JP3187589B2 - Flat type light source and method of manufacturing the same - Google Patents

Flat type light source and method of manufacturing the same

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JP3187589B2
JP3187589B2 JP01997693A JP1997693A JP3187589B2 JP 3187589 B2 JP3187589 B2 JP 3187589B2 JP 01997693 A JP01997693 A JP 01997693A JP 1997693 A JP1997693 A JP 1997693A JP 3187589 B2 JP3187589 B2 JP 3187589B2
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  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
  • Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、液晶ディスプレイのバ
ックライトや室内照明などで用いられる薄型の平板型光
源及びその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thin flat light source used for a backlight of a liquid crystal display, indoor lighting and the like, and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】図11は、例えば特開平2−26516
1号公報に示された従来の平板型光源の構造図である。
図において、120は有底枠体状に成形された前面硝子
基板、121は平面板状の背面硝子基板、122は紫外
線の放射によって発光する蛍光体を前面硝子基板120
の内側表面に被着して形成された蛍光体膜である。12
3は背面硝子基板121の内面上に平行に配置された導
体電極膜であり、導体電極膜123はスクリーン印刷な
いし蒸着によってパターン形成されている。124は同
じくスクリーン印刷ないし蒸着によって形成された誘電
体膜、125は放電電圧を下げると共に放電から誘電体
膜124を守るMgO膜、126はHgなどの放電ガス
が満たされた放電空間である。
2. Description of the Related Art FIG.
FIG. 1 is a structural diagram of a conventional flat light source disclosed in Japanese Patent Publication No.
In the drawing, reference numeral 120 denotes a front glass substrate formed into a bottomed frame shape, 121 denotes a rear glass substrate having a flat plate shape, and 122 denotes a phosphor that emits light by radiating ultraviolet rays.
Is a phosphor film formed by being adhered to the inner surface of the substrate. 12
Reference numeral 3 denotes a conductor electrode film disposed in parallel on the inner surface of the rear glass substrate 121, and the conductor electrode film 123 is formed by patterning by screen printing or vapor deposition. 124 is a dielectric film formed by screen printing or vapor deposition, 125 is an MgO film for lowering the discharge voltage and protecting the dielectric film 124 from discharge, and 126 is a discharge space filled with a discharge gas such as Hg.

【0003】従来の平板型光源は上記のように構成さ
れ、導体電極膜123の各ラインに互い違いに放電電圧
を越える振幅の20〜50kHzの交番電位を印加する
ことにより、誘電体膜124およびMgO膜125を介
して放電空間126にAC放電を発生させる。この際、
MgO膜125は高い2次電子放出能力を持っているの
で放電の電圧を低下させ、またスパッタリングによる電
極の消耗を鈍化させる効果を発揮する。放電により励起
された放電ガスは紫外線を放射し、前面硝子基板120
の内側表面に被着された蛍光体膜122を発光させる。
この光源は背面硝子基板121の内面一様に放電を発生
させることが出来るので、平板型の面発光光源として使
用することが出来る。
A conventional flat light source is constructed as described above, and alternately applies an alternating potential of 20 to 50 kHz having an amplitude exceeding a discharge voltage to each line of the conductor electrode film 123, thereby forming a dielectric film 124 and an MgO film. An AC discharge is generated in the discharge space 126 via the film 125. On this occasion,
Since the MgO film 125 has a high secondary electron emission ability, the MgO film 125 has an effect of lowering a discharge voltage and slowing down electrode consumption due to sputtering. The discharge gas excited by the discharge emits ultraviolet rays, and the front glass substrate 120
The phosphor film 122 attached to the inner surface of the substrate emits light.
Since this light source can generate discharge uniformly on the inner surface of the rear glass substrate 121, it can be used as a flat surface emitting light source.

【0004】また、この種の光源の放電空間を規定する
外囲器は中空の平板型に形成され、その多くは板硝子で
作られている。そして、製品の軽量化及び省スペース化
の観点から極端に基板部を厚くすることが出来ない。こ
のため、例えば対角5インチ以上の大きなサイズの平板
型の面発光光源を製作しようとする場合には、外囲器の
内部と外部の圧力差による応力のため外囲器に歪みを生
じ、ついには外囲器そのものが破壊してしまうこともあ
る。この問題を解決したものとして、例えば特開平3−
225743号公報には図12に示すように球状の硝子
スペーサ130を放電空間126中に配置して、平面基
板131及び132を支持するようにしたものが開示さ
れている。図において133は平面基板131,132
間の空間を密閉して外囲器とするための外枠部であり、
外枠部133は低融点硝子で形成されている。また、1
34、135はそれぞれ平面基板131,132の外面
に設けられた電極である。すなわち、硝子スペーサ13
0が平面基板131及び132間の支柱となり、外囲器
の内部の圧力と大気圧との圧力差によって外囲器が破壊
するのを防止するのである。
Further, an envelope for defining a discharge space of this type of light source is formed in a hollow flat plate type, and most of them are made of sheet glass. In addition, the thickness of the substrate cannot be extremely increased from the viewpoint of reducing the weight and space of the product. For this reason, for example, when trying to manufacture a large-sized flat surface emitting light source having a diagonal size of 5 inches or more, the envelope is distorted due to stress caused by a pressure difference between the inside and the outside of the envelope, Eventually, the envelope itself may be destroyed. As a solution to this problem, see, for example,
Japanese Patent Application Laid-Open No. 225743 discloses a structure in which a spherical glass spacer 130 is disposed in a discharge space 126 to support the flat substrates 131 and 132 as shown in FIG. In the figure, 133 indicates planar substrates 131 and 132
It is an outer frame part for sealing the space between and making it an envelope,
The outer frame part 133 is formed of low melting point glass. Also, 1
34 and 135 are electrodes provided on the outer surfaces of the planar substrates 131 and 132, respectively. That is, the glass spacer 13
0 serves as a support between the planar substrates 131 and 132, and prevents the envelope from being broken by a pressure difference between the pressure inside the envelope and the atmospheric pressure.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】まず、図11に示され
ている従来の平板型光源は基本的な電極構造がいわゆる
透過型のカラーAC型プラズマディスプレイと概略同じ
であると考えられ、駆動電圧を低減することは可能であ
るが、蛍光体膜の形成位置が前面硝子基板120の内面
のみであるため、背面硝子基板121の方向に放射され
ている紫外線が発光に全く利用されておらず、発光効率
が極めて低いという問題点がある。
First, the conventional flat light source shown in FIG. 11 is considered to have a basic electrode structure which is substantially the same as that of a so-called transmission type color AC type plasma display. However, since the phosphor film is formed only on the inner surface of the front glass substrate 120, the ultraviolet rays emitted in the direction of the rear glass substrate 121 are not used for light emission at all, There is a problem that luminous efficiency is extremely low.

