JP3023849B2 - エルビウム添加光繊維の製造方法及び製造装置 - Google Patents

エルビウム添加光繊維の製造方法及び製造装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は光繊維の製造方法及
び製造装置に関し、特に、光信号を光信号自体で直接増
幅する光増幅器用光繊維であるエルビウム（Ｅｒ）添加
光繊維の製造時、製造時間を短縮し生産性を向上させ得
るエルビウム添加光繊維の製造方法及び製造装置に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】超高速情報通信網の構成時又は長距離通
信網の構成時に、長距離を伝送するか、あるいは一地点
から多方向に分岐する場合、初期の光信号の強度が減少
するため、これを大きく増幅する必要が生じる。この場
合、半導体増幅器と光増幅器が使用可能であるが、光増
幅器は複雑な信号の処理なしに光信号を直接大きく増幅
し得るため、現在超高速情報通信網の構成時に必須要素
として脚光を浴びている。
【０００３】このような光増幅器は、内部で光信号を増
幅させる媒質であるエルビウム添加光繊維等の光増幅器
用光繊維を使用している。ここで、エルビウム添加光繊
維は種々の方法により製造できるが、現時点では、信頼
性がよい内付け気相蒸着法（Ｍｏｄｉｆｉｅｄ Ｃｈｅ
ｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：以
下、“ＭＣＶＤ法”という）が最も多く使用されてい
る。
【０００４】以下、エルビウム添加光繊維をＭＣＶＤ法
により製造する方法について説明する。従来技術を用い
てエルビウム添加光繊維の母材をＭＣＶＤ法により製造
すると、次の通りである。ＭＣＶＤ法では、図２および
図３に示すように、エルビウム添加光繊維母材を製造す
るための石英管１０に接続されている連結用チューブ２
２を固定用チャック２４に固定させた後、原料供給系か
ら酸素気流により輸送されたＳｉＣｌ4 又はＧｅＣｌ4
等の原料３８を支持管と呼ばれる石英管１０の内部に供
給させる。
【０００５】その後、前記石英管１０を回転させながら
外部から加熱源２６（酸素／水素バーナー）で石英管１
０を加熱する。このとき、加熱部では化学式（ＳｉＣｌ
4 ＋Ｏ2 →ＳｉＯ2 ＋２Ｃｌ2 、ＧｅＣｌ4 ＋Ｏ2 →Ｇ
ｅＯ2 ＋２Ｃｌ2 ）で表される酸化反応が起こり、不純
物を含んだ石英系酸化物の微粒子が生成される。その
後、加熱源２６を左右方向に往復運動させることにより
前記石英管１０の内壁で微粒子の堆積物３２が焼結透明
化され、薄いガラス層３４が形成される。このような過
程を繰り返すことにより、所定厚さのガラスが石英管１
０の内壁に形成されるようになる。このとき、最初には
クラッド（ｃｌａｄ）層１４に相当する部分が製造さ
れ、次いでコア（ｃｏｒｅ）層１６に相当する部分が製
造される。
【０００６】ここで、前記クラッド層１４とコア層１６
が形成された石英管１０から複雑な信号処理なしに光信
号を直接大きく増幅し得るエルビウム添加光繊維を製造
するためには、先ず前記石英管１０の一端部を遮蔽した
後、前記石英管１０を固定用チャック２４から分離させ
る。その後、一端部が遮蔽された石英管１０の内部にエ
ルビウム１８及びその他の添加物質が含まれた溶液を注
入させる。そして、前記エルビウム１８がコア層１６に
一定量吸収されるように一定時間放置した後、前記エル
ビウム１８及びその他の添加物質が含まれた溶液を石英
管１０から排出させる。このとき、前記コア層１６には
エルビウム１８及びその他の添加物質が含まれた溶液が
吸収される。
【０００７】その後、前記石英管１０を固定用チャック
２４に固定させてから、前記石英管１０の一端部を再び
開放させる。そして、図３に示すように、前記固定用チ
ャック２４により、前記石英管１０の内部でエルビウム
１８及びその他の添加物質が含まれた溶液が１個所に集
中しないように前記石英管１０を回転させながら、前記
石英管１０を自然状態に放置して、空気のみによってエ
ルビウム１８及びその他の添加物質が含まれた溶液を長
時間乾燥させる。このような過程により、前記石英管１
０の内部のエルビウム１８が完全に乾燥されると、前記
石英管１０を加熱源２６で再び高温に加熱して軟化さ
