JP3169116B2 - Gas flow meter and composite gas flow meter - Google Patents
Gas flow meter and composite gas flow meterInfo
- Publication number
- JP3169116B2 JP3169116B2 JP17243095A JP17243095A JP3169116B2 JP 3169116 B2 JP3169116 B2 JP 3169116B2 JP 17243095 A JP17243095 A JP 17243095A JP 17243095 A JP17243095 A JP 17243095A JP 3169116 B2 JP3169116 B2 JP 3169116B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- frequency
- signal
- sensor
- input
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、LPガス、天然ガス等
の燃料ガス等に用いるための気体流量計に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gas flow meter for use with fuel gas such as LP gas and natural gas.
【0002】[0002]
【従来の技術】フルイディック型流量計は、小型化が可
能で、かつ、可動部がないため耐久性に優れているため
広く使われるようになってきた。このものは、フルイデ
ィック発振器内を気体が通過する際に、流体振動現象に
よって生じる圧力パルスの周波数を利用して測定を行う
ものである。この圧力パルスの周波数から気体流量を求
める方法として、特開平1−308921号公報、特開
平3−44512号公報或いは特開平3−95420号
公報などで知られる技術があった。2. Description of the Related Art Fluidic type flow meters have been widely used because they can be miniaturized and have excellent durability because of no moving parts. In this method, when gas passes through a fluidic oscillator, measurement is performed using the frequency of a pressure pulse generated by a fluid vibration phenomenon. As a method of obtaining the gas flow rate from the frequency of the pressure pulse, there is a technique known in JP-A-1-308921, JP-A-3-44512, or JP-A-3-95420.
【0003】ここでフルイディック型気体流量計におい
て、流量と圧力パルスの周波数とは比例関係にあるとさ
れているが、現実には比例せず、多数の補正係数によっ
て補正するか、或いは流量の変化に伴い用いる検量線を
切り換える等の工夫が必要であった。上記の従来技術に
おいてもパルスの周波数から流量を求めるに当たって、
多数の定数を有するテーブルを準備しており、或いは複
雑な演算を行っていた。従って、これら演算に要する手
段は消費電力の大きく、従ってこのような従来技術は、
例えば燃料ガスメータのように内蔵電池で長期の測定が
可能であることが要求される用途には応用できるもので
はなかった。また、上記のように複雑な演算手段は一般
にカスタム化が困難で、かつ、高価なため流量計のコス
トアップ要因となっていた。Here, in the fluid gas flow meter, it is assumed that the flow rate and the frequency of the pressure pulse are in a proportional relationship. However, the flow rate is not proportional to the actual one and is corrected by a large number of correction coefficients, or It was necessary to devise a technique such as switching the calibration curve to be used according to the change. In obtaining the flow rate from the frequency of the pulse also in the above-described prior art,
A table having a large number of constants is prepared, or a complicated operation is performed. Therefore, the means required for these operations consumes large power, and thus such prior art is
For example, it cannot be applied to an application that requires long-term measurement with a built-in battery such as a fuel gas meter. In addition, the complicated arithmetic means as described above is generally difficult to customize and is expensive, which has been a factor of increasing the cost of the flowmeter.
【0004】なお、本出願人によって、形状に対して改
良が加えられたフルイディック発振器が実開平4−10
9327号公報等で開示されているが、このような優れ
た発振器を用い、その性能を十全に発揮する消費電力の
少なく、カスタム化が容易なフルイディック型気体流量
計が求められていた。また上記改良されたフルイディッ
ク発振器においても、流量と発振周波数との対応関係は
改善されたとは云え、工作精度上の問題点が若干残って
いるため、完全に流量と発振周波数の関係が完全に比例
関係にあるとは云えなかった。そのため、これらフルイ
ディック発振器の製造において、歩留まりが低く問題と
なっていた。[0004] A fluidic oscillator whose shape has been improved by the present applicant has been disclosed in Japanese Utility Model Laid-Open Publication No. 4-10.
Although disclosed in Japanese Patent No. 9327 and the like, there has been a demand for a fluidic type gas flow meter which uses such an excellent oscillator, exhibits sufficient performance, has low power consumption, and can be easily customized. Also in the improved fluidic oscillator described above, although the correspondence between the flow rate and the oscillation frequency has been improved, there is still a problem in machining accuracy, so the relationship between the flow rate and the oscillation frequency is completely reduced. I could not say that they were in a proportional relationship. Therefore, in the production of these fluidic oscillators, the yield is low, which has been a problem.
