JP3139139B2 - Chip type piezoelectric resonator and manufacturing method thereof - Google Patents

Chip type piezoelectric resonator and manufacturing method thereof

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JP3139139B2
JP3139139B2 JP04172006A JP17200692A JP3139139B2 JP 3139139 B2 JP3139139 B2 JP 3139139B2 JP 04172006 A JP04172006 A JP 04172006A JP 17200692 A JP17200692 A JP 17200692A JP 3139139 B2 JP3139139 B2 JP 3139139B2
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  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、例えばチップ形のフ
ィルタやディスクリミネータ等として用いられるチップ
形圧電共振子およびその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a chip-type piezoelectric resonator used as, for example, a chip-type filter or discriminator, and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】図4は、従来のチップ形圧電共振子の一
例を示す分解斜視図である。このチップ形圧電共振子
は、チップ形圧電フィルタの場合の例であり、厚みすべ
り振動モードを利用するエネルギー閉じ込め型の二重モ
ードの圧電共振素子2をフィルタ素子として用いてい
る。
2. Description of the Related Art FIG. 4 is an exploded perspective view showing an example of a conventional chip type piezoelectric resonator. This chip-type piezoelectric resonator is an example of a chip-type piezoelectric filter, and uses an energy-trapping dual-mode piezoelectric resonance element 2 using a thickness-shear vibration mode as a filter element.

【0003】この圧電共振素子2は、短冊状の圧電基板
4の一方の主面に分割タイプの二つの振動電極6、7を
形成し、他方の主面に図5に示すように各振動電極6、
7と対向するように振動電極8、9をそれぞれ形成し、
かつ振動電極6〜9に端子電極10〜12を接続して成
る。
In this piezoelectric resonance element 2, two divided vibrating electrodes 6, 7 are formed on one main surface of a strip-shaped piezoelectric substrate 4, and each vibrating electrode is formed on the other main surface as shown in FIG. 6,
The vibrating electrodes 8 and 9 are formed so as to be opposed to 7, respectively.
In addition, the vibration electrodes 6 to 9 are connected to the terminal electrodes 10 to 12, respectively.

【0004】そして従来は、このような圧電共振素子2
を、共にセラミックス製の下ケース16と上蓋18から
成るケース14内に次のようにして収納して、チップ形
圧電共振子を製造していた。
Conventionally, such a piezoelectric resonance element 2
Are housed in a case 14 made of ceramics, both of which are composed of a lower case 16 and an upper lid 18 as follows, to produce a chip-type piezoelectric resonator.

【0005】即ち、下ケース16には、圧電共振素子2
を収納する凹部が形成されており、かつ圧電共振素子2
の各端子電極10〜12に対応する位置に引出し電極2
0〜22がスパッタ等によって形成されており、まずこ
の凹部内の引出し電極20〜22上の部分(図中にE〜
Gで示す部分)に導電接着剤(導電ペーストとも呼ばれ
る。以下同じ)を付与し、その上から圧電共振素子2を
入れる。
That is, the lower case 16 includes the piezoelectric resonance element 2
Is formed, and the piezoelectric resonance element 2
Extraction electrodes 2 at positions corresponding to the respective terminal electrodes 10 to 12
Nos. 0 to 22 are formed by sputtering or the like. First, portions on the extraction electrodes 20 to 22 in the concave portions (E to E in the drawing)
A conductive adhesive (also referred to as a conductive paste; the same applies hereinafter) is applied to the portion indicated by G, and the piezoelectric resonance element 2 is inserted from above.

【0006】次いで、この圧電共振素子2の両側の端子
電極10、11上に導電接着剤を更に付与して、両端子
電極10、11と引出し電極20、21との接続がより
確実になるようにする。その後、導電接着剤を加熱硬化
させる。
Next, a conductive adhesive is further applied to the terminal electrodes 10 and 11 on both sides of the piezoelectric resonance element 2 so that the connection between the terminal electrodes 10 and 11 and the extraction electrodes 20 and 21 is further ensured. To Thereafter, the conductive adhesive is cured by heating.

【0007】次いで、圧電共振素子2の不要振動のダン
ピングを行うために、圧電共振素子2の振動電極6、7
の部分にシリコーンゴムを付与し、かつその加熱硬化を
行う。
Next, in order to dampen unnecessary vibrations of the piezoelectric resonance element 2, the vibration electrodes 6, 7 of the piezoelectric resonance element 2 are provided.
Is applied with silicone rubber, and is cured by heating.

