JP3053659B2 - Linear ultrasonic motor - Google Patents

Linear ultrasonic motor

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JP3053659B2
JP3053659B2 JP3074011A JP7401191A JP3053659B2 JP 3053659 B2 JP3053659 B2 JP 3053659B2 JP 3074011 A JP3074011 A JP 3074011A JP 7401191 A JP7401191 A JP 7401191A JP 3053659 B2 JP3053659 B2 JP 3053659B2
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誠克 増田
智 高井
好正 後藤
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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、可動子を直線駆動させ
るリニア型超音波モータに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a linear ultrasonic motor for linearly driving a mover.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のリニア型超音波モータには、例え
ば半円部と長辺部が連続する形態である小判形(長円
形)の弾性体基体の裏面ほぼ全面に位相差を持たせた複
数個の圧電素子を積層し、その圧電素子によって弾性体
基体の全面を励振するようにし、弾性体基体に一体に形
成された長円状の振動伝達部材から超音波進行波を摺動
子に伝えるようにしたものがある(特開昭61−351
77号)。前記超音波進行波は長円状の振動伝達部材の
表面を循環しているため、振動伝達部材のうちの一方の
長辺部とそれに対向する長辺部とでは超音波進行波の向
きが反対である。従って、従来のリニア型超音波モータ
では、振動伝達部材の一方の長辺部に摺動子を当接させ
て二つある長辺部の片側から直線駆動力を取り出すか、
或いは、振動伝達部材の双方の長辺部に二本の摺動子を
それぞれ当接させて互いに異なる方向の直線駆動力を取
り出すようにしていた。
2. Description of the Related Art A conventional linear ultrasonic motor is provided with a phase difference over substantially the entire back surface of an oval (elliptical) elastic substrate in which, for example, a semicircular portion and a long side portion are continuous. A plurality of piezoelectric elements are laminated, and the entire surface of the elastic body is excited by the piezoelectric elements. The ultrasonic traveling wave is applied to the slider from an elliptical vibration transmitting member formed integrally with the elastic body. There is something that is made to convey (Japanese Patent Laid-Open No. 61-351)
No. 77). Since the ultrasonic traveling wave circulates on the surface of the elliptical vibration transmitting member, the direction of the ultrasonic traveling wave is opposite between one long side portion of the vibration transmitting member and the long side portion opposed thereto. It is. Therefore, in the conventional linear type ultrasonic motor, the slider is brought into contact with one long side of the vibration transmitting member to take out a linear driving force from one side of the two long sides,
Alternatively, two sliding elements are brought into contact with both long sides of the vibration transmitting member to take out linear driving forces in mutually different directions.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】前記のように従来のリ
ニア型超音波モータは、振動伝達部材の二つある長辺部
から得られる直線駆動力が正逆二方向に分散されるた
め、一方向の直線駆動力がそれだけ弱くなる欠点があ
る。従って、従来のリニア型超音波モータは、狭い設置
スペースに収まるコンパクト性が要求され、しかも強力
な直線駆動力を必要とする例えば自動車のパワーウィン
ドーやサンルーフ或いはサンシェード等の駆動装置とし
て使用できない問題点があった。本発明は上記の問題点
に鑑みなされたものであり、その目的とする所は、コン
パクトでありながら、しかも強力な直線駆動力が得られ
るリニア型超音波モータを提供することにある。
As described above, in the conventional linear type ultrasonic motor, the linear driving force obtained from the two long sides of the vibration transmitting member is dispersed in two directions, ie, forward and reverse. There is a disadvantage that the linear driving force in the direction becomes weaker accordingly. Therefore, the conventional linear type ultrasonic motor is required to be compact in a small installation space, and cannot be used as a drive device such as a power window, a sunroof or a sunshade of an automobile which requires a strong linear driving force. There was a point. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a linear ultrasonic motor which is compact and can obtain a strong linear driving force.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明では、図面に例示するように、略長円形又は
円形等の閉通路に構成された超音波伝導通路6を有し、
該超音波伝導通路6の表面に発生する超音波進行波によ
り可動子20を直線駆動させるようにしたリニア型超音
波モータ1において、前記超音波伝導通路6の表面の一
部に当接され前記超音波進行波により回転駆動されるよ
うに基台7に支承された少なくとも一つの回転ローラ3
と、前記回転ローラ3と対向する側の前記超音波伝導通
路6の表面と、前記回転ローラ3との両者に当接するよ
うにされた可動子20と、を備えることを特徴とするリ
ニア型超音波モータ1を提供する。
In order to achieve the above object, according to the present invention, as illustrated in the drawings, there is provided an ultrasonic conduction passage 6 configured as a substantially oval or circular closed passage.
In ultrasonic linear type ultrasonic motor 1 so as to linearly drive the movable member 20 by ultrasonic traveling wave generated on the surface of the conductive passages 6, wherein in contact with the part of the surface of the ultrasonic transmission path 6 It is driven to rotate by ultrasonic traveling waves
At least one rotating roller 3 which is supported on sea urchin base 7
And a movable element 20 adapted to contact both the surface of the ultrasonic conduction path 6 on the side facing the rotary roller 3 and the rotary roller 3. An ultrasonic motor 1 is provided.

