JP3123895B2 - Ultrasonic sensor and dispensing device using the same - Google Patents

Ultrasonic sensor and dispensing device using the same

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JP3123895B2
JP3123895B2 JP07083210A JP8321095A JP3123895B2 JP 3123895 B2 JP3123895 B2 JP 3123895B2 JP 07083210 A JP07083210 A JP 07083210A JP 8321095 A JP8321095 A JP 8321095A JP 3123895 B2 JP3123895 B2 JP 3123895B2
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淳 小川
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、距離測定に用いる超音
波センサと、試薬、検体等の分注や希釈を行なう分注装
置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic sensor used for distance measurement and a dispensing apparatus for dispensing or diluting a reagent, a specimen, or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に分注装置は、図10に示す様に、
コントローラ(19)によって制御される3軸駆動テーブル
機構(18)の出力部に分注ヘッド(15)を取り付けて構成さ
れ、分注ヘッド(15)には、試薬を吸入、吐出すべきピペ
ット(16)が下向きに突設されている。
2. Description of the Related Art Generally, as shown in FIG.
A dispensing head (15) is attached to an output portion of a three-axis drive table mechanism (18) controlled by a controller (19). The dispensing head (15) has a pipette ( 16) is projected downward.

【0003】分注台(17)上に設置されたプレート(20)の
各凹部(21)へ試薬を分注する際には、3軸駆動テーブル
機構(18)の動作により分注ヘッド(15)を移動させて、ピ
ペット(16)の先端部をプレート(20)の凹部(21)へ接近さ
せ、ピペット(16)内の試薬を凹部(21)へ吐出する。試薬
の希釈や混合を行なう場合には、凹部(21)内に他の試薬
(22)が既に注入されており、ピペット(16)から滴下する
試薬を凹部(21)内の試薬(22)の液面に接触させて、表面
張力を開放することによって、試薬の吐出を行なう。こ
のとき、ピペット(16)自体が凹部(21)内の試薬(22)と接
触すると、ピペット(16)に付着した試薬が次の分注工程
で他の試薬に混入するため、ピペット(16)の先端面が試
薬(22)の液面よりも僅かに浮上した位置で、試薬の吐出
を行なう必要がある。
When a reagent is dispensed into each recess (21) of a plate (20) placed on a dispensing table (17), a dispensing head (15) is operated by a three-axis drive table mechanism (18). ) Is moved so that the tip of the pipette (16) approaches the recess (21) of the plate (20), and the reagent in the pipette (16) is discharged into the recess (21). When diluting or mixing reagents, place other reagents in the recesses (21).
The reagent (22) has already been injected, and the reagent dropped from the pipette (16) is brought into contact with the liquid surface of the reagent (22) in the recess (21) to release the surface tension, thereby discharging the reagent. . At this time, when the pipette (16) itself comes into contact with the reagent (22) in the concave portion (21), the reagent attached to the pipette (16) is mixed with another reagent in the next dispensing step, so that the pipette (16) It is necessary to discharge the reagent at a position where the front end surface of the sample floats slightly above the liquid surface of the reagent (22).

【0004】上記の如く試薬の希釈や混合を行なう場合
には、コントローラ(19)による制御の下、分注ヘッド(1
5)を下降させて、ピペット(16)をプレート(20)の凹部(2
1)内の試薬(22)の液面に対して可及的に接近させるので
あるが、試薬(22)の液面位は凹部(21)によってまちまち
であるため、その都度、試薬(22)の液面位を測定して、
ピペット(16)の高さ位置を調整する必要がある。この
際、試薬(22)の液面位の測定には、0.1mm程度の精
度が要求される。
[0004] When the reagent is diluted or mixed as described above, the dispensing head (1) is controlled by the controller (19).
5) Lower the pipette (16) into the recess (2) of the plate (20).
Although the liquid level of the reagent (22) in 1) is brought as close as possible, the liquid level of the reagent (22) varies depending on the concave portion (21), so each time the reagent (22) Measure the liquid level of
It is necessary to adjust the height position of the pipette (16). At this time, the measurement of the liquid level of the reagent (22) requires an accuracy of about 0.1 mm.

【0005】距離測定の精度の点では、レーザ測長器を
用いることが有利であるが、この場合、レーザ光が試薬
に照射されることになるため、透明の試薬や、光化学反
応を起こす試薬については適用出来ない。
In terms of accuracy of distance measurement, it is advantageous to use a laser measuring device. However, in this case, a laser beam is applied to the reagent, so that a transparent reagent or a reagent causing a photochemical reaction is used. Is not applicable.

【0006】そこで、従来は、図10の如く分注ヘッド
(15)の側部に超音波センサ(1)を取り付けて、試薬(22)
の液面までの距離を測定し、該測定値をコントローラ(1
9)による3軸駆動テーブル機構(18)の制御にフィードバ
ックすることが行なわれている。
Therefore, conventionally, a dispensing head as shown in FIG.
Attach the ultrasonic sensor (1) to the side of (15) and add the reagent (22)
The distance to the liquid level is measured, and the measured value is
Feedback is performed to the control of the three-axis drive table mechanism (18) according to 9).

