JP3158955B2 - Short arc type mercury discharge lamp - Google Patents

Short arc type mercury discharge lamp

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JP3158955B2 JP11030095A JP11030095A JP3158955B2 JP 3158955 B2 JP3158955 B2 JP 3158955B2 JP 11030095 A JP11030095 A JP 11030095A JP 11030095 A JP11030095 A JP 11030095A JP 3158955 B2 JP3158955 B2 JP 3158955B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の使用分野】本発明は、水銀が発光に寄与する
ショートアーク型水銀放電ランプに関するものである。
本発明は、例えば、ファイバースコープ用光源や顕微鏡
用光源として使用される小型のショートアーク型水銀放
電ランプに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a short arc type mercury discharge lamp in which mercury contributes to light emission.
The present invention relates to a small-sized short-arc type mercury discharge lamp used as a light source for a fiberscope or a microscope, for example.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、ファイバースコープ用光源や
顕微鏡用光源として紫外線を発生する水銀放電ランプが
広く使用されている。水銀放電ランプは、特に生化学分
野において、紫外線による試料の蛍光発光を利用する顕
微鏡用光源として好適である。顕微鏡用光源は、その構
成上、小型であることが要請され、通常ランプ製作時に
おける真空排気用の排気管のない水銀希ガス放電ランプ
が採用される。これは光源の小型化の要請に十分に適応
可能であって、また排気管による顕微鏡光学系への悪影
響を除外することができるためである。
2. Description of the Related Art A mercury discharge lamp which generates ultraviolet rays has been widely used as a light source for a fiberscope or a light source for a microscope. A mercury discharge lamp is suitable as a light source for a microscope that utilizes fluorescence emission of a sample by ultraviolet rays, particularly in the field of biochemistry. The light source for a microscope is required to be small in size due to its configuration, and a mercury rare gas discharge lamp without an exhaust pipe for vacuum evacuation when a lamp is usually manufactured is adopted. This is because it is possible to sufficiently adapt to the demand for miniaturization of the light source, and it is possible to exclude an adverse effect on the microscope optical system due to the exhaust pipe.

【0003】図3、図4、図5、図6を用いて、一般的
な、排気管(チップ)のないショートアーク型放電ラン
プの製造工程を説明する。まず、一方の端部Aが封止さ
れた例えば石英ガラス製の封体(バルブ)4に、外部リ
ード棒9一対、導電箔2一対、陽極7、陰極6を図3の
ようにマウントする。マウント後、他方の開放された端
部Bより封体内部を排気する。
With reference to FIGS. 3, 4, 5 and 6, a process for manufacturing a general short arc discharge lamp without an exhaust pipe (chip) will be described. First, a pair of external lead rods 9, a pair of conductive foils, an anode 7 and a cathode 6 are mounted on a sealing body (bulb) 4 made of, for example, quartz glass having one end A sealed, as shown in FIG. After mounting, the inside of the envelope is exhausted from the other open end B.

【0004】排気後、Arなどの希ガスや水銀3を所定
量封入し、開放端Bを図4のように封止する。次に、図
5のように陽極7側をシールし、さらに図6のように陰
極6側をシールする。最後に、図7のようにバルブ4表
面に保温膜5が施され、例えば内部が750℃である炉
10の中にて乾燥させる。以上のようにして、図1に示
すArなどの希ガスや水銀3が封入され、その内部に陽
極7、陰極6が配置されたチップレスのバルブ4を有す
るショートアーク型放電ランプが製作される。なお、こ
こでは口金1等の取付け工程は省略した。
After evacuation, a predetermined amount of a rare gas such as Ar or mercury 3 is sealed therein, and the open end B is sealed as shown in FIG. Next, the anode 7 side is sealed as shown in FIG. 5, and the cathode 6 side is further sealed as shown in FIG. Finally, as shown in FIG. 7, a heat insulating film 5 is applied to the surface of the valve 4 and is dried in, for example, a furnace 10 having an internal temperature of 750 ° C. As described above, the short arc discharge lamp having the chipless bulb 4 in which the rare gas such as Ar or the mercury 3 shown in FIG. 1 is sealed and the anode 7 and the cathode 6 are disposed therein is manufactured. . Here, the step of attaching the base 1 and the like is omitted.