【0006】また、図12に示されたような方法で平板
型光源を大型化することが可能であるが、硝子スペーサ
130が放電空間126中に存在するため、これが紫外
線を遮断し硝子スペーサ130の近傍では紫外線が蛍光
体膜まで到達せず発光面内に暗部を生ずるという問題点
があった。
The size of the flat light source can be increased by the method shown in FIG. 12. However, since the glass spacer 130 is present in the discharge space 126, it blocks ultraviolet rays, and In the vicinity of the above, there is a problem that the ultraviolet light does not reach the phosphor film and a dark portion is formed in the light emitting surface.

【0007】また、外囲器の長方形の一辺の長さが例え
ば50mm以下の比較的小型の外囲器の場合には、2m
m程度の厚さの硝子板を基板に用いても十分差圧に耐え
得るため、図12のように硝子スペーサ130を放電空
間中に配置する必要がなく、また内部のガス圧力が高く
差圧が小さい場合も放電空間126中に硝子スペーサを
必要としない。このような場合に外囲器として図11に
示された前面硝子基板120のように有底枠体に成形さ
れたものや2枚の平面基板間に枠型の棒材をスペーサと
して用いたものが使用されているがいずれも加工に手間
がかかり、コストアップの要因にもなっていた。
In the case of a relatively small envelope having a rectangular side of 50 mm or less in length, for example, 2 m
Even if a glass plate having a thickness of about m is used for the substrate, it can sufficiently withstand the pressure difference. Therefore, it is not necessary to arrange the glass spacer 130 in the discharge space as shown in FIG. Is small, no glass spacer is required in the discharge space 126. In such a case, an envelope formed into a bottomed frame such as a front glass substrate 120 shown in FIG. 11 or a frame using a frame-shaped bar as a spacer between two flat substrates is used. However, all of them require time and effort to process, which has been a factor of cost increase.

【0008】本発明はかかる問題点を解決するためにな
されたものであり、放電によって生じた紫外線により蛍
光体を励起発光させる方式を用いながら高い発光効率で
面発光を行なうことが出来る平板型光源を得ることを目
的としている。また、発光面内に暗部を生じない大型
(例えば長方形の面光源の場合であって、縦横の長さが
それぞれ100mmを超えるような大きさ)の外囲器を
有する平板型光源を得ることを目的としている。さら
に、硝子スペーサを放電空間中に配置する必要が無い場
合に外囲器を容易に製造する方法を提供することを目的
としている。
The present invention has been made to solve such a problem, and a flat light source capable of performing surface emission with high luminous efficiency while using a method of exciting and emitting a phosphor by ultraviolet rays generated by discharge. The purpose is to get. It is also desirable to obtain a flat-type light source having a large-sized (for example, a rectangular surface light source having a length and width exceeding 100 mm each) which does not generate a dark portion in a light emitting surface. The purpose is. Still another object of the present invention is to provide a method for easily manufacturing an envelope when it is not necessary to arrange a glass spacer in a discharge space.

【0009】[0009]

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明に係る平
板型光源は、前面基板と、この前面基板に対向配置され
背面基板と、この背面基板と上記前面基板との間に密
閉された放電空間を形成する外枠体と、上記前面基板上
の上記放電空間に設けられた第1の蛍光体膜と、上記背
面基板上の上記放電空間に設けられた誘電体膜と、この
誘電体膜上に設けられた一対の電極膜と、この電極膜及
び上記誘電体膜上に設けられた絶縁体板と、この絶縁体
板上の上記放電空間に設けられた第2の蛍光体膜とを備
えたものである。
Means for Solving the Problems] plate type light source according to the invention of claim 1 has a front Menmoto plate, disposed opposite to the front substrate
Between the back substrate and the front substrate.
An outer frame that forms a closed discharge space;
A first phosphor film provided in the discharge space of
A dielectric film provided in the discharge space on the surface substrate;
A pair of electrode films provided on the dielectric film;
And an insulator plate provided on the dielectric film, and the insulator
A second phosphor film provided in the discharge space on the plate .

【0011】請求項2の発明に係る平板型光源は、上記
一対の電極膜がその電極間距離が変化する幅広部及び幅
狭部を有するものである。
[0011] The flat type light source according to the invention of claim 2 is characterized in that
A wide part and a width in which the distance between the electrodes changes in a pair of electrode films
It has a narrow portion .

【0012】[0012]

【0013】[0013]

【0014】[0014]

【0015】[0015]

【0016】[0016]

【0017】[0017]

【0018】[0018]

【0019】[0019]

【0020】[0020]

【作用】上記のように構成された平板型光源において
は、絶縁体板が導体膜を覆う誘電体としての機能を発揮
し、放電電流を抑制する。
In the flat light source configured as described above,
, The insulator plate functions as a dielectric covering the conductor film, and suppresses discharge current.