【0008】次いで、下ケース16の各引出し電極20
〜22に対応する位置に外部電極23〜25を焼付け等
によって予め形成しておいた上蓋18を、下ケース16
上に被せて接着する。そのようにしても、各引出し電極
20〜22は、その端部がケース14の側面に露出して
いる。
Next, each extraction electrode 20 of the lower case 16 is
The upper cover 18 in which the external electrodes 23 to 25 have been formed in advance at positions corresponding to
Put on and glue. Even so, each of the extraction electrodes 20 to 22 has its end exposed on the side surface of the case 14.

【0009】その後、このケース14の側面に、露出し
ている各引出し電極20〜22と上蓋18の各外部電極
23〜25とをそれぞれつなぐように、側面電極26〜
28をスパッタ等によって付与する。更に通常は、表面
の電極に対してメッキ仕上げを行う。
Thereafter, the side electrodes 26 to 22 are connected to the side surfaces of the case 14 so as to connect the exposed extraction electrodes 20 to 22 and the external electrodes 23 to 25 of the upper cover 18 respectively.
28 is provided by sputtering or the like. Further, usually, plating on the surface electrode is performed.

【0010】以上のような工程によって、チップ形圧電
共振子が得られる。
[0010] Through the above steps, a chip-type piezoelectric resonator can be obtained.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
なチップ形圧電共振子は、その下ケース16および上
蓋18がセラミックス製であり、しかも下ケース16は
凹部を有するためセラミックスの成型品であるため、ケ
ース14のコストが高い、引出し電極20〜22も複
雑な形状をしていてスパッタや真空蒸着で形成しなけれ
ばならないため電極形成のコストが高い、製造の工数
が多い、等の理由で非常に高価であるという問題があ
る。
However, in the above-described chip type piezoelectric resonator, the lower case 16 and the upper lid 18 are made of ceramics, and the lower case 16 has a concave portion, so that it is a molded product of ceramics. For this reason, the cost of the case 14 is high, the extraction electrodes 20 to 22 also have a complicated shape and must be formed by sputtering or vacuum deposition, so that the cost of electrode formation is high, and the number of manufacturing steps is large. There is a problem that it is very expensive.

【0012】また、ケース14を使用しているために、
形状が大きく重さも重いという問題もある。
Further, since the case 14 is used,
There is also a problem that the shape is large and heavy.

【0013】更に、圧電共振素子2の不要振動のダンピ
ングをシリコーンゴムで行うようにしているが、シリコ
ーンゴムでは振動電極部以外に漏れている振動をダンピ
ングできないため、特性波形にリップルや大きなスプリ
アスが表れて、特性が良くないという問題もある。
Further, damping of unnecessary vibration of the piezoelectric resonance element 2 is performed with silicone rubber. However, with silicone rubber, vibrations leaking to portions other than the vibrating electrode portion cannot be damped, so that ripples and large spurs appear in the characteristic waveform. There is also a problem that the characteristics are not good.

【0014】そこでこの発明は、小型軽量で特性が良
く、しかも安価なチップ形圧電共振子およびその製造方
法を提供することを主たる目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is a main object of the present invention to provide a chip-type piezoelectric resonator which is small and lightweight, has good characteristics, and is inexpensive, and a method of manufacturing the same.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明のチップ形圧電共振子は、振動電極および
それにつながる複数の端子電極を有する圧電共振素子
を、この圧電共振素子の各端子電極に対応する位置に引
出し電極を有する絶縁基板上に載せて、圧電共振素子の
各端子電極とこの絶縁基板の各引出し電極とを導電接合
材によってそれぞれ導電接合し、かつ圧電共振素子の振
動電極部分を覆うようにゴム状弾性体を付与したもの
を、電気絶縁性の外装樹脂でモールドしてチップ部品と
しており、更にこのチップ部品の表面であって内部の絶
縁基板の各引出し電極に対応する位置に外部電極を付与
し、かつこのチップ部品の側面に、表面の各外部電極と
内部の絶縁基板の各引出し電極とをそれぞれつなぐよう
に側面電極を付与した構造をしていることを特徴とす
る。
In order to achieve the above object, a chip-type piezoelectric resonator according to the present invention includes a piezoelectric resonator having a vibration electrode and a plurality of terminal electrodes connected to the vibration electrode. Are placed on an insulating substrate having an extraction electrode at a position corresponding to, and each terminal electrode of the piezoelectric resonance element and each extraction electrode of the insulation substrate are electrically conductively bonded by a conductive bonding material, respectively, and a vibration electrode portion of the piezoelectric resonance element. A chip-shaped part is formed by molding a rubber-like elastic body so as to cover the chip part with an electrically insulating exterior resin, and further on the surface of the chip part and at a position corresponding to each lead electrode of the internal insulating substrate. And a side electrode is provided on the side surface of the chip component so as to connect each external electrode on the surface and each extraction electrode of the internal insulating substrate. Characterized in that it a.

