JP3070070B2 - Polarized electron beam generator - Google Patents

Polarized electron beam generator

Info

Publication number
JP3070070B2
JP3070070B2 JP2182939A JP18293990A JP3070070B2 JP 3070070 B2 JP3070070 B2 JP 3070070B2 JP 2182939 A JP2182939 A JP 2182939A JP 18293990 A JP18293990 A JP 18293990A JP 3070070 B2 JP3070070 B2 JP 3070070B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electron beam
polarized electron
polarized
compound semiconductor
generating element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2182939A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH0469600A (en
Inventor
彊 中西
博道 堀中
俊宏 加藤
貴 坂
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daido Steel Co Ltd
Original Assignee
Daido Steel Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daido Steel Co Ltd filed Critical Daido Steel Co Ltd
Priority to JP2182939A priority Critical patent/JP3070070B2/en
Publication of JPH0469600A publication Critical patent/JPH0469600A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3070070B2 publication Critical patent/JP3070070B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、スピン方向が2種類のうちの一方に偏在し
ている電子群から成る偏極電子線を、光エネルギを受け
ることにより発生させる偏極電子線発生素子に関するも
のである。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polarization method for generating a polarized electron beam comprising a group of electrons whose spin directions are localized in one of two types by receiving light energy. The present invention relates to an electron beam generating element.

従来の技術 スピン方向が2種類のうちの一方に偏在している電子
群から成る偏極電子線は、高エネルギ素粒子実験分野に
おいて原子核内部の磁気構造や物質表面の磁気構造を調
査する上での有効な手段として利用されている。このよ
うな偏極電子線を発生させるに際しては、たとえばガリ
ウム−砒素系などの化合物半導体の結晶表面に円偏光レ
ーザを照射し、角運動量保存に伴う選択的遷移によって
スピン方向が一方向に偏在した偏極電子線を取り出すよ
うにすることが一般に行われている。
2. Description of the Related Art A polarized electron beam composed of an electron group in which the spin direction is unevenly distributed in one of two types is used for investigating a magnetic structure inside a nucleus and a magnetic structure on a material surface in a high energy elementary particle experiment. Has been used as an effective means. In generating such a polarized electron beam, for example, a crystal surface of a compound semiconductor such as a gallium-arsenic system is irradiated with a circularly polarized laser, and the spin direction is biased in one direction due to a selective transition accompanying conservation of angular momentum. It is common practice to extract polarized electron beams.

発明が解決すべき課題 ところで、上記のような従来の偏極電子線発生素子に
よれば、発生させられた偏極電子線の偏極度は理論的に
も50%、すなわちアップスピンおよびダウンスピンの割
合が1:3若しくは3:1が最大と推定されており、充分に高
い偏極度を備えた電子線を得ることができなかった。
Problems to be Solved by the Invention By the way, according to the conventional polarized electron beam generating element as described above, the degree of polarization of the generated polarized electron beam is theoretically 50%, that is, the upspin and downspin. The ratio was estimated to be the maximum at 1: 3 or 3: 1, and an electron beam with a sufficiently high degree of polarization could not be obtained.

これに対し、半導体の結晶に一定方向の応力を加えて
価電子帯に対して一軸異方性を与えるようにした偏極電
子線発生素子を用いることが考えられるが、充分な大き
さの歪を得ることや歪を安定的に与えることが困難であ
り、また歪応力を外部から加える装置が電子の引出しの
妨げとなるなどの問題があった。
On the other hand, it is conceivable to use a polarized electron beam generating element in which a unidirectional anisotropy is given to the valence band by applying a stress in a certain direction to the semiconductor crystal. However, it is difficult to obtain strain and stably apply strain, and there is a problem that a device for applying strain stress from the outside hinders extraction of electrons.

本発明は以上の事情を背景として為されたものであ
り、その目的とするところは、充分に高い偏極度を備え
た電子線を安定的かつ容易に得ることができる偏極電子
線発生素子を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a polarized electron beam generating element capable of stably and easily obtaining an electron beam having a sufficiently high degree of polarization. To provide.

