JP3034293U - Air cylinder - Google Patents

Air cylinder

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JP3034293U
JP3034293U JP1996007617U JP761796U JP3034293U JP 3034293 U JP3034293 U JP 3034293U JP 1996007617 U JP1996007617 U JP 1996007617U JP 761796 U JP761796 U JP 761796U JP 3034293 U JP3034293 U JP 3034293U
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Japan
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dust
air cylinder
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air
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紀夫 関
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 シリンダーロッドの摺動による発塵が外部に
飛散しての外部環境の汚染を防止し、クリーンなエアー
シリンダーを提供することにある。 【解決手段】 エアーシリンダーにおいて、ロッドカバ
ー5の外側に集塵ポケットを設け、集塵ポケットに通じ
る排気ポート3を通じて発塵を吸引除去する。これによ
り、クリーンなエアーシリンダーを提供できる。
(57) 【Abstract】 PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a clean air cylinder by preventing dust generated by sliding of a cylinder rod from scattering to the outside and polluting the external environment. SOLUTION: In an air cylinder, a dust collecting pocket is provided outside a rod cover 5, and dust is sucked and removed through an exhaust port 3 communicating with the dust collecting pocket. This can provide a clean air cylinder.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】[0001]

【考案の属する技術分野】[Technical field to which the invention belongs]

本案はハイレベルのクリーン度が要求される環境で使用されるエアーシリンダ ーに関する。 This proposal relates to an air cylinder used in an environment where a high level of cleanliness is required.

【0002】[0002]

【従来の技術】 エアーシリンダーの発塵対策は主 たる発生源である潤滑グリスの選択による低発塵化と,発生した塵がクリーンル ームに拡散される前にいかに排除するかの2面から対策がとられる。前者は通常 環境用(以下通常タイプと呼称)エアーシリンダーの潤滑剤として使用されるリ チュウム石鹸系グリスに変えて,低発塵性のふっ素系のグリスを用いる。後者に ついては構造上の工夫をしており,その構造は2つのタイプに大別される。以下 に従来例ををもちいて説明する。〔タイプ1〕(第3図に示す)は, シリンダ ーカバー5にパッキン1Aとパッキン1Bを設け,其の間を集塵エリア2とする 。集塵エリア2には排塵ポート3を配置し,シリンダ室7Bから漏れる発塵を含 むエアーを排気管14を通して室外へ排除する。この場合の排気は集塵エリア2 と排気管14末端の間に気圧差をつけない自然排気である。〔タイプ2〕(第4 図に示す)は,パッキン1Bを取り外した状態で廃塵ポート3からエジェクタ1 5等を用いて発塵を強制的に吸引排除て外部環境への発散を防止しようとするも のである。2. Description of the Related Art Countermeasures for dust generation in air cylinders are two aspects: low dust generation by selecting lubricating grease, which is the main source, and how to eliminate the dust before it diffuses into the clean room. Take measures from. For the former, low dust generation fluorine grease is used in place of lithium soap grease used as a lubricant for normal environment (hereinafter called normal type) air cylinders. The latter has been devised in terms of structure, and the structure is roughly classified into two types. A conventional example will be described below. In [Type 1] (shown in Fig. 3), the cylinder cover 5 is provided with packing 1A and packing 1B, and a dust collecting area 2 is provided between them. A dust exhaust port 3 is arranged in the dust collecting area 2 to remove air containing dust leaking from the cylinder chamber 7B to the outside through the exhaust pipe 14. The exhaust gas in this case is natural exhaust gas with no atmospheric pressure difference between the dust collecting area 2 and the end of the exhaust pipe 14. [Type 2] (shown in FIG. 4) is designed to prevent dust from being forced out by sucking dust from the waste dust port 3 using the ejector 15 etc. with the packing 1B removed. It is.