【0016】また、この発明の製造方法は、振動電極お
よびそれにつながる複数の端子電極をそれぞれ有し互い
に同じ構造をした複数の圧電共振素子を、この圧電共振
素子の各端子電極に対応する位置に引出し電極を有する
絶縁基板上に載せ、各圧電共振素子の各端子電極とこの
絶縁基板の各引出し電極とを導電接合材によってそれぞ
れ導電接合し、更に各圧電共振素子の振動電極部分をそ
れぞれ覆うようにゴム状弾性体を付与し、このようにし
てできたものを電気絶縁性の外装樹脂でモールドし、そ
の後このモールド品の表面であって内部の絶縁基板の各
引出し電極に対応する位置に外部電極を付与し、更にこ
のモールド品を圧電共振素子ごとに切り分けて複数のチ
ップ部品にし、更にこの各チップ部品の切断面に、表面
の各外部電極と内部の絶縁基板の各引出し電極とをそれ
ぞれつなぐように側面電極を付与することを特徴とす
る。
Further, according to the manufacturing method of the present invention, a plurality of piezoelectric resonance elements having a vibration electrode and a plurality of terminal electrodes connected to the vibration electrode and having the same structure are provided at positions corresponding to the respective terminal electrodes of the piezoelectric resonance element. Each terminal electrode of each piezoelectric resonance element is placed on an insulating substrate having an extraction electrode, and each terminal electrode of each piezoelectric resonance element is electrically conductively bonded to each extraction electrode of the insulating substrate by a conductive bonding material, and further covers the vibration electrode portion of each piezoelectric resonance element. A rubber-like elastic body is applied to the molded product, and the resulting product is molded with an electrically insulating exterior resin, and then externally placed on the surface of the molded product at a position corresponding to each lead electrode of the internal insulating substrate. Electrodes are applied, and the molded product is cut into a plurality of chip components by each piezoelectric resonance element. Characterized by the insulating substrate and each lead electrode impart side electrodes so as to connect respectively.

【0017】[0017]

【作用】上記チップ形圧電共振子は、従来のようにセラ
ミックス製のケースを使用せずに、外装樹脂で圧電共振
素子等をモールドした構造をしているので、小型軽量と
なる。
The chip-type piezoelectric resonator has a structure in which a piezoelectric resonance element or the like is molded with an exterior resin without using a ceramic case as in the related art, so that it is small and light.

【0018】また、上記構造の方が、従来のセラミック
ス製のケースを使用する場合よりも、外装材料(部品)
のコスト、電極形成のコストおよび組立コストが安くな
り、従って全体としても非常に安価となる。
In addition, the above-mentioned structure is better than the case where a conventional ceramic case is used.
, The cost of forming the electrodes, and the cost of assembling are reduced, and thus the overall cost is very low.

【0019】また、上記構造では、内部の圧電共振素子
の、ゴム状弾性体を付与した振動電極部以外の部分に外
装樹脂が密着して十分にダンピングをかけることができ
るため、不要振動を抑制して、リップルの少ない、かつ
スプリアスの抑圧が十分にかけられた、良好な特性を得
ることができる。
Further, in the above structure, the exterior resin can be sufficiently adhered to a portion of the internal piezoelectric resonance element other than the vibration electrode portion provided with the rubber-like elastic body to sufficiently dampen, thereby suppressing unnecessary vibration. As a result, good characteristics with little ripple and sufficient suppression of spurious can be obtained.

【0020】また、上記製造方法によれば、上記のよう
な優れた特徴を有する多数のチップ形圧電共振子を一括
して能率良く製造することができるので、チップ形圧電
共振子の一層のコストダウンを図ることができる。
Further, according to the above-described manufacturing method, a large number of chip-type piezoelectric resonators having the above-described excellent characteristics can be manufactured at a time with high efficiency. Down can be planned.

