JP3051150B2 - Thin film magnetic head - Google Patents
Thin film magnetic headInfo
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- JP3051150B2 JP3051150B2 JP2290327A JP29032790A JP3051150B2 JP 3051150 B2 JP3051150 B2 JP 3051150B2 JP 2290327 A JP2290327 A JP 2290327A JP 29032790 A JP29032790 A JP 29032790A JP 3051150 B2 JP3051150 B2 JP 3051150B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は、磁気ヘッド、特に、薄膜磁気ヘッドに関す
る。The present invention relates to a magnetic head, and more particularly, to a thin-film magnetic head.
＜従来の技術＞ 磁気ヘッドは、周知のように、ギャップ膜を間に挟ん
で向き合う一対のポールを有する構造となっている。第
５図は従来の磁気ヘッドの基本的な構造と書き込み時の
磁界分布を示す図である。P1、P2はポール、Ｇはギャッ
プ膜、ａは媒体走行方向、Ｍは磁気ディスク等の磁気記
録媒体を示している。L2は書き込み時の磁界分布、M0は
磁化反転部、m1、m2は磁化方向、l1は磁化反転領域をそ
れぞれ示している。磁化反転領域l1は、主として、媒体
流出側のポール、即ち、媒体走行方向ａで見て後方に位
置するポール（図示の場合ポールP1）側の磁界によって
決まる。<Conventional Technology> As is well known, a magnetic head has a structure having a pair of poles facing each other with a gap film interposed therebetween. FIG. 5 is a diagram showing a basic structure of a conventional magnetic head and a magnetic field distribution at the time of writing. P1 and P2 are poles, G is a gap film, a is a medium running direction, and M is a magnetic recording medium such as a magnetic disk. L2 indicates a magnetic field distribution at the time of writing, M0 indicates a magnetization switching portion, m1 and m2 indicate magnetization directions, and l1 indicates a magnetization switching region. The magnetization reversal region 11 is mainly determined by the magnetic field on the pole on the medium outflow side, that is, on the pole (the pole P1 in the illustrated case) located rearward in the medium running direction a.
第６図は上記磁気ヘッドとその再生波形L1を示す図で
ある。再生波形L1は第５図に示したポール構造及び磁界
分布を有する磁気ヘッドを使用して磁気記録媒体に記録
した信号を、同じ磁気ヘッドで再生した場合の波形であ
り、横軸に時間軸をとり、縦軸に瞬時値ｅと最大値Emと
の比（e/Em）を百分率で表示してある。L11、L12はアン
ダーシュートを示している。PW50は（e/Em）が50％にな
るパルス幅を示している。PW50値は再生波形L1の鋭化の
程度を示し、PW50値が小さければ再生波形L1は鋭くな
り、大きくなれば鈍化する。FIG. 6 is a diagram showing the magnetic head and its reproduced waveform L1. The reproduction waveform L1 is a waveform when a signal recorded on a magnetic recording medium using the magnetic head having the pole structure and the magnetic field distribution shown in FIG. 5 is reproduced by the same magnetic head, and the horizontal axis represents the time axis. On the vertical axis, the ratio (e / Em) between the instantaneous value e and the maximum value Em is displayed as a percentage. L11 and L12 indicate undershoots. PW50 indicates a pulse width at which (e / Em) becomes 50%. The PW50 value indicates the degree of sharpening of the reproduced waveform L1, and the smaller the PW50 value is, the sharper the reproduced waveform L1 is.
＜発明が解決しようとする課題＞ しかしながら、上述した従来の磁気ヘッドには次のよ
うな問題がある。<Problems to be solved by the invention> However, the above-described conventional magnetic head has the following problems.
（Ａ）高密度記録に対応するためには、再生波形L1を鋭
化し、隣接パルスの相互干渉を防止する必要がある。再
生波形L1の鋭化の程度は、前述したようにPW50値によっ
て評価する。磁気ヘッドの磁界分布L2は、主として、ポ
ールP1、P2の端面形状によって定まる。従来の磁気ヘッ
ドでは、ポールP1、P2の端面の厚みTA、TBによって定ま
る以上には、磁界分布L2を鋭化することができない。ま
た、再生波形L1は、磁界分布L2の他に、磁気記録媒体の
磁性膜に不可避的に生じる保磁力Hcの差（保磁力分布）
によっても鈍化する。このため、再生波形L2をより一層
鋭化することが困難で、高密度記録を達成する上の一つ
の大きな障害になっていた。(A) In order to cope with high-density recording, it is necessary to sharpen the reproduced waveform L1 to prevent mutual interference between adjacent pulses. The degree of sharpening of the reproduced waveform L1 is evaluated by the PW50 value as described above. The magnetic field distribution L2 of the magnetic head is mainly determined by the end face shapes of the poles P1, P2. In the conventional magnetic head, the magnetic field distribution L2 cannot be sharpened beyond the thicknesses TA and TB of the end faces of the poles P1 and P2. The reproduced waveform L1 is different from the magnetic field distribution L2 in addition to the difference (coercive force distribution) in the coercive force Hc which inevitably occurs in the magnetic film of the magnetic recording medium.
