JP3074692B2 - Edge-pumped solid-state laser oscillator - Google Patents
Edge-pumped solid-state laser oscillatorInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、端面励起型固体レーザー発振器に関する。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to an edge-pumped solid-state laser oscillator.
本発明による端面励起型固体レーザー発振器は、レー
ザー光入射面を凸球面とし、レーザー光出射面を凹球面
とすることにより、ポンピング光による発熱に基づく収
差を補正可能としてなるレーザーロッドを有することに
より、レーザーロッドの発熱に基づく収差を確実に補正
できると共に、大出力のレーザー光を得ることができる
ようにしたものである。The edge-pumped solid-state laser oscillator according to the present invention has a laser rod capable of correcting aberration based on heat generated by pumping light by making a laser light incident surface a convex spherical surface and making a laser light emitting surface a concave spherical surface. In addition, aberrations due to heat generated by the laser rod can be reliably corrected, and a high-output laser beam can be obtained.
従来、固体レーザー発振器のレーザー媒質にはNd:YAG
（ネオジウム：イットリウム・アルミニウム・ガーネッ
ト）が多く使用されている。又、このレーザ媒質の形状
は通常円柱形で、レーザーロッドと称されている。又、
このNd:YAGを使用した固体レーザー発振器によれば、比
較的容易に高光出力のレーザービームを得ることができ
る。以下に、第５図を参照して、従来のレーザーロッド
が使用されている固体レーザー発振器について説明す
る。Conventionally, Nd: YAG
(Neodymium: yttrium aluminum garnet) is often used. The shape of the laser medium is usually cylindrical and is called a laser rod. or,
According to the solid-state laser oscillator using this Nd: YAG, a laser beam with high optical output can be obtained relatively easily. Hereinafter, a solid-state laser oscillator using a conventional laser rod will be described with reference to FIG.
（１）は光源で、大出力のグリーンレーザー光を得る
ためにレーザーダイオードL1〜L7と、これらに光学的に
接続されたオプチカルファイバF1〜F7から成る。そし
て、各レーザーダイオードL1〜L7からのレーザー光がオ
プチカルファイバF1〜F7を通り、これらオプチカルファ
イバF1〜F7がバンドルされたファイババンドルＦの先端
より、出射される。この光源（１）からの例えば波長が
808nmのレーザービーム、即ち、励起光（ポンピング
光）は、凸レンズ（２）を介して、共振器（３）の凹面
鏡（４）の背面に入射する。この凹面鏡（４）はダイク
ロイックミラーと成っているので、レーザーダイオード
（１）から凸レンズ（２）を介して供給される波長が80
8nmの励起光だけを通過させ、共振器（３）内を往復進
行する光を反射する。(1) is a light source, consisting of a large output laser diode L 1 ~L 7 to obtain a green laser beam, optical fiber F 1 to F 7 optically connected thereto. Then, the laser light from each laser diode L 1 ~L 7 passes through the optical fiber F 1 to F 7, these fiber optic F 1 to F 7 is from the tip of the bundled fiber bundle F, is emitted. For example, if the wavelength from this light source (1) is
The 808 nm laser beam, that is, the excitation light (pumping light) is incident on the back surface of the concave mirror (4) of the resonator (3) via the convex lens (2). Since the concave mirror (4) is a dichroic mirror, the wavelength supplied from the laser diode (1) via the convex lens (2) is 80.
It allows only the excitation light of 8 nm to pass and reflects the light traveling back and forth in the resonator (3).
（５）はレーザーロッド（Nd:YAG）で、励起光がこの
レーザーロッド（５）に入射すると、その端面付近の例
えば直径700μｍの狭い領域が選択的に励起されて、波
長が1064nmの赤外光が発生する。（６）はKTP（チタノ
リン酸カリウム）から成る一辺が略5mmの直方体の非線
形光学素子で、入射光により発生する非線形分極を利用
して、光の周波数変換を行う。この光学素子（６）に10
64nmの光が入射すると、その1/2の波長、即ち532nmの波
長の光が出射する。(5) is a laser rod (Nd: YAG). When excitation light is incident on this laser rod (5), a narrow area near its end face, for example, with a diameter of 700 μm, is selectively excited and an infrared ray having a wavelength of 1064 nm is obtained. Light is generated. (6) is a rectangular parallelepiped nonlinear optical element made of KTP (potassium titanophosphate) having a side of about 5 mm, and performs frequency conversion of light using nonlinear polarization generated by incident light. This optical element (6) has 10
When light of 64 nm is incident, light of half the wavelength, that is, light of 532 nm is emitted.