せ、内部の空間を完全に密着させることにより円柱形態
に形成されたエルビウム添加光繊維母材が製造される。
【０００８】従来の他の技術を用いてエルビウム添加光
繊維母材をＭＣＶＤ法により製造すると、次のようであ
る。この方法では、図２および図４に示すように、エル
ビウム添加光繊維母材を製造するための石英管１０に接
続されている連結用チューブ２２を固定用チャック２４
に固定させた後、原料供給系から酸素気流により輸送さ
れたＳｉＣｌ4 又はＧｅＣｌ4 等の原料３８を支持管と
呼ばれる石英管１０の内部に供給させる。その後、前記
石英管１０を回転させながら外部から加熱源２６（酸素
／水素バーナー）で石英管１０を加熱する。このとき、
加熱部では化学式（ＳｉＣｌ4 ＋Ｏ2 →ＳｉＯ2 ＋２Ｃ
ｌ2 、ＧｅＣｌ4 ＋Ｏ2 →ＧｅＯ2 ＋２Ｃｌ2 ）で表さ
れる酸化反応が起こり、不純物を含んだ石英系酸化物の
微粒子が生成される。その後、加熱源２６を左右方向に
往復運動させることにより前記石英管１０の内壁で微粒
子の堆積物３２が焼結透明化され、薄いガラス層３４が
形成される。このような過程を繰り返すことにより、所
定厚さのガラスが前記石英管１０の内壁に形成される。
このとき、最初にはクラッド層１４に相当する部分が製
造され、次いでコア層１６に相当する部分が製造され
る。
【０００９】ここで、前記クラッド層１４とコア層１６
が形成された石英管１０から複雑な信号処理なしに光信
号を直接大きく増幅し得るエルビウム添加光繊維を製造
するためには、先ず前記石英管１０の一端部を遮蔽した
後、前記石英管１０を固定用チャック２４から分離させ
る。その後、一端部が遮蔽された石英管１０の内部にエ
ルビウム１８及びその他の添加物質が含まれた溶液を注
入させる。そして、前記エルビウム１８がコア層１６に
一定量吸収されるように一定時間放置した後、前記エル
ビウム１８及びその他の添加物質が含まれた溶液を石英
管１０から排出させる。この際に、前記コア層１６には
エルビウム１８及びその他の添加物質が含まれた溶液が
吸収される。
【００１０】その後、前記石英管１０を固定用チャック
２４に固定させてから、前記石英管１０の一端部を再び
開放させる。そして、図４に示すように、前記固定用チ
ャック２４により、前記石英管１０の内部でエルビウム
１８及びその他の添加物質が含まれた溶液が１個所に集
中しないように前記石英管１０を回転させながら、前記
石英管１０の下方で高くない温度のヒーター３０を左右
方向に往復移動させながら前記石英管１０の外壁を熱で
徐々に昇温して前記エルビウム１８及びその他の添加物
質が含まれた溶液を徐々に乾燥させる。このような過程
により、前記石英管１０の内部のエルビウム１８が完全
に乾燥されると、前記石英管１０を加熱源２６で再び高
温に加熱して軟化させ、内部の空間を完全に密着させる
ことにより円柱形態に形成されたエルビウム添加光繊維
母材が製造される。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記前
者の方法により、前記石英管１０に吸収されたエルビウ
ム１８及びその他の添加物質が含まれた溶液を乾燥させ
ると、前記エルビウム１８及びその他の添加物質が含ま
れた溶液の乾燥が自然状態の乾燥のみに依存するので非
常に長時間が所要され、エルビウム添加光繊維母材全体
の製造時間が長くなり、エルビウム添加光繊維母材の生
産性が減少し、かつエルビウム添加光繊維母材の原価が
上昇する問題点があり、しかも、石英管１０を自然状態
で乾燥させるため、局部的な非乾燥現象が発生して不均
一な屈折率分布が生じる問題点もあった。
【００１２】一方、上記後者の方法により、前記石英管
１０に吸収されたエルビウム１８及びその他の添加物質
が含まれた溶液を乾燥させると、前記ヒーター３０を左
右方向に動かしながら暖かい程度の温度に前記石英管１
０の外壁を加熱して前記エルビウム１８及びその他の添
加物質が含まれた溶液を乾燥させるので、上記前者の自
然乾燥法による方法より乾燥時間が短縮される。しか
し、この場合にも前記石英管１０を乾燥させるのに数時
間が所要されて、通常の同一条件の母材より製造時間が
依然として長くなる問題が発生し、これにより前記エル
ビウム添加光繊維母材の生産性が減少し原価が上昇する
問題点がある。また、前記石英管１０をヒーター３０の
熱で乾燥させるため、前者の方法と同様に局部的な非乾