Also slows down. For this reason, it is difficult to sharpen the reproduction waveform L2 further, which has been one of the major obstacles in achieving high-density recording.
（Ｂ）ポールP1、P2の厚みTA、TBを小さくすれば、再生
波形を鋭化できる。しかしながら、ポールP1、P2の厚み
TA、TBを小さくすると磁気飽和が起こり、書き込み能力
が低下し、オーバーライト特性が劣化する。(B) If the thicknesses TA, TB of the poles P1, P2 are reduced, the reproduced waveform can be sharpened. However, the thickness of poles P1, P2
When TA and TB are reduced, magnetic saturation occurs, the write performance decreases, and the overwrite characteristics deteriorate.
（Ｃ）第６図に示すように、再生波形はポールP1、P2の
端縁に対応する位置でアンダーシュートL11、L12を生じ
る。アンダーシュートL11、L12は、特にポール厚みの薄
い薄膜磁気ヘッドにおいて、顕著に現われる。薄膜磁気
ヘッドにおいては、バルク型磁気ヘッドと異なって、磁
気記録媒体Ｍの走行方向ａで見たポールP1、P2の端部の
厚みが薄く、有限であるため、パルスの他に、ポールP
1、P2の各端部による疑似パルスが発生するためであ
る。(C) As shown in FIG. 6, the reproduced waveform has undershoots L11 and L12 at positions corresponding to the edges of the poles P1 and P2. The undershoots L11 and L12 are particularly noticeable in a thin-film magnetic head having a thin pole. In the thin film magnetic head, unlike the bulk type magnetic head, the thickness of the ends of the poles P1 and P2 viewed in the running direction a of the magnetic recording medium M is thin and finite.
This is because a pseudo pulse is generated by each end of P1 and P2.
アンダーシュトL11、L12の存在は、高密度記録の場
合、ピークシフトを大きくするため、読み出しのエラー
マージンもしくは位相マージンに限界を生じ、高密度記
録の大きな障害となる。The presence of the undershoots L11 and L12 increases the peak shift in the case of high-density recording, so that a limit is imposed on the error margin or phase margin of reading, which is a major obstacle to high-density recording.
特開昭60ー35315号公報は、ギャップ膜を間に挟んで
向き合う一対のポールを有する前記一対のポールのう
ち、少なくとも一方は、複数の磁性膜を積層して構成
し、前記磁性膜のうち、前記ギャップ膜に隣接する磁性
膜の飽和磁束密度を、他の磁性膜の飽和磁束密度を大き
くして、記録能力及び再生分解能を改善した薄膜磁気ヘ
ッドを開示している。しかし、この先行技術は、複数の
磁性膜の厚み比をどのように選定するかにつては、開示
がない。JP-A-60-35315 discloses that at least one of the pair of poles having a pair of poles facing each other with a gap film interposed therebetween is configured by stacking a plurality of magnetic films. Also disclosed is a thin film magnetic head in which the saturation magnetic flux density of a magnetic film adjacent to the gap film and the saturation magnetic flux density of another magnetic film are increased to improve the recording performance and the reproduction resolution. However, this prior art does not disclose how to select the thickness ratio of a plurality of magnetic films.
そこで、本発明の課題は、上述する従来の問題点を解
決し、磁界分布及び再生波形を鋭化して高密度記録対応
を図った書き込み能力の高い磁気ヘッドを提供すること
である。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to solve the above-mentioned conventional problems and to provide a magnetic head having a high writing capability capable of coping with high-density recording by sharpening a magnetic field distribution and a reproduction waveform.