（７）はダイクロイックミラーと成っている凹面鏡
で、波長が532nmの光の一部を通過させる。(7) is a concave mirror formed of a dichroic mirror, and transmits a part of light having a wavelength of 532 nm.
凹面鏡（４）及び（７）間、即ち、共振器（３）内を
往復進行し、レーザー媒質により増幅された波長が1064
nmの赤外光中に、光学素子（６）がおかれ、高効率で周
波数変換が行なわれるので、波長532nmの数10mW〜1Wの
レーザー光が出力される。The laser beam reciprocates between the concave mirrors (4) and (7), that is, in the resonator (3), and the wavelength amplified by the laser medium is 1064.
The optical element (6) is placed in the infrared light of nm, and the frequency conversion is performed with high efficiency, so that a laser light of several tens mW to 1 W of wavelength 532 nm is output.
第６図A,Bは、レーザーロッド（５）のタンジェンシ
ャル方向及びサジタル方向における軸上波面収差を示
す。ｘ軸は輪帯光線の半径上の位置を示し、ｙ軸は波長
（λ）を単位とした波面収差を示している。第６図Ａ及
びＢから明らかなように、輪帯光線の半径上の位置が0.
6mmに近づくにつれて、波面収差が大と成り、0.6mmに達
すると、波面収差は約0.1λと成る。これは、輪帯光線
が共振器（３）内を伝播する毎に約0.1λの波面収差が
発生することを示している。6A and 6B show the axial wavefront aberration of the laser rod (5) in the tangential direction and the sagittal direction. The x-axis shows the position on the radius of the orbicular ray, and the y-axis shows the wavefront aberration in wavelength (λ). As is clear from FIGS. 6A and 6B, the position on the radius of the annular ray is 0.
As it approaches 6 mm, the wavefront aberration becomes large, and when it reaches 0.6 mm, the wavefront aberration becomes about 0.1λ. This indicates that a wavefront aberration of about 0.1λ is generated each time the annular light beam propagates in the resonator (3).
上述のような波面収差が発生する原因として、レーザ
ーロッド（５）の発熱が上げられる。この熱収差は、励
起光の一部が熱に変換され、レーザーロッド（５）内の
温度分布が不均一と成り、その結果、レーザーロッド
（５）内の屈折率分布が不均一となる、ことにより発生
する。Heat generation of the laser rod (5) is caused as a cause of the generation of the wavefront aberration as described above. This thermal aberration is such that a part of the excitation light is converted into heat, and the temperature distribution in the laser rod (5) becomes non-uniform, so that the refractive index distribution in the laser rod (5) becomes non-uniform. It is caused by things.
特に、レーザーダイオード等による端面励起型固体レ
ーザーにおいては、励起光の強度分布が固体レーザー共
振器の基本横モードになるべく一致するように、レーザ
ーロッド（５）の端部に近い例えば直径が700μｍの円
形の狭い領域が選択的に励起されるようにしている。従
って、レーザーロッド（５）内が比較的複雑な温度分布
と成る。In particular, in an edge-pumped solid-state laser using a laser diode or the like, the diameter of the laser rod (5) is, for example, 700 μm close to the end of the laser rod (5) so that the intensity distribution of the pump light matches the fundamental transverse mode of the solid-state laser resonator as much as possible. A narrow circular area is selectively excited. Therefore, the temperature distribution inside the laser rod (5) is relatively complicated.
又、フラッシュランプによる側面励起型固体レーザー
においては、レーザーロッドは均一な励起が行なわれる
のでロッドの長さ方向に一様な、回転放物面型の温度分
布と屈折率変化が発生するが、この場合は、波面収差が
発生しないので、単純に共振器の内の凹面鏡の移動や球
面レンズの挿入によって、レーザーロッドのレンズパワ
ー（正のパワー）を相殺すればよい。このような熱レン
ズを補正する凹レンズ作用をつくる目的でレーザーロッ
ドの端面の一方、或は両方に凹面加工したレーザーロッ
ドが次に記す刊行物に記載されている。In the case of a side-pumped solid-state laser using a flash lamp, the laser rod is uniformly pumped, so that a uniform temperature distribution and a change in the refractive index of a paraboloid of revolution occur in the length direction of the rod. In this case, since no wavefront aberration occurs, the lens power (positive power) of the laser rod may be simply offset by moving the concave mirror in the resonator or inserting a spherical lens. The following publications describe a laser rod having a concave surface formed on one or both end faces of the laser rod for the purpose of producing a concave lens action for correcting such a thermal lens.
