JP3134677B2 - Resin embedded optical waveguide device - Google Patents

Resin embedded optical waveguide device

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JP3134677B2
JP3134677B2 JP06246041A JP24604194A JP3134677B2 JP 3134677 B2 JP3134677 B2 JP 3134677B2 JP 06246041 A JP06246041 A JP 06246041A JP 24604194 A JP24604194 A JP 24604194A JP 3134677 B2 JP3134677 B2 JP 3134677B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光通信に用いる樹脂埋
込型光導波路素子に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a resin-embedded optical waveguide device used for optical communication.

【0002】[0002]

【従来の技術】光通信分野においては、マルチメディア
を可能とする光加入者システムの構築に向けた技術開発
が活発に行われている。光加入者システムでは、1本の
光ファイバの光を複数本に分岐したり、複数本の光ファ
イバの光を1本に合わせたりする光合分波部デバイスが
不可欠である。光導波路素子は、小型、高性能デバイス
である。しかしながら、光加入者システムでは、一般家
庭に本デバイスを設置する必要上、低価格、高信頼性が
必要である。
2. Description of the Related Art In the field of optical communication, technical development for constructing an optical subscriber system capable of multimedia has been actively conducted. In an optical subscriber system, an optical multiplexing / demultiplexing device that splits light of one optical fiber into a plurality of lights or combines light of a plurality of optical fibers into one is indispensable. Optical waveguide devices are small, high-performance devices. However, the optical subscriber system requires low cost and high reliability because this device must be installed in a general home.

【0003】図7及び図8は従来の光導波路素子の外観
斜視図である。
FIGS. 7 and 8 are external perspective views of a conventional optical waveguide device.

【0004】同図に示すように光導波路素子は、基板上
に光波回路12を形成した光導波路基板11と、光ファ
イバ14を整列配置して固定した光ファイバアレイ13
とからなり、光導波路基板11と光ファイバアレイ13
とを光軸調芯して接着固定したものである。
As shown in FIG. 1, an optical waveguide device comprises an optical waveguide substrate 11 having a lightwave circuit 12 formed on a substrate, and an optical fiber array 13 in which optical fibers 14 are arranged and fixed.
The optical waveguide substrate 11 and the optical fiber array 13
Are aligned and optically aligned to be bonded and fixed.

【0005】光導波路素子10は、光通信において複数
の光ファイバの信号の合分岐等に用いられる。光導波路
基板11や光ファイバアレイ13は、石英ガラスや単結
晶シリコン等の脆い材料で形成されるため、通常は図8
に示すようなパッケージ21内に収納され、外傷の防止
と取扱い性の向上が図られている。このパッケージ21
は金属を切削加工することによって形成されており、こ
れに光導波路素子10を挿入し、接着剤で固定されてい
た。
[0005] The optical waveguide element 10 is used in optical communication, for example, for joining and branching signals of a plurality of optical fibers. Since the optical waveguide substrate 11 and the optical fiber array 13 are formed of a brittle material such as quartz glass or single-crystal silicon, the optical waveguide substrate 11 and the optical fiber
Are stored in a package 21 as shown in FIG. This package 21
Is formed by cutting a metal, into which the optical waveguide element 10 is inserted and fixed with an adhesive.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図8に
示した光導波路素子は以下のような問題がある。
However, the optical waveguide device shown in FIG. 8 has the following problems.

【0007】(1) パッケージが金属製のため高価であ
る。
(1) The package is expensive because it is made of metal.

【0008】(2) パッケージに光導波路素子を一つずつ
挿入して接着固定しなければならず製造に時間と手間が
かかり高価なものとなり、大量生産には不向きである。
(2) The optical waveguide elements must be inserted into the package one by one and bonded and fixed, which requires time and effort in manufacturing, is expensive, and is not suitable for mass production.

【0009】(3) パッケージが金属製のため重くなり、
例えば取扱いの不注意で光ファイバに金属パッケージ入
り光導波路素子がぶら下がった状態になったりすると、
光ファイバに過大なストレスが加わり、最悪の場合には
光ファイバが破断してしまう。
(3) Since the package is made of metal, it becomes heavy,
For example, if the optical waveguide element containing the metal package hangs on the optical fiber due to careless handling,
Excessive stress is applied to the optical fiber, and in the worst case, the optical fiber is broken.