＜課題を解決するための手段＞ 上述した課題解決のため、本発明に係る磁気ヘッド
は、スライダ基体と、薄膜磁気回路と、保護膜とを含
む。前記スライダ基体は、非磁性材料でなり、媒体対向
面側に空気ベアリング面を有する。<Means for Solving the Problems> To solve the problems described above, a magnetic head according to the present invention includes a slider base, a thin-film magnetic circuit, and a protective film. The slider base is made of a non-magnetic material and has an air bearing surface on the medium facing surface side.
前記薄膜磁気回路は、下部磁性膜と、上部磁性膜と、
ギャップ膜と、コイル膜とを含み、前記スライダ基体の
基体流出端側の側端面上に形成されている。前記下部磁
性膜及び前記上部磁性膜は、前記空気ベアリグ面側の端
部が、前記ギャップ膜を間に挟んで向き合う下部ポール
及び上部ポールを構成し、前記下部ポール及び上部ポー
ルとは反対側の後方部が互いに結合され後方結合部を構
成している。The thin film magnetic circuit includes a lower magnetic film, an upper magnetic film,
The slider base includes a gap film and a coil film, and is formed on a side end surface of the slider base on a base outflow end side. The lower magnetic film and the upper magnetic film are configured such that ends on the air bear rig surface side constitute a lower pole and an upper pole facing each other with the gap film interposed therebetween, and are opposite to the lower pole and the upper pole. The rear portions are connected to each other to form a rear connection portion.
前記コイル膜は、絶縁膜によって支持され、前記後方
結合部の周りをうず巻き状に回るように形成されてい
る。前記保護膜は、非磁性材料でなり、前記薄膜磁気回
路の全体を覆っている。The coil film is supported by an insulating film, and is formed to spiral around the rear coupling portion. The protective film is made of a non-magnetic material and covers the entire thin film magnetic circuit.
前記下部磁性膜及び前記上部磁性膜の内、少なくとも
媒体流出端側となる前記上部磁性膜は、少なくとも前記
上部ポールが複数の磁性膜を積層して構成されている。Of the lower magnetic film and the upper magnetic film, the upper magnetic film at least on the medium outflow end side has at least the upper pole formed by laminating a plurality of magnetic films.
前記複数の磁性膜のうち、前記ギャップ膜に隣接する
一方の磁性膜は、他方の磁性膜よりも飽和磁束密度が大
きく、かつ、厚みが薄くなっている。ここで、前記ギャ
ップ膜に隣接する前記一方の磁性膜の厚みをT11とし、
前記他方の磁性膜の厚みをT12としたとき、前記厚みT1
1、T12の比（T12/T11）は、T12/T11＝４を除き、１＜T1
2/T11≦25を満たす。One of the plurality of magnetic films adjacent to the gap film has a larger saturation magnetic flux density and a smaller thickness than the other magnetic film. Here, the thickness of the one magnetic film adjacent to the gap film is T11,
When the thickness of the other magnetic film is T12, the thickness T1
1. The ratio of T12 (T12 / T11) is 1 <T1 except for T12 / T11 = 4.
Satisfies 2 / T11 ≦ 25.
＜作用＞ 下部磁性膜及び上部磁性膜の内、少なくとも媒体流出
端側となる上部磁性膜は、少なくとも上部ポールが、複
数の磁性膜を積層して構成されており、複数の磁性膜の
うち、ギャップ膜に隣接する一方の磁性膜は、他方の磁
性膜よりも飽和磁束密度が大きいから、ギャップ膜に向
う程、磁束が集中し易くなる。このため、磁界分布及び
再生波形が鋭化される。従って、高密度記録再生が可能
になる。特に媒体流出端側のポールを複数の磁性膜を積
層して構成し、ギャップ膜に隣接する磁性膜を、他の磁
性膜よりも飽和磁束密度が大きく、かつ、厚みが薄い構
造としてあるので、媒体上の磁化分布を決定する媒体流
出端側における磁界強度の傾斜が急峻になり、好まいい
磁気記録が得られる。<Operation> Of the lower magnetic film and the upper magnetic film, at least the upper magnetic film on the medium outflow end side has at least an upper pole formed by laminating a plurality of magnetic films. Since one of the magnetic films adjacent to the gap film has a higher saturation magnetic flux density than the other magnetic film, the magnetic flux tends to concentrate more toward the gap film. Therefore, the magnetic field distribution and the reproduction waveform are sharpened. Therefore, high-density recording / reproduction becomes possible. In particular, the pole on the medium outflow end side is formed by laminating a plurality of magnetic films, and the magnetic film adjacent to the gap film has a structure in which the saturation magnetic flux density is larger than the other magnetic films and the thickness is thin, The gradient of the magnetic field strength on the medium outflow end side that determines the magnetization distribution on the medium becomes steep, and favorable magnetic recording is obtained.