【0005】一方、フルイディック型流量計は最小流量
と最大流量の差が1000倍程度あるような流量変化の
大きい場合には応用が困難であるとされている。ここ
で、フルイディック型流量計と熱式流量計とを組み合わ
せて複合気体流量計を形成して、この欠点を改良するこ
とは特開平1−308921号公報で知られていた。こ
のものは低流量時に熱式流量計部を用いて流量を測定
し、高流量時にはフルイディック型流量計部を用いて流
量を測定する。高流量時には測定に関与しない熱式流量
計のヒーター加熱を中止し、低流量時には間欠的に熱式
流量計のヒーター加熱及び測定を行って電力消費を抑制
していた。しかし、この複合気体流量計は特に低流量時
において、測定を間歇的に行うため、その測定値には信
頼が置けず、問題となっていた。このように、精度の高
い、かつ、消費電力の少ない複合気体流量計が求められ
ていた。On the other hand, it is said that the fluidic flow meter is difficult to apply when the flow rate change is large such that the difference between the minimum flow rate and the maximum flow rate is about 1000 times. Here, it has been known from Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-308921 to form a composite gas flow meter by combining a fluidic flow meter and a thermal flow meter to improve this drawback. In the case of a low flow rate, the flow rate is measured using a thermal flow meter section, and when the flow rate is high, the flow rate is measured using a fluidic type flow meter section. When the flow rate is high, heating of the heater of the thermal flow meter that is not involved in the measurement is stopped, and when the flow rate is low, the heater is heated and measured intermittently to suppress power consumption. However, this composite gas flow meter measures intermittently, especially at low flow rates, and the measured values are not reliable and pose a problem. Thus, there has been a demand for a composite gas flow meter with high accuracy and low power consumption.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記問題点
を解決する、すなわち、消費電力が極めて小さく、カス
タム化が容易な気体流量計を提供することを目的とす
る。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, that is, to provide a gas flow meter which consumes very little power and can be easily customized.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明の気体流量計は、
図1の基本構成図に示すように、フルイディック発振器
Eを用いる気体流量計であって、該フルイディック発振
器Eが、一定時間t当たりの測定対象気体の流量Qと、
同t当たりの該発振器内で生じる流体振動パルス数fと
の関係において実質上、式 Q = af (a:比例定数) ……(式1) の関係を満たすものであって、かつ、一定時間t毎にタ
イマ信号を出力するタイマ信号手段1、タイマ信号入力
により前記センサのパルス数のカウントを開始し一定数
k毎に分周信号を出力する分周カウント手段2a、タイ
マ信号入力により前記センサのパルス数のカウントを開
始し次のタイマ信号入力に際し、カウントしたパルス数
fの前記kによる剰余mを出力する第2カウント手段2
b、及び、上記分周カウントによる分周信号の入力毎に
aが加算され、タイマ信号入力に際しその積算値をk進
数として算術シフトによる桁上げを行ってk倍しこの値
に第2カウント手段から出力されるmにaを乗した数を
加算することによって流量Qを算出する演算手段3とを
構成として有する。The gas flow meter of the present invention comprises:
As shown in the basic configuration diagram of FIG. 1, a gas flow meter using a fluidic oscillator E, wherein the fluidic oscillator E has a flow rate Q of a gas to be measured per fixed time t,
In relation to the number of fluid oscillation pulses f generated in the oscillator per t, the relationship substantially satisfies the following equation: Q = af (a: proportional constant). Timer signal means 1 for outputting a timer signal every t, frequency counting means 2a for starting counting the number of pulses of the sensor in response to a timer signal input, and outputting a frequency-divided signal every constant number k, and the sensor in response to a timer signal input. The second counting means 2 which starts counting the number of pulses and outputs the remainder m of the counted number of pulses f by k when the next timer signal is input.
b and a are added each time a frequency-divided signal is input by the above-described frequency division count, and when the timer signal is input, the integrated value is multiplied by k by performing an arithmetic shift using the integrated value as a k-ary number and multiplied by k. And a calculating means 3 for calculating the flow rate Q by adding a number obtained by multiplying m output from to a by a.
【0008】本発明において該フルイディック発振器E
が、一定時間t当たりの測定対象気体の流量Qと、同t
当たりの該発振器内で生じる流体振動パルス数fとの関
係において実質上、式 Q = af (a:比例定
数)の関係を満たすとは、次のようなことを指す。In the present invention, the fluidic oscillator E
Is the flow rate Q of the gas to be measured per fixed time t,
Substantially satisfying the relationship of the equation Q = af (a: proportional constant) in relation to the number of fluid vibration pulses f generated in the oscillator means the following.
【0009】フルイディック発振器を用いた流量計の場
合、一定時間における流量Qとパルス数fとの関係は、
実際には式2 Q= af + b (a及びbはその素子特有の定数) ……(式2) であることが知られている。In the case of a flow meter using a fluidic oscillator, the relationship between the flow rate Q and the pulse number f in a certain time is
Actually, it is known that Equation 2 Q = af + b (a and b are constants specific to the element) (Equation 2).
【0010】一般に、燃料ガス等の用途において用いら
れる流量計には、公差が認められている。その公差は、
その流量計の最大測定流量をQmax としたとき、 流量がQmax の1/20以上1/10未満の場合:実際
の流量の3%、 流量がQmax の1/10以上4/5未満の場合 :実際
の流量の1.5%、 流量がQmax の4/5以上Qmax 以下の場合 :実際
の流量の3%、 である。従って、これらの関係より、式2における素子
特有の定数a、bにおいて、 |b| ≦ 0.3672 a ……(式3) を満たせば上記公差を満足する。Generally, tolerances are recognized for flow meters used in applications such as fuel gas. The tolerance is
When the maximum measured flow rate of the flow meter is Q max , when the flow rate is 1/20 or more and less than 1/10 of Q max : 3% of the actual flow rate, and the flow rate is 1/10 or more and less than 4/5 of Q max when 1.5% of the actual flow rate, when the flow rate is less than 4/5 or more Q max of Q max: 3%, the actual flow rate. Therefore, based on these relationships, the following tolerance is satisfied if | b | ≦ 0.3672 a (Equation 3) is satisfied in the constants a and b specific to the element in Equation 2.
【0011】すなわち、本発明において上記式3の関係
を満たす場合、実質上、Q = af (a:比例定
数)の関係であると云う。ここで、式3を満たせば充分
であって、式1を完全に満足するものである必要がな
く、従って、加工精度上このようなフルイディック発振
器の製作は容易となり、製造における製品歩留まりが向
上し、コストを低く押さえることが可能となる。ここ
で、このような特定の関係を満足するフルイディック発
振器は、本発明の出願人によって出願された実開平4−
109327号記載の技術等によって得ることができ
る。That is, in the present invention, when the relationship of the above equation 3 is satisfied, it can be said that the relationship is substantially Q = af (a: proportional constant). Here, it is sufficient to satisfy Expression 3, and it is not necessary to completely satisfy Expression 1. Therefore, the production of such a fluidic oscillator is facilitated in terms of processing accuracy, and the product yield in production is improved. In addition, the cost can be kept low. Here, a fluidic oscillator that satisfies such a specific relationship is disclosed in Japanese Utility Model Application Laid-Open No. HEI 4-104 filed by the present applicant.
No. 109327, and the like.