燥現象が発生して不均一な屈折率分布が生じ、又、石英
管１０を乾燥させるためにヒーター３０を使用すること
で、このヒーター３０を設置することによる製造時間の
損失及び不要な費用増加と、エルビウム添加光繊維母材
の製造工程上の誤差が発生するという問題点もあった。
【００１３】また、特開平４−３３１７３８号公報に、
ガス送入装置から酸素を流入して乾燥させる方法が示さ
れるが、この方法も自然状態の乾燥と大差はなく、上記
自然状態の乾燥法と同様の問題点がある。
【００１４】したがって本発明の目的は、第一に、コア
層に吸収されたエルビウム及びその他の添加物質が含ま
れた溶液を均一に乾燥し得るエルビウム添加光繊維の製
造方法及び製造装置を提供することにあり、第二に、ガ
ス及び加熱源で石英管の内部を乾燥させて乾燥時間を短
縮し得るエルビウム添加光繊維の製造方法及び製造装置
を提供することにあり、第三に、エルビウム添加光繊維
母材の製造時間を短縮させて生産性を向上させ得るエル
ビウム添加光繊維の製造方法及び製造装置を提供するこ
とにあり、第四に、エルビウム添加光繊維母材の原価を
減少し得るエルビウム添加光繊維の製造方法及び製造装
置を提供することにあり、第五に、エルビウム添加光繊
維の屈折率分布を均一に具現し得るエルビウム添加光繊
維の製造方法及び製造装置を提供することにあり、第六
に、石英管の内部を乾燥させるのに別途のヒーターを使
用しないので、不要な費用増加及び製造工程上の誤差を
防止し得るエルビウム添加光繊維の製造方法及び製造装
置を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は、光増幅器用光繊維であるエルビウム添加光
繊維の母材を製造する方法において、光繊維母材を作る
ための石英管に接続されている連結用チューブを固定用
チャックに固定させる第１過程と、前記石英管の内部に
原料を供給する第２過程と、前記石英管を回転させると
ともに外部で加熱源を左右方向に移動させながら該加熱
源で前記石英管を加熱して、石英管の内壁に焼結透明化
された微粒子の堆積物を生成させる第３過程と、この第
３過程を繰り返して前記石英管の内壁にクラッド層を形
成する第４過程と、この第４過程の結果物に原料の量を
変化させてコア層を形成する第５過程と、この第５過程
の結果物の一端部を遮蔽する第６過程と、この第６過程
の結果物を固定用チャックから分離させる第７過程と、
前記第６過程の結果物にエルビウム及びその他の添加物
質が含まれている溶液を注入させて前記コア層に前記溶
液を吸収させる第８過程と、一定時間の経過後、前記エ
ルビウム及びその他の添加物質が含まれている溶液を第
６過程の結果物から排出させる第９過程と、この第９過
程の結果物を前記固定用チャックに固定させる第１０過
程と、前記第９過程の結果物の一端部を再び開放させる
第１１過程と、前記第９過程の結果物に多量のガスを流
す第１２過程と、加熱源で前記連結用チューブを一定温
度に加熱して前記ガスを昇温させる第１３過程と、前記
第９過程の結果物を前記固定用チャックで回転させなが
ら、前記コア層に吸収されたエルビウム及びその他の添
加物質が含まれている溶液を前記昇温ガスで徐々に乾燥
させる第１４過程と、この第１４過程の結果物を加熱源
で再び高温に加熱して軟化させ、内部の空間を完全に密
着させて円柱形態に製造する第１５過程とからなること
を特徴とする。
【００１６】又、前記課題を解決するため、本発明のエ
ルビウム添加光繊維の製造装置は、クラッド層とコア層
が蒸着された石英管を固定及び回転させるチャックと、
前記石英管をチャックに固定させるための連結用チュー
ブと、前記エルビウムが添加された石英管を均一の温度
で徐々に乾燥させるガス及び加熱源とから構成されるこ
とを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態を添付の図面を参照して詳細に説明する。なお、図面
において、同一の構成要素に対してはできるだけ同一の
参照符号を付して説明する。本発明によりエルビウム添
加光繊維の母材をＭＣＶＤ法で製造する過程において、
石英管の内部でエルビウム及びその他の添加物質が含ま
れた溶液を乾燥させるための装置は、図１および図２に
示すように、ＭＣＶＤ法によりクラッド層１４とコア層
１６が蒸着された石英管１０を固定及び回転させるチャ