【0021】また、幅広部と幅狭部が交互に連続する帯
状の複数の導体電極膜が一定間隔で配置するようにパタ
ーン形成したパターン電極が放電箇所を規定して放電電
流を抑制する。
Further, a pattern electrode formed by patterning a plurality of strip-shaped conductor electrode films in which a wide portion and a narrow portion are alternately arranged at regular intervals defines a discharge location and suppresses a discharge current.

【0022】[0022]

【0023】[0023]

【0024】[0024]

【0025】[0025]

【0026】[0026]

【0027】[0027]

【0028】[0028]

【実施例】【Example】

実施例1.図1は本発明の一実施例を示す断面図であ
り、図において従来例を示した図11と同一部分には同
一符号を付し説明を省略する。1は透明な前面基板、2
は背面基板であり、前面基板1及び背面基板2は通常硝
子で製作されている。3は前面基板1と背面基板2との
間であって両基板の周縁部に配置され、両基板間の空間
を密閉して完全な外囲器とするための枠体部である。な
お、枠体部3と両基板は低融点硝子などを溶融すること
によって密閉される。
Embodiment 1 FIG. FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of the present invention. In FIG. 1, the same parts as those in FIG. 1 is a transparent front substrate, 2
Denotes a rear substrate, and the front substrate 1 and the rear substrate 2 are usually made of glass. Reference numeral 3 denotes a frame portion disposed between the front substrate 1 and the rear substrate 2 and at the peripheral edge of both substrates, and for sealing a space between the two substrates to form a complete envelope. The frame 3 and both substrates are hermetically sealed by melting low-melting glass or the like.

【0029】4は真空紫外域の紫外線で発光する蛍光体
で形成された蛍光体膜であり、蛍光体膜4は前面基板1
の内側表面に被着されている。5は蛍光体膜4と同一の
蛍光体で形成された蛍光体膜5であり、誘電体膜124
の表面に被着されている。導体電極膜123のそれぞれ
のパターン間の空隙は例えば0.5mm以内であり、導
体電極膜123は外囲器外部への引き出し部(図示な
し)を有している。放電空間126には例えばXeガス
が数十ないし数百Torr封入されている。
Reference numeral 4 denotes a phosphor film formed of a phosphor that emits ultraviolet light in the vacuum ultraviolet region.
Is attached to the inside surface. Reference numeral 5 denotes a phosphor film 5 formed of the same phosphor as the phosphor film 4, and a dielectric film 124.
Is attached to the surface. The gap between the patterns of the conductor electrode film 123 is, for example, 0.5 mm or less, and the conductor electrode film 123 has a lead portion (not shown) to the outside of the envelope. For example, several tens to several hundred Torr of Xe gas is sealed in the discharge space 126.

【0030】次にこの実施例の動作について説明する。
パターン形成された導体電極膜123の隣接する電極間
に放電電圧よりも高い電圧を交互に印加すると、その間
でAC放電が生じる。導体電極膜123上には誘電体膜
124が形成されているので、この放電は例えばパルス
状に素早く立ち上がる電界の場合、条件によって異なる
が概ね1μsec以内に終了し、次のパルスが印加され
るまで放電は持続していない。この放電によって例えば
Xeのガスを用いた場合、Xe2 なるエキシマーが発生
するとともに基底状態に遷移する間に真空紫外領域の紫
外線を放出する。エキシマーから放出された紫外線は通
常放電ガス分子自身に吸収される自己吸収現象が起こら
ないので減衰されることなく、前面基板1及び背面基板
2の表面の蛍光体膜4,5に到達することが出来る。蛍
光体膜4,5は紫外線によって励起発光し、発光した光
が前面基板1を通して可視光として取り出される。
Next, the operation of this embodiment will be described.
When a voltage higher than the discharge voltage is alternately applied between adjacent electrodes of the patterned conductor electrode film 123, an AC discharge occurs between them. Since the dielectric film 124 is formed on the conductor electrode film 123, this discharge is completed within approximately 1 μsec depending on the conditions, for example, in the case of an electric field that quickly rises in a pulse shape, and ends until the next pulse is applied. Discharge is not sustained. When, for example, a gas of Xe is used by this discharge, an excimer Xe 2 is generated, and ultraviolet rays in a vacuum ultraviolet region are emitted during transition to the ground state. The ultraviolet light emitted from the excimer does not attenuate normally because it does not undergo a self-absorption phenomenon that is absorbed by the discharge gas molecules itself, and can reach the phosphor films 4 and 5 on the front substrate 1 and the rear substrate 2 without being attenuated. I can do it. The phosphor films 4 and 5 are excited and emitted by ultraviolet light, and the emitted light is extracted as visible light through the front substrate 1.

【0031】この際、蛍光体膜4,5は通常白色である
ので前面基板1の内面上の蛍光体膜4からの発光は前面
基板1を透過するとともに、背面基板2上の蛍光体膜5
で反射して再び前面基板1に向うため、相乗的に輝度を
増す。これによって、導体電極膜123のパターン形状
により生ずる細かい輝度むらを均一化するという効果を
奏している。また、本実施例の電極表面はむき出しの蛍
光体であり、MgOのような電極保護材料が使用されて
いないが、実験の結果、エキシマー放電の場合はスパッ
タリングによる蛍光体膜の劣化はほとんど観測されてお
らず、実用上問題はない。
At this time, since the phosphor films 4 and 5 are usually white, the light emitted from the phosphor film 4 on the inner surface of the front substrate 1 passes through the front substrate 1 and the phosphor film 5 on the rear substrate 2
, And returns to the front substrate 1 again, so that the brightness increases synergistically. Thereby, there is an effect that uniform fine luminance unevenness caused by the pattern shape of the conductor electrode film 123 is uniformed. In addition, the electrode surface of this example is a bare phosphor, and no electrode protection material such as MgO is used. However, as a result of the experiment, in the case of excimer discharge, deterioration of the phosphor film due to sputtering was almost observed. There is no practical problem.

