JP3137772B2 - Magnetic disk drive and evaluation method thereof - Google Patents

Magnetic disk drive and evaluation method thereof

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JP3137772B2
JP3137772B2 JP04293210A JP29321092A JP3137772B2 JP 3137772 B2 JP3137772 B2 JP 3137772B2 JP 04293210 A JP04293210 A JP 04293210A JP 29321092 A JP29321092 A JP 29321092A JP 3137772 B2 JP3137772 B2 JP 3137772B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、大記憶容量の磁気ディ
スク装置及びその評価方法に係り、特に、磁気ディスク
装置の性能劣化の指標となる、この磁気ディスク装置内
でのガスの発生状況を調べるようにした磁気ディスク装
置及びその評価方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic disk drive having a large storage capacity and a method for evaluating the same, and more particularly, to the generation of gas in the magnetic disk drive, which is an index of performance deterioration of the magnetic disk drive. The present invention relates to a magnetic disk device to be checked and an evaluation method thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、磁気ディスク装置を大容量化す
るためには、磁気ヘッド/磁気ディスク間のスペーシン
グと狭小化することが不可欠である。ところが、それに
伴ってヘッド/ディスク間の接触頻度や摩擦の頻度が増
大し、また微量の混入ガスの影響を受けやすくなり、磁
気ディスク装置の信頼性の維持上、重大な問題になって
いる。信頼性を維持するために、ヘッド/ディスクの摺
動に関しての研究が重ねられており、ヘッド、ディスク
双方に対して様々な改良が加えられている。例えば、
“Tribology and Mechanics
of Magnetic Storage Devic
es”(B.Bhushan編、Springer−V
erlag,New York,1990)334頁〜
337頁などに示されているように、ヘッドが浮上しな
いような遅い速度でディスクを回転させて摩耗速度や摩
擦力を測定する方法や、ヘッドにAEセンサ、ピエゾ素
子などの接触振動検出素子を搭載して浮上状態を調べる
方法などによって摺動現象を解析し、設計にフィードバ
ックをかける、ということが行われている。また、ヘッ
ドやディスクに手を加えずに、非接触、非破壊で分析す
る手法、例えば赤外線吸収分光法やエリプソメトリー、
摺動時に発生するガスの分析なども、現象解析に有効な
手段として実験レベルでは使用されている。特に質量分
析計によるガスの分析は有効であり、1992年の日本
潤滑学会トライボロジー会議予稿集の第491頁〜第4
94頁には、真空槽内でディスクの摺動実験を行い、発
生するガスを質量分析計で分析した結果が報告されてい
る。
2. Description of the Related Art Generally, in order to increase the capacity of a magnetic disk drive, it is indispensable to reduce the spacing between the magnetic head and the magnetic disk and to reduce the space. However, accompanying this, the frequency of contact between the head and the disk and the frequency of friction increase, and it becomes susceptible to a small amount of mixed gas, which is a serious problem in maintaining the reliability of the magnetic disk device. In order to maintain reliability, research on the sliding of the head / disk has been repeated, and various improvements have been made to both the head and the disk. For example,
“Tribology and Mechanics
of Magnetic Storage Device
es "(edited by B. Bushan, Springer-V
erlag, New York, 1990) p.
As shown on page 337 or the like, a method of measuring a wear speed or a frictional force by rotating a disk at a low speed so that the head does not float, or a method of detecting a contact vibration detecting element such as an AE sensor or a piezo element on the head. It has been practiced to analyze sliding phenomena by a method of mounting and examining a floating state, and to provide feedback to a design. In addition, non-contact, non-destructive analysis methods, such as infrared absorption spectroscopy, ellipsometry,
Analysis of gas generated during sliding is also used at the experimental level as an effective means for analyzing phenomena. In particular, gas analysis by a mass spectrometer is effective.
On page 94, the results of a disk sliding test performed in a vacuum chamber and the generated gas analyzed by a mass spectrometer are reported.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では、多
くの場合、摺動現象の解析に、特殊なヘッドあるいは特
殊な稼動条件が必要であり、実験の磁気ディスク装置で
生じている現象をそのまま直接解析することはできな
い。例えば、摺動時に発生するガスの質量分析は有効な
手段ではあるが、分析のためには装置内を真空にしなけ
ればならない。真空中では浮上ヘッドは用いることがで
きず、また真空中と大気中とではガス発生のメカニズム
が全く異なるため、分析結果をそのまま実際の装置に適
用することもできない。そのため、従来は、磁気ディス
ク装置の使用状態において、ガスの発生状況などから磁
気ディスク装置の劣化の程度を予知しようという考えは
全くなく、実際の磁気ディスク装置における摺動現象の
解析は、装置に大きなダメージを与えるような摺動が起
こった後に、事後解析の形でしか行なうことができなか
った。
In the prior art described above, in many cases, a special head or special operating conditions are required for the analysis of the sliding phenomenon, and the phenomenon occurring in the magnetic disk drive in the experiment is directly used. It cannot be analyzed directly. For example, mass spectrometry of gas generated at the time of sliding is an effective means, but for analysis, the inside of the apparatus must be evacuated. The floating head cannot be used in a vacuum, and the gas generation mechanism is completely different between a vacuum and the atmosphere. Therefore, the analysis result cannot be directly applied to an actual apparatus. For this reason, conventionally, there has been no idea of predicting the degree of deterioration of the magnetic disk device based on the state of gas generation and the like in the state of use of the magnetic disk device, and the analysis of the sliding phenomenon in the actual magnetic disk device has It could only be done in the form of a post-mortem analysis after a slide that caused significant damage occurred.