【0005】[0005]

【作用】上記のように構成されたリニア型超音波モータ
1では、超音波伝導通路6の表面を超音波進行波が循環
する。そして上下に屈曲する横波の超音波進行波により
回転ローラ3が回転し、該回転ローラ3を介して可動子
20に直線駆動力が伝わる。一方、可動子20は回転ロ
ーラ3と対向する超音波伝導通路6にも当接しているか
らその超音波伝導通路6からも直線駆動力を受ける。回
転ローラ3を設けた超音波伝導通路6とそれと対向する
超音波伝導通路6とでは超音波進行波が互いに逆方向に
なるが、超音波伝導通路6に回転ローラ3を設けること
によってその部分の直線駆動力が反転するから、回転ロ
ーラ3とその回転ローラ3と対向する超音波伝導通路6
の両者に当接する可動子20には同じ方向の二つの直線
駆動力が同時に作用する。
In the linear type ultrasonic motor 1 configured as described above, the traveling ultrasonic wave circulates on the surface of the ultrasonic conduction path 6. Then, the rotating roller 3 is rotated by an ultrasonic traveling wave of a transverse wave bent up and down, and a linear driving force is transmitted to the mover 20 via the rotating roller 3. On the other hand, since the mover 20 is also in contact with the ultrasonic conduction path 6 facing the rotary roller 3, the mover 20 also receives a linear driving force from the ultrasonic conduction path 6. Although the ultrasonic traveling waves in the ultrasonic conduction path 6 provided with the rotating roller 3 and the ultrasonic conduction path 6 opposed thereto are in opposite directions, the provision of the rotating roller 3 in the ultrasonic conduction path 6 Since the linear driving force is reversed, the rotary roller 3 and the ultrasonic conduction path 6 facing the rotary roller 3
The two linear driving forces in the same direction act simultaneously on the mover 20 abutting on both.

【0006】[0006]

【実施例】本発明の実施例について図面を参照し説明す
る。図1はリニア型超音波モータと可動子を示す斜視
図、図2は図1のA−A線断面図、図3はリニア型超音
波モータを基台から切り離して示す底面図である。リニ
ア型超音波モータ1は、駆動力を発生する固定子2と、
該駆動力の作用方向を反転させる回転ローラ3とから構
成される。
An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is a perspective view showing a linear ultrasonic motor and a mover, FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG. 1, and FIG. 3 is a bottom view showing the linear ultrasonic motor separated from a base. The linear type ultrasonic motor 1 includes a stator 2 for generating a driving force,
And a rotating roller 3 for reversing the direction of action of the driving force.

