JP3134548B2 - Electrostatic recording head and method of manufacturing the same - Google Patents

Electrostatic recording head and method of manufacturing the same

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JP3134548B2 JP28267292A JP28267292A JP3134548B2 JP 3134548 B2 JP3134548 B2 JP 3134548B2 JP 28267292 A JP28267292 A JP 28267292A JP 28267292 A JP28267292 A JP 28267292A JP 3134548 B2 JP3134548 B2 JP 3134548B2
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俊英 田中
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哲夫 山田
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は静電記録ヘッドに関する
もので、更に詳細には、放電電極と絶縁層と誘導電極と
から成るイオン生成部と、スクリーン電極にて形成され
るイオン流制御部とを具備して、例えばプリンタやファ
クシミリ等に使用される静電記録ヘッドに関するもので
ある。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrostatic recording head, and more particularly, to an ion generating section comprising a discharge electrode, an insulating layer and an induction electrode, and an ion flow controlling section formed by a screen electrode. The present invention relates to an electrostatic recording head used for, for example, a printer or a facsimile.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、イオンを発生させて、このイオン
によって画像の記録を行う静電記録ヘッドが知られてい
る(特開昭54−78134号公報参照)。上記静電記
録ヘッドは、図3,4に示すように、絶縁基板01上に
順次形成された誘導電極02、第1絶縁層03、前記誘
導電極02に交差するように配置された放電電極04、
第2絶縁層05を備えている。第2絶縁層05は前記放
電電極04の前記誘導電極02との交差部にイオン発生
用の空間領域06を有している。前記交差部及び空間領
域06は、図4において(平面図において)マトリクス
状に配置されている。この絶縁基板01上には、スクリ
ーン電極07が形成されており、このスクリーン電極0
7には、前記空間領域06に対応してイオン通過用の開
口08が形成されている。前記符号02〜06で示され
る要素と、前記誘導電極02及び放電電極04間に高周
波高電圧を印加する高圧電源020から、前記空間領域
06にイオンを生成するイオン生成部が構成されてい
る。前記放電電極04には、スクリーン電極07との間
にイオン流制御用の電界を発生させるための、パルス状
のイオン流制御電圧を出力するイオン制御電源021が
接続されている。このイオン制御電源021及び前記符
号04〜07で示された要素からイオン流制御部が構成
されている。また、前記スクリーン電極07には、図示
しない静電潜像担持体(誘電体ドラム)に対するバイア
ス電位を発生させる直流電源022が接続されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known an electrostatic recording head which generates ions and records an image using the ions (see Japanese Patent Application Laid-Open No. 54-78134). As shown in FIGS. 3 and 4, the electrostatic recording head includes an induction electrode 02, a first insulation layer 03, and a discharge electrode 04 arranged so as to intersect the induction electrode 02, which are sequentially formed on an insulating substrate 01. ,
The second insulating layer 05 is provided. The second insulating layer 05 has a space region 06 for generating ions at the intersection of the discharge electrode 04 and the induction electrode 02. The intersections and the space areas 06 are arranged in a matrix (in a plan view) in FIG. On the insulating substrate 01, a screen electrode 07 is formed.
7, an opening 08 for ion passage is formed corresponding to the space area 06. An ion generation unit that generates ions in the space area 06 is configured by the elements indicated by the reference numerals 02 to 06 and the high-voltage power supply 020 that applies a high-frequency high voltage between the induction electrode 02 and the discharge electrode 04. The discharge electrode 04 is connected to an ion control power supply 21 for outputting a pulse-like ion flow control voltage for generating an ion flow control electric field between the discharge electrode 04 and the screen electrode 07. An ion flow control unit is composed of the ion control power supply 021 and the elements indicated by the reference numerals 04 to 07. The screen electrode 07 is connected to a DC power supply 022 for generating a bias potential for an electrostatic latent image carrier (dielectric drum) not shown.