【0021】[0021]

【実施例】図1は、この発明に係るチップ形圧電共振子
の一例を示す概略斜視図である。このチップ形圧電共振
子は、内部の詳細構造は後で図2および図3を参照して
説明するが、前述したような圧電共振素子2(この図1
には表れていない)を、その各端子電極10〜12に対
応する位置に引出し電極32〜34を有する絶縁基板
(例えばセラミック基板)30上に載せて、圧電共振素
子2の各端子電極10〜12とこの絶縁基板30の各引
出し電極32〜34とを導電接着剤あるいは半田等の導
電接合材によって導電接合し、かつ圧電共振素子2の振
動電極6、7の部分を覆うようにシリコーンゴム等のゴ
ム状弾性体を付与したものを、例えばエポキシ樹脂のよ
うな電気絶縁性の外装樹脂40でモールドしてチップ部
品としており、更にこのチップ部品の表面であって内部
の絶縁基板30の各引出し電極32〜34に対応する位
置に外部電極42〜44を付与し、かつこのチップ部品
の表面に、内部の絶縁基板30の各引出し電極32〜3
4と、表面の外部電極42〜44とをそれぞれつなぐよ
うに側面電極52〜54を付与した構造をしている。
FIG. 1 is a schematic perspective view showing an example of a chip-type piezoelectric resonator according to the present invention. The internal structure of this chip-type piezoelectric resonator will be described later with reference to FIGS. 2 and 3.
Is placed on an insulating substrate (for example, a ceramic substrate) 30 having extraction electrodes 32 to 34 at positions corresponding to the respective terminal electrodes 10 to 12, and the respective terminal electrodes 10 to 10 of the piezoelectric resonance element 2 are placed. 12 and the lead electrodes 32 to 34 of the insulating substrate 30 are conductively bonded by a conductive bonding material such as a conductive adhesive or solder, and silicone rubber or the like is formed so as to cover the vibrating electrodes 6 and 7 of the piezoelectric resonance element 2. The rubber-like elastic body is molded with an electrically insulating exterior resin 40 such as an epoxy resin to form a chip component. External electrodes 42 to 44 are provided at positions corresponding to the electrodes 32 to 34, and the lead electrodes 32 to 3 of the internal insulating substrate 30 are provided on the surface of the chip component.
4 and side electrodes 52 to 54 so as to connect the external electrodes 42 to 44 on the surface, respectively.

【0022】次に、上記のようなチップ形圧電共振子の
製造方法の一例を図2および図3を参照して説明する。
Next, an example of a method of manufacturing the above-described chip-type piezoelectric resonator will be described with reference to FIGS.

【0023】まず、例えば図4および図5で説明したよ
うな、振動電極6〜9およびそれにつながる複数の端子
電極10〜12をそれぞれ有し互いに同じ構造をした複
数の圧電共振素子2を用意する。
First, a plurality of piezoelectric resonance elements 2 having the same structure as each other having the vibrating electrodes 6 to 9 and the plurality of terminal electrodes 10 to 12 connected thereto, as described with reference to FIGS. 4 and 5, for example, are prepared. .

【0024】また、図2Aに示すような、上記圧電共振
素子2の各端子電極10〜12に対応する位置に引出し
電極32〜34を細長く、例えば導電ペーストの印刷、
焼付け等によって形成した絶縁基板(例えばセラミック
基板)30を用意する。
Further, as shown in FIG. 2A, the extraction electrodes 32 to 34 are elongated at positions corresponding to the terminal electrodes 10 to 12 of the piezoelectric resonance element 2, for example, by printing a conductive paste.
An insulating substrate (for example, a ceramic substrate) 30 formed by baking or the like is prepared.

【0025】そして、図2Bに示すように、複数の圧電
共振素子2をこの絶縁基板30上に並べて載せる。な
お、図2BおよびCでは、中間部分の圧電共振素子2は
図示を省略している。
Then, as shown in FIG. 2B, a plurality of piezoelectric resonance elements 2 are placed side by side on the insulating substrate 30. 2B and 2C, illustration of the piezoelectric resonance element 2 in the middle portion is omitted.