【0004】このような状況を改善するためには、実際
の磁気ディスク装置で、あるいはそれと同じ条件の実験
装置で、摺動現象やその前駆現象(前兆現象)を捉える
機構が必要であり、特に、大気圧下で高感度に測定でき
る手法を適用することが不可欠である。
In order to improve such a situation, a mechanism for capturing a sliding phenomenon or a precursory phenomenon (precursor phenomenon) is required in an actual magnetic disk drive or an experimental apparatus under the same conditions as the actual magnetic disk drive. It is indispensable to apply a technique capable of measuring at high sensitivity under atmospheric pressure.

【0005】従って、本発明の目的は、上記従来技術の
問題点を解決し、実際の磁気ディスク装置またはこれと
同様な条件の実験装置で、摺動現象またはその前駆現象
の指標となる磁気ディスク装置内のガスの発生状況を早
期に検出測定することのできる磁気ディスク装置及びそ
の評価方法を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, and to provide an actual magnetic disk drive or an experimental apparatus under similar conditions to a magnetic disk serving as an index of a sliding phenomenon or a precursory phenomenon thereof. It is an object of the present invention to provide a magnetic disk device capable of detecting and measuring a gas generation state in the device at an early stage, and an evaluation method thereof.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の磁気ディスク装置の評価方法は、大気圧下
で試料をイオン化する方式の質量分析計を用いて、磁気
ディスク装置の内部で発生したガスまたは外部から侵入
したガスを検出するものである。
In order to achieve the above object, a method for evaluating a magnetic disk drive according to the present invention uses a mass spectrometer that ionizes a sample under atmospheric pressure and uses a mass spectrometer inside the magnetic disk drive. It detects the generated gas or gas that has entered from the outside.

【0007】上記質量分析計により検出されるガスは、
磁気ディスクまたは磁気ヘッドの構成物から発生するガ
ス(構成物に起因するガス)、もしくは、磁気ディスク
または磁気ヘッドの損傷の原因となるガス(ヘッド対デ
ィスクの故障や摺動現象を引き起こす原因となることが
判っているガス)であり、このガスが検出されたとき、
異常が発生したものと判定される。
The gas detected by the mass spectrometer is
Gas generated from a component of a magnetic disk or a magnetic head (a gas caused by a component) or a gas that causes damage to a magnetic disk or a magnetic head (a cause of head-to-disk failure or sliding phenomenon) Known gas), and when this gas is detected,
It is determined that an abnormality has occurred.