【0007】超音波センサ(1)による距離測定において
は、図6に示す如く超音波センサ(1)から測定対象(24)
へ向けて送信波を発すると共に、測定対象(24)にて反射
されて戻ってくる受信波を超音波センサ(1)で受け、送
信波の発信から受信波の受信までの時間計測に基づい
て、測定対象までの距離を測定する。ここで、送信波
は、振動子の機械インピーダンスによって、図7に示す
如く振幅が徐々に増大した後、徐々に減小する波形とな
る。又、これに伴って、受信波も同様の波形となる。
尚、送信波と受信波とは周波数が同一であって、且つ受
信波に含まれる複数の波のピーク値は、対応する送信波
の波のピーク値に対して夫々、一定の減衰率を有するこ
とになる。
In the distance measurement by the ultrasonic sensor (1), as shown in FIG.
The transmission wave is emitted toward the, and the reception wave reflected and returned by the measurement target (24) is received by the ultrasonic sensor (1), and based on the time measurement from the transmission of the transmission wave to the reception of the reception wave. Measure the distance to the object to be measured. Here, the transmission wave has a waveform whose amplitude gradually increases and then gradually decreases as shown in FIG. 7 due to the mechanical impedance of the vibrator. Along with this, the received wave also has a similar waveform.
Note that the transmission wave and the reception wave have the same frequency, and the peak values of a plurality of waves included in the reception wave each have a constant attenuation rate with respect to the peak value of the corresponding transmission wave. Will be.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】送信波の発信から受信
波の受信までの時間計測は、正確には、送信波の第1波
の立上りから受信波の第1波の立上りまでの期間を対象
として行なう必要があるが、受信波の第1波の立上りに
ついては、ノイズによる誤検出を避けるため、波形の振
幅値が一定のスレッショルドレベルを越えた時点を以
て、第1波の立上り時点としている。この結果、従来の
超音波センサの測定値には、超音波の数波長分の誤差が
発生することになる。この誤差を最小限に抑えるために
は、振動子の周波数を上げればよいが、これによって超
音波伝搬中の振幅の減衰が著しくなり、測定感度が低下
する。
The measurement of the time from the transmission of a transmission wave to the reception of a reception wave is accurately measured for the period from the rise of the first wave of the transmission wave to the rise of the first wave of the reception wave. However, in order to avoid erroneous detection due to noise, the rising of the first wave of the received wave is defined as the rising time of the first wave when the amplitude value of the waveform exceeds a certain threshold level. As a result, an error corresponding to several wavelengths of the ultrasonic wave occurs in the measurement value of the conventional ultrasonic sensor. In order to minimize this error, the frequency of the vibrator may be increased, but this significantly reduces the amplitude during the propagation of the ultrasonic wave and lowers the measurement sensitivity.

【0009】本発明の目的は、比較的低い周波数の超音
波によっても高精度の測定が可能な超音波センサ、及び
該超音波センサを装備した分注装置を提供することであ
る。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an ultrasonic sensor capable of performing high-precision measurement even with ultrasonic waves having a relatively low frequency, and a dispensing apparatus equipped with the ultrasonic sensor.

【0010】[0010]

【課題を解決する為の手段】本発明に係る第1の超音波
センサは、送信波の第1波の立上り時点を検知する第1
検知手段と、受信波の波形に現われる複数のピーク点を
検出し、これらのピーク点を結ぶ仮想包絡線が波形のゼ
ロレベルと交差するゼロクロス点を検知する第2検知手
段と、送信波の第1波の立上り時点から受信波のゼロク
ロス点までの経過時間を測定する測定手段と、測定手段
による時間測定値に所定のオフセット時間を加算して、
その加算結果に基づいて、測定対象までの距離を算出す
る演算手段とを具えている。
A first ultrasonic sensor according to the present invention includes a first ultrasonic sensor for detecting a rising point of a first wave of a transmission wave.
Detecting means, a plurality of peak points appearing in the waveform of the received wave, a second detecting means for detecting a zero crossing point at which a virtual envelope connecting these peak points crosses a zero level of the waveform, Measuring means for measuring the elapsed time from the rising point of one wave to the zero-cross point of the received wave; and adding a predetermined offset time to the time measured by the measuring means,
Calculating means for calculating the distance to the measurement object based on the addition result.

【0011】本発明に係る第2の超音波センサは、送信
波の波形に現われる複数のピーク点を検出し、これらの
ピーク点を結ぶ仮想包絡線が波形のゼロレベルと交差す
るゼロクロス点を検知する第1検知手段と、受信波の波
形に現われる複数のピーク点を検出し、これらのピーク
点を結ぶ仮想包絡線が波形のゼロレベルと交差するゼロ
クロス点を検知する第2検知手段と、送信波のゼロクロ
ス点から受信波のゼロクロス点までの経過時間を測定す
る測定手段と、測定手段による時間測定値に基づいて、
測定対象までの距離を算出する演算手段とを具えてい
る。
A second ultrasonic sensor according to the present invention detects a plurality of peak points appearing in a waveform of a transmission wave, and detects a zero cross point at which a virtual envelope connecting these peak points crosses a zero level of the waveform. A first detecting means for detecting a plurality of peak points appearing in the waveform of the received wave, a second detecting means for detecting a zero crossing point at which a virtual envelope connecting these peak points crosses a zero level of the waveform, and a transmitting means. Measuring means for measuring the elapsed time from the zero-cross point of the wave to the zero-cross point of the received wave, based on the time measurement by the measuring means,
Calculating means for calculating the distance to the object to be measured.

【0012】上記第1或いは第2の超音波センサにおい
て、仮想包絡線は、具体的には、直線、2次曲線或いは
指数曲線で表わされる。
In the first or second ultrasonic sensor, the virtual envelope is specifically represented by a straight line, a quadratic curve, or an exponential curve.

【0013】又、本発明に係る分注装置は、分注ヘッド
(15)の側部に、上記本発明に係る第1の超音波センサ或
いは第2の超音波センサを下向きに取り付けたものであ
る。
Further, the dispensing apparatus according to the present invention comprises a dispensing head
The first ultrasonic sensor or the second ultrasonic sensor according to the present invention is attached to the side of (15) downward.

【0014】分注装置の具体的構成において、測定対象
は、プレート(20)の凹部(21)に注入された液体の液面で
あって、超音波センサ(1)の超音波出射部には、中央部
に超音波通路を設けた筒片(23)が下向きに取り付けら
れ、該筒片(23)の超音波通路は、前記凹部(21)の開口形
状と同一或いは実質的に同一の断面形状に形成されてい
る。
In the specific configuration of the dispensing apparatus, the object to be measured is the liquid surface of the liquid injected into the concave portion (21) of the plate (20), and the ultrasonic emission portion of the ultrasonic sensor (1) A cylindrical piece (23) provided with an ultrasonic path in the center is attached downward, and the ultrasonic path of the cylindrical piece (23) has the same or substantially the same cross-section as the opening shape of the concave portion (21). It is formed in a shape.

【0015】[0015]

【作用】本発明の超音波センサは、図7に示す如く、送
信波の第1波の立上りから、受信波の第1波の立上りま
での経過時間tを間接的に測定することによって、従来
方式では不可避であった測定誤差を解消するものであ
る。
According to the ultrasonic sensor of the present invention, as shown in FIG. 7, the elapsed time t from the rise of the first wave of the transmitted wave to the rise of the first wave of the received wave is indirectly measured, thereby obtaining the conventional ultrasonic sensor. This method eliminates measurement errors that were inevitable in the method.