【0032】実施例2.図2は実施例1と同様の原理を
用いた平板型光源の他の実施例を示すものであり、図に
おいて実施例1を示した図1と同一部分には同一符号を
付し説明を省略する。本実施例においては背面基板2の
内側表面に電極等を形成するのではなく、硝子またはセ
ラミック等で形成された薄い絶縁体板7を基板に用いて
別途電極等8を形成し、これを背面基板2の内側表面に
設置したものである。
Embodiment 2 FIG. FIG. 2 shows another embodiment of the flat type light source using the same principle as that of the first embodiment. In the drawing, the same parts as those of FIG. I do. In this embodiment, an electrode or the like is not formed on the inner surface of the back substrate 2, but an electrode 8 or the like is separately formed using a thin insulator plate 7 made of glass or ceramic as a substrate, and this is formed on the back surface. It is installed on the inner surface of the substrate 2.

【0033】電極等8は絶縁体板7の一方の面に蛍光体
膜5を被着し、他方の面には導体電極膜123を実施例
1と同様に形成し、さらに導体電極膜123の上面には
誘電体膜124を形成して成るものである。電極等8は
図2に示すように背面基板2の内面に誘電体膜124を
密着させ、蛍光体膜5を放電空間126側に向けて設置
されている。絶縁体板7と導体電極5は密着しており、
機能的には絶縁体板7は実施例1における誘電体膜12
4に相当し、本実施例における誘電体膜124は単に絶
縁破壊防止用のコーティングとし機能するのみである。
For the electrodes 8 and the like, the phosphor film 5 is applied to one surface of the insulator plate 7, and the conductor electrode film 123 is formed on the other surface in the same manner as in the first embodiment. On the upper surface, a dielectric film 124 is formed. As shown in FIG. 2, the electrodes 8 and the like are provided with the dielectric film 124 adhered to the inner surface of the rear substrate 2 and the phosphor film 5 facing the discharge space 126. The insulator plate 7 and the conductor electrode 5 are in close contact,
Functionally, the insulator plate 7 is the dielectric film 12 in the first embodiment.
In this embodiment, the dielectric film 124 merely functions as a coating for preventing dielectric breakdown.

【0034】なお、動作は実施例1に示したものと全く
同様であるが、誘電体膜124の替わりに硝子ないしセ
ラミックの薄板を誘電体として用いることにより、スク
リーン印刷膜では得にくい高い均一性を得ることができ
る。また、誘電率に関して比較的小さいものが得られる
ので、過大な放電電流の制御を容易に行うことができ、
高い発光効率を得ることが出来る。
The operation is exactly the same as that shown in the first embodiment, but by using a thin glass or ceramic plate as a dielectric instead of the dielectric film 124, high uniformity which is difficult to obtain with a screen print film is obtained. Can be obtained. Also, since a relatively small dielectric constant can be obtained, it is possible to easily control an excessive discharge current,
High luminous efficiency can be obtained.

【0035】実施例3.図3は本発明の一実施例の導体
電極膜のパターンの平面図である。図において、9はパ
ターン形成された導体電極膜であり、導体電極膜9は幅
広部9aと幅狭部9bが交互に連続する形状をなし、複
数の帯状の導体電極膜9が併設されてパターンが形成さ
れている。すなわち、導体電極膜9のパターン形状は単
なる直線的な平行パターンではなく、隣接する導体電極
間の電極間距離が規則的に変化するように構成されてい
る。このように構成された放電電極膜9においては放電
電圧を制御することによって電極間距離が最小の部分の
みでストリーマが発生するようにすることができる。す
なわち、電極間距離が最小のときは放電が生じ、電極間
距離がそれより大きい距離では放電が起こらないような
値に放電電圧を設定すればよい。これによって、光源全
体に流れる放電電流を抑制することが出来、その結果発
光効率を高めることができる。また、印加電圧によって
放電電流値を制御することも可能になる。
Embodiment 3 FIG. FIG. 3 is a plan view of a pattern of a conductive electrode film according to one embodiment of the present invention. In the figure, reference numeral 9 denotes a patterned conductive electrode film. The conductive electrode film 9 has a shape in which wide portions 9a and narrow portions 9b are alternately continuous, and a plurality of strip-shaped conductive electrode films 9 are provided side by side. Are formed. That is, the pattern shape of the conductor electrode film 9 is not a simple linear parallel pattern, but is configured so that the inter-electrode distance between adjacent conductor electrodes changes regularly. In the discharge electrode film 9 configured as described above, by controlling the discharge voltage, a streamer can be generated only in a portion where the distance between the electrodes is minimum. That is, the discharge voltage may be set to such a value that discharge occurs when the distance between the electrodes is minimum, and does not occur when the distance between the electrodes is longer than that. Thereby, the discharge current flowing through the entire light source can be suppressed, and as a result, the luminous efficiency can be increased. Further, it becomes possible to control the discharge current value by the applied voltage.