【0005】一般に、高温加熱されるシール時には、電
極やガラスなどから酸素や水素等のガスが放出される。
これらのガスは、ランプ点灯時に水銀3や電極材料であ
るタングステン等と反応したり、水銀3と電極材料であ
るタングステンとの反応を促進する。これらの反応生成
物はバルブ内表面にスパッタ等で付着し、その結果バル
ブ4の内表面が黒化して、ランプの点灯寿命に悪影響を
及ぼす。特にチップレスバルブの場合は、シール前に排
気が終了するので、上記不純ガスが滞留してしまう。よ
って通常、図1に示すようにこれらの不純ガスを吸着す
るゲッタ8が、バルブ4内に設けられる。
In general, at the time of sealing at a high temperature, gases such as oxygen and hydrogen are released from electrodes, glass and the like.
These gases react with the mercury 3 and the electrode material tungsten when the lamp is turned on, or promote the reaction between the mercury 3 and the electrode material tungsten. These reaction products adhere to the inner surface of the bulb by sputtering or the like, and as a result, the inner surface of the bulb 4 is blackened, which adversely affects the operating life of the lamp. In particular, in the case of a chipless valve, the exhaust gas ends before sealing, so that the above-mentioned impurity gas stays. Therefore, normally, as shown in FIG. 1, a getter 8 for absorbing these impurity gases is provided in the valve 4.

【0006】ゲッタ8の材料としては、ジルコニウムや
タンタルが使用される。ジルコニウムは常温で安定であ
って、蒸気圧が小さい。よって、電気入力が小さく点灯
時の温度上昇が小さい小型のランプの場合は、ゲッタ8
の材料としてはジルコニウムがしばしば使用される。
As the material of the getter 8, zirconium or tantalum is used. Zirconium is stable at room temperature and has a low vapor pressure. Therefore, in the case of a small lamp having a small electric input and a small temperature rise during lighting, the getter 8
Zirconium is often used as a material for the above.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
小型ショートアーク型水銀放電ランプは、バルブ4の内
表面の黒化による照度劣化が早い傾向にあるという問題
点がある。これは、電極形状、希ガスや水銀3の封入条
件等によって影響を受けるが、発明者は、さらにバルブ
4の内表面の黒化による照度劣化の条件として、以下の
事実を発見した。
However, such a small-sized short arc type mercury discharge lamp has a problem that the illuminance tends to deteriorate quickly due to blackening of the inner surface of the bulb 4. This is affected by the shape of the electrode, the conditions for enclosing the rare gas and mercury 3, and the like. The inventor has further found the following facts as conditions for illuminance degradation due to blackening of the inner surface of the bulb 4.

【0008】電気入力が100W、ゲッタ8の材質がジ
ルコニウムであって、バルブ4の形状が個々異なるチッ
プレスのショートアーク型水銀放電ランプの点灯試験を
行ったところ、バルブ4の内表面の黒化度合いが異なっ
た。そして調査の結果、設置時にバルブ4内でゲッタ8
と水銀3が接触する形状のランプが、接触しないランプ
より黒化する速度が速いことが分かった。
A lighting test of a chipless short arc type mercury discharge lamp having an electric input of 100 W, a material of the getter 8 of zirconium, and different shapes of the bulb 4 was performed, and found that the inner surface of the bulb 4 was blackened. The degree was different. As a result of the investigation, the getter 8
It has been found that a lamp having a shape that makes contact with mercury 3 has a higher blackening speed than a lamp that does not make contact.