【0003】[0003]

【考案が解決しようとする課題】 しかし,従来の機構では集塵ポー ト3と外気の間に発塵源の摺動部bが介在する。摺動による発塵はシリンダーロ ッド6の作動スピードの加速に伴って増加,飛散して外部環境を汚染する。また 〔タイプ2〕の技術は前述の〔タイプ1〕〕と同じ問題を包含することに加えて ,摺動部bで外気と遮断されるため,吸引による陰圧により,グリスが削りとら れるという問題を有していた。そこで本考案は,このような問題を解決するもの で,その目的とするところは,1個以下/1,000サイクル(0.1μm)に対 応する防塵性を備え,しかも,使用するグリスの種類を問わないクリーンエアー シリンダーを提供するところにある。[Problems to be Solved by the Invention] However, in the conventional mechanism, the sliding portion b of the dust source is interposed between the dust collecting port 3 and the outside air. Dust generated by sliding increases and scatters as the operating speed of the cylinder rod 6 accelerates, and pollutes the external environment. In addition to the same problems as the above [Type 1], the [Type 2] technology also cuts off the grease due to negative pressure due to suction because the sliding part b blocks the outside air. Had a problem. Therefore, the present invention solves such a problem, and the purpose of the present invention is to provide a dustproof property for less than 1 piece / 1,000 cycles (0.1 μm), and the type of grease used. We are offering clean air cylinders that can be used in any

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

本考案のエアーシリンダーは、ロッドカバーの外側に集塵ポケットを設け,集 塵ポケットに通じる排気ポートを通して発塵を吸引除去することを特徴とする。 The air cylinder of the present invention is characterized in that a dust collecting pocket is provided on the outside of the rod cover, and dust is sucked and removed through an exhaust port communicating with the dust collecting pocket.

【0005】 更に、エアーシリンダーの発塵の主要原因である潤滑グリスの種類を問わない ことを特徴とする。Further, the present invention is characterized in that the type of lubricating grease that is the main cause of dust generation in the air cylinder does not matter.

【0006】 加えて、エアーシリンダーのロッドカバー本体に当該機能を付加することを特 徴とする。[0006] In addition, the feature is to add the function to the rod cover body of the air cylinder.

【0007】[0007]

【考案の実施の形態】[Embodiment of the invention]