しかも、ギャップ膜に隣接する磁性膜は、他の磁性膜
よりも厚みが薄いから、磁束の集中が一層促進され、磁
界分布及び再生波形が一層鋭化される。特に、厚みT1
1、T12の比（T12/T11）が１＜T12/T11≦25を満たす範囲
では、きわめて小さく、かつ、安定したPW50値を得るこ
とができる。従って、高密度記録再生が可能になる。比
（T12/T11）が上記範囲外となった場合は、PW50値が急
激に大きくなる。Moreover, since the magnetic film adjacent to the gap film is thinner than the other magnetic films, the concentration of the magnetic flux is further promoted, and the magnetic field distribution and the reproduced waveform are sharpened. In particular, thickness T1
When the ratio of 1, T12 (T12 / T11) satisfies 1 <T12 / T11 ≦ 25, an extremely small and stable PW50 value can be obtained. Therefore, high-density recording / reproduction becomes possible. When the ratio (T12 / T11) is out of the above range, the PW50 value sharply increases.
磁束の集中の程度は、ギャップ膜膜に隣接する磁性膜
または積層される他の磁性膜の磁気特性、厚みを選択す
ることによって制御できる。これにより、使用周波数に
合わせて、磁界分布及び再生波形を鋭化できる。The degree of concentration of the magnetic flux can be controlled by selecting the magnetic characteristics and thickness of the magnetic film adjacent to the gap film or another magnetic film to be laminated. Thereby, the magnetic field distribution and the reproduction waveform can be sharpened in accordance with the operating frequency.
ポール端面としての全体の先端厚みは、ポールを構成
する磁性膜の積層構造全体の厚みであるから、優れた書
き込み能力を確保できる。Since the thickness of the entire tip as the pole end face is the thickness of the entire laminated structure of the magnetic films constituting the pole, excellent write performance can be ensured.
＜実施例＞ 第１図は本発明に係る磁気ヘッドのポール部分の構造
とその磁界分布を示す図である。第１図は本発明を概念
的に示す図であり、ギャップＧを間に挟んで向き合う一
対のポールP1、P2を有している、一対のポールP1、P2の
うち、少なくとも媒体流出端側のポールP1は、磁性膜P1
1及び磁性膜P12を積層して構成されている。磁性膜P11
及び磁性膜P12のうち、ギャップＧに隣接する磁性膜P11
は、磁性膜P12よりも飽和磁束密度が大きく、かつ、厚
みT11が磁性膜P12の厚みT12よりも薄くなっている。具
体的には、磁性膜P12をNiFeで構成した場合、磁性膜P11
はCoNbZrで構成する。厚みT11、T12の比（T12/T11）
は、１＜T12/T11≦25を満たすように選定する。<Embodiment> FIG. 1 is a diagram showing a structure of a pole portion of a magnetic head according to the present invention and its magnetic field distribution. FIG. 1 is a view conceptually showing the present invention, and has a pair of poles P1 and P2 facing each other with a gap G interposed therebetween. Pole P1 is magnetic film P1
1 and a magnetic film P12. Magnetic film P11
And the magnetic film P11 adjacent to the gap G among the magnetic films P12.
Has a higher saturation magnetic flux density than the magnetic film P12, and the thickness T11 is smaller than the thickness T12 of the magnetic film P12. Specifically, when the magnetic film P12 is made of NiFe, the magnetic film P11
Is composed of CoNbZr. Ratio of thickness T11, T12 (T12 / T11)
Is selected so as to satisfy 1 <T12 / T11 ≦ 25.