課題を解決するための手段 かかる目的を達成するための本発明の要旨とするとこ
ろは、スピン方向が2種類のうちの一方に偏在している
電子群から成る偏極電子線を、光エネルギを受けること
により発生させる偏極電子線発生素子であって、相互に
異なる格子定数を有し且つ0.1%程度以上の格子歪を伴
って互いにヘテロ結合させられた化合物半導体層を備え
たことにある。
Means for Solving the Problems The gist of the present invention for achieving the above object is that a polarized electron beam composed of a group of electrons whose spin directions are unevenly distributed in one of two types is converted into light energy. A polarized electron beam generating element that generates compound electrons by receiving the compound semiconductor layers having mutually different lattice constants and being hetero-bonded to each other with a lattice strain of about 0.1% or more.

作用および発明の効果 このようにすれば、格子定数が相互に異なり且つ0.1
%程度以上の格子歪を伴う化合物半導体層間のヘテロ結
合により歪が付与されることから、価電子帯のバンドス
プリッティングが発生させられるので、レーザ光などの
光を受けてエネルギが注入されると、一方のスピン方向
に偏在した電子群が専ら励起されて放出されるので、充
分に高い偏極度を備えた電子線が得られる。また、上記
のように、格子定数が相互に異なり且つ0.1%程度以上
の格子歪を伴う化合物半導体層間のヘテロ結合により、
内部から安定的に歪が付与されるので、安定した偏極度
を備えた偏極電子線が外部的歪付与装置に邪魔されるこ
となく容易に得られるのである。
In this way, the lattice constants are different from each other and 0.1
% Or more due to hetero-bonding between the compound semiconductor layers accompanied by lattice distortion, which causes band splitting of the valence band. Therefore, when energy is injected by receiving light such as laser light, Since the electron group unevenly distributed in one spin direction is exclusively excited and emitted, an electron beam having a sufficiently high degree of polarization can be obtained. Further, as described above, due to the hetero bond between the compound semiconductor layers having different lattice constants and having a lattice strain of about 0.1% or more,
Since the strain is stably applied from the inside, a polarized electron beam having a stable degree of polarization can be easily obtained without being disturbed by the external strain applying device.

実施例 以下、本発明の一実施例を図面に基づいて詳細に説明
する。
Embodiment Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

第1図において、偏極電子線発生素子10は、半導体基
板12の上においてよく知られたMOCVD結晶成長法により
順次成長させられた第1化合物半導体層14および第2化
合物半導体層16を備えている。そして、上記第2化合物
半導体層16の表面にはH2O2を用いて図示しない酸化処理
膜が形成されている。
In FIG. 1, a polarized electron beam generating element 10 includes a first compound semiconductor layer 14 and a second compound semiconductor layer 16 sequentially grown on a semiconductor substrate 12 by a well-known MOCVD crystal growth method. I have. An oxidation treatment film (not shown) is formed on the surface of the second compound semiconductor layer 16 using H 2 O 2 .

上記半導体基板12は、350μm程度の厚みであって、
たとえば亜鉛Znが不純物としてドープされることにより
キャリア濃度が5×1018程度とされたガリウム−砒素p
型半導体単結晶板(P−GaAs)である。また、上記第1
化合物半導体層14は、2μm程度の厚みであって、たと
えば亜鉛Znが不純物としてドープされることによりキャ
リア濃度が5×1018程度とされたインジウム−ガリウム
−燐p型半導体単結晶層(P−Ga0.5In0.5P)である。
また、上記第2化合物半導体層16は、0.05μm程度の厚
みであって、たとえば亜鉛Znが不純物としてドープされ
ることによりキャリア濃度が5×1018程度とされたガリ
ウム−砒素p型半導体単結晶層(P−GaAs)である。こ
のため、第1化合物半導体層14と第2化合物半導体層16
との間には、相互の格子定数の相違により0.1%程度の
格子歪を伴ったヘテロ結合が形成されている。
The semiconductor substrate 12 has a thickness of about 350 μm,
For example, gallium-arsenic p having a carrier concentration of about 5 × 10 18 by doping zinc Zn as an impurity.
It is a type semiconductor single crystal plate (P-GaAs). In addition, the first
The compound semiconductor layer 14 has a thickness of about 2 μm. For example, an indium-gallium-phosphorous p-type semiconductor single crystal layer (P-type) having a carrier concentration of about 5 × 10 18 by doping zinc Zn as an impurity. Ga 0.5 In 0.5 P).
The second compound semiconductor layer 16 has a thickness of about 0.05 μm, and has a carrier concentration of about 5 × 10 18 by doping zinc Zn as an impurity, for example, to form a gallium-arsenic p-type semiconductor single crystal. Layer (P-GaAs). Therefore, the first compound semiconductor layer 14 and the second compound semiconductor layer 16
A hetero bond with a lattice strain of about 0.1% is formed between the two due to the difference in the lattice constant.