〔第1の実施の形態〕 本考案の実施例を図を用いて詳細に説明する。 第1図は本考案の構成図である。図中集塵カバー10を除いた部分 は通常タイプのエアーシリンダーである。シリンダ11は円柱形状で外周がシリ ンダチューブ12の内周面と接して摺動する。当該シリンダーはシリンダロッド 6と同一中心軸で互いに連結されていて,中心軸にそって連動する。またシリン ダチューブ12のロッドの突出方向の一端にはロッドカバー5が内接固定されパ ッキン1Cにより気密されている。更にロッドカバー5にはピストンロッド6が 貫通する穴が加工されていて,シリンダ室7Bの気密を保つためにパッキン1A が装着されている。シリンダチューブ12の他端にはシリンダーカバー13が固 定されていて同様にパッキン1Cで気密されている。。したがって,シリンダー 室7A,7Bと外気間の気密性はシリンダーの停止時には確保されている。従っ て外部への発塵は無い。稼動時には,シリンダー室7A,7Bに給排気ポート8 A,8Bを通じてソレノイドバル16によ制御されて交互に供給される圧縮空気 によるシリンダーロッド6の往復運動に起因する発塵は,シリンダーロッド6と ロッドカバー10の摺動部a,bとその間のパッキン1Aを経て,集塵ポケット 9に達する。集塵ポケット9には吸塵ポート3が通じている。吸塵ポート3とエ ジェクタ15は排気管14で連結され,常時エジェクタ15で吸引されている。 また同時に,集塵ポケット9とシリンダーロッド6により形成され,集塵ポケッ トと外気の間に発塵源となる摺動部を介在させないために設けた外気開放部dを 通じて近辺の外気を矢印cの方向に吸引する。従ってエアーシリンダーからの発 塵は外気に拡散することなく集塵ポート3を経て室外に排除され,クリーンな環 境を汚染することはない。 [First Embodiment] An embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram of the present invention. In the figure, the part excluding the dust collecting cover 10 is a normal type air cylinder. The cylinder 11 has a columnar shape, and the outer periphery thereof is in contact with the inner peripheral surface of the cylinder tube 12 and slides. The cylinders are connected to each other with the same central axis as the cylinder rod 6, and work together along the central axis. A rod cover 5 is internally fixed to one end of the cylinder tube 12 in the protruding direction of the rod, and is hermetically sealed by a packing 1C. Further, the rod cover 5 is formed with a hole through which the piston rod 6 penetrates, and a packing 1A is attached to keep the cylinder chamber 7B airtight. A cylinder cover 13 is fixed to the other end of the cylinder tube 12 and is similarly airtight with a packing 1C. . Therefore, the airtightness between the cylinder chambers 7A and 7B and the outside air is ensured when the cylinder is stopped. Therefore, there is no dust emission to the outside. During operation, dust generated by reciprocating motion of the cylinder rod 6 due to compressed air alternately supplied to the cylinder chambers 7A, 7B through the air supply / exhaust ports 8A, 8B under the control of the solenoid valve 16 is generated. It reaches the dust collecting pocket 9 through the sliding portions a and b of the rod cover 10 and the packing 1A between them. The dust collection port 9 communicates with the dust collection pocket 9. The dust suction port 3 and the ejector 15 are connected by the exhaust pipe 14 and are constantly sucked by the ejector 15. At the same time, the outside air in the vicinity is passed through the outside air release part d formed by the dust collection pocket 9 and the cylinder rod 6 and provided so as not to interpose a sliding part as a dust source between the dust collection pocket and the outside air. Aspirate in the direction of arrow c. Therefore, dust generated from the air cylinder is not diffused to the outside air but is removed to the outside of the room through the dust collection port 3 and does not pollute the clean environment.

【0008】 〔第2の実施の形態〕 除塵のメカニズムは前述の第1の実施の形態( 図1)と同一であるが,図2のように当該除塵機能をロッドカバー5内に組み込 み使い易くしたことを特徴としたエアーシリンダーである。[Second Embodiment] Although the mechanism of dust removal is the same as that of the first embodiment (FIG. 1) described above, the dust removal function is incorporated in the rod cover 5 as shown in FIG. It is an air cylinder that is easy to use.

【0009】 〔実施の形態の効果〕 表1は種類別に4本のエアーシリンダーの作動1,000サイクル当たりの発 塵量測定データを示す。[Effects of the Embodiment] Table 1 shows the dust generation amount measurement data per operation cycle of four air cylinders for each type.

【0010】[0010]

【表1】 [Table 1]

【0011】 DATA1は本考案実施例1(第1の実施の形態)による測定値(6回×1, 000サイクルの平均) DATA2は本考案(実施例1)実施前の測定値 DATA3は従来例1の測定値 DATA4は従来例1の測定値とした。DATA1 is a measured value according to the first embodiment of the present invention (first embodiment) (average of 6 times × 1,000 cycles) DATA2 is a measured value before the present invention (first embodiment) DATA3 is a conventional example Measured value of 1 DATA 4 is the measured value of Conventional Example 1.