上述のように、ギャップＧを間に挟んで向き合う一対
のポールP1、P2のうち、少なくともポールP1は、複数の
磁性膜P11、P12を積層して構成されており、複数の磁性
膜P11、P12のうち、ギャップＧに隣接する磁性膜P11
は、他の磁性膜P12よりも飽和磁束密度が大きいから、
ギャップＧに向う程、磁束が集中し易くなる。このた
め、磁界分布L2が第１図に示すように鋭化されると共
に、再生波形L1が第２図に示すように鋭化され、PW50値
が小さくなる。従って、高密度記録再生が可能になる。
得に、媒体流出端側のポールP1を複数の磁性膜P11、P12
を積層して構成し、ギャップＧに隣接する磁性膜P11
を、磁性膜P12よりも飽和磁束密度が大きく、かつ、厚
みが薄い構造とした場合、媒体Ｍ上の磁化分布を決定す
る媒体流出端側における磁界強度の傾斜が急峻になり、
好ましい磁気記録が得られる。As described above, of the pair of poles P1 and P2 facing each other with the gap G interposed therebetween, at least the pole P1 is configured by stacking a plurality of magnetic films P11 and P12, and a plurality of magnetic films P11 and P12. Of the magnetic film P11 adjacent to the gap G
Has a higher saturation magnetic flux density than the other magnetic films P12,
The magnetic flux is more likely to concentrate toward the gap G. Therefore, the magnetic field distribution L2 is sharpened as shown in FIG. 1, and the reproduced waveform L1 is sharpened as shown in FIG. 2, so that the PW50 value is reduced. Therefore, high-density recording / reproduction becomes possible.
In particular, the pole P1 on the medium outflow end side is connected to a plurality of magnetic films P11 and P12.
And a magnetic film P11 adjacent to the gap G
In the case where the magnetic flux density is larger than the magnetic film P12 and the structure is thinner, the gradient of the magnetic field strength on the medium outflow end side that determines the magnetization distribution on the medium M becomes steep,
Preferred magnetic recording is obtained.
しかも、ギャップＧに隣接する磁性膜P11は、磁性膜P
12よりも厚みが薄いから、磁束の集中が一層促進され、
磁界分布L2及び再生波形L1が一層鋭化される。PW50値の
改善効果は、厚みT11、T12の比（T12/T11）を１＜T12/T
11≦25を満たすように選定することにより、更に顕著に
なる。Moreover, the magnetic film P11 adjacent to the gap G is
Since the thickness is thinner than 12, the concentration of magnetic flux is further promoted,
The magnetic field distribution L2 and the reproduction waveform L1 are further sharpened. The effect of improving the PW50 value is that the ratio of the thicknesses T11 and T12 (T12 / T11) is 1 <T12 / T
The selection becomes so as to satisfy 11 ≦ 25, which becomes even more remarkable.
第７図は厚みT11、T12の比（T12/T11）とPW50値との
関係を示すデータである。曲線L1は、磁性膜P11としてC
oNbZrを用い、磁性膜P12としてNiFeを用いた場合の特性
である。また、曲線L2は、磁性膜P11としてFeCoを用
い、磁性膜P12としてNiFeを用いた場合の特性である。FIG. 7 is data showing the relationship between the ratio of the thicknesses T11 and T12 (T12 / T11) and the PW50 value. Curve L1 shows C as magnetic film P11.
This is a characteristic when oNbZr is used and NiFe is used as the magnetic film P12. The curve L2 shows the characteristics when FeCo is used as the magnetic film P11 and NiFe is used as the magnetic film P12.
図示するように、厚みT11、T12の比（T12/T11）が１
＜T12/T11≦25を満たす範囲では、PW50値は30nsec以下
のきわめて小さい値で安定する。従って、高密度記録再
生が可能になる。比（T12/T11）が１以下になった場
合、及び、25を越えた場合は、PW50値は急激に大きくな
る。As shown, the ratio of the thicknesses T11 and T12 (T12 / T11) is 1
In a range satisfying <T12 / T11 ≦ 25, the PW50 value is stabilized at an extremely small value of 30 nsec or less. Therefore, high-density recording / reproduction becomes possible. When the ratio (T12 / T11) becomes 1 or less, or when the ratio exceeds 25, the PW50 value rapidly increases.
しかも、第７図の曲線L1、L2を見れば明らかなよう
に、１＜T12/T11≦25を満たす範囲であれば、磁性膜P1
1、P12を構成する磁性材料の違いにかかわらず、PW50値
に関して、同様の低減効果を得ることができる。Moreover, as is clear from the curves L1 and L2 in FIG. 7, if the range satisfying 1 <T12 / T11 ≦ 25 is satisfied, the magnetic film P1
1. Regardless of the difference in the magnetic material constituting P12, the same reduction effect can be obtained for the PW50 value.
また、ポールP1としての全体の先端厚みは、ポールP1
1、P12を構成する磁性膜P11、P12の積層構造全体の厚み
（T11＋T12）であるから、優れた書き込み能力を確保で
きる。The overall tip thickness of the pole P1 is
1. Since the total thickness (T11 + T12) of the laminated structure of the magnetic films P11 and P12 constituting P12, excellent write performance can be secured.