【0008】また、この異常が発生したとき、警報を発
生し、磁気ディスク装置を停止し、磁気ヘッドを退避
し、または、磁気ディスク上の記録内容をバックアップ
するように構成してもよい。
Further, when this abnormality occurs, an alarm may be generated, the magnetic disk device is stopped, the magnetic head is evacuated, or the recorded contents on the magnetic disk are backed up.

【0009】また、一台の質量分析計を複数の磁気ディ
スク装置に接続して、磁気ディスクシステム全体を同時
に評価するか、または各装置ごとに時間分割して評価す
ることもできる。さらに、質量分析計に磁気ディスク装
置からガスを採取する機構を備え付けておけば、任意の
磁気ディスク装置の内部環境を適宜評価するための汎用
の評価手段とすることも可能である。
Further, one mass spectrometer can be connected to a plurality of magnetic disk devices to evaluate the entire magnetic disk system at the same time, or to evaluate each device in a time-division manner. Further, if the mass spectrometer is provided with a mechanism for collecting gas from the magnetic disk device, it can be used as a general-purpose evaluation means for appropriately evaluating the internal environment of an arbitrary magnetic disk device.

【0010】[0010]

【作用】上記構成に基づく作用を説明する。The operation based on the above configuration will be described.

【0011】一般に、磁気ディスク装置では、磁気ヘッ
ド、磁気ディスクの接触、摩擦といった摺動現象に伴っ
て様々な現象が発生する。中でもディスクの潤滑膜、保
護膜等の分解に伴うガスの発生は、摺動の状況を反映す
る重要な情報である。例えば、磁気ディスクの保護膜材
のカーボンや磁気ディスクの潤滑剤のふっ素系樹脂が摺
動現象で発生する摩擦熱によって空気中の酸素と反応し
または分解して、炭素ガスやふっ素を含むガスなどを発
生する。また、磁気ヘッドの保護膜や潤滑剤からも、同
様にガスが発生することがある。これらのガスの発生の
仕方は、真空中と大気中では全く異なっているので、実
際の磁気ディスク装置で起こっている現象を的確に把握
するには、大気圧下で分析できる手法を適用することが
必要である。
Generally, in a magnetic disk drive, various phenomena occur due to a sliding phenomenon such as contact and friction between a magnetic head and a magnetic disk. Above all, the generation of gas accompanying the decomposition of the lubricating film and the protective film of the disk is important information that reflects the state of sliding. For example, carbon as a protective film material for magnetic disks and fluororesin as a lubricant for magnetic disks react or decompose with oxygen in the air due to frictional heat generated by the sliding phenomenon, resulting in gases containing carbon gas and fluorine. Occurs. Also, gas may be generated from the protective film of the magnetic head and the lubricant. The way these gases are generated is completely different in a vacuum and in the atmosphere, so to accurately understand the phenomena occurring in actual magnetic disk drives, apply a method that can be analyzed under atmospheric pressure. is necessary.