【0010】(4) 光導波路基板と光ファイバアレイとの
接着固定には、屈折率整合効果のある紫外線硬化型接着
剤が広く用いられている。しかし、通常の紫外線硬化型
接着剤では高温高湿状態に弱い。このため、高温高湿に
強い特殊な紫外線硬化型接着剤を用いる必要があり、高
価なものになってしまう。
(4) An ultraviolet curing adhesive having a refractive index matching effect is widely used for bonding and fixing the optical waveguide substrate and the optical fiber array. However, ordinary UV curable adhesives are vulnerable to high temperature and high humidity. For this reason, it is necessary to use a special UV-curable adhesive that is resistant to high temperature and high humidity, which is expensive.

【0011】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、安価で量産性に優れ、信頼性の高い光導波路素子及
びその製造方法を提供することにある。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and to provide an optical waveguide device which is inexpensive, has excellent mass productivity, and has high reliability, and a method of manufacturing the same.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、基板上に光波回路を形成した光導波路基
板と、光ファイバを整列させて固定した光ファイバアレ
イとからなり、上記光導波路基板と光ファイバアレイと
が光軸調芯して接着固定され、上記光導波路基板及び光
ファイバアレイとの接着部分が、その周囲に被覆成型さ
れた樹脂により直接覆われている光導波路素子におい
て、光導波路基板は光波回路部分で上記樹脂と接触して
おらず光回路以外の部分で直接樹脂と接触して該樹脂に
埋め込まれているものである。
In order to achieve the above object, the present invention provides an optical waveguide substrate having a lightwave circuit formed on a substrate, and an optical fiber array in which optical fibers are aligned and fixed. The optical waveguide substrate and the optical fiber array are adhered and fixed in alignment with the optical axis, and the adhesive portion between the optical waveguide substrate and the optical fiber array is coated around the periphery thereof.
In the optical waveguide element directly covered by the resin
The optical waveguide substrate contacts the resin at the lightwave circuit
And directly in contact with the resin in parts other than the optical circuit
It is embedded .

【0013】また、本発明は、上記樹脂が上記光波回路
に接触しないように該光波回路の上方にスポンジが貼り
付けられており、該スポンジと上記光導波路基板とが一
体的 に上記樹脂中に埋め込まれていてもよい
Further , the present invention provides the above-mentioned light wave circuit,
A sponge is attached above the lightwave circuit so that it does not touch
The sponge and the optical waveguide substrate are
It may be physically embedded in the resin .

【0014】また、本発明は、上記樹脂が上記光波回路
に接触しないように該光波回路の上方に裏面に凹凸を有
するキャップが被せられており、該キャップと上記光導
波路基板とが一体的に上記樹脂中に埋め込まれていても
よい
Further , the present invention provides the above-mentioned light wave circuit,
Unevenness on the back surface above the lightwave circuit to prevent contact
To cover the light guide.
Even if the waveguide substrate is integrally embedded in the resin
Good .

【0015】なお、本発明は上記構成に加え、接着固定
した部分を埋め込むのに用いられる樹脂は熱硬化性エポ
キシ樹脂、ポリフェニレンサルファイド及び液晶ポリマ
ーのいずれでもよい。
In addition, in the present invention, in addition to the above constitution, the resin used for embedding the bonded and fixed portion may be any of thermosetting epoxy resin, polyphenylene sulfide and liquid crystal polymer.

【0016】また、上記した樹脂埋込型光導波路素子
は、光導波路基板と光ファイバアレイとを接着固定した
ものを金型内に配置し、溶融樹脂を注入して硬化させる
ことにより製造できる。
Also, the above-mentioned resin-embedded optical waveguide device
Bonded and fixed the optical waveguide substrate and the optical fiber array
Place things in the mold, inject molten resin and cure
Can be manufactured.

【0017】ここで、光波回路の上方にスポンジやキャ
ップを設けずに、光波回路上方の空間を露出する場合に
は、光波回路に接触しないように溶融樹脂を注入して硬
化させる必要がある。
Here, a sponge or a cap is placed above the lightwave circuit.
When exposing the space above the lightwave circuit without providing a
Inject molten resin so as not to contact the lightwave circuit
Need to be converted.

【0018】また、溶融樹脂を注入して硬化させる場
合、溶融樹脂は移送成形又は射出成型によって注入、硬
化させるものである。
Further , when the molten resin is injected and cured.
In this case, the molten resin is injected and cured by transfer molding or injection molding.

