JP3041408B2 - Optical microscope sample mounting substrate, optical microscope, and observation method using sample illumination using the same - Google Patents
Optical microscope sample mounting substrate, optical microscope, and observation method using sample illumination using the sameInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、光学顕微鏡試料載
置用基板、それを用いた光学顕微鏡及びそれを用いた試
料照明による観察方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical microscope sample mounting substrate, an optical microscope using the same, and an observation method using a sample illumination using the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】光学顕微鏡における試料の照明方法の一
つに、反射プリズムを用いた全反射法がある。この方法
は、図２に示すように、反射プリズム２１の上に試料２
２を置き、反射プリズム２１の下方より光を全反射条件
でプリズム内に導入し、試料部位を照射するものであ
る。つまり、反射プリズム２１の下方から反射プリズム
２１に入射した光は、試料の載っている面で全反射し
て、反射プリズム２１の下方に出射する。なお、図中２
３は光学顕微鏡、２４は対物レンズ、ｄは作動距離であ
る。この方法では、試料２２には直接光は照射されない
が、全反射する面で生じるエバネッセント光により、そ
の面にごく近接した試料２２の下面のみが照射される。
この照明方法は、試料とプリズムの界面において試料の
ごく薄い層のみを選択して照明することができることか
ら、細胞等のガラス面への粘着の様子や極めて微小な粒
子の観察をすることができるといった特長がある。2. Description of the Related Art One method of illuminating a sample in an optical microscope is a total reflection method using a reflecting prism. In this method, as shown in FIG.
2, the light is introduced into the prism from below the reflecting prism 21 under the condition of total reflection to irradiate the sample portion. That is, light incident on the reflecting prism 21 from below the reflecting prism 21 is totally reflected on the surface on which the sample is mounted, and exits below the reflecting prism 21. Note that 2 in the figure
3 is an optical microscope, 24 is an objective lens, and d is a working distance. In this method, the sample 22 is not directly irradiated with the light, but only the lower surface of the sample 22 which is very close to the surface is illuminated by the evanescent light generated on the totally reflecting surface.
With this illumination method, only a very thin layer of the sample can be selected and illuminated at the interface between the sample and the prism, so that it is possible to observe the state of adhesion to the glass surface of cells and the like and extremely small particles. There are such features.
【０００３】しかしながら、上記従来の全反射法による
試料照明による観察方法には以下のような問題点があっ
た。 (1)通常の光学顕微鏡では、反射プリズムを置くための
十分なスペースがないため、この照明方法を通常の顕微
鏡に適用することはできない。この照明方法を適用する
ためには、特別な設計をすることが必要となる。 (2)倒立型の光学顕微鏡では、対物レンズの作動距離が
通常数ｍｍ〜１０ｍｍ程度 と小さいため、反射プリズ
ムの設置は不可能か、極めて困難なものとなる。特に高
倍率の対物レンズを用いたものでは、作動距離が１ｍｍ
以下と極めて小さいため、この照明方法は適用できな
い。また反射プリズムを逆さまに置く事も考えられる
が、その場合は反射プリズム上に試料を載せることがで
きない。[0003] However, the above-mentioned conventional observation method using sample illumination by the total reflection method has the following problems. (1) In an ordinary optical microscope, this illumination method cannot be applied to an ordinary microscope because there is not enough space for placing a reflecting prism. In order to apply this lighting method, a special design is required. (2) In an inverted optical microscope, the working distance of the objective lens is usually as small as about several mm to 10 mm, so that it is impossible or extremely difficult to install a reflecting prism. In particular, when using a high magnification objective lens, the working distance is 1 mm.