ック２４が設置され、このチャック２４の一側には前記
石英管１０をチャック２４に固定させるための連結用チ
ューブ２２が設けられ、この連結用チューブ２２内を経
て石英管１０内にはガス２０が流されるようになってお
り、連結用チューブ２２の下方には、該連結用チューブ
２２を一定の温度に加熱し、流されるガス２０を昇温さ
せる加熱源２６が設置されている。ここで、ガス２０と
しては石英管１０の内部の乾燥効率を高めるために酸素
を使用し、加熱源２６としては点火時に水素のみが供給
され酸素は供給されない酸素／水素バーナーを使用す
る。
【００１８】次に、本発明によりエルビウム添加光繊維
の母材をＭＣＶＤ法で製造する方法について説明する
と、次のようである。図１及び図２に示すように、ま
ず、エルビウム添加光繊維母材を製造するための石英管
１０に接続されている連結用チューブ２２を固定用チャ
ック２４に固定させた後、原料供給系から酸素気流によ
り輸送されたＳｉＣｌ4 又はＧｅＣｌ4等の原料３８を
支持管と呼ばれる石英管１０の内部に供給させる。その
後、固定用チャック２４が石英管１０を回転させながら
外部から加熱源２６（酸素／水素バーナー）で石英管１
０を加熱する。このとき、加熱部では化学式（ＳｉＣｌ
4 ＋Ｏ2 →ＳｉＯ2 ＋２Ｃｌ2 、ＧｅＣｌ4 ＋Ｏ2 →Ｇ
ｅＯ2 ＋２Ｃｌ2 ）で表される酸化反応が起こり、不純
物を含んだ石英系酸化物の微粒子が生成される。その
後、加熱源２６を左右方向に往復運動させることにより
前記石英管１０の内壁で微粒子の堆積物３２が焼結透明
化され、薄いガラス層３４が形成される。このような過
程を繰り返すことにより、所定厚さのガラスが前記石英
管１０の内壁に形成される。このとき、最初にはクラッ
ド層１４に相当する部分が製造され、次いで前記原料３
８の量を変化させることによりコア層１６に相当する部
分が製造される。
【００１９】ここで、前記クラッド層１４とコア層１６
が形成された石英管１０から複雑な信号処理なしに光信
号を直接大きく増幅し得るエルビウム添加光繊維を製造
するためには、先ず前記石英管１０の内部にエルビウム
１８及びその他の添加物質が含まれた溶液を注入させる
とき、前記エルビウム１８及びその他の添加物質が含ま
れた溶液が外部に流出されないように前記石英管１０の
一端部を遮蔽する。その後、前記石英管１０を固定用チ
ャック２４から分離させる。そして、一端部が遮蔽され
た石英管１０の内部にエルビウム１８及びその他の添加
物質が含まれた溶液を注入させる。
【００２０】その後、前記エルビウム１８が石英管１０
の内壁に形成されたコア層１６に一定量が吸収されるよ
うに一定時間放置する。ここで、前記コア層１６はエル
ビウム１８及びその他の添加物質が含まれた溶液の浸透
を容易にするため、粒子が完全に遊離化されなかった状
態に形成されている。その後、前記エルビウム１８及び
その他の添加物質が含まれた溶液を石英管１０から排出
させると、前記コア層１６にはエルビウム１８及びその
他の添加物質が含まれた溶液が吸収される。しかる後、
前記石英管１０を固定用チャック２４に固定させ、前記
石英管１０の一端部を再び開放させる。その後、図１に
示すように、連結用チューブ２２内を経て石英管１０の
内部に多量のガス２０を流す。このとき、ガス２０とし
ては乾燥効率を高めるために酸素が使用される。
【００２１】その後、加熱源２６により連結用チューブ
２２を硝酸の揮発点温度以下に均一に加熱し、連結用チ
ューブ２２内を経て石英管１０に流されるガス２０を昇
温させる。したがって、この方法では、昇温したガス２
０により、石英管１０内のエルビウム１８及びその他の
添加物質が含まれた溶液が徐々に乾燥される。この時、
石英管１０の内部でエルビウム１８及びその他の添加物
質が含まれた溶液が１個所に集中しないように前記石英
管１０を回転させながら、前記エルビウム１８及びその
他の添加物質が含まれた溶液を徐々に乾燥させる。この
ような過程により、前記石英管１０の内部のエルビウム
１８が完全に乾燥されると、前記石英管１０を加熱源２
６で再び高温に加熱して軟化させ、内部の空間を完全に
密着させることにより、円柱形態に形成されたエルビウ
ム添加光繊維母材が製造される。
【００２２】
【発明の効果】以上述べてきたように本発明によるエル
ビウム添加光繊維の製造方法及び製造装置は、昇温した