【0026】そして、各圧電共振素子2の各端子電極1
0〜12の部分に導電接着剤36を塗布し焼付け硬化さ
せて、各端子電極10〜12と絶縁基板30の各引出し
電極32〜34とをこの導電接着剤36によってそれぞ
れ導電接合する。なお、中央の端子電極12部分の導電
接着剤34は、実際上は、圧電共振素子2を載せる前に
引出し電極34上に塗布しておくことになる。これらは
半田ペーストで半田接続しても良い。
Each terminal electrode 1 of each piezoelectric resonance element 2
A conductive adhesive 36 is applied to portions 0 to 12 and baked and hardened, and the terminal electrodes 10 to 12 and the extraction electrodes 32 to 34 of the insulating substrate 30 are conductively bonded by the conductive adhesive 36, respectively. Note that the conductive adhesive 34 in the central terminal electrode 12 portion is actually applied on the extraction electrode 34 before the piezoelectric resonance element 2 is mounted. These may be connected by soldering with a solder paste.

【0027】更に、図2Cに示すように、各圧電共振素
子2の振動電極6、7の部分をそれぞれ覆うように、例
えばシリコーンゴムのようなゴム状弾性体38を付与し
硬化させる。
Further, as shown in FIG. 2C, a rubber-like elastic body 38 such as silicone rubber is applied and cured so as to cover the vibrating electrodes 6 and 7 of each piezoelectric resonance element 2 respectively.

【0028】そして、上記のようにしてできたものを、
図3Aに示すように、例えばエポキシ樹脂のような電気
絶縁性の外装樹脂40でモールド(成型)する。
Then, the product made as described above is
As shown in FIG. 3A, for example, molding is performed with an electrically insulating exterior resin 40 such as an epoxy resin.

【0029】その後、このモールド品の表面であって内
部の前述した絶縁基板30の各引出し電極32〜34に
対応する位置に、外部電極42〜44を細長く、例えば
導電ペーストの印刷、焼付け等によって形成する。な
お、この外部電極42〜44は、この例ではモールド品
の一方の主面にのみ形成しているが、必要に応じて他方
の主面にも形成しても良い。また、この外部電極42〜
44に使用する導電ペーストは、例えば150〜160
℃程度の温度で焼付け硬化が可能であり、かつ硬化後は
半田付け可能なものにする。そのようにすれば、外部電
極42〜44の焼付け時の熱で外装樹脂40に悪影響を
与えることがなく、また特にメッキ等を施さなくて済
む。
Thereafter, the external electrodes 42 to 44 are elongated at positions on the surface of the molded product corresponding to the respective extraction electrodes 32 to 34 of the insulating substrate 30 by, for example, printing or baking of a conductive paste. Form. In this example, the external electrodes 42 to 44 are formed only on one main surface of the molded product, but may be formed on the other main surface as needed. In addition, the external electrodes 42 to
The conductive paste used for 44 is, for example, 150 to 160
Baking and hardening can be performed at a temperature of about ° C, and after hardening, solderable. By doing so, heat at the time of baking of the external electrodes 42 to 44 does not adversely affect the exterior resin 40, and it is not particularly necessary to perform plating or the like.

【0030】更にこのモールド品を、圧電共振素子2ご
とに切り分けて複数のチップ部品にする。より具体的に
は、図3A中の線48に沿って切断する。また、左右両
端部に丸みが残って不都合な場合は、その部分を線46
に沿って切断除去しても良い。この実施例ではそのよう
にする。
Further, the molded product is cut into a plurality of chip parts by dividing the piezoelectric resonance element 2 into pieces. More specifically, the cutting is performed along the line 48 in FIG. 3A. If the left and right ends are inconvenient due to remaining roundness, the portion is drawn by a line 46.
May be cut and removed along. This is the case in this embodiment.

【0031】以上の工程によって、図3Bに示すような
複数のチップ部品が一括して得られる。このチップ部品
の切断面である側面には、内部の絶縁基板30上の引出
し電極32〜34が露出している。
Through the above steps, a plurality of chip components as shown in FIG. 3B are obtained collectively. The extraction electrodes 32 to 34 on the internal insulating substrate 30 are exposed on the side surface, which is the cut surface of the chip component.

【0032】更に、上記各チップ部品の切断面(この例
では両方の切断面)に、図1に示すように、内部の絶縁
基板30の各引出し電極32〜34と表面の各外部電極
42〜44とをそれぞれつなぐように側面電極52〜5
4を、例えば導電ペーストの印刷、焼付け等によって付
与する。
Further, as shown in FIG. 1, each of the extraction electrodes 32 to 34 of the internal insulating substrate 30 and each of the external electrodes 42 to 34 on the surface are provided on the cut surfaces (both cut surfaces in this example) of the chip components. 44 to connect the side electrodes 52 to 5 respectively.
4 is applied by, for example, printing or baking of a conductive paste.