【0036】実施例4.図4は本発明の一実施例を示す
平板状の光源の断面図であり、図において従来例を示し
た図12と同一部分には同一符号を付し説明を省略す
る。本実施例では従来例で示した球状の硝子スペーサ3
0に替えて錐体形状の硝子スペーサ11を設け、硝子ス
ペーサ11は背面基板2の内面にその底面が接し、前面
基板1の内面にその頂点が接するように配置したもので
ある。硝子スペーサ11の形状は基本的には錐体であれ
ば円錐でも四角錐でも構わないが、特に好ましい形状は
どの面が底面になっても高さが同一になる正四面体であ
る。正四面体であれば平板状の光源の製作時において硝
子スペーサの設置面の方向を任意に決定できるからであ
る。硝子スペーサを錐体形状にして、その頂点が前面基
板1に接するようにしたので、前面基板1上の蛍光体膜
122の硝子スペーサの頂点近傍にも周囲から紫外線が
到達でき、硝子スペーサの存在に拘らず蛍光体膜22の
全面で発光させることができる。
Embodiment 4 FIG. FIG. 4 is a cross-sectional view of a flat light source showing one embodiment of the present invention. In FIG. 4, the same parts as those in FIG. In this embodiment, the spherical glass spacer 3 shown in the conventional example is used.
A glass spacer 11 having a cone shape is provided instead of 0, and the glass spacer 11 is arranged such that the bottom surface contacts the inner surface of the rear substrate 2 and the vertex contacts the inner surface of the front substrate 1. The shape of the glass spacer 11 may be basically a cone or a quadrangular pyramid as long as it is a cone, but a particularly preferred shape is a regular tetrahedron having the same height regardless of which surface is the bottom surface. This is because, in the case of a regular tetrahedron, the direction of the installation surface of the glass spacer can be arbitrarily determined when a flat light source is manufactured. Since the glass spacer is formed in a cone shape and its vertex is in contact with the front substrate 1, ultraviolet light can reach the vertex of the glass spacer of the phosphor film 122 on the front substrate 1 from the surroundings. Regardless, the entire surface of the phosphor film 22 can emit light.

【0037】実施例5.図5は従来例で示した硝子製の
硝子スペーサ30に替えてLiF、MgF2 、Ca
2 、BaF2 のいずれかの材料からなる球形のスペー
サ12を設けたものである。なお、スペーサの形状は球
形に限られるものではなく、例えば錐体形、柱形等であ
ってもよい。これらの材料がいずれも真空紫外域の紫外
線を透過させる性質を持っているので、スペーサの近傍
の蛍光体膜にも周囲からの紫外線が到達するのでスペー
サの存在に拘らず蛍光体膜22の全面で発光させること
ができる。
Embodiment 5 FIG. FIG. 5 shows LiF, MgF 2 , and Ca in place of the glass spacer 30 shown in the conventional example.
A spherical spacer 12 made of any one of F 2 and BaF 2 is provided. The shape of the spacer is not limited to a spherical shape, and may be, for example, a cone, a column, or the like. Since all of these materials have a property of transmitting ultraviolet light in the vacuum ultraviolet region, ultraviolet light from the surroundings also reaches the phosphor film near the spacer, so that the entire surface of the phosphor film 22 is irrespective of the presence of the spacer. To emit light.

【0038】実施例6.図6は本発明の一実施例の断面
図であり、図において13は前面基板である。図に示す
ように、前面基板13は従来平面状の平板であったもの
を周期的なうねりを持ちその断面が波打った形状にした
ものである。13aは前面基板13の内面の頂点であっ
て背面基板2に接する部分であり、この部分が支柱の作
用をするので外囲器全体が大型になっても、うねりの周
期が一定ならば大気圧との差圧による応力に耐えること
ができる。
Embodiment 6 FIG. FIG. 6 is a sectional view of one embodiment of the present invention, in which 13 is a front substrate. As shown in the figure, the front substrate 13 is a conventional flat plate which has a periodic undulation and has a wavy cross section. Reference numeral 13a denotes a vertex of the inner surface of the front substrate 13 and a portion in contact with the rear substrate 2. Since this portion acts as a support, even if the entire envelope becomes large, if the swell period is constant, the atmospheric pressure is maintained. Can withstand the stress caused by the pressure difference.

【0039】実施例7.また、図7は他の実施例の断面
図であり、図において14は前面基板、14aは前面基
板14の内面に規則的に設けられた一定の高さを有する
突起である。突起14aが前面基板14と背面基板2と
の間の支柱の作用をするので外囲器全体が大型になって
も前面基板14は差圧による応力に耐えることができ
る。また、個々の突起の表面にも蛍光体を塗布すること
により、突起の存在の影響による暗部の発生を回避する
ことができる。
Embodiment 7 FIG. FIG. 7 is a cross-sectional view of another embodiment. In the drawing, reference numeral 14 denotes a front substrate, and 14a denotes projections having a constant height regularly provided on the inner surface of the front substrate 14. Since the projections 14a act as columns between the front substrate 14 and the rear substrate 2, the front substrate 14 can withstand the stress caused by the differential pressure even when the entire envelope becomes large. In addition, by applying a phosphor to the surface of each projection, it is possible to avoid the occurrence of a dark portion due to the influence of the presence of the projection.

【0040】実施例8.平板型光源にはエキシマー生成
用の放電ガスとしてAr、Kr、若しくはXe、または
これらの混合ガスが外囲器内に封入されるが、これらの
放電ガスにHeまたはNeを混合して封入ガス全体の圧
力を略一気圧とする。HeまたはNeは放電には寄与し
ないので放電特性にはほとんど影響を与えることが無
い。これによって、封入ガスの圧力と大気圧との差圧が
無くなるので外囲器に応力が生じない。
Embodiment 8 FIG. In the flat light source, Ar, Kr, or Xe, or a mixed gas thereof, is sealed in an envelope as a discharge gas for generating an excimer, and He or Ne is mixed with these discharge gases to form the entire sealed gas. Is set to approximately one atmosphere. Since He or Ne does not contribute to the discharge, it hardly affects the discharge characteristics. This eliminates the pressure difference between the pressure of the sealed gas and the atmospheric pressure, so that no stress occurs in the envelope.