Cited in W・Koechner ed.:“Solid−State Laser En
gineering"（Springer−Verlag,2nd ed.,1988）,P−36
6.｛ダブリュ・ケヒナーによる編集：“ソリッド−ステ
ートレーダーエンジニアリング”（スプリンガー−フェ
アラーク，第２版,1988）,366ページ｝ 1.L.M.Osterink,J.D.Foster:Appl.Phys.Lett.12,128（1
968）； ｛1.エル・エム・オストリンク及びジェー・ディー・フ
ォスター：ジャーナル・オブ・アプライドフィジックス
・12,128（1968）；｝ 2.N.Barnes,S.J.Scalise:Appl.Opt.17,1537（1978）． ｛2.エヌ・バーンズ及びエス・ジェー・スカライズ：ジ
ャーナル・オブ・アプライド・17,1537（1978）．｝ 〔発明が解決しようとする課題〕 上述から明らかなように、端面励起型固体レーザー発
振器においては、共振器内を往復進行する光がポンピン
グ光による発熱により、その内部が不均一な屈折率分布
と成っているレーザーロッドを通過するとき発生する収
差は、単純な共振器内の凹面鏡の移動や、球面レンズの
挿入によって補正することが困難である。又、汎用光学
設計プログラム等によるシミュレーションによれば、例
えば、上述の収差は、回転双曲面を有する非球面光学素
子によって補正することが可能である。しかし、非球面
光学素子は加工が困難であり、特に、低散乱、高精度が
要求される共振器内にて用いるのは著しく困難である。Cited in W ・ Koechner ed .: “Solid-State Laser En
gineering "(Springer-Verlag, 2nd ed., 1988), P-36
6. ｛Edited by W. Kechner: “Solid-State Radar Engineering” (Springer-Fairlark, 2nd ed., 1988), p. 366｝ 1. LMOsterink, JDFoster: Appl. Phys. Lett. 12, 128 (1
968); ｛1. El M Ostlink and J.D. Foster: Journal of Applied Physics 12, 128 (1968);｝ 2. N. Barnes, SJScalise: Appl. Opt. 17, 1537 (1978) . ｛2. N. Burns and S.J. Scaling: Journal of Applied 17,1537 (1978).課題 [Problems to be Solved by the Invention] As is clear from the above description, in the edge-pumped solid-state laser oscillator, light reciprocating in the resonator is generated by pumping light, and the inside thereof has an uneven refractive index distribution. It is difficult to correct the aberration that occurs when the light passes through the laser rod, by simply moving the concave mirror in the resonator or inserting a spherical lens. Further, according to a simulation using a general-purpose optical design program or the like, for example, the above-described aberration can be corrected by an aspherical optical element having a hyperboloid of revolution. However, the aspherical optical element is difficult to process, and is particularly difficult to use in a resonator that requires low scattering and high precision.
かかる点に鑑み、本発明は励起光によって発生する熱
収差を確実に補正できると共に、大出力のレーザー光を
得ることのできる端面励起型固体レーザー発振器を提案
しようとするものである。In view of such a point, the present invention intends to propose an end-pumped solid-state laser oscillator that can surely correct thermal aberration generated by excitation light and can obtain high-power laser light.
本発明は、レーザー光入射面を凸球面とし、レーザー
光出射面を凹球面とすることにより、ポンピング光によ
る発熱に基づく収差を補正可能としてなるレーザーロッ
ドを有する端面励起型固体レーザー発振器である。The present invention is an end-pumped solid-state laser oscillator having a laser rod capable of correcting an aberration based on heat generated by pumping light by making a laser light incident surface a convex spherical surface and a laser light emitting surface a concave spherical surface.