第３図は本発明に係る磁気ヘッドの別の実施例を示す
図である。この実施例では、ポールP2も、磁性膜P21及
び磁性膜P22を積層して構成されている。ギャップＧに
隣接する磁性膜P21は、磁性膜P22よりも飽和磁束密度が
大きく、かつ、厚みT21が磁性膜P22の厚みT22よりも薄
くなっている。厚みの比（T22/T21）は、ポールP1の場
合と同様に、１＜T22/T21≦25の範囲が適当である。第
３図の実施例の場合は、ポールP1、P2の両者において、
磁界分布L2及び再生波形L1が鋭化される。第３図の曲線
L3は従来磁気ヘッドの再生波形である。FIG. 3 is a view showing another embodiment of the magnetic head according to the present invention. In this embodiment, the pole P2 is also formed by laminating the magnetic film P21 and the magnetic film P22. The magnetic film P21 adjacent to the gap G has a larger saturation magnetic flux density than the magnetic film P22, and the thickness T21 is smaller than the thickness T22 of the magnetic film P22. The thickness ratio (T22 / T21) is appropriately in the range of 1 <T22 / T21 ≦ 25 as in the case of the pole P1. In the case of the embodiment of FIG. 3, in both poles P1 and P2,
The magnetic field distribution L2 and the reproduction waveform L1 are sharpened. Fig. 3 curve
L3 is a reproduction waveform of the conventional magnetic head.
第４図は本発明に係る薄膜磁気ヘッドのトランスジュ
ーサ部分の断面図である。１はセラミックで構成された
スライダ基体、２は下部磁性膜、３はアルミナ等でなる
ギャップ膜、４は上部磁性膜、５はコイル膜、６はノボ
ラック樹脂等の有機絶縁樹脂で構成された絶縁膜、７は
アルミナ等の保護膜である。FIG. 4 is a sectional view of a transducer portion of the thin-film magnetic head according to the present invention. 1 is a slider base made of ceramic, 2 is a lower magnetic film, 3 is a gap film made of alumina or the like, 4 is an upper magnetic film, 5 is a coil film, and 6 is an insulating material made of an organic insulating resin such as a novolak resin. The film 7 is a protective film made of alumina or the like.
スライダ基体１はAl2O3−TiC等で構成された本体部10
1の表面にAl2O3等でなる絶縁膜102を設け、この絶縁膜1
02の上に磁気回路を形成してある。下部磁性膜２及び上
部磁性膜４の先端部はアルミナ等でなるギャップ膜を隔
てて対向する下部ポールP2及び上部ポールP1となってお
り、この下部ポールP2及び上部ポールP1において読み書
きを行なう。下部ポールP2及び上部ポールP1は、ギャッ
プ膜３によるギャップＧを介して対向している。上部磁
性膜４は上部ポールP1とは反対側の後方領域において、
結合部40によって下部磁性膜２のヨーク部20と結合され
ている。コイル膜45は結合部40の渦巻状に回るように形
成されている。The slider body 1 is the main body portion 10 constituted by Al 2 O 3 -TiC, etc.
An insulating film 102 made of Al 2 O 3 or the like is provided on the surface of
A magnetic circuit is formed on 02. The distal ends of the lower magnetic film 2 and the upper magnetic film 4 are a lower pole P2 and an upper pole P1 facing each other with a gap film made of alumina or the like therebetween. Reading and writing are performed at the lower pole P2 and the upper pole P1. The lower pole P2 and the upper pole P1 face each other via a gap G formed by the gap film 3. The upper magnetic film 4 is located in a rear region opposite to the upper pole P1.
The yoke part 20 of the lower magnetic film 2 is connected by the connection part 40. The coil film 45 is formed so as to spiral around the joint 40.
下部磁性膜２は、磁性膜P21及び磁性膜P22を積層した
構造となっている。ギャップ膜３に隣接する磁性膜P21
はCoNbZrで構成され、磁性膜P22はNiFeで構成されてい
る。これらの磁性膜P21、P22は下部ポールP2の部分まで
延長して設けられている。ギャップＧに隣接する磁性膜
P21は、厚みが磁性膜P22よりも薄くなっている。The lower magnetic film 2 has a structure in which a magnetic film P21 and a magnetic film P22 are stacked. Magnetic film P21 adjacent to gap film 3
Is composed of CoNbZr, and the magnetic film P22 is composed of NiFe. These magnetic films P21 and P22 are provided to extend to the lower pole P2. Magnetic film adjacent to gap G
P21 is thinner than the magnetic film P22.
