JP3186001B2 - IC test equipment - Google Patents

IC test equipment

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JP3186001B2
JP3186001B2 JP07940593A JP7940593A JP3186001B2 JP 3186001 B2 JP3186001 B2 JP 3186001B2 JP 07940593 A JP07940593 A JP 07940593A JP 7940593 A JP7940593 A JP 7940593A JP 3186001 B2 JP3186001 B2 JP 3186001B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は例えばメモリのような
半導体集積回路(以下ICと称す)が正常に動作するか
否かを試験する場合に用いるIC試験装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an IC test apparatus used for testing whether a semiconductor integrated circuit (hereinafter referred to as an IC) such as a memory operates normally or not.

【0002】[0002]

【従来の技術】本出願人は特願平3−1858号:名称
「IC試験装置」により図3に示すようなIC試験装置
を提案した。このIC試験装置は複数の被試験IC素子
IC1,IC2を同時に試験する場合に発生する不都合
を解消するためにされた発明である。つまり先に提案し
た発明ではドライバ11と被試験IC素子IC1,IC
2との間にバッファB1,B2を設け、リレー接点K1
又はK2の何れか一方が、試験しようとするIC素子が
存在しないためにオフの状態に操作されても信号通路に
反射等が発生しないように構成した点と、各バッファB
1,B2の特性を調整して一旦揃えることにより、後は
自動的にその状態を維持することができるバッファの構
造を提案したものである。
2. Description of the Related Art The present applicant has proposed an IC test apparatus as shown in FIG. 3 by Japanese Patent Application No. 3-1858: "IC Test Apparatus". This IC test apparatus is an invention for solving the inconvenience that occurs when a plurality of IC devices under test IC1 and IC2 are tested at the same time. That is, in the invention proposed earlier, the driver 11 and the IC elements under test IC1, IC1, IC
Buffers B1 and B2 are provided between the relay contacts K1 and K2.
Or K2 is configured such that no reflection or the like occurs in the signal path even if it is turned off because there is no IC element to be tested.
The present invention proposes a structure of a buffer that can automatically maintain the state by adjusting and once adjusting the characteristics of B1 and B2.

【0003】以下にその概略の構成と、動作について説
明する。ドライバ11の出力側はレベルシフト用トラン
ジスタ10a,10bを通じて第1,第2レベルシフト
用抵抗器12a,12bの一端に接続され、第1,第2
レベルシフト用抵抗器12a,12bの他端はそれぞれ
第1,第2電流源13a,13bを通じて第1,第2電
源端子14a,14bに接続される。第1電流源13a
は例えばpnpトランジスタ15aのコレクタが第1レ
ベルシフト用抵抗器12aに接続され、エミッタが抵抗
器16aを介して第1電源端子14aに接続され、ベー
スが抵抗器17aを介して第1電源端子14aに接続さ
れて構成される。第2電流源13bもnpnトランジス
タ15b、抵抗器16b,17bにより同様に構成され
る。第1電源端子14aに印加する電位よりも第2電源
端子14bに印加する電位は低くされる。この例では第
1電源端子14aに+Vを印加し、第2電源端子14b
に−Vを印加する。
[0003] The schematic configuration and operation will be described below. The output side of the driver 11 is connected to one ends of the first and second level shift resistors 12a and 12b through the level shift transistors 10a and 10b.
The other ends of the level shift resistors 12a and 12b are connected to first and second power terminals 14a and 14b through first and second current sources 13a and 13b, respectively. First current source 13a
For example, the collector of the pnp transistor 15a is connected to the first level shift resistor 12a, the emitter is connected to the first power supply terminal 14a via the resistor 16a, and the base is connected to the first power supply terminal 14a via the resistor 17a. It is connected to and configured. The second current source 13b is similarly configured by the npn transistor 15b and the resistors 16b and 17b. The potential applied to the second power supply terminal 14b is lower than the potential applied to the first power supply terminal 14a. In this example, + V is applied to the first power terminal 14a and the second power terminal 14b
To −V.