かかる本発明によれば、レーザーロッドのレーザー光
入射面を凸球面とし、レーザー光出射面を凹球面とする
ことにより、レーザーロッドのポンピング光による発熱
に基づく収差が補正される。According to the present invention, the laser beam incident surface of the laser rod is formed as a convex spherical surface, and the laser light emitting surface is formed as a concave spherical surface, whereby aberrations due to heat generated by the pumping light of the laser rod are corrected.
以下に、第１図を参照して本発明による端面励起固体
レーザー発振器について詳細に説明する。The edge-pumped solid-state laser oscillator according to the present invention will be described below in detail with reference to FIG.
先ず、第１図Ａについて説明するも、第５図について
説明した端面励起型固体レーザー発振器と対応する部分
には同一番号を付してその重複説明は省略する。First, although FIG. 1A will be described, parts corresponding to those of the end-pumped solid-state laser oscillator described with reference to FIG.
第１図Ａに示した端面励起型固体レーザー発振器は、
第５図について説明した端面励起型固体レーザー発振器
とその構成は同じであるが、レーザーロッド（５）の形
状が異なる。即ち、第５図に対したレーザーロッド
（５）の両端面は平面であるのに対し、第１図Ａに示す
レーザーロッド（５）の両端面は夫々球面と成ってい
る。第１図Ｂは、そのレーザーロッド（５）の拡大図で
ある。The end-pumped solid-state laser oscillator shown in FIG.
The configuration is the same as that of the edge-pumped solid-state laser oscillator described with reference to FIG. 5, but the shape of the laser rod (5) is different. That is, both end faces of the laser rod (5) shown in FIG. 5A are flat surfaces, while both end faces of the laser rod (5) shown in FIG. 1A are spherical. FIG. 1B is an enlarged view of the laser rod (5).
次に、上述のように、レーザーロッド（５）の両端面
を夫々球面とした理由について第４図を参照して説明す
る。Next, the reason why both end faces of the laser rod (5) are spherical as described above will be described with reference to FIG.
第４図は、レーザーロッド（Nd:YAG）（５）の直径を
3mm、長さを5mmとし、その吸収係数、熱伝導係数及び屈
折率温度係数を夫々0.6mm-1,0.013W/mm deg及び7.3×10
-6deg-1とし、且つ、励起条件として、開口数0.2（但
し、空気中）で収束する一様強度分布を有するポンピン
グ光（励起光）が、ロッド端面付近で約700μｍの直径
を有し、そのロッド内で発生する総発熱量を3.5Wとした
ときの、選択的励起により発生する温度分布を数値解析
により求めた結果を示したものである。Fig. 4 shows the diameter of the laser rod (Nd: YAG) (5).
3mm, length 5mm, its absorption coefficient, thermal conductivity coefficient and temperature coefficient of refractive index are 0.6mm- 1 , 0.013W / mm deg and 7.3 × 10, respectively.
Pumping light (excitation light) having a uniform intensity distribution converging at -6 deg -1 and a numerical aperture of 0.2 (in air) as the excitation condition has a diameter of about 700 μm near the rod end face. The figure shows the results obtained by numerical analysis of the temperature distribution generated by selective excitation when the total heat generated in the rod is 3.5 W.
この第４図において、ｘ軸はレーザーロッド（５）の
半径（mm）を示し、ｙ軸は入力パワーで規格化された温
度上昇（deg/watt）を示す。各曲線はＺ軸に垂直な断面
内の温度分布で、0.2（mm）毎、即ち、Ｚ＝0,0.2,0.4,
‥‥（mm）におけるものに対応する。この温度分布によ
って、固体レーザー材料、即ち、Nd:YAG（レーザーロッ
ド）の屈折率温度係数を乗じた、不均一屈折率分布が誘
起される。さて、有限要素法を用いて、熱解析を行う
と、光軸に垂直な平面内で最大35deg（℃）の温度差
が、又、光軸方向には53deg（℃）の温度差が生じ、こ
れより誘起される屈折率差は各々、略、2.5×10-4及び
４×10-4と成る。これより、焦点距離が略400mmの熱レ
ンズが発生する。In FIG. 4, the x-axis indicates the radius (mm) of the laser rod (5), and the y-axis indicates the temperature rise (deg / watt) normalized by the input power. Each curve is a temperature distribution in a section perpendicular to the Z axis, and every 0.2 (mm), that is, Z = 0, 0.2, 0.4,
‥‥ (mm) This temperature distribution induces a non-uniform refractive index distribution multiplied by the refractive index temperature coefficient of the solid-state laser material, that is, Nd: YAG (laser rod). Now, when a thermal analysis is performed using the finite element method, a maximum temperature difference of 35 deg (° C) occurs in a plane perpendicular to the optical axis, and a temperature difference of 53 deg (° C) occurs in the optical axis direction. The refractive index differences induced from this are approximately 2.5 × 10 −4 and 4 × 10 −4 , respectively. As a result, a thermal lens having a focal length of approximately 400 mm is generated.
上述から、第１図Ｂに示すように、レーザーロッド
（５）の第１図Ａにおける凸レンズ（２）側の端面を例
えば5mmの曲率半径（R1）を有する凸球面とし、第１図
Ａにおける光学素子（６）側の端面を例えば3mmの曲率
半径（R2）を有する凹球面とし、即ち、レーザーロッド
（５）全体の形状を同心形に近いメニスカスレンズ状と
した。これによって、第１図Ｂに示すように温度分布が
均一な状態で熱レンズ効果を発生させないようにでき
る。尚、中心厚は5mm、屈折率は1.82でこのとき焦点距
離は略10mmと成る。From the above, as shown in FIG. 1B, the end surface of the laser rod (5) on the side of the convex lens (2) in FIG. 1A is a convex spherical surface having a radius of curvature (R 1 ) of, for example, 5 mm. The end face on the optical element (6) side was a concave spherical surface having a radius of curvature (R 2 ) of, for example, 3 mm, that is, the entire shape of the laser rod (5) was a concentric meniscus lens shape. As a result, it is possible to prevent the thermal lens effect from being generated when the temperature distribution is uniform as shown in FIG. 1B. The center thickness is 5 mm, the refractive index is 1.82, and the focal length is about 10 mm.
上述の条件で、レーザーロッド（５）をポンピングす
ると、不均一な屈折率分布がロッド（５）内に発生する
が、このとき、球面（R1及びR2）上の各点で屈折率が異
なるため、二つの球面（R1及びR2）が光学的に非球面と
して作用する。When the laser rod (5) is pumped under the above conditions, a non-uniform refractive index distribution is generated in the rod (5). At this time, the refractive index at each point on the spherical surface (R 1 and R 2 ) is increased. Because of the differences, the two spherical surfaces (R 1 and R 2 ) act as optically aspheric surfaces.
第３図に示すように、第６図について説明した端面励
起型固体レーザー発振器の熱収差（波面収差）が、大幅
に補正されていることがわかる。従って、一定の励起条
件では、熱収差（波面収差）を完全に補正するようにレ
ーザーロッド（５）の端面の球面の曲率半径を選定する
ことが可能であることがわかる。As shown in FIG. 3, it can be seen that the thermal aberration (wavefront aberration) of the end-pumped solid-state laser oscillator described with reference to FIG. 6 is largely corrected. Therefore, it can be seen that under certain excitation conditions, the radius of curvature of the spherical surface of the end face of the laser rod (5) can be selected so as to completely correct thermal aberration (wavefront aberration).
第２図は、従来の端面励起型固体レーザー発振器及び
本発明の端面励起型固体レーザー発振器のポンピングパ
ワー（相対値）に対するレーザー基本モードの回折損失
（％）を示す図である。ｘ軸をそのポンピングパワーと
し、ｙ軸を回折損失（％）とする。尚、ポンピングパワ
ー1.0のときは、発熱量が3.5Wの規準ポンプ条件値と成
り、これは第４図について示した温度分布図と対応す
る。図において従来の発振器によるデータを一点鎖線で
示し、本発明による発振器のデータを実線で示す。FIG. 2 is a diagram showing the diffraction loss (%) of the laser fundamental mode with respect to the pumping power (relative value) of the conventional edge-pumped solid-state laser oscillator and the edge-pumped solid-state laser oscillator of the present invention. The x-axis is the pump power and the y-axis is the diffraction loss (%). In addition, when the pumping power is 1.0, the heat generation amount becomes the standard pump condition value of 3.5 W, which corresponds to the temperature distribution diagram shown in FIG. In the figure, the data of the conventional oscillator is shown by a dashed line, and the data of the oscillator according to the present invention is shown by a solid line.