This illumination method cannot be applied because it is extremely small as follows. It is also conceivable to place the reflecting prism upside down, but in that case, the sample cannot be placed on the reflecting prism.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
従来技術の実情に鑑みてなされたもので、極めて狭い設
置スペースでも全反射法による試料照明を可能とし、極
めて薄い試料や、界面の現象、極微小粒子などをコント
ラストよく、しかも簡便に観察することを可能とする光
学顕微鏡試料載置用基板、光学顕微鏡及び試料照明によ
る観察方法を提供することをその課題とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances of the prior art, and enables illumination of a sample by the total reflection method even in an extremely small installation space. It is an object of the present invention to provide an optical microscope sample mounting substrate, an optical microscope, and an observation method using a sample illumination, which enable easy observation of phenomena, ultrafine particles, and the like with good contrast.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記課題
を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、本発明を完成する
に至った。即ち、本発明によれば、以下の発明が提供さ
れる。試料載置用基板の少なくとも一部にスラブ光導波
路層が形成されており、スラブ光導波路層に全反射条件
で光を導入することにより、スラブ光導波路層を含む基
板上に載置された試料にエバネッセント光を照射できる
試料載置用基板であって、基板上に載置された試料によ
り生ずる散乱する光又は試料より発する光による像を対
物レンズにより結像させることにより、その像を観察す
ることができる光学顕微鏡に用いられるものであること
を特徴とする、試料により生ずる散乱する光又は試料か
ら発する光による像を対物レンズにより結像させること
によりその像を観察する光学顕微鏡試料載置用基板。試
料載置用基板の少なくとも一部にスラブ光導波路層が形
成されており、スラブ光導波路層に全反射条件で光を導
入し、スラブ光導波路層を含む基板上に載置された試料
にエバネッセント光を照射できる、請求項１記載の光学
顕微鏡試料載置用基板、及び基板上に載置された試料に
より生ずる散乱する光又は試料より発する光による像を
結像させることができる対物レンズを有することを特徴
とする、試料により生ずる散乱する光又は試料から発す
る光による像を対物レンズにより結像させる光学顕微
鏡。少なくとも一部にスラブ光導波路層が形成されてい
る試料載置用基板のスラブ光導波路層に全反射条件で光
を導入し、スラブ光導波路層を含む試料載置用基板上に
載置された試料にエバネッセント光を照射し、試料によ
り生ずる散乱する光又は試料から発する光による像を対
物レンズにより結像させて観察することを特徴とする、
試料より散乱する光又は試料より発する光による像を対
物レンズによ って結像させてその像を観察する光学顕微
鏡による試料観察方法。Means for Solving the Problems The present inventors have conducted intensive studies to solve the above-mentioned problems, and as a result, have completed the present invention. That is, according to the present invention, the following inventions are provided. A slab optical waveguide layer is formed on at least a part of the sample mounting substrate, and the slab optical waveguide layer has a total reflection condition.
Introducing light at
Evanescent light can be applied to a sample placed on a plate
A substrate for mounting a sample, the sample being mounted on the substrate.
Image due to scattered light generated from the sample or light emitted from the sample.
Observing the image by forming an image with an object lens
To be used for optical microscopes
Scattered light or sample produced by the sample, characterized by
To form an image by light emitted from the objective lens
An optical microscope sample mounting substrate for observing the image . Trial
The slab optical waveguide layer is formed on at least a part of the substrate
And guides light to the slab optical waveguide layer under total internal reflection conditions.
Sample placed on a substrate containing a slab optical waveguide layer
The substrate for mounting an optical microscope sample according to claim 1, wherein the substrate can be irradiated with evanescent light , and the sample mounted on the substrate.
Image generated by scattered light or light emitted from the sample
Having an objective lens capable of being imaged, scattered light produced by the sample or emanating from the sample
An optical microscope that forms an image with light through an objective lens . A slab optical waveguide layer is formed at least partially.
That the slab optical waveguide layer of the sample mounting substrate introducing light by the total reflection conditions, irradiating evanescent light to the placed sample into the sample mounting substrate including a slab optical waveguide layer, caused by the sample scattering versus an image by light emitted from the light or the sample to
It is characterized by forming an image with an object lens and observing it.
An image formed by light scattered from the sample or emitted from the sample
Optical microscope to observe the image by image I by the object lens
Specimen observation method using a mirror .