【0003】このような静電記録ヘッドHoは、前記空
間領域06においてコロナ放電を生起させ、このコロナ
放電によって発生したイオンを、放電電極04とスクリ
ーン電極07との間の電界によって加速もしくは吸収
し、イオン放出の制御を行い、潜像担持体(図示せず)
上に静電潜像を形成するようになっている。
In such an electrostatic recording head Ho, a corona discharge is generated in the space area 06, and ions generated by the corona discharge are accelerated or absorbed by an electric field between the discharge electrode 04 and the screen electrode 07. , Control of ion emission, and a latent image carrier (not shown)
An electrostatic latent image is formed thereon.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ここで、前記第1絶縁
層03の材質を考えると、ポリイミド、テフロンといっ
た有機高分子材料では、放電にさらされて特性が劣化し
てしまう。この他には例えば、特開昭63−27015
4号公報では天然マイカが挙げられている。しかし、こ
れでは安定性に欠ける。また、特開平2−20357号
公報ではアルミナ等のセラミックを挙げているが、グリ
ーンシート印刷積層法では焼成時に収縮して寸法精度が
悪い。ヘッドとしての特性を満足するためには、必要と
される寸法精度がある。要求品質とコストに見合う特性
を得るには、イオン発生部が厚膜印刷法により形成され
ることが提案される。この場合、絶縁層はガラスペース
トを印刷、焼成して作成することが簡便な方法である。
しかしながら、ガラスを用いた絶縁膜はピンホールやボ
イドの存在により、絶縁破壊電圧が低くなることが知ら
れている。これは、ボイドのある膜は、膜の有効厚みが
減るので、そのぶん絶縁破壊電圧が低くなるからだと考
えられる。このような膜を第1絶縁層とした場合、初期
あるいはヘッド動作時に絶縁破壊を起こし、これにより
ヘッドが故障してしまうという問題があった。この発明
は上記事情に鑑み、下記(A11)の記載内容を課題とす
る。(A11) 交流高電圧が印加される第1絶縁層の
絶縁破壊電圧を高くして、信頼性を向上させた静電記録
ヘッドを提供すること。
Considering the material of the first insulating layer 03, the characteristics of organic polymer materials such as polyimide and Teflon deteriorate when exposed to discharge. Other than this, see, for example, JP-A-63-27015.
No. 4 discloses natural mica. However, this lacks stability. Japanese Patent Laid-Open No. 20357/1990 describes a ceramic such as alumina. However, the green sheet printing lamination method shrinks during firing, resulting in poor dimensional accuracy. In order to satisfy the characteristics as a head, there is a required dimensional accuracy. In order to obtain characteristics that meet the required quality and cost, it is proposed that the ion generating portion be formed by a thick film printing method. In this case, it is a simple method to form the insulating layer by printing and baking a glass paste.
However, it is known that an insulating film using glass has a low dielectric breakdown voltage due to the presence of pinholes and voids. This is considered to be because the voided film has a reduced effective thickness, and thus has a lower dielectric breakdown voltage. When such a film is used as the first insulating layer, there is a problem that breakdown occurs at an initial stage or at the time of operation of the head, thereby causing a failure of the head. The present invention has been made in view of the above circumstances, and has an object of the following content (A11). (A11) To provide an electrostatic recording head with improved reliability by increasing the dielectric breakdown voltage of a first insulating layer to which an AC high voltage is applied.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】次に、前記課題を解決す
るために案出した本発明を説明するが、本発明の要素に
は、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実
施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。な
お、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する
理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明
の範囲を実施例に限定するためではない。前記課題を解
決するために、本出願の第1発明の静電記録ヘッド
(H)は、所定方向に延びる誘導電極(2)、厚膜印刷
法で製作されたガラス製の第1絶縁層(3)、前記誘導
電極(2)に交差するように配置された放電電極
(4)、この放電電極(4)の前記誘導電極(2)との
交差部にイオン発生用の空間領域(6)を有する第2絶
縁層(5)、及び、前記イオン発生用の空間領域(6)
に対応してイオン通過用の開口(8)を有するスクリー
ン電極(7)が絶縁基板(1)上に積層状態で設けられ
た静電記録ヘッド(H)において、下記の要件(A1)
を備えたことを特徴とする、(A1) 前記第1絶縁膜
(3)は、結晶化ガラスペーストが結晶化温度より低い
温度で焼成されて形成された非晶状態のガラスにより構
成されたこと。
Next, the present invention devised to solve the above-mentioned problems will be described. Elements of the present invention are used to facilitate correspondence with elements of the embodiments described later. , The reference numerals of the elements of the embodiment are enclosed in parentheses. The reason why the present invention is described in correspondence with the reference numerals of the following embodiments is to facilitate understanding of the present invention, and not to limit the scope of the present invention to the embodiments. In order to solve the above problems, an electrostatic recording head (H) according to a first invention of the present application includes an induction electrode (2) extending in a predetermined direction, a first insulating layer made of glass (thick film printing method). 3) a discharge electrode (4) arranged to intersect the induction electrode (2), and a space region (6) for generating ions at an intersection of the discharge electrode (4) with the induction electrode (2). A second insulating layer (5) having the following, and a spatial region (6) for the ion generation:
In an electrostatic recording head (H) in which a screen electrode (7) having an opening (8) for ion passage corresponding to the above is provided in a laminated state on an insulating substrate (1), the following requirements (A1)
(A1) The first insulating film (3) is made of amorphous glass formed by firing a crystallized glass paste at a temperature lower than a crystallization temperature. .