【0016】即ち、上記第1の超音波センサにおいて、
送信波については、振動子に対する駆動パルスの供給開
始時点に基づいて、第1波の立上り時点を検知すること
が出来る。一方、受信波の第1波の立上り時点は図3に
示す様に、波形に現われる複数のピーク点を結ぶ仮想包
絡線がゼロレベルと交差するゼロクロス点から、所定の
オフセット時間が経過した時点を以て、第1波の立上り
時点とする。ここで、波形に含まれる何れの波も同一の
減衰率で減衰するので、その幾何学的関係から、複数の
ピーク点を結ぶ仮想包絡線は、図4(a)(b)に破線で示
す如く減衰の大きさに拘わらず、同一のゼロクロス点を
通過する。即ち、ゼロクロス点から第1波の立上り時点
までの時間(オフセット時間)は、測定対象までの距離に
拘わらず一定となる。よって、このオフセット時間は、
センサ固有の値として、予め実験的に求めておくことが
出来る。
That is, in the first ultrasonic sensor,
As for the transmission wave, the rising time of the first wave can be detected based on the start time of the supply of the driving pulse to the vibrator. On the other hand, the rising point of the first wave of the received wave is, as shown in FIG. 3, a point in time at which a predetermined offset time has elapsed from a zero crossing point where a virtual envelope connecting a plurality of peak points appearing in the waveform crosses a zero level. , The rising point of the first wave. Here, since all waves included in the waveform are attenuated at the same attenuation rate, a virtual envelope connecting a plurality of peak points is indicated by a broken line in FIGS. 4A and 4B from the geometric relationship. Thus, they pass through the same zero cross point regardless of the magnitude of attenuation. That is, the time (offset time) from the zero-cross point to the rising point of the first wave is constant regardless of the distance to the measurement target. Therefore, this offset time is
It can be obtained experimentally in advance as a value unique to the sensor.

【0017】従って、第1の超音波センサによれば、送
信波の第1波の立上り時点から受信波の第1波の立上り
時点までの経過時間が測定されて、原理的に誤差の無い
距離測定が可能である。
Therefore, according to the first ultrasonic sensor, the elapsed time from the time when the first wave of the transmission wave rises to the time when the first wave of the reception wave rises is measured, and the distance without error in principle is measured. Measurement is possible.

【0018】又、上記第2の超音波センサにおいては、
送信波と受信波の両方についてゼロクロス点が検知さ
れ、送信波のゼロクロス点から受信波のゼロクロス点ま
での経過時間を以て、送信波の第1波の立上りから受信
波の第1波の立上りまでの経過時間とする。この場合、
送信波についてのゼロクロス点から第1波の立上り時点
までの時間(オフセット時間)と、受信波についてのゼロ
クロス点から第1波の立上り時点までの時間(オフセッ
ト時間)は、幾何学的に明らかな様に、互いに同一とな
る。よって、送信波のゼロクロス点から受信波のゼロク
ロス点までの経過時間は、送信波の第1波の立上りから
受信波の第1波の立上りまでの経過時間と一致すること
になる。
Further, in the second ultrasonic sensor,
A zero-cross point is detected for both the transmission wave and the reception wave, and the elapsed time from the zero-cross point of the transmission wave to the zero-cross point of the reception wave, from the rising of the first wave of the transmission wave to the rising of the first wave of the reception wave. The elapsed time. in this case,
The time (offset time) from the zero-cross point for the transmitted wave to the rising time of the first wave and the time from the zero-cross point to the rising time of the first wave (offset time) for the received wave are geometrically obvious. Thus, they are identical to each other. Therefore, the elapsed time from the zero cross point of the transmission wave to the zero cross point of the reception wave coincides with the elapsed time from the rise of the first wave of the transmission wave to the rise of the first wave of the reception wave.

【0019】従って、第2の超音波センサによっても、
送信波の第1波の立上り時点から受信波の第1波の立上
り時点までの経過時間が測定されて、原理的に誤差の無
い距離測定が可能である。
Therefore, the second ultrasonic sensor also provides
The elapsed time from the rise time of the first wave of the transmission wave to the rise time of the first wave of the reception wave is measured, and distance measurement without an error is possible in principle.

【0020】尚、送信波或いは受信波の波形に現われる
複数のピーク点を結んだ仮想包絡線は、理論的には指数
曲線によることが望ましいが、直線或いは2次曲線によ
っても、充分な精度が達成される。
Although it is theoretically desirable that the virtual envelope connecting a plurality of peak points appearing in the waveform of the transmission wave or the reception wave is formed by an exponential curve, sufficient accuracy can be obtained by a straight line or a quadratic curve. Achieved.

【0021】上記第1或いは第2の超音波センサを具え
た分注装置においては、超音波センサの測定対象は、プ
レート(20)の凹部(21)に注入された液体の液面であっ
て、超音波センサ(1)からの超音波の往復時間が測定さ
れて、液面までの距離が算出される。
In the dispensing apparatus having the first or second ultrasonic sensor, the object to be measured by the ultrasonic sensor is a liquid surface of the liquid injected into the concave portion (21) of the plate (20). The reciprocating time of the ultrasonic wave from the ultrasonic sensor (1) is measured, and the distance to the liquid surface is calculated.

【0022】超音波センサ(1)の超音波出射部に筒片(2
3)を取り付けた分注装置の具体的構成においては、超音
波センサ(1)から出射された超音波が、筒片(23)の超音
波通路に案内されて、拡散することなく、プレート(20)
の凹部(21)へ導かれる。超音波センサ(1)に筒片(23)を
具えない従来の分注装置においては、図11に示す如
く、超音波センサ(1)から出射された超音波が拡散し
て、一部の波がプレート(20)の凹部(21)の開口縁に照射
され、該開口縁での反射による受信波が超音波センサ
(1)にて検知されて、正確な測定値Hが得られない問題
があった。
The ultrasonic sensor (1) has a cylindrical piece (2
In the specific configuration of the dispensing device to which 3) is attached, the ultrasonic wave emitted from the ultrasonic sensor (1) is guided into the ultrasonic passage of the cylindrical piece (23), and is not diffused. 20)
(21). In a conventional dispensing apparatus in which the ultrasonic sensor (1) does not include the tube piece (23), as shown in FIG. 11, the ultrasonic wave emitted from the ultrasonic sensor (1) is diffused, and a part of the ultrasonic wave is dispersed. Is irradiated to the opening edge of the concave portion (21) of the plate (20), and the received wave due to the reflection at the opening edge
There was a problem that an accurate measured value H could not be obtained as detected in (1).