【０００６】[0006]
【発明の実施の形態】本発明の試料により生ずる散乱す
る光又は試料から発する光による像を対物レンズにより
結像させることによりその像を観察する光学顕微鏡試料
載置用基板は、少なくとも一部がスラブ光導波路層に形
成されていることを特徴とする。ここでスラブ光導波路
層とは、周囲より屈折率の高い層であって、全反射条件
で光を該層の中に導入したときに光を該層の中に閉じこ
めて伝達させる層のことをいう。すなわち、スラブ光導
波路層に光を全反射条件で導入すると、光は該層の上
（表）及び下（裏）界面で全反射して進むようになる。
このスラブ光導波路層の形態としては、 １．透明基板の上に該透明基板より屈折率の高い透明薄
層を設けたもの ２．透明基板の表面に加工をして表面付近の屈折率のみ
を高めたもの ３．単なる透明基板であるが十分薄いため上記のような
機能を有するものDETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Scattering caused by the sample of the present invention
Light or light emitted from the sample
An optical microscope sample mounting substrate for observing the image by forming an image is characterized in that at least a part thereof is formed on the slab optical waveguide layer. Here, the slab optical waveguide layer is a layer having a higher refractive index than the surroundings, and is a layer that transmits light by confining light in the layer when light is introduced into the layer under total internal reflection conditions. Say. That is, when light is introduced into the slab optical waveguide layer under the condition of total reflection, the light is totally reflected at the upper (front) and lower (back) interfaces of the layer and proceeds.
The form of the slab optical waveguide layer is as follows. 1. A transparent thin layer having a higher refractive index than the transparent substrate is provided on a transparent substrate. 2. The surface of the transparent substrate is processed to increase only the refractive index near the surface. It is a mere transparent substrate but has the above functions because it is thin enough
【０００７】上記第１の形態において、透明基板として
は、ガラス板、石英板、プラスチック板などの透明な薄
板が使用可能である。透明基板の上に設ける透明薄層に
使用する材料としては、石英、サファイア、チタニア、
ポリスチレン、重フリントガラス等が使用可能である。
透明基板と屈折率が透明基板より高い透明薄層の組み合
わせとしては、例えばフッ化マグネシウム基板と石英薄
層、サファイア基板と石英薄層、ソーダガラス基板とポ
リスチレン薄層、ソーダガラス基板と重フリントガラス
薄層等を挙げることができる。透明基板の上の屈折率の
高い透明薄層の厚さは０．００１〜０．１ｍｍ、好まし
くは０．０５〜０．１ｍｍ程度である。また、全体の厚
さは０．１〜２ｍｍ、好ましくは０．２〜０．５ｍｍ程
度である。透明薄層は透明基板上にゾル−ゲル法、ＣＶ
Ｄ法、スピンコート法、スパッタリング法などの方法を
用いて形成することができる。In the first embodiment, a transparent thin plate such as a glass plate, a quartz plate, and a plastic plate can be used as the transparent substrate. Materials used for the transparent thin layer provided on the transparent substrate include quartz, sapphire, titania,
Polystyrene, heavy flint glass and the like can be used.
Examples of the combination of the transparent substrate and the transparent thin layer having a higher refractive index than the transparent substrate include a magnesium fluoride substrate and a quartz thin layer, a sapphire substrate and a quartz thin layer, a soda glass substrate and a polystyrene thin layer, a soda glass substrate and a heavy flint glass. A thin layer and the like can be mentioned. The thickness of the transparent thin layer having a high refractive index on the transparent substrate is about 0.001 to 0.1 mm, preferably about 0.05 to 0.1 mm. The total thickness is about 0.1 to 2 mm, preferably about 0.2 to 0.5 mm. The transparent thin layer is formed on a transparent substrate by the sol-gel method, CV
It can be formed by a method such as a D method, a spin coating method, and a sputtering method.