【0033】以上のような工程によって、図1に示すよ
うな複数のチップ形圧電共振子を一括して製造すること
ができる。
Through the steps described above, a plurality of chip-type piezoelectric resonators as shown in FIG. 1 can be manufactured at once.

【0034】従来のセラミックス製のケース14を使用
したチップ形圧電共振子では、機械的強度等の点でケー
ス14にある程度の厚みを持たせなければならず、また
その凹部内に圧電共振素子2をある程度の余裕を持って
収納しなければならないため、小型化、軽量化が難しか
ったが、この発明のチップ形圧電共振子は、セラミック
ス製のケースを使用せずに、外装樹脂40で圧電共振素
子2および絶縁基板30をモールドした構造をしてお
り、しかも外装樹脂40の厚みはあまり大きくする必要
がないので、小型になる。また、外装樹脂40はセラミ
ックス製のケースに比べれば遙かに軽いので、軽量にも
なる。
In the conventional chip type piezoelectric resonator using the ceramic case 14, the case 14 must have a certain thickness in terms of mechanical strength and the like, and the piezoelectric resonance element 2 However, the chip-type piezoelectric resonator of the present invention does not use a ceramic case, but uses the exterior resin 40 to provide a piezoelectric resonator. It has a structure in which the element 2 and the insulating substrate 30 are molded, and the thickness of the exterior resin 40 does not need to be so large. Further, since the exterior resin 40 is much lighter than the case made of ceramics, the weight is also reduced.

【0035】また、従来のケース14、特にその下ケー
ス16はセラミックスの成型品であるため高価であった
が、それに比べれば外装樹脂40は安価であり、加工も
しやすい。また、内部の引出し電極の形成についても、
従来例では下ケース16の形状が複雑なためスパッタや
真空蒸着を用いる必要があったが、この発明では平板状
の絶縁基板30上に印刷等によって形成できるので電極
形成のコストも安くなる。従って、チップ形圧電共振子
全体として見ても、大幅なコストダウンが可能になる。
The conventional case 14, especially the lower case 16, is expensive because it is a molded product of ceramics. However, the exterior resin 40 is inexpensive and easy to process. Also, regarding the formation of the internal extraction electrode,
In the conventional example, the lower case 16 had a complicated shape, so that it was necessary to use sputtering or vacuum deposition. However, in the present invention, since the lower case 16 can be formed on the flat insulating substrate 30 by printing or the like, the cost of electrode formation is reduced. Therefore, a significant cost reduction can be achieved even as a whole of the chip-type piezoelectric resonator.

【0036】また、この発明のチップ形圧電共振子で
は、外装樹脂40で内部の圧電共振素子2にダンピング
をかけることができるので、即ち圧電共振素子2のゴム
状弾性体38を付与した振動電極部以外の部分に外装樹
脂40が密着して十分にダンピングをかけることができ
るので、振動電極部以外に漏れている振動は外装樹脂4
0によって十分にダンピングされ、それによって圧電共
振素子2の不要振動が抑制され、リップルの少ない、か
つスプリアスの抑圧が十分にかけられた、良好な特性を
得ることができる。
In the chip-type piezoelectric resonator of the present invention, since the internal piezoelectric resonance element 2 can be damped by the exterior resin 40, that is, the vibration electrode having the rubber-like elastic body 38 of the piezoelectric resonance element 2 is provided. Since the exterior resin 40 is in close contact with portions other than the portion and can be sufficiently damped, vibrations leaking to portions other than the vibrating electrode portion can be prevented.
0 provides sufficient damping, whereby unnecessary vibration of the piezoelectric resonance element 2 is suppressed, and good characteristics with little ripple and sufficient suppression of spurious can be obtained.

【0037】また、上記のような製造方法によれば、上
記のような優れた特性を有する多数のチップ形圧電共振
子を一括して能率良く製造することができるので、チッ
プ形圧電共振子の一層のコストダウンを図ることができ
る。
Further, according to the above-described manufacturing method, a large number of chip-type piezoelectric resonators having the above-described excellent characteristics can be manufactured at a time with high efficiency. Further cost reduction can be achieved.

【0038】なお、内部に収納する圧電共振素子は、上
記圧電共振素子2以外の構造のものでも良いのは勿論で
ある。
It should be noted that the piezoelectric resonance element housed inside may have a structure other than the piezoelectric resonance element 2 described above.

