JP3179822B2 - Semiconductor storage device - Google Patents

Semiconductor storage device

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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は半導体記憶装置に関し、
特にメモリセルがデータを読み出す際のエラー防止を可
能とした半導体記憶装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor memory device,
In particular, the present invention relates to a semiconductor memory device capable of preventing an error when a memory cell reads data.

【0002】[0002]

【従来の技術】ダイナミック型メモリセルを備えた半導
体メモリでは、一般に行アドレスによりワード線の一つ
が選択されてそのワード線のレベルが立ち上がってから
メモリセルのデータがビット線に転送される。その後、
列アドレスに対応するビット線センスアンプがアクティ
ブとなって、ビット線センスが行われ、データの読出し
が行われる。
2. Description of the Related Art In a semiconductor memory having dynamic memory cells, one of word lines is generally selected by a row address, and after the level of the word line rises, data of the memory cell is transferred to a bit line. afterwards,
The bit line sense amplifier corresponding to the column address becomes active, bit line sensing is performed, and data is read.

【0003】このようなダイナミック型メモリでは、ワ
ード線を駆動するワード線駆動回路およびビット線セン
スアンプ駆動回路は通常メモリセルの周囲に周辺ブロッ
クとして配置される。
In such a dynamic memory, a word line driving circuit for driving a word line and a bit line sense amplifier driving circuit are usually arranged as peripheral blocks around a memory cell.

【0004】近年のメモリ容量の飛躍的な増大に伴っ
て、メモリセルに書込み/読み出しを指令するワード線
や、メモリセルからの読み出し信号を伝送するビット線
が長くなりかつ本数が増加してその配線抵抗や負荷容量
が増大している。このため、ワード線駆動回路の駆動能
力の相対的な低下、ビット線のS/Nの低下、信号遅延
等の問題が生じている。
[0004] With the dramatic increase in memory capacity in recent years, word lines for instructing writing / reading to memory cells and bit lines for transmitting read signals from memory cells have become longer and more numerous. Wiring resistance and load capacity are increasing. For this reason, there are problems such as a relative decrease in the driving capability of the word line drive circuit, a decrease in the bit line S / N, and a signal delay.

【0005】これを防止するために、メモリセル領域を
複数に分割することが提案されている。図1にはメモリ
チップ上のセル領域を8分割して、複数のメモリセルア
レイ3a〜3hを形成し、各メモリセルアレイにローデ
コーダ及びセンスアンプ/カラム(列)デコーダおよび
ワード線駆動回路を配置したものが示されている。
In order to prevent this, it has been proposed to divide the memory cell region into a plurality. In FIG. 1, a plurality of memory cell arrays 3a to 3h are formed by dividing a cell region on a memory chip into eight, and a row decoder, a sense amplifier / column (column) decoder, and a word line driving circuit are arranged in each memory cell array. Things are shown.

【0006】図1に示された構成によれば、外部から供
給されるアドレス信号はローアドレスバッファ1及びカ
ラムアドレスバッファ2に一旦保持される。ローアドレ
スバッファ1はローアドレス信号を各メモリセルアレイ
のローデコーダ4a〜4hに供給する。なお、各ローデ
コーダの出力が同じであるときはローデコーダを共用す
ることが可能である。カラムアドレスバッファ2はカラ
ムアドレス信号を各メモリセルアレイのセンスアンプ/
カラムデコーダ5a〜5hに供給する。
According to the configuration shown in FIG. 1, an address signal supplied from the outside is temporarily held in a row address buffer 1 and a column address buffer 2. The row address buffer 1 supplies a row address signal to the row decoders 4a to 4h of each memory cell array. When the output of each row decoder is the same, the row decoder can be shared. The column address buffer 2 applies a column address signal to the sense amplifier /
It is supplied to the column decoders 5a to 5h.