ガスを流してエルビウム添加の石英管を乾燥させるよう
にしたので、光増幅器用光繊維であるエルビウム添加光
繊維の製造時間を画期的に短縮させることができる。即
ち、エルビウム添加光繊維の製造において、乾燥時間は
コア層の形成状態によって異なるが、同一のコア層及び
エルビウム溶液であると仮定すると、従来技術である自
然乾燥法に比べて第２の従来技術であるヒーター乾燥法
を用いると乾燥時間を約１／５に短縮し得る。これに対
して、本発明では従来のヒーター乾燥法に比べて乾燥時
間を１／２以上短縮し、これにより、前記エルビウム添
加光繊維の母材を製造するための全体製造工程の時間を
１／４以上短縮する効果を有する。したがって、前記エ
ルビウム添加光繊維の生産性が向上し且つ原価を急激に
低下させることができる。また、本発明の昇温したガス
による方法によれば、石英管の回転方向及び石英管の長
さ方向に均一に乾燥させることができるので、前記石英
管の内部の局部的な非乾燥現象を防止することができ
る。又、既存の蒸着用として使用する加熱源で石英管の
内部を乾燥できるため、ヒーター等の別の装置が不要で
あり、別の装置の設置による時間損失と工程誤差を防止
し得る効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるエルビウム添加光繊維の製造方法
及び製造装置の実施の形態を説明するための図で、特に
エルビウム添加光繊維を乾燥させる方法を示す概略図。
【図２】ＭＣＶＤ法により光繊維が製造される工程を示
す概略図。
【図３】エルビウム添加光繊維を乾燥させる従来の第１
の方法を示す概略図。
【図４】エルビウム添加光繊維を乾燥させる従来の第２
の方法を示す概略図。
【符号の説明】
１０ 石英管 １４ クラッド層 １６ コア層 １８ エルビウム ２０ ガス ２２ 連結用チューブ ２４ チャック ２６ 加熱源
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C03B 37/018 C03B 8/00

Claims (12)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 光増幅器用光繊維であるエルビウム添加
    光繊維の母材を製造する方法において、 光繊維母材を作るための石英管に接続されている連結用
    チューブを固定用チャックに固定させる第１過程と、 前記石英管の内部に原料を供給する第２過程と、 前記石英管を回転させるとともに外部で加熱源を左右方
    向に移動させながら該加熱源で前記石英管を加熱して、
    石英管の内壁に焼結透明化された微粒子の堆積物を生成
    させる第３過程と、 前記第３過程を繰り返して前記石英管の内壁にクラッド
    層を形成する第４過程と、 前記第４過程の結果物に原料の量を変化させてコア層を
    形成する第５過程と、 前記第５過程の結果物の一端部を遮蔽する第６過程と、 前記第６過程の結果物を固定用チャックから分離させる
    第７過程と、 前記第６過程の結果物にエルビウム及びその他の添加物
    質が含まれている溶液を注入させて前記コア層に前記溶
    液を吸収させる第８過程と、 一定時間の経過後、前記エルビウム及びその他の添加物
    質が含まれている溶液を第６過程の結果物から排出させ
    る第９過程と、 前記第９過程の結果物を前記固定用チャックに固定させ
    る第１０過程と、 前記第９過程の結果物の一端部を再び開放させる第１１
    過程と、 前記第９過程の結果物に多量のガスを流す第１２過程
    と、 加熱源で前記連結用チューブを一定温度に加熱して前記
    ガスを昇温させる第１３過程と、 前記第９過程の結果物を前記固定用チャックで回転させ
    ながら、前記コア層に吸収されたエルビウム及びその他
    の添加物質が含まれている溶液を前記昇温ガスで徐々に
    乾燥させる第１４過程と、 前記第１４過程の結果物を加熱源で再び高温に加熱して
    軟化させ、内部の空間を完全に密着させて円柱形態に製
    造する第１５過程とからなることを特徴とするエルビウ
    ム添加光繊維の製造方法。
  2. 【請求項２】 請求項１記載のエルビウム添加光繊維の
    製造方法において、前記石英管の内部に供給される原料
