JP3086674B2 - Organic substance detection device that enables finger calibration and organic substance monitoring system using the same - Google Patents

Organic substance detection device that enables finger calibration and organic substance monitoring system using the same

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JP3086674B2
JP3086674B2 JP10039009A JP3900998A JP3086674B2 JP 3086674 B2 JP3086674 B2 JP 3086674B2 JP 10039009 A JP10039009 A JP 10039009A JP 3900998 A JP3900998 A JP 3900998A JP 3086674 B2 JP3086674 B2 JP 3086674B2
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祐輔 高野
ジェイムズ・ビー・スタマトフ
弘信 山本
明広 多加谷
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アヴェンティス・リサーチ・ウント・テクノロジーズ・ゲーエムベーハー・ウント・コー・カーゲー
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する分野】この発明は、空気や水等の媒質中
に存在する有機物質を検出する装置及びそれをもちいた
監視システムに関するものであり、特に、監視センター
における計器のゼロ点調整及び指度の校正を可能にする
有機物質検出装置及びそれを用いた監視システムに関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a device for detecting an organic substance present in a medium such as air or water, and a monitoring system using the same. The present invention relates to an organic substance detection device capable of calibrating a degree and a monitoring system using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】本願の出願人は、空気中に混入した蒸気
又は水中に溶存する有機物質の種別や濃度を検出するた
めの検出装置を種々提案してきた。図7は、こうした検
出装置の一例を概略的に示している。同図において、検
出装置は、光源部2と、光検出部4と、平坦な反射性の
ホルダー6上に被覆された高分子薄膜からなる感知素子
8とを備えており、これらの構成要素は筐体10に一体
に保持される。感知素子8としては、特定の有機物質と
接触すると、該有機物質と反応し又はこれを吸収或いは
吸着して膜厚及び屈折率の少なくとも一方を変える性質
を持つ高分子が使用される。
2. Description of the Related Art The applicant of the present invention has proposed various detection devices for detecting the type and concentration of organic substances dissolved in water or vapor mixed in air. FIG. 7 schematically shows an example of such a detection device. In the figure, the detection device includes a light source unit 2, a light detection unit 4, and a sensing element 8 made of a polymer thin film coated on a flat reflective holder 6, and these components are It is held integrally by the housing 10. As the sensing element 8, a polymer having a property of reacting with a specific organic substance or absorbing or adsorbing this organic substance to change at least one of the film thickness and the refractive index is used.

【0003】光源部2に設けられたレーザー・ダイオー
ド等の発光体から出射された光ビームは感知素子8に入
射され、そこで反射されて光検出部4の光検出器により
検出される。このとき、感知素子8の表面で反射された
光と、感知素子8を支持するホルダー6の表面で反射さ
れた光とは位相関係を持ち、相互に干渉するので、感知
素子8の膜厚及び/又は屈折率が変化すると、感知素子
の反射率又は反射光の強度が変化する。したがって、感
知素子8からの反射光の強度の関数として、燃料蒸気の
存在及び/又は濃度を検出することが可能になる。
A light beam emitted from a light-emitting body such as a laser diode provided in the light source unit 2 enters a sensing element 8, is reflected there, and is detected by a photodetector of a photodetecting unit 4. At this time, the light reflected on the surface of the sensing element 8 and the light reflected on the surface of the holder 6 supporting the sensing element 8 have a phase relationship and interfere with each other. When the refractive index changes, the reflectance of the sensing element or the intensity of the reflected light changes. Thus, it is possible to detect the presence and / or concentration of the fuel vapor as a function of the intensity of the reflected light from the sensing element 8.

【0004】筐体10には、有機が混入した空気又は有
機物質が溶存する水を導入するための導入口12と、空
気又は水を排出するための排出口14と、これらを連通
させて感知素子8を有機物質と接触させる通路16とが
形成されており、特定の有機物質が混入した空気又は有
機物質が溶存する水を導入口12から導入すると、有機
物質が感知素子8と接触し、感知素子8の膜厚や屈折率
が変化するので、光検出部4の出力として、特定の有機
物質が空気に混入し又は水に溶存していることを判定す
ることができる。
The housing 10 has an inlet 12 for introducing air containing organic or water in which organic substances are dissolved, and an outlet 14 for discharging air or water. A passage 16 for contacting the element 8 with the organic substance is formed, and when air or water in which the organic substance is dissolved is introduced from the inlet 12, the organic substance comes into contact with the sensing element 8, Since the film thickness and the refractive index of the sensing element 8 change, it is possible to determine, as an output of the light detection unit 4, whether a specific organic substance is mixed in air or dissolved in water.

【0005】一般に、有機物質検出装置の或る環境下で
の最下限検出限界(MinimumDetectabl
e Limit即ちMDL)は、該有機物質検出装置の
その環境下でのゼロ・レベルの変動幅と信号強度との比
を1に取ることから通常求められる。ただし、信号強度
に温湿度特性がある場合には、MDLも同じ温湿度特性
を示す。有機物質検出装置のゼロ・レベルの変動要因と
しては、感知素子の温湿度特性、装置固有の温湿度特
性、装置固有の電気ノイズ、外来ノイズ(電気的なノイ
ズや振動を含む)等を挙げることができる。
[0005] In general, the minimum detection limit (Minimum Detectable) of an organic substance detection device under a certain environment.
e Limit (MDL) is usually determined by taking the ratio of the zero level fluctuation width and the signal intensity of the organic substance detection device in the environment to one. However, if the signal intensity has a temperature-humidity characteristic, the MDL also shows the same temperature-humidity characteristic. Factors of the zero level fluctuation of the organic substance detection device include temperature and humidity characteristics of the sensing element, temperature and humidity characteristics specific to the device, electric noise specific to the device, extraneous noise (including electric noise and vibration), and the like. Can be.

【0006】MDLを改善するために、感知素子や装置
固有の温湿度特性を有機物質検出装置の設置後の測定さ
れた温湿度特性を用いて補正することは可能である。し
かしながら、個々の有機物質検出装置の温湿度特性を測
定するには多くの時間を必要とし、製造コストの大幅な
引き上げを生じかねない。また、厳密には、有機物質検
出装置の補正しきれないヒステリシス特性が存在する
し、こうした測定のためには、有機物質検出装置が設置
された危険区域で温湿度特性測定プローブを作動させな
ければならないという問題もある。さらに、図7に示す
ような従来の有機物質検出装置は、安全性を考慮して、
光信号のみを扱い、電気的な構成要素を含まない構成と
なっているが、こうした有機物質検出装置の温湿度特性
の測定を、有機物質検出装置に何等の電気的要素を付加
することなく、光信号のみで行うことは実質的に不可能
である。
In order to improve the MDL, it is possible to correct the temperature and humidity characteristics specific to the sensing element and the device using the measured temperature and humidity characteristics after the organic substance detection device is installed. However, it takes a lot of time to measure the temperature and humidity characteristics of each organic substance detection device, and this may cause a significant increase in manufacturing cost. Strictly speaking, there is a hysteresis characteristic that cannot be completely corrected by the organic substance detection device, and for such a measurement, it is necessary to operate the temperature and humidity characteristic measurement probe in the dangerous area where the organic substance detection device is installed. There is also a problem that it does not. Furthermore, the conventional organic substance detection device as shown in FIG.
Although it is configured to handle only optical signals and does not include electrical components, measurement of the temperature and humidity characteristics of such an organic substance detection device can be performed without adding any electrical element to the organic substance detection device. It is practically impossible to perform only with the optical signal.

【0007】また、従来の有機物質検出装置は、有機物
質を含む場所(例えば、有機物質で汚染された場所)に
長期間設置した場合、感知素子が固有の特性変化を起こ
し、有機物質検出装置の出力がドリフトするという欠点
もある。
In addition, when the conventional organic substance detecting device is installed in a place containing an organic substance (for example, a place contaminated with the organic substance) for a long time, the sensing element causes a characteristic change inherent to the organic substance detecting apparatus. There is also a drawback that the output drifts.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】この発明は、上記の課
題を解決するために成されたものであり、この発明の目
的は、監視センターにおいて計器のゼロ点調整や指度の
校正を行うことができるよう新規な構成を有するうえ、
本質的に安全で、構成が簡単且つ製造が容易であり、信
頼性が高く、安価で、小型化が可能な有機物質検出装置
を提供することにある。また、この発明の他の目的は、
こうした有機物質検出装置を用いて計測部でのゼロ点調
整と指度の校正とを行うことができるた監視システムを
提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to perform zero adjustment of an instrument and calibration of a finger at a monitoring center. Has a new configuration so that
An object of the present invention is to provide an organic substance detection device which is inherently safe, has a simple structure, is easy to manufacture, has high reliability, is inexpensive, and can be reduced in size. Another object of the present invention is to
An object of the present invention is to provide a monitoring system capable of performing zero point adjustment and calibration of a finger in a measurement unit using such an organic substance detection device.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明は、中空の収納管と、有機物質と接触す
ると属性変化を起こす感知素子と、前記収納管内に収納
された光ファイバであって、前記感知素子を照射する光
を出力すると共に該感知素子で反射された光を受光し伝
送するための光ファイバーと、前記光ファイバの端部を
固定するよう前記収納管内に配置されたレセプタクル
と、前記レセプタクルに対向する面に前記感知素子を載
置すると共に、前記レセプタクルとの間に空間を作るよ
うに前記収納管内に配置されたホルダーと、前記有機物
質を含む媒質を前記収納管の一端から前記空間へ導入す
るための導入手段と、前記有機物質を含まない媒質と既
知の濃度の前記有機物質を含む媒質とのうちのいずれか
一方を前記収納管の他端から前記空間に導入するための
導入チューブと、前記空間を前記収納管の他端から排気
するための排出チューブと、を具備することを特徴とす
る有機物質検出装置,を提供する。前記有機物質検出装
置は、地下タンク、サンプ、海中ポンプ周辺、地上タン
ク、製油所、油送パイプ、油送ライン、油送タンカー等
に設置され得る。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above object, the present invention provides a hollow storage tube, a sensing element which causes an attribute change upon contact with an organic substance, and an optical fiber stored in the storage tube. An optical fiber for outputting light for irradiating the sensing element and receiving and transmitting light reflected by the sensing element, and disposed in the storage tube to fix an end of the optical fiber. A receptacle, a holder disposed on the storage tube so as to form a space between the receptacle and the sensing element on a surface facing the receptacle, and a medium containing the organic substance; An introduction means for introducing into the space from one end of the storage tube, and one of a medium containing no organic substance and a medium containing the organic substance having a known concentration. Providing an introduction tube for introducing from the end in the space, the organic substance detecting device, characterized by comprising, a discharge tube for evacuating the space from the other end of said housing tube. The organic substance detection device may be installed in an underground tank, a sump, a submerged pump area, an above-ground tank, a refinery, an oil feed pipe, an oil feed line, an oil feed tanker, or the like.