【0023】これに対し、本発明の分注装置において
は、筒片(23)の超音波通路がプレート(20)の凹部(21)の
開口形状と同一或いは実質的に同一の断面形状に形成さ
れており、図9の如く、筒片(23)の開口部をプレート(2
0)の凹部(21)へ可及的に接近させた状態で距離測定が行
なわれる。従って、超音波センサ(1)から出射された一
部の波が凹部(21)の開口縁に照射されることはなく、全
ての波が凹部(21)内へ導かれて、該凹部(21)内の液体の
液面で反射されることになる。この結果、正確な測定値
Hが得られるのである。
On the other hand, in the dispensing device of the present invention, the ultrasonic passage of the tube piece (23) is formed to have the same or substantially the same cross-sectional shape as the opening shape of the concave portion (21) of the plate (20). As shown in FIG. 9, the opening of the cylindrical piece (23) is
The distance measurement is performed with the concave portion (21) of (0) as close as possible. Therefore, some waves emitted from the ultrasonic sensor (1) do not irradiate the opening edge of the concave portion (21), and all the waves are guided into the concave portion (21), and ) Will be reflected at the liquid level of the liquid inside. As a result, an accurate measurement value H is obtained.

【0024】[0024]

【発明の効果】本発明に係る超音波センサは、測定精度
が超音波の波長に依存せず、原理的に誤差の無い測定方
式を採用しているので、比較的低い周波数の超音波によ
っても高精度の測定が可能である。又、本発明に係る超
音波センサを用いた分注装置においては、超音波センサ
による高精度の測長によって、分注ヘッドの位置決めを
高精度に行なうことが出来る。
The ultrasonic sensor according to the present invention employs a measurement method in which the measurement accuracy does not depend on the wavelength of the ultrasonic wave and has no error in principle. High-precision measurement is possible. Further, in the dispensing apparatus using the ultrasonic sensor according to the present invention, the positioning of the dispensing head can be performed with high accuracy by the highly accurate length measurement by the ultrasonic sensor.

【0025】[0025]

【実施例】以下、本発明の一実施例につき、図面に沿っ
て詳述する。図1に示す本発明の超音波センサ(1)は、
振動子(2)についての動作モードを切換えスイッチ(3)
により送信モードと受信モードに切り換えるものであっ
て、送信モードにおいては、クロック発生器(4)から駆
動パルス発生器(5)へ400kHzのクロックを供給し
て、400kHzの駆動パルスを作成する。該駆動パル
スは増幅器(6)にて増幅し、切換えスイッチ(3)を経て
振動子(2)へ供給する。ここで、駆動パルスは図2(a)
の如く一定のピーク値を有する数個のパルスであるが、
振動子(2)の機械インピーダンスによって、振動子(2)
に発生する振動は、図2(b)の如く振幅が徐々に増大し
た後、徐々に減小する波形となる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. The ultrasonic sensor (1) of the present invention shown in FIG.
Switch (3) for changing the operation mode of the vibrator (2)
In the transmission mode, a clock of 400 kHz is supplied from the clock generator (4) to the drive pulse generator (5) to generate a drive pulse of 400 kHz. The drive pulse is amplified by an amplifier (6) and supplied to a vibrator (2) via a changeover switch (3). Here, the driving pulse is shown in FIG.
Are a few pulses with a constant peak value like
The vibrator (2) depends on the mechanical impedance of the vibrator (2)
2 has a waveform whose amplitude gradually increases and then gradually decreases as shown in FIG. 2B.

【0026】又、増幅器(6)の出力はサンプリング回路
(12)へ供給され、これによってサンプリングされた信号
がA/D変換器(13)にてデジタルデータに変換され、バ
スライン(14)を経てマイクロコンピュータ(25)へ供給さ
れる。
The output of the amplifier (6) is a sampling circuit.
The digital signal is supplied to the microcomputer (12), and the sampled signal is converted into digital data by the A / D converter (13) and supplied to the microcomputer (25) via the bus line (14).

【0027】マイクロコンピュータ(25)は、クロック発
生器(10)からの基準クロックに基づいて動作するタイマ
(7)、CPU(8)及びメモリ(9)を具え、駆動パルス発
生器(5)からのタイマーON/OFF信号がタイマ(7)
に入力されることによって、タイマ(7)の計時動作が開
始される。又、A/D変換器(13)からバスライン(14)を
経て送られてくるデータは、CPU(8)により処理され
て、送信波の第1波の立上り時点、或いはゼロクロス点
が検知され、その結果がメモリ(9)に格納される。
The microcomputer (25) has a timer that operates based on a reference clock from the clock generator (10).
(7), comprising a CPU (8) and a memory (9), and a timer ON / OFF signal from a drive pulse generator (5) is supplied to a timer (7)
, The timer (7) starts counting time. The data transmitted from the A / D converter (13) via the bus line (14) is processed by the CPU (8) to detect the rising point of the first wave of the transmission wave or the zero-cross point. , And the result is stored in the memory (9).

【0028】一方、受信モードにおいては、図1に示す
振動子(2)によって受信波が検知され、その検知信号が
増幅器(11)を経てサンプリング回路(12)へ供給される。
サンプリング回路(12)では、一定周波数(10MHz)で
波形の振幅値のサンプリングが行なわれ、その結果がA
/D変換器(13)にてデジタルデータに変換され、マイク
ロコンピュータ(25)へ供給される。マイクロコンピュー
タ(25)では、サンプリングされた時刻をx座標、サンプ
リングされた振幅値をy座標とする2次元座標データと
して、波形の変化をメモリ(9)に格納する。
On the other hand, in the reception mode, a received wave is detected by the vibrator (2) shown in FIG. 1, and the detection signal is supplied to the sampling circuit (12) via the amplifier (11).
The sampling circuit (12) samples the amplitude value of the waveform at a constant frequency (10 MHz), and the result is A
The data is converted into digital data by the / D converter (13) and supplied to the microcomputer (25). The microcomputer (25) stores the change of the waveform in the memory (9) as two-dimensional coordinate data in which the sampled time is the x coordinate and the sampled amplitude value is the y coordinate.