【0004】第1,第2レベルシフト用抵抗器12a,
12bと第1,第2電流源13a,13bとの各接続点
に第1,第2エミッタフォロワ回路18a,18bの入
力側をそれぞれ接続する。第1,第2エミッタフォロワ
回路18a,18bの出力側を互いに接続して出力端子
19に接続する。つまり第1エミッタフォロワ回路18
aにおいてはnpnトランジスタ21aのコレクタを保
護用の電流制限回路22aを通じて第1電源端子14a
に接続され、エミッタが抵抗器23aを通じて出力端子
19に接続し、ベースを第1レベルシフト用抵抗器12
a及び第1電流源13aの接続点に接続する。第2エミ
ッタフォロワ回路18bにおいてはpnpトランジスタ
21bのコレクタを電流制限回路22bを通じて第2電
源端子14bに接続し、エミッタを抵抗器23bを通じ
て出力端子19に接続し、ベースを第2レベルシフト用
抵抗器12b及び第2電流源13bの接続点に接続す
る。第1エミッタフォロワ回路18aよりの電流をケー
ブルC1に吐出し、ケーブルC1からの電流を第2エミ
ッタフォロワ回路18bが吸引する。このように第1,
第2エミッタフォロワ回路18a,18bは互いにプッ
シュプルに接続されている。
[0004] First and second level shift resistors 12a,
The input side of the first and second emitter follower circuits 18a and 18b is connected to each connection point between the first and second current sources 13a and 13b. The output sides of the first and second emitter follower circuits 18a and 18b are connected to each other and to an output terminal 19. That is, the first emitter follower circuit 18
a, the collector of the npn transistor 21a is connected to the first power supply terminal 14a through the protection current limiting circuit 22a.
, The emitter is connected to the output terminal 19 through a resistor 23a, and the base is connected to the first level shift resistor 12a.
a and the connection point of the first current source 13a. In the second emitter follower circuit 18b, the collector of the pnp transistor 21b is connected to the second power supply terminal 14b through the current limiting circuit 22b, the emitter is connected to the output terminal 19 through the resistor 23b, and the base is connected to the second level shift resistor. 12b and the second current source 13b. The current from the first emitter follower circuit 18a is discharged to the cable C1, and the current from the cable C1 is sucked by the second emitter follower circuit 18b. Thus, the first,
The second emitter follower circuits 18a and 18b are connected to each other in a push-pull manner.

【0005】トランジスタ21aのエミッタとトランジ
スタ21bのエミッタとの間に抵抗器24a,24bよ
りなる分圧回路25を接続する。分圧回路25の分圧点
を抵抗器26を通じて演算増幅器27の非反転入力端に
接続する。演算増幅器27の非反転入力端を抵抗器28
を通じて可変電圧源29に接続し、反転入力端を抵抗器
31を通じて接地する。これと共に抵抗器32を通じて
ドライバ11の出力側に接続し、出力端を抵抗器33
a,33bをそれぞれ通じてトランジスタ15a,15
bのベースにそれぞれ接続する。つまり分圧回路25の
出力とドライバ11の出力との差を演算増幅器27で検
出し、その検出出力により第1,第2電流源13a,1
3bを負帰還制御する。
A voltage dividing circuit 25 including resistors 24a and 24b is connected between the emitter of the transistor 21a and the emitter of the transistor 21b. The voltage dividing point of the voltage dividing circuit 25 is connected to the non-inverting input terminal of the operational amplifier 27 through the resistor 26. The non-inverting input terminal of the operational amplifier 27 is connected to a resistor 28
To the variable voltage source 29, and the inverting input terminal is grounded through the resistor 31. At the same time, it is connected to the output side of the driver 11 through the resistor 32, and the output terminal is connected to the resistor 33.
a and 33b through the transistors 15a and 15b, respectively.
b respectively. That is, the difference between the output of the voltage dividing circuit 25 and the output of the driver 11 is detected by the operational amplifier 27, and the first and second current sources 13a, 13
3b is subjected to negative feedback control.

【0006】バッファB1,B2を調整する手順は次の
ように行なう。まず、ドライバ11の出力V0 を0Vに
なるように設定する。これと共にバッファB1,B2の
各出力V01,V02がそれぞれ0Vになるように、バッフ
ァB1,B2内の各可変電圧源29の電圧を調整する。
バッファB1の利得は抵抗器24a,24b,26,2
8,31,32の各抵抗値により設定し、同様にバッフ
ァB2においても、対応する抵抗器の抵抗値により設定
する。
The procedure for adjusting the buffers B1 and B2 is performed as follows. First, the output V 0 of the driver 11 is set to be 0V. This together with the output V 01, V 02 of the buffer B1, B2 is to be 0V, respectively, to adjust the voltage of the variable voltage source 29 in the buffer B1, B2.
The gain of the buffer B1 is determined by the resistors 24a, 24b, 26, 2
The resistance is set by each of the resistances 8, 31, and 32, and similarly, in the buffer B2, the resistance is set by the resistance of the corresponding resistor.