【0012】一方、本発明に係る複合気体流量計は、図
2の基本構成図に示すように、高流量測定用と低流量測
定用との2つの流量センサを有し、一定時間t当たりの
測定対象気体の流量Qによって、流量を測定する流量セ
ンサを切り換える複合気体流量計であって、高流量測定
用流量センサがフルイディック発振器E1 であり、該フ
ルイディック発振器E1 が、一定時間t当たりの測定対
象気体の流量Qと、同t当たりの該発振器内で生じる流
体振動パルス数fとの関係において実質上、式1の Q = af (a:比例定数) の関係を満たすものであって、かつ、上記低流量測定用
流量センサがオリフィス差圧計E2 であり、該オリフィ
ス差圧計の出力を式 Q = af2 ……(式4) を満足するように一定時間t当たりのパルス数f2 に変
換する信号変換手段4、これら2つの流量センサの出力
パルスの一方を選択して出力する切換手段5、一定時間
t毎にタイマ信号を出力するタイマ信号手段1、タイマ
信号入力により前記切換手段から供給されるパルス数の
カウントを開始し一定数k毎に分周信号を出力する分周
カウント手段2a、タイマ信号入力により前記切換手段
から供給されるパルス数のカウントを開始し次のタイマ
信号入力に際しカウントしたパルス数fの前記kによる
剰余mを出力する第2カウント手段2b、及び、上記分
周カウントによる分周信号の入力毎にaが加算されタイ
マ信号入力に際しその積算値をk進数として算術シフト
による桁上げを行ってk倍しこの値に第2カウント手段
から出力されるmにaを乗した数を加算することによっ
て流量Qを算出する演算手段3とを構成として有する。On the other hand, the composite gas flow meter according to the present invention has two flow sensors for high flow rate measurement and low flow rate measurement as shown in the basic configuration diagram of FIG. A composite gas flow meter for switching a flow sensor for measuring a flow rate according to a flow rate Q of a measurement target gas, wherein a flow sensor for measuring a high flow rate is a fluidic oscillator E1, and the fluidic oscillator E1 is used for a predetermined time t. The relationship between the flow rate Q of the gas to be measured and the number of fluid vibration pulses f generated in the oscillator per t substantially satisfies the relationship of Q = af (a: proportional constant) in Expression 1; and the low flow measuring flow rate sensor is an orifice differential pressure gauge E2, the output of the orifice differential pressure gauge number of pulses f 2 per predetermined time t so as to satisfy the formula Q = af 2 ...... (equation 4) conversion Signal conversion means 4; switching means 5 for selecting and outputting one of the output pulses of these two flow sensors; timer signal means 1 for outputting a timer signal at regular time intervals t; Frequency dividing means 2a which starts counting the number of pulses to be output and outputs a frequency dividing signal at every constant number k, and starts counting the number of pulses supplied from the switching means in response to a timer signal input. A second counting means 2b for outputting the remainder m of the counted pulse number f by k, and a for each input of the frequency-divided signal by the frequency-dividing count, and when the timer signal is input, the integrated value is calculated as a k-ary number. An operation of calculating the flow rate Q by adding a number obtained by multiplying a by a multiplied by k outputted from the second counting means to this value and multiplying the value by k by carrying out by shifting. Calculation means 3 as a configuration.
【0013】上記低流量測定用オリフィス差圧計の出力
Vと流量Qの関係は式5で示される。The relationship between the output V and the flow rate Q of the orifice differential pressure gauge for low flow rate measurement is expressed by equation (5).
【数1】 (Equation 1)
【0014】ここで、上記式5を式4の Q = af2 を満足するように一定時間t当たりのパルス数f2 に変
換させる信号変換手段は、例えば低流量測定用流量セン
サ出力が電圧で出力される場合、汎用されているアナロ
グ的な減算回路、平方根回路、増幅回路、及び電圧−周
波数変換回路(以下「V/F変換回路」と云う)を組合
せることによって構成することができる。Here, the signal converting means for converting the above equation 5 into the number of pulses f 2 per a fixed time t so as to satisfy Q = af 2 in the equation 4 may be, for example, a method in which the output of the flow sensor for low flow rate measurement is a voltage. When the signal is output, it can be configured by combining a general-purpose analog subtraction circuit, square root circuit, amplification circuit, and voltage-frequency conversion circuit (hereinafter referred to as “V / F conversion circuit”).
【0015】[0015]
【作用】本発明の気体流量計において、流量と出力パル
スの周波数が実質的に比例関係にあるフルイディック発
振器を用いるため、出力パルスの処理を容易なものとす
ることが可能となる。また、演算に用いる定数もaのみ
1つだけの使用で充分で、流量に応じた多数の定数を備
えることが不要であるため、演算手段が消費電力の少な
い低速なものでも、充分対応可能となると共に、これら
定数を記載したテーブルが不要となるため、出力パルス
の周波数から両量を計算する手段のカスタム化が容易と
なり、製作コストも低くなる。According to the gas flow meter of the present invention, a fluidic oscillator having a flow rate and a frequency of an output pulse substantially proportional to each other is used, so that the output pulse can be easily processed. Further, it is sufficient to use only one constant a for the calculation, and it is not necessary to provide a large number of constants according to the flow rate. In addition, since a table in which these constants are described becomes unnecessary, customization of means for calculating both quantities from the frequency of the output pulse becomes easy, and the manufacturing cost is reduced.
【0016】また、一定時間t毎にタイマ信号を出力す
るタイマ信号手段、タイマ信号入力により前記センサの
パルス数のカウントを開始し一定数k毎に分周信号を出
力する分周カウント手段、タイマ信号入力により前記セ
ンサのパルス数のカウントを開始し次のタイマ信号入力
に際しカウントしたパルス数fの前記kによる剰余mを
出力する第2カウント手段を備えることにより、演算手
段における流量の演算を一時に全部行う必要がなくな
り、演算手段が高性能であるもので必然性がなくなるた
め、消費電力の低い演算手段を選択することが可能とな
る。A timer signal means for outputting a timer signal at regular time intervals t; a frequency dividing count means for starting counting of the number of pulses of the sensor in response to the timer signal input and outputting a frequency dividing signal at regular time intervals k; A second counting means for starting counting of the number of pulses of the sensor in response to a signal input and outputting a remainder m of the counted number of pulses f by the k in response to a next timer signal input, so that the calculation of the flow rate in the calculating means can be reduced to one. Sometimes, it is not necessary to perform all of the operations, and the operation means has a high performance and is not inevitable. Therefore, it is possible to select an operation means with low power consumption.