上部磁性膜４は磁性膜P11及び磁性膜P12を積層した構
造となっている。ギャップ膜３に隣接する磁性膜P11はC
oNbZrで構成され、磁性膜P12はNiFeで構成されている。
これらの磁性膜P11、P12は上部ポールP1の部分まで延長
して設けられており、上部ポールP1において、磁性膜P1
1及び磁性膜P12を構成している。ギャップＧに隣接する
磁性膜P11は、厚みが磁性膜P12よりも薄くなっている。The upper magnetic film 4 has a structure in which a magnetic film P11 and a magnetic film P12 are stacked. The magnetic film P11 adjacent to the gap film 3 is C
The magnetic film P12 is made of NiFe and the magnetic film P12 is made of NiFe.
These magnetic films P11 and P12 are provided so as to extend to the portion of the upper pole P1.
1 and the magnetic film P12. The thickness of the magnetic film P11 adjacent to the gap G is smaller than that of the magnetic film P12.
第４図では磁性膜P11、P12、P21、P22は、上部磁性膜
４及び下部磁性膜２の全体にわたって設けてあるが、上
部ポールP1及び下部ポールP2の領域に限って設けてもよ
い。In FIG. 4, the magnetic films P11, P12, P21 and P22 are provided over the entire upper magnetic film 4 and the lower magnetic film 2, but may be provided only in the region of the upper pole P1 and the lower pole P2.
＜発明の効果＞ 以上述べたように、本発明によれば、次のような効果
が得られる。<Effects of the Invention> As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained.
（ａ）磁界分布及び再生波形を鋭化し、高密度記録再生
に適した薄膜磁気ヘッドを提供できる。(A) It is possible to provide a thin-film magnetic head suitable for high-density recording and reproduction by sharpening the magnetic field distribution and reproduction waveform.
（ｂ）磁束集中を一層促進し、磁界分布及び再生波形を
一層鋭化した高密度記録再生用の薄膜磁気ヘッドを提供
できる。(B) It is possible to provide a thin-film magnetic head for high-density recording / reproducing in which magnetic flux concentration is further promoted and the magnetic field distribution and reproduction waveform are sharpened.
（ｃ）ギャップ膜膜に隣接する磁性膜または積層される
他の磁性膜の磁気特性、厚みを選択することにより、使
用周波数に合わせて、磁界分布及び再生波形を鋭化し得
る薄膜磁気ヘッドを提供できる。(C) Providing a thin film magnetic head capable of sharpening the magnetic field distribution and reproduction waveform in accordance with the frequency of use by selecting the magnetic characteristics and thickness of a magnetic film adjacent to the gap film or another magnetic film to be laminated. it can.
（ｄ）ポール磁界分布及び再生波形の鋭化と共に、書き
込み能力を確保し、オーバーライト特性の優れた高密度
記録用薄膜磁気ヘッドを提供できる。(D) It is possible to provide a thin-film magnetic head for high-density recording, which has an excellent overwrite characteristic while ensuring the write performance while sharpening the pole magnetic field distribution and the reproduction waveform.