【0007】この状態からドライバ11の出力が例えば
高レベルVHになると、演算増幅器27の反転入力側が
非反転入力側より高くなり、演算増幅器27の出力が下
がり、第1電流源13aの電流が増加し、第2電流源1
3bの電流が減少し、トランジスタ21a,21bの各
ベース電位が上昇し、トランジスタ21a,21bのエ
ミッタ電位が上昇し、出力端子19の出力電圧がVHに
なるように動作する。同様にしてドライバ11の出力が
低レベルVLになると、出力端子19の出力もVLにな
る。
When the output of the driver 11 becomes, for example, a high level VH from this state, the inverting input side of the operational amplifier 27 becomes higher than the non-inverting input side, the output of the operational amplifier 27 decreases, and the current of the first current source 13a increases. And the second current source 1
3b, the base potentials of the transistors 21a and 21b increase, the emitter potentials of the transistors 21a and 21b increase, and the output voltage at the output terminal 19 becomes VH. Similarly, when the output of the driver 11 becomes low level VL, the output of the output terminal 19 also becomes VL.

【0008】ここでなんらかの原因でバッファB1の出
力端子19の出力レベルが低下したとすると、演算増幅
器27の非反転入力端のレベルも低下し、演算増幅器2
7の出力も低下し、第1,第2電流源13a,13bを
構成する。トランジスタ15a,15bのベースの電位
も低下し、トランジスタ15aのコレクタ電流が増大
し、トランジスタ21aのベース電位が増加する。また
トランジスタ15bのコレクタ電流が減少し、トランジ
スタ21bのベース電位が増加する。よって出力端子1
9のレベル低下は元に戻される。
If the output level of the output terminal 19 of the buffer B1 drops for some reason, the level of the non-inverting input terminal of the operational amplifier 27 also drops, and
7 also decreases, forming the first and second current sources 13a and 13b. The base potentials of the transistors 15a and 15b also decrease, the collector current of the transistor 15a increases, and the base potential of the transistor 21a increases. Further, the collector current of the transistor 15b decreases, and the base potential of the transistor 21b increases. Therefore, output terminal 1
The level drop of 9 is reversed.

【0009】なお第1,第2レベルシフト用抵抗器12
a,12bでドライバ11の出力レベルをそれぞれ、高
くしてトランジスタ21aを、低くしてトランジスタ2
1bを駆動している。以上のようにして1度調整すれ
ば、出力が所定値からずれようとすると自動的に所定値
に戻され、1つのドライバに接続された複数のバッファ
から同一の出力をそれぞれ被試験IC素子へ供給するこ
とができる。
The first and second level shift resistors 12
a and 12b, the output level of the driver 11 is raised to make the transistor 21a low, and the output level of the
1b. If the output is deviated from the predetermined value by adjusting once as described above, the output is automatically returned to the predetermined value, and the same output from a plurality of buffers connected to one driver is respectively supplied to the IC device under test. Can be supplied.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】上述の構成において、
ドライバ11の出力信号に応動して第1及び第2電流源
13aと13bが常時一定の利得を維持して動作できれ
ばバッファB1及びB2の入力対出力特性の直線性は維
持される。第1,第2電流源13a,13bの利得の変
化に伴なう入力対出力特性の劣化を直線化補正するため
に、演算増幅器27が設けられているが、その補正範囲
は演算増幅器27の周波数特性に依存し、直流から数k
Hzが限界である。つまり従来は高速パルスに対し、図
2に点線で示すように立上り及び立下り時に応答遅れが
発生する。ICは最近高速化の傾向にあるため、更に高
い周波数まで入力対出力特性の直線化が要求されてい
る。
In the above configuration,
If the first and second current sources 13a and 13b can always operate with a constant gain in response to the output signal of the driver 11, the linearity of the input-output characteristics of the buffers B1 and B2 is maintained. An operational amplifier 27 is provided to linearize and correct the deterioration of input-output characteristics due to the change in the gain of the first and second current sources 13a and 13b. Depends on frequency characteristics, from DC to several k
Hz is the limit. That is, in the related art, a response delay occurs at the time of rising and falling as shown by a dotted line in FIG. Since ICs have recently been trending toward higher speeds, linearization of input-output characteristics is required even at higher frequencies.