以上のように構成された偏極電子線発生素子10は、た
とえば第2図に示す偏極電子線発生装置(電子銃)20内
に設けられる。第2図においては、上記偏極電子線発生
装置20に加えて、それから発生させられた電子線に含ま
れる電子の偏極率を測定するための偏極率測定装置22
と、偏極電子線発生装置20から発生させられた偏極電子
線を偏極率測定装置22まで移送するための編極電子移送
装置24とが設けられている。
The polarized electron beam generator 10 configured as described above is provided, for example, in a polarized electron beam generator (electron gun) 20 shown in FIG. In FIG. 2, in addition to the polarized electron beam generator 20, a polarization ratio measuring device 22 for measuring the polarization of electrons contained in an electron beam generated therefrom is shown.
And a knitted pole electron transfer device 24 for transferring the polarized electron beam generated from the polarized electron beam generator 20 to the polarization rate measuring device 22.

偏極電子線発生装置20は、高真空室を形成するための
真空ハウジング30と、真空ハウジング30を10-9torr程度
の高真空とするためのターボ分子ポンプ32およびイオン
ポンプ34と、偏極電子線発生素子10を真空ハウジング30
内に保持し且つ液体窒素により冷却するための容器状ホ
ルダ36およびその容器状ホルダ36を取り囲んで残留ガス
を吸着させるための液体窒素容器38と、偏極電子線発生
素子10の表面から電子を引き出すための複数の電極40
と、偏極電子線発生素子10の表面に向かってセシウムお
よび酸素を放出するセシウム放出器42および酸素放出器
44と、上記偏極電子線発生素子10の表面にレーザ光を照
射するためのレーザ光照射装置46とを備えている。
The polarized electron beam generator 20 includes a vacuum housing 30 for forming a high vacuum chamber, a turbo molecular pump 32 and an ion pump 34 for setting the vacuum housing 30 to a high vacuum of about 10 −9 torr, Vacuum housing 30 for electron beam generator 10
And a liquid nitrogen container 38 surrounding the container holder 36 for adsorbing residual gas, and electrons from the surface of the polarized electron beam generating element 10. Multiple electrodes 40 for extraction
And a cesium emitter 42 and an oxygen emitter that emit cesium and oxygen toward the surface of the polarized electron beam generator 10.
44, and a laser light irradiation device 46 for irradiating the surface of the polarized electron beam generating element 10 with laser light.

レーザ光照射装置46は、700〜850nmの波長のレーザ光
を選択的に出力するチューナブルレーザ光源50と、直線
偏光だけを通過させる偏光子52と、直線偏光を円偏光に
変換する1/4波長素子54と、円偏光のレーザ光を前記偏
極電子線発生素子10の表面に向かって照射するミラー56
とを備えている。
The laser light irradiation device 46 includes a tunable laser light source 50 that selectively outputs laser light having a wavelength of 700 to 850 nm, a polarizer 52 that passes only linearly polarized light, and a quarter that converts linearly polarized light to circularly polarized light. A wavelength element 54 and a mirror 56 for irradiating circularly polarized laser light toward the surface of the polarized electron beam generating element 10.
And