【0039】また、前述した外装樹脂40としては、電
子部品のディッピング樹脂として広く実用化されてい
る、溶剤にて液状にした熱硬化型樹脂が好適である。こ
のようなものは、圧電共振素子2への密着力が十分にあ
り、しかも圧電共振素子2への応力緩和も、樹脂成分に
応力緩和剤、例えばシリカやタルク等の充填剤が適正混
練されていて問題のないように設計されている。更に、
樹脂成分としてはエポキシ樹脂であって高耐熱性を有し
ており、更に樹脂を構成する各素材の品質、量によって
熱膨張係数も低く抑えられている。
As the above-mentioned exterior resin 40, a thermosetting resin liquidized with a solvent, which is widely used as a dipping resin for electronic parts, is preferable. Such a material has a sufficient adhesive force to the piezoelectric resonance element 2, and also reduces stress to the piezoelectric resonance element 2 by appropriately kneading a resin component with a stress relaxation agent, for example, a filler such as silica or talc. And designed to be problem-free. Furthermore,
The resin component is an epoxy resin, which has high heat resistance, and the coefficient of thermal expansion is kept low depending on the quality and quantity of each material constituting the resin.

【0040】[0040]

【発明の効果】以上のようにこのチップ形圧電共振子
は、従来のようにセラミックス製のケースを使用せず
に、外装樹脂で圧電共振素子等をモールドした構造をし
ているので、小型軽量となる。
As described above, this chip-type piezoelectric resonator has a structure in which a piezoelectric resonance element or the like is molded with an exterior resin without using a ceramic case as in the prior art. Becomes

【0041】また、従来のセラミックス製のケースを使
用する場合よりも、外装材料のコスト、電極形成のコス
トおよび組立コストが安くなり、従って全体としても非
常に安価となる。
Further, as compared with the case where a conventional ceramic case is used, the cost of the exterior material, the cost of forming the electrodes and the cost of assembling are reduced, so that the cost as a whole is very low.

【0042】更に、内部の圧電共振素子に、ゴム状弾性
体だけでなく、外装樹脂によっても十分にダンピングを
かけることができるため、不要振動を抑制して、リップ
ルの少ない、かつスプリアスの抑圧が十分にかけられ
た、良好な特性を得ることができる。
Further, since the internal piezoelectric resonance element can be sufficiently damped not only with the rubber-like elastic body but also with the exterior resin, unnecessary vibration is suppressed, ripples are reduced, and spurious is suppressed. Sufficient and good properties can be obtained.

【0043】また、この発明の製造方法によれば、上記
のような優れた特徴を有する多数のチップ形圧電共振子
を一括して能率良く製造することができるので、チップ
形圧電共振子の一層のコストダウンを図ることができ
る。
Further, according to the manufacturing method of the present invention, a large number of chip-type piezoelectric resonators having the above-mentioned excellent characteristics can be manufactured at a time with high efficiency. Cost can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明に係るチップ形圧電共振子の一例を示
す概略斜視図である。
FIG. 1 is a schematic perspective view showing an example of a chip-type piezoelectric resonator according to the present invention.

【図2】この発明に係る製造方法の工程を示す図であ
る。
FIG. 2 is a diagram showing steps of a manufacturing method according to the present invention.

【図3】この発明に係る製造方法の工程を示す図であ
り、これは図2に続くものである。
FIG. 3 is a view showing a step of a manufacturing method according to the present invention, which is a continuation of FIG. 2;

【図4】従来のチップ形圧電共振子の一例を示す分解斜
視図である。
FIG. 4 is an exploded perspective view showing an example of a conventional chip-type piezoelectric resonator.

【図5】図4中の圧電共振素子の裏面図である。FIG. 5 is a rear view of the piezoelectric resonance element in FIG. 4;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 圧電共振素子 4 圧電基板 6〜9 振動電極 10〜12 端子電極 30 絶縁基板 32〜34 引出し電極 36 導電接着剤 38 ゴム状弾性体 40 外装樹脂 42〜44 外部電極 52〜54 側面電極 Reference Signs List 2 piezoelectric resonance element 4 piezoelectric substrate 6-9 vibrating electrode 10-12 terminal electrode 30 insulating substrate 32-34 extraction electrode 36 conductive adhesive 38 rubbery elastic body 40 exterior resin 42-44 external electrode 52-54 side electrode