【0011】この発明の目的は演算増幅器27では補償
できない高い周波数領域でも入力対出力特性を直線化補
正することができるバッファを具備したIC試験装置を
提供しようとするものである。
An object of the present invention is to provide an IC test apparatus having a buffer capable of linearizing and correcting input-to-output characteristics even in a high frequency region which cannot be compensated by the operational amplifier 27.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】この発明では上述したバ
ッファB1,B2を構成する第1,第2電流源13aと
13bを構成する能動素子15a,15bに正帰還回路
を設け、この正帰還回路によって高い周波数における入
力対出力特性の劣化を補正するように構成したものであ
る。
According to the present invention, a positive feedback circuit is provided for the active elements 15a and 15b constituting the first and second current sources 13a and 13b constituting the buffers B1 and B2. Thus, the input-output characteristics at a high frequency are corrected for deterioration.

【0013】[0013]

【実施例】図1にこの発明の一実施例を示す。図と対応
する部分には同一符号を付して示す。この発明では第1
電流源13a及び第2電流源13bを構成するトランジ
スタ15a及び15bに正帰還回路41,42を設けた
構造を特徴とするものである。正帰還回路41と42は
第1電流源13aを構成するPNPトランジスタ15a
では例えばエミッタとレベルシフト用トランジスタ10
aのエミッタとの間に抵抗器を接続して構成することが
できる。また第2電流源13bを構成するNPNトラン
ジスタ15bではレベルシフト用トランジスタ10bの
エミッタと、このNPNトランジスタ15bのエミッタ
との間に抵抗器を接続して構成することができる。
FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. Parts corresponding to those in the drawings are denoted by the same reference numerals. In the present invention, the first
It is characterized in that the transistors 15a and 15b constituting the current source 13a and the second current source 13b are provided with positive feedback circuits 41 and 42. Positive feedback circuits 41 and 42 are PNP transistors 15a constituting first current source 13a.
Now, for example, the emitter and the level shift transistor 10
It can be configured by connecting a resistor between the light emitting device and the emitter a. Further, the NPN transistor 15b constituting the second current source 13b can be constructed by connecting a resistor between the emitter of the level shift transistor 10b and the emitter of the NPN transistor 15b.

【0014】この正帰還回路41と42はドライバ11
の出力が0のとき、トランジスタ15aと15bのエミ
ッタ−コレクタ間には電圧差が発生するから、この正帰
還回路41と42を構成する抵抗器に電流が流れる。こ
の電流はトランジスタ15aと15bのエミッタに接続
した抵抗器16aと16bにも流れる。つまり抵抗器1
6aと16bを流れる電流はトランジスタ15a及び1
5bを流れる電流と、正帰還回路41及び42を流れる
電流の加算値である。正帰還回路41,42を接続した
ことによりトランジスタ15a,15bの各エミッタ電
位はそれぞれベース電位側に偏倚され、トランジスタ1
5a,15bを流れる電流を減少させた状態に設定され
る。
The positive feedback circuits 41 and 42 are connected to the driver 11
Is zero, a voltage difference is generated between the emitters and collectors of the transistors 15a and 15b, so that current flows through the resistors constituting the positive feedback circuits 41 and 42. This current also flows through resistors 16a and 16b connected to the emitters of transistors 15a and 15b. That is, resistor 1
The currents flowing through 6a and 16b are transistors 15a and 1
5b and the sum of the current flowing through the positive feedback circuits 41 and 42. By connecting the positive feedback circuits 41 and 42, the respective emitter potentials of the transistors 15a and 15b are biased toward the base potential, respectively.
The current flowing through 5a and 15b is set to a reduced state.

【0015】ここで例えばドライバ11の出力電圧が正
極側に偏位したとすると、トランジスタ15aのエミッ
タ−コレクタ間の電圧は小さくなり、トランジスタ15
bのエミッタ−コレクタ間電圧は増大する方向に変化す
る。トランジスタ15aの側では正帰還回路41を構成
する抵抗器に掛る電圧が小さくなるから正帰還回路41
を流れる電流が減少する。この結果、抵抗器16aを流
れる電流も減少するから、この抵抗器16aに発生する
電圧降下が小さくなり、トランジスタ15aのエミッタ
の電位は正極方向に上昇する。このエミッタ電位の上昇
によりトランジスタ15aのベース−エミッタ間電圧は
順方向に偏位し、トランジスタ15aを流れる電流を増
加させる。この電流の増加によって第1エミッタフォロ
ワ回路18aの電流も増加する方向に補正され、入力対
出力特性の出力のレベル低下が補正される。
If, for example, the output voltage of the driver 11 is shifted to the positive side, the voltage between the emitter and the collector of the transistor 15a becomes small,
The emitter-collector voltage of b changes in the increasing direction. On the side of the transistor 15a, the voltage applied to the resistors constituting the positive feedback circuit 41 becomes smaller, so that the positive feedback circuit 41
The current flowing through is reduced. As a result, the current flowing through the resistor 16a also decreases, so that the voltage drop generated in the resistor 16a decreases, and the potential of the emitter of the transistor 15a increases in the positive direction. Due to the rise of the emitter potential, the base-emitter voltage of the transistor 15a shifts in the forward direction, and the current flowing through the transistor 15a increases. Due to the increase of the current, the current of the first emitter follower circuit 18a is also corrected in the increasing direction, and the reduction of the output level of the input-output characteristic is corrected.