【0012】大気圧下で試料をイオン化する方式の質量
分析計は、通常大気圧である磁気ディスク装置内部のガ
スをそのまま、しかも高感度に分析することができる優
れた分析手法である。本発明によれば、この手法を採用
したことにより、磁気ディスク装置の実際の稼動状態に
おいて、ヘッド/ディスクの摺動現象を軽微な段階(前
駆段階)で捉えることが可能になり、警報の発信、装置
の停止、記録内容のバックアップ等の処理を講じること
によって、記録データの消失などの最悪の事態を未然に
防止することが容易になる。また、ある種のガスは、外
部から磁気ディスクの装置内に侵入して摺動現象を引き
起こす原因になることが知られている。例えば、温泉地
での亜硫酸ガスや海岸地方での塩素系ガスなどが外部か
ら侵入すると磁気ディスクが変質し故障の原因となる。
また、シロキサンガスが侵入すると磁気ディスクや磁気
ヘッドの表面に付着結合して、摺動を引き起す原因とな
る。この質量分析計はこれらの外部から侵入したガスの
検出に対しても有効である。
A mass spectrometer that ionizes a sample under atmospheric pressure is an excellent analytical technique that can analyze gas in a magnetic disk device, which is usually at atmospheric pressure, as it is and with high sensitivity. According to the present invention, by adopting this method, it is possible to catch the head / disk sliding phenomenon at a slight stage (precursor stage) in the actual operating state of the magnetic disk device, and to issue an alarm. By taking measures such as stopping the apparatus and backing up the recorded contents, it is easy to prevent the worst situation such as loss of recorded data beforehand. Further, it is known that a certain kind of gas enters the magnetic disk device from the outside and causes a sliding phenomenon. For example, if sulfurous acid gas in a hot spring area or chlorine-based gas in a coastal area invades from the outside, the magnetic disk is deteriorated and causes a failure.
Further, when the siloxane gas enters, it adheres and bonds to the surfaces of the magnetic disk and the magnetic head, causing sliding. This mass spectrometer is also effective for detecting these invading gases.

【0013】[0013]

【実施例】以下に、図面により本発明の実施例を説明す
る。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0014】(実施例1)本実施例は、大気圧下で試料
をイオン化する方式の質量分析計を磁気ディスク装置に
取り付けた場合である。本実施例の概略図を図1に示
す。図1において、1は磁気ディスク装置、2は大気圧
イオン化方式の質量分析計、3は試料採取管、4は分析
結果の出力モニター、5は警報機、6はガスボンベであ
る。
(Embodiment 1) In this embodiment, a mass spectrometer for ionizing a sample under atmospheric pressure is mounted on a magnetic disk drive. FIG. 1 shows a schematic diagram of this embodiment. In FIG. 1, 1 is a magnetic disk device, 2 is a mass spectrometer of the atmospheric pressure ionization type, 3 is a sampling tube, 4 is an output monitor of analysis results, 5 is an alarm, and 6 is a gas cylinder.

【0015】磁気ディスク装置1の内部で発生した微量
のガスを質量分析計2に、試料採取管3を通して取り込
み、発生ガスの種類や量を分析する。分析結果はリアル
タイムでモニター4などに出力され、必要に応じて警報
機5から警報を発信する。内部環境を制御するために
(実験に先立って予め、高純度の汚染されていない空気
や窒素をディスク装置内に充填して実験環境を整えるた
めに)、ガスボンベ6などを接続してもよい。この装置
により、ヘッド/ディスクの摺動の発生を、ごく軽微な
前駆段階で検出し、記録データの消失等の事故を未然に
防止する措置をとることが容易になる。また、自動的に
事故防止措置を講じる機構を付加してもよい。
A small amount of gas generated inside the magnetic disk drive 1 is taken into the mass spectrometer 2 through the sampling tube 3, and the type and amount of generated gas are analyzed. The analysis result is output to the monitor 4 or the like in real time, and an alarm is transmitted from the alarm 5 as necessary. A gas cylinder 6 may be connected to control the internal environment (in order to prepare the experimental environment by filling the disk device with high-purity, uncontaminated air or nitrogen before the experiment). This apparatus makes it easy to detect the occurrence of head / disk sliding at a very small precursor stage and to take measures to prevent accidents such as loss of recorded data. Further, a mechanism for automatically taking an accident prevention measure may be added.