【0041】実施例9.図8は実施例8に示したような
封入ガスの圧力がほぼ1気圧の平板型光源を製造する製
造装置の要部の構成を示す要部構成図である。図におい
て、15は真空チャンバ、16は真空チャンバ15内に
設置された赤外線ランプ等からなる加熱装置、17は真
空チャンバ15内に設置された放電ガスが封入される平
板型光源である。18は一端が平板型光源17の外囲器
の排気口に接続され、他端が二枝に分岐して一方の分岐
管18aには真空ポンプ(図示なし)が他方の分岐管1
8bには放電ガス導入系(図示なし)がそれぞれ接続さ
れる排気管である。19aは真空チャンバ15の排気を
行うための排気管であり、その一端には真空ポンプ(図
示なし)が接続されている。19bは真空チャンバ15
内の圧力を調整するためのガスを導入するための圧力調
整ガス導入管である。20、21、22、23はそれぞ
れ分岐管18a、分岐管18b、排気管19a、圧力調
整ガス導入管19bの途中に設けられた真空用のバルブ
である。
Embodiment 9 FIG. FIG. 8 is a main configuration diagram showing a main configuration of a manufacturing apparatus for manufacturing a flat light source in which the pressure of a sealed gas as shown in Embodiment 8 is approximately 1 atm. In the figure, 15 is a vacuum chamber, 16 is a heating device such as an infrared lamp installed in the vacuum chamber 15, and 17 is a flat light source in the vacuum chamber 15 filled with a discharge gas. One end 18 is connected to the exhaust port of the envelope of the flat light source 17, the other end is branched into two branches, and a vacuum pump (not shown) is connected to one of the branch pipes 18a.
An exhaust pipe 8b is connected to a discharge gas introduction system (not shown). Reference numeral 19a denotes an exhaust pipe for exhausting the vacuum chamber 15, one end of which is connected to a vacuum pump (not shown). 19b is a vacuum chamber 15
It is a pressure adjusting gas introduction pipe for introducing a gas for adjusting the internal pressure. Reference numerals 20, 21, 22, and 23 denote vacuum valves provided in the middle of the branch pipe 18a, the branch pipe 18b, the exhaust pipe 19a, and the pressure adjusting gas introduction pipe 19b, respectively.

【0042】次に、上記のように構成された製造装置を
利用して平板型パネルを製造する方法を説明する。ま
ず、導体電極膜、誘電体膜、蛍光体膜、封着周縁部、排
気口が全て装着されている外囲器を真空チャンバー15
の内部に設置し、排気管18の一端を外囲器の排気口に
接続し、分岐管18a、分岐管18bの一端をそれぞれ
真空ポンプ、ガス導入系に接続する。次に、真空ポンプ
を稼働して外囲器17の内部と真空チャンバー15の内
部の圧力がほぼ同圧力になるように真空排気を行う。こ
のとき、加熱装置16によって外囲器17全体を加熱し
て内部の吸着ガスも排気するようにする。外囲器17の
内圧が所定の真空度まで達すると排気を終了し、分岐管
18bから放電ガスを、圧力調整ガス導入管19bから
は圧力調整ガス(放電ガスは高価であるため他の安価な
ガスでよい。)をそれぞれ外囲器17の内部と真空チャ
ンバー15の内部の圧力がほぼ同圧になるようにしなが
らガス導入を行う。ガス導入が終了すると排気管18で
チップオフを行った後、外囲器17を真空チャンバー1
5から取り出す。
Next, a method of manufacturing a flat panel using the manufacturing apparatus configured as described above will be described. First, the envelope in which the conductor electrode film, the dielectric film, the phosphor film, the sealing peripheral portion, and the exhaust port are all mounted is placed in the vacuum chamber 15.
And one end of the exhaust pipe 18 is connected to the exhaust port of the envelope, and one ends of the branch pipes 18a and 18b are connected to a vacuum pump and a gas introduction system, respectively. Next, the vacuum pump is operated to evacuate so that the pressure inside the envelope 17 and the pressure inside the vacuum chamber 15 become substantially the same. At this time, the entire envelope 17 is heated by the heating device 16 to exhaust the internal adsorbed gas. When the internal pressure of the envelope 17 reaches a predetermined degree of vacuum, the evacuation is terminated, the discharge gas is supplied from the branch pipe 18b, and the pressure control gas is supplied from the pressure control gas introduction pipe 19b (the discharge gas is expensive and other inexpensive gas is used). The gas is introduced while the pressure in the envelope 17 and the pressure in the vacuum chamber 15 are substantially the same. When the gas introduction is completed, the chip is turned off by the exhaust pipe 18 and then the envelope 17 is moved to the vacuum chamber 1.
Remove from 5.

【0043】上記の方法によれば、ガスの排気及び導入
の工程中に外囲器の内部と外部とに圧力差が生じないの
で、たとい外囲器が1気圧の圧力差による応力に耐え得
るだけの強度を持っていなくとも平板型光源を製造する
ことが出来る。
According to the above method, no pressure difference occurs between the inside and the outside of the envelope during the process of exhausting and introducing the gas, so that the envelope can withstand the stress caused by the pressure difference of 1 atm. A flat light source can be manufactured even if it does not have sufficient strength.