【０００８】上記第２の形態としては、例えばソーダガ
ラスの表面のナトリウムイオンをカリウムイオンやタリ
ウムイオンといった高屈折率化を起こすものでイオン交
換して高屈折率化した表面層を有するものを挙げること
ができる。この場合、表面層の厚さは０．５μｍ〜０．
１ｍｍ、好ましくは１〜１０μｍであり、全体の厚さは
０．１〜２ｍｍ、好ましくは０．２〜０．５ｍｍであ
る。In the second embodiment, for example, sodium ion on the surface of soda glass having a high refractive index such as potassium ion or thallium ion having a high refractive index by ion exchange is used. be able to. In this case, the thickness of the surface layer is 0.5 μm to 0.1 μm.
The thickness is 1 mm, preferably 1 to 10 μm, and the total thickness is 0.1 to 2 mm, preferably 0.2 to 0.5 mm.
【０００９】上記第３の形態としては、石英、ソーダガ
ラス、プラスチック等の薄板のみのものが使用可能であ
る。この場合、薄板の厚さは０．０１〜２ｍｍ、好まし
くは０．０５〜０．２ｍｍ程度である。As the third embodiment, a thin plate made of only quartz, soda glass, plastic or the like can be used. In this case, the thickness of the thin plate is about 0.01 to 2 mm, preferably about 0.05 to 0.2 mm.
【００１０】本発明では、上記のような構成を有する試
料により生ずる散乱する光又は試料から発する光による
像を対物レンズにより結像させることによりその像を観
察する光学顕微鏡試料載置用基板を用い、全反射により
該基板上の試料の照射を行う。この照射法の概念図を図
１に示す。図中１は光学顕微鏡試料載置用基板、２は透
明基板、３はスラブ光導波路層（透明薄層）、４は空
気、５は試料、６は光学顕微鏡、７は対物レンズであ
る。図１に示すように、顕微鏡試料載置用基板１のスラ
ブ光導波路層３の上に試料５を載せ、スラブ光導波路層
３の内部に全反射条件で光を導入する。すると、光はス
ラブ光導波路層３と空気４との界面で全反射し、これに
よりスラブ光導波路層３の表面にはエバネッセント光が
発生し、このエバネッセント光が、スラブ光導波路層３
上に滲み出す。エバネッセント光の滲み出し深さは、光
の波長と同程度かあるいはその数分の一と極めて浅いた
め、スラブ光導波路層３表面のごく近傍に置かれた部分
のみが選択的に照明されることとなる。その結果、試料
より散乱する光又は試料より発する光を観察する。従っ
て、設置スペースが極めて狭い場合であっても、極めて
薄い試料や微小な粒子試料などに対する全反射による光
照射を簡便かつ効率的に、しかもコントラストよく行う
ことが可能となる。According to the present invention, a test having the above-described configuration is provided.
Due to scattered light generated by the sample or light emitted from the sample
The image is viewed by forming the image with an objective lens.
Using an optical microscope sample mounting substrate to be observed, the sample on the substrate is irradiated by total reflection. FIG. 1 shows a conceptual diagram of this irradiation method. In the figure, 1 is an optical microscope sample mounting substrate, 2 is a transparent substrate, 3 is a slab optical waveguide layer (transparent thin layer), 4 is air, 5 is a sample, 6 is an optical microscope, and 7 is an objective lens. As shown in FIG. 1, a sample 5 is placed on the slab optical waveguide layer 3 of the microscope sample mounting substrate 1, and light is introduced into the slab optical waveguide layer 3 under the condition of total reflection. Then, the light is totally reflected at the interface between the slab optical waveguide layer 3 and the air 4, whereby evanescent light is generated on the surface of the slab optical waveguide layer 3, and the evanescent light is transmitted to the slab optical waveguide layer 3.
Oozing up. Since the bleeding depth of the evanescent light is substantially the same as the wavelength of the light or a fraction thereof, it is necessary to selectively illuminate only the portion located very close to the surface of the slab optical waveguide layer 3. Becomes As a result, light scattered from the sample or light emitted from the sample is observed. Therefore, even when the installation space is extremely small, it is possible to easily, efficiently, and provide high contrast light irradiation to an extremely thin sample, a minute particle sample, or the like.