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平4−77011(JP,A) 特開 昭63−104508(JP,A) 特開 平4−91510(JP,A) 特開 平1−228310(JP,A) 実開 平4−43018(JP,U) 実開 平4−34013(JP,U) 実開 平3−120119(JP,U) 実開 平2−5923(JP,U) 実開 昭62−141213(JP,U) 実開 昭62−26924(JP,U) 実開 平2−134734(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H03H 9/00 - 9/215 H03H 9/54 - 9/60 H03H 3/00 - 3/04 Continuation of the front page (56) References JP-A-4-77011 (JP, A) JP-A-63-104508 (JP, A) JP-A-4-91510 (JP, A) JP-A-1-228310 (JP) , A) Japanese Utility Model 4-43018 (JP, U) Japanese Utility Model 4-34013 (JP, U) Japanese Utility Model 3-120119 (JP, U) Japanese Utility Model 2-5923 (JP, U) Japanese Utility Model Akira Japanese Utility Model 62-141213 (JP, U) Japanese Utility Model Showa 62-26924 (JP, U) Japanese Utility Model Application 2-134734 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H03H 9/00 -9/215 H03H 9/54-9/60 H03H 3/00-3/04

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 振動電極およびそれにつながる複数の端
子電極を有する圧電共振素子を、この圧電共振素子の各
端子電極に対応する位置に引出し電極を有する絶縁基板
上に載せて、圧電共振素子の各端子電極とこの絶縁基板
の各引出し電極とを導電接合材によってそれぞれ導電接
合し、かつ圧電共振素子の振動電極部分を覆うようにゴ
ム状弾性体を付与したものを、電気絶縁性の外装樹脂で
モールドしてチップ部品としており、更にこのチップ部
品の表面であって内部の絶縁基板の各引出し電極に対応
する位置に外部電極を付与し、かつこのチップ部品の側
面に、表面の各外部電極と内部の絶縁基板の各引出し電
極とをそれぞれつなぐように側面電極を付与した構造を
していることを特徴とするチップ形圧電共振子。
A piezoelectric resonance element having a vibration electrode and a plurality of terminal electrodes connected thereto is placed on an insulating substrate having a lead electrode at a position corresponding to each terminal electrode of the piezoelectric resonance element. A terminal electrode and each lead electrode of the insulating substrate are conductively bonded by a conductive bonding material, respectively, and a rubber-like elastic body is provided so as to cover a vibrating electrode portion of the piezoelectric resonance element. An external electrode is provided at a position corresponding to each extraction electrode of the internal insulating substrate on the surface of the chip component, and each external electrode on the surface is provided on a side surface of the chip component. A chip-type piezoelectric resonator having a structure in which side electrodes are provided so as to connect to respective extraction electrodes of an internal insulating substrate.
【請求項2】 振動電極およびそれにつながる複数の端
子電極をそれぞれ有し互いに同じ構造をした複数の圧電
共振素子を、この圧電共振素子の各端子電極に対応する
位置に引出し電極を有する絶縁基板上に載せ、各圧電共
振素子の各端子電極とこの絶縁基板の各引出し電極とを
導電接合材によってそれぞれ導電接合し、更に各圧電共
振素子の振動電極部分をそれぞれ覆うようにゴム状弾性
体を付与し、このようにしてできたものを電気絶縁性の
外装樹脂でモールドし、その後このモールド品の表面で
あって内部の絶縁基板の各引出し電極に対応する位置に
外部電極を付与し、更にこのモールド品を圧電共振素子
ごとに切り分けて複数のチップ部品にし、更にこの各チ
ップ部品の切断面に、表面の各外部電極と内部の絶縁基
板の各引出し電極とをそれぞれつなぐように側面電極を
付与することを特徴とするチップ形圧電共振子の製造方
法。
2. An insulating substrate having a plurality of piezoelectric resonance elements each having a vibration electrode and a plurality of terminal electrodes connected to the vibration electrode and having the same structure and having a lead electrode at a position corresponding to each terminal electrode of the piezoelectric resonance element. And each terminal electrode of each piezoelectric resonance element and each lead electrode of this insulating substrate are conductively bonded by a conductive bonding material, and a rubber-like elastic body is provided so as to cover the vibration electrode portion of each piezoelectric resonance element. Then, the resulting product is molded with an electrically insulating exterior resin, and then external electrodes are provided on the surface of the molded product at positions corresponding to the respective extraction electrodes of the internal insulating substrate. The molded product is cut into a plurality of chip components for each piezoelectric resonance element. Characterized in that side electrodes are provided so as to connect the piezoelectric resonators to each other.
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