偏極率測定装置22は、フロンガスが充填されたタンク
60内に配置され且つ高圧碍子62により支持されるととも
にアノード63から100kVが印加される高圧槽(Mott散乱
槽)64と、高圧槽64に接続されてその中を10-6程度の高
真空とするためのターボ分子ポンプ66と、偏極電子線を
加速する加速電極68と、図示しない円板により支持され
且つ偏極電子線が衝突させられる金箔70と、金箔70内の
金原子核に衝突することによりθ=120゜に散乱された
電子を検出する一対の表面障壁型検出器72と、図示しな
いプリアンプにより信号増幅された表面障壁型検出器72
からの信号を光に変換するLED74と、LED74の光出力を受
けて電気信号に変換する受光器76とを備えている。
The polarimeter 22 is a tank filled with Freon gas.
A high-pressure tank (Mott scattering tank) 64, which is arranged in the chamber 60 and is supported by the high-voltage insulator 62 and to which 100 kV is applied from the anode 63, and is connected to the high-pressure tank 64 and has a high vacuum of about 10-6 A turbo molecular pump 66, an accelerating electrode 68 for accelerating the polarized electron beam, a gold foil 70 supported by a disc (not shown) and collided with the polarized electron beam, and colliding with gold nuclei in the gold foil 70. A pair of surface barrier type detectors 72 for detecting electrons scattered by θ = 120 °, and a surface barrier type detector 72 amplified by a preamplifier (not shown).
An LED 74 that converts a signal from the LED 74 into light, and a light receiver 76 that receives the light output of the LED 74 and converts it into an electric signal.

第3図は、上記表面障壁型検出器72からの2チャンネ
ルの信号に基づいて偏極度を算出する回路例を示してい
る。図において、表面障壁型検出器72からの信号は、プ
リアンプ84により増幅された後、LED74により光信号に
それぞれ変換される。受光器76は上記光信号を受けて電
気信号に変換し、インターフェイス78を介して演算制御
回路80へ供給する。演算制御回路80では、予め記憶され
た演算式から入力信号に基づいて偏極電子線に含まれる
電子群の偏極度を演算し、表示器82に表示させる。
FIG. 3 shows an example of a circuit for calculating the degree of polarization based on two-channel signals from the surface barrier type detector 72. In the figure, a signal from the surface barrier type detector 72 is amplified by a preamplifier 84 and then converted into an optical signal by an LED 74, respectively. The optical receiver 76 receives the optical signal, converts it into an electric signal, and supplies it to the arithmetic and control circuit 80 via the interface 78. The arithmetic control circuit 80 calculates the degree of polarization of the electron group included in the polarized electron beam based on the input signal from an arithmetic expression stored in advance and causes the display 82 to display the calculated degree.

第2図に戻って、前記偏極電子移送装置24は、前記真
空ハウジング30と高圧槽64とを接続する管路に設けられ
たコンダクタンスの低い一対の細管90と、一対のコンダ
クタンス管90に挟まれた位置に設けられたイオンポンプ
92と、偏極電子線発生素子10から引き出された偏極電子
線を静電的に直角に曲げるための球形コンデンサ装置94
と、その偏極電子線を高圧槽64に向かって磁気的に直角
に曲げるためのヘルムホルツコイル96とを備えている。
なお、真空ハウジング30と高圧槽64とが偏極電子線を曲
げる必要のない相対位置関係にあれば、それら球形コン
デンサ装置94およびヘルムホルツコイル96は不要とな
る。
Returning to FIG. 2, the polarized electron transfer device 24 is sandwiched between a pair of small conductance tubes 90 provided in a conduit connecting the vacuum housing 30 and the high-pressure tank 64 and having a low conductance, and a pair of conductance tubes 90. Pump installed at a different position
92 and a spherical capacitor device 94 for electrostatically bending the polarized electron beam extracted from the polarized electron beam generating element 10 at a right angle.
And a Helmholtz coil 96 for magnetically bending the polarized electron beam toward the high-pressure tank 64 at a right angle.
If the vacuum housing 30 and the high-pressure tank 64 are in a relative positional relationship that does not require bending the polarized electron beam, the spherical capacitor device 94 and the Helmholtz coil 96 become unnecessary.