【0016】このときトランジスタ15b側ではドライ
バ11の出力電圧が正極方向に偏位すると、トランジス
タ15bのコレクタ−エミッタ間の電圧が増大する。こ
の結果正帰還回路42を構成する抵抗器に流れる電流が
増加し、抵抗器16bの電圧降下を増大させる。従って
トランジスタ15bのエミッタ電位が上昇する方向に制
御され、トランジスタ15bを流れる電流を減少させ
る。トランジスタ15bを流れる電流が減少することに
より、第2エミッタフォロワ回路18bの電流は減少
し、出力端子19の電位を上昇させる方向に作用する。
At this time, when the output voltage of the driver 11 shifts in the positive direction on the transistor 15b side, the voltage between the collector and the emitter of the transistor 15b increases. As a result, the current flowing through the resistor constituting the positive feedback circuit 42 increases, and the voltage drop of the resistor 16b increases. Therefore, the emitter potential of the transistor 15b is controlled to increase, and the current flowing through the transistor 15b is reduced. As the current flowing through the transistor 15b decreases, the current of the second emitter follower circuit 18b decreases, which acts to increase the potential of the output terminal 19.

【0017】一方ドライバ11の出力電圧が負方向に変
化したとすると、トランジスタ15aのコレクタ−エミ
ッタ間電圧が大きくなるから、正帰還回路41を流れる
電流が増加する。この電流の増加は抵抗器16aの電圧
降下を増加させ、トランジスタ15aのエミッタ電位を
低下させる。このエミッタ電位の低下はトランジスタ1
5aの電流を減少させる方向に作用する。
On the other hand, if the output voltage of the driver 11 changes in the negative direction, the collector-emitter voltage of the transistor 15a increases, and the current flowing through the positive feedback circuit 41 increases. This increase in current increases the voltage drop across resistor 16a and lowers the emitter potential of transistor 15a. This decrease in emitter potential is caused by the transistor 1
It acts in the direction of decreasing the current of 5a.

【0018】これに対し、トランジスタ15b側ではド
ライバ11の出力電圧が負方向に変化することにより、
正帰還回路42に掛る電圧が小さくなり、正帰還回路4
2を流れる電流を減少させる。この電流の減少によって
抵抗器16bに発生する電圧降下が小さくなり、トラン
ジスタ15bのエミッタ電位を低下させる。エミッタ電
位の低下により、トランジスタ15bのバイアスは順方
向に偏位されトランジスタ15bを流れる電流を増加さ
せる方向に作用する。この結果第2エミッタフォロワ回
路18bの電流が増加し、出力端子19の電位を引き下
げる方向に偏位する。
On the other hand, when the output voltage of the driver 11 changes in the negative direction on the transistor 15b side,
The voltage applied to the positive feedback circuit 42 decreases, and the positive feedback circuit 4
2 reduce the current flowing through it. This decrease in current reduces the voltage drop across resistor 16b, lowering the emitter potential of transistor 15b. Due to the decrease in the emitter potential, the bias of the transistor 15b is shifted in the forward direction, and acts in a direction to increase the current flowing through the transistor 15b. As a result, the current of the second emitter follower circuit 18b increases, and the current is shifted in a direction to lower the potential of the output terminal 19.

【0019】このように正帰還作用によって出力振幅の
低下を補正するから、図2に点線Aで示すように、従来
は高速パルスに対して立上り及び立下りの時点で演算増
幅器27の応答遅れによって波形に遅れが発生したが、
この発明によれば実線Bで示すように立上り及び立下り
に遅れが発生することがなくなる。
As described above, the decrease in the output amplitude is corrected by the positive feedback action. Therefore, as shown by the dotted line A in FIG. There is a delay in the waveform,
According to the present invention, there is no delay in rising and falling as shown by the solid line B.