【0017】一方、演算手段において、分周カウントに
よる分周信号の入力毎にaが加算され、タイマ信号入力
に際し、その積算値をk進数として算術シフトによる桁
上げを行ってk倍し、この値に第2カウント手段から出
力されるmにaを乗した数を加算することによって流量
Qを算出するものを選択することによって、桁の大きい
乗算が不要となるため低速で消費電力の少なく、コスト
の低い演算手段で対応することが可能となる。On the other hand, in the arithmetic means, a is added each time a frequency-divided signal is input by the frequency division count, and when the timer signal is input, the integrated value is multiplied by k by performing a carry by arithmetic shift using the integrated value as a k-ary number. By selecting a value for calculating the flow rate Q by adding a number multiplied by a to the value of m output from the second counting means to the value, multiplication of a large digit becomes unnecessary, so that the power consumption is low and the power consumption is low. It is possible to cope with low cost operation means.
【0018】本発明に係る複合気体流量計において、本
発明に係る上記気体流量計の利点を全て有すると共に、
低流量測定用流量センサとしてオリフィス式圧力センサ
を採用したために従来の複合型流量計と比較して低消費
電力であり、そのため流量が低流量領域である場合にも
常に流量測定を行うことが可能となり、従って、正確な
積算流量値を得ることができる。また、低流量測定用流
量センサの出力も一定時間当たりのパルス数に変換さ
れ、しかも、定数aは高流量測定時と同じであるので、
測定に関与する流量センサが切り換えられても、定数テ
ーブルからの定数の新たな読み込みのような動作は不要
であり、そのため、高速な演算ができる演算手段を必要
としない。The composite gas flow meter according to the present invention has all the advantages of the gas flow meter according to the present invention,
Uses an orifice-type pressure sensor as a flow sensor for low flow measurement, consumes less power than conventional compound flowmeters, and therefore can always measure flow even when the flow rate is in the low flow rate range Therefore, an accurate integrated flow rate value can be obtained. Further, the output of the flow sensor for low flow rate measurement is also converted into the number of pulses per fixed time, and the constant a is the same as that at the time of high flow rate measurement.
Even if the flow sensor involved in the measurement is switched, an operation such as a new reading of a constant from the constant table is not required, and therefore, there is no need for a calculation means capable of performing a high-speed calculation.
【0019】[0019]
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図3は本発明に係る複合気体流量計の一実施例で
ある。同図において符号Inlet が測定対象気体の入り
口、Outletがその気体の出口である。気体流路にある高
流量測定用流量センサであるフルイディック発振器E1
内には気流によるパルスを検出し電気パルスとして出力
するセンサE1dが設置されており、また、低流量測定用
流量センサであるオリフィス差圧計E2 には圧力差を電
圧として出力するセンサE2dが付属している。なお、低
流量域において精度良く、かつ信頼性の高い流量計測が
可能となるようにこれらセンサに流れる流量を調整する
ために圧力調整器R1 、R2 及びR3 が気体流路に配置
され予め調整されている。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 3 shows an embodiment of the composite gas flow meter according to the present invention. In the figure, the symbol Inlet is the inlet of the gas to be measured, and the outlet is the outlet of the gas. Fluidic oscillator E1 which is a flow sensor for measuring high flow rate in the gas flow path
A sensor E1d that detects a pulse due to airflow and outputs the pulse as an electric pulse is installed in the inside, and a sensor E2d that outputs a pressure difference as a voltage is attached to the orifice differential pressure gauge E2, which is a flow sensor for low flow rate measurement. ing. In addition, pressure regulators R1, R2, and R3 are arranged in the gas flow path and adjusted in advance in order to adjust the flow rate flowing through these sensors so that accurate and highly reliable flow rate measurement can be performed in a low flow rate range. ing.
【0020】上記フルイディック発振器は、実開平4−
109327号に記載の技術によって、一定時間t当た
りの測定対象気体の流量Qと、同t当たりの該発振器内
で生じる流体振動パルス数fとの関係において実質上、
式 Q = af (a:比例定数) の関係を満たすものである。すなわち Q= af + b (a及びbはその素子特有の定数) ……(式2) において、tが1秒のとき流速0.8〜17 l/分にお
いて、式3のaとbとの関係を満たしているものであ
る。The above-mentioned fluidic oscillator is constructed as follows.
According to the technique described in Japanese Patent No. 109327, the relationship between the flow rate Q of the gas to be measured per a certain time t and the number of fluid oscillation pulses f generated in the oscillator per the t is substantially equal to
It satisfies the relationship of equation Q = af (a: proportionality constant). That is, Q = af + b (where a and b are constants specific to the element) (Equation 2) where, when t is 1 second, the flow rate between a and b in Equation 3 is obtained at a flow rate of 0.8 to 17 l / min. The one that satisfies the relationship.
【0021】ここで、上記のようなフルイディック発振
器E1 のセンサE1dの出力は後述するMPU3mpの入力
ポート3Iaに接続している。一方、低流量測定用流量セ
ンサであるオリフィス差圧計E2 のセンサE2dの出力
は、減算回路A1 、平方根回路A2 、増幅回路A3 及び
V/F変換回路A4 からなる変換回路Aを経て、流量Q
に対応する周波数に変換されたのち、入力ポート3Iaよ
り MPU3mp内部に入力される。なお、この変換回路
Aは予め調整されていて、低流量測定領域でこのオリフ
ィス差圧計E2 のセンサ2dの出力は、式 Q = af2 (a:比例定数、f2 :一定時間t当たりの電気的パル
ス数 、Q:一定時間t当たりの流量)を満足した一定
時間t当たりの電気的パルス数f2 に変換される。Here, the output of the sensor E1d of the above-described fluidic oscillator E1 is connected to an input port 3Ia of an MPU 3mp to be described later. On the other hand, the output of the sensor E2d of the orifice differential pressure gauge E2, which is a flow rate sensor for low flow rate measurement, passes through a conversion circuit A comprising a subtraction circuit A1, a square root circuit A2, an amplification circuit A3, and a V / F conversion circuit A4.
After being converted into a frequency corresponding to the above, the signal is input from the input port 3Ia to the inside of the MPU 3mp. Incidentally, the conversion circuit A be previously adjusted, the output of the low flow rate measurement area sensor 2d of the orifice differential pressure gauge E2 have the formula Q = af 2 (a: proportional constant, f 2: Electric per fixed time t pulse number, Q: is converted into an electrical pulse number f 2 per predetermined time t satisfying the flow rate) per fixed time t.