【0029】尚、y座標値が負のデータは、本実施例で
は無視するものとする。又、ノイズを除去するために、
受信波の波形のサンプリングに際しては、適度な大きさ
のスレッショルドレベルを設け、該スレッショルドレベ
ル以下のy座標値を有するデータは排除する。
It should be noted that data having a negative y coordinate value is ignored in this embodiment. Also, to remove noise,
When sampling the waveform of the received wave, a threshold level having an appropriate size is provided, and data having a y-coordinate value equal to or smaller than the threshold level is excluded.

【0030】その後、マイクロコンピュータ(25)は、図
5に示す手続きに従って、受信波のゼロクロス点を検知
する。即ち、ステップS1にて、必要なカウンター変数
n及びmを初期化し、ステップS2では、前記メモリ
(9)からn番目のデータの取り出しを行なう。
Thereafter, the microcomputer (25) detects the zero-cross point of the received wave according to the procedure shown in FIG. That is, in step S1, necessary counter variables n and m are initialized, and in step S2, the memory
The n-th data is extracted from (9).

【0031】次にステップS3にて、n番目、n−1番
目、及びn−2番目のデータを互いに比較して、n−1
番目のデータが最大でない場合は、nをカウントアップ
して、ステップS2へ戻る。ステップS3にて、n−1
番目のデータが最大であるとの判断が為されたときは、
ステップS4へ移行して、n−1番目のデータをm番目
のピーク値とする。
Next, at step S3, the n-th, n-1st, and n-2th data are compared with each other to obtain n-1
If the data is not the maximum, n is counted up and the process returns to step S2. In step S3, n-1
When it is determined that the th data is the largest,
The process proceeds to step S4, where the (n-1) th data is set as the mth peak value.

【0032】続いて、ステップS5にて、m番目のピー
ク値と、m−1番目のピーク値とを比較して、m−1番
目のピーク値の方が小さいときは、n及びmをカウント
アップして、ステップS2へ戻る。
Subsequently, in step S5, the m-th peak value is compared with the (m-1) -th peak value, and when the (m-1) -th peak value is smaller, n and m are counted. And returns to step S2.

【0033】ステップS5にて、m−1番目のピーク値
の方が大きいと判断されたときは、ステップS6へ移行
して、各ピーク点のデータに最小自乗法を適用し、各ピ
ーク点を結んだ仮想包絡線を直線:V=at+bで近似
する。そして、ステップS7では、V=0となる時刻t
を算出する。これによって得られた時刻tにおける座標
データ(t,0)がゼロクロス点となる。
If it is determined in step S5 that the (m-1) -th peak value is larger, the process proceeds to step S6, where the least square method is applied to the data of each peak point, and each peak point is determined. The connected virtual envelope is approximated by a straight line: V = at + b. Then, in step S7, time t when V = 0
Is calculated. The coordinate data (t, 0) at time t thus obtained is the zero cross point.

【0034】最後に、図1に示すマイクロコンピュータ
(25)は、送信波の第1波の立上り時点から、受信波のゼ
ロクロス点までの経過時間Tmに基づいて、下記数1か
ら測定対象までの距離Lを算出する。
Finally, the microcomputer shown in FIG.
(25) calculates the distance L to the measurement target from the following equation 1 based on the elapsed time Tm from the rising point of the first wave of the transmission wave to the zero cross point of the reception wave.

【0035】[0035]

【数1】L=c×(Tm+To)/2 ここで、cは音速、Toは所定のオフセット時間であ
る。
L = c × (Tm + To) / 2 where c is a sound speed, and To is a predetermined offset time.

【0036】尚、オフセット時間Toは、超音波センサ
(1)に固有の値であって、予め実験的に求められている
が、振動子の経年変化を考慮して、定期的に修正を施す
ことが望ましい。測定対象までの距離Lの算出結果は、
必要に応じてプリンターによって出力され、或いはディ
スプレイに表示される。
The offset time To is determined by an ultrasonic sensor.
This value is specific to (1) and is obtained experimentally in advance. However, it is preferable that the value be corrected periodically in consideration of the aging of the vibrator. The calculation result of the distance L to the measurement target is
It is output by a printer or displayed on a display as needed.

【0037】上記測定方式では、送信波の第1波の立上
り時点から受信波のゼロクロス点までの経過時間Tmに
オフセット時間Toを加算することによって、送信波の
第1波の立上り時点から受信波の第1波の立上り時点ま
での経過時間tを算出しているが、送信波のゼロクロス
点から受信波のゼロクロス点までの経過時間を算出する
ことによって、同じ結果を得ることが出来る。
In the above measurement method, the offset time To is added to the elapsed time Tm from the rising point of the first wave of the transmission wave to the zero-cross point of the reception wave, so that the reception wave from the rising point of the first wave of the transmission wave is added. Although the elapsed time t from the rise of the first wave is calculated, the same result can be obtained by calculating the elapsed time from the zero cross point of the transmission wave to the zero cross point of the reception wave.

【0038】この場合、図1のマイクロコンピュータ(2
5)は、送信モードにて、A/D変換器(13)から供給され
る送信波のサンプリングデータに対して、図5と同様の
演算処理を実行し、送信波のゼロクロス点を検知する。
そして、送信波のゼロクロス点から受信波のゼロクロス
点までの経過時間T(=t)に基づいて、下記数2から測
定対象までの距離Lを算出する。
In this case, the microcomputer (2
5) In the transmission mode, the same arithmetic processing as in FIG. 5 is performed on the sampling data of the transmission wave supplied from the A / D converter (13), and the zero-cross point of the transmission wave is detected.
Then, based on the elapsed time T (= t) from the zero cross point of the transmission wave to the zero cross point of the reception wave, the distance L to the measurement target is calculated from the following equation (2).

【0039】[0039]

【数2】L=c×T/2L = c × T / 2

【0040】上記超音波センサ(1)によれば、比較的低
い周波数の超音波によっても、高精度、高感度の測長が
可能である。
According to the ultrasonic sensor (1), it is possible to measure the length with high accuracy and high sensitivity even with an ultrasonic wave having a relatively low frequency.