【００１１】本発明で、試料を照明するのに使用する光
源としては、アルゴンイオンレーザー、ヘリウムカドミ
ウムイオンレーザー等のレーザー；キセノンランプ；水
銀ランプ等を用いることができる。また、スラブ光導波
路層へ光を導入する方法としては、レンズ、プリズム、
グレーティング等、あるいはこれらを組み合わせたもの
を利用した導入法を用いることができる。In the present invention, as a light source used for illuminating the sample, a laser such as an argon ion laser or a helium cadmium ion laser; a xenon lamp; a mercury lamp; As a method of introducing light into the slab optical waveguide layer, a lens, a prism,
An introduction method using a grating or the like or a combination thereof can be used.
【００１２】ここで、具体的な光導入方法のいくつか例
を図面を参照して説明する。図３〜図５は通常の光学顕
微鏡に本発明の試料載置用基板を適用した場合の光導入
方法である。図３は、光源８からの光をレンズ９により
スラブ光導波路層３の端面に集光し、光を導入する例で
ある。図４は、スラブ光導波路層３の端面にセルフォッ
クレンズ（商品名：日本板硝子社）１０を押し当て、セ
ルフォックレンズ１０を通して光源８からの光を絞っ
て、光を導入する例である。図５は、スラブ光導波路層
３の端面にプリズム１１を押し当てるとともに、レンズ
１２を用いて光を導入する例である。Here, some examples of specific light introducing methods will be described with reference to the drawings. 3 to 5 show a light introducing method when the sample mounting substrate of the present invention is applied to a normal optical microscope. FIG. 3 shows an example in which light from a light source 8 is condensed on an end face of a slab optical waveguide layer 3 by a lens 9 and light is introduced. FIG. 4 shows an example in which a SELFOC lens (trade name: Nippon Sheet Glass Co., Ltd.) 10 is pressed against the end face of the slab optical waveguide layer 3 and light from the light source 8 is narrowed through the SELFOC lens 10 to introduce light. FIG. 5 shows an example in which the prism 11 is pressed against the end face of the slab optical waveguide layer 3 and light is introduced using the lens 12.
【００１３】図６は、スラブ光導波路層３の上にプリズ
ム１３を設け、このプリズム１３を利用してスラブ光導
波路層３に光を導入する例である。図７は、スラブ光導
波路層３の下にプリズム１４を設け、このプリズム１４
を利用してスラブ光導波路層３に光を導入する例であ
る。この場合、プリズム１４は光学顕微鏡の載物台１５
に組み込むことが可能であり、試料の扱いが容易とな
る。FIG. 6 shows an example in which a prism 13 is provided on the slab optical waveguide layer 3 and light is introduced into the slab optical waveguide layer 3 using the prism 13. FIG. 7 shows that a prism 14 is provided under the slab optical waveguide layer 3 and this prism 14
This is an example in which light is introduced into the slab optical waveguide layer 3 by utilizing the above. In this case, the prism 14 is mounted on the stage 15 of the optical microscope.
The sample can be easily handled.