【0007】固定子2は、銅合金からなる弾性体で形成
され、半円部4、4′と長辺部5、5′とが連続して長
円形の閉通路を構成する超音波伝導通路6と、リニア型
超音波モータ1を基台7に固定するための中央部の基板
8とからなり、超音波伝導通路6と基板8が一体に形成
されている。
The stator 2 is formed of an elastic body made of a copper alloy, and the semi-circular portions 4 and 4 'and the long sides 5 and 5' are continuous to form an oval closed ultrasonic passage. 6 and a substrate 8 at the center for fixing the linear ultrasonic motor 1 to the base 7, and the ultrasonic conduction path 6 and the substrate 8 are integrally formed.

【0008】固定子2は前記基板8中央の長孔9に固定
ボルト10を挿通して基台7に締着固定する。図2右側
の長辺部5′の外側には基台7からボルト11が、ま
た、長辺部5′の内側には基板8の後述する長孔14を
通って基台7からボルト11′がそれぞれ4組立設さ
れ、そのボルト11、11′に水平軸12が固定され
る。水平軸12には回転ローラ3が回転自在に支承さ
れ、その回転ローラ3の下面が超音波伝導通路6の長辺
部5′の表面に当接するようにされている。
The stator 2 is fastened and fixed to the base 7 by inserting a fixing bolt 10 into a long hole 9 in the center of the substrate 8. A bolt 11 from the base 7 is provided outside the long side 5 'on the right side of FIG. 2, and a bolt 11' is provided from the base 7 through a long hole 14 of the substrate 8 inside the long side 5 '. Are assembled, and the horizontal shaft 12 is fixed to the bolts 11 and 11 '. The rotating roller 3 is rotatably supported on the horizontal shaft 12, and the lower surface of the rotating roller 3 is configured to abut on the surface of the long side portion 5 ′ of the ultrasonic conduction path 6.

【0009】超音波伝導通路6の表面には多数の横溝1
3が形成されている。図2に示す様に、横溝底から下の
超音波伝導通路6の断面は長方形の一定形状にされてい
る。また、超音波伝導通路6の長辺部5、5′に隣接す
る基板8には2つの長孔14、14が明けられている。
従って、超音波伝導通路6と基板8とは半円部4、4′
において連続し、長辺部5、5′において長孔14、1
4により分離されている。なお、基板8の中央部はやや
板厚に形成されている。
A large number of lateral grooves 1 are formed on the surface of the ultrasonic conduction passage 6.
3 are formed. As shown in FIG. 2, the cross section of the ultrasonic transmission path 6 below the bottom of the lateral groove has a rectangular shape. Two long holes 14 are formed in the substrate 8 adjacent to the long sides 5 and 5 'of the ultrasonic conduction path 6.
Therefore, the ultrasonic conduction passage 6 and the substrate 8 are connected to the semicircular portions 4, 4 '.
At the long sides 5, 5 '.
4 separated. The central portion of the substrate 8 is formed to be slightly thicker.