    はＳｉＣｌ4 、ＧｅＣｌ4 、Ｏ2 で構成されることを特
    徴とするエルビウム添加光繊維の製造方法。
  3. 【請求項３】 請求項１記載のエルビウム添加光繊維の
    製造方法において、前記第１２過程で、前記結果物に流
    されるガスとしては乾燥効果を高めるために酸素が使用
    されることを特徴とするエルビウム添加光繊維の製造方
    法。
  4. 【請求項４】 請求項１記載のエルビウム添加光繊維の
    製造方法において、前記加熱源は水素のみ供給されなが
    ら点火されることを特徴とするエルビウム添加光繊維の
    製造方法。
  5. 【請求項５】 請求項１記載のエルビウム添加光繊維の
    製造方法において、前記第１３過程で、前記連結用チュ
    ーブを加熱させる一定温度は硝酸の揮発点温度以下であ
    ることを特徴とするエルビウム添加光繊維の製造方法。
  6. 【請求項６】 クラッド層とコア層が蒸着された石英管
    の内部にエルビウムが含まれた溶液を添加させた後、石
    英管の内部を乾燥させる方法において、 前記クラッド層とコア層が蒸着された石英管の一端部を
    遮蔽する第１過程と、 前記第１過程の結果物にエルビウム及びその他の添加物
    質が含まれた溶液を注入させて前記コア層に前記溶液を
    吸収させる第２過程と、 一定時間の経過後、エルビウム及びその他の添加物質が
    含まれた溶液を第２過程の結果物から排出させる第３過
    程と、 前記第３過程の結果物を固定用チャックに固定させる第
    ４過程と、 前記第３過程の結果物の一端部を再び開放させる第５過
    程と、 前記第３過程の結果物に多量のガスを流す第６過程と、 前記固定用チャックに石英管を固定させるための連結用
    チューブを加熱部で一定温度に加熱させて前記ガスを昇
    温させる第７過程と、 前記第３過程の結果物を前記固定用チャックで回転させ
    ながら、前記コア層に吸収されたエルビウム及びその他
    の添加物質が含まれた溶液を前記昇温ガスで徐々に乾燥
    させる第８過程とから構成されることを特徴とするエル
    ビウム添加光繊維の製造方法。
  7. 【請求項７】 請求項６記載のエルビウム添加光繊維の
    製造方法において、前記第６過程で、結果物に流される
    ガスとしては乾燥効果を高めるために酸素が使用される
    ことを特徴とするエルビウム添加光繊維の製造方法。
  8. 【請求項８】 請求項６記載のエルビウム添加光繊維の
    製造方法において、前記加熱源は水素のみ供給されなが
    ら点火されることを特徴とするエルビウム添加光繊維の
    製造方法。
  9. 【請求項９】 請求項６記載のエルビウム添加光繊維の
    製造方法において、前記第７過程で、前記連結用チュー
    ブを加熱させる一定温度は硝酸の揮発点温度以下である
    ことを特徴とするエルビウム添加光繊維の製造方法。
  10. 【請求項１０】 クラッド層とコア層が蒸着された石英
    管の内部にエルビウムの含まれた溶液を添加させた後、
    前記石英管の内部を乾燥させるための装置において、 前記クラッド層とコア層が蒸着された石英管を固定及び
    回転させるチャックと、 前記石英管をチャックに固定させるための連結用チュー
    ブと、前記連結用チューブ内を経て前記石英管内に供給される
    乾燥用のガスと、 前記連結用チューブを一定温度に加熱し、この連結用チ
    ューブ内を経て前記石英管に供給される前記乾燥用ガス
    を昇温させる加熱源と から構成されることを特徴とする
    エルビウム添加光繊維の製造装置。
  11. 【請求項１１】 請求項１０記載のエルビウム添加光繊
    維の製造装置において、前記ガスとしては乾燥効率を高
    めるために酸素が使用されることを特徴とするエルビウ
    ム添加光繊維の製造装置。
  12. 【請求項１２】 請求項１０記載のエルビウム添加光繊
    維の製造装置において、前記加熱源としては水素のみ供
    給される酸素／水素バーナーが使用されることを特徴と
    するエルビウム添加光繊維の製造装置。
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