【００１４】本発明は、けい光顕微鏡における照明にも
利用可能であり、特に有用である。即ち、従来のけい光
顕微鏡では、透過型、反射型に関わらず、厚み方向に関
しては試料全体を照明しているため、厚みが大きな試料
では、試料全体の照明によりコントラストが著しく低下
していた。また、従来、けい光顕微鏡では、けい光励起
用の専用の照明光学系を組み込むことが必須であり、け
い光顕微鏡でない顕微鏡を後でけい光顕微鏡とすること
は困難であった。ところが、本発明によれば、上記構成
としたことから、スラブ光導波路層の上に載せた試料の
ごく薄い部分のみを選択的にコントラストよく照明する
ことが可能となる。また、本発明によれば、けい光用な
どの照明装置が付いていない通常の顕微鏡にも後から容
易に照明装置を組み込むことが可能となる。The present invention is applicable to illumination in a fluorescence microscope and is particularly useful. That is, in the conventional fluorescence microscope, the entire sample is illuminated in the thickness direction irrespective of the transmission type or the reflection type. Therefore, in the case of a sample having a large thickness, the contrast is significantly reduced due to the illumination of the entire sample. Conventionally, in a fluorescence microscope, it is essential to incorporate a dedicated illumination optical system for excitation of fluorescence, and it has been difficult to use a microscope other than the fluorescence microscope later as the fluorescence microscope. However, according to the present invention, because of the above configuration, it is possible to selectively illuminate only a very thin portion of the sample placed on the slab optical waveguide layer with high contrast. Further, according to the present invention, it is possible to easily incorporate the illumination device later into a normal microscope having no illumination device for fluorescent light or the like.
【００１５】また、本発明は、作動距離の短く開口数
（ＮＡ）の大きなレンズを必要とする倒立型顕微鏡によ
る高倍率の観察にも容易に適用が可能である。The present invention can be easily applied to high-magnification observation with an inverted microscope requiring a lens having a short working distance and a large numerical aperture (NA).
【００１６】[0016]
【実施例】次に本発明の実施例を述べる。Next, embodiments of the present invention will be described.
【００１７】実施例１ 厚さ１．０ｍｍ、屈折率１．５１６（ＮａのＤ線（５８
９．３ｎｍ）に対する値、以下同様）のソーダガラスか
らなるスライドグラスを４００℃の硝酸カリウム浴に６
０分間漬け、イオン交換された表面層（厚さ約３μｍ、
屈折率１．５２０）を形成し、本発明による顕微鏡試料
載置用基板とした。光源にはアルゴンイオンレーザー
（波長：４８８ｎｍ）を用い、図４の光導入法により、
上記で作成した光学顕微鏡試料載置用基板の表面層（ス
ラブ光導波路層）の上にけい光試料を載せ、該スラブ光
導波路面層の端面から光を全反射条件で導入し、顕微鏡
観察を行った（倍率２０倍、レーザー光除去用フィルタ
ー使用）。その結果、けい光試料が、該スラブ光導波路
層の表面に生じたエバネッセント光により励起され、コ
ントラストよく観察をすることができた。Example 1 A thickness of 1.0 mm and a refractive index of 1.516 (D line of Na (58
9.3 nm), the same applies hereinafter) to a slide glass made of soda glass in a potassium nitrate bath at 400 ° C.
Soaked for 0 minutes, ion-exchanged surface layer (thickness about 3 μm,
A refractive index of 1.520) was formed to obtain a microscope sample mounting substrate according to the present invention. An argon ion laser (wavelength: 488 nm) was used as a light source.
A fluorescent sample is placed on the surface layer (slab optical waveguide layer) of the optical microscope sample mounting substrate prepared above, and light is introduced from the end face of the slab optical waveguide surface layer under the condition of total reflection, and observation with a microscope is performed. (20 times magnification, using a filter for removing laser light). As a result, the fluorescent sample was excited by the evanescent light generated on the surface of the slab optical waveguide layer, and observation was performed with good contrast.
【００１８】実施例２ 厚さ１００μｍ、屈折率１．４６の石英薄板を本発明に
よる光学顕微鏡試料載置用基板とした。光源にはヘリウ
ムカドミウムイオンレーザー（波長：４４２ｎｍ）を用
い、図６の光導入法により、上記で作成した光学顕微鏡
試料載置用基板の表面層（スラブ光導波路層）の上に植
物の表皮を試料として載せ、該スラブ光導波路面層の端
面から光を全反射条件で導入し、顕微鏡観察を行った
（倍率１０倍、赤色フィルター使用）。その結果、試料
のスラブ光導波路層に接した面のけい光像がコントラス
トよく観察できた。Example 2 A quartz thin plate having a thickness of 100 μm and a refractive index of 1.46 was used as a substrate for mounting an optical microscope sample according to the present invention. Using a helium cadmium ion laser (wavelength: 442 nm) as a light source, the epidermis of a plant was placed on the surface layer (slab optical waveguide layer) of the substrate for mounting an optical microscope sample prepared above by the light introduction method shown in FIG. The sample was placed as a sample, light was introduced from the end face of the slab optical waveguide surface layer under total reflection conditions, and observed under a microscope (magnification: 10 times, use of a red filter). As a result, a fluorescent image of the surface of the sample in contact with the slab optical waveguide layer was observed with good contrast.