【0019】[0019]

【作用】上記構成によれば、光導波路基板と光ファイバ
アレイとを光軸調芯して接着固定した光導波路素子を金
型内に配置し、溶融樹脂を注入、硬化させることにより
容易に接着固定部を樹脂に埋め込むことができ、樹脂埋
込型光導波路素子が容易に製造できる。また金型内に複
数個分のキャビティを加工しておくことにより、1度に
多数の樹脂埋込型光導波路素子の製造が可能となり、量
産性に優れ低価格化が実現できる。
According to the above construction, an optical waveguide element in which an optical waveguide substrate and an optical fiber array are aligned with respect to an optical axis and adhered and fixed is arranged in a mold, and is easily bonded by injecting and curing a molten resin. The fixing portion can be embedded in the resin, and the resin-embedded optical waveguide element can be easily manufactured. By processing a plurality of cavities in a mold, a large number of resin-embedded optical waveguide elements can be manufactured at one time, and excellent mass productivity can be realized and low cost can be realized.

【0020】光導波路素子を覆うパッケージを樹脂で形
成することにより金属パッケージで覆われた光導波路素
子より軽くなり、例えば取扱いの不注意で光ファイバに
樹脂埋込型光導波路素子がぶらさがった状態になって
も、光ファイバに過大なストレスが加わることがなく、
光ファイバが破断することもない。
By forming the package covering the optical waveguide element with a resin, it becomes lighter than the optical waveguide element covered with the metal package. For example, the resin embedded type optical waveguide element hangs on the optical fiber due to careless handling. Even when the optical fiber is not overstressed,
There is no breakage of the optical fiber.

【0021】紫外線硬化型樹脂による接着固定部が樹脂
で覆われた気密構造となるので、高温高湿下の接着固定
部の吸湿を防止することができる。
Since the adhesive fixing portion made of the ultraviolet curing resin has an airtight structure covered with the resin, it is possible to prevent the adhesive fixing portion from absorbing moisture under high temperature and high humidity.

【0022】また、光導波路と光ファイバアレイとを全
部樹脂に埋め込む場合には樹脂の成型収縮力が光導波路
基板と光ファイバアレイとの接着固定部に圧縮力となっ
てはたらくため、接着剤が吸湿して接着力が弱くなって
も接着面が剥がれたり、光ファイバと導波路との光軸が
ずれたりすることがない。
When the entire optical waveguide and the optical fiber array are embedded in a resin, the molding shrinkage of the resin acts as a compressive force on the adhesive fixing portion between the optical waveguide substrate and the optical fiber array. Even if the adhesive strength is weakened due to moisture absorption, the adhesive surface does not peel off and the optical axis of the optical fiber and the waveguide do not shift.

【0023】さらに光導波路を樹脂から離隔して形成す
ることにより、光導波路に樹脂の圧縮力が加わることが
なく、特性が劣化することがなくなる。
Further, by forming the optical waveguide at a distance from the resin, no compressive force of the resin is applied to the optical waveguide, and the characteristics are not deteriorated.

【0024】したがって安価な紫外線硬化型接着剤を用
いても高い信頼性を得ることができる。
Therefore, high reliability can be obtained even when an inexpensive ultraviolet-curable adhesive is used.

【0025】[0025]

【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面に基づい
て詳述する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.

【0026】図1は本発明の樹脂埋込型光導波路素子の
一実施例を示す外観斜視図であり、図2は図1に示した
樹脂埋込型光導波路素子に用いられる光導波路素子の外
観斜視図である。
FIG. 1 is an external perspective view showing an embodiment of the resin-embedded optical waveguide device of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view of the optical waveguide device used in the resin-embedded optical waveguide device shown in FIG. It is an external appearance perspective view.

【0027】図2に示す光導波路基板11は基板上に光
回路としての1×2合分波器が形成されたものである。
これは1本の光ファイバ32から入射した光を2本の光
ファイバ33に分配するか又は2本の光ファイバ33に
入射した光を1本の光ファイバ32に合波するものであ
る。
The optical waveguide substrate 11 shown in FIG. 2 has a 1 × 2 multiplexer / demultiplexer as an optical circuit formed on the substrate.
This is for distributing the light incident from one optical fiber 32 to two optical fibers 33 or for multiplexing the light incident to two optical fibers 33 to one optical fiber 32.