【0006】一般に、ボイドの少ないガラスを得るため
には、非晶質ガラスを用いればよいが、この場合は焼成
を繰り返すうちに、導体と反応して特性に悪影響を及ぼ
す欠点がある。また、市販の非晶質ガラスペーストは耐
熱性のフィラーを混合しているうえに、焼成時に少量の
結晶が析出することがある。前記第1絶縁層は、例え
ば、ガラス組成がSiO2・MgO・ZnO・Al2 3
から成り、転移点が660°C、軟化点が800°C、
結晶化温度が850°Cである結晶化ガラスペーストを
印刷・焼成して作成する。このとき焼成ピーク温度を8
00〜850°Cとすると、非晶状態にすることができ
る。電極材料としては、Ag,Ag/Pd,Ag/P
t,Au,Pt,Al,Cr,Ni等の導体ペーストあ
るいはRuO2といった抵抗ペーストから選択できる。
Generally, in order to obtain a glass having less voids,
In this case, an amorphous glass may be used.
Reacts repeatedly with the conductor, adversely affecting the characteristics.
There are drawbacks. Also, commercially available amorphous glass paste is resistant to
In addition to mixing a thermal filler, a small amount of
Crystals may precipitate. The first insulating layer may be, for example,
If the glass composition is SiOTwo・ MgO ・ ZnO ・ AlTwoO Three
Having a transition point of 660 ° C, a softening point of 800 ° C,
Crystallized glass paste with a crystallization temperature of 850 ° C
Create by printing and baking. At this time, the firing peak temperature was set to 8
When the temperature is in the range of 00 to 850 ° C., the amorphous state can be obtained.
You. Ag, Ag / Pd, Ag / P
t, Au, Pt, Al, Cr, Ni, etc.
Alternatively, a resistor paste such as RuO2 can be selected.

【0007】また、本出願の第2発明の静電記録ヘッド
(H)の製造方法は、所定方向に延びる誘導電極
(2)、厚膜印刷法で製作されたガラス製の第1絶縁層
(3)、前記誘導電極(2)に交差するように配置され
た放電電極(4)、この放電電極(4)の前記誘導電極
(2)との交差部にイオン発生用の空間領域(6)を有
する第2絶縁層(5)、及び、前記イオン発生用の空間
領域(6)に対応してイオン通過用の開口(8)を有す
るスクリーン電極(7)が絶縁基板(1)上に順次形成
された静電記録ヘッド(H)の製造方法において、下記
の要件(A2),(A3)を備えたことを特徴とする、
(A2) 前記第1絶縁層(3)を形成する際、結晶化
ガラスペーストを結晶化温度より低い温度で焼成するこ
と、(A3) 前記第1絶縁層(3)を形成した後の工
程の前記絶縁基板(1)の処理温度を、前記第1絶縁層
の焼成ピーク温度より低くすること。
Further, the method of manufacturing the electrostatic recording head (H) according to the second invention of the present application is directed to an induction electrode (2) extending in a predetermined direction, and a first insulating layer made of glass (thick film printing). 3) a discharge electrode (4) arranged to intersect the induction electrode (2), and a space region (6) for generating ions at an intersection of the discharge electrode (4) with the induction electrode (2). And a screen electrode (7) having an opening (8) for ion passage corresponding to the space region (6) for ion generation on the insulating substrate (1). In the method for manufacturing the formed electrostatic recording head (H), the following requirements (A2) and (A3) are provided.
(A2) when forming the first insulating layer (3), firing the crystallized glass paste at a temperature lower than the crystallization temperature; (A3) in the step after forming the first insulating layer (3); A processing temperature of the insulating substrate (1) is lower than a firing peak temperature of the first insulating layer.

