セルローズ樹脂と、メラ
ニン樹脂と、エポキシ樹脂と、ウレタン樹脂と、ポジ型
レジストのいずれか一つからなる請求項1乃至7のいず
れか1項に記載の液晶表示素子。
7. The column-shaped or partition-shaped resin spacer is formed of an acrylic resin, a polyimide resin, a polyester resin, a vinyl chloride resin, a cellulose resin, a melanin resin, an epoxy resin, a urethane resin, and a positive mold. The liquid crystal display device according to any one of claims 1 to 7, comprising one of a resist.
【請求項8】 ネマティック液晶、強誘電性液晶、反強
誘電性液晶、無閾反強誘電性液晶、歪螺旋強誘電性液
晶、ねじれ強誘電性液晶、単安定強誘電性液晶スメクテ
ィックC相を呈する液晶の少なくとも一つを使用する請
求項1乃至7のいずれか1項に記載の液晶表示素子。
8. A smectic C phase of a nematic liquid crystal, a ferroelectric liquid crystal, an antiferroelectric liquid crystal, a thresholdless antiferroelectric liquid crystal, a strain spiral ferroelectric liquid crystal, a twisted ferroelectric liquid crystal, and a monostable ferroelectric liquid crystal. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein at least one of the liquid crystals is used.
【請求項9】 圧力および熱による変形の少ない第1の
種類のスペーサと第1のスペーサより低い温度で熔融す
る第2のスペーサとを配向面間に有する液晶表示素子の
製造方法において、 第1の種類のスペーサの高さより高い高さを有し、互い
に近接する対向基板間の加圧焼成により前記第1の種類
のスペーサの直径まで潰され、潰された上部と下部にお
いて対向基板に融着する第2の種類のスペーサを前記第
1の種類のスペーサに接して前記遮光層内に配置するス
ペーサ配置ステップと、 前記互いに近接する対向基板間を前記対向基板を前記第
1の種類のスペーサの高さまで加圧圧縮することによ
り、第2のスペーサを潰して基板に潰し接着させて焼成
する加圧焼成ステップを有し、 前記スペーサ配置ステップが、2枚の基板のうちの一枚
の基板上の前記特定の区域を遮光層とし、該遮光層の幅
内に配置される加圧焼成前の第2の種類のスペーサの高
さをh、幅をw、前記第1の種類のスペーサの高さを
R、前記特定の地域の幅をBとするとき、次の数式 (h−R)×w≦(B−w)×R ・・・(1) 2×R+w≦B ・・・(2) を満たす第1と第2の種類のスペーサの配列であること
を特徴とする液晶表示素子の製造方法。
9. A method for manufacturing a liquid crystal display element having a first type of spacer that is less deformed by pressure and heat and a second spacer that melts at a lower temperature than the first spacer between alignment planes. Having a height higher than the height of the spacers of the first type, being crushed to the diameter of the spacers of the first type by pressure baking between the opposing substrates adjacent to each other, and being fused to the opposing substrate at the crushed upper and lower portions. Arranging a second type of spacer in the light shielding layer in contact with the first type of spacer, and arranging the opposing substrate between the opposing substrates adjacent to each other by the first type of spacer. A pressure baking step of crushing and bonding the second spacer to a substrate by pressing and compressing to a height, and baking the second spacer; The specific area on the substrate is a light-shielding layer, and the height and the width of the second type of spacers before pressure firing, which are arranged within the width of the light-shielding layer, are h and w, respectively. Assuming that the height of the spacer is R and the width of the specific area is B, the following equation (h−R) × w ≦ (B−w) × R (1) 2 × R + w ≦ B (2) A method for manufacturing a liquid crystal display element, wherein the first and second types of spacers are arranged.
【請求項10】 前記第1の種類のスペーサと第2の種
類のスペーサの組み合わせが、球状粒子スペーサと柱状
樹脂スペーサである第1の組み合わせと、 球状粒子スペーサと隔壁樹脂スペーサである第2の組み
合わせと、 円筒状粒子スエーサと柱状樹脂スペーサである第3の組
み合わせと、 円筒状粒子スペーサと隔壁状樹脂スペーサである第4の
組み合わせのいずれかである請求項9記載の液晶表示素
子の製造方法。
10. The combination of the first type of spacer and the second type of spacer is a first combination of a spherical particle spacer and a columnar resin spacer, and a second combination of a spherical particle spacer and a partition resin spacer. The method for manufacturing a liquid crystal display element according to claim 9, wherein the combination is any one of a combination of a cylindrical particle spacer and a columnar resin spacer, and a fourth combination of a cylindrical particle spacer and a partition resin spacer. .