【0016】この装置によって、ディスク表面上の潤滑
膜の分解生成物に相当するフッ素系有機物を分析した例
を図2に示す。目的物質の検出感度はppbのオーダー
であった。例えば、1〜10ppb程度以上の検出があ
ったとき、異常が発生したものとみなして、事故防止策
をとるようにすることができる。
FIG. 2 shows an example in which a fluorine-based organic substance corresponding to a decomposition product of a lubricating film on the disk surface is analyzed by this apparatus. The detection sensitivity of the target substance was on the order of ppb. For example, when detection of about 1 to 10 ppb or more is detected, it is considered that an abnormality has occurred, and an accident prevention measure can be taken.

【0017】(実施例2)本実施例は、大気圧下で試料
をイオン化する方式の質量分析計を、磁気ディスク装置
に組み込んだ場合である。本実施例の装置の概略構成を
図3に示す。図3において、図1と同一名称の部分には
同一符号を付し説明を省略する。7は信号ケーブル、8
はディスクコントローラ、9は空気取り入れ孔である。
磁気ディスク装置1から発生した微量ガスを質量分析計
2に取り込む。分析結果はモニター4などの出力装置に
出力され、異常を検出した場合には警報機5から警報を
発すると同時に、信号ケーブル7を通じてコントローラ
ー8に制御信号を送り、磁気ディスク装置の停止、デー
タのバックアップ、ヘッドの退避などを行なう。磁気デ
ィスク装置1には、試料採取管3から引き抜かれた空気
を補うために、フィルターを備えた空気取り入れ口9が
取り付けられている。異常の有無の判定条件は任意に設
定できるが、例えば、ディスク上の潤滑膜の分解生成物
であるフッ素系の有機物が所定濃度検出された場合に異
常と判断するようにしておくとよい。
(Embodiment 2) In this embodiment, a mass spectrometer for ionizing a sample under atmospheric pressure is incorporated in a magnetic disk drive. FIG. 3 shows a schematic configuration of the apparatus of the present embodiment. 3, parts having the same names as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted. 7 is a signal cable, 8
Is a disk controller, and 9 is an air intake hole.
The trace gas generated from the magnetic disk drive 1 is taken into the mass spectrometer 2. The analysis result is output to an output device such as the monitor 4. When an abnormality is detected, an alarm is issued from the alarm device 5, and at the same time, a control signal is sent to the controller 8 through the signal cable 7 to stop the magnetic disk device and to stop data transmission. Perform backup, head retraction, etc. The magnetic disk device 1 is provided with an air intake 9 provided with a filter for supplementing the air extracted from the sampling tube 3. The condition for determining the presence or absence of an abnormality can be set arbitrarily. For example, it is preferable that an abnormality is determined when a predetermined concentration of a fluorine-based organic substance, which is a decomposition product of a lubricating film on a disk, is detected.

【0018】(実施例3)本実施例は、複数の磁気ディ
スク装置からなる磁気ディスクシステムに、大気圧イオ
ン化方式の質量分析計を取り付けた場合である。本実施
例の概略構成を図4に示す。図4でも図1、図3と同一
名称の部分には同一符号を付し、説明を省略する。本実
施例では、質量分析計2を各磁気ディスク装置1に共通
に設けている。
(Embodiment 3) In this embodiment, a mass spectrometer of the atmospheric pressure ionization type is attached to a magnetic disk system composed of a plurality of magnetic disk devices. FIG. 4 shows a schematic configuration of the present embodiment. 4, the same reference numerals are given to the parts having the same names as those in FIGS. 1 and 3, and the description is omitted. In this embodiment, the mass spectrometer 2 is provided in common for each magnetic disk device 1.

【0019】図4に示すように全ての磁気ディスク装置
1から採取したガスを同時に分析してもよいが、採取管
3を別々に設けてバルブと組合せ、各磁気ディスク装置
からの試料ガスを時間分割して測定する構成にしてもよ
い。また、質量分析計を複数台設置してもよい。この大
気圧イオン化方式の質量分析計を使用する場合、必ずし
も厳密に大気圧(1気圧)でなくてもよく、例えば2分
の1気圧程度まで検出測定は可能である。
As shown in FIG. 4, the gas collected from all the magnetic disk devices 1 may be analyzed at the same time. However, the sample gas from each magnetic disk device can be analyzed in time by separately providing a collecting tube 3 and combining with a valve. A configuration in which measurement is performed separately may be employed. Further, a plurality of mass spectrometers may be provided. When the mass spectrometer of the atmospheric pressure ionization method is used, the pressure does not always have to be strictly the atmospheric pressure (1 atm). For example, the detection measurement can be performed up to about 1/2 atm.