【0022】MPU3mpには、セントラルプロセッシン
グユニット(以下「CPU」と記述する)3cp、このC
PU3cp用プログラム、センサ定数aやタイマ信号の間
隔時間t、或いは高流量測定領域と低流量測定領域との
閾値であるq1 等を格納するROM3ro(図4(a) 参
照)、任意のスタート時間からの経過時間の経時データ
(以下「タイマ」と記載する)T及び分周カウンタC1
、第2カウンタC2 、k進法のカウンタC3 、測定セ
ンサ設定用変数u、積算流量Bt 等の各種データを格納
するRAM3ra(図4(b) 参照)が付属している。The MPU 3mp has a central processing unit (hereinafter referred to as "CPU") 3cp,
ROM 3ro (see FIG. 4 (a)) for storing the PU3cp program, the sensor constant a, the interval time t of the timer signal, or the threshold value q1 between the high flow rate measurement area and the low flow rate measurement area, etc. Time data (hereinafter referred to as a "timer") T of the elapsed time and a frequency division counter C1
, A second counter C2, a k-ary counter C3, a RAM 3ra (see FIG. 4B) for storing various data such as a measurement sensor setting variable u and an integrated flow rate Bt.
【0023】また、このMPU3mpは、フルイディック
発振器E1 から出力される信号を取り込むための入力ポ
ート3ia、オリフィス差圧計E2 から出力される信号の
ために入力ポート3ibを有し、また、表示装置LCDに
測定結果(積算流量Bt )を出力するための出力ポート
3oaを有している。The MPU 3mp has an input port 3ia for receiving a signal output from the fluidic oscillator E1, an input port 3ib for a signal output from the orifice differential pressure gauge E2, and a display device LCD. Has an output port 3oa for outputting the measurement result (integrated flow rate Bt).
【0024】この実施例の複合気体流量計において、I
nletからOutletに向かう気体流量Qに応じた
渦がフルイディック発振器E1 内に生じ、また、同じく
気体流量に応じた差圧がオリフィス差圧計E2 内に生じ
る。上記気体流量計に電源が投入されると上記フルイデ
ィック発振器E1 内の渦に対応した電気的パルスがセン
サE1dにより発生されて入力ポート3iaよりMPU3mp
に入力される。In the composite gas flow meter of this embodiment, I
A vortex corresponding to the gas flow rate Q from nlet to Outlet is generated in the fluidic oscillator E1, and a pressure difference corresponding to the gas flow rate is generated in the orifice differential pressure gauge E2. When the power is turned on to the gas flow meter, an electric pulse corresponding to the vortex in the fluidic oscillator E1 is generated by the sensor E1d, and the MPU 3mp is input from the input port 3ia.
Is input to
【0025】一方、オリフィス差圧計E2 で生じた差圧
は、センサE2dによって電気信号(電圧)として出力さ
れ、変換回路Aによって流量Qに応じた周波数のパルス
信号に変換された後、入力ポート3ibよりMPU3mpに
入力される。このMPU3mpは電源投入によりRAM3
rm内データが初期化された後、タイマTがスタートする
と共に、これらMPU内に入力される信号の内、まず、
入力ポート3ibより入力されるオリフィス差圧計E2 に
よる信号についてカウントが行われる。On the other hand, the differential pressure generated by the orifice differential pressure gauge E2 is output as an electric signal (voltage) by the sensor E2d, and is converted by the conversion circuit A into a pulse signal having a frequency corresponding to the flow rate Q. It is input to MPU3mp. This MPU3mp is RAM3
After the data in rm is initialized, the timer T starts, and among the signals input to these MPUs,
The signal from the orifice differential pressure gauge E2 input from the input port 3ib is counted.
【0026】カウントは分周カウンタC1 及び第2カウ
ンタC2 で時間tに達するまで行われる。この間分周カ
ウンタC1 の値がk(本実施例に置いてはk=10)の
倍数となるたび、k進数のカウンタC3 にセンサ定数a
が加算される。時間t(本実施例においては1秒)に達
すると、k進数のカウンタC3 は算術シフトによってk
倍され、その後、第2カウンタC2 から出力される時間
tにおけるパルス数のkの剰余mにセンサ定数であるa
が乗されてこれに加算され、時間tにおける気体流量Q
が算出され、Qは積算流量Bq に加算される。The counting is continued until the time t is reached by the frequency dividing counter C1 and the second counter C2. During this time, every time the value of the frequency division counter C1 becomes a multiple of k (k = 10 in this embodiment), the k-ary counter C3 stores the sensor constant a
Is added. When the time t (1 second in this embodiment) is reached, the k-ary counter C3 is set to k by arithmetic shift.
Then, the remainder m of the number of pulses k at time t output from the second counter C2 is a sensor constant a
Is added to this, and the gas flow rate Q at time t
Is calculated, and Q is added to the integrated flow rate Bq.
【0027】分周カウンタC1 、第2カウンタC2 及び
k進数のカウンタC3 は0にリセットされ、新たなカウ
ントが可能となる。ここで、積算流量Bq は出力ポート
O3 を経て表示装置LCDに出力されて表示される。The frequency dividing counter C1, the second counter C2 and the k-ary counter C3 are reset to 0, and a new count becomes possible. Here, the integrated flow rate Bq is output to the display device LCD via the output port O3 and displayed.
【0028】なお、上記のように算出された流量Qの値
が高流量測定領域と低流量測定領域との閾値であるq1
以下の場合には、入力ポート3ibから入力されるオリフ
ィス差圧計E2 からの信号について上記動作が、タイマ
tが0にリセットされた後繰り返され、流量Qの値がq
1 以上であったときにはその後のカウントは入力ポート
3iaから入力されるフルイディック発振器E1 による信
号について上記動作が、タイマtが0にリセットされた
後繰り返される。なお、入力センサの切換が行われた後
に再度流量Qの値が減少した場合には、再び入力ポート
3ibからの信号が再度選択される。It should be noted that the value of the flow rate Q calculated as described above is a threshold value q1 which is a threshold value between the high flow rate measurement area and the low flow rate measurement area.
In the following case, the above operation is repeated for the signal from the orifice differential pressure gauge E2 input from the input port 3ib after the timer t is reset to 0, and the value of the flow rate Q becomes q
When it is 1 or more, the subsequent counting is repeated after the timer t is reset to 0 for the signal from the fluidic oscillator E1 input from the input port 3ia. If the value of the flow rate Q decreases again after the input sensor is switched, the signal from the input port 3ib is selected again.
【0029】図5は、センサからのパルス、タイマ信号
手段、分周カウンタ、第2カウンタ及びCPUの演算状
態を示すタイムチャートである。本発明においては、タ
イマ信号手段によるタイマ信号によって、流量の算出、
及び、積算流量の計算が一時に行われる必要がなく、図
5に示されるようにセンサからのパルスが一定数kの倍
数になるとき、及びタイマ信号時と、数度に分割して演
算が行われるため、演算が分散していることが判る。こ
のように一時に全ての演算を行う必要がなくなったため
比較的低速の低消費電力型の演算手段を用いても充分対
応が可能になった。FIG. 5 is a time chart showing the operation states of the pulse from the sensor, the timer signal means, the frequency dividing counter, the second counter and the CPU. In the present invention, the calculation of the flow rate by the timer signal by the timer signal means,
Further, the calculation of the integrated flow rate does not need to be performed at one time, and when the pulse from the sensor becomes a multiple of a fixed number k as shown in FIG. Since it is performed, it can be seen that the operations are dispersed. As described above, since it is not necessary to perform all the operations at one time, it is possible to sufficiently cope with the use of a relatively low-speed and low-power-consumption type operation means.
【0030】次にこの実施例におけるMPU5mpの動作
を図6及び図7のフローチャートを参照して説明する。
図6においてMPU3mpは図示しないスイッチのONに
よる電源投入により動作を開始する。まずステップS1
においてRAM3ra等が初期化される。ステップS2
で、測定センサ設定用変数uが0とされ、ステップS3
でタイマTがスタートする。Next, the operation of the MPU 5mp in this embodiment will be described with reference to the flowcharts of FIGS.
In FIG. 6, the MPU 3mp starts operating when the power is turned on by turning on a switch (not shown). First, step S1
, The RAM 3ra and the like are initialized. Step S2
In step S3, the measurement sensor setting variable u is set to 0.
Starts the timer T.
【0031】ステップS4でタイマTの値が一定時間t
に達していないか調べられ、一定時間tに達している場
合には図7記載の(α)よりステップS20に進み、達
していない場合にはステップS5に進む。ステップS5
において、測定センサ設定用変数uが調べられ、uが0
のときはステップS6bに進んで、オリフィス差圧計E
2 からの信号が入力ポート3ibから入力されているか調
べる。一方変数uが0以外のときにはステップS6aに
おいてフルイディック発振器E1 からの信号が入力ポー
ト3iaから入力されているか調べる。In step S4, the value of the timer T is set to a predetermined time t.
It is checked whether the predetermined time t has been reached. If the predetermined time t has been reached, the process proceeds to step S20 from (α) shown in FIG. 7, and if not, the process proceeds to step S5. Step S5
, The measurement sensor setting variable u is checked, and
In step S6b, the orifice differential pressure gauge E
Check whether the signal from 2 is input from input port 3ib. On the other hand, if the variable u is other than 0, it is checked in step S6a whether a signal from the fluidic oscillator E1 is being input from the input port 3ia.
【0032】ステップS6a及びS6bにおいてこれら
センサからの信号が入力されている場合にはステップS
7に進み、信号が入力されていない場合にはステップS
4に戻る。信号が入力されている場合にはステップS7
及びステップS8において、分周カウンタC1 及び第2
カウンタC2 に1が加算される。If the signals from these sensors are input in steps S6a and S6b, step S6
Go to step 7, if no signal is input, go to step S
Return to 4. If a signal has been input, step S7
In step S8, the frequency dividing counter C1 and the second
1 is added to the counter C2.
【0033】ステップS9で分周カウンタC1 の値がk
(本実施例においてはK=10)に達していなければス
テップS4に戻り、等しければk進法のカウンタC3 に
aが加算され、次いで分周カウンタC1 の値が0にリセ
ットされた後ステップS4に戻る。In step S9, the value of the frequency division counter C1 is k
If (K = 10 in this embodiment) has not been reached, the process returns to step S4, and if equal, a is added to the k-ary counter C3, and then the value of the frequency dividing counter C1 is reset to 0, and then step S4 Return to
【0034】一方、上記ステップS4で(α)に分岐し
た場合について図7を用いて説明する。ステップS20
において、k進法のカウンタC3 内の数値が算術シフト
によって桁上げされてk倍されるとともに、カウンタC
2 の値のkの剰余(kで割ったときの余り)mがa倍さ
れてこれに加算されて、流量Qが算出されるステップS
21、ステップS22及びステップS23において分周
カウンタC1 、カウンタC2 及びk進法のカウンタC3
の値が0にリセットされ、ステップS24で積算流量B
qが算出され、ステップS25で出力ポート3icから出
力されて表示装置LCDに表示される。On the other hand, the case of branching to (α) in step S4 will be described with reference to FIG. Step S20
, The value in the k-ary counter C3 is increased by k by an arithmetic shift and multiplied by k.
Step S in which the remainder of k of the value of 2 (the remainder when divided by k) m is multiplied by a and added to this to calculate the flow rate Q
21, in steps S22 and S23, the frequency dividing counter C1, the counter C2, and the k-ary counter C3
Is reset to 0, and in step S24, the integrated flow rate B
The value q is calculated, output from the output port 3ic in step S25, and displayed on the display device LCD.
【0035】ステップS26では、上記のように算出さ
れた一定時間kにおける気体流量Qが閾値q1 と比較さ
れ、この値より大きい場合にはステップS27aで測定
センサ設定用変数uが1とされて以後の測定は高流量測
定用センサであるフルイディック発振器E1 で測定さ
れ、この値より小さい場合には、ステップS27bで測
定用センサ設定用変数uが0とされて以後の測定は低流
量測定用センサであるオリフィス差圧計E2 で測定され
る。ステップS28においてタイマTはリセットされた
のち、図6中(β)よりステップS3に戻り、測定が続
行される。In step S26, the gas flow rate Q at the predetermined time k calculated as described above is compared with a threshold value q1, and if it is larger than this value, the variable u for setting the measurement sensor is set to 1 in step S27a. Is measured by a fluidic oscillator E1, which is a high flow rate measurement sensor. If the value is smaller than this value, the measurement sensor setting variable u is set to 0 in step S27b, and the subsequent measurement is performed with the low flow rate measurement sensor. Orifice differential pressure gauge E2. After the timer T is reset in step S28, the process returns to step S3 from (β) in FIG. 6, and the measurement is continued.