【0044】実施例10. 図9は本発明の平板型光源の断面図である。図におい
て、25は表面基板1と背面基板2を一定の距離に保持
すると共に外囲器の側面を形成する低融点硝子で形成さ
れた外枠部である。25a、25bは外枠部25に設け
られた小孔であり、小孔は例えば外枠部25が矩形の場
合には少なくとも3辺の各辺に1個ずつ設けられてい
る。外枠部25に小孔25a、25bを形成するのに例
えばスクリーン印刷を用いる場合は図10に示すような
パターンを持つマスクを使用すれば容易に実施すること
ができる。27、28はそれぞれ小孔25a、25bに
入れられた硝子またはセラミック製の錐体形の小片部材
であり、小片部材27、28は表面基板1と背面基板2
の間隙と同一の高さを有しており底面と頂点がそれぞれ
表面基板1と背面基板2に接している。
Embodiment 10 FIG. FIG. 9 is a sectional view of the flat light source of the present invention. In the figure, reference numeral 25 denotes an outer frame portion made of low-melting glass which holds the front substrate 1 and the rear substrate 2 at a fixed distance and forms the side surface of the envelope. Reference numerals 25a and 25b denote small holes provided in the outer frame portion 25. For example, when the outer frame portion 25 is rectangular, one small hole is provided on each of at least three sides. For example, when screen printing is used to form the small holes 25a and 25b in the outer frame portion 25, it can be easily implemented by using a mask having a pattern as shown in FIG. Reference numerals 27 and 28 denote glass or ceramic cone-shaped small piece members put in the small holes 25a and 25b, respectively. The small piece members 27 and 28 are the front substrate 1 and the rear substrate 2 respectively.
And the bottom surface and the apex thereof are in contact with the front substrate 1 and the rear substrate 2, respectively.

【0045】次に、上記の平板型光源の製造方法を説明
する。まず、外枠部25の厚さは小片部材27、28の
高さよりもやや厚く形成しておく。外枠部25の小孔2
5a、25b…内に小片部材27、28…を配置する。
そして、前面基板1を外枠部25の上面に載置し、ばね
材などを用いて両基板を外枠部25に押し付ける。加熱
して外枠部25を溶融させて封着する。このとき、加熱
によって外枠部25が溶融すると両基板の間隔が徐徐に
狭くなり小片部材の高さになった位置で封着されること
になる。
Next, a method of manufacturing the above-mentioned flat light source will be described. First, the thickness of the outer frame portion 25 is formed to be slightly thicker than the height of the small piece members 27 and 28. Small hole 2 of outer frame 25
The small piece members 27, 28,... Are arranged in 5a, 25b,.
Then, the front substrate 1 is placed on the upper surface of the outer frame 25, and both substrates are pressed against the outer frame 25 using a spring material or the like. The outer frame 25 is melted by heating to seal. At this time, when the outer frame portion 25 is melted by heating, the distance between the two substrates is gradually narrowed, and sealing is performed at the position where the height of the small piece member is reached.

【0046】なお、小片部材27、28の材料は硝子ま
たはセラミックに限られるものではなく外枠部25に使
用する低融点ガラスの溶融温度で軟化しない性質のもの
であれば他の材料でもよい。また、小片部材27、28
の形状は錐体形に限られるものではなく、外囲器の封着
時に両基板の間隔を一定の距離に保持できるものであれ
ば例えば柱形や球形であってもよい。封着後は小片部材
に応力が集中することはないので、適正な条件を用いれ
ば排気工程での可熱処理などによって外囲器が破損する
こともない。
The material of the small piece members 27 and 28 is not limited to glass or ceramic, but may be any other material as long as the material does not soften at the melting temperature of the low-melting glass used for the outer frame 25. Also, the small piece members 27 and 28
Is not limited to a conical shape, and may be, for example, a columnar shape or a spherical shape as long as the distance between the two substrates can be maintained at a fixed distance when the envelope is sealed. After the sealing, the stress does not concentrate on the small piece member. Therefore, if appropriate conditions are used, the envelope is not damaged by heat treatment or the like in the exhaust process.

【0047】[0047]

【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載されるような効果を奏する。
Since the present invention is configured as described above, it has the following effects.

【0048】[0048]

【0049】絶縁体板を導体膜を覆う誘電体として機能
を発揮するようにしたので、スクリーン印刷膜では得に
くい高い均一性が得られると共に誘電率に関しては比較
的小さいものが得られ、均一な発光と高発光効率を実現
できる。
Since the insulator plate functions as a dielectric covering the conductive film, high uniformity, which is difficult to obtain with a screen-printed film, and a relatively small dielectric constant can be obtained. Light emission and high luminous efficiency can be realized.

【0050】また、導体電極膜の形状を幅広部と幅狭部
が交互に連続する帯状の複数の導体電極膜が一定間隔で
配置するようにパターン形成したので、パターン電極が
放電箇所を規定して放電電流を抑制し、発光効率を高め
ることができる。
Further, since the conductor electrode film is formed in a pattern such that a plurality of strip-shaped conductor electrode films in which wide portions and narrow portions are alternately arranged are arranged at regular intervals, the pattern electrodes define discharge locations. As a result, the discharge current can be suppressed, and the luminous efficiency can be increased.

【0051】[0051]

【0052】[0052]

【0053】[0053]

【0054】[0054]

【0055】[0055]

【0056】[0056]

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施例1の断面図である。FIG. 1 is a sectional view of a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施例2の断面図である。FIG. 2 is a sectional view of a second embodiment of the present invention.

【図3】本発明の実施例3の平面図である。FIG. 3 is a plan view of a third embodiment of the present invention.

【図4】本発明の実施例4の断面図である。FIG. 4 is a sectional view of a fourth embodiment of the present invention.

【図5】本発明の実施例5の断面図である。FIG. 5 is a sectional view of a fifth embodiment of the present invention.

【図6】本発明の実施例6の断面図である。FIG. 6 is a sectional view of a sixth embodiment of the present invention.

【図7】本発明の実施例7の断面図である。FIG. 7 is a sectional view of a seventh embodiment of the present invention.

【図8】本発明の実施例9に示した方法を実施する装置
の要部の構成を示す要部構成図である。
FIG. 8 is a main configuration diagram showing a main configuration of an apparatus for performing the method shown in the ninth embodiment of the present invention.

【図9】本発明の実施例10の断面図である。FIG. 9 is a sectional view of a tenth embodiment of the present invention.