【0010】有機物質検出装置は、その使用態様に応じ
て、前記ホルダーと前記媒質との間に設けられ、前記媒
質は通さないが該媒質中の有機物質は通すフィルタとを
含むのが望ましい場合と、前記レセプタクルと対向配置
するよう前記感知素子を載置し且つ前記媒質を透過させ
るホルダーを含むのが望ましい場合とがある。
The organic substance detecting device is provided between the holder and the medium according to the usage mode, and preferably includes a filter that does not allow the medium to pass through but allows the organic substance in the medium to pass. In some cases, it is desirable to include a holder for mounting the sensing element so as to face the receptacle and for transmitting the medium.

【0011】また、この発明は、上記の目的を達成する
ために、上記の有機物質検出装置とそれに結合された監
視センターとを備える監視システムであって、前記監視
センターが、前記導入チューブに対して、有機物質を含
まない媒質と既知の濃度の有機物質を含む媒質とのうち
のいずれか一方の媒質を所定の期間に供給するための供
給部と、前記光ファイバーに光を供給すると共に、前記
光ファイバーを伝送されてきた反射光を処理して有機物
質の存在と濃度とのうちのいずれか一方を表す信号を出
力する計測部と、を具備し、前記供給部から前記導入チ
ューブに対して、有機物質を含まない媒質を供給すると
きに前記計測部のゼロ点の調整を行い、既知の濃度の有
機物質を含む媒質を供給するときに前記計測部の指度の
校正を行うことを可能にする監視システム、を提供す
る。
According to another aspect of the present invention, there is provided a monitoring system including the above-described organic substance detecting device and a monitoring center coupled thereto, wherein the monitoring center is provided with respect to the introduction tube. A supply unit for supplying a medium containing no organic substance and a medium containing a known concentration of an organic substance for a predetermined period, and supplying light to the optical fiber; A measuring unit for processing a reflected light transmitted through the optical fiber and outputting a signal indicating one of the presence and the concentration of the organic substance, and the supply unit with respect to the introduction tube, Adjusting the zero point of the measurement unit when supplying a medium containing no organic substance, and calibrating the index of the measurement unit when supplying a medium containing a known concentration of organic substance. Monitoring system for the ability to provide.

【0012】この監視システムにおいては、前記計測部
は、前記光ファイバーの他端に結合されて該光ファイバ
ーにレーザー光を送出するためのレーザー・ダイオード
と、前記感知素子から反射されたレーザー光を検出して
該レーザー光の強度に対応した電気信号を出力する検出
変換器とを備えることが望ましい。
In this monitoring system, the measuring unit is connected to the other end of the optical fiber and transmits a laser beam to the optical fiber, and detects a laser beam reflected from the sensing element. And a detection converter for outputting an electric signal corresponding to the intensity of the laser light.

【0013】前記供給部は、乾燥無機気体を収容した第
1のボンベと、既知の濃度の有機気体を含む空気を収容
した第2のボンベと、前記第1のボンベと前記第2のボ
ンベとのいずれか一方を前記有機物質検出装置と結合す
るための弁手段とを備えるのが望ましい場合や、有機物
質が溶存していない水を収容した第1のボンベと、既知
の濃度の有機物質が溶存する水を収容した第2のボンベ
と、前記第1のボンベと前記第2のボンベとのいずれか
一方を前記有機物質検出装置と結合するための弁手段と
を備えるのが望ましい場合がある。
The supply unit includes a first cylinder containing a dry inorganic gas, a second cylinder containing air containing a known concentration of an organic gas, the first cylinder and the second cylinder. When it is desirable to provide a valve means for coupling any one of the organic substance detection device and the first substance containing water in which the organic substance is not dissolved, and a known concentration of the organic substance It may be desirable to have a second cylinder containing dissolved water and valve means for coupling one of the first and second cylinders to the organic substance detection device. .

【0014】[0014]

【作用】有機物質の接触によって感知素子属性、例えば
膜厚や屈折率が変化する。これを利用することにより、
有機物質の存在あるいは濃度を検出する。即ち、有機物
質との相互作用の結果、感知素子には例えば膨潤等の物
理的変化が生じる。更に、かかる膨潤に起因して、感知
素子の光学的パラメーターである膜厚や屈折率が変化す
る。このような変化は、感知素子光学的性質を変化せし
めるので、感知素子の反射特性を測定することによっ
て、有機物質を検出することができる。
The attribute of the sensing element, for example, the film thickness or the refractive index changes due to the contact of the organic substance. By using this,
Detect the presence or concentration of organic substances. That is, as a result of the interaction with the organic substance, a physical change such as swelling occurs in the sensing element. Further, due to such swelling, the film thickness and the refractive index, which are optical parameters of the sensing element, change. Since such a change changes the optical properties of the sensing element, an organic substance can be detected by measuring the reflection properties of the sensing element.

【0015】感知素子を構成する重合材料を適宜選択す
ることにより、有機物質、例えば、ガソリン、軽油、灯
油、ジェット燃料、重油等の燃料の存在を選択的に又は
非選択的に検出することが可能となる。しかも、感知素
子は有機物質の濃度と対応した反射特性を持つため、こ
の発明に係る有機物質検知装置は有機物質の濃度計とし
ても動作することができる。
By appropriately selecting the polymer material constituting the sensing element, it is possible to selectively or non-selectively detect the presence of an organic substance, for example, a fuel such as gasoline, light oil, kerosene, jet fuel, or heavy oil. It becomes possible. In addition, since the sensing element has a reflection characteristic corresponding to the concentration of the organic substance, the organic substance detecting device according to the present invention can also operate as an organic substance concentration meter.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、この発明の若干の実施の形
態を図面を参照しながら説明する。図1は、この発明に
係る有機物質検出装置の第1の実施の形態の構成を示し
ており、空気に混入した有機物質を検出するためのもの
である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Some embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows the configuration of a first embodiment of an organic substance detection device according to the present invention, which is for detecting an organic substance mixed in air.

【0017】図1の有機物質検出装置20において、一
端が監視センタ60の計測・制御部62(図2)に接続
された光ファイバー22の他端はFCコネクタ24を介
してコリメータレンズ付きのレセプタクル26に固定さ
れる。レセプタクル26内のコリメータレンズに対向す
るように、感知素子ホルダー28に接着材等で固着され
た感知素子30が配置される。計測・制御部62から発
出されて光ファイバー22により伝送された光はレセプ
タクル26内のコリメータレンズを介して感知素子30
を照射し、感知素子30で反射されて光ファイバー22
を逆方向に通過し、計測・制御部62へ戻る。
In the organic substance detection device 20 shown in FIG. 1, one end of the optical fiber 22 having one end connected to the measurement / control unit 62 (FIG. 2) of the monitoring center 60 is connected to the receptacle 26 having a collimator lens via the FC connector 24. Fixed to A sensing element 30 fixed to the sensing element holder 28 with an adhesive or the like is arranged so as to face the collimator lens in the receptacle 26. The light emitted from the measurement / control unit 62 and transmitted by the optical fiber 22 is transmitted through the collimator lens in the receptacle 26 to the sensing element 30.
Irradiates the optical fiber 22
, And returns to the measurement / control section 62.

【0018】レセプタクル26は筒状の本体32の一端
に固定され、本体32の内部に感知素子ホルダー28が
固定される。本体32の他端の開口内には、外部から水
等が侵入するのを防止するためにOリング34が設けら
れ、このOリング34はOリングホルダー36に固定さ
れている。
The receptacle 26 is fixed to one end of a cylindrical main body 32, and a sensing element holder 28 is fixed inside the main body 32. An O-ring 34 is provided in the opening at the other end of the main body 32 to prevent water or the like from entering from the outside. The O-ring 34 is fixed to an O-ring holder 36.