【0008】[0008]

【作用】次に、前述の特徴を備えた本発明の作用を説明
する。前述の特徴を備えた本出願の第1発明の静電記録
ヘッド(H)では、第1絶縁層(3)は、結晶化させた
ときに生成する結晶粒界によるボイドが発生せず、緻密
な膜になっている
Next, the operation of the present invention having the above-mentioned features will be described. In the electrostatic recording head (H) according to the first invention of the present application having the above-described features, the first insulating layer (3) does not generate voids due to crystal grain boundaries generated when crystallizing, and is dense. It is a film

【0009】前述の特徴を備えた本出願の第2発明の静
電記録ヘッド(H)の製造方法によれば、第1絶縁層
(3)はその結晶化温度よりも低い温度で焼成されるの
で、その形成直後は結晶化していない。またこの後工程
における絶縁基板(第1絶縁層が形成された絶縁基板)
(1)の処理温度は前記第1絶縁層(3)の焼成温度よ
り高い温度に達することがない。このため、後工程で第
1絶縁層(3)が結晶化してしまいボイドが発生すると
いうようなことは起こらない。
According to the method of manufacturing the electrostatic recording head (H) according to the second aspect of the present invention having the above-described features, the first insulating layer (3) is fired at a temperature lower than its crystallization temperature. Therefore, it is not crystallized immediately after its formation. Further, an insulating substrate (an insulating substrate on which a first insulating layer is formed) in a subsequent process
The processing temperature of (1) does not reach a temperature higher than the firing temperature of the first insulating layer (3). For this reason, it does not occur that the first insulating layer (3) is crystallized in a later step to generate voids.

【0010】[0010]

【実施例】次に図面を参照しながら、本発明の実施例を
説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるもので
はない。図1は本発明の静電記録ヘッドの一実施例を示
す要部断面図、図2は同実施例の静電記録ヘッドの一部
切除平面図である。なお、図1中「○」の中に「・」が
記載されたものは紙面の裏から表に向かう矢印を意味
し、「○」の中に「×」が記載されたものは紙面の表か
ら裏に向かう矢印を意味するものとする。この実施例の
静電記録ヘッドHの全体構成は、前記図3に示した従来
の静電記録ヘッドHoと略同一である。図1,2に示す
静電記録ヘッドHの実施例の説明において、前記図3,
4に示す従来の静電記録ヘッドの構成要素に対応する構
成要素には図3,4で使用した符号の最初の0を除いた
符号を付して、その全体構成の詳細な説明は省略する。
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings, but the present invention is not limited to the following embodiments. FIG. 1 is a sectional view of a principal part showing an embodiment of the electrostatic recording head of the present invention, and FIG. 2 is a partially cutaway plan view of the electrostatic recording head of the embodiment. In FIG. 1, “・” in “○” means an arrow heading from the back of the paper to the front, and “×” in “」 ”means an arrow on the paper. From the back to the back. The overall configuration of the electrostatic recording head H of this embodiment is substantially the same as the conventional electrostatic recording head Ho shown in FIG. In the description of the embodiment of the electrostatic recording head H shown in FIGS.
4, the components corresponding to those of the conventional electrostatic recording head shown in FIG. 4 are denoted by the same reference numerals except for the first 0 used in FIGS. 3 and 4, and detailed description of the overall configuration is omitted. .

【0011】図1,2において、静電記録ヘッドHは、
96%アルミナ材料製の絶縁基板1を有している。絶縁
基板1表面には、厚膜印刷法で形成された誘導電極2が
形成されている。この誘導電極2は、Ag/Ptの合金
で形成されている。また、この誘導電極2は、図2から
分かるように複数本(この例では5本)形成されてい
る。各誘導電極2は、主走査方向(図1,2で左右方向
すなわち矢印Xで示す方向)Xに延びる誘導電極本体部
分2aと誘導電極引出部分2b(図2参照)とを有してい
る。前記誘導電極2が形成された絶縁基板1表面には、
前記誘導電極本体部2aを被覆するようにガラス製の第
1絶縁層3が形成されている。この第1絶縁層3は図2
から分かるように、平面図で見て長方形である。
In FIGS. 1 and 2, an electrostatic recording head H is
It has an insulating substrate 1 made of 96% alumina material. On the surface of the insulating substrate 1, an induction electrode 2 formed by a thick film printing method is formed. The induction electrode 2 is formed of an Ag / Pt alloy. Further, as can be seen from FIG. 2, a plurality of the induction electrodes 2 (five in this example) are formed. Each guide electrode 2 has a guide electrode body portion 2a and a guide electrode lead portion 2b (see FIG. 2) extending in the main scanning direction (the horizontal direction in FIGS. 1 and 2, ie, the direction indicated by arrow X) X. On the surface of the insulating substrate 1 on which the induction electrode 2 is formed,
A first insulating layer 3 made of glass is formed so as to cover the induction electrode body 2a. This first insulating layer 3 is shown in FIG.
As can be seen from FIG.