【0012】 発塵個数は表記のパーティクルサイズ以上,右欄のサイズ以下の数値を示す。 例えば0.1μm欄の各DATAの数値は0.1μm以上0.2μm未満のサイ ズの個数である。従って本考案実施例1の0.1μm以上の総発塵個数は0.2 +0.3+0.5=1である。 よってJISB 9920に規定された清浄度ク ラス1が,1立方メートルの気中に0.1μm以上の粉塵が10個以下と定義さ れていることから10>0.016(注1)となりクラス1の水準を余裕を持っ てクリアーしている。従ってエアーシリンダーの作動によって生じる発塵はほと んど吸引排除され外部環境を汚染することはないといえる。この結果は,グリス の種類を問わず,安価な通常シリンダーを使用してのクリーン化が可能であある ことを証明している。The number of dust particles indicates a numerical value that is equal to or larger than the particle size shown and is equal to or smaller than the size in the right column. For example, the numerical value of each DATA in the 0.1 μm column is the number of sizes of 0.1 μm or more and less than 0.2 μm. Therefore, the total number of dust particles of 0.1 μm or more in the first embodiment of the present invention is 0.2 + 0.3 + 0.5 = 1. Therefore, the cleanliness class 1 specified in JIS B 9920 is defined as 10 or less dust particles of 0.1 μm or more in 1 cubic meter of air, which is 10> 0.016 (Note 1), which is Class 1 Have cleared the standard with a margin. Therefore, it can be said that most of the dust generated by the operation of the air cylinder is removed by suction and does not pollute the external environment. This result proves that regardless of the type of grease, it is possible to clean by using an inexpensive ordinary cylinder.

【0013】 (注1)総発塵量のクリーン度のクラスへの転換 クリーンルームのフィルタ ー条件 吹き出し部サイズ 0.6m×0 .6m 流速 0.3m/sec エアーシリンダーの作動条件 作動速度 500mm/sec 作動距離 300mm/サイクル 作動エアー圧力0.5MPa 連続 稼動 1,000サイクルとして 計算 1,000サイクルに要する時 間 300(mm)/500(mm/sec)×1,000=600(sec) 600(sec)間にフィルターから出るクリーンエアーの総量は 0.6(m)×0.6(m)× 0.3(m/sec)×600(sec)=64.8(立方メートル)となる。 上記の計算により0.6 m角のフィルターの下で当該エアーシリンダーを1,000サイクル作動させた と仮定すれば64.8立方メートル中に0.1μm以上の粉塵の放出は1個であ る。また1立方メートル中には1個を64.8で除した値の0.016個を放出 したことになる。従ってエアーシリンダーの作動によって生じる発塵は表1のD ATA1,DATA2に比較されるように,ほとんど吸引排除され外部環境を汚 染することはない。また,第5図は第1表のデータをグラフ化,視覚化したもの であるが本考案の優位は明らかである。この結果は,グリスの種類を問わず,安 価な通常シリンダーを使用してのクリーン化が可能でああることを証明している 。 (Note 1) Conversion of total dust generation to cleanliness class Clean room filter conditions Blowout part size 0.6 m × 0. 6m Flow velocity 0.3m / sec Operating condition of air cylinder Operating speed 500mm / sec Operating distance 300mm / cycle Operating air pressure 0.5MPa Continuous operation Calculated as 1,000 cycles Time required for 1,000 cycles 300 (mm) / 500 (mm / sec) × 1,000 = 600 (sec) Total amount of clean air discharged from the filter during 600 (sec) is 0.6 (m) × 0.6 (m) × 0.3 (m / sec) × 600 (sec) = 64.8 ( Cubic meters). Based on the above calculation, assuming that the air cylinder was operated for 1,000 cycles under a filter of 0.6 m square, there was only one dust emission of 0.1 μm or more in 64.8 cubic meters. In addition, 0.016 pieces, which is the value obtained by dividing one piece by 64.8, are emitted in one cubic meter. Therefore, as compared with D ATA1 and DATA 2 in Table 1, the dust generated by the operation of the air cylinder is almost eliminated by suction and does not pollute the external environment. Further, Fig. 5 is a graph and visualization of the data in Table 1, but the superiority of the present invention is clear. This result proves that regardless of the type of grease, it is possible to clean by using an inexpensive ordinary cylinder.