【0010】超音波伝導通路6の長辺部5、5′の底面
には図3に示したように3つの圧電素子15、16、1
7が貼着されている。各圧電素子15、16、17は厚
さが0.5mm程度の板状のセラミック分極材料の両面
に電極を設けたものであり、第1及び第2の圧電素子1
5、16はそれぞれ全長の1/6毎に分極方向が交代す
るように厚さ方向に分極処理されている。図中において
斜線を施した部分が分極されている部分であり、斜線の
方向が異なる部分は互いに分極方向が異なる。第2の圧
電素子16は第1の圧電素子15から超音波伝導通路6
に発生する定在波の波長λの1/4だけ位置位相がずれ
る位置に固着されている。第3の圧電素子17は前記波
長λの1/4の長さを有し、第1の圧電素子15からλ
/4だけ離れた位置に固着されている。第1及び第2の
圧電素子15、16は超音波の励振用に用いられ、第3
の圧電素子17は励振振幅のフィードバック信号検出用
に用いられる。なおその他超音波伝導通路6の寸法は、
半円部4、4′の円弧長を各3λ、長辺部5、5′の長
さを各3.5λ、全周長を13λ、幅をλ/4の奇数倍
とするのが好ましい。
As shown in FIG. 3, three piezoelectric elements 15, 16 and 1 are provided on the bottom surfaces of the long sides 5 and 5 'of the ultrasonic conduction path 6.
7 is stuck. Each of the piezoelectric elements 15, 16, and 17 is provided with electrodes on both sides of a plate-shaped ceramic polarized material having a thickness of about 0.5 mm.
Each of 5 and 16 is polarized in the thickness direction such that the polarization direction alternates every 6 of the entire length. In the figure, the hatched portions are polarized portions, and the portions having different hatched directions have different polarization directions. The second piezoelectric element 16 is separated from the first piezoelectric element 15 by the ultrasonic conduction path 6.
Is fixed at a position where the position phase is shifted by 4 of the wavelength λ of the standing wave generated in the above. The third piezoelectric element 17 has a length of 4 of the wavelength λ, and
/ 4. The first and second piezoelectric elements 15 and 16 are used for exciting ultrasonic waves,
Is used for detecting the feedback signal of the excitation amplitude. In addition, the dimensions of the other ultrasonic conduction passage 6 are as follows.
It is preferable that the arc lengths of the semicircular portions 4 and 4 'are 3λ each, the lengths of the long side portions 5 and 5' are 3.5λ each, the entire circumference is 13λ, and the width is an odd multiple of λ / 4.

【0011】第1の圧電素子15及び第2の圧電素子1
6は発振器18、19に接続され、第1の圧電素子15
にAsin(ωt)、第2の圧電素子16にAsin(ωt ±90
°) の時間的位相が±90°ずれた約32KHzの高周
波電圧を厚さ方向に印加する。これにより、長円形の超
音波伝導通路6の表面に超音波進行波が発生し超音波伝
導通路6を循環する。超音波振動の振幅は第3の圧電素
子17により検出され、発振器18、19にフィードバ
ックされ印加電圧を適切に制御する。
First piezoelectric element 15 and second piezoelectric element 1
6 is connected to oscillators 18 and 19, and the first piezoelectric element 15
Asin (ωt) and the second piezoelectric element 16 have Asin (ωt ± 90
(°) is applied in the thickness direction with a high-frequency voltage of about 32 KHz shifted in time by ± 90 °. Thereby, an ultrasonic traveling wave is generated on the surface of the elliptical ultrasonic conduction path 6 and circulates through the ultrasonic conduction path 6. The amplitude of the ultrasonic vibration is detected by the third piezoelectric element 17 and fed back to the oscillators 18 and 19 to appropriately control the applied voltage.

【0012】被駆動体たる可動子20は断面がL字形を
したレール状の部材である。可動子20は前記回転ロー
ラ3に当接すると共に、図2左側の超音波伝導通路6の
長辺部5の表面にも直接当接する。なお、可動子20は
基台7に回転自在に設けたガイドローラ21に案内され
図2に垂直な方向に移動可能である。
The movable element 20 as a driven body is a rail-shaped member having an L-shaped cross section. The mover 20 abuts on the rotary roller 3 and also directly abuts on the surface of the long side portion 5 of the ultrasonic conduction path 6 on the left side in FIG. The mover 20 is guided by a guide roller 21 rotatably provided on the base 7 and is movable in a direction perpendicular to FIG.