【0020】なお、試料採取管を備えた質量分析計を設
置しておいて、任意の磁気ディスク装置を適宜評価でき
るようにして、汎用的に用いることもできる。
It is to be noted that a mass spectrometer provided with a sample collection tube is installed so that an arbitrary magnetic disk device can be appropriately evaluated, and can be used for general purposes.

【0021】磁気ディスク装置としては、内部で発生す
るガスを検出する場合、特に密閉型の装置に対し効果的
であるが、密閉型でない装置でも、ヘッド/ディスク間
を流れる空気流を調べることで、ガスの発生状況を分析
することができる。
As for the magnetic disk device, it is particularly effective for a closed type device when detecting gas generated inside, but even for a non-closed type device, the air flow flowing between the head and the disk can be checked. , It is possible to analyze the gas generation status.

【0022】[0022]

【発明の効果】以上詳しく説明したように、本発明によ
れば、磁気ディスク装置の内部に発生するガスを分析す
ることにより磁気ディスク装置及びその品質を評価する
方法において、その分析をするのに、大気圧下またはこ
れに近い圧力下で試料をイオン化する方式の質量分析計
を用いたので、磁気ディスク装置に影響を与えることな
く、実際に稼動状態の磁気ディスク装置内で発生してい
る磁気ディスク/磁気ヘッド摺動に基づくガス発生のよ
うな軽微な異常現象を捉らえることが可能になり、デー
タ消失等の事故を未然に防ぐことが容易になるという効
果が得られる。
As described above in detail, according to the present invention, in a magnetic disk drive and a method of evaluating the quality of the magnetic disk drive by analyzing the gas generated inside the magnetic disk drive, the analysis can be performed. Since a mass spectrometer that ionizes a sample under atmospheric pressure or a pressure close to this is used, the magnetic flux generated in the magnetic disk drive that is actually operating without affecting the magnetic disk drive Minor abnormal phenomena such as gas generation due to disk / magnetic head sliding can be detected, and the effect of easily preventing data loss and other accidents from occurring can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施例の大気圧イオン化質量分析計を
用いた磁気ディスク装置の評価方法の説明図である。
FIG. 1 is an explanatory diagram of a method for evaluating a magnetic disk drive using an atmospheric pressure ionization mass spectrometer according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施例の大気圧イオン化方式の質量分
析計により、フッ素系の有機物を分析した例を示す図で
ある。
FIG. 2 is a diagram showing an example in which a fluorine-based organic substance is analyzed by an atmospheric pressure ionization type mass spectrometer according to an embodiment of the present invention.

【図3】本発明の実施例の磁気ディスク装置に大気圧イ
オン化方式の質量分析計を組み込んだ例を示す図であ
る。
FIG. 3 is a diagram showing an example in which an atmospheric pressure ionization type mass spectrometer is incorporated in the magnetic disk drive of the embodiment of the present invention.