【0014】[0014]

【考案の効果】[Effect of the invention]

集塵ポケット9と外部環境の間に発塵箇所が無いので集塵ポート3を吸引する ことにより,集塵ポケット9は陰圧となり集塵カバー10とシリンダーロッド6 の隙間から矢印cの方向に外気が入り込み塵埃を外部に漏らすことはない。した がって前々項に示したレベルに発塵をおさえることが出来る。しかも,エアーシ リンダーの内部発塵が完全に排除されるために潤滑グリスの種類を選択する必要 が無い。よって安価な通常タイプのエアーシリンダーを用いて高レベルのクリー ン化が実現出来る。 Since there is no dust generation point between the dust collection pocket 9 and the external environment, suctioning the dust collection port 3 causes the dust collection pocket 9 to become a negative pressure in the direction of arrow c from the gap between the dust collection cover 10 and the cylinder rod 6. Outside air does not enter and does not leak dust to the outside. Therefore, dust generation can be suppressed to the levels shown in the previous section. Moreover, it is not necessary to select the type of lubricating grease because the dust inside the air cylinder is completely eliminated. Therefore, it is possible to achieve a high level of cleaning by using an inexpensive normal type air cylinder.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本考案の実施例1の構成図。FIG. 1 is a configuration diagram of a first embodiment of the present invention.

【図2】本考案の実施例2の構成図。FIG. 2 is a configuration diagram of a second embodiment of the present invention.

【図3】従来例〔タイプ1〕の構成図。FIG. 3 is a configuration diagram of a conventional example [type 1].

【図4】従来例〔タイプ2〕の構成図。FIG. 4 is a configuration diagram of a conventional example [type 2].

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1A はパッキンA 1B はパッキンB 1C はパッキンC 2 は集塵エリア 3 は廃塵ポート 4A はふっ素系グリス 4B はリチュウム石鹸系グリス 5 はロッドカバー 6 はシリンダーロッド 7A はシリンダー室A 7B はシリンダー室B 8A は給排気ポートA 8B は給排気ポートB 9 は集塵ポケット 10 は集塵カバー 11 はシリンダー 12 はシリンダーチューブ 13 はシリンダーカバー 14 は排気管 15 はエジェクタ 16 はソレノイドバルブ a は摺動部a b は摺動部b c は吸引流の方向 d は外気開放部 1A is packing A 1B is packing B 1C is packing C 2 is dust collecting area 3 is waste dust port 4A is fluorine-based grease 4B is lithium-based grease 5 is rod cover 6 is cylinder rod 7A is cylinder chamber A 7B is cylinder chamber B 8A is a supply / exhaust port A 8B is a supply / exhaust port B 9 is a dust collection pocket 10 is a dust collection cover 11 is a cylinder 12 is a cylinder tube 13 is a cylinder cover 14 is an exhaust pipe 15 is an ejector 16 is a solenoid valve a is a sliding part. a b is a sliding portion b c is a suction flow direction d is an outside air opening portion

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】[Utility model registration claims] 【請求項1】エアーシリンダーにおいて,ロッドカバー
の外側に集塵ポケットを設け,集塵ポケットに通じる排
気ポートを通して発塵を吸引除去することを特徴とした
エアーシリンダー。
1. An air cylinder in which a dust collecting pocket is provided outside a rod cover, and dust is sucked and removed through an exhaust port communicating with the dust collecting pocket.
【請求項2】 前請求項1のエアーシリンダーにおい
て,エアーシリンダーの発塵の主要原因である潤滑グリ
スの種類を問わないことを特徴とするエアーシリンダ
ー。
2. The air cylinder according to claim 1, wherein the type of lubricating grease that is the main cause of dust generation in the air cylinder does not matter.
【請求項3】 前請求項1のエアーシリンダーにおい
て,エアーシリンダーのロッドカバー本体に当該機能を
付加することを特徴とするエアーシリンダー。
3. The air cylinder according to claim 1, wherein the rod cover body of the air cylinder is provided with the function.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3369532B2 (en) 1999-08-02 2003-01-20 株式会社アイメス Dustproof tool balancer
KR100743026B1 (en) * 2001-09-27 2007-07-26 주식회사 포스코 Device for preveting abnormal closing of dust collector out let damper
WO2023243704A1 (en) * 2022-06-17 2023-12-21 イーグル工業株式会社 Pressurization device

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