【００１９】[0019]
【発明の効果】本発明によれば、上記構成を採用したの
で、設置スペースが極めて狭い場合であっても、極めて
薄い試料や微小な粒子試料などに対する全反射による光
照射を簡便かつ効率的に、しかもコントラストよく行う
ことが可能となる。また、本発明は、けい光顕微鏡や倒
立型顕微鏡にも容易に適用可能である。According to the present invention, since the above configuration is employed, even when the installation space is extremely narrow, light irradiation by total reflection on an extremely thin sample or a fine particle sample can be simply and efficiently performed. In addition, it is possible to perform the operation with good contrast. Further, the present invention can be easily applied to a fluorescence microscope and an inverted microscope.
【図１】本発明による試料照明方法の概念図である。FIG. 1 is a conceptual diagram of a sample illumination method according to the present invention.
【図２】反射プリズムを用いた全反射法による試料照明
方法の説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram of a sample illumination method by a total reflection method using a reflection prism.
【図３】スラブ光導波路に光を導入する方法の一例を示
す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating an example of a method for introducing light into a slab optical waveguide.
【図４】スラブ光導波路に光を導入する方法の別の例を
示す図である。FIG. 4 is a diagram showing another example of a method for introducing light into a slab optical waveguide.
【図５】スラブ光導波路に光を導入する方法のさらに別
の例を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing still another example of a method for introducing light into a slab optical waveguide.
【図６】スラブ光導波路に光を導入する方法のさらに別
の例を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing still another example of a method for introducing light into a slab optical waveguide.
【図７】スラブ光導波路に光を導入する方法のさらに別
の例を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing still another example of a method for introducing light into a slab optical waveguide.
１ 光学顕微鏡試料載置用基板 ２ 透明基板 ３ スラブ光導波路層（透明薄層） ４ 空気 ５ 試料 ６ 光学顕微鏡 ７ 対物レンズ ８ 光源 ９ レンズ １０ セルフォック
レンズ １１、１３、１４ プリズム １２ レンズ １４ 載物台Reference Signs List 1 optical microscope sample mounting substrate 2 transparent substrate 3 slab optical waveguide layer (transparent thin layer) 4 air 5 sample 6 optical microscope 7 objective lens 8 light source 9 lens 10 selfoc lens 11, 13, 14 prism 12 lens 14 Table
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｇ０２Ｂ 21/06 Ｇ０２Ｂ 6/12 Ａ (56)参考文献 特開 平７−218516（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−220112（ＪＰ，Ａ) 国際公開95／10060（ＷＯ，Ａ１) ＡＰＰＬＩＥＤ ＯＰＴＩＣＳ，１ ＡＵＧＵＳＴ 1981，Ｖｏｌ．20，Ｎ ｏ．15，ｐ．2656−2664 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 21/00 - 21/36 G01N 37/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI G02B 21/06 G02B 6/12 A (56) References JP-A-7-218516 (JP, A) JP-A 8-220112 ( JP, A) International Publication WO 95/1060 (WO, A1) APPLIED OPTICS, 1 AUGUST 1981, Vol. 20, No. 15, p. 2656-2664 (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G02B 21/00-21/36 G01N 37/00
Claims (3)
光導波路層が形成されており、スラブ光導波路層に全反
射条件で光を導入することにより、スラブ光導波路層を
含む基板上に載置された試料にエバネッセント光を照射
できる試料載置用基板であって、基板上に載置された試
料により生ずる散乱する光又は試料より発する光による
像を対物レンズにより結像させることにより、その像を
観察することができる光学顕微鏡に用いられるものであ
ることを特徴とする、試料により生ずる散乱する光又は
試料から発する光による像を対物レンズにより結像させ
ることによりその像を観察する光学顕微鏡試料載置用基
板。1. A slab optical waveguide layer is formed on at least a part of a sample mounting substrate, and the slab optical waveguide layer is entirely opposed to the slab optical waveguide layer.