【図4】本発明の実施例の複数の磁気ディスク装置に質
量分析計を取り付けた例を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing an example in which a mass spectrometer is attached to a plurality of magnetic disk devices according to an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 磁気ディスク装置 2 大気圧イオン化方式の質量分析計 3 試料採取管 4 分析結果の出力モニター 5 警報機 6 ガスボンベ 7 信号ケーブル 8 ディスクコントローラ 9 空気取り入れ孔 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Magnetic disk apparatus 2 Atmospheric pressure ionization type mass spectrometer 3 Sampling tube 4 Output monitor of analysis result 5 Alarm 6 Gas cylinder 7 Signal cable 8 Disk controller 9 Air intake hole

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中川 宣雄 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式 会社 日立製作所 ストレージシステム 事業部内 (72)発明者 三井 泰裕 東京都国分寺市東恋ケ窪1丁目280番地 株式会社 日立製作所 中央研究所内 (72)発明者 溝上 員章 東京都青梅市藤橋3丁目3番2号 日立 東京エレクトロニクス 株式会社内 (56)参考文献 日本潤滑学会トライボロジー会議予稿 集(1992−5)、第491−494頁 日本潤滑学会第34回全国大会研究発表 予稿集(1989)、第429−432頁 Anal.Chem.Vol.59 (1987),No.24,P.2924−2927 (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 27/62 - 27/70 H01J 49/00 - 49/48 G11B 5/00 G11B 33/14 501 JICSTファイル(JOIS)──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Norio Nakagawa 2880 Kozu, Odawara-shi, Kanagawa Hitachi, Ltd. Storage Systems Division (72) Inventor Yasuhiro Mitsui Yasuhiro Mitsui 1-280, Higashi-Koikekubo, Kokubunji-shi, Tokyo Hitachi, Ltd. Inside the research institute (72) Inventor Toshiaki Mizogami 3-3-2 Fujibashi, Ome-shi, Tokyo Hitachi Tokyo Electronics Co., Ltd. (56) References Proceedings of the Japan Society of Lubrication Society Tribology Conference (1992-5), pp. 491-494 Proceedings of the 34th Annual Meeting of the Japanese Society of Lubrication, Proceedings (1989), pp. 429-432, Anal. Chem. Vol. 59 (1987), no. 24, p. 2924-2927 (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G01N 27/62-27/70 H01J 49/00-49/48 G11B 5/00 G11B 33/14 501 JICST file (JOIS)

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 大気圧下で試料をイオン化する方式の質
量分析計を用いて、磁気ディスク装置の内部で発生した
ガスまたは外部から侵入したガスを検出することを特徴
とする磁気ディスク装置の評価方法。
An evaluation of a magnetic disk drive characterized by detecting a gas generated inside a magnetic disk drive or a gas entering from the outside using a mass spectrometer that ionizes a sample under atmospheric pressure. Method.
【請求項2】 上記質量分析計により検出されるガス
は、磁気ディスクまたは磁気ヘッドの構成物から発生す
るガス、もしくは、磁気ディスクまたは磁気ヘッドの損
傷の原因となるガスであることを特徴とする請求項1記
載の磁気ディスク装置の評価方法。
2. The gas detected by the mass spectrometer is a gas generated from a component of a magnetic disk or a magnetic head, or a gas causing damage to a magnetic disk or a magnetic head. The method for evaluating a magnetic disk drive according to claim 1.
【請求項3】 大気圧下で試料をイオン化する方式の質
量分析計により磁気ディスク装置の内部で発生したガス
または外部から侵入したガスが検出されたとき、警報を
発生し、磁気ディスク装置を停止し、磁気ヘッドを退避
し、または、磁気ディスク上の記録内容をバックアップ
するように構成したことを特徴とする磁気ディスク装
置。
3. When a gas generated inside the magnetic disk device or a gas entering from the outside is detected by a mass spectrometer that ionizes a sample under atmospheric pressure, an alarm is generated and the magnetic disk device is stopped. A magnetic head device for retracting the magnetic head or backing up recorded contents on the magnetic disk.
JP04293210A 1992-10-30 1992-10-30 Magnetic disk drive and evaluation method thereof Expired - Fee Related JP3137772B2 (en)

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Anal.Chem.Vol.59(1987),No.24,P.2924−2927
日本潤滑学会トライボロジー会議予稿集(1992−5)、第491−494頁
日本潤滑学会第34回全国大会研究発表予稿集(1989)、第429−432頁

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