【0009】黒化の度合いの相違がどのようなメカニズ
ムによるものか必ずしも明らかではないが、以下のよう
に考えられる。 (A)黒化に寄与する物質の調査 一般に、ショートアーク型水銀放電ランプにおいては、
バルブ4の内表面の黒化は、電極材料であるタングステ
ンのスパッタによるものである。前記の点灯試験に用い
た各ランプの黒化部分を調べたところ、水銀3やゲッタ
8の材料であるジルコニウムが検出されたものがあっ
た。これらは、バルブ4の内表面の黒化する速度が速か
ったランプほど顕著であった。よって、黒化する速度の
相違にジルコニウムが寄与していることが判明した。
Although it is not always clear what mechanism causes the difference in the degree of blackening, it is considered as follows. (A) Investigation of substances contributing to blackening Generally, in a short arc type mercury discharge lamp,
The blackening of the inner surface of the bulb 4 is due to the sputtering of tungsten as an electrode material. When the blackened portion of each lamp used in the above-mentioned lighting test was examined, there were some lamps in which mercury 3 and zirconium as a material of the getter 8 were detected. These were more remarkable in a lamp in which the inner surface of the bulb 4 was blackened faster. Therefore, it was found that zirconium contributed to the difference in blackening speed.

【0010】さらに、ショートアーク型水銀放電ランプ
の製造工程が及ぼす影響について調査してみた。その結
果、陽極7、陰極6をシール後排気するチップがあるラ
ンプの方がチップレスランプより、バルブの内表面の黒
化する速度が遅いことが分かった。すなわち、シール時
に発生する酸素や水素などの不純ガスの量が、黒化する
速度の相違に影響を及ぼすことが分かった。
Further, the influence of the manufacturing process of the short arc type mercury discharge lamp was examined. As a result, it was found that a lamp having a chip that exhausts after sealing the anode 7 and the cathode 6 has a lower blackening speed of the inner surface of the bulb than a chipless lamp. That is, it was found that the amount of impurity gas such as oxygen or hydrogen generated at the time of sealing affects the difference in blackening speed.

【0011】(B)黒化のメカニズム 以上の調査により、バルブ4の内表面の黒化はゲッタ8
の材料であるジルコニウム、水銀3およびランプ製造時
にバルブ内に滞留する酸素または水素等の不純ガスが寄
与することが分かった。文献等によれば、ジルコニウム
と水銀3とは反応しないとされている。ところがバルブ
4の内表面の黒化部分からはジルコニウムと水銀が検出
された。これは特に、バルブ4の内表面下側において顕
著であった。通常ショートアーク型水銀放電ランプは、
陽極7側を下にして設置されるので、ここでいうバルブ
4の内表面下側とは、ゲッタ8を設置した陽極7の近傍
を意味する。そこで、バルブ4の内表面の黒化のメカニ
ズムは以下のように考えられる。 (1)まずゲッタ8に吸着された不純ガスがジルコニウ
ムと反応し、この結果生成された反応生成物である、例
えば酸化ジルコニウムや水素化ジルコニウムが水銀3と
アマルガムを形成する。 (2)次に、アマルガムが例えば保温膜の乾燥工程(炉
中750℃)では蒸発せず、水銀表面を流動する。 (3)ランプ消灯時には、凝固した水銀はバルブ4の下
側に集まり、バルブ4の内表面と接触している水銀3が
ゲッタ8とも接触している場合、前記アマルガムは水銀
3の表面を流動することによりバルブ4の内表面に至
る。その結果、バルブ4の内表面が黒化する。
(B) Mechanism of Blackening From the above investigation, it was found that the blackening of the inner surface of the bulb 4
It has been found that zirconium and mercury 3, which are the materials of the above, and impurity gases such as oxygen or hydrogen staying in the bulb during lamp production contribute. According to literatures, zirconium and mercury 3 do not react. However, zirconium and mercury were detected from the blackened portion on the inner surface of the bulb 4. This was particularly noticeable below the inner surface of the bulb 4. Normally, short arc type mercury discharge lamps are
Since the anode 7 is installed with the anode 7 side down, the lower side of the inner surface of the bulb 4 here means near the anode 7 where the getter 8 is installed. Therefore, the mechanism of blackening of the inner surface of the bulb 4 is considered as follows. (1) First, the impure gas adsorbed on the getter 8 reacts with zirconium, and the resulting reaction product, for example, zirconium oxide or zirconium hydride forms amalgam with mercury 3. (2) Next, the amalgam flows on the mercury surface without evaporating in, for example, a drying process of the heat retaining film (750 ° C. in a furnace). (3) When the lamp is turned off, the solidified mercury collects on the lower side of the bulb 4, and when the mercury 3 in contact with the inner surface of the bulb 4 is also in contact with the getter 8, the amalgam flows on the surface of the mercury 3. By doing so, the inner surface of the valve 4 is reached. As a result, the inner surface of the bulb 4 is blackened.