【0041】図8は、分注装置に上記超音波センサ(1)
を装備したものであって、3軸駆動テーブル機構(18)の
出力部に、分注ヘッド(15)と共に超音波センサ(1)が下
向きに取り付けられている。又、超音波センサ(1)の超
音波出射部には、断面円形の筒片(23)が垂直に取り付け
られている。該筒片(23)の内径は、プレート(20)の凹部
(21)の内径(約7mm)と同一に形成されている。又、筒
片(23)の長さは50mmである。
FIG. 8 shows the ultrasonic sensor (1) in the dispensing apparatus.
The ultrasonic sensor (1) is attached to the output part of the three-axis drive table mechanism (18) together with the dispensing head (15) in a downward direction. Further, a cylindrical piece (23) having a circular cross section is vertically attached to the ultrasonic wave emitting portion of the ultrasonic sensor (1). The inner diameter of the tube piece (23) is the concave portion of the plate (20).
It is formed the same as the inner diameter (about 7 mm) of (21). The length of the tube piece (23) is 50 mm.

【0042】分注台(17)上のプレート(20)に対して分注
を行なう場合、先ず、超音波センサ(1)によって、プレ
ート(20)の凹部(21)に既に注入されている試薬(22)の液
面位を測定する。この場合、図9の如く筒片(23)の開口
部をプレート(20)の凹部(21)の開口部に可及的に接近さ
せ、開口部どうしを同一軸心上で対向させる。この状態
で、超音波センサ(1)から超音波を発すると、該超音波
は筒片(23)の内周面に案内されて、拡散することなく、
プレート(20)の凹部(21)に導かれる。そして、試薬(22)
の液面で反射された超音波が再び筒片(23)の内周面に案
内されて、超音波センサ(1)へ戻ることになる。
When dispensing the plate (20) on the dispensing table (17), the reagent already injected into the recess (21) of the plate (20) by the ultrasonic sensor (1) is first used. Measure the liquid level in (22). In this case, as shown in FIG. 9, the opening of the cylindrical piece (23) is made as close as possible to the opening of the recess (21) of the plate (20), and the openings are opposed to each other on the same axis. In this state, when an ultrasonic wave is emitted from the ultrasonic sensor (1), the ultrasonic wave is guided to the inner peripheral surface of the tubular piece (23), and is not diffused.
It is led to the recess (21) of the plate (20). And the reagent (22)
The ultrasonic wave reflected by the liquid surface is guided again to the inner peripheral surface of the cylindrical piece (23), and returns to the ultrasonic sensor (1).

【0043】従って、図11に示す従来例の様に送信波
の一部が凹部(21)開口縁で反射されることはなく、高精
度の測長が可能となる。超音波センサ(1)による測定結
果は、図8に示すコントローラ(19)へ送られて、分注ヘ
ッド(15)の位置決め制御に供される。
Accordingly, unlike the conventional example shown in FIG. 11, a part of the transmission wave is not reflected at the opening edge of the concave portion (21), and the length can be measured with high accuracy. The measurement result by the ultrasonic sensor (1) is sent to the controller (19) shown in FIG. 8 and is used for positioning control of the dispensing head (15).

【0044】即ち、超音波センサ(1)による測定結果に
基づいて3軸駆動テーブル機構(18)を動作させ、分注ヘ
ッド(15)のピペット(16)の先端面を、プレート(20)の凹
部(21)内の試薬(22)の液面から0.2〜0.6mmの高さ
に位置せしめる。その後、ピペット(16)に連繋するプラ
ンジャー装置(図示省略)の動作によって、ピペット(16)
内の試薬を吐出する。この際、ピペット(16)から吐出さ
れる試薬は滴状となって、プレート(20)の凹部(21)内の
試薬(22)の液面と接触し、表面張力が開放されることに
よって、プレート(20)上へ滴下することになる。
That is, the triaxial drive table mechanism (18) is operated based on the measurement result by the ultrasonic sensor (1), and the tip end face of the pipette (16) of the dispensing head (15) is moved to the plate (20). It is positioned at a height of 0.2 to 0.6 mm from the liquid level of the reagent (22) in the recess (21). Thereafter, the operation of the plunger device (not shown) connected to the pipette (16) causes the pipette (16) to operate.
Discharge the reagent inside. At this time, the reagent discharged from the pipette (16) is in the form of drops, comes into contact with the liquid surface of the reagent (22) in the concave portion (21) of the plate (20), and the surface tension is released, It will drop onto the plate (20).

【0045】上記分注装置においては、超音波センサ
(1)によって液面位が高精度に測定されるので、試薬吐
出時の分注ヘッド(15)の位置決めが正確に行なわれ、ピ
ペット(16)の先端面に不要な試薬が付着する虞れはな
い。尚、筒片(23)の内径が凹部(21)の内径よりも小さい
場合にも、同様に凹部開口縁での反射が防止されるが、
受信波が弱くなってS/N比が悪化する虞れがあるた
め、この場合は、S/N比を改善する方策が必要とな
る。
In the above dispensing apparatus, the ultrasonic sensor
Since the liquid level is measured with high accuracy according to (1), the dispensing head (15) is accurately positioned at the time of reagent ejection, and there is a possibility that an unnecessary reagent may adhere to the tip surface of the pipette (16). There is no. Incidentally, even when the inner diameter of the cylindrical piece (23) is smaller than the inner diameter of the concave portion (21), reflection at the opening edge of the concave portion is similarly prevented,
Since the received wave may be weakened and the S / N ratio may be deteriorated, in this case, a measure for improving the S / N ratio is required.

【0046】上記実施例の説明は、本発明を説明するた
めのものであって、特許請求の範囲に記載の発明を限定
し、或は範囲を減縮する様に解すべきではない。又、本
発明の各部構成は上記実施例に限らず、特許請求の範囲
に記載の技術的範囲内で種々の変形が可能であることは
勿論である。例えば、上記実施例では、超音波センサ
(1)による測定によって得られるy座標値の内、正のデ
ータのみを利用しているが、正のデータに替えて、或い
は正のデータと共に負のデータを利用して、送信波或い
は受信波の仮想包絡線を求めることが可能である。又、
仮想包絡線を2次曲線或いは指数曲線で近似することも
可能である。
The description of the above embodiments is for the purpose of illustrating the present invention and should not be construed as limiting the invention described in the appended claims or reducing the scope thereof. Further, the configuration of each part of the present invention is not limited to the above-described embodiment, and it is needless to say that various modifications can be made within the technical scope described in the claims. For example, in the above embodiment, the ultrasonic sensor
Of the y coordinate values obtained by the measurement according to (1), only positive data is used. However, instead of using positive data, or using negative data together with positive data, transmission waves or reception waves are used. Can be obtained. or,
It is also possible to approximate the virtual envelope with a quadratic curve or an exponential curve.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る超音波センサの構成を示すブロッ
ク図である。
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an ultrasonic sensor according to the present invention.