以上の装置において偏極電子線を発生させる場合に
は、先ず偏極電子線発生素子0を容器状ホルダ36の下端
に固定した後に真空ハウジング30内を10-9程度の高真空
とし、図示しないヒータにより600℃程度の温度に15分
程度加熱することにより、偏極電子線発生素子10の表面
の酸化物を除去して清浄する。次いで、セシウム放出器
42および酸素放出器44から偏極電子線発生素子10の表面
に向かってセシウムおよび酸素を交互に放出してセシウ
ムおよび酸素を微量だけ吸着させる。これにより、偏極
電子線発生素子10の表面において、エレクトロンアフィ
ニティ(電導帯の底にある電子のエネルギレベルと真空
レベルの差に相当するエネルギギャップ)を負とする。
そして、液体チッソを用いて偏極電子線発生素子10が77
゜Kに冷却された後、レーザ光照射装置46から円偏光レ
ーザ光が照射される。この円偏光レーザ光のエネルギが
注入されると、偏極電子線発生素子10の表面から偏極度
の高い電子群が発生され、この電子群が偏極電子線とし
て電極40により引き出されるのである。この偏極電子線
は、偏極電子移送装置24により前記高圧槽64内の金箔70
に照射されて、第3図に示す回路により偏極率が測定さ
れるのである。
When a polarized electron beam is generated in the above apparatus, the polarized electron beam generating element 0 is first fixed to the lower end of the container holder 36, and then the inside of the vacuum housing 30 is set to a high vacuum of about 10 -9. By heating to a temperature of about 600 ° C. for about 15 minutes with a heater, the oxide on the surface of the polarized electron beam generating element 10 is removed and cleaned. Then the cesium emitter
Cesium and oxygen are alternately emitted from 42 and the oxygen emitter 44 toward the surface of the polarized electron beam generating element 10 to adsorb only a small amount of cesium and oxygen. Thereby, electron affinity (an energy gap corresponding to the difference between the energy level of electrons at the bottom of the conduction band and the vacuum level) on the surface of the polarized electron beam generating element 10 is made negative.
Then, the polarized electron beam generating element 10 is
After cooling to ゜ K, the laser light irradiation device 46 irradiates circularly polarized laser light. When the energy of the circularly polarized laser light is injected, a group of electrons having a high degree of polarization is generated from the surface of the polarized electron beam generating element 10, and the group of electrons is extracted by the electrode 40 as a polarized electron beam. The polarized electron beam is applied to the gold foil 70 in the high-pressure tank 64 by the polarized electron transfer device 24.
And the polarization rate is measured by the circuit shown in FIG.

本発明者等の実験によれば、従来において用いられて
いた偏極電子線発生素子(P−GaAs基板の上にP−GaAs
槽を成長させたもの:偏極電子線発生素子10の第1化合
物半導体槽14を除去したものに相当)の偏極率は「43」
であったのに対し、前述のように構成した偏極電子線発
生素子10では、偏極率「68」が得られた。
According to experiments performed by the present inventors, it has been found that a conventionally used polarized electron beam generating element (P-GaAs on a P-GaAs substrate) is used.
The growth rate of the tank: equivalent to that of the polarized electron beam generating element 10 from which the first compound semiconductor tank 14 has been removed) is "43".
On the other hand, in the polarized electron beam generator 10 configured as described above, a polarization ratio of “68” was obtained.

このように、本実施例の偏極電子線発生素子10によれ
ば、第1化合物半導体層14と第2化合物半導体層16との
間には、相互の格子定数の相違により0.1%程度の格子
歪を伴ったヘテロ結合が形成されていることから、価電
子帯のバンドスプリッティングが発生させられるので、
第1化合物半導体層14の価電子帯の縮退が解かれること
により、スピン方向の比較的揃った電子群が発生させら
れるのである。
As described above, according to the polarized electron beam generating device 10 of the present embodiment, the difference in lattice constant between the first compound semiconductor layer 14 and the second compound semiconductor layer 16 is about 0.1%. Since the hetero bond with distortion is formed, band splitting of the valence band is generated,
When the degeneracy of the valence band of the first compound semiconductor layer 14 is released, an electron group having a relatively uniform spin direction is generated.