By introducing light under the launch conditions, the slab optical waveguide layer
Irradiates evanescent light to the sample placed on the substrate
A sample mounting substrate that can be mounted on a substrate.
Due to scattered light generated by the sample or light emitted from the sample
By forming an image with an objective lens, the image is
Used for optical microscopes that can be observed
Scattering light generated by the sample, or
The image formed by the light emitted from the sample is formed by the objective lens.
An optical microscope sample mounting substrate for observing the image .
光導波路層が形成されており、スラブ光導波路層に全反
射条件で光を導入し、スラブ光導波路層を含む基板上に
載置された試料にエバネッセント光を照射できる、請求
項１記載の光学顕微鏡試料載置用基板、及び基板上に載
置された試料により生ずる散乱する光又は試料より発す
る光による像を結像させることができる対物レンズを有
することを特徴とする、試料により生ずる散乱する光又
は試料から発する光による像を対物レンズにより結像さ
せる光学顕微鏡。2. A slab is provided on at least a part of the sample mounting substrate.
An optical waveguide layer is formed, and the slab optical waveguide layer is
Light is introduced under the irradiation conditions, and is placed on the substrate including the slab optical waveguide layer.
2. The substrate for mounting an optical microscope sample according to claim 1, wherein the mounted sample can be irradiated with evanescent light.
Scattered light generated by the placed sample or emitted from the sample
Has an objective lens that can form an image
Characterized in that it also light scattering caused by the sample
Is an image formed by the objective lens.
Optical microscope to.
されている試料載置用基板のスラブ光導波路層に全反射
条件で光を導入し、スラブ光導波路層を含む試料載置用
基板上に載置された試料にエバネッセント光を照射し、
試料により生ずる散乱する光又は試料から発する光によ
る像を対物レンズにより結像させて観察することを特徴
とする、試料より散乱する光又は試料より発する光によ
る像を対物レンズによって結像させてその像を観察する
光学顕微鏡による試料観察方法。3. A slab optical waveguide layer is formed at least partially.
By introducing light by the total reflection conditions in the slab optical waveguide layer of the sample mounting substrate is, by irradiating evanescent light to the sample placed on the sample mounting substrate including a slab optical waveguide layer,
An image formed by scattered light generated from the sample or light emitted from the sample is formed by an objective lens for observation, and characterized by light scattered from the sample or light emitted from the sample.
Observed image formed by objective lens
Sample observation method using an optical microscope .
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP7157696A JP3041408B2 (en) | 1996-03-27 | 1996-03-27 | Optical microscope sample mounting substrate, optical microscope, and observation method using sample illumination using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7157696A JP3041408B2 (en) | 1996-03-27 | 1996-03-27 | Optical microscope sample mounting substrate, optical microscope, and observation method using sample illumination using the same |
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| JPH09258108A JPH09258108A (en) | 1997-10-03 |
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108786942A (en) * | 2018-06-15 | 2018-11-13 | 京东方科技集团股份有限公司 | Micro-fluidic chip, micro fluidic device and its control method |
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-
1996
- 1996-03-27 JP JP7157696A patent/JP3041408B2/en not_active Expired - Lifetime
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|---|
| ＡＰＰＬＩＥＤ ＯＰＴＩＣＳ，１ ＡＵＧＵＳＴ １９８１，Ｖｏｌ．２０，Ｎｏ．１５，ｐ．２６５６−２６６４ |
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