【図2】駆動パルスと、振動子に発生する振動の波形図
である。
FIG. 2 is a waveform diagram of a driving pulse and a vibration generated in a vibrator.

【図3】ゼロクロス点を説明する図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a zero cross point.

【図4】振幅の減衰率によってゼロクロス点が変化しな
いことを説明する図である。
FIG. 4 is a diagram illustrating that a zero-cross point does not change depending on an amplitude attenuation rate.

【図5】ゼロクロス点を求める手順を表わすフローチャ
ートである。
FIG. 5 is a flowchart illustrating a procedure for obtaining a zero cross point.

【図6】超音波センサの測定原理を説明する図である。FIG. 6 is a diagram illustrating the measurement principle of the ultrasonic sensor.

【図7】従来方式における測定誤差の発生を説明する図
である。
FIG. 7 is a diagram illustrating the occurrence of a measurement error in the conventional method.

【図8】本発明に係る分注装置の一部破断正面図であ
る。
FIG. 8 is a partially cutaway front view of the dispensing apparatus according to the present invention.

【図9】該分注装置の要部を表わす拡大断面図である。FIG. 9 is an enlarged sectional view showing a main part of the dispensing device.

【図10】従来の分注装置の一部破断正面図である。FIG. 10 is a partially cutaway front view of a conventional dispensing apparatus.

【図11】図9に対応する従来装置の拡大断面図であ
る。
FIG. 11 is an enlarged sectional view of the conventional device corresponding to FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

(1) 超音波センサ (2) 振動子 (3) 切換えスイッチ (5) 駆動パルス発生器 (25) マイクロコンピュータ (18) 3軸駆動テーブル機構 (23) 筒片 (20) プレート (21) 凹部 (1) Ultrasonic sensor (2) Transducer (3) Changeover switch (5) Drive pulse generator (25) Microcomputer (18) Three-axis drive table mechanism (23) Tube piece (20) Plate (21) Recess

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 北條 三木夫 大阪府守口市京阪本通2丁目5番5号 三洋電機株式会社内 (72)発明者 小澤 芳男 大阪府守口市京阪本通2丁目5番5号 三洋電機株式会社内 (72)発明者 小川 淳 大阪府守口市京阪本通2丁目5番5号 三洋電機株式会社内 (72)発明者 安田 昌司 大阪府守口市京阪本通2丁目5番5号 三洋電機株式会社内 (56)参考文献 特開 平5−248924(JP,A) 特開 平4−72590(JP,A) 特開 昭60−138422(JP,A) 特開 平1−284786(JP,A) 実開 昭60−174971(JP,U) 実開 昭63−168862(JP,U) 実開 平6−58327(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01F 23/28 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Mikio Hojo 2-5-5 Keihanhondori, Moriguchi-shi, Osaka Sanyo Electric Co., Ltd. (72) Yoshio Ozawa 2-chome, Keihanhondori, Moriguchi-shi, Osaka No. 5 Sanyo Electric Co., Ltd. (72) Attorney Ogawa 2-5-5, Keihanhondori, Moriguchi-shi, Osaka Prefecture No. 5 Sanyo Electric Co., Ltd. No. 5 Sanyo Electric Co., Ltd. (56) References JP-A-5-248924 (JP, A) JP-A-4-72590 (JP, A) JP-A-60-138422 (JP, A) JP-A-1 -284786 (JP, A) Japanese Utility Model Showa 60-174971 (JP, U) Japanese Utility Model Showa 63-168882 (JP, U) Japanese Utility Model Application Hei 6-58327 (JP, U) (58) Fields surveyed (Int.Cl) . 7, DB name) G01F 23/28