【0013】図4は基台7の全体を示す平面図である。
この基台7にはリニア型超音波モータ1の反対側に可動
子20の下面を支える滑車22が設けられている。そし
て本実施例の基台7には前記リニア型超音波モータ1と
可動子20を2組設置し、両者を同時に同方向に駆動さ
せるようにしている。かかる構成は、例えば自動車のサ
ンルーフの駆動装置に応用できるもので、基台7を自動
車のサンルーフに、可動子20を自動車本体のL型レー
ルに置き換えれば良い。この場合、L型レールたる可動
子20が自動車のボディに固定されるからサンルーフた
る基台7が移動自在となる。
FIG. 4 is a plan view showing the entire base 7.
A pulley 22 that supports the lower surface of the mover 20 is provided on the base 7 on the opposite side of the linear ultrasonic motor 1. Then, two sets of the linear ultrasonic motor 1 and the mover 20 are installed on the base 7 of this embodiment, and both are driven simultaneously in the same direction. Such a configuration can be applied to, for example, a driving device for a sunroof of an automobile. The base 7 may be replaced with a sunroof of the automobile, and the mover 20 may be replaced with an L-shaped rail of the main body of the automobile. In this case, since the mover 20 as the L-shaped rail is fixed to the body of the automobile, the base 7 as the sunroof becomes movable.

【0014】次に作動説明をする。長辺部5、5′の底
面に位置位相を1/4波長だけずらせて固着された第1
及び第2の圧電素子15、16に時間的位相が±90°
ずれた高周波電圧を印加すると、長円形の超音波伝導通
路6の表面に超音波進行波が発生する。上下に屈曲する
横波の超音波進行波により、長辺部5の表面に直接当接
する可動子20に、摩擦により超音波進行波の進行方向
と逆方向に駆動力が伝えられて可動子20が直線駆動さ
れる。一方、図2右側の長辺部5′では回転ローラ3に
より駆動方向が反転され、左側の長辺部5と同一方向の
駆動力が可動子20に伝達される。
Next, the operation will be described. A first phase fixed to the bottom surfaces of the long sides 5, 5 'by shifting the phase by 1/4 wavelength;
And the temporal phase of the second piezoelectric elements 15 and 16 is ± 90 °
When a shifted high-frequency voltage is applied, an ultrasonic traveling wave is generated on the surface of the elliptical ultrasonic conduction path 6. The driving force is transmitted to the mover 20 directly contacting the surface of the long side portion 5 by friction in a direction opposite to the traveling direction of the ultrasonic wave by the transversely traveling ultrasonic wave that is bent up and down, and the movable element 20 is moved. It is driven linearly. On the other hand, the driving direction is reversed by the rotating roller 3 at the long side portion 5 ′ on the right side of FIG. 2, and the driving force in the same direction as the long side portion 5 on the left side is transmitted to the mover 20.

【0015】以上説明した実施例では超音波伝導通路6
を長円形にしたものを示したが、もちろん超音波伝導通
路6は円形であってもよい。また、可動子20を真っ直
ぐ案内するためにガイドローラ21を設けたが、このガ
イドローラ21を設けなくとも、例えば図5に示す様に
回転ローラ3の両端を円錐台状に面取りし、可動子20
に回転ローラ3の面取り部分に係合する真っ直ぐなレー
ル溝23を形成し、両者の係合によって可動子20を直
線状に案内してもよい。また、回転ローラ3は2個以上
設け、その回転ローラ3間に無端ベルトを掛け渡すよう
にしてもよい。そしてさらに、図6に示すように回転ロ
ーラ3の回転方向を超音波進行波の進行方向に対して角
度θ傾ければ、超音波進行波の進行方向に対して可動子
20の駆動方向を傾けることが簡単にできる。
In the embodiment described above, the ultrasonic conduction path 6
Is shown as an oval, but of course, the ultrasonic conduction path 6 may be circular. Further, although the guide roller 21 is provided to guide the mover 20 straight, even if the guide roller 21 is not provided, for example, as shown in FIG. 20
May be formed with a straight rail groove 23 that engages with the chamfered portion of the rotating roller 3 and guides the mover 20 linearly by engagement of the two. Further, two or more rotating rollers 3 may be provided, and an endless belt may be stretched between the rotating rollers 3. Further, if the rotation direction of the rotating roller 3 is inclined at an angle θ with respect to the traveling direction of the ultrasonic traveling wave as shown in FIG. 6, the driving direction of the mover 20 is inclined with respect to the traveling direction of the ultrasonic traveling wave. Things can be done easily.