【0012】バルブ4の内表面から検出されたジルコニ
ウムは、当然ながらゲッタ8本体からのスパッタした分
も存在するであろうが、スパッタにより発生する黒化は
主にバルブ内表面の上側(陰極6側)に発生するので、
上記のようにメカニズムを考えると、バルブ4の内表面
下側の黒化部分から顕著にジルコニウムと水銀が検出さ
れたことや、設置時にバルブ内でゲッタ8と水銀3が接
触する形状のランプが接触しないランプよりバルブ4の
内表面が黒化する速度が速かったことの説明がつく。
Of course, zirconium detected from the inner surface of the bulb 4 may be sputtered from the body of the getter 8, but the blackening generated by the sputter mainly occurs on the upper side of the bulb inner surface (the cathode 6). Side)
Considering the mechanism as described above, zirconium and mercury are remarkably detected from the blackened portion below the inner surface of the bulb 4, and a lamp in which the getter 8 and the mercury 3 come into contact with each other in the bulb at the time of installation is obtained. It can be explained that the blackening speed of the inner surface of the bulb 4 was faster than that of the non-contacting lamp.

【0013】小型のランプにおいては、設計上バルブ4
内でゲッタ8と水銀3が接触する形状を取らざるを得な
い場合が多いので、上記のメカニズムにより照度劣化が
早いという問題点がある。そのため以下に示すような対
策を取ってみたが、いずれも満足な結果を得ることがで
きなかった。
In a small lamp, the bulb 4 is designed by design.
In many cases, the getter 8 and the mercury 3 must be in contact with each other, so that there is a problem that the illuminance is quickly deteriorated by the above mechanism. For this reason, the following countermeasures were taken, but none of them could provide satisfactory results.

【0014】(第1の対策及び結果)水銀3とゲッタ8
が接触しないようにするために、ゲッタ8を陽極7のよ
り先端部側に設置した。しかしながら、ゲッタ8をより
先端部側に設置した分、ゲッタ8が高温になって、ゲッ
タとしての最適温度域から外れ、不純ガスの吸着作用が
ほとんど無くなり、結果として、ランプの照度劣化が早
くなった。
(First Countermeasure and Result) Mercury 3 and Getter 8
The getter 8 was placed closer to the tip of the anode 7 in order to prevent the contact. However, since the getter 8 is located closer to the distal end, the temperature of the getter 8 becomes higher, the temperature is out of the optimum temperature range as the getter, and the adsorption action of the impurity gas is almost eliminated. Was.

【0015】(第2の対策及び結果)ゲッタ8が設置さ
れている陽極7自体の位置を変更した。しかしながら、
アーク放電の位置が当然のことながら変化し、場合によ
っては製品仕様を満足することができず、また、バルブ
4内部の温度バランスが変わって水銀の未蒸発が発生す
ることがあった。
(Second Countermeasure and Result) The position of the anode 7 on which the getter 8 is installed is changed. However,
Naturally, the position of the arc discharge changed, and in some cases, the product specifications could not be satisfied. Further, the temperature balance inside the bulb 4 changed, and the non-evaporation of mercury occurred in some cases.