【0036】以上、フローチャートを参照して行った説
明から明らかなように、MPU3mpはフローチャートの
実行によって、これら2つの流量センサの出力パルスの
一方を選択して出力する切換手段5、一定時間t毎にタ
イマ信号を出力するタイマ信号手段1、タイマ信号入力
により前記切換手段から供給されるパルス数のカウント
を開始し、一定数k毎に分周信号を出力する分周カウン
ト手段2a、タイマ信号入力により前記切換手段から供
給されるパルス数のカウントを開始し、次のタイマ信号
入力に際し、カウントしたパルス数fの前記kによる剰
余mを出力する第2カウント手段2b、及び、上記分周
カウントによる分周信号の入力毎にaが加算され、タイ
マ信号入力に際し、その積算値をk進数として算術シフ
トによる桁上げを行ってk倍し、この値に第2カウント
手段から出力されるmにaを乗した数を加算することに
よって流量Qを算出する演算手段3として働く。As is clear from the description given with reference to the flowchart, the MPU 3mp executes the flowchart to select and output one of the output pulses of these two flow rate sensors. Timer signal means 1 for outputting a timer signal to the input means, counting of the number of pulses supplied from the switching means in response to the timer signal input, frequency division counting means 2a for outputting a frequency division signal every constant number k, and timer signal input Starts counting the number of pulses supplied from the switching means, and outputs the remainder m of the counted number of pulses f by the k at the time of the next timer signal input; A is added each time a frequency-divided signal is input, and when a timer signal is input, the accumulated value is converted to a k-ary number to carry the arithmetic shift. It multiplied k I serve as operation means 3 for calculating the flow rate Q by adding the number obtained by multiplication of a to m output from the second counting means to this value.
【0037】また、上記においては本発明に係る複合気
体流量計についての説明を行ったが、上記複合気体流量
計から、切換手段及び低流量測定用流量センサE2 を省
略すれば、本発明に係る気体流量計となるので、その実
施例を挙げての説明は省略した。In the above description, the composite gas flowmeter according to the present invention has been described. However, if the switching means and the low flow rate measuring flow sensor E2 are omitted from the composite gas flowmeter, the present invention is applicable. Since the gas flow meter is used, the description of the embodiment will be omitted.
【0038】[0038]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、特
定のフルイディック発振器と、特定のパルスカウント手
段とを組み合わせたことによって、演算手段への負担が
減少し、単純な演算手段で充分対応することが可能とな
った。その結果、低消費電力とすることが可能となり、
また、従来必要とされていた複雑な定数テーブルが不要
となったためもあって、カスタム化及び低コスト化が非
常に容易となった。また、低流量において常に流量演算
を行うため、測定精度が良い。As described above, according to the present invention, by combining a specific fluidic oscillator and a specific pulse counting means, the load on the arithmetic means is reduced, and simple arithmetic means is sufficient. It is now possible to respond. As a result, low power consumption can be achieved,
In addition, customization and cost reduction have become very easy because a complicated constant table which has been required conventionally is not required. Also, since the flow rate calculation is always performed at a low flow rate, the measurement accuracy is good.
【図1】本発明の気体流量計の基本構成ブロックを示す
ブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing basic constituent blocks of a gas flow meter of the present invention.
【図2】本発明の複合気体流量計の基本構成ブロックを
示すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram showing basic constituent blocks of the composite gas flow meter of the present invention.
【図3】本発明の複合気体流量計の1実施例を示した図
である。FIG. 3 is a view showing one embodiment of the composite gas flow meter of the present invention.
【図4】本発明の複合気体流量計の1実施例におけるR
OM及びRAMの構成を示す図である。 (a) ROMの構成を示す図である。 (b) RAMの構成を示す図である。FIG. 4 shows R in one embodiment of the composite gas flow meter of the present invention.
FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of an OM and a RAM. (A) is a diagram showing a configuration of a ROM. FIG. 3B is a diagram illustrating a configuration of a RAM.
【図5】センサからのパルス、タイマ信号手段、分周カ
ウンタ、第2カウンタ及びCPUの演算状態を示すタイ
ムチャートである。FIG. 5 is a time chart showing a pulse from a sensor, a timer signal unit, a frequency dividing counter, a second counter, and a calculation state of a CPU.
【図6】図3のMPUが行う仕事の手順を示すフローチ
ャートである。FIG. 6 is a flowchart showing a procedure of work performed by the MPU of FIG. 3;
【図7】図3のMPUが行う仕事の手順を示すフローチ
ャートである。FIG. 7 is a flowchart showing a procedure of work performed by the MPU of FIG. 3;
1 タイマ信号手段 2a 分周カウント手段 2b 第2カウント手段 3 演算手段 4 信号変換手段 5 切換手段 E フルイディック発振器 E1 高流量測定用流量センサ E2 低流量測定用流量センサ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Timer signal means 2a Frequency division counting means 2b Second counting means 3 Arithmetic means 4 Signal conversion means 5 Switching means E Fluidic oscillator E1 High flow rate measurement flow sensor E2 Low flow rate measurement flow sensor
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01F 1/20 G01F 1/00 G01F 1/42 G01F 7/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G01F 1/20 G01F 1/00 G01F 1/42 G01F 7/00
Claims (2)
計において、 該フルイディック発振器が、一定時間t当たりの測定対
象気体の流量Qと、同t当たりの該発振器内で生じる流
体振動パルス数fとの関係において実質上、式 Q = af (a:比例定数) の関係を満たすものであって、かつ、 一定時間t毎にタイマ信号を出力するタイマ信号手段、 タイマ信号入力により前記センサのパルス数のカウント
を開始し、一定数k毎に分周信号を出力する分周カウン
ト手段、 タイマ信号入力により前記センサのパルス数のカウント
を開始し、次のタイマ信号入力に際し、カウントしたパ
ルス数fの前記kによる剰余mを出力する第2カウント
手段、及び、 上記分周カウントによる分周信号の入力毎にaが加算さ
れ、タイマ信号入力に際し、その積算値をk進数として
算術シフトによる桁上げを行ってk倍し、この値に第2
カウント手段から出力されるmにaを乗した数を加算す
ることによって流量Qを算出する演算手段とを有するこ
とを特徴とする気体流量計。1. A gas flow meter using a fluidic oscillator, wherein the fluidic oscillator measures a flow rate Q of a gas to be measured per a fixed time t and a number f of fluid vibration pulses generated in the oscillator per t. The relationship substantially satisfies the relationship of Q = af (a: proportionality constant), and a timer signal means for outputting a timer signal at regular time intervals t. Frequency-counting means for starting counting and outputting a frequency-divided signal at every constant number k; counting the number of pulses of the sensor by inputting a timer signal; a second counting means for outputting a remainder m by k, and a is added each time a frequency-divided signal is input by the frequency-dividing count. The integrated value by performing a carry by arithmetic shifts as k Decimal multiplies k, second to this value
Calculating means for calculating a flow rate Q by adding a number multiplied by a to m output from the counting means.