【0016】[0016]

【発明の効果】本発明は、上記の構成を有し、従来正逆
二方向に分散されていた直線駆動力を一方向に集中させ
ることができるため、形状をコンパクトに抑えたまま直
線駆動力を飛躍的に向上させることができる。しかも構
造が簡単であるため安価で且つ信頼性が高い効果があ
る。これらのことから本発明のリニア型超音波モータ
は、狭い設置スペースに収まるコンパクト性が要求さ
れ、しかも強力な直線駆動力を必要とする例えば自動車
のパワーウィンドーやサンルーフ或いはサンシェード等
の駆動装置として最適である。
According to the present invention, the linear driving force which has the above-mentioned structure and can be concentrated in one direction, which has been conventionally dispersed in the normal and reverse directions, can be reduced while keeping the shape compact. Can be dramatically improved. Moreover, since the structure is simple, there is an effect that the cost is low and the reliability is high. From these facts, the linear ultrasonic motor of the present invention is required to be compact in a small installation space, and further, as a driving device such as a power window, a sunroof, or a sunshade of an automobile which requires a strong linear driving force. Optimal.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 リニア型超音波モータと可動子を示す斜視
図、
FIG. 1 is a perspective view showing a linear ultrasonic motor and a mover,

【図2】 図1のA−A線断面図、FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG. 1;

【図3】 リニア型超音波モータを基台から切り離して
示す底面図、
FIG. 3 is a bottom view showing the linear ultrasonic motor separated from a base;

【図4】 基台の全体を示す平面図、FIG. 4 is a plan view showing the entire base.

【図5】 他の実施例を示すリニア型超音波モータと可
動子の断面図、
FIG. 5 is a sectional view of a linear ultrasonic motor and a mover showing another embodiment;

【図6】 他の実施例を示す回転ローラと超音波伝導通
路の平面図である。
FIG. 6 is a plan view of a rotary roller and an ultrasonic transmission path showing another embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1..リニア型超音波モータ、 3..回転ローラ、
6..超音波伝導通路、 7..基台、 20..可動
子。
1. . 2. linear type ultrasonic motor, . Rotating roller,
6. . 6. ultrasonic conduction path; . Base, 20. . Mover.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平3−18533(JP,A) 特開 昭62−178178(JP,A) 特開 平3−102031(JP,A) 実開 平2−107289(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H02N 2/00 B60J 7/057 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-3-18533 (JP, A) JP-A-62-178178 (JP, A) JP-A-3-102031 (JP, A) 107289 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H02N 2/00 B60J 7/057

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 略長円形又は円形等の閉通路に構成され
た超音波伝導通路を有し、該超音波伝導通路の表面に発
生する超音波進行波により可動子を直線駆動させるよう
にしたリニア型超音波モータにおいて、 前記超音波伝導通路の表面の一部に当接され前記超音波
進行波により回転駆動されるように基台に支承された少
なくとも一つの回転ローラと、 前記回転ローラと対向する側の前記超音波伝導通路の表
面と、前記回転ローラとの両者に当接するようにされた
可動子と、 を備えることを特徴とするリニア型超音波モータ。
An ultrasonic conduction path formed in a substantially oval or circular closed path is provided, and the mover is linearly driven by an ultrasonic traveling wave generated on the surface of the ultrasonic conduction path. in the linear ultrasonic motor, the ultrasonic abuts against the part of the surface of the ultrasonic transmission path
At least one rotating roller supported on a base so as to be driven to rotate by a traveling wave, and a surface of the ultrasonic conduction path on a side facing the rotating roller, and abutting against both the rotating roller. A linear type ultrasonic motor, comprising:
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JPH05146180A (en) 1993-06-11

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