【0007】図2はメモリセルアレイを動作させるため
の詳細な構成を示しており、この図の場合にはメモリセ
ルアレイはn個あるものとして説明する。メモリセルア
レイ3a〜3nに対応してワード線駆動回路6a〜6n
が設けられており、これから出力されたワード線駆動信
号はメモリセルのワード線に供給されてワード線を駆動
する。また、ローアドレスバッファ1からのローアドレ
ス信号をデコードするローデコーダ4a〜4nがワード
線駆動回路6a〜6nとメモリセルアレイ3a〜3nと
の間に設けられており、このローデコーダにより駆動す
べきアドレス線が選択される。
FIG. 2 shows a detailed configuration for operating the memory cell array. In this case, it is assumed that there are n memory cell arrays. Word line drive circuits 6a-6n corresponding to memory cell arrays 3a-3n
Is provided, and the word line driving signal output from the memory cell is supplied to the word line of the memory cell to drive the word line. Row decoders 4a to 4n for decoding row address signals from the row address buffer 1 are provided between the word line drive circuits 6a to 6n and the memory cell arrays 3a to 3n, and the addresses to be driven by the row decoders are provided. A line is selected.

【0008】前述したように、選択されたワード線のレ
ベルが完全に立ち上がってからビット線センスアンプが
アクティブとなる必要があるため、いずれかワード線駆
動回路、ここでは6aにおける出力発生から遅延回路1
0で所定の遅延時間t1 を与えてセンスアンプ駆動回路
11を動作させ、このセンスアンプ駆動回路の出力を各
アレイのセンスアンプ/カラムデコーダ5a〜5hに供
給して各センスアンプを駆動させるようにしている。こ
こで遅延時間t1 としては選択されたワード線のレベル
が立ち上がってからビット線への読出しが完了するのに
十分な時間が選択される。
As described above, since the bit line sense amplifier must be activated after the level of the selected word line has completely risen, any one of the word line driving circuits, here, the output generation from the 6a to the delay circuit 1
0 to operate the sense amplifier driving circuit 11 gives a predetermined delay time t 1, the so driving each sense amplifier to provide an output of the sense amplifier drive circuit in the sense amplifier / column decoder 5a~5h of each array I have to. Here, as the delay time t 1 , a time sufficient for completing the reading to the bit line after the level of the selected word line rises is selected.

【0009】図3はデータ読出し時のワード線駆動信号
i 、センスアンプ駆動信号SE、ビット線電位B,バ
ーBの関係を示す信号波形図である。
FIG. 3 is a signal waveform diagram showing a relationship among a word line drive signal W i , a sense amplifier drive signal SE, bit line potentials B and / B at the time of data reading.

【0010】ワード線を選択する選択信号Wi が実線で
示されており、その発生時点から所定時間ti 後にセン
スアンプの駆動信号SEが出力される。
A selection signal W i for selecting a word line is indicated by a solid line, and a drive signal SE of the sense amplifier is output after a predetermined time t i from the time of occurrence.

【0011】ローデコーダにより選択されたワード線に
駆動信号が供給されると、このワード線に接続されたメ
モリセルからビット線対B,バーBに保持されたデータ
が読出されてビット線電位が微小変化し、センスアンプ
の駆動によりビット線対の電位変化が増幅されてデータ
読出しが完了する。
When a drive signal is supplied to the word line selected by the row decoder, the data held in the bit line pair B and bar B is read from the memory cell connected to the word line, and the bit line potential is changed. A slight change occurs, and the potential change of the bit line pair is amplified by driving the sense amplifier, thereby completing the data reading.

【0012】ローデコーダ4a〜4n、ワード線駆動回
路6a〜6n、遅延回路10及びセンスアンプ駆動回路
11は、ワード線制御手段100を形成する。
The row decoders 4a to 4n, the word line driving circuits 6a to 6n, the delay circuit 10, and the sense amplifier driving circuit 11 form a word line control means 100.

【0013】このように、メモリの記憶領域を分割する
と、一つのメモリセルにおけるワード線及びビット線が
短くなって、その配線抵抗や容量を軽減することが可能
となり、ワード線駆動回路6a〜6nの負荷容量が軽減
されてデータアクセスの高速化等を図り得る。
As described above, when the storage area of the memory is divided, the word line and the bit line in one memory cell are shortened, and the wiring resistance and capacitance thereof can be reduced, and the word line driving circuits 6a to 6n , The load capacity can be reduced, and the speed of data access can be increased.

【0014】[0014]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、メモリ
の内部回路の動作による電源電圧VCC、接地電圧VSS
変動が生ずる場合がある。これがメモリチップ上で多様
に発生すると、ワード線駆動回路の出力Wi の発生タイ
ミングが図6に一点鎖線あるいは二点鎖線で示すように
ばらつく。上述した遅延回路10の遅延時間t1 は安定
な電源電圧下において各メモリセルアレイを動作させる
ことを前提として設定されたものであるため、遅延回路
10による遅延の基準としたワード線駆動回路の出力発
生時点よりも後の時点でワード線駆動回路の出力が発生
することがある。この場合、遅く発生したワード線駆動
出力からセンスアンプ駆動までの余裕時間は設定した最
適時間t1 よりも短縮されることになる。したがって、
ビット線の誤センスが誘発され、リフレッシュされるメ
モリセルのデータを破壊する場合が生ずる。このような
問題はワード線駆動回路と非同期に動作する多数の回路
を有するマルチポートメモリやフィールドメモリ等では
特に顕著になる。
However, there are cases where the power supply voltage V CC and the ground voltage V SS fluctuate due to the operation of the internal circuit of the memory. This When variously occurring on a memory chip, generation timing of the output W i of word line drive circuit varies as shown by a chain line or two-dot chain line in FIG. 6. Since the above-described delay time t 1 of the delay circuit 10 is set on the assumption that each memory cell array operates under a stable power supply voltage, the output of the word line drive circuit used as a reference for the delay by the delay circuit 10 An output of the word line drive circuit may be generated at a time later than the generation time. In this case, the allowance time from the word line drive output that occurred late to the drive of the sense amplifier is shorter than the set optimum time t 1 . Therefore,
Incorrect sensing of the bit line is induced, which may destroy the data of the memory cell to be refreshed. Such a problem is particularly remarkable in a multiport memory or a field memory having a large number of circuits that operate asynchronously with the word line driving circuit.

【0015】したがって、本発明の目的は、メモリチッ
プ内において電源電圧の変動等が発生して各ワード線駆
動回路の出力発生タイミングがばらついた場合であって
も、センスアンプ駆動回路によるビット線の誤センスを
抑制し得る半導体メモリ装置を提供することである。
Therefore, an object of the present invention is to provide a method for controlling a bit line by a sense amplifier driving circuit even when the output generation timing of each word line driving circuit varies due to a fluctuation of a power supply voltage or the like in a memory chip. An object of the present invention is to provide a semiconductor memory device capable of suppressing erroneous sensing.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】本発明にかかる半導体記
憶装置によれば、ダイナミック型メモリセルがマトリク
ス状に配置された複数のメモリセルアレイと、前記メモ
リセルアレイごとに設けられ、各メモリセルアレイの行
方向に配設されたワード線を駆動する複数のワード線駆
動回路と、各メモリセルアレイの列方向に配置されたビ
ット線への出力を論理レベルに導出する複数のセンスア
ンプと、前記複数のワード線駆動回路の各出力の論理積
をとって前記複数のワード線駆動回路のすべてが活性化
されたときに出力信号を発生する駆動信号検知手段と、
この駆動信号検知手段の出力信号を、前記ワード線が駆
動されて対応するメモリセルからビット線に電荷が移動
してビット線の電位が微小変化するのに十分な時間だけ
遅延させる遅延回路と、この遅延回路で遅延された前記
駆動信号検知手段の出力信号が供給されることにより前
記複数のセンスアンプを駆動するセンスアンプ駆動回路
とを備えたことを特徴とする。
According to the semiconductor memory device of the present invention, there are provided a plurality of memory cell arrays in which dynamic memory cells are arranged in a matrix, and a plurality of memory cell arrays provided for each of the memory cell arrays. A plurality of word line driving circuits for driving word lines arranged in the direction, a plurality of sense amplifiers for deriving outputs to bit lines arranged in the column direction of each memory cell array to a logic level, and the plurality of words Drive signal detecting means for generating an output signal when all of the plurality of word line drive circuits are activated by taking the logical product of the outputs of the line drive circuits;
A delay circuit for delaying the output signal of the drive signal detecting means by a time sufficient for the charge to move from the corresponding memory cell to the bit line when the word line is driven and the potential of the bit line to slightly change; A sense amplifier drive circuit for driving the plurality of sense amplifiers by receiving an output signal of the drive signal detection means delayed by the delay circuit.

【0017】[0017]

【作用】本発明によれば、複数のメモリセルアレイの各
々に設けられた複数のワード線駆動回路から発生された
全てのワード線駆動信号が立ち上がったことを検知した
後、検知信号の発生が出力される。そして、この検知信
号は遅延回路によって所定時間遅延されて、センスアン
プ駆動回路に供給され、センスアンプ群を駆動する。
According to the present invention, after detecting that all the word line drive signals generated from the plurality of word line drive circuits provided in each of the plurality of memory cell arrays have risen, the generation of the detection signal is output. Is done. Then, this detection signal is delayed by a predetermined time by the delay circuit and supplied to the sense amplifier drive circuit to drive the sense amplifier group.

【0018】この結果、電源ノイズ等に起因して複数の
ワード線駆動回路が出力する駆動信号の発生タイミング
にばらつきが生じた場合には、最後に発生したワード線
駆動信号を基に、メモリセルからの信号の読み出しが確
実に行われた時間経過後にセンスアンプが動作するので
誤センスが防止される。
As a result, when the generation timing of the drive signals output from the plurality of word line drive circuits varies due to power supply noise or the like, the memory cell is determined based on the last generated word line drive signal. Since the sense amplifier operates after a lapse of time during which the reading of the signal from the memory is reliably performed, erroneous sensing is prevented.

【0019】[0019]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0020】図4は本願発明の一実施例を示すブロック
図であって、図2に示した従来のワード線制御手段10
0の構成の改良部分を示している。図4において、図2
と対応する部分には同一符号を付し、その詳細な説明は
省略する。
FIG. 4 is a block diagram showing one embodiment of the present invention. The conventional word line control means 10 shown in FIG.
0 shows an improved part of the configuration of FIG. In FIG. 4, FIG.
The same reference numerals are given to the portions corresponding to and the detailed description thereof will be omitted.

【0021】図4において、ワード線駆動回路6a〜6
nの出力は、ローデコーダを介して対応するワード線に
接続される他、アンドゲート7に入力される。従って、
アンドゲート7は、ワード線駆動回路6a〜6nの全部
が駆動信号を発生している状態になると、高レベル信号
を出力し、駆動信号検知手段を形成する。このアンドゲ
ート7の出力は検知信号として、遅延回路10に供給さ
れる。なお、検知信号の発生はこの実施例の場合、電源
電圧をVDDとしてVDD/2のレベルに達した時点で出力
が反転するようにアンドゲートの閾値を設定している。
この遅延回路10において設定されている遅延時間t2
は、従来と同様に、ワード線が駆動されてメモリセルC
i からビット線対に電荷が移動してビット線対の電位が
微小変化するのに十分な時間が設定され、この値は前述
した時間t1 と同じであってもよい。遅延回路10は、
アンドゲートの出力が発生した後、時間t2 を経過する
と、センスアンプ駆動回路11に作動を指令する。セン
スアンプ駆動回路11は、センスアンプ/カラムデコー
ダ5a〜5nに駆動信号を供給する。他の構成は図2に
示された従来回路と同様である。
In FIG. 4, word line drive circuits 6a to 6a
The output of n is connected to a corresponding word line via a row decoder and is also input to an AND gate 7. Therefore,
The AND gate 7 outputs a high-level signal when all of the word line drive circuits 6a to 6n are generating drive signals, and forms drive signal detection means. The output of the AND gate 7 is supplied to the delay circuit 10 as a detection signal. In the case of this embodiment generates the detection signal, the output at the time when the power supply voltage reaches the level of V DD / 2 as V DD is set the threshold of the AND gate to invert.
Delay time t 2 set in this delay circuit 10
As in the conventional case, the word line is driven and the memory cell C
charges from i to bit line pair is set sufficient time to the potential of the bit line pair to move to small changes, this value may be the same as the time mentioned above t 1. The delay circuit 10
When the time t 2 elapses after the output of the AND gate is generated, the sense amplifier drive circuit 11 is instructed to operate. The sense amplifier drive circuit 11 supplies a drive signal to the sense amplifier / column decoders 5a to 5n. Other configurations are the same as those of the conventional circuit shown in FIG.

【0022】従って、図3で一点鎖線で示されたWi
のようにワード線駆動回路6a〜6nのうちで最も遅く
発生した駆動信号を基準として時間t2 だけ経過した後
に、各メモリセルアレイのセンスアンプ5a〜5nが駆
動される。このため、電源電圧の変動等によってメモリ
チップの分割された各領域でワード線駆動回路の駆動信
号がばらついたとしても遅れて最後となったビット線対
への読み出しを待ってセンスアンプのセンス動作が開始
されるので、センスアンプの誤センスが回避される。
Accordingly, W i ′ shown by a chain line in FIG.
The slowest generated driving signal of the word line drive circuit 6a~6n after lapse of time t 2 as a reference, the sense amplifier 5a~5n of each memory cell array is driven as. Therefore, even if the drive signal of the word line drive circuit varies in each of the divided regions of the memory chip due to fluctuations in the power supply voltage or the like, the sense operation of the sense amplifier waits until the last bit line pair is read. Is started, erroneous sensing of the sense amplifier is avoided.

【0023】図5はワード線制御手段100の他の例を
示すブロック図であって、ワード線駆動回路6a〜6n
の各出力はそれぞれインバータ8a〜8nを介してノア
ゲート9の入力端に接続される。このような論理ゲート
回路はド・モルガンの定理からも明らかなように、単純
なアンドゲートと等価である。
FIG. 5 is a block diagram showing another example of the word line control means 100, and includes word line driving circuits 6a to 6n.
Are connected to input terminals of a NOR gate 9 via inverters 8a to 8n, respectively. Such a logic gate circuit is equivalent to a simple AND gate, as is clear from De Morgan's theorem.

【0024】この実施例では、多入力のアンドゲートを
用いないことにより、トランジスタが直列に多数接続さ
れることに起因するいわゆるバックゲートバイアス効果
を回避することができるという利点がある。
This embodiment has an advantage in that a so-called back gate bias effect caused by a large number of transistors connected in series can be avoided by not using a multi-input AND gate.

【0025】[0025]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の半導体記
憶装置においては、全てのワード線駆動回路から駆動信
号が出力された後所定時間の経過を待ってセンスアンプ
を動作させる。言換えれば、最も遅れて出力された駆動
信号を基準としてメモリセルからの所定読み出し時間を
経過してから、センスアンプを動作させる構成としてい
る。従って、メモリセルに保持された微小信号のビット
線対への読み出しが全て行われてからセンスアンプが動
作するので、電源ノイズ等に起因する駆動信号の発生タ
イミングのばらつきが生じても誤センスする可能性が低
く、十分なセンスマージンを確保することができる。
As described above, in the semiconductor memory device of the present invention, the sense amplifier is operated after a lapse of a predetermined time after the drive signals are output from all the word line drive circuits. In other words, the configuration is such that the sense amplifier is operated after a predetermined read time from the memory cell has elapsed with reference to the drive signal output most recently. Therefore, since the sense amplifier operates after all of the reading of the minute signal held in the memory cell to the bit line pair is performed, erroneous sensing is performed even if the generation timing of the drive signal due to power supply noise or the like occurs. It is unlikely that a sufficient sense margin can be secured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】メモリチップの領域を複数のメモリセルアレイ
に分割してメモリを形成する例を示すブロック図。
FIG. 1 is a block diagram showing an example in which a memory chip is divided into a plurality of memory cell arrays to form a memory.