【0019】本体32の他端の外周には、内部にフィル
タ38を有する蓋40が固定される。蓋40の中央には
開口42が設けられ、フィルタ38は開口42を通して
外気と接しており、水は通さないが水中の溶存する有機
物質は通す性質を持つ。蓋40の一端にも、Oリングホ
ルダー34と接するOリング44が設けられ、フィルタ
38はOリング44とガスケット及びサポートスクリー
ン(いずれも図示せず)との間に挟まれて蓋40に固定
される。感知素子ホルダー28には少なくとも1個の通
気孔48が形成され、これによって、感知素子30はフ
ィルタ38及び通気孔48を通過した外気と接触する。
A lid 40 having a filter 38 inside is fixed to the outer periphery of the other end of the main body 32. An opening 42 is provided at the center of the lid 40, and the filter 38 is in contact with the outside air through the opening 42, and has a property of not allowing water to pass therethrough but allowing organic substances dissolved in the water to pass therethrough. An O-ring 44 in contact with the O-ring holder 34 is also provided at one end of the lid 40, and the filter 38 is fixed to the lid 40 by being sandwiched between the O-ring 44 and a gasket and a support screen (neither is shown). You. At least one vent hole 48 is formed in the sensing element holder 28 so that the sensing element 30 contacts the filter 38 and the outside air passing through the vent hole 48.

【0020】FCコネクタ24、レセプタクル26及び
本体32の外周は、ステンレス等の材質の筒46によっ
て覆われ、水等の侵入を防止している。更に、検出部2
0の筒46を貫通して、一端が監視センター60内のボ
ンベの1つに切り換え接続される導入チューブ50と、
一端が排気処理装置に接続された排出チューブ52とが
配設される。導入チューブ50の他端は、本体32に形
成された導入路54の一端に気密に結合され、導入路5
4の他端は感知素子30とレセプタクル26との間の空
間であるチャンバー56に開口している。同様に、排出
チューブ52の他端も、本体32に形成された排出路5
8の一端に気密に結合され、排出路58の他端もチャン
バー56に開口する。なお、導入チューブ50及び排出
チューブ52の他端がチャンバー56に連通するよう
に、導入チューブ50及び排出チューブ52を本体32
を貫通させてもよい。
The outer peripheries of the FC connector 24, the receptacle 26, and the main body 32 are covered with a cylinder 46 made of a material such as stainless steel to prevent water or the like from entering. Further, the detecting unit 2
0, which penetrates through the cylinder 46 and is connected at one end to one of the cylinders in the monitoring center 60;
An exhaust tube 52 having one end connected to the exhaust treatment device is provided. The other end of the introduction tube 50 is air-tightly connected to one end of an introduction path 54 formed in the main body 32, and
The other end of 4 opens into a chamber 56 which is a space between the sensing element 30 and the receptacle 26. Similarly, the other end of the discharge tube 52 is connected to the discharge passage 5 formed in the main body 32.
8 is airtightly connected to one end, and the other end of the discharge path 58 also opens to the chamber 56. The introduction tube 50 and the discharge tube 52 are connected to the main body 32 such that the other ends of the introduction tube 50 and the discharge tube 52 communicate with the chamber 56.
May be penetrated.

【0021】この発明においては、有機物質と接触する
と感知素子30の属性、例えば膜厚や屈折率が変化する
という性質を利用し、感知素子30の属性を検出するた
めに、例えばIER法を用いる。IER法は薄膜構造の
光学的干渉特性を利用するものである。感知素子30の
表面で反射された光は、感知素子とホルダーの反射面と
の間の界面から反射された光と位相関係を持ち、互いに
干渉し合う。感知素子30の反射率は感知素子の膜厚及
び/又は屈折率に大きく依存する。即ち、感知素子30
の膜厚及び/又は屈折率が変化すると、感知素子30の
反射率又はそこからの反射光の強度が変化する。かく
て、IER法により、反射された光の強度の関数とし
て、有機物質の存在及び/又は濃度を検出することが可
能になる。
In the present invention, for example, the IER method is used to detect the attribute of the sensing element 30 by utilizing the property that the attribute of the sensing element 30, for example, the film thickness or the refractive index changes upon contact with an organic substance. . The IER method utilizes the optical interference characteristics of a thin film structure. The light reflected on the surface of the sensing element 30 has a phase relationship with the light reflected from the interface between the sensing element and the reflective surface of the holder and interferes with each other. The reflectivity of the sensing element 30 largely depends on the thickness and / or the refractive index of the sensing element. That is, the sensing element 30
When the film thickness and / or the refractive index of the sensor 30 change, the reflectivity of the sensing element 30 or the intensity of light reflected therefrom changes. Thus, the IER method makes it possible to detect the presence and / or concentration of organic substances as a function of the intensity of the reflected light.

【0022】上記のとおり、IER法は膜厚の変化に感
応するものであるが、この発明で用いられる感知素子3
0として、有機物質の屈折率とさほど違わない屈折率を
持つ材料を使用するならば、この発明においては、感知
素子30の膜厚の影響の方を屈折率よりも重視してよい
ことになる。これは、従来技術に対する本発明固有の利
点である。
As described above, the IER method is sensitive to a change in the film thickness.
If a material having a refractive index not so different from that of the organic substance is used as 0, in the present invention, the influence of the thickness of the sensing element 30 may be more important than the refractive index. . This is a unique advantage of the present invention over the prior art.

【0023】IER法に適した感知素子30の反射率は
有機物質の濃度の増大と共に正弦波状に変化することが
知られている、そこで、有機物質の濃度範囲によって以
下のように調整するのが好ましい。まず、有機物質の濃
度が希薄である場合には、感知素子30の反射率の変化
が小さいため、反射率の最小値あるいは最大値に相当す
る膜厚に調整した場合、十分な反射率変化が得られな
い。よって、反射率の最小値及び最大値に対応するλ/
4ncosθ(ただし、λは入射光の波長、nは感知素
子30の屈折率、θは感知素子30内での光伝搬角度で
ある)の倍数に近い値ではないことが望ましい。一方、
有機物質が比較的高濃度の場合、感知素子30の反射率
変化が大きいので、信号スパンを大きく取るために、反
射率の最小値あるいは最大値に相当する膜厚に調整する
のが好ましい。感知素子30の膜厚は10nm〜10μ
mの範囲であってよいが、高速応答のためには1μm未
満が好ましい。
It is known that the reflectance of the sensing element 30 suitable for the IER method changes sinusoidally with an increase in the concentration of the organic substance. Therefore, it is necessary to adjust the reflectance as follows according to the concentration range of the organic substance. preferable. First, when the concentration of the organic substance is low, the change in the reflectance of the sensing element 30 is small. Therefore, when the film thickness is adjusted to the minimum value or the maximum value of the reflectance, a sufficient change in the reflectance occurs. I can't get it. Therefore, λ / corresponding to the minimum value and the maximum value of the reflectivity
It is desirable that the value is not close to a multiple of 4 ncos θ (where λ is the wavelength of the incident light, n is the refractive index of the sensing element 30, and θ is the light propagation angle in the sensing element 30). on the other hand,
When the concentration of the organic substance is relatively high, the change in the reflectance of the sensing element 30 is large. Therefore, in order to increase the signal span, it is preferable to adjust the film thickness to correspond to the minimum value or the maximum value of the reflectance. The thickness of the sensing element 30 is 10 nm to 10 μm
m, but is preferably less than 1 μm for high-speed response.

【0024】感知素子30は、The sensing element 30 is

【0025】[0025]

【化1】 Embedded image

【0026】で表わされる繰り返し単位を有するホモポ
リマー又はコポリマーであることが好ましい。ここで、
Xは、−H、−F、−Cl、−Br、−CH3、−C
3、−CN又は−CH2−CH3を表し、R1は、−R2
又は−Z−R2を表し、Zは、−O−、−S−、−NH
−、−NR2′−、−(C=Y)−、−(C=Y)−Y
−、−Y−(C=Y)−、−(SO2)−、−Y′−
(SO2)−、−(SO2)−Y′−、−Y′−(S
2)−Y′−、−NH−(C=O)−、−(C=O)
−NH−、−(C=O)−NR2′−、−Y′−(C=
Y)−Y′−又は−O−(C=O)−(CH2n−(C
=O)−O−を表し、Yは独立してO又はSを表し、
Y′は独立してO又はNHを表し、nは0〜20の整数
を表し、R2及びR2′は、独立して水素、直鎖アルキル
基、分岐鎖アルキル基、シクロアルキル基、不飽和炭化
水素基、アリール基、飽和又は不飽和のヘテロ環又はそ
れらの誘導体を表わす。ただし、R1は水素、直鎖アル
キル基、分岐アルキル基でない。
It is preferably a homopolymer or a copolymer having a repeating unit represented by the following formula: here,
X is, -H, -F, -Cl, -Br , -CH 3, -C
Represents F 3 , —CN or —CH 2 —CH 3 , wherein R 1 is —R 2
Or represents -Z-R 2, Z is, -O -, - S -, - NH
-, -NR 2 '-,-(C = Y)-,-(C = Y) -Y
-, - Y- (C = Y ) -, - (SO 2) -, - Y'-
(SO 2 )-,-(SO 2 ) -Y'-, -Y '-(S
O 2) -Y '-, - NH- (C = O) -, - (C = O)
-NH-,-(C = O) -NR 2 '-, -Y'-(C =
Y) -Y'- or -O- (C = O) - ( CH 2) n - (C
= O) -O-, Y independently represents O or S;
Y 'represents O or NH, independently, n represents an integer of 0 to 20, R 2 and R 2' are independently hydrogen, straight chain alkyl groups, branched-chain alkyl group, a cycloalkyl group, unsaturated Represents a saturated hydrocarbon group, an aryl group, a saturated or unsaturated heterocyclic ring, or a derivative thereof. However, R 1 is not hydrogen, a linear alkyl group or a branched alkyl group.

【0027】好ましくは上記繰り返し単位(I)中のX
はH又はCH3を表し、R1は、置換若しくは非置換アリ
ール基又は−Z−R2を表し、Zは、−O−、−(C=
O)−O−又は−O−(C=O)−を表し、R2は直鎖
アルキル基、分岐アルキル基、シクロアルキル基、不飽
和炭化水素基、アリール基、飽和又は不飽和のヘテロ環
又はそれらの誘導体を表わす。
Preferably, X in the above-mentioned repeating unit (I)
Represents H or CH 3, R 1 represents a substituted or unsubstituted aryl group or -Z-R 2, Z is, -O -, - (C =
O) represents —O— or —O— (C = O) —, and R 2 represents a linear alkyl group, a branched alkyl group, a cycloalkyl group, an unsaturated hydrocarbon group, an aryl group, a saturated or unsaturated heterocyclic ring Or a derivative thereof.

【0028】感知素子として使用されるポリマーは、単
一の上記の繰り返し単位(I)のみから成るポリマーで
も、他の繰り返し単位と上記の繰り返し単位(I)とか
ら成るコポリマーでも、上記の繰り返し単位(I)の二
種類以上から成るコポリマーでもよい。コポリマー中で
の繰り返し単位の配列はいかなるものでもよく、例え
ば、ランダムコポリマー、交互コポリマー、ブロックコ
ポリマー又はグラフトコポリマーを使用することができ
る。特に、感知素子は、ポリメタクリル酸エステル類、
ポリアクリル酸エステル類から調製されるのが特に好ま
しい。エステルの側鎖基は、好ましくは直鎖若しくは分
岐アルキル基又はシクロアルキル基であり、炭素数は好
ましくは4〜22である。
The polymer used as the sensing element may be a polymer consisting of a single repeating unit (I) or a copolymer consisting of another repeating unit and the above repeating unit (I), Copolymers of two or more types of (I) may be used. The arrangement of the repeating units in the copolymer may be any, for example, a random copolymer, an alternating copolymer, a block copolymer or a graft copolymer can be used. In particular, the sensing elements are polymethacrylates,
It is particularly preferred that they are prepared from polyacrylates. The side chain group of the ester is preferably a linear or branched alkyl group or a cycloalkyl group, and preferably has 4 to 22 carbon atoms.

【0029】感知素子30に使用して特に好ましいポリ
マーを以下に列挙する: ポリ(メタクリル酸ドデシル) ポリ(メタクリル酸イソデシル) ポリ(メタクリル酸2−エチルヘキシル) ポリ(メタクリル酸2−エチルヘキシル−co−メタク
リル酸メチル) ポリ(メタクリル酸2−エチルヘキシル−co−スチレ
ン) ポリ(メタクリル酸メチル−co−アクリル酸2−エチ
ルヘキシル) ポリ(メタクリル酸メチル−co−メタクリル酸2−エ
チルヘキシル) ポリ(メタクリル酸イソブチル−co−メタクリル酸グ
リシジル) ポリ(メタクリル酸シクロヘキシル) ポリ(メタクリル酸オクタデシル) ポリ(メタクリル酸オクタデシル−co−スチレン) ポリ(プロピオン酸ビニル) ポリ(メタクリル酸ドデシル−co−スチレン) ポリ(メタクリル酸ドデシル−co−メタクリル酸グリ
シジル) ポリ(メタクリル酸ブチル) ポリ(メタクリル酸ブチル−co−メタクリル酸メチ
ル) ポリ(メタクリル酸ブチル−co−メタクリル酸グリシ
ジル) ポリ(メタクリル酸2−エチルヘキシル−co−メタク
リル酸グリシジル) ポリ(メタクリル酸シクロヘキシル−co−メタクリル
酸グリシジル) ポリ(メタクリル酸シクロヘキシル−co−メタクリル
酸メチル) ポリ(メタクリル酸ベンジル−co−メタクリル酸2−
エチルヘキシル) ポリ(メタクリル酸2−エチルヘキシル−co−ジアセ
トンアクリルアミド) ポリ(メタクリル酸2−エチルヘキシル−co−メタク
リル酸ベンジル−co−メタクリル酸グリシジル) ポリ(メタクリル酸2−エチルヘキシル−co−メタク
リル酸メチル−co−メタクリル酸グリシジル) ポリ(桂皮酸ビニル) ポリ(桂皮酸ビニル−co−メタクリル酸ドデシル) ポリ(メタクリル酸テトラヒドロフルフリル) ポリ(メタクリル酸ヘキサデシル) ポリ(メタクリル酸2−エチルブチル) ポリ(メタクリル酸2−ヒドロキシエチル) ポリ(メタクリル酸シクロヘキシル−co−メタクリル
酸イソブチル) ポリ(メタクリル酸シクロヘキシル−co−メタクリル
酸2−エチルヘキシル) ポリ(メタクリル酸ブチル−co−メタクリル酸2−エ
チルヘキシル) ポリ(メタクリル酸ブチル−co−メタクリル酸イソブ
チル) ポリ(メタクリル酸シクロヘキシル−co−メタクリル
酸ブチル) ポリ(メタクリル酸シクロヘキシル−co−メタクリル
酸ドデシル) ポリ(メタクリル酸ブチル−co−メタクリル酸エチ
ル) ポリ(メタクリル酸ブチル−co−メタクリル酸オクタ
デシル) ポリ(メタクリル酸ブチル−co−スチレン) ポリ(4−メチルスチレン) ポリ(メタクリル酸シクロヘキシル−co−メタクリル
酸ベンジル) ポリ(メタクリル酸ドデシル−co−メタクリル酸ベン
ジル) ポリ(メタクリル酸オクタデシル−co−メタクリル酸
ベンジル) ポリ(メタクリル酸ベンジル−co−メタクリル酸テト
ラヒドロフルフリル) ポリ(メタクリル酸ベンジル−co−メタクリル酸ヘキ
サデシル) ポリ(メタクリル酸ドデシル−co−メタクリル酸メチ
ル) ポリ(メタクリル酸ドデシル−co−メタクリル酸エチ
ル) ポリ(メタクリル酸2−エチルヘキシル−co−メタク
リル酸ドデシル) ポリ(メタクリル酸2−エチルヘキシル−co−メタク
リル酸オクタデシル) ポリ(メタクリル酸2−エチルブチル−co−メタクリ
ル酸ベンジル)) ポリ(メタクリル酸テトラヒドロフルフリル−co−メ
タクリル酸グリシジル) ポリ(スチレン−co−アクリル酸オクタデシル) ポリ(メタクリル酸オクタデシル−co−メタクリル酸
グリシジル) ポリ(4−メトキシスチレン) ポリ(メタクリル酸2−エチルブチル−co−メタクリ
ル酸グリシジル) ポリ(スチレン−co−メタクリル酸テトラヒドロフル
フリル) ポリ(メタクリル酸2−エチルヘキシル−co−メタク
リル酸プロピル) ポリ(メタクリル酸オクタデシル−co−メタクリル酸
イソプロピル) ポリ(3−メチル−4−ヒドロキシスチレン−co−4
−ヒドロキシスチレン) ポリ(スチレン−co−メタクリル酸2−エチルヘキシ
ル−co−メタクリル酸グリシジル)。
Particularly preferred polymers for use in sensing element 30 are listed below: poly (dodecyl methacrylate) poly (isodecyl methacrylate) poly (2-ethylhexyl methacrylate) poly (2-ethylhexyl methacrylate-co-methacryl) (Methyl methacrylate) poly (2-ethylhexyl methacrylate-co-styrene) poly (methyl methacrylate-co-2-ethylhexyl acrylate) poly (methyl methacrylate-co-2-ethylhexyl methacrylate) poly (isobutyl methacrylate-co) -Glycidyl methacrylate) poly (cyclohexyl methacrylate) poly (octadecyl methacrylate) poly (octadecyl methacrylate-co-styrene) poly (vinyl propionate) poly (dodecyl methacrylate-co-styrene) Poly (butyl methacrylate-co-glycidyl methacrylate) Poly (butyl methacrylate) Poly (butyl methacrylate-co-methyl methacrylate) Poly (butyl methacrylate-co-glycidyl methacrylate) Poly (2-ethylhexyl methacrylate) co-glycidyl methacrylate poly (cyclohexyl methacrylate-co-glycidyl methacrylate) poly (cyclohexyl methacrylate-co-methyl methacrylate) poly (benzyl methacrylate-co-methacrylic acid 2-)
Ethylhexyl Poly (2-ethylhexyl methacrylate-co-diacetone acrylamide) Poly (2-ethylhexyl methacrylate-co-benzyl-methacrylate-co-glycidyl methacrylate) Poly (2-ethylhexyl methacrylate-co-methyl methacrylate) co-glycidyl methacrylate poly (vinyl cinnamate) poly (vinyl cinnamate-co-dodecyl methacrylate) poly (tetrahydrofurfuryl methacrylate) poly (hexadecyl methacrylate) poly (2-ethylbutyl methacrylate) poly (methacrylic acid) 2-hydroxyethyl) poly (cyclohexyl methacrylate-co-isobutyl methacrylate) poly (cyclohexyl methacrylate-co-2-ethylhexyl methacrylate) poly (butyl methacrylate-c) -2-ethylhexyl methacrylate) poly (butyl methacrylate-co-isobutyl methacrylate) poly (cyclohexyl methacrylate-co-butyl methacrylate) poly (cyclohexyl methacrylate-co-dodecyl methacrylate) poly (butyl methacrylate-co -Ethyl methacrylate) Poly (butyl methacrylate-co-octadecyl methacrylate) Poly (butyl methacrylate-co-styrene) Poly (4-methylstyrene) Poly (cyclohexyl methacrylate-co-benzyl methacrylate) Poly (methacrylic acid) Dodecyl-co-benzyl methacrylate poly (octadecyl methacrylate-co-benzyl methacrylate) poly (benzyl methacrylate-co-tetrahydrofurfuryl methacrylate) poly (methacrylic acid) Poly (hexyldecyl-co-hexadecyl methacrylate) poly (dodecyl methacrylate-co-methyl methacrylate) poly (dodecyl methacrylate-co-ethyl methacrylate) poly (2-ethylhexyl methacrylate-co-dodecyl methacrylate) poly (methacrylic acid) 2-ethylhexyl-co-octadecyl methacrylate) poly (2-ethylbutyl methacrylate-co-benzyl methacrylate)) poly (tetrahydrofurfuryl methacrylate-co-glycidyl methacrylate) poly (styrene-co-octadecyl acrylate) poly (Octadecyl methacrylate-co-glycidyl methacrylate) poly (4-methoxystyrene) poly (2-ethylbutyl methacrylate-co-glycidyl methacrylate) poly (styrene-co-methacrylic acid) Tiger tetrahydrofurfuryl) poly (2-ethylhexyl methacrylate--co- propyl methacrylate) poly (octadecyl methacrylate -co- methacrylate isopropyl) poly (3-methyl-4-hydroxystyrene -co-4
-Hydroxystyrene) Poly (styrene-co-2-ethylhexyl methacrylate-co-glycidyl methacrylate).

【0030】なお、上記のメタクリル酸エステルポリマ
ー又はコポリマーにおいて、メタクリル酸に代えてアク
リル酸を用いてもよい。また、上記のポリマーは、それ
自体架橋することが可能であるが、該ポリマー中に架橋
用の反応性基を有する化合物を導入することによって架
橋することも可能である。そのような架橋用の反応性基
としては、例えば、アミノ基、水酸基、カルボキシル
基、エポキシ基、カルボニル基及びウレタン基並びにそ
れらの誘導体や、マレイン酸、フマル酸、ソルビン酸、
イタコン酸及び桂皮酸並びにそれらの誘導体を挙げるこ
とができる。可視光、紫外光又は高エネルギー放射線の
照射によってカルベン又はニトレンを形成することが可
能な化学構造を有する物質も、架橋剤として使用し得
る。架橋ポリマーより形成されたフィルムは不溶性であ
るので、高分子薄膜4を形成するポリマーを架橋するこ
とにより、検知器の安定性を増すことができる。架橋方
法には特に制限はなく、従来公知の架橋方法、例えば加
熱による方法の他に、光や放射線の照射による方法を用
いることができる。
In the methacrylic ester polymer or copolymer, acrylic acid may be used instead of methacrylic acid. The above polymer can be crosslinked by itself, but can be crosslinked by introducing a compound having a reactive group for crosslinking into the polymer. Examples of such a crosslinking reactive group include, for example, an amino group, a hydroxyl group, a carboxyl group, an epoxy group, a carbonyl group, a urethane group and derivatives thereof, and maleic acid, fumaric acid, sorbic acid,
Mention may be made of itaconic acid and cinnamic acid and their derivatives. Substances having a chemical structure capable of forming carbene or nitrene upon irradiation with visible light, ultraviolet light, or high-energy radiation can also be used as the crosslinking agent. Since the film formed from the crosslinked polymer is insoluble, the stability of the detector can be increased by crosslinking the polymer forming the polymer thin film 4. The crosslinking method is not particularly limited, and a conventionally known crosslinking method, for example, a method by heating or a method by irradiation with light or radiation can be used.

【0031】図1の有機物質検出装置においては、感知
素子30を支持する感知素子ホルダー28の面は光を反
射するよう十分平坦であることが好ましく、感知素子ホ
ルダー28自体が高い反射率を持つものでもよい。感知
素子ホルダー28の例としてはシリコン・ウエハがあげ
られる。感知素子30はスピンコート法その他の一般的
に用いられている被覆方法によって感知素子ホルダー2
8の表面に形成するのがよい。実際に感知素子30を作
製するため、ポリ(メタクリル酸ベンジル−co−メタ
クリル酸2−エチルヘキシル)8.5gをシクロヘキサ
ノンに溶解し全量を100gとしたものをシリコンウエ
ハー製の基板上に2900rpmにてスピンコートし、
高分子薄膜を形成した。これを60℃で1時間減圧乾燥
した後、高分子薄膜の膜厚をルドルフリサーチ社製の三
波長自動エリプソメータ「Auto EL IV NIR
III」にて測定したところ、約330nmであった。
このシリコンウエハー製の基板を10mm×10mm角
に切り出し、感知素子30とした。
In the organic substance detecting device of FIG. 1, the surface of the sensing element holder 28 supporting the sensing element 30 is preferably sufficiently flat to reflect light, and the sensing element holder 28 itself has a high reflectance. It may be something. An example of the sensing element holder 28 is a silicon wafer. The sensing element 30 is provided by a spin coating method or another commonly used coating method.
8 is preferably formed on the surface. In order to actually produce the sensing element 30, 8.5 g of poly (benzyl methacrylate-co-2-ethylhexyl methacrylate) was dissolved in cyclohexanone to make a total amount of 100 g, and the solution was spun on a substrate made of a silicon wafer at 2900 rpm. Coat and
A polymer thin film was formed. After drying under reduced pressure at 60 ° C. for 1 hour, the thickness of the polymer thin film was measured using a three-wavelength automatic ellipsometer “Auto EL IV NIR” manufactured by Rudol Research.
III ", it was about 330 nm.
The substrate made of the silicon wafer was cut into a 10 mm × 10 mm square to form a sensing element 30.

【0032】図1のフィルタ38は、空気中にあっては
有機物質のみを通して水を通さず、水中においては、水
中に溶存又は分離存在する有機物質を選択的に、即ち、
水を除いて有機物質のみを蒸気として取り込むことがで
きる性質を持ち、例えば高分子分離膜、即ち、ポリエチ
レン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリカーボネー
ト、ポリフェニレンオキサイド、ポリフェニレンエーテ
ル、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルサルホ
ン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミ
ド、ポリサルホン、ポリエチレンナフタレート、ポリア
セタール、ポリブチレンテレフタレート、フッ素樹脂、
ポリパラバン酸樹脂、全芳香属ポリアミド、ポリチオー
ル、アミノアルキド系樹脂、アクリル系樹脂、ポリセル
ロース、天然ゴム、ポリエステル、不飽和ポリエステ
ル、エポキシ系樹脂、シリコーン系樹脂、及び、これら
の誘導体、及び、これらの高分子の積層体からなる分離
膜や、セラミック、多孔性金属、及び、これらの積層体
からなる分離膜によって構成することが好ましい。
The filter 38 shown in FIG. 1 does not allow water to pass through only organic substances in the air, but selectively removes organic substances dissolved or separated in water in water.
Has the property of being able to take in only organic substances as vapor except water, for example, polymer separation membranes, that is, polyethylene, polypropylene, polystyrene, polycarbonate, polyphenylene oxide, polyphenylene ether, polyphenylene sulfide, polyether sulfone, polyether Ether ketone, polyetherimide, polysulfone, polyethylene naphthalate, polyacetal, polybutylene terephthalate, fluororesin,
Polyparabanic acid resin, wholly aromatic polyamide, polythiol, amino alkyd resin, acrylic resin, polycellulose, natural rubber, polyester, unsaturated polyester, epoxy resin, silicone resin, and derivatives thereof, and these It is preferable to use a separation membrane made of a polymer laminate, a ceramic, a porous metal, and a separation membrane made of these laminates.

【0033】これらの中で好適なのは、疎水性のPTF
E(ポリテトラフルオロエチレン)膜、疎水性のPVD
F(ポリビニリデンフルオライド)膜、疎水性のポリエ
チレン膜、疎水性のポリプロピレン膜、疎水性のポリエ
チレンーPTFE積層体膜、疎水性のポリプロピレンー
ポリエチレンーポリプロピレン積層体膜である。
Preferred among these are hydrophobic PTFs.
E (polytetrafluoroethylene) membrane, hydrophobic PVD
An F (polyvinylidene fluoride) film, a hydrophobic polyethylene film, a hydrophobic polypropylene film, a hydrophobic polyethylene-PTFE laminated film, and a hydrophobic polypropylene-polyethylene-polypropylene laminated film.