【図10】本発明の実施例10の実施に使用するマスク
の平面図である。
FIG. 10 is a plan view of a mask used for implementing a tenth embodiment of the present invention.

【図11】従来の平板型光源の断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view of a conventional flat light source.

【図12】従来の平板型光源の断面図である。FIG. 12 is a cross-sectional view of a conventional flat light source.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 前面平面基板 2 背面基板 3 外枠体 4 蛍光体膜 5 蛍光体膜 7 絶縁体板 8 電極等 9 導体電極膜 9a 幅広部 9b 幅狭部 11 錐体形の小片部材 12 LiF、MgF2 、CaF2 、BaF2 のいずれ
かの材料からなる小片部材 13 前面基板 13a 前面基板の内面の頂点 14 前面基板 14a 前面基板の突起 15 真空チャンバ 16 加熱装置 17 平板型光源 25 外枠部 25a,25b 小孔 27,28 錐体形の小片部材 123 導体電極膜 124 誘電体膜 126 放電空間
REFERENCE SIGNS LIST 1 front flat substrate 2 back substrate 3 outer frame 4 phosphor film 5 phosphor film 7 insulator plate 8 electrode 9 conductor electrode film 9 a wide portion 9 b narrow portion 11 cone-shaped small piece member 12 LiF, MgF 2 , CaF 2 , small piece member made of any material of BaF 2 13 front substrate 13a vertex of inner surface of front substrate 14 front substrate 14a projection of front substrate 15 vacuum chamber 16 heating device 17 flat light source 25 outer frame portion 25a, 25b small hole 27, 28 Conical small piece member 123 Conductor electrode film 124 Dielectric film 126 Discharge space

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小林 伍六 鎌倉市大船二丁目14番40号 三菱電機株 式会社 生活システム研究所内 (72)発明者 西勝 健夫 鎌倉市大船二丁目14番40号 三菱電機株 式会社 生活システム研究所内 (72)発明者 狩野 雅夫 鎌倉市大船二丁目14番40号 三菱電機株 式会社 生活システム研究所内 (56)参考文献 特開 平2−112145(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01J 65/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Goro Kobayashi 2--14-40, Ofuna, Kamakura-shi Mitsubishi Electric Corporation Lifestyle Systems Research Laboratory (72) Inventor Takeo Nisachi 2--14-40, Ofuna, Kamakura-shi Mitsubishi Electric Corporation Lifestyle Research Institute (72) Inventor Masao Kano 2-14-40 Ofuna, Kamakura City Mitsubishi Electric Corporation Lifestyle Research Institute (56) References JP-A-2-112145 (JP, A) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) H01J 65/00

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 前面基板と、この前面基板に対向配置さ
れた背面基板と、この背面基板と上記前面基板との間に
密閉された放電空間を形成する外枠体と、上記前面基板
上の上記放電空間に設けられた第1の蛍光体膜と、上記
背面基板上の上記放電空間に設けられた誘電体膜と、こ
の誘電体膜上に設けられた一対の電極膜と、この電極膜
及び上記誘電体膜上に設けられた絶縁体板と、この絶縁
体板上の上記放電空間に設けられた第2の蛍光体膜とを
備えたこと特徴とする平板型光源。
And 1. A front Menmoto plate, disposed opposite of this front substrate
Between the back substrate and the front substrate
An outer frame for forming a sealed discharge space, and the front substrate
A first phosphor film provided in the discharge space above,
A dielectric film provided in the discharge space on the rear substrate;
A pair of electrode films provided on a dielectric film of
And an insulator plate provided on the dielectric film,
A flat light source comprising: a second phosphor film provided in the discharge space on a body plate .
【請求項2】 上記一対の電極膜は、その電極間距離が
変化する幅広部及び幅狭部を有することを特徴とする
求項1記載の平板型光源。
2. The pair of electrode films, wherein the distance between the electrodes is
Contractors characterized by having varying wide and narrow sections
The flat light source according to claim 1 .
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19817480B4 (en) * 1998-03-20 2004-03-25 Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH Flat lamp for dielectrically disabled discharges with spacers
WO2001029863A1 (en) 1999-10-19 2001-04-26 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Gas discharge panel and method for manufacturing gas discharge panel
DE10048186A1 (en) * 2000-09-28 2002-04-11 Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh Discharge lamp for dielectrically impeded discharges with arrangement of supporting elements supporting cover plate opposite bottom plate and discharge chamber between plates
DE10048187A1 (en) * 2000-09-28 2002-04-11 Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh Discharge lamp for dielectrically impeded discharges with base plate and top plate for light outlet also discharge chamber between plates and electrode set and dielectric layer
US7235928B2 (en) 2001-06-01 2007-06-26 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Gas discharge panel and manufacturing method for the same
KR100769189B1 (en) 2002-12-31 2007-10-23 한국과학기술원 Flat type fluorescent lamp and method for manufacturing the same
DE10310144A1 (en) * 2003-03-07 2004-09-16 Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH Discharge lamp for dielectrically handicapped discharges with recessed discharge electrode sections
AU2003280778A1 (en) * 2003-11-13 2004-06-06 Japan Communication Inc. Field emission ultraviolet lamp
JP2005339955A (en) * 2004-05-26 2005-12-08 Harison Toshiba Lighting Corp Flat discharge lamp and lighting system
JP4850648B2 (en) * 2006-09-27 2012-01-11 株式会社ピュアロンジャパン Field emission lamp
JP5222529B2 (en) * 2007-11-01 2013-06-26 日本放送協会 LIGHT EMITTING ELEMENT SUBSTRATE, ITS MANUFACTURING METHOD, AND LIGHT EMITTING ELEMENT
CN102593311A (en) * 2011-01-17 2012-07-18 亚世达科技股份有限公司 Light source packaging structure and manufacturing method thereof as well as liquid crystal display

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