【0020】[0020]

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、抵抗器によって構成することができる正帰還回路4
1と42を設けるだけの構成によって高速信号に対して
も応答遅れのない駆動信号を出力することができる。よ
って被試験IC素子IC1及びIC2に正しい波形の駆
動信号を与えることができるから、試験の信頼性を高め
ることができる。また正帰還によりトランジスタ15
a,15bの動作を制御したから、トランジスタ15
a,15bの特性のバラツキ、或は第1,第2エミッタ
フォロワ回路18a,18bを構成するトランジスタ2
1a,21bの特性のバラツキを抑えて各バッファB
1,B2の特性を均一化することができる。よってどの
バッファの出力信号も波形が均一化され、どの被試験I
C素子IC1及びIC2も同一条件で試験することがで
きる。
As described above, according to the present invention, the positive feedback circuit 4 which can be constituted by a resistor is provided.
By providing only 1 and 42, it is possible to output a drive signal with no response delay even for a high-speed signal. Therefore, a drive signal having a correct waveform can be given to the IC devices IC1 and IC2 under test, so that the reliability of the test can be improved. Also, the transistor 15
a, 15b, the transistor 15
a, 15b, or the transistor 2 forming the first and second emitter follower circuits 18a, 18b.
1a and 21b, each buffer B
1 and B2 can be made uniform. Therefore, the waveform of the output signal of any buffer is made uniform, and
The C elements IC1 and IC2 can be tested under the same conditions.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の一実施例を示す接続図。FIG. 1 is a connection diagram showing one embodiment of the present invention.

【図2】この発明の効果を説明するための波形図。FIG. 2 is a waveform chart for explaining the effect of the present invention.

【図3】従来の技術を説明するための接続図。FIG. 3 is a connection diagram for explaining a conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 ドライバ 12a,12b 第1,第2レベルシフト用抵抗器 13a,13b 第1,第2電流源 14a,14b 第1,第2電源端子 18a,18b 第1,第2エミッタフォロワ回路 19 出力端子 25 分圧回路 27 演算増幅器 41,42 正帰還回路 11 Driver 12a, 12b First and second level shift resistors 13a, 13b First and second current sources 14a, 14b First and second power supply terminals 18a, 18b First and second emitter follower circuits 19 Output terminals 25 Voltage divider 27 Operational amplifier 41, 42 Positive feedback circuit

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 ドライバの出力が一端に印加される第
1、第2レベルシフト用抵抗器と、この第1レベルシフ
ト用抵抗器の他端と第1電源端子との間に挿入された第
1電流源と、上記第2レベルシフト用抵抗器の他端と上
記第1電源端子の電位より低い電位が印加される第2電
源端子との間に挿入された第2電流源と、これら第1、
第2レベルシフト用抵抗器と第1、第2電流源との各接
続点にそれぞれ接続され、互いにプッシュプルに接続さ
れ、その接続点が出力端子に接続された第1、第2エミ
ッタフォロワ回路と、これら第1、第2エミッタフォロ
ワ回路の各トランジスタのエミッタ間に接続された抵抗
分圧回路と、この抵抗分圧回路の分圧出力と上記ドライ
バの出力との差を上記第1、第2電流源に帰還する演算
増幅器とによって構成される複数のバッファ増幅器に共
通のドライバを介して試験信号を供給し、各バッファ増
幅器の出力をそれぞれ各別に被試験ICに供給して試験
を行なうIC試験装置において、 上記第1、第2電流源を構成する能動素子に正帰還回路
を設けたことを特徴とするIC試験装置。
1. A first and second level shift resistor to which an output of a driver is applied to one end, and a first level shift resistor inserted between the other end of the first level shift resistor and a first power supply terminal. A first current source, a second current source inserted between the other end of the second level shift resistor and a second power supply terminal to which a potential lower than the potential of the first power supply terminal is applied; 1,
First and second emitter follower circuits connected to respective connection points of the second level shift resistor and the first and second current sources, connected to each other in a push-pull manner, and connected to an output terminal. A resistor divider connected between the emitters of the transistors of the first and second emitter follower circuits; and a difference between the divided output of the resistor divider and the output of the driver. (2) An IC that supplies a test signal to a plurality of buffer amplifiers constituted by an operational amplifier that feeds back to a current source via a common driver, and supplies the output of each buffer amplifier to an IC under test individually to perform a test. An IC test apparatus, wherein a positive feedback circuit is provided in an active element constituting the first and second current sources.
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