【0016】(第3の対策及び結果)図5および図6に
示すシール工程時に使用するバーナーの火力を調整し
て、不純ガスの発生を抑制したり、各部品を予め加熱等
の前処理を施して吸着している不純ガスを除去して、シ
ール工程時にバルブ4内に混入する不純ガスの量の減少
を計った。しかしながら、バルブ4の内表面の黒化を抑
制することはできなっかった。
(Third Countermeasure and Results) The thermal power of the burner used in the sealing step shown in FIGS. 5 and 6 is adjusted to suppress the generation of impurity gas, and to perform a pretreatment such as heating each part in advance. The adsorbed impurity gas was removed to reduce the amount of the impurity gas mixed into the valve 4 during the sealing process. However, blackening of the inner surface of the bulb 4 could not be suppressed.

【0017】(第4の対策及び結果)また、バルブ4の
内容積を大きくして不純ガス濃度を減少させてみた。バ
ルブ4の内表面の黒化はある程度抑制することはできた
ものの、ランプの小型化の要請を当然ながら満足するこ
とがてきない。また、発明者の調査の結果、バルブ4の
内容積が単位電気入力当たり0.005cc/Wより大
きくなると、バルブ4内の水銀の未蒸発が発生すること
が分かった。
(Fourth Countermeasure and Result) Further, the internal volume of the valve 4 was increased to reduce the impurity gas concentration. Although the blackening of the inner surface of the bulb 4 could be suppressed to some extent, the demand for miniaturization of the lamp could not be satisfied naturally. Further, as a result of the investigation by the inventor, it has been found that when the internal volume of the bulb 4 becomes larger than 0.005 cc / W per unit electric input, the non-evaporation of mercury in the bulb 4 occurs.

【0018】本発明は、以上のような事情によりなされ
たものであって、その課題は、発明者が発見したバルブ
内表面の黒化のメカニズムに対応して、ゲッタ位置、陽
極位置、バーナーの火力調整、バルブ形状の変更等を行
うことなく、バルブ内表面の黒化を抑制して、長寿命の
小型のショートアーク型水銀放電ランプを提供すること
である。
The present invention has been made under the circumstances described above, and its object is to solve the problem of the blackening mechanism of the inner surface of the valve discovered by the inventor, in accordance with the getter position, the anode position, and the burner position. An object of the present invention is to provide a small, short-arc type mercury discharge lamp having a long service life by suppressing blackening of the inner surface of a bulb without adjusting the heating power or changing the bulb shape.

【0019】[0019]

【課題を解決するための手段】課題を解決するために、
この発明は、陰極およびゲッタが取り付けられた陽極と
がバルブ内に封設され、該バルブ内に水銀と希ガスとが
封入され、なおかつ、不純ガスとして酸素もしくは水素
が存在し、該バルブがチップレスバルブであって、該バ
ルブの内容積が単位電気入力当たり0.005cc/W
以下であり、室温(25℃標準)において陽極が下方に
位置するように保持したときに、前記ゲッタと前記水銀
とが接触するショートアーク型水銀放電ランプにおい
て、前記ゲッタの材質を、ランプ点灯時に、ゲッタと水
銀の二体反応、あるいは、ゲッタと水銀と酸素あるいは
ゲッタと水銀と水素との三体反応をしない物質としてタ
ンタルを選択したものである。
[Means for Solving the Problems] To solve the problems,
According to the present invention, a cathode and an anode to which a getter is attached are sealed in a bulb, mercury and a rare gas are sealed in the bulb , and oxygen or hydrogen is present as an impure gas, and the bulb is a chip. Valve.
The inner volume of the lube is 0.005cc / W per electric input
In a short arc type mercury discharge lamp in which the getter and the mercury contact each other when the anode is held at room temperature (standard at 25 ° C.) at room temperature (25 ° C. standard), the material of the getter is Substances that do not react with getter and mercury, or that do not react with getter and mercury and oxygen or getter with mercury and hydrogen .
Is selected.

【0020】[0020]

【0021】[0021]

【作用】先に述べたように発明者が発見した事実に基づ
くと、バルブの内表面の黒化は、不純ガスが介在してゲ
ッタ材の作るアマルガムによるものと考えられる。すな
わち水銀とゲッタが接触するかぎり回避することのでき
ない現象である。本発明において、バルブの内容積を単
位電気入力当たり0.005cc/W以下にし、ゲッタ
の材質を、ランプ点灯時に、ゲッタと水銀の二体反応、
あるいは、ゲッタと水銀と酸素あるいはゲッタ水銀と水
素との三体反応を反応しない物質に選択したので、バル
ブの内表面の黒化に寄与するアマルガムが形成されな
い。よって前記アマルガムによるバルブの内表面の黒化
は抑制される。すなわち請求項1の発明は、発明者によ
って初めて発見された問題点を解決することが可能であ
る。
As described above, based on the fact discovered by the inventor, it is considered that the blackening of the inner surface of the valve is caused by the amalgam formed by the getter material with the intervening impurity gas. That is, it is a phenomenon that cannot be avoided as long as the getter comes in contact with mercury. In the present invention, the inner volume of the bulb is set to 0.005 cc / W or less per unit electric input, and the material of the getter is changed to a two-body reaction between the getter and mercury when the lamp is turned on.
Alternatively, since a substance that does not react with the three-body reaction between getter and mercury and oxygen or between getter mercury and hydrogen is selected, amalgam contributing to blackening of the inner surface of the bulb is not formed. Therefore, blackening of the inner surface of the bulb by the amalgam is suppressed. That is, the invention of claim 1 can solve the problem first discovered by the inventor.

【0022】この発明において、前記ゲッタに使用する
物質としてタンタルを選択したものである。発明者の調
査によれば、ゲッタ材料としてタンタルを選択した場
合、バルブの内表面の黒化物質からは電極材料のタング
ステンは検出されたものの、タンタルは検出されなかっ
た。
In the present invention, tantalum is selected as the substance used for the getter. According to the inventors' investigation, when tantalum was selected as the getter material, tungsten as an electrode material was detected from the blackened substance on the inner surface of the bulb, but tantalum was not detected.

【0023】この発明において、バルブをチップレスバ
ルブにしたので、前記アマルガムによるバルブの内表面
の黒化は抑制されるとともに、ランプの小型化の要請を
実現することが可能となる。
In the present invention, since the bulb is a chipless bulb, blackening of the inner surface of the bulb due to the amalgam can be suppressed, and the demand for downsizing the lamp can be realized.

【0024】この発明において、バルブの内容積を単位
電気入力当たり0.005cc/W以下にしたもので、
前記アマルガムによるバルブの内表面の黒化は抑制され
るとともに、水銀の未蒸発といった不具合を回避するこ
とができる。
In the present invention, the internal volume of the valve is set to 0.005 cc / W or less per unit electric input.
Blackening of the inner surface of the bulb by the amalgam can be suppressed, and problems such as non-evaporation of mercury can be avoided.

【0025】[0025]

【実施例】図1に示すようなチップレスのショートアー
ク型水銀放電ランプにおいて、ゲッタの材質としてタン
タルおよびジルコニウムを選択して、バルブ4の内表面
の黒化具合を比較した。使用したランプの仕様は以下の
通りである。 ・種類 超高圧水銀ランプ ・電気入力 100W ・バルブの内容積 0.3cc (電極体積を除く) ・水銀封入量 1.5mcc ・電極間距離 0.5mm ・バルブの(単位電気入力当たり)内容積 0.003cc/W
EXAMPLE In a chipless short arc type mercury discharge lamp as shown in FIG. 1, tantalum and zirconium were selected as getter materials, and the degree of blackening of the inner surface of the bulb 4 was compared. The specifications of the lamp used are as follows.・ Type Ultra-high pressure mercury lamp ・ Electric input 100W ・ Bulb inner volume 0.3cc (excluding electrode volume) ・ Mercury filling amount 1.5mcc ・ Distance between electrodes 0.5mm ・ Bulb (per unit electric input) inner volume 0 .003cc / W

【0026】図2は、タンタルゲッタおよびジルコニウ
ムゲッタを使用し、電気入力100Wで上記の仕様の超
高圧水銀ランプを点灯したときの、黒化部分における相
対照度の時間的推移を表したものである。ここで、黒化
部分における相対照度は、ランプ点灯初期の照度をA、
黒化部分の照度をBとしたとき、(B/A)・100
(%)として定義した。また、点灯は陽極7が下方にな
るように設置した状態で行った。なお、各ランプは点灯
前、室温(25℃標準)において陽極が下方に位置する
ように保持したとき、水銀3とゲッタ8は接触する構成
である。結果として、300時間点灯したとき、タンタ
ルゲッタを使用したときは相対照度は75%程度を維持
した。それに対し、ジルコニウムゲッタを使用したとき
は相対照度は55%程度にまで減少した。よって、ゲッ
タ8の材質としては、不純ガスを介して水銀3とほとん
ど反応しない、例えば、タンタルのような物質を選択す
ることが有利であることが分かった。
FIG. 2 shows a temporal transition of relative illuminance in a blackened portion when a tantalum getter and a zirconium getter are used and an ultra-high pressure mercury lamp of the above specification is turned on at an electric input of 100 W. . Here, the relative illuminance in the blackened part is A,
When the illuminance of the blackened portion is B, (B / A) · 100
(%). In addition, lighting was performed in a state where the anode 7 was installed so as to face down. In addition, before each lamp is turned on, the mercury 3 and the getter 8 are configured to be in contact with each other when the anode is held at a room temperature (25 ° C. standard) so that the anode is located below. As a result, when lit for 300 hours, the relative illuminance was maintained at about 75% when tantalum getter was used. On the other hand, when the zirconium getter was used, the relative illuminance was reduced to about 55%. Therefore, it has been found that it is advantageous to select a material such as tantalum, which hardly reacts with the mercury 3 through the impurity gas, as the material of the getter 8.

【0027】また、バルブの内容積が0.003cc/
Wであるので、水銀の未蒸発といった不具合が起こらな
かった。さらに、バルブがチップレスであるので、顕微
鏡用光源として好適である。
Further, the inner volume of the valve is 0.003 cc /
Since it was W, no problem such as the non-evaporation of mercury occurred. Further, since the bulb is chipless, it is suitable as a light source for a microscope.

【0028】[0028]

【発明の効果】以上説明したように、本発明のショート
アーク型水銀放電ランプは、バルブの内容積が単位電気
入力当たり0.005cc/Wであり、ゲッタの材質
を、ゲッタと水銀の二体反応、あるいはゲッターと水銀
と酸素またはゲッタと水銀と水素との三体反応をしない
物質に選択したので、バルブの内表面の黒化に寄与する
アマルガムが形成されず、前記アマルガムによるバルブ
の内表面の黒化を抑制することができる。すなわち発明
者によって初めて発見された問題点に対応することが可
能である。
As described above, in the short arc type mercury discharge lamp of the present invention, the inner volume of the bulb is 0.005 cc / W per unit of electric input, and the material of the getter is two bodies of getter and mercury. Since a substance that does not react or cause a three-body reaction between getter and mercury and oxygen or between getter and mercury and hydrogen is selected, amalgam contributing to blackening of the inner surface of the valve is not formed, and the inner surface of the valve is formed by the amalgam. Blackening can be suppressed. That is, it is possible to deal with a problem first discovered by the inventor.

【0029】また、バルブをチップレスバルブにする
と、ランプの小型化の要請に対応でき、また、そのラン
プを装置に組み込んだ場合、光学系になんら影響を及ぼ
さないので、例えば、顕微鏡用光源として好適となる。
Further, if the bulb is a chipless bulb, it is possible to meet the demand for downsizing of the lamp, and if the lamp is incorporated in an apparatus, it has no effect on the optical system. It becomes suitable.

【0030】また、バルブの表面積を単位電気入力当た
り0.005cc/W以下にすると、水銀の未蒸発とい
った不具合をも回避することができる。
Further, when the surface area of the valve is set to 0.005 cc / W or less per unit electric input, it is possible to avoid a problem such as non-evaporation of mercury.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1はチップレスのショートアーク型水銀放電
ランプの構成を示す。
FIG. 1 shows a configuration of a chipless short arc type mercury discharge lamp.

【図2】図2は黒化部分における相対照度の時間的推移
を示す。
FIG. 2 shows a temporal transition of relative illuminance in a blackened portion.

【図3】図3はチップレスのショートアーク型水銀放電
ランプ製造時の本排気工程を示す。
FIG. 3 shows a main evacuation step when a chipless short arc type mercury discharge lamp is manufactured.

【図4】図4はチップレスのショートアーク型水銀放電
ランプ製造時の排気完了時を示す。
FIG. 4 shows the completion of evacuation when a chipless short arc type mercury discharge lamp is manufactured.

【図5】図5はチップレスのショートアーク型水銀放電
ランプ製造時の陽極側シール工程を示す。
FIG. 5 shows an anode-side sealing step in manufacturing a chipless short arc type mercury discharge lamp.

【図6】図6はチップレスのショートアーク型水銀放電
ランプ製造時の陰極側シール工程を示す。
FIG. 6 shows a cathode-side sealing step in manufacturing a chipless short arc type mercury discharge lamp.

【図7】図7はチップレスのショートアーク型水銀放電
ランプ製造時の保護膜乾燥工程を示す。
FIG. 7 shows a protective film drying step in manufacturing a chipless short arc type mercury discharge lamp.

【符号の簡単な説明】[Brief description of reference numerals]

1 口金 2 導電箔 3 水銀 4 バルブ 5 保温膜 6 陰極 7 陽極 8 ゲッタ 9 外部リード棒 10 炉 A 端部 B 端部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Cap 2 Conductive foil 3 Mercury 4 Bulb 5 Heat insulation film 6 Cathode 7 Anode 8 Getter 9 External lead rod 10 Furnace A end B end

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き 審査官 大森 伸一 (56)参考文献 特開 平2−5358(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01J 61/26 H01J 61/12 H01J 61/20 H01J 61/88 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing from the front page Examiner Shinichi Omori (56) References JP-A-2-5358 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H01J 61/26 H01J 61 / 12 H01J 61/20 H01J 61/88

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】陰極およびゲッタが取り付けられた陽極と
がバルブ内に封設され、 該バルブ内に水銀と希ガスとが封入され、なおかつ、不
純ガスとして酸素もしくは水素が存在し、該バルブがチップレスバルブであって、 該バルブの内容積が単位電気入力当たり0.005cc
/W以下であり、 室温(25℃標準)において陽極が下方に位置するよう
に保持したときに、前記ゲッタと前記水銀とが接触する
ショートアーク型水銀放電ランプにおいて、 前記ゲッタの材質を、ランプ点灯時に、ゲッタと水銀の
二体反応、あるいは、ゲッタと水銀と酸素あるいはゲッ
タと水銀と水素との三体反応をしない物質としてタンタ
ルを選択したことを特徴とするショートアーク型水銀放
電ランプ。
1. A cathode and an anode to which a getter is attached are sealed in a bulb, mercury and a rare gas are sealed in the bulb , and oxygen or hydrogen is present as an impure gas. A chipless valve having an inner volume of 0.005 cc per unit electric input.
/ W or less, in a short arc type mercury discharge lamp in which the getter and the mercury contact each other when the anode is held at a lower temperature at room temperature (25 ° C. standard), tantalum during lighting, two-body reaction of the getter and mercury, or a material not to three-body reaction of the getter and mercury and oxygen or getter and mercury and hydrogen
Short arc mercury discharge lamp, characterized in that the selected Le.
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