また、本実施例の偏極電子線発生素子10によれば、格
子定数の相互に異なる第1化合物半導体層14と第2化合
物半導体槽16との間のヘテロ結合により、内部から安定
的に歪が付与されるので、安定した偏極度を備えた偏極
電子線が外部的歪付与装置に邪魔されることなる容易に
得られるのである。
Further, according to the polarized electron beam generating element 10 of the present embodiment, the heterojunction between the first compound semiconductor layer 14 and the second compound semiconductor tank 16 having mutually different lattice constants allows stable distortion from the inside. Is given, so that a polarized electron beam having a stable degree of polarization can be easily obtained without being hindered by an external strain applying device.

ここで、前記偏極電子線発生素子10においては、第1
化合物半導体層14と第2化合物半導体槽16との2層間の
ヘテロ結合により内部的に歪が発生させられていたが、
3以上の層間の格子定数の差異が利用されてもよいので
ある。
Here, in the polarized electron beam generating element 10, the first
Strain was internally generated due to the hetero bond between the two layers of the compound semiconductor layer 14 and the second compound semiconductor tank 16,
The difference in lattice constant between three or more layers may be used.

また、前記偏極電子線発生素子10においては、第1化
合物半導体層14がGa0.5In0.5Pであり、第2化合物半導
体槽16がGaAsであったが、それらは他の種類、たとえば
Ga1-xAlxAs系、GaxIn1-xAs1-yPy系、In1-x-yGaxAlyP系
などの他の種類の化合物半導体が必要に応じて用いられ
得る。要するに、第1化合物半導体層14と第2化合物半
導体槽16は、互いに異なる格子定数を備え且つ0.1%程
度以上の格子歪を伴ってヘテロ結合されておればよいの
である。
Further, in the polarized electron beam generator 10, the first compound semiconductor layer 14 is made of Ga 0.5 In 0.5 P and the second compound semiconductor bath 16 is made of GaAs.
Other types of compound semiconductors such as a Ga 1-x Al x As system, a Ga x In 1-x As 1-y Py system, and an In 1-xy Ga x Al y P system can be used as needed. In short, the first compound semiconductor layer 14 and the second compound semiconductor bath 16 only need to have different lattice constants and be hetero-coupled with a lattice strain of about 0.1% or more.

なお、上述したのはあくまでも本発明の一実施例であ
り、本発明はその主旨を逸脱しない範囲において種々変
更が加えられ得るものである。
The above is merely an example of the present invention, and the present invention can be variously modified without departing from the gist thereof.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は、本発明の一実施例の偏極電子線発生素子の構
成を説明する概略断面図である。第2図は、第1図の偏
極電子線発生素子を備えた偏極電子線発生装置および偏
極率測定装置などを示す図である。第3図は、第2図の
偏極率測定装置の測定回路を示す図である。 10:偏極電子線発生素子 14:第1化合物半導体層 16:第2化合物半導体層
FIG. 1 is a schematic sectional view illustrating the configuration of a polarized electron beam generating element according to one embodiment of the present invention. FIG. 2 is a diagram showing a polarized electron beam generator and a polarization rate measuring device provided with the polarized electron beam generator of FIG. FIG. 3 is a diagram showing a measuring circuit of the polarization rate measuring device of FIG. 10: polarized electron beam generator 14: first compound semiconductor layer 16: second compound semiconductor layer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 T.Maruyama et a l.,”Enhanced Elect ron Spin−Polarizat ion in Photemissio n from Thin GaAs”, SLAC−PUB−4779,July 1989 (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G21K 1/00 G21T 1/32 JICSTファイル(JOIS)──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (56) References Maruyama et al. , "Enhanced Electron Spin-Polarizion in Photomission from Thin GaAs", SLAC-PUB-4779, July 1989 (58) Fields studied (Int. Cl. 7 , DB name) File (JOIS)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】スピン方向が2種類のうちの一方に偏在し
ている電子群から成る偏極電子線を、光エネルギを受け
ることにより発生させる偏極電子線発生素子であって、 相互に異なる格子定数を有し且つ0.1%程度以上の格子
歪を伴って互いにヘテロ結合させられた化合物半導体層
を備えたことを特徴とする偏極電子線発生素子。
1. A polarized electron beam generating element for generating a polarized electron beam composed of a group of electrons whose spin directions are localized in one of two types by receiving light energy, wherein the polarized electron beams are different from each other. 1. A polarized electron beam generator comprising a compound semiconductor layer having a lattice constant and hetero-bonded to each other with a lattice strain of about 0.1% or more.
JP2182939A 1990-07-10 1990-07-10 Polarized electron beam generator Expired - Fee Related JP3070070B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2182939A JP3070070B2 (en) 1990-07-10 1990-07-10 Polarized electron beam generator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2182939A JP3070070B2 (en) 1990-07-10 1990-07-10 Polarized electron beam generator