【0028】光導波路素子30は、光ファイバ32、3
3を、石英ガラスにV溝を形成した光ファイバアレイ3
4に紫外線硬化型の接着剤で固定し、その端面35を研
磨した後、光導波路基板11と紫外線硬化型の接着剤で
接着固定したものである。
The optical waveguide element 30 includes optical fibers 32, 3
3 is an optical fiber array 3 having a V-groove formed in quartz glass.
4 is fixed with an ultraviolet-curable adhesive, the end surface 35 is polished, and then fixed to the optical waveguide substrate 11 with an ultraviolet-curable adhesive.

【0029】このようにして得られた光導波路素子30
を図3に示す金型40内に配置する。金型40は、光導
波路素子30を把持するためのピン41と、光導波路素
子30を取り囲むように形成された空間(キャビティ)
42を有し、光導波路素子30を配置した後、溶融樹脂
をキャビティ42内の樹脂注入口(ゲート)43から注
入、硬化させることにより図1に示すような樹脂埋込型
光導波路素子50が得られる。尚、図中51は樹脂、5
2はピン穴である。また図3は図1に示した樹脂埋込型
光導波路素子を製造するための金型の断面図である。
The optical waveguide device 30 thus obtained
Is placed in a mold 40 shown in FIG. The mold 40 includes a pin 41 for holding the optical waveguide element 30 and a space (cavity) formed so as to surround the optical waveguide element 30.
After the optical waveguide element 30 is disposed, the molten resin is injected from a resin injection port (gate) 43 in the cavity 42 and cured to form a resin-embedded optical waveguide element 50 as shown in FIG. can get. In the figure, reference numeral 51 denotes a resin, 5
2 is a pin hole. FIG. 3 is a sectional view of a mold for manufacturing the resin-embedded optical waveguide device shown in FIG.

【0030】次に実施例の作用を述べる。Next, the operation of the embodiment will be described.

【0031】光導波路基板11と光ファイバアレイ34
とを光軸調芯して接着固定した光導波路素子30を金型
40内に配置し、溶融樹脂を注入、硬化させることによ
り接着固定部を樹脂に埋め込むことができ、樹脂埋込型
光導波路素子50が容易に製造できる。また金型内に複
数個分のキャビティを加工しておくことにより、1度に
多数の光導波路素子の製造が可能となり、量産性に優れ
低価格化が実現できる。
Optical waveguide substrate 11 and optical fiber array 34
The optical waveguide element 30 having the optical axis aligned and fixed is disposed in the mold 40, and the molten resin is injected and cured to embed the adhesive fixing portion in the resin. The element 50 can be easily manufactured. Further, by processing a plurality of cavities in the mold, a large number of optical waveguide elements can be manufactured at one time, and excellent mass productivity can be achieved and low cost can be realized.

【0032】光導波路素子30を覆うパッケージを樹脂
で形成することにより金属パッケージで覆われた光導波
路素子より軽くなり、例えば取扱いの不注意で光ファイ
バ33に樹脂埋込型光導波路素子50がぶらさがった状
態になっても、光ファイバ33に過大なストレスが加わ
ることがなく、光ファイバ33が破断することもない。
By forming the package covering the optical waveguide element 30 with a resin, the package becomes lighter than the optical waveguide element covered with the metal package. For example, the resin-embedded optical waveguide element 50 hangs on the optical fiber 33 due to careless handling. Even if the optical fiber 33 is in the state of being bent, no excessive stress is applied to the optical fiber 33 and the optical fiber 33 is not broken.

【0033】紫外線硬化型樹脂による接着固定部が樹脂
で覆われた気密構造となるので、高温高湿下の接着固定
部の吸湿を防止することができる。
Since the adhesive fixing portion made of the ultraviolet curing resin has an airtight structure covered with the resin, it is possible to prevent the adhesive fixing portion from absorbing moisture under high temperature and high humidity.

【0034】また、光導波路基板11と光ファイバアレ
イ34とを全部樹脂に埋め込む場合には樹脂の成型収縮
力が光導波路基板11と光ファイバアレイ34との接着
固定部に圧縮力となってはたらくため、接着剤が吸湿し
て接着力が弱くなっても接着面が剥がれたり、光ファイ
バ33と光導波路基板11との光軸がずれたりすること
がない。
When the entire optical waveguide substrate 11 and the optical fiber array 34 are embedded in the resin, the molding contraction force of the resin acts as a compressive force on the adhesive fixing portion between the optical waveguide substrate 11 and the optical fiber array 34. Therefore, even if the adhesive absorbs moisture and the adhesive strength is weakened, the adhesive surface does not peel off, and the optical axis of the optical fiber 33 and the optical waveguide substrate 11 does not shift.