この第２図から明らかなように、例えばポンピングパ
ワーが2.0のとき、従来の発振器では、回折損失が5.5％
以上と大変大きいのに対し、本発明による発振器では、
1.2％未満と成り、従来の発振器と比較して、本発明に
よる発振器が大幅に改善されていることがわかる。As apparent from FIG. 2, for example, when the pumping power is 2.0, the diffraction loss of the conventional oscillator is 5.5%.
In contrast to the above, which is very large, in the oscillator according to the present invention,
This is less than 1.2%, indicating that the oscillator according to the present invention is significantly improved as compared with the conventional oscillator.
尚、第２図においては、ポンプジオメトリを固定し、
ポンピングパワーを増加させるとき、原理的に誘起され
る屈折率分布の相似性が保たれるため、広いポンピング
（励起）条件の範囲で、増加する波面収差を打ち消す効
果があることが示されている。又、このような球面加工
は、レーザーロッド（５）を例えば光学研磨することに
より容易に達成できる。又、上述の実施例において、レ
ーザーロッド（５）の両端面を球面としたが、一方が平
面でもその効果が期待できる。In FIG. 2, the pump geometry is fixed,
It has been shown that when the pumping power is increased, the similarity of the refractive index distribution induced in principle is maintained, so that there is an effect of canceling the increasing wavefront aberration in a wide range of pumping (excitation) conditions. . Such spherical processing can be easily achieved by, for example, optically polishing the laser rod (5). Further, in the above-described embodiment, both end faces of the laser rod (5) are spherical, but the effect can be expected even if one of the flat faces is flat.
上述せる本発明によれば、レーザー光入射面を凸球面
とし、レーザー光出射面を凹球面とすることにより、ポ
ンピング光による発熱に基づく収差を補正可能としてな
るレーザーロッドを有するので、ポンピング光によって
発生する熱収差を確実に補正できると共に、大出力のレ
ーザー光を得ることができる。According to the present invention described above, the laser light incident surface is a convex spherical surface, and the laser light emitting surface is a concave spherical surface, thereby having a laser rod capable of correcting aberration based on heat generated by the pumping light. The generated thermal aberration can be reliably corrected, and a high-power laser beam can be obtained.
第１図は本発明の一実施例を示す線図、第２図はポンピ
ングパワーに対する回折損失を示すグラフ、第３図は実
施例に供する波面収差を示す図、第４図は温度分布を示
す図、第５図は従来の端面励起型固体レーザー発振器を
示す図、第６図はその従来の発振器の波面収差を示す図
である。 （５）はレーザーロッドである。FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a graph showing a diffraction loss with respect to pumping power, FIG. 3 is a diagram showing a wavefront aberration applied to the embodiment, and FIG. 4 is a temperature distribution. FIG. 5 is a diagram showing a conventional edge-pumped solid-state laser oscillator, and FIG. 6 is a diagram showing the wavefront aberration of the conventional oscillator. (5) is a laser rod.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−251678（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−260874（ＪＰ，Ａ) ＡＰＰＬＩＥＤ ＰＨＹＳＩＣＳ Ｖ ｏｌ．17 Ｎｏ．10（1978）ｐ．1537− 1540 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01S 3/06 H01S 3/0941 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (56) References JP-A-1-251678 (JP, A) JP-A-1-260874 (JP, A) APPLIED PHYSICS Vol. 17 No. 10 (1978) p. 1537-1540 (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H01S 3/06 H01S 3/0941
Claims (1)
光出射面を凹球面とすることにより、ポンピング光によ
る発熱に基づく収差を補正可能としてなるレーザーロッ
ドを有することを特徴とする端面励起型固体レーザー発
振器。1. An end-pumped type having a laser rod capable of correcting aberration due to heat generated by pumping light by making a laser light incident surface a convex spherical surface and a laser light emitting surface a concave spherical surface. Solid state laser oscillator.
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| ＡＰＰＬＩＥＤ ＰＨＹＳＩＣＳ Ｖｏｌ．１７ Ｎｏ．１０（１９７８）ｐ．１５３７−１５４０ |
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| CN101986479A (en) * | 2010-08-26 | 2011-03-16 | 大恒新纪元科技股份有限公司 | All-solid-state laser resonant cavity |
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| JPH03233986A (en) | 1991-10-17 |
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