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 測定対象へ向けて送信波を発すると共
に、測定対象にて反射されて戻ってくる受信波を受け
て、送信波の発信から受信波の受信までの時間計測に基
づいて、測定対象までの距離を測定する超音波センサに
おいて、 送信波の第1波の立上り時点を検知する第1検知手段
と、 受信波の波形に現われる複数のピーク点を検出し、これ
らのピーク点を結ぶ仮想包絡線が波形のゼロレベルと交
差するゼロクロス点を検知する第2検知手段と、 送信波の第1波の立上り時点から受信波のゼロクロス点
までの経過時間を測定する測定手段と、 測定手段による時間測定値に所定のオフセット時間を加
算して、その加算結果に基づいて、測定対象までの距離
を算出する演算手段とを具えたことを特徴とする超音波
センサ。
1. A transmission wave is emitted toward a measurement target, and a reception wave reflected and returned by the measurement target is received, and measurement is performed based on a time measurement from transmission of the transmission wave to reception of the reception wave. In an ultrasonic sensor for measuring a distance to a target, a first detecting means for detecting a rising point of a first wave of a transmission wave, a plurality of peak points appearing in a waveform of a reception wave, and connecting these peak points Second detecting means for detecting a zero-cross point at which the virtual envelope crosses the zero level of the waveform; measuring means for measuring an elapsed time from the rising point of the first wave of the transmission wave to the zero-cross point of the receiving wave; And a calculating means for adding a predetermined offset time to the time measurement value obtained by the method and calculating a distance to the object to be measured based on the addition result.
【請求項2】 測定対象へ向けて送信波を発すると共
に、測定対象にて反射されて戻ってくる受信波を受け
て、送信波の発信から受信波の受信までの時間計測に基
づいて、測定対象までの距離を測定する超音波センサに
おいて、 送信波の波形に現われる複数のピーク点を検出し、これ
らのピーク点を結ぶ仮想包絡線が波形のゼロレベルと交
差するゼロクロス点を検知する第1検知手段と、 受信波の波形に現われる複数のピーク点を検出し、これ
らのピーク点を結ぶ仮想包絡線が波形のゼロレベルと交
差するゼロクロス点を検知する第2検知手段と、 送信波のゼロクロス点から受信波のゼロクロス点までの
経過時間を測定する測定手段と、 測定手段による時間測定値に基づいて、測定対象までの
距離を算出する演算手段とを具えたことを特徴とする超
音波センサ。
2. A transmission wave is emitted toward a measurement target, and a reception wave reflected and returned by the measurement target is received, and measurement is performed based on a time measurement from transmission of the transmission wave to reception of the reception wave. In an ultrasonic sensor for measuring a distance to a target, a plurality of peak points appearing in a waveform of a transmission wave are detected, and a first cross point where a virtual envelope connecting these peak points crosses a zero level of the waveform is detected. Detection means; second detection means for detecting a plurality of peak points appearing in the waveform of the received wave, and detecting a zero-cross point where a virtual envelope connecting these peak points crosses a zero level of the waveform; Measuring means for measuring the elapsed time from the point to the zero-cross point of the received wave, and calculating means for calculating the distance to the object to be measured based on the time measured by the measuring means. Ultrasonic sensor to.
【請求項3】 仮想包絡線は、直線、2次曲線或いは指
数曲線で表わされる請求項1又は請求項2に記載の超音
波センサ。
3. The ultrasonic sensor according to claim 1, wherein the virtual envelope is represented by a straight line, a quadratic curve, or an exponential curve.
【請求項4】 ヘッド駆動機構の出力部に、液体を吸
入、吐出すべきピペット(16)を下向きに突設した分注ヘ
ッド(15)が取り付けられた分注装置において、分注ヘッ
ド(15)の側部には、測定対象へ向けて送信波を発すると
共に、測定対象にて反射されて戻ってくる受信波を受け
て、送信波の発信から受信波の受信までの時間計測に基
づいて、測定対象までの距離を測定する超音波センサ
が、下向きに取り付けられている分注装置において、超
音波センサは、 送信波の第1波の立上り時点を検知する第1検知手段
と、 受信波の波形に現われる複数のピーク点を検出し、これ
らのピーク点を結ぶ仮想包絡線が波形のゼロレベルと交
差するゼロクロス点を検知する第2検知手段と、 送信波の第1波の立上り時点から受信波のゼロクロス点
までの経過時間を測定する測定手段と、 測定手段による時間測定値に所定のオフセット時間を加
算して、その加算結果に基づいて、測定対象までの距離
を算出する演算手段とを具えていることを特徴とする分
注装置。
4. A dispensing apparatus in which a dispensing head (15) having a pipette (16) for sucking and discharging a liquid protruding downward is attached to an output portion of a head driving mechanism. On the side of), a transmission wave is emitted toward the measurement target, and a reception wave reflected and returned by the measurement target is received, and based on a time measurement from transmission of the transmission wave to reception of the reception wave. In a dispensing apparatus in which an ultrasonic sensor for measuring a distance to a measurement target is attached downward, the ultrasonic sensor includes: a first detection unit that detects a rising point of a first wave of a transmission wave; A second detecting means for detecting a plurality of peak points appearing in the waveform of the above, and detecting a zero cross point where a virtual envelope connecting these peak points crosses a zero level of the waveform; and Elapsed time to zero cross point of received wave And a calculating means for adding a predetermined offset time to the time measured by the measuring means and calculating a distance to the object to be measured based on the result of the addition. Dispensing device.
【請求項5】 ヘッド駆動機構の出力部に、液体を吸
入、吐出すべきピペット(16)を下向きに突設した分注ヘ
ッド(15)が取り付けられた分注装置において、分注ヘッ
ド(15)の側部には、測定対象へ向けて送信波を発すると
共に、測定対象にて反射されて戻ってくる受信波を受け
て、送信波の発信から受信波の受信までの時間計測に基
づいて、測定対象までの距離を測定する超音波センサ
が、下向きに取り付けられている分注装置において、超
音波センサは、 送信波の波形に現われる複数のピーク点を検出し、これ
らのピーク点を結ぶ仮想包絡線が波形のゼロレベルと交
差するゼロクロス点を検知する第1検知手段と、 受信波の波形に現われる複数のピーク点を検出し、これ
らのピーク点を結ぶ仮想包絡線が波形のゼロレベルと交
差するゼロクロス点を検知する第2検知手段と、 送信波のゼロクロス点から受信波のゼロクロス点までの
経過時間を測定する測定手段と、 測定手段による時間測定値に基づいて、測定対象までの
距離を算出する演算手段とを具えていることを特徴とす
る分注装置。
5. A dispensing apparatus in which a dispensing head (15) having a pipette (16) for sucking and discharging a liquid protruding downward is attached to an output portion of a head driving mechanism. On the side of), a transmission wave is emitted toward the measurement target, and a reception wave reflected and returned by the measurement target is received, and based on a time measurement from transmission of the transmission wave to reception of the reception wave. In a dispensing device in which an ultrasonic sensor for measuring a distance to a measurement target is attached downward, the ultrasonic sensor detects a plurality of peak points appearing in the waveform of a transmission wave and connects these peak points. First detecting means for detecting a zero crossing point at which the virtual envelope crosses the zero level of the waveform; detecting a plurality of peak points appearing in the waveform of the received wave; and forming a virtual envelope connecting these peak points at the zero level of the waveform. Zero crossing with Detecting means for detecting the time, a measuring means for measuring an elapsed time from a zero-cross point of a transmission wave to a zero-cross point of a receiving wave, and an operation for calculating a distance to a measurement object based on a time measurement value by the measuring means. Means for dispensing.
【請求項6】 測定対象は、プレート(20)の凹部(21)に
注入された液体の液面であって、超音波センサ(1)の超
音波出射部には、中央部に超音波通路を設けた筒片(23)
が下向きに取り付けられ、該筒片(23)の超音波通路は、
前記凹部(21)の開口形状と同一或いは実質的に同一の断
面形状に形成されている請求項4又は請求項5に記載の
分注装置。
6. An object to be measured is a liquid surface of the liquid injected into the concave portion (21) of the plate (20). Tube piece (23) provided with
Is mounted downward, the ultrasonic path of the tubular piece (23),
The dispensing device according to claim 4 or 5, wherein the dispensing device is formed to have the same or substantially the same cross-sectional shape as the opening shape of the concave portion (21).
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