【請求項11】 前記第1の種類のスペーサと第2の種
類のスペーサの組み合わせが、球状粒子スペーサと柱状
樹脂スペーサである第1の組合わせと、球状粒子スペー
サと隔壁状樹脂スペーサである第2の組み合わせとのい
ずれかである請求項9記載の液晶表示素子の製造方法。
11. The combination of the first type of spacer and the second type of spacer is a first combination of a spherical particle spacer and a columnar resin spacer, and a combination of the first type of spacer is a spherical particle spacer and a partition resin spacer. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 9, wherein the method is any one of the combinations of the two.
【請求項12】 圧力および熱による変形の少ない第1
の種類のスペーサと第1のスペーサより低い温度で熔融
する第2のスペーサとを配向面間に有する液晶表示素子
の製造方法において、 第1の種類のスペーサの高さより高い高さを有し、互い
に近接する対向基板間の加圧焼成により前記第1の種類
のスペーサの直径まで潰され、潰された上部と下部にお
いて対向基板に融着する第2の種類のスペーサを前記第
1の種類のスペーサに接して前記遮光層内に配置するス
ペーサ配置ステップと、 前記互いに近接する対向基板間を前記対向基板を前記第
1の種類のスペーサの高さまで加圧圧縮することによ
り、第2のスペーサを潰して基板に潰し接着させて焼成
する加圧焼成ステップを有し、 2枚の基板のうちの一枚の基板上の前記特定の区域が遮
光層であり、前記第1の種類のスペーサを高さL幅Rの
円筒状粒子スペーサとし、第2の種類のスペーサの高さ
をh,幅をwとし、前記遮光層の幅をBとするとき、第
2の種類のスペーサが、柱状樹脂スペーサと隔壁上樹脂
スペーサとのいずれかであり、次の数式 (h−R)×w≦(B−w)×R ・・・(1) 2×L+w≦B ・・・(3) を満たすことを特徴とする液晶表示素子の製造方法。
12. A first material which is less deformed by pressure and heat.
A method of manufacturing a liquid crystal display device having between the alignment planes a spacer of the type and a second spacer that melts at a lower temperature than the first spacer, wherein the height of the spacer is higher than the height of the spacer of the first type; The second type of spacer, which is crushed to the diameter of the first type of spacer by the pressure baking between the opposing substrates adjacent to each other and is fused to the opposing substrate at the crushed upper and lower portions, is connected to the first type of spacer. A spacer arranging step of arranging the second spacer in contact with the spacer in the light shielding layer; and compressing the opposing substrate to a height of the first type of spacer between the opposing substrates adjacent to each other, thereby forming the second spacer. A pressure baking step of crushing, squashing and bonding to the substrate, baking the substrate, wherein the specific area on one of the two substrates is a light shielding layer, and L width When the height of the second type of spacer is h, the width is w, and the width of the light shielding layer is B, the second type of spacer is a columnar resin spacer and a resin on a partition. A spacer, and satisfies the following expression (hR) × w ≦ (Bw) × R (1) 2 × L + w ≦ B (3) A method for manufacturing a liquid crystal display element.
【請求項13】 加圧焼成後にスクライブおよびブレー
ク工程のいずれか一方を含む請求項9乃至12のいずれ
か一項に記載の液晶表示素子の製造方法。
13. The method for manufacturing a liquid crystal display element according to claim 9, further comprising one of a scribe and a break step after firing under pressure.
【請求項14】 樹脂スペーサ中に粒子スペーサを混入
して塗布する請求項9乃至13のいずれか1項に記載の
液晶表示素子の製造方法。
14. The method for manufacturing a liquid crystal display element according to claim 9, wherein a particle spacer is mixed into the resin spacer and applied.
【請求項15】 樹脂スペーサを塗布後乾燥前に粒子ス
ペーサを散布する請求項9乃至14のいずれか1項に記
載の液晶表示素子の製造方法。
15. The method for manufacturing a liquid crystal display element according to claim 9, wherein the particle spacers are sprayed after applying the resin spacers and before drying.
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