【0012】図2において、前記第1絶縁層3の表面に
はNi製の複数の放電電極4が形成されている。各放電
電極4は、二股に別れた放電電極本体部4a,4aと放電
電極引出部4bとを有している。前記放電電極本体部4
a,4aは、平行であり、前記主走査方向に延びる誘導電
極本体部2aを斜めに横切るように配置されている。前
記複数の放電電極4が形成された絶縁基板1表面にはガ
ラス製の第2絶縁層5が形成されている。この第2絶縁
層5は、図1,2から分かるように、前記各放電電極4
の一対の放電電極本体部4a,4a間に放電空間6を形成
するように配置されている。前記第2絶縁層5が形成さ
れた絶縁基板1表面には、厚さ30μmのステンレス箔
を用いたスクリーン電極7が形成されている。このスク
リーン電極7には、前記各放電空間6及び誘電電極本体
部2aに対応して開口8が形成されている。前記放電空
間6及び開口8はマトリックス状に配置されている。本
実施例の静電記録ヘッドHは、前記符号1〜8で示され
た要素から構成されている。
In FIG. 2, a plurality of Ni discharge electrodes 4 are formed on the surface of the first insulating layer 3. Each of the discharge electrodes 4 has a discharge electrode main body 4a, 4a and a discharge electrode lead portion 4b which are separated into two parts. The discharge electrode body 4
a and 4a are parallel, and are arranged so as to obliquely cross the induction electrode main body 2a extending in the main scanning direction. On the surface of the insulating substrate 1 on which the plurality of discharge electrodes 4 are formed, a second insulating layer 5 made of glass is formed. As can be seen from FIGS. 1 and 2, this second insulating layer 5
Are disposed so as to form a discharge space 6 between the pair of discharge electrode main bodies 4a, 4a. On the surface of the insulating substrate 1 on which the second insulating layer 5 is formed, a screen electrode 7 using a stainless steel foil having a thickness of 30 μm is formed. The screen electrode 7 has openings 8 corresponding to the discharge spaces 6 and the dielectric electrode body 2a. The discharge space 6 and the openings 8 are arranged in a matrix. The electrostatic recording head H according to the present embodiment includes the elements indicated by the reference numerals 1 to 8.

【0013】図1において、前記誘導電極2とスクリー
ン電極7との間には高周波高電圧の交流電源20が設け
られ、前記放電電極4にはパルス状のイオン流制御電圧
を出力するイオン制御電源21が接続されている。ま
た、前記スクリーン電極7は、直流電源22を介して静
電潜像担持体23に接続されている。静電潜像担持体2
3は、前記スクリーン電極7の開口8に対向する位置に
配置されている 前記交流電源20の高周波高電圧が印加されると前記放
電空間6において沿面コロナ放電が起こり、この沿面コ
ロナ放電によってイオンが発生する。
In FIG. 1, an AC power supply 20 of high frequency and high voltage is provided between the induction electrode 2 and the screen electrode 7, and an ion control power supply for outputting a pulsed ion flow control voltage to the discharge electrode 4. 21 are connected. The screen electrode 7 is connected to an electrostatic latent image carrier 23 via a DC power supply 22. Electrostatic latent image carrier 2
3 is arranged at a position facing the opening 8 of the screen electrode 7 When a high-frequency high voltage of the AC power supply 20 is applied, a creeping corona discharge occurs in the discharge space 6, and ions are generated by the creeping corona discharge. appear.