第１図は本発明に係る磁気ヘッドのポール部分の構造と
その磁界分布を示す図、第２図は同じくポール部分の構
造と再生波形とを示す図、第３図は本発明に係る磁気ヘ
ッドのポール部分の別の構造とその再生波形を示す図、
第４図は本発明に係る薄膜磁気ヘッドのトランスジュー
サ部分の断面図、第５図は従来の磁気ヘッドの基本的な
構造と書き込み時の磁界分布を示す図、第６図は従来の
磁気ヘッドとその再生波形を示す図、第７図は厚み比
（T12/T11）とPW50値との関係を示すデータである。 P1、P2……ポール P11、P12……磁性膜 P21、P22……磁性膜 Ｇ……ギャップ膜FIG. 1 is a diagram showing the structure of a pole portion of a magnetic head according to the present invention and its magnetic field distribution, FIG. 2 is a diagram showing the structure of a pole portion and a reproduced waveform, and FIG. 3 is a magnetic head according to the present invention. Diagram showing another structure of the pole portion of the and its reproduction waveform,
FIG. 4 is a sectional view of a transducer portion of the thin-film magnetic head according to the present invention, FIG. 5 is a diagram showing a basic structure of a conventional magnetic head and a magnetic field distribution at the time of writing, and FIG. FIG. 7 shows the reproduced waveform, and FIG. 7 shows data indicating the relationship between the thickness ratio (T12 / T11) and the PW50 value. P1, P2 Pole P11, P12 Magnetic film P21, P22 Magnetic film G Gap film
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−157607（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−216604（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−34707（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−35315（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−308408（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−102712（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−91109（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−256012（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 5/31 Continuation of the front page (56) References JP-A-4-157607 (JP, A) JP-A-2-216604 (JP, A) JP-A-61-34707 (JP, A) JP-A-60-35315 (JP) JP-A-2-308408 (JP, A) JP-A-1-102712 (JP, A) JP-A-3-91109 (JP, A) JP-A-1-256012 (JP, A) (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G11B 5/31
Claims (1)
とを含む薄膜磁気ヘッドであって、 前記スライダ基体は、非磁性材料でなり、媒体対向面側
に空気ベアリング面を有しており、 前記薄膜磁気回路は、下部磁性膜と、上部磁性膜と、ギ
ャップ膜と、コイル膜とを含み、前記スライダ基体の媒
体流出端側の側端面上に形成されており、 前記下部磁性膜及び前記上部磁性膜は、前記空気ベアリ
ング面側の端部が、前記ギャップ膜を間に挟んで向き合
う下部ポール及び上部ポールを構成し、前記下部ポール
及び上部ポールとは反対側の後方部が互いに結合され後
方結合部を構成しており、 前記コイル膜は、絶縁膜によって支持され、前記後方結
合部の周りをうず巻き状に回るように形成されており、 前記保護膜は、非磁性材料でなり、前記薄膜磁気回路の
全体を覆っており、 前記下部磁性膜及び前記上部磁性膜の内、少なくとも媒
体流出端側となる前記上部磁性膜は、少なくとも前記上
部ポールが複数の磁性膜を積層して構成されており、 前記複数の磁性膜のうち、前記ギャップ膜に隣接する一
方の磁性膜は、他方の磁性膜よりも飽和磁束密度が大き
く、かつ、厚みが薄くなっており、 前記ギャップ膜に隣接する前記一方の磁性膜の厚みをT1
1とし、前記他方の磁性膜の厚みをT12としたとき、前記
厚みT11、T12の比（T12/T11）は、T12/T11＝４を除き、
１＜T12/T11≦25を満たす薄膜磁気ヘッド。1. A thin-film magnetic head including a slider base, a thin-film magnetic circuit, and a protective film, wherein the slider base is made of a non-magnetic material, and has an air bearing surface on a medium facing surface side. The thin-film magnetic circuit includes a lower magnetic film, an upper magnetic film, a gap film, and a coil film, and is formed on a side surface of the slider base on the medium outflow end side; The upper magnetic film has an end on the air bearing surface side forming a lower pole and an upper pole facing each other with the gap film interposed therebetween, and a rear portion opposite to the lower pole and the upper pole is coupled to each other. The coil film is supported by an insulating film, is formed so as to spiral around the rear coupling portion, the protective film is made of a non-magnetic material, Said The upper magnetic film, which covers the entire film magnetic circuit and is at least the medium outflow end side of the lower magnetic film and the upper magnetic film, is configured by stacking a plurality of magnetic films at least in the upper pole. One magnetic film adjacent to the gap film among the plurality of magnetic films has a larger saturation magnetic flux density than the other magnetic film, and has a smaller thickness, and is adjacent to the gap film. The thickness of the one magnetic film is T1
1, and when the thickness of the other magnetic film is T12, the ratio of the thicknesses T11 and T12 (T12 / T11) is, except for T12 / T11 = 4,
Thin film magnetic head that satisfies 1 <T12 / T11 ≦ 25.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2290327A JP3051150B2 (en) | 1990-10-26 | 1990-10-26 | Thin film magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2290327A JP3051150B2 (en) | 1990-10-26 | 1990-10-26 | Thin film magnetic head |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04163707A JPH04163707A (en) | 1992-06-09 |
| JP3051150B2 true JP3051150B2 (en) | 2000-06-12 |
Family
ID=17754641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2290327A Expired - Lifetime JP3051150B2 (en) | 1990-10-26 | 1990-10-26 | Thin film magnetic head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3051150B2 (en) |
-
1990
- 1990-10-26 JP JP2290327A patent/JP3051150B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04163707A (en) | 1992-06-09 |
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