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0469600A JPH0469600A (en) 1992-03-04
JP3070070B2 true JP3070070B2 (en) 2000-07-24

Family

ID=16127016

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2182939A Expired - Fee Related JP3070070B2 (en) 1990-07-10 1990-07-10 Polarized electron beam generator

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3070070B2 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5877510A (en) * 1994-05-27 1999-03-02 Nec Corporation Spin polarized electron semiconductor source and apparatus utilizing the same
JP2606131B2 (en) * 1994-05-27 1997-04-30 日本電気株式会社 Semiconductor spin-polarized electron source
JP4769941B2 (en) * 2006-03-07 2011-09-07 国立大学法人名古屋大学 Spin-polarized electron generator

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
T.Maruyama et al.,"Enhanced Electron Spin−Polarization in Photemission from Thin GaAs",SLAC−PUB−4779,July 1989

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0469600A (en) 1992-03-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Pierce et al. The GaAs spin polarized electron source
Ciccacci et al. Spin‐polarized electron gun for electron spectroscopies
US5747862A (en) Spin-polarized electron emitter having semiconductor opto-electronic layer with split valence band and reflecting mirror
Baum et al. Field emission of monoenergetic spin-polarized electrons
JP3070070B2 (en) Polarized electron beam generator
JP2007258119A (en) Spin polarized electron generator
US5315127A (en) Semiconductor device for emitting highly spin-polarized electron beam
JPWO2014104022A1 (en) Method and apparatus for measuring energy of electrons excited by sunlight
JP3189444B2 (en) Polarized electron beam generator
JP3125328B2 (en) Polarized electron beam generator
Ciccacci et al. Low energy Mott polarimetry of electrons from negative electron affinity photocathodes
US5723871A (en) Process of emitting highly spin-polarized electron beam and semiconductor device therefor
Yokota et al. Room temperature spin injection into (110) GaAs quantum wells using Fe/x-AlOx contacts in the regime of current density comparable to laser oscillation
JP3154569B2 (en) Polarized electron beam generator
McCarter et al. Measurement of electron beam polarization from unstrained GaAs via two-photon photoemission
JPH0628970A (en) Polarized electron beam generating element
Landolt et al. Electron spin polarization in field emission
CN114640023A (en) Semiconductor optical amplifier
US5523572A (en) Process of emitting highly spin-polarized electron beam and semiconductor device therefor
JPH04361144A (en) Method and device for observing surface magnetic properties
Mergl et al. GaAsP spin‐polarized electron source for a 300 keV accelerator
Morabito et al. Electronic superposition of sample current and secondary‐electron images in Auger electron spectroscopy
JP3020624B2 (en) Electron wave interference device, field emission type micro vacuum device and micro vacuum electronic device
Rodway et al. Mean transverse emission energy and surface topography on GaAs (Cs, O) photocathodes
Miaja-Avila et al. Atom probe tomography using an extreme ultraviolet pulsed light source

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090526

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090526

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100526

Year of fee payment: 10

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees