JP3075452B2 - Position measuring device - Google Patents

Position measuring device

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JP3075452B2
JP3075452B2 JP05154322A JP15432293A JP3075452B2 JP 3075452 B2 JP3075452 B2 JP 3075452B2 JP 05154322 A JP05154322 A JP 05154322A JP 15432293 A JP15432293 A JP 15432293A JP 3075452 B2 JP3075452 B2 JP 3075452B2
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昭彦 森下
昌弘 中村
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  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、検出器より位置変化に
応じて得られる位相の90゜異なる2つの正弦信号を処
理して位置情報を得る位置測定装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a position measuring apparatus which obtains position information by processing two sine signals having a phase difference of 90.degree. Obtained from a detector in accordance with a position change.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のこの種装置は、図3に示されてい
るように、検出器1から得られる位相の90゜異なる2
つの正弦信号を、アンプにより増幅し、波形整形器3
によって矩形波信号に変換し、矩形波信号の個数をカウ
ンタ回路4により計数することにより、粗位置情報を得
て、処理回路20に供給する一方、アンプにより増幅
された位相の90゜異なる2つの正弦信号をA/Dコン
バータ19に印加し、それぞれ、デジタル化した後、処
理回路20に供給する。処理回路20は、ディジタル化
された位相の90゜異なる2つの正弦信号をROMに記
憶されたtan-1表に入力して細かい変位を得、この細
かい変位に上記粗位置情報を加算して位置情報を導出
し、これを表示部21に表示するとともに、外部出力部
22に出力する。なお、図3に示された従来の位置測定
装置の詳細は、特開昭56−96213号に開示されて
いる。
2. Description of the Prior Art As shown in FIG.
The two sine signals are amplified by the amplifier 2 and the waveform shaper 3
The coarse position information is obtained by counting the number of the square wave signals by the counter circuit 4 and supplied to the processing circuit 20 while the phase amplified by the amplifier 2 is different by 90 °. The two sine signals are applied to the A / D converter 19, digitized, and supplied to the processing circuit 20. The processing circuit 20 inputs two digitized sine signals having a phase difference of 90 ° into a tan -1 table stored in the ROM to obtain a fine displacement, and adds the coarse position information to the fine displacement to obtain a position. The information is derived, displayed on the display unit 21, and output to the external output unit 22. The details of the conventional position measuring device shown in FIG. 3 are disclosed in JP-A-56-96213.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の位置測定装置においては、入力する正弦信号の
精度の変動により、測定精度が悪化してしまうという問
題点があった。
However, in the above-described conventional position measuring device, there is a problem that the accuracy of the measurement is deteriorated due to the fluctuation of the accuracy of the input sine signal.

【0004】すなわち、検出器1より得られる位相の9
0゜異なる正弦信号をA,Bとする時、この2信号の位
相誤差がαである場合には、A=COSθ、B=SIN
(θ+α)で示されるが、角度θにより表される位置を
求める為にこの2つの正弦信号をA/Dコンバータ19
に入力し、tan-1表より角度θすなわち位置を求める
と、上記αにより位置誤差を生じてしまう。このαが一
定であれば補正定数として処理換算は可能であるが、一
定ではない為にこの操作は不可能である。
That is, the phase 9 obtained from the detector 1
When the sine signals different from each other by 0 ° are A and B, if the phase error between these two signals is α, A = COS θ and B = SIN
(Θ + α), these two sine signals are converted to an A / D converter 19 to obtain a position represented by the angle θ.
When the angle θ, that is, the position is obtained from the tan -1 table, a position error occurs due to the above α. If α is constant, processing conversion can be performed as a correction constant, but this operation is impossible because it is not constant.

【0005】本発明は、このような状況に鑑みてなされ
たものであり、検出器から出力される信号の精度に影響
されることなく、精度の高い変位すなわち位置情報を得
ることができる位置測定装置を提供することを目的とす
る。
[0005] The present invention has been made in view of such a situation, and a position measurement method capable of obtaining highly accurate displacement, that is, position information without being affected by the accuracy of a signal output from a detector. It is intended to provide a device.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明の位置測定装置
は、検出器より位置変化に応じて得られる位相の90゜
異なる第1および第2の正弦信号を処理して、位置を測
定する位置測定装置であって、第1の正弦信号から第2
の正弦信号を減算して第3の正弦信号を発生するととも
に、第1および第2正弦信号を加算して第4の正弦信号
を発生する加減算手段(例えば、図1の加減算回路5)
と、第3および第4の正弦信号のそれぞれの最大値およ
び最小値を測定する最大最小測定手段(例えば、図1の
最大最小測定回路6)と、この最大最小測定手段によっ
て測定された最大値および最小値に基づいて求められた
第3および第4正弦信号の振幅の比に基づいて、第3お
よび第4正弦信号の比を補正し、得られた補正値から位
置を求める処理手段(例えば、図1の処理回路7)とを
備えることを特徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION A position measuring apparatus according to the present invention processes first and second sine signals having a phase difference of 90.degree. Obtained from a detector in accordance with a change in position to measure a position. A measuring device, comprising:
Adding and subtracting means (for example, the adding and subtracting circuit 5 in FIG. 1) for generating a third sine signal by subtracting the sine signal of FIG. 1 and generating a fourth sine signal by adding the first and second sine signals.
Maximum and minimum measuring means (for example, the maximum and minimum measuring circuit 6 in FIG. 1) for measuring the maximum and minimum values of the third and fourth sine signals, respectively, and the maximum value measured by the maximum and minimum measuring means Processing means for correcting the ratio of the third and fourth sine signals based on the ratio of the amplitudes of the third and fourth sine signals obtained based on the minimum value and the position thereof from the obtained correction value (for example, , The processing circuit 7) of FIG.

【0007】[0007]

【作用】本発明の位置測定装置においては、第1の正弦
信号から第2の正弦信号が差し引かれて第3の正弦信号
が発生され、第1および第2正弦信号が加算されて第4
の正弦信号が発生され、第3および第4の正弦信号のそ
れぞれの最大値および最小値が測定され、測定された最
大値および最小値に基づいて求められた第3および第4
正弦信号の振幅の比に基づいて、第3および第4正弦信
号の比が補正され、得られた補正値から位置が求められ
る。第3正弦信号と第4正弦信号との間には位相差はな
く、第1正弦信号と第2正弦信号との間に存在する位相
差は、第3正弦信号の振幅および第4正弦信号の振幅に
すべて吸収される。従って、第3および第4正弦信号の
比を求め、この比を、第3および第4正弦信号の振幅の
比に基づいて補正することにより、位置情報を高精度に
得ることができる。
In the position measuring device of the present invention, the third sine signal is generated by subtracting the second sine signal from the first sine signal, and the first and second sine signals are added to produce the fourth sine signal.
Are generated, the maximum and minimum values of the third and fourth sine signals are measured, and the third and fourth sine signals are determined based on the measured maximum and minimum values.
The ratio of the third and fourth sine signals is corrected based on the ratio of the amplitudes of the sine signals, and the position is obtained from the obtained correction value. There is no phase difference between the third sine signal and the fourth sine signal, and the phase difference existing between the first sine signal and the second sine signal is based on the amplitude of the third sine signal and the fourth sine signal. It is all absorbed by the amplitude. Therefore, the position information can be obtained with high accuracy by determining the ratio between the third and fourth sine signals and correcting the ratio based on the ratio between the amplitudes of the third and fourth sine signals.

【0008】[0008]

【実施例】図1は、本発明の位置測定装置の一実施例の
構成を示す。図1中、検出器1、アンプ2、波形整形器
3およびカウンタ回路4は、図3の従来例と同一であ
る。加減算回路5は、検出器1より位置変化に応じて得
られアンプ2によって増幅された位相の90゜異なる第
1および第2の正弦信号を加算して第4の正弦信号を発
生するとともに、第1の正弦信号から第2の正弦信号を
減算して第3の正弦信号を発生する。最大最小測定回路
6は、第3および第4の正弦信号のそれぞれの最大値お
よび最小値を測定する。処理回路7は、最大最小測定回
路6によって測定された最大値および最小値に基づいて
求められた第3および第4正弦信号の振幅の比に基づい
て、第3および第4正弦信号の比を補正し、得られた補
正値から細かい変位を得、この細かい変位にカウンタ回
路4からの粗位置情報を加算して位置情報を導出し、こ
れを表示器8に表示するとともに、外部出力部9に出力
する。
FIG. 1 shows the configuration of an embodiment of the position measuring apparatus according to the present invention. 1, a detector 1, an amplifier 2, a waveform shaper 3 and a counter circuit 4 are the same as those in the conventional example of FIG. The addition / subtraction circuit 5 adds the first and second sine signals having a phase difference of 90 ° obtained from the detector 1 according to the position change and amplified by the amplifier 2 to generate a fourth sine signal. The third sine signal is generated by subtracting the second sine signal from the one sine signal. The maximum / minimum measurement circuit 6 measures the maximum value and the minimum value of each of the third and fourth sine signals. The processing circuit 7 calculates the ratio between the third and fourth sine signals based on the ratio between the amplitudes of the third and fourth sine signals determined based on the maximum and minimum values measured by the maximum and minimum measurement circuit 6. The correction is performed, a fine displacement is obtained from the obtained correction value, coarse position information from the counter circuit 4 is added to the fine displacement to derive position information, and this is displayed on the display 8 and displayed on the external output unit 9. Output to

【0009】次に、図1の実施例の動作を具体的に説明
する。検出器1から出力される第1および第2の正弦信
号を、それぞれ、A=COSθ、B=SIN(θ+α)
とすると、加減算回路5では、第3正弦信号HA=A−
B、第4正弦信号HB=A+Bを作成する。第3正弦信
号HAおよび第4正弦信号HBは、次の(式1)および
(式2)により示される。
Next, the operation of the embodiment of FIG. 1 will be specifically described. The first and second sine signals output from the detector 1 are A = COS θ and B = SIN (θ + α), respectively.
Then, in the addition / subtraction circuit 5, the third sine signal HA = A−
B, create the fourth sine signal HB = A + B. The third sine signal HA and the fourth sine signal HB are represented by the following (Equation 1) and (Equation 2).

【0010】[0010]

【数1】 (Equation 1)

【0011】[0011]

【数2】 (Equation 2)

【0012】ここで、Here,

【数3】 (Equation 3)

【0013】[0013]

【数4】 (Equation 4)

【0014】[0014]

【数5】 である。(Equation 5) It is.

【0015】従って、第3正弦信号HAおよび第4正弦
信号HBは、次の(式6)および(式7)のように示す
ことができる。
Accordingly, the third sine signal HA and the fourth sine signal HB can be expressed as the following (Equation 6) and (Equation 7).

【0016】[0016]

【数6】 (Equation 6)

【0017】[0017]

【数7】 (Equation 7)

【0018】ただし、However,

【数8】 (Equation 8)

【0019】[0019]

【数9】 (Equation 9)

【0020】[0020]

【数10】 (Equation 10)

【0021】(式6)および(式7)から明かなよう
に、加減算回路5より得られる第3正弦信号HAおよび
第4正弦信号HBは、振幅差はあるものの、第1正弦信
号Aおよび第2正弦信号の位相誤差αが消去された2信
号である。
As is apparent from (Equation 6) and (Equation 7), the third sine signal HA and the fourth sine signal HB obtained from the addition / subtraction circuit 5 have the amplitude difference, but have the first sine signal A and the fourth sine signal HB. These are two signals from which the phase error α of the two sine signals has been eliminated.

【0022】次に、加減算回路5より得られた第3正弦
信号HAおよび第4正弦信号HBは、最大最小測定回路
6に供給される。この最大最小測定回路6は、例えば、
図2に示されているように、マルチプレクサ11、A/
Dコンバータ12、比較回路13および記憶部14から
構成される。
Next, the third sine signal HA and the fourth sine signal HB obtained from the addition / subtraction circuit 5 are supplied to a maximum / minimum measurement circuit 6. This maximum / minimum measurement circuit 6 is, for example,
As shown in FIG. 2, the multiplexer 11, A /
It comprises a D converter 12, a comparison circuit 13, and a storage unit 14.

【0023】マルチプレクサ11は、第3正弦信号HA
および第4正弦信号HBを交互にA/Dコンバータ12
に供給する。A/Dコンバータ12は、入力された第3
正弦信号HAおよび第4正弦信号HBをデジタル化す
る。比較回路13は、記憶部14に記憶された最大値お
よび最小値と、デジタル化された第3正弦信号HAおよ
び第4正弦信号HBの値とを逐次比較し、第3正弦信号
HAおよび第4正弦信号HBの値が最大値よりも大きい
時には新たな最大値として記憶部14に記憶し、第3正
弦信号HAおよび第4正弦信号HBの値が最小値よりも
小さい場合は新たな最小値として記憶部14に記憶す
る。
The multiplexer 11 outputs the third sine signal HA
And the fourth sine signal HB alternately with the A / D converter 12
To supply. The A / D converter 12 outputs the third input signal.
The sine signal HA and the fourth sine signal HB are digitized. The comparison circuit 13 sequentially compares the maximum value and the minimum value stored in the storage unit 14 and the digitized values of the third sine signal HA and the fourth sine signal HB, and outputs the third sine signal HA and the fourth sine signal HB. When the value of the sine signal HB is larger than the maximum value, it is stored in the storage unit 14 as a new maximum value, and when the values of the third sine signal HA and the fourth sine signal HB are smaller than the minimum values, they are set as new minimum values. The information is stored in the storage unit 14.

【0024】第3正弦信号HAおよび第4正弦信号HB
のそれぞれの最大値と最小値を求める動作は、第1正弦
信号Aおよび第2正弦信号Bが少なくとも1周期以上入
力されるまで行う。第1および第2正弦信号A,Bの周
期変化は、カウンタ回路4より得ることができる。
The third sine signal HA and the fourth sine signal HB
Are performed until the first sine signal A and the second sine signal B are input for at least one cycle or more. The period change of the first and second sine signals A and B can be obtained from the counter circuit 4.

【0025】上述の動作により得られた第3正弦信号H
Aの最大値および最小値ならびに第4正弦信号HBの最
大値と最小値を、HAMAX,HAMIN,HBMAX,HBMIN
とすると、記憶部14は、これらの値を、カウンタ回路
4より得られる情報に応じて記憶場所を変更し、複数セ
ットのHAMAX,HAMIN,HBMAX,HBMINを記憶す
る。なお、この動作は検出器1の移動停止時、すなわち
信号変化の無い時には行わない。
The third sine signal H obtained by the above operation
The maximum value and the minimum value of A and the maximum value and the minimum value of the fourth sine signal HB are defined as HA MAX , HA MIN , HB MAX , and HB MIN.
Then, the storage unit 14 changes the storage location of these values in accordance with the information obtained from the counter circuit 4 and stores a plurality of sets of HA MAX , HA MIN , HB MAX , and HB MIN . This operation is not performed when the movement of the detector 1 is stopped, that is, when there is no signal change.

【0026】次に、処理回路7は、記憶部14に記憶さ
れたHAMAX,HAMIN,HBMAX,HBMINを必要時に呼
び出し、(式6)および(式7)中の振幅La,Lbを
次の(式11)および(式12)により求める。
Next, the processing circuit 7 calls HA MAX , HA MIN , HB MAX , and HB MIN stored in the storage unit 14 when necessary, and converts the amplitudes La and Lb in (Equation 6) and (Equation 7). It is determined by the following (Equation 11) and (Equation 12).

【0027】 La=(HAMAX−HAMIN)/2 ・・・(式11)La = (HA MAX −HA MIN ) / 2 (Equation 11)

【0028】 Lb=(HBMAX−HBMIN)/2 ・・・(式12)Lb = (HB MAX −HB MIN ) / 2 (Equation 12)

【0029】そして、処理回路7は、複数セットのHA
MAX,HAMIN,HBMAX,HBMINを使用し、振幅Laお
よびLbの平均を取る。この様に得られた振幅Laおよ
びLbを用い、(式6)および(式7)のHAおよびH
Bから振幅項を削除すると、
The processing circuit 7 includes a plurality of sets of HAs.
Using MAX , HA MIN , HB MAX , and HB MIN , average the amplitudes La and Lb. Using the amplitudes La and Lb obtained in this manner, HA and H in (Equation 6) and (Equation 7) are used.
Removing the amplitude term from B gives

【0030】 HA’=COS(ψ) ・・・(式13)HA ′ = COS (ψ) (Expression 13)

【0031】 HB’=SIN(ψ) ・・・(式14) となり、単純なtan-1表によりψが求まる。HB ′ = SIN (ψ) (Equation 14), and ψ is obtained from a simple tan −1 table.

【0032】なお、最大最小測定回路6は、検出器1の
停止時に加減算回路5から供給された第3正弦信号HA
および第4正弦信号HBを、A/Dコンバータ12によ
りデジタル化した後、比較回路13に供給することな
く、処理回路7へ送る。
The maximum / minimum measuring circuit 6 outputs the third sine signal HA supplied from the adding / subtracting circuit 5 when the detector 1 is stopped.
After the A / D converter 12 digitizes the fourth sine signal HB and the fourth sine signal HB, the digital signal is sent to the processing circuit 7 without being supplied to the comparison circuit 13.

【0033】処理回路7は、最終的に、次の(式15)
の計算を行い、位置に相当するθを算出する。
The processing circuit 7 finally obtains the following (Equation 15)
Is calculated, and θ corresponding to the position is calculated.

【0034】 θ=tan-1(HB’/HA’)−φB =tan-1{(HB/HA)×F(α)}−tan-1{1/F(α)} ・・・(式15)Θ = tan −1 (HB ′ / HA ′) − φB = tan −1 {(HB / HA) × F (α)} − tan −1 {1 / F (α)} (formula 15)

【0035】ここで、 F(α)=La/Lb ・・・(式16) である。Here, F (α) = La / Lb (Equation 16).

【0036】この様に、元の第1正弦信号信号Aおよび
第2正弦信号Bの間に位相誤差αが存在し、かつこの位
相誤差が変動を示しても、その変動量には無関係に位置
を算出することができる。処理回路7では、カウンタ回
路4より得られた粗位置情報と(式15)より得られた
細かい変位すなわち微細位置情報とを加算して、最終位
置を得、この最終結果を表示部8に表示し、外部出力部
9に出力する。
As described above, even if the phase error α exists between the original first sine signal A and the second sine signal B, and this phase error shows a change, the position is independent of the amount of the change. Can be calculated. The processing circuit 7 adds the coarse position information obtained from the counter circuit 4 and the fine displacement, that is, the fine position information obtained from (Equation 15), to obtain a final position, and displays the final result on the display unit 8. Then, the data is output to the external output unit 9.

【0037】なお、上記実施例の処理回路7は、CP
U、このCPUの動作を規定するプログラムを規定する
ROM、およびCPUのワークエリアとなるRAMの組
み合わせにより実現できるが、ハードワイヤードロジッ
クにより実現することもできる。
It should be noted that the processing circuit 7 of the above-described embodiment
It can be implemented by a combination of U, a ROM that defines a program that defines the operation of the CPU, and a RAM that is a work area of the CPU, but can also be implemented by hard-wired logic.

【0038】このような位置測定装置は、高精度に位置
を測定できるので、例えばロータリエンコーダを用い、
角度を高精度に測定する測量機等に有効なものである。
勿論、リニアエンコーダを用いる各種測定装置も同様で
ある。
Since such a position measuring device can measure a position with high accuracy, for example, a rotary encoder is used.
It is effective for surveying instruments that measure angles with high accuracy.
Of course, the same applies to various measuring devices using a linear encoder.

【0039】[0039]

【発明の効果】以上の説明から明かなように、本発明の
位置測定装置によれば、検出器より位置変化に応じて得
られる位相の90゜異なる第1および第2の正弦信号を
受け、第1の正弦信号から第2の正弦信号を減算して第
3の正弦信号を発生するとともに、第1および第2正弦
信号を加算して第4の正弦信号を発生し、第3および第
4の正弦信号のそれぞれの最大値および最小値を測定
し、測定した最大値および最小値に基づいて求められた
第3および第4正弦信号の振幅の比に基づいて、第3お
よび第4正弦信号の比を補正し、得られた補正値から位
置を求めるようにしたので、検出器から得られる信号状
態が悪い場合でも、また、温度変化等により信号の変動
が生じた場合でも、検出器の信号状態に影響されること
なく、位置情報を高精度に得ることができる。
As is apparent from the above description, according to the position measuring apparatus of the present invention, the first and second sine signals whose phases are different from each other by 90.degree. A third sine signal is generated by subtracting the second sine signal from the first sine signal, and a fourth sine signal is generated by adding the first and second sine signals. Are measured, and the third and fourth sine signals are determined based on the ratio of the amplitudes of the third and fourth sine signals determined based on the measured maximum and minimum values. Is corrected and the position is obtained from the obtained correction value. Therefore, even when the signal state obtained from the detector is bad, or when the signal fluctuates due to a temperature change, etc. Increase location information without being affected by signal condition It is possible to obtain every time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の位置測定装置の一実施例の構成を示す
ブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an embodiment of a position measuring device according to the present invention.

【図2】図1の最大最小測定回路の一構成例を示すブロ
ック図である。
FIG. 2 is a block diagram showing a configuration example of a maximum / minimum measurement circuit of FIG. 1;

【図3】従来の位置測定装置の一例を示すブロック図で
ある。
FIG. 3 is a block diagram showing an example of a conventional position measuring device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 検出器 2 アンプ 3 波形整形器 4 カウンタ回路 5 加減算回路 6 最大最小測定回路 7 処理回路 11 マルチプレクサ 12 A/Dコンバータ 13 比較回路 14 記憶部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Detector 2 Amplifier 3 Waveform shaper 4 Counter circuit 5 Addition / subtraction circuit 6 Maximum / minimum measurement circuit 7 Processing circuit 11 Multiplexer 12 A / D converter 13 Comparison circuit 14 Storage part

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平4−96131(JP,A) 特開 平4−96130(JP,A) 特開 平5−231879(JP,A) 特開 平5−26686(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01D 5/00 - 5/62 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-4-96131 (JP, A) JP-A-4-96130 (JP, A) JP-A-5-231879 (JP, A) JP-A-5-231879 26686 (JP, A) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) G01D 5/00-5/62

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 検出器より位置変化に応じて得られる位
相の90゜異なる第1および第2の正弦信号を処理し
て、位置を測定する位置測定装置において、 前記第1の正弦信号から前記第2の正弦信号を減算して
第3の正弦信号を発生するとともに、前記第1および第
2正弦信号を加算して第4の正弦信号を発生する加減算
手段と、 前記第3および第4の正弦信号のそれぞれの最大値およ
び最小値を測定する最大最小測定手段と、 前記最大最小測定手段によって測定された最大値および
最小値に基づいて求められた前記第3および第4正弦信
号の振幅の比に基づいて、前記第3および第4正弦信号
の比を補正し、得られた補正値から位置を求める処理手
段とを備えることを特徴とする位置測定装置。
1. A position measuring device for processing a first and a second sine signal having a phase difference of 90 ° obtained from a detector according to a position change and measuring a position, wherein: Adding / subtracting means for subtracting the second sine signal to generate a third sine signal, and adding the first and second sine signals to generate a fourth sine signal; Maximum and minimum measuring means for measuring respective maximum and minimum values of the sine signal; and the amplitudes of the third and fourth sine signals obtained based on the maximum and minimum values measured by the maximum and minimum measuring means. Processing means for correcting the ratio of the third and fourth sine signals based on the ratio and obtaining a position from the obtained correction value.
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