【0034】好適には、径が0.01〜100μmで厚
みが50〜2000μmの分離膜、特に好適には、径が
0.05〜20μmで厚みが70〜300μmの分離膜
が用いられる。具体的には、疎水性のPTFE膜:
(0.1−70)、(0.2−80)、(0.5−7
5)、(1−75)、(3−75)、(5−125)、
(10−125)、疎水性のポリプロピレンネットサポ
ートPTFE膜:(0.1−130)、(0.2−13
0)、(0.5−120)、(0.2−175)、
(0.5−175)、(1−145)、(3ー20
0)、疎水性のポリビニリデンフロライド膜:(0.1
−125)、(0.22−125)、(0.45−12
5)、(0.65−125)、(5−125)である。
なお、上記の()内は、各材料の孔径と厚みとの組み合
わせを表したもので、単位はミクロンである。
Preferably, a separation membrane having a diameter of 0.01 to 100 μm and a thickness of 50 to 2000 μm, particularly preferably a separation membrane having a diameter of 0.05 to 20 μm and a thickness of 70 to 300 μm is used. Specifically, a hydrophobic PTFE membrane:
(0.1-70), (0.2-80), (0.5-7)
5), (1-75), (3-75), (5-125),
(10-125), hydrophobic polypropylene net support PTFE membrane: (0.1-130), (0.2-13)
0), (0.5-120), (0.2-175),
(0.5-175), (1-145), (3-20)
0), hydrophobic polyvinylidene fluoride membrane: (0.1
-125), (0.22-125), (0.45-12)
5), (0.65-125) and (5-125).
The above () indicates the combination of the pore diameter and the thickness of each material, and the unit is micron.

【0035】次に、図2は、図1の有機物質検出装置と
結合されて監視システムを構成する、この発明に係る監
視センター60の1つの実施の形態を示している。図2
において、光ファイバー22の一端は計測・制御部62
に、導入チューブ50の一端は切り換え弁64に、排出
チューブ52の一端は排気処理装置66にそれぞれ接続
されている。排気処理装置66で処理された気体はチュ
ーブ68を介して外気へ排出される。なお、必要に応じ
て、導入チューブ50と排出チューブ52との適宜の個
所にエアフィルタ70、72を設けてもよい。また、光
ファイバー22、導入チューブ50及び排出チューブ5
2の保護のため、これらを例えばテフロン製又はステン
レス製の管(一点鎖線で示す)に収納するのが望まし
い。
Next, FIG. 2 shows one embodiment of a monitoring center 60 according to the present invention, which is combined with the organic substance detection device of FIG. 1 to constitute a monitoring system. FIG.
, One end of the optical fiber 22 is
One end of the introduction tube 50 is connected to the switching valve 64, and one end of the discharge tube 52 is connected to the exhaust treatment device 66. The gas processed by the exhaust processing device 66 is discharged to the outside air via a tube 68. If necessary, air filters 70 and 72 may be provided at appropriate places between the introduction tube 50 and the discharge tube 52. Further, the optical fiber 22, the introduction tube 50 and the discharge tube 5
For protection of 2, it is desirable to store these in a tube made of, for example, Teflon or stainless steel (indicated by a dashed line).

【0036】計測・制御部62は、光ファイバー22の
端部に接続された光源と、感知素子30によって反射さ
れて光ファイバー22を伝送されてきた反射光を受光
し、該反射光の強度に比例する電気信号を作る光検出回
路と、該電気信号の大きさを表示する計器とを備えると
共に、切り換え弁64を図3のタイミングで作動させる
よう制御する制御回路を備えている。光源にはレーザー
ダイオード又は発光ダイオードが適している。
The measurement / control section 62 receives the light source connected to the end of the optical fiber 22 and the reflected light reflected by the sensing element 30 and transmitted through the optical fiber 22, and is proportional to the intensity of the reflected light. It includes a light detection circuit for generating an electric signal, an instrument for displaying the magnitude of the electric signal, and a control circuit for controlling the switching valve 64 to operate at the timing shown in FIG. Laser diodes or light-emitting diodes are suitable as light sources.

【0037】切り換え弁64には、第1の気体が圧縮貯
蔵された第1のボンベ74と、第1の気体とは異なる第
2の気体が圧縮貯蔵された第2のボンベ76とが接続さ
れる。切り換え弁64は、計測・制御部62からの制御
信号78によって、導入チューブ48を第1のボンベ7
4又は第2のボンベ76に接続するよう切り換えられ
る。
The switching valve 64 is connected to a first cylinder 74 in which a first gas is compressed and stored, and a second cylinder 76 in which a second gas different from the first gas is compressed and stored. You. The switching valve 64 connects the introduction tube 48 to the first cylinder 7 according to a control signal 78 from the measurement / control unit 62.
The connection is switched to the fourth or second cylinder 76.

【0038】第1の気体は計測・制御部62内の計器の
ゼロ点調整を行うために用いられ、有機物質を全く含ま
ない乾燥空気、乾燥窒素、乾燥アルゴン等の気体である
が、乾燥空気が最も好ましい。切り換え弁64によって
導入チューブ50を第1のボンベ74に接続した期間に
は、導入チューブ50を通して検出部20に第1のボン
ベ74から例えば乾燥空気が供給されて排出チューブ5
2を通して排気されるので、このときの感知素子30か
らの反射光の強度を用いて計測・制御部62内の計器を
ゼロを指示するよう調整することができる。
The first gas is used for adjusting the zero point of the instrument in the measurement / control section 62, and is a gas containing no organic substance, such as dry air, dry nitrogen, dry argon, etc. Is most preferred. During the period when the introduction tube 50 is connected to the first cylinder 74 by the switching valve 64, for example, dry air is supplied from the first cylinder 74 to the detection unit 20 through the introduction tube 50, and the discharge tube 5 is discharged.
Since the air is exhausted through the sensor 2, it is possible to adjust the instrument in the measurement / control unit 62 to indicate zero using the intensity of the reflected light from the sensing element 30 at this time.

【0039】第2の気体は計測・制御部62内の計器の
指度を校正するために使用され、既知の濃度の乾燥イソ
ブタン、乾燥プロパン等の乾燥有機ガスが用いられる。
例えば、検出部20が給油所に設置され、石油の漏洩を
検出すべき場合、第2の気体として、爆発下限値である
8,500ppmよりも小さい50〜8,000ppm
の濃度の、好ましくは100ppmの濃度の乾燥イソブ
タンが使用される。100ppmの濃度の乾燥イソブタ
ンが導入チューブ50を通してチャンバー56に送られ
たとすると、このイソブタンを吸収又は吸着した感知素
子30からの反射光の強度を利用して、計測・制御部6
2内の計器を100ppmのイソブタンの存在を指示す
るよう校正することができる。
The second gas is used to calibrate the indicator of the instrument in the measurement / control unit 62, and a dry organic gas such as dry isobutane or dry propane having a known concentration is used.
For example, when the detection unit 20 is installed at a gas station and a leak of oil is to be detected, the second gas is 50 to 8,000 ppm, which is smaller than the explosion lower limit of 8,500 ppm.
, Preferably 100 ppm of dry isobutane. Assuming that dry isobutane having a concentration of 100 ppm is sent to the chamber 56 through the introduction tube 50, the measurement / control unit 6 utilizes the intensity of the reflected light from the sensing element 30 that has absorbed or adsorbed this isobutane.
The instrument in 2 can be calibrated to indicate the presence of 100 ppm isobutane.

【0040】図3は、切り換え弁64が導入チューブ5
0を第1のボンベ74又は第2のボンベ76に接続する
タイミングと計測・制御部62の計器の校正期間との関
係を示しており、図3の(A)は、導入チューブ50が
第1のボンベ74に時間t1から時間t2まで接続され
ることを示し、図3の(B)は、導入チューブ50が第
2のボンベ76に時間t2から時間t3まで接続される
ことを示している。計測・制御部62は切り換え弁64
に制御信号78を送り、切り換え弁64が1日1〜10
回、好ましくは8回、定期的に導入チューブ50を交互
に第1のボンベ74と第2のボンベ76とに接続するよ
う制御する。なお、図3では、1回当たり1度、導入チ
ューブ50を第1のボンベ74又は第2のボンベ76に
接続することを示しているが、各回に時間t1から時間
t3までの動作を数度反復するようにしてもよい。
FIG. 3 shows that the switching valve 64 is connected to the introduction tube 5.
FIG. 3A shows the relationship between the timing at which 0 is connected to the first cylinder 74 or the second cylinder 76 and the calibration period of the instrument of the measurement / control section 62. FIG. 3B shows that the introduction tube 50 is connected to the second cylinder 76 from time t2 to time t3. The measurement / control unit 62 includes a switching valve 64
Control signal 78, and the switching valve 64 operates 1 to 10 per day.
The introduction tube 50 is controlled to be connected to the first cylinder 74 and the second cylinder 76 alternately and periodically, preferably eight times. FIG. 3 shows that the introduction tube 50 is connected to the first cylinder 74 or the second cylinder 76 once each time, but the operation from time t1 to time t3 is performed several times each time. It may be repeated.

【0041】導入チューブ50が第1のボンベ74又は
第2のボンベ76に接続されている期間(図3において
は、期間t1〜t2、t2〜t3)は、検出部20と監
視センター60との距離に応じて設定するのがよく、通
常は30秒〜60分である。
The period during which the introduction tube 50 is connected to the first cylinder 74 or the second cylinder 76 (the periods t1 to t2 and t2 to t3 in FIG. 3) is between the detection unit 20 and the monitoring center 60. It is good to set according to the distance, and is usually 30 seconds to 60 minutes.

【0042】なお、第1のボンベ74に代えて、図4に
示す装置を用いることができる。図4において、レシプ
ロ・エアーコンプレッサ、スクリュー・エアーコンプレ
ッサ等のエアーコンプレッサ80から送出された空気は
空気乾燥機(例えば冷凍式の空気乾燥機)82によって
乾燥され、エアータンク84に一時蓄えられる。エアー
タンク84からの乾燥空気は第1のミストセパレータ8
6、第2のミストセパレータ88によって細かいミスト
まで除去され、オイル臭フィルタ90を介して切り換え
弁64へ供給される。なお、圧縮空気源を利用すること
が可能である場合には、圧縮空気をミストセパレータや
オイル臭フィルタを介して切り換え弁64に供給するよ
うにしてもよい。
The apparatus shown in FIG. 4 can be used instead of the first cylinder 74. In FIG. 4, air sent from an air compressor 80 such as a reciprocating air compressor or a screw air compressor is dried by an air dryer (for example, a refrigeration air dryer) 82 and temporarily stored in an air tank 84. Dry air from the air tank 84 is supplied to the first mist separator 8.
6. Fine mist is removed by the second mist separator 88 and supplied to the switching valve 64 via the oil odor filter 90. If a compressed air source can be used, the compressed air may be supplied to the switching valve 64 via a mist separator or an oil odor filter.

【0043】次に、図5及び図6を用いて、この発明に
係る有機物質検出装置及びそれを用いた監視システムの
第2の実施の形態を説明する。この実施の形態における
有機物質検出装置は水に混入した有機物質を検出するた
めのものである。なお、図1及び図2に示す第1の実施
の形態におけるのと同じ又は同様の構成要素には、同一
の参照数字を付すこととし、それらについての説明は省
略する。
Next, a second embodiment of the organic substance detection apparatus according to the present invention and a monitoring system using the same will be described with reference to FIGS. The organic substance detection device in this embodiment is for detecting an organic substance mixed in water. The same or similar components as those in the first embodiment shown in FIGS. 1 and 2 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.

【0044】図5は、この発明に係る有機物質検出装置
の第2の実施の形態の構造を示している。図5に示す有
機物質検出装置20′において、筒状の本体32の一側
にはコリメータレンズ付きのレセプタクル26が固定さ
れ、本体32の他側には、該コリメータレンズに対向す
るように感知素子30が配置される。感知素子30は感
知素子ホルダー92に接着剤等によって固着される。感
知素子ホルダー92は、例えば焼結金属等の透水性のあ
る材料で作られており、本体32に気密に取り付けられ
る。感知素子30とレセプタクル26との間の空間、即
ちチャンバー56は導入チューブ50及び排出チューブ
52と連通している。
FIG. 5 shows the structure of an organic substance detecting device according to a second embodiment of the present invention. In the organic substance detecting device 20 'shown in FIG. 5, a receptacle 26 having a collimator lens is fixed to one side of a cylindrical main body 32, and a sensing element is provided on the other side of the main body 32 so as to face the collimator lens. 30 are arranged. The sensing element 30 is fixed to the sensing element holder 92 with an adhesive or the like. The sensing element holder 92 is made of a water-permeable material such as a sintered metal, and is hermetically attached to the main body 32. A space between the sensing element 30 and the receptacle 26, that is, the chamber 56 communicates with the introduction tube 50 and the discharge tube 52.

【0045】図6は、図5の有機物質検出装置20′と
接続される、この発明に係る監視センターの第2の実施
の形態を示している。図6の監視センター60′は、第
1の流体が貯蔵された第1のタンク94と、第1の流体
とは異なる第2の流体が貯蔵された第2のタンク96と
を備える。導入チューブ50の一端が接続された切り換
え弁64には、フィルタ98とポンプ100とを介して
第1のタンク94が接続され、別のフィルタ102とポ
ンプ104とを介して第2のタンク96が接続される。
第1の実施の形態におけると同様に、切り換え弁64
は、計測・制御部62からの制御信号78によって、導
入チューブ50を第1のタンク94又は第2のタンク9
6に接続するよう切り換えられる。排出チューブ52の
一端は廃液処理装置106に接続され、廃液処理装置1
06で処理された水はチューブ108を介して排出され
る。
FIG. 6 shows a second embodiment of the monitoring center according to the present invention, which is connected to the organic substance detecting device 20 'of FIG. The monitoring center 60 'shown in FIG. 6 includes a first tank 94 storing a first fluid and a second tank 96 storing a second fluid different from the first fluid. The switching valve 64 to which one end of the introduction tube 50 is connected is connected to a first tank 94 via a filter 98 and a pump 100, and is connected to a second tank 96 via another filter 102 and a pump 104. Connected.
As in the first embodiment, the switching valve 64
Is connected to the first tank 94 or the second tank 9 by the control signal 78 from the measurement / control unit 62.
6 to be connected. One end of the discharge tube 52 is connected to the waste liquid treatment device 106,
The water treated at 06 is discharged through the tube 108.

【0046】第1の流体は計測・制御部62内の計器の
ゼロ点調整を行うために用いられ、市水、井水、純水等
であり、純水が特に好ましい。第2の流体は計測・制御
部62内の計器の指度を校正するために用いられ、既知
の濃度の有機物質を含む。第2の流体としては、1〜2
00ppmの有機物質を含む水、例えば、10ppmの
濃度のトルエンを含む水や10ppmのキシレンを含む
水が好ましい。例えば、導入チューブ50を介して10
ppmのトルエンを含む水をチャンバー56に供給した
とき、このトルエンを吸収又は吸着した感知素子30か
らの反射光の強度を利用して、計測・制御部62内の計
器を10ppmのトルエンの存在を指示するよう校正す
ることができる。
The first fluid is used for adjusting the zero point of an instrument in the measurement / control section 62, and is city water, well water, pure water, etc., and pure water is particularly preferred. The second fluid is used for calibrating the finger of a meter in the measurement / control unit 62 and contains a known concentration of an organic substance. As the second fluid, 1-2
Water containing 00 ppm of organic substances, such as water containing 10 ppm of toluene or 10 ppm of xylene, is preferred. For example, 10
When water containing ppm of toluene is supplied to the chamber 56, the intensity of the reflected light from the sensing element 30 which has absorbed or adsorbed the toluene is used to measure the presence of 10 ppm of toluene in the measurement / control unit 62. Can be calibrated to indicate.

【0047】図6の監視センター60′においても、計
測・制御部62は、図3に示すと同じタイミングで切り
換え弁64を動作させ、導入チューブ50を第1のボン
ベ74又は第2のボンベ76に交互に接続させる。
In the monitoring center 60 'of FIG. 6, the measurement / control section 62 operates the switching valve 64 at the same timing as shown in FIG. 3 to move the introduction tube 50 to the first cylinder 74 or the second cylinder 76. Are connected alternately.

【0048】なお、以上説明した第1及び第2の実施の
形態は、計測・制御部62内の計器のゼロ点調整と指度
の校正との両方を行うものであったが、いずれか一方の
みを行えば足りる場合には、切り換え弁64の代わりに
単に弁を設置し、この弁を計測・制御部62により制御
して、導入チューブ50を所定のタイミングで、ゼロ点
調整の場合には第1のボンベ74又は第1のタンク94
に、指度の校正の場合には第2のボンベ76又は第2の
タンク96に接続すればよい。
In the first and second embodiments described above, both the zero adjustment of the instrument in the measurement / control section 62 and the calibration of the finger are performed. If it is sufficient to perform only the operation, a valve is simply installed instead of the switching valve 64, and this valve is controlled by the measurement / control unit 62 to adjust the introduction tube 50 at a predetermined timing at the zero point. First cylinder 74 or first tank 94
In the case of calibration of the finger strength, it may be connected to the second cylinder 76 or the second tank 96.

【0049】[0049]

【発明の効果】以上、この発明の実施の形態を図面を参
照しながら詳細に説明したところから明らかなとおり、
この発明は、検出部が設置された場所での温度の変動、
感知素子の経年変化による屈折率の変動等々の種々の変
動要因に影響されることなく、計器のゼロ点や指度の校
正を行うことができるので、有機物質の存在や濃度を高
精度に感知することが可能になるという格別の効果を奏
する。
As described above, the embodiments of the present invention have been described in detail with reference to the drawings.
The present invention relates to a temperature fluctuation at a place where a detecting unit is installed,
Calibration of the instrument's zero point and finger strength without being affected by various fluctuation factors such as fluctuations in the refractive index due to aging of the sensing element enables highly accurate detection of the presence and concentration of organic substances. It has a special effect that it becomes possible to

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明に係る有機物質検出装置の第1の実施
の形態の構成を概略的に示す図である。
FIG. 1 is a diagram schematically showing a configuration of a first embodiment of an organic substance detection device according to the present invention.

【図2】図1の有機物質検出装置と接続される、この発
明に係る監視センターの第1の実施の形態の構成を概略
的に示す図である。
FIG. 2 is a diagram schematically showing a configuration of a first embodiment of a monitoring center according to the present invention, which is connected to the organic substance detection device of FIG. 1;

【図3】(A)及び(B)は、図2の切り換え弁の動作
タイミングを示し、(C)は計器のゼロ点調整と指度の
校正を行う期間を示すグラフである。
3 (A) and (B) show operation timings of the switching valve of FIG. 2, and FIG. 3 (C) is a graph showing a period during which zero-point adjustment of a meter and calibration of a finger are performed.

【図4】図2に示す第1のボンベの代わりに使用し得る
装置の構成を概略的に示す図である。
FIG. 4 is a diagram schematically showing a configuration of an apparatus that can be used instead of the first cylinder shown in FIG. 2;

【図5】この発明に係る有機物質検出装置の第2の実施
の形態の構成を概略的に示す図である。
FIG. 5 is a diagram schematically showing a configuration of an organic substance detection device according to a second embodiment of the present invention.

【図6】図5の有機物質検出装置と接続される、この発
明に係る監視センターの第2の実施の形態の構成を概略
的に示す図である。
FIG. 6 is a diagram schematically showing a configuration of a monitoring center according to a second embodiment of the present invention, which is connected to the organic substance detection device of FIG. 5;

【図7】従来の有機物質検出装置の構成を示す図であ
る。
FIG. 7 is a diagram showing a configuration of a conventional organic substance detection device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

20、20′:有機物質検出装置、 22:光ファイバ
ー、24:FCコネクタ、 26:レセプタクル、 3
0:感知素子、32:本体、 38:フィルタ、 5
0:導入チューブ、52:排出チューブ、 54:導入
路、 56:チャンバー、58:排出路、 60、6
0′:監視センター、 62:計測・制御部、64:切
り換え弁、 66:排気処理装置、 70、72:フィ
ルタ、74、76:ボンベ、 92:感知素子ホルダ
ー、 94、96:タンク
20, 20 ': organic substance detection device, 22: optical fiber, 24: FC connector, 26: receptacle, 3
0: sensing element, 32: body, 38: filter, 5
0: introduction tube, 52: discharge tube, 54: introduction path, 56: chamber, 58: discharge path, 60, 6
0 ': monitoring center, 62: measurement / control unit, 64: switching valve, 66: exhaust treatment device, 70, 72: filter, 74, 76: cylinder, 92: sensing element holder, 94, 96: tank

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジェイムズ・ビー・スタマトフ 埼玉県川越市南台1−3−2 ヘキスト リサーチ アンド テクノロジー株式 会社内 (72)発明者 山本 弘信 埼玉県川越市南台1−3−2 ヘキスト リサーチ アンド テクノロジー株式 会社内 (72)発明者 多加谷 明広 埼玉県川越市南台1−3−2 ヘキスト リサーチ アンド テクノロジー株式 会社内 (56)参考文献 特開 平8−184560(JP,A) 特開 平1−148944(JP,A) 特開 平6−222006(JP,A) 特開 平4−102047(JP,A) 特開 平7−72081(JP,A) 実開 昭58−69268(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 21/00 - 21/65 G01B 11/06 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor James B. Stamatoff 1-3-2 Minamidai, Kawagoe-shi, Saitama Prefecture Hoechst Research and Technology Co., Ltd. (72) Hironobu Yamamoto 1-3-Minamidai, Kawagoe-shi, Saitama Prefecture 2 In Hoechst Research and Technology Co., Ltd. (72) Inventor Akihiro Takaya 1-3-2, Minamidai, Kawagoe-shi, Saitama Prefecture In Hoechst Research and Technology Co., Ltd. (56) References JP-A-8-184560 (JP, A) JP-A-1-148944 (JP, A) JP-A-6-222006 (JP, A) JP-A-4-102047 (JP, A) JP-A-7-72081 (JP, A) JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G01N 21/00-21/65 G01B 11/06

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 中空の収納管と、 有機物質と接触すると属性変化を起こす感知素子と、 前記収納管内に収納された光ファイバであって、前記感
知素子を照射する光を出力すると共に該感知素子で反射
された光を受光し伝送するための光ファイバーと、 前記光ファイバの端部を固定するよう前記収納管内に配
置されたレセプタクルと、 前記レセプタクルに対向する面に前記感知素子を載置す
ると共に、前記レセプタクルとの間に空間を作るように
前記収納管内に配置されたホルダーと、 前記有機物質を含む媒質を前記収納管の一端から前記空
間へ導入するための導入手段と、 前記有機物質を含まない媒質と既知の濃度の前記有機物
質を含む媒質とのうちのいずれか一方を前記収納管の他
端から前記空間に導入するための導入チューブと、 前記空間を前記収納管の他端から排気するための排出チ
ューブと、 を具備することを特徴とする有機物質検出装置。
1. A hollow storage tube, a sensing element that causes an attribute change when it comes into contact with an organic substance, and an optical fiber housed in the storage tube, which outputs light for irradiating the sensing element and performs the sensing. An optical fiber for receiving and transmitting the light reflected by the element; a receptacle disposed in the storage tube so as to fix an end of the optical fiber; and mounting the sensing element on a surface facing the receptacle. A holder disposed in the storage tube so as to form a space between the receptacle and the container; an introduction unit for introducing a medium containing the organic substance into the space from one end of the storage tube; An introduction tube for introducing one of a medium containing no and a medium containing a known concentration of the organic substance into the space from the other end of the storage tube; The organic substance detecting device characterized by comprising a, a discharge tube for evacuating the space from the other end of said housing tube.
【請求項2】 前記レセプタクルが、前記光ファイバー
の一端が結合されて該光ファイバーからの光を前記感知
素子に収束させると共に前記感知素子から反射された光
を前記光ファイバーへ伝達するレンズを更に備えること
を特徴とする、請求項1に記載の有機物質検出装置。
2. The receptacle further comprising a lens to which one end of the optical fiber is coupled to focus light from the optical fiber to the sensing element and transmit light reflected from the sensing element to the optical fiber. The organic substance detection device according to claim 1, wherein:
【請求項3】 前記導入手段が、 前記ホルダーに関して前記レセプタクルとは反対側に設
けられ、前記有機物質のみを通すフィルタと、 前記フィルタを通過した前記有機媒質を前記空間へ導入
するため前記ホルダーに形成された通気口と、 を備えることを特徴とする、請求項1又は2に記載の有
機物質検出装置。
3. The introduction means is provided on the opposite side of the holder with respect to the receptacle, and is provided with a filter for passing only the organic substance, and a holder for introducing the organic medium passing through the filter into the space. The organic substance detection device according to claim 1, further comprising: a formed vent.
【請求項4】 前記ホルダーが前記導入手段を兼用する
ことを特徴とする、請求項1に記載の有機物質検出装
置。
4. The organic substance detecting device according to claim 1, wherein said holder also serves as said introducing means.
【請求項5】 請求項1〜4のいずれか1つに記載され
た有機物質検出装置と、 前記光ファイバ、前記導入チューブ及び前記排気チュー
ブの端部が結合された監視センターと、 を備える監視システムであって、 前記監視センターが、 前記導入チューブに対して、前記有機物質を含まない媒
質と既知の濃度の前記有機物質を含む媒質とのうちのい
ずれか一方の媒質を所定の期間に供給するための供給部
と、 前記光ファイバに光を供給すると共に、前記光ファイバ
を伝送されてきた反射光を処理して前記有機物質の存在
と濃度とのうちのいずれか一方を表す信号を出力する計
測部と、 を具備し、前記供給部から前記導入チューブに対して、
前記有機物質を含まない媒質を供給するときに前記計測
部のゼロ点の調整を行い、既知の濃度の前記有機物質を
含む媒質を供給するときに前記計測部の指度の校正を行
うことを特徴とする監視システム。
5. A monitor comprising: the organic substance detection device according to claim 1; and a monitoring center to which ends of the optical fiber, the introduction tube, and the exhaust tube are coupled. In the system, the monitoring center supplies, to the introduction tube, one of a medium containing no organic substance and a medium containing a known concentration of the organic substance for a predetermined period. A supply unit for supplying light to the optical fiber, processing reflected light transmitted through the optical fiber, and outputting a signal indicating one of the presence and concentration of the organic substance. A measuring unit, which comprises: from the supply unit to the introduction tube,
Adjusting the zero point of the measurement unit when supplying a medium that does not contain the organic substance, and performing calibration of the measurement unit when supplying a medium that contains the organic substance with a known concentration. Characteristic monitoring system.
【請求項6】 前記有機物質検出装置が外気と接し得る
よう配置され、 前記供給部が、 乾燥無機気体を収容した第1のボンベと、 既知の濃度の有機気体を含む空気を収容した第2のボン
ベと、 前記第1のボンベと前記第2のボンベとのいずれか一方
を前記有機物質検出装置と結合するための弁手段と、 を備えることを特徴とする、請求項5に記載の監視シス
テム。
6. The apparatus according to claim 1, wherein the organic substance detection device is arranged so as to be in contact with the outside air, and the supply unit includes a first cylinder containing a dry inorganic gas, and a second cylinder containing air containing a known concentration of an organic gas. The monitoring according to claim 5, further comprising: a cylinder for connecting one of the first cylinder and the second cylinder to the organic substance detection device. system.
【請求項7】 前記有機物質検出装置が水中に配置さ
れ、 前記供給部が、 有機物質が溶存していない水を収容した第1のボンベ
と、 既知の濃度の有機物質が溶存する水を収容した第2のボ
ンベと、 前記第1のボンベと前記第2のボンベとのいずれか一方
を前記有機物質検出装置と結合するための弁手段と、 を備えることを特徴とする、請求項5に記載の監視シス
テム。
7. The organic substance detection device is disposed in water, and the supply unit accommodates a first cylinder containing water in which the organic substance is not dissolved, and a water in which a known concentration of the organic substance is dissolved. And a valve means for connecting any one of the first cylinder and the second cylinder to the organic substance detection device. The described monitoring system.
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