【0035】したがって安価な紫外線硬化型接着剤を用
いても高い信頼性の樹脂埋込型光導波路素子を得ること
ができる。
Therefore, even if an inexpensive UV-curable adhesive is used, a highly reliable resin-embedded optical waveguide device can be obtained.

【0036】本実施例においては、(1) 移送成形による
熱硬化性エポキシ樹脂を用いた樹脂埋込型光導波路素子
(2) 射出成形によるポリフェニレンサルファイド樹脂を
用いた樹脂埋込型光導波路素子(3) 射出成形による液晶
ポリマーを用いた樹脂埋込型光導波路素子(4) 射出成形
によるポリエチレンテレフタレート樹脂を用いた樹脂埋
込型光導波路素子の4種類の樹脂埋込型光導波路素子
と、従来技術によるパッケージ構造の光導波路素子を制
作した。
In this embodiment, (1) a resin-embedded optical waveguide device using a thermosetting epoxy resin by transfer molding
(2) Embedded resin optical waveguide device using polyphenylene sulfide resin by injection molding (3) Embedded resin optical waveguide device using liquid crystal polymer by injection molding (4) Resin using polyethylene terephthalate resin by injection molding Four types of resin-embedded optical waveguide elements, namely, embedded optical waveguide elements, and optical waveguide elements having a package structure according to the prior art were produced.

【0037】これらの樹脂埋込型光導波路素子及び光導
波路素子の信頼性を評価するため、80℃×95%RH
の高温高湿試験を実施し、光透過量の変化を観測した。
In order to evaluate the reliability of the resin-embedded optical waveguide device and the optical waveguide device, 80 ° C. × 95% RH
Was subjected to a high-temperature and high-humidity test, and a change in the amount of light transmitted was observed.

【0038】従来技術の構造のものは、500時間で3
dB低下した。また、ポリエチレンテレフタレート樹脂
を用いたものは、吸湿によって樹脂が脆弱化し、600
時間経過後、成形時のウエルドライン(金型内で溶融樹
脂の流れの先端同士があわさった部分)に亀裂が生じて
しまった。
The structure of the prior art requires three hours in 500 hours.
dB decreased. In the case of using polyethylene terephthalate resin, the resin becomes brittle due to moisture absorption,
After a lapse of time, a crack was formed in a weld line during molding (a portion where the ends of the flow of the molten resin flow in the mold).

【0039】本実施例の他の樹脂埋込型光導波路素子に
おいては、2000時間経過後も光透過量の変化は0.
1dB以内であり、高い信頼性を有することが確認でき
た。
In another resin-embedded optical waveguide device of this embodiment, the change in the amount of transmitted light is not more than 0.2 hours after the elapse of 2000 hours.
It was within 1 dB, and it was confirmed that the device had high reliability.

【0040】尚、本実施例においては、樹脂はそれぞれ
ガラスフィラーによって強化されたグレードのものを用
いたが、フィラーの有無、材質、充填率などには限定さ
れない。
In this embodiment, the resin used is of a grade reinforced with a glass filler, but the presence or absence of the filler, the material, the filling rate and the like are not limited.

【0041】以上において本実施例の樹脂埋込型光導波
路素子は、光合分波部デバイスを必要とするシステムや
製品、例えば光ファイバジャイロ等への応用も可能であ
る。
As described above, the resin-embedded optical waveguide device of this embodiment can be applied to a system or a product requiring an optical multiplexing / demultiplexing device, for example, an optical fiber gyro.

【0042】ところで、図9に示すように光導波路基板
の光波回路部がマッハツェンダ型の1×2光合分波器6
1の場合には、光合分波器61を樹脂に埋め込む前は略
1対1であった分岐比が、樹脂に埋め込んだ後では1対
1.2に変化し、特性が劣化するという問題が生じてし
まう。この問題は上述した樹脂のいずれの場合において
も発生する。
As shown in FIG. 9, the lightwave circuit portion of the optical waveguide substrate is a Mach-Zehnder 1 × 2 optical multiplexer / demultiplexer 6.
In the case of 1, there is a problem that the branching ratio, which was approximately 1: 1 before embedding the optical multiplexer / demultiplexer 61 in the resin, changes to 1: 1. Will happen. This problem occurs in any of the above-mentioned resins.