【0014】前記放電電極4とスクリーン電極7との間
には前記イオン流制御電圧に対応する電界が発生する。
この電界により、前記沿面コロナ放電によって発生した
イオンは加速され前記開口8を通って前記静電潜像担持
体23に向かうか、若しくはスクリーン電極7に吸収さ
れる。前記開口8を通過したイオンは、静電潜像担持体
23に静電潜像を形成する。
An electric field corresponding to the ion flow control voltage is generated between the discharge electrode 4 and the screen electrode 7.
Due to this electric field, ions generated by the creeping corona discharge are accelerated and travel toward the electrostatic latent image carrier 23 through the opening 8 or are absorbed by the screen electrode 7. The ions passing through the opening 8 form an electrostatic latent image on the electrostatic latent image carrier 23.

【0015】前記第1絶縁層3は結晶化ガラスペースト
をピーク温度800°Cで焼成して作成する。このとき
に第1絶縁層3の焼成膜厚は25μmとする。このあ
と、放電電極4と第2絶縁層5とはピーク温度650°
C(すなわち、前記800°C以下の温度)で焼成す
る。そうすると、第1絶縁層3は結晶粒界によるボイド
のない膜となる。このようにして作成した静電記録ヘッ
ドHに交流電源20から1MHzで1kVpの電圧を印
加しても、第1絶縁層は初期絶縁破壊をおこさなかっ
た。また、この静電潜像記録ヘッドHは、実際に静電潜
像担持体(誘電体ドラム)23に静電潜像を形成するの
に使用しても、第1絶縁層3の故障は発生しなかった。
The first insulating layer 3 is formed by firing a crystallized glass paste at a peak temperature of 800 ° C. At this time, the fired film thickness of the first insulating layer 3 is 25 μm. Thereafter, the discharge electrode 4 and the second insulating layer 5 have a peak temperature of 650 °.
C. (that is, the temperature is 800 ° C. or less). Then, the first insulating layer 3 is a film having no voids due to crystal grain boundaries. Even when a voltage of 1 kVp was applied from the AC power supply 20 at 1 MHz to the thus-formed electrostatic recording head H, the first insulating layer did not cause initial dielectric breakdown. Further, even if the electrostatic latent image recording head H is actually used to form an electrostatic latent image on the electrostatic latent image carrier (dielectric drum) 23, the failure of the first insulating layer 3 occurs. Did not.

【0016】(変更例)以上、本発明の実施例を詳述し
たが、本発明は、前記実施例に限定されるものではな
く、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内
で、種々の変更を行うことが可能である。例えば、前記
第1絶縁層3の焼成時のピーク温度及び焼成膜厚等は実
施例で示した値に限定されるものではなく、本発明の要
旨の範囲内で種々の値を採用することが可能である。前
記放電電極4及び第2絶縁層5の焼成時のピーク温度
も、前記第1絶縁層3の焼成時のピーク温度以下の範囲
で種々の値を採用することが可能である。
(Modifications) Although the embodiments of the present invention have been described in detail, the present invention is not limited to the above-described embodiments, but falls within the scope of the present invention described in the appended claims. Thus, various changes can be made. For example, the peak temperature, the fired film thickness, and the like at the time of firing the first insulating layer 3 are not limited to the values shown in the examples, and various values may be adopted within the scope of the present invention. It is possible. Various values can also be adopted for the peak temperature at the time of firing the discharge electrode 4 and the second insulating layer 5 within the range of the peak temperature at the time of firing the first insulating layer 3.

【0017】[0017]

【発明の効果】以上に説明したように、本出願の第1発
明の静電記録ヘッドは、第1絶縁層が結晶粒界によるボ
イドのない膜となる。このため、初期および使用時にお
いて、第1絶縁層の絶縁破壊を起こさず、長期にわたり
安定した信頼性の高いヘッドを使用できることになる。
また、本出願の第2発明の静電記録ヘッドの製造方法に
よれば、信頼性の高い静電記録ヘッドを製造することが
できる。
As described above, in the electrostatic recording head according to the first aspect of the present invention, the first insulating layer is a film free from voids due to crystal grain boundaries. For this reason, it is possible to use a stable and highly reliable head for a long period of time without causing dielectric breakdown of the first insulating layer at the initial stage and during use.
According to the method for manufacturing an electrostatic recording head of the second invention of the present application, a highly reliable electrostatic recording head can be manufactured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 この発明に係わる静電記録ヘッドの一実施例
を示す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of an electrostatic recording head according to the present invention.

【図2】 同実施例の静電記録ヘッドの一部切除平面図
である。
FIG. 2 is a partially cutaway plan view of the electrostatic recording head of the embodiment.