【図2】従来のワード線制御手段100の構成を示すブ
ロック図。
FIG. 2 is a block diagram showing a configuration of a conventional word line control means 100.

【図3】回路の動作を説明するための信号波形図。FIG. 3 is a signal waveform diagram for explaining operation of the circuit.

【図4】本発明の実施例における主要部分の構成を示す
ブロック図。
FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of a main part in the embodiment of the present invention.

【図5】本発明の他の実施例における主要部分の構成を
示すブロック図。
FIG. 5 is a block diagram showing a configuration of a main part in another embodiment of the present invention.

【符号の説明】 3a〜3n メモリセルアレイ 4a〜4n ローデコーダ 5a〜5n センスアンプ/カラムデコーダ 6a〜6n ワード線駆動回路 7 アンドゲート 9 オアゲート 10 遅延回路 11 センスアンプ駆動回路[Description of Signs] 3a-3n Memory cell array 4a-4n Row decoder 5a-5n Sense amplifier / column decoder 6a-6n Word line drive circuit 7 AND gate 9 OR gate 10 Delay circuit 11 Sense amplifier drive circuit

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】ダイナミック型メモリセルがマトリクス状
に配置された複数のメモリセルアレイと、 前記メモリセルアレイごとに設けられ、各メモリセルア
レイの行方向に配設されたワード線を駆動する複数の
ード線駆動回路と、 各メモリセルアレイの列方向に配置されたビット線への
出力を論理レベルに導出する複数のセンスアンプと、 前記複数のワード線駆動回路の各出力の論理積をとって
前記複数のワード線駆動回路のすべてが活性化されたと
きに出力信号を発生する駆動信号検知手段と、 この駆動信号検知手段の出力信号を、前記ワード線が駆
動されて対応するメモリセルからビット線に電荷が移動
してビット線の電位が微小変化するのに十分な時間だけ
遅延させる遅延回路と、 この遅延回路で遅延された前記駆動信号検知手段の出力
信号が供給されることにより前記複数のセンスアンプを
駆動するセンスアンプ駆動回路とを備えた半導体記憶装
置。
1. A plurality of memory cell arrays dynamic memory cells arranged in a matrix, wherein provided for each memory cell array, a plurality of word for driving a word line arranged in a row direction of the memory cell array < a logic line driving circuit; a plurality of sense amplifiers for deriving an output to a bit line arranged in a column direction of each memory cell array to a logic level; and a logical product of outputs of the plurality of word line driving circuits taking
When all of the plurality of word line drive circuits are activated
A driving signal detecting means for generating an output signal when the word line is driven to transfer a charge from the corresponding memory cell to the bit line to cause a slight change in the potential of the bit line. And a delay circuit for delaying the drive signal by a time sufficient for the output of the drive signal detecting means.
And a sense amplifier driving circuit for driving the plurality of sense amplifiers when a signal is supplied.
【請求項2】前記駆動信号検知手段がアンドゲートをな
すことを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。
2. The semiconductor memory device according to claim 1, wherein said drive signal detecting means forms an AND gate.
【請求項3】前記駆動信号検知手段が反転入力を有する
ノアゲートであることを特徴とする請求項1に記載の半
導体記憶装置。
3. The semiconductor memory device according to claim 1, wherein said drive signal detecting means is a NOR gate having an inverted input.
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