【0043】そこで本発明者らは光波回路部がマッハツ
ェンダ型であっても特性が劣化することがない樹脂埋込
型光導波路素子を提案した。
Accordingly, the present inventors have proposed a resin-embedded optical waveguide element in which the characteristics are not deteriorated even if the lightwave circuit section is of a Mach-Zehnder type.

【0044】図4は本発明の樹脂埋込型光導波路素子の
他の実施例の外観斜視図である。
FIG. 4 is an external perspective view of another embodiment of the resin-embedded optical waveguide device of the present invention.

【0045】図1に示した樹脂埋込型光導波路素子との
相違点は、光導波路素子を覆う樹脂がマッハツェンダ型
の光回路部から離隔して形成されている点である。
The difference from the resin-embedded optical waveguide device shown in FIG. 1 is that the resin covering the optical waveguide device is formed separately from the Mach-Zehnder optical circuit portion.

【0046】図4に示すようにマッハツェンダ回路上部
空間91が露出するように樹脂51で光導波路素子が覆
われている。このような樹脂埋込型光導波路素子は、マ
ッハツェンダ型光合分波器61(図9)の上部が開放さ
れているため、樹脂の成形収縮により圧縮力が回路に加
わるのが防止され、その結果特性が劣化することがなく
なる。
As shown in FIG. 4, the optical waveguide element is covered with the resin 51 so that the Mach-Zehnder circuit upper space 91 is exposed. In such a resin-embedded optical waveguide device, since the upper portion of the Mach-Zehnder type optical multiplexer / demultiplexer 61 (FIG. 9) is opened, a compressive force is prevented from being applied to the circuit due to resin molding shrinkage. The characteristics do not deteriorate.

【0047】したがって安価で量産性が高く、高信頼性
の樹脂埋込型光導波路素子を得ることができる。
Therefore, a resin-embedded optical waveguide device which is inexpensive, has high productivity, and has high reliability can be obtained.

【0048】尚、本実施例においては、(1) 図3に示す
金型40の光導波路素子把持用のピン41の一方の断面
をマッハツェンダ型の光合分波器61の大きさよりも大
きくし、かつマッハツェンダ型光合分波器61の上方に
配置することによって成形時に樹脂がマッハツェンダ型
光合分波器61の上方に流れ込まないようにした樹脂埋
込型光導波路素子(2) 図5に示すようにマッハツェンダ
型光合分波器61の上方にスポンジ71を貼り付けた光
導波路素子70を一体的に樹脂中に埋め込み、樹脂がマ
ッハツェンダ型光合分波器61に接触しないようにした
樹脂埋込型光導波路素子(3) 図6に示すようない裏面に
凹凸を有するキャップ81をマッハツェンダ型光合分波
器61の上方にかぶせた光導波路素子80を一体的に樹
脂中に埋め込み、樹脂がマッハツェンダ型光合分波器6
1に接触しないようにしたもの樹脂埋込型光導波路素子
を製作した。(1) によるものは図4に示すような外観で
あり、(2)(3)によるものは外観は図1に示すものと同様
である。尚図5及び図6は本発明の樹脂埋込型光導波路
素子の他の実施例に用いられる光導波路素子の外観斜視
図である。
In this embodiment, (1) the cross section of one of the pins 41 for holding the optical waveguide element of the mold 40 shown in FIG. 3 is made larger than the size of the Mach-Zehnder type optical multiplexer / demultiplexer 61, A resin-embedded optical waveguide element (2) arranged above the Mach-Zehnder type optical multiplexer / demultiplexer 61 so that the resin does not flow above the Mach-Zehnder type optical multiplexer / demultiplexer 61 during molding, as shown in FIG. A resin-embedded optical waveguide in which an optical waveguide element 70 having a sponge 71 adhered above a Mach-Zehnder type optical multiplexer / demultiplexer 61 is integrally embedded in a resin so that the resin does not contact the Mach-Zehnder type optical multiplexer / demultiplexer 61. Element (3) An optical waveguide element 80 in which a cap 81 having irregularities on the back surface not shown in FIG. 6 is placed over a Mach-Zehnder type optical multiplexer / demultiplexer 61 is integrally embedded in resin. Mach-Zehnder type optical demultiplexer 6
A resin-embedded optical waveguide element which was made not to contact with No. 1 was manufactured. The appearance according to (1) is as shown in FIG. 4, and the appearance according to (2) and (3) is the same as that shown in FIG. 5 and 6 are external perspective views of an optical waveguide device used in another embodiment of the resin-embedded optical waveguide device of the present invention.

【0049】この結果、上記のいずれの素子も樹脂に埋
め込む前後で特性の劣化がなく、また80℃×95%R
Hの高温高湿試験において2000時間経過後も光透過
量の変化は0.1dB以内であり高い信頼性を有するこ
とを確認した。
As a result, there is no deterioration in the characteristics before and after embedding in any of the above-mentioned elements, and the temperature is 80 ° C. × 95% R
In the high-temperature and high-humidity test of H, the change in the amount of transmitted light was within 0.1 dB even after lapse of 2000 hours, confirming that the device had high reliability.

【0050】尚、本実施例ではスポンジを用いたがスポ
ンジの代わりに柔らかいゴム等を用いてもよく、樹脂に
埋め込んだ後でマッハツェンダ回路上方の樹脂を切削加
工やエッチング等で取り除いても同様の効果が得られ
る。
In this embodiment, a sponge is used, but a soft rubber or the like may be used instead of the sponge. The effect is obtained.

【0051】また、本実施例は光導波路基板の光波回路
部がマッハツェンダ回路の場合について説明したが、本
発明はマッハツェンダ回路に限らず、樹脂から加わる応
力によって特性が劣化してしまうような光波回路におい
て有用である。
Further, in this embodiment, the case where the light wave circuit portion of the optical waveguide substrate is a Mach-Zehnder circuit is described. It is useful in.

【0052】[0052]

【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を発揮する。
In summary, according to the present invention, the following excellent effects are exhibited.

【0053】(1) 光導波路基板と光ファイバアレイとを
光軸調芯して接着固定した部分を樹脂に埋め込んだの
で、安価で量産性に優れ、信頼性の高い樹脂埋込型光導
波路素子が得られる。
(1) Since the portion where the optical waveguide substrate and the optical fiber array are aligned with the optical axis and adhered and fixed is embedded in the resin, the resin embedded optical waveguide device which is inexpensive, has excellent mass productivity, and has high reliability. Is obtained.

【0054】(2) 光導波路基板の光波回路がマッハツェ
ンダ型の場合には、その光波回路部を樹脂から離隔して
形成したので、特性の劣化がない樹脂埋込型光導波路素
子が得られる。
(2) When the lightwave circuit of the optical waveguide substrate is of a Mach-Zehnder type, the lightwave circuit portion is formed apart from the resin, so that a resin-embedded optical waveguide element without deterioration in characteristics can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の樹脂埋込型光導波路素子の一実施例を
示す外観斜視図である。
FIG. 1 is an external perspective view showing one embodiment of a resin-embedded optical waveguide device of the present invention.

【図2】図1に示した樹脂埋込型光導波路素子に用いら
れる光導波路素子の外観斜視図である。
FIG. 2 is an external perspective view of an optical waveguide element used in the resin-embedded optical waveguide element shown in FIG.

【図3】図1に示した樹脂埋込型光導波路素子を製造す
るための金型の断面図である。
FIG. 3 is a sectional view of a mold for manufacturing the resin-embedded optical waveguide element shown in FIG.

【図4】本発明の樹脂埋込型光導波路素子の他の実施例
の外観斜視図である。
FIG. 4 is an external perspective view of another embodiment of the resin-embedded optical waveguide device of the present invention.

【図5】本発明の樹脂埋込型光導波路素子の他の実施例
に用いられる光導波路素子の外観斜視図である。
FIG. 5 is an external perspective view of an optical waveguide element used in another embodiment of the resin-embedded optical waveguide element of the present invention.

【図6】本発明の樹脂埋込型光導波路素子の他の実施例
に用いられる光導波路素子の外観斜視図である。
FIG. 6 is an external perspective view of an optical waveguide element used in another embodiment of the resin-embedded optical waveguide element of the present invention.

【図7】従来の光導波路素子の外観斜視図である。FIG. 7 is an external perspective view of a conventional optical waveguide device.

【図8】従来の光導波路素子の外観斜視図である。FIG. 8 is an external perspective view of a conventional optical waveguide element.

【図9】光導波路基板の光波回路部がマッハツェンダ型
の場合の光導波路素子の外観斜視図である。
FIG. 9 is an external perspective view of an optical waveguide element in a case where a light wave circuit section of the optical waveguide substrate is of a Mach-Zehnder type.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 光導波路基板 33 光ファイバ 34 光ファイバアレイ 11 Optical waveguide substrate 33 Optical fiber 34 Optical fiber array

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平5−45531(JP,A) 特開 平7−140337(JP,A) 特開 平5−66318(JP,A) 特開 平5−27139(JP,A) 特開 平7−92342(JP,A) 特開 平7−198990(JP,A) 特開 平7−209549(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 6/30 G02B 6/12 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (56) References JP-A-5-45531 (JP, A) JP-A-7-140337 (JP, A) JP-A-5-66318 (JP, A) JP-A-5-66318 27139 (JP, A) JP-A-7-92342 (JP, A) JP-A-7-198990 (JP, A) JP-A-7-209549 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G02B 6/30 G02B 6/12

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】基板上に光波回路を形成した光導波路基板
と、光ファイバを整列させて固定した光ファイバアレイ
とからなり、上記光導波路基板と光ファイバアレイとが
光軸調芯して接着固定され、上記光導波路基板及び光フ
ァイバアレイとの接着部分が、その周囲に被覆成型され
た樹脂により直接覆われている光導波路素子において、
光導波路基板は光波回路部分で上記樹脂と接触しておら
ず光回路以外の部分で直接樹脂と接触して該樹脂に埋め
込まれていることを特徴とする樹脂埋込型光導波路素
子。
An optical waveguide substrate having a lightwave circuit formed on a substrate and an optical fiber array in which optical fibers are aligned and fixed, wherein the optical waveguide substrate and the optical fiber array are aligned and aligned with each other. It is fixed, and the adhesive portion with the optical waveguide substrate and the optical fiber array is covered and molded around it.
In the optical waveguide element directly covered with the resin,
The optical waveguide substrate is in contact with the resin at the lightwave circuit part.
Directly in contact with the resin in the area other than the optical circuit and buried in the resin
Resin embedded type optical waveguide device characterized by being written.
【請求項2】上記樹脂が上記光波回路に接触しないよう
に該光波回路の上方にスポンジが貼り付けられており、
該スポンジと上記光導波路基板とが一体的に上記樹脂中
に埋め込まれていることを特徴とする請求項1に記載の
樹脂埋込型光導波路素子。
2. The method according to claim 1, wherein the resin does not contact the lightwave circuit.
A sponge is attached above the lightwave circuit,
The sponge and the optical waveguide substrate are integrally formed in the resin.
The resin-embedded optical waveguide device according to claim 1, wherein the optical waveguide device is embedded in a substrate.
【請求項3】上記樹脂が上記光波回路に接触しないよう
に該光波回路の上方にキャップが被せられており、該キ
ャップと上記光導波路基板とが一体的に上記樹脂中に埋
め込まれていることを特徴とする請求項1に記載の樹脂
埋込型光導波路素子。
3. The method of claim 1, wherein the resin does not contact the lightwave circuit.
A cap is placed on the lightwave circuit above the lightwave circuit.
The cap and the optical waveguide substrate are integrally embedded in the resin.
The resin-embedded optical waveguide device according to claim 1, wherein the optical waveguide device is embedded.
【請求項4】上記樹脂が、熱硬化性エポキシ樹脂である
請求項1乃至3のいずれかに記載の樹脂埋込型光導波路
素子。
4. The resin is a thermosetting epoxy resin.
The resin-embedded optical waveguide device according to claim 1 .
【請求項5】上記樹脂が、ポリフェニレンサルファイド
である請求項1乃至3のいずれかに記載の樹脂埋込型光
導波路素子。
5. The method according to claim 1 , wherein the resin is polyphenylene sulfide.
The resin-embedded optical waveguide device according to claim 1, wherein:
【請求項6】上記樹脂が、液晶ポリマーである請求項1
乃至3のいずれかに記載の樹脂埋込型光導波路素子。
6. The method according to claim 1, wherein said resin is a liquid crystal polymer.
4. The resin-embedded optical waveguide device according to any one of items 1 to 3 .
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