【図3】 従来の静電記録ヘッドを示す断面図である。FIG. 3 is a sectional view showing a conventional electrostatic recording head.

【図4】 同ヘッドの一部切除平面図である。FIG. 4 is a partially cutaway plan view of the head.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…絶縁基板、2…誘導電極、3…第1絶縁層、4…放
電電極、5…第2絶縁層、6…イオン発生用の空間領
域、7…スクリーン電極、8…開口部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Insulating substrate, 2 ... Induction electrode, 3 ... First insulating layer, 4 ... Discharge electrode, 5 ... Second insulating layer, 6 ... Space area for ion generation, 7 ... Screen electrode, 8 ... Opening

フロントページの続き (72)発明者 山田 哲夫 神奈川県海老名市本郷2274番地 富士ゼ ロックス株式会社内 (72)発明者 宇田川 浩二 神奈川県海老名市本郷2274番地 富士ゼ ロックス株式会社内 (56)参考文献 特開 平4−353475(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B41J 2/415 G03G 15/05 H04N 1/032 Continuing from the front page (72) Inventor Tetsuo Yamada 2274 Hongo, Ebina-shi, Kanagawa Prefecture Inside Fuji Xerox Co., Ltd. (72) Inventor Koji Udagawa 2274 Hongo, Ebina-shi, Kanagawa Prefecture Inside Fuji Xerox Co., Ltd. (56) References Kaihei 4-353475 (JP, A) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) B41J 2/415 G03G 15/05 H04N 1/032

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 所定方向に延びる誘導電極、厚膜印刷法
で製作されたガラス製の第1絶縁層、前記誘導電極に交
差するように配置された放電電極、この放電電極の前記
誘導電極との交差部にイオン発生用の空間領域を有する
第2絶縁層、及び、前記イオン発生用の空間領域に対応
してイオン通過用の開口を有するスクリーン電極が絶縁
基板上に積層状態で設けられた静電記録ヘッドにおい
て、下記の要件(A1)を備えたことを特徴とする静電
記録ヘッド、(A1) 前記第1絶縁膜は、結晶化ガラ
スペーストが結晶化温度より低い温度で焼成されて形成
された非晶状態のガラスにより構成されたこと。
1. An induction electrode extending in a predetermined direction, a first insulating layer made of glass manufactured by a thick-film printing method, a discharge electrode arranged to intersect the induction electrode, and an induction electrode of the discharge electrode. A second insulating layer having a space region for ion generation at the intersection of the above, and a screen electrode having an opening for ion passage corresponding to the space region for ion generation are provided in a laminated state on the insulating substrate. The electrostatic recording head, which satisfies the following requirement (A1): (A1) The first insulating film is formed by firing a crystallized glass paste at a temperature lower than a crystallization temperature. It is composed of the formed amorphous glass.
【請求項2】 所定方向に延びる誘導電極、厚膜印刷法
で製作されたガラス製の第1絶縁層、前記誘導電極に交
差するように配置された放電電極、この放電電極の前記
誘導電極との交差部にイオン発生用の空間領域を有する
第2絶縁層、及び、前記イオン発生用の空間領域に対応
してイオン通過用の開口を有するスクリーン電極が絶縁
基板上に順次形成された静電記録ヘッドの製造方法にお
いて、下記の要件(A2),(A3)を備えたことを特徴
とする静電記録ヘッドの製造方法、(A2) 前記第1
絶縁層(3)を形成する際、結晶化ガラスペーストを結
晶化温度より低い温度で焼成すること、(A3) 前記
第1絶縁層(3)を形成した後の工程の前記絶縁基板
(1)の処理温度を、前記第1絶縁層の焼成ピーク温度
より低くすること。
2. An induction electrode extending in a predetermined direction, a first insulating layer made of glass manufactured by a thick-film printing method, a discharge electrode arranged to intersect the induction electrode, and an induction electrode of the discharge electrode. A second insulating layer having an ion-generating space region at the intersection of the electrodes, and a screen electrode having an ion-passing opening corresponding to the ion-generating space region is sequentially formed on an insulating substrate. In the method for manufacturing a recording head, the following requirements (A2) and (A3) are provided, (A2) the first method:
When forming the insulating layer (3), firing the crystallized glass paste at a temperature lower than the crystallization temperature; (A3) the insulating substrate (1) in the step after forming the first insulating layer (3); A temperature lower than the firing peak temperature of the first insulating layer.
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