流量センサを有し、一定時間t当たりの測定対象気体の
流量Qによって、流量を測定する流量センサを切り換え
る複合気体流量計に関し、 高流量測定用流量センサがフルイディック発振器であ
り、該フルイディック発振器が、一定時間t当たりの測
定対象気体の流量Qと、同t当たりの該発振器内で生じ
る流体振動パルス数fとの関係において実質上、式 Q = af (a:比例定数) の関係を満たすものであって、かつ、 上記低流量測定用流量センサがオリフィス差圧計であ
り、 該オリフィス差圧計の出力を式 Q = af2 を満足するように一定時間t当たりのパルス数f2 に変
換する信号変換手段、これら2つの流量センサの出力パ
ルスの一方を選択して出力する切換手段、 一定時間t毎にタイマ信号を出力するタイマ信号手段、 タイマ信号入力により前記切換手段から供給されるパル
ス数のカウントを開始し、一定数k毎に分周信号を出力
する分周カウント手段、 タイマ信号入力により前記切換手段から供給されるパル
ス数のカウントを開始し、次のタイマ信号入力に際し、
カウントしたパルス数fの前記kによる剰余mを出力す
る第2カウント手段、及び、 上記分周カウントによる分周信号の入力毎にaが加算さ
れ、タイマ信号入力に際し、その積算値をk進数として
算術シフトによる桁上げを行ってk倍し、この値に第2
カウント手段から出力されるmにaを乗した数を加算す
ることによって流量Qを算出する演算手段とを有するこ
とを特徴とする複合気体流量計。2. A composite gas flow meter having two flow sensors for high flow rate measurement and low flow rate measurement, and switching a flow rate sensor for measuring a flow rate according to a flow rate Q of a gas to be measured per fixed time t. The flow sensor for high flow rate measurement is a fluidic oscillator, and the fluidic oscillator has a relationship between the flow rate Q of the gas to be measured per a fixed time t and the number of fluid vibration pulses f generated in the oscillator per t. And the flow rate sensor for low flow rate measurement is an orifice differential pressure gauge, and the output of the orifice differential pressure gauge is expressed by the following equation: Q = af signal converting means for converting 2 into pulses f 2 per predetermined time t so as to satisfy these two switching means for one selects and outputs the output pulse of the flow sensor, constant at timer signal means for outputting a timer signal every t; frequency counting means for starting to count the number of pulses supplied from the switching means in response to the timer signal input and outputting a frequency-divided signal every constant number k; Starts counting the number of pulses supplied from the switching means, and upon the next timer signal input,
A second counting means for outputting a remainder m of the counted pulse number f by the k; and a is added each time a frequency-divided signal is input by the frequency-dividing count. When a timer signal is input, the integrated value is expressed as a k-ary number. Carry by arithmetic shift and multiply by k.
And a calculating means for calculating a flow rate Q by adding a number multiplied by a to m output from the counting means.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17243095A JP3169116B2 (en) | 1995-07-07 | 1995-07-07 | Gas flow meter and composite gas flow meter |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17243095A JP3169116B2 (en) | 1995-07-07 | 1995-07-07 | Gas flow meter and composite gas flow meter |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0921664A JPH0921664A (en) | 1997-01-21 |
JP3169116B2 true JP3169116B2 (en) | 2001-05-21 |
Family
ID=15941835
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17243095A Expired - Fee Related JP3169116B2 (en) | 1995-07-07 | 1995-07-07 | Gas flow meter and composite gas flow meter |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3169116B2 (en) |
-
1995
- 1995-07-07 JP JP17243095A patent/JP3169116B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0921664A (en) | 1997-01-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4472790B2 (en) | Vortex flowmeter with signal processor | |
US6556931B1 (en) | Apparatus and method for compensating mass flow rate of a material when the density of the material causes an unacceptable error in flow rate | |
JP3169116B2 (en) | Gas flow meter and composite gas flow meter | |
US5146157A (en) | Calculation apparatus for an electronic meter | |
US6453753B1 (en) | Volume or mass flowmeter | |
JP5290122B2 (en) | Gas meter | |
JPH11190653A (en) | Flow amount compensator | |
JP3146602B2 (en) | Fluidic meter controller | |
JP3053486B2 (en) | Fluidic gas meter | |
JP2002062179A (en) | Gas meter | |
JP3057949B2 (en) | Flowmeter | |
JP3383577B2 (en) | Ultrasonic flow meter and ultrasonic flow measurement method | |
JPH08136298A (en) | Fluidic type gas meter | |
JP3036217B2 (en) | Flowmeter | |
JP2005221353A (en) | Measuring apparatus with temperature correcting function | |
JP2785972B2 (en) | Compensation device for flow meter | |
JP3206211B2 (en) | Flowmeter | |
RU2507483C1 (en) | Autonomous gas counter | |
JP2000009501A (en) | Flowmeter and flow rate measuring method | |
JP2869128B2 (en) | Gas mass flow meter | |
Dezhi et al. | A novel digital Coriolis mass flowmeter | |
JP3741029B2 (en) | Gas flow meter | |
JP3008692B2 (en) | Flowmeter | |
JPH08145741A (en) | Flowmeter | |
RU5449U1 (en) | HEAT METER |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010130 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |