JP3005611B1 - Underwater ultrasonic transducer - Google Patents

Underwater ultrasonic transducer

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JP3005611B1
JP3005611B1 JP516799A JP516799A JP3005611B1 JP 3005611 B1 JP3005611 B1 JP 3005611B1 JP 516799 A JP516799 A JP 516799A JP 516799 A JP516799 A JP 516799A JP 3005611 B1 JP3005611 B1 JP 3005611B1
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underwater ultrasonic
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front mass
bending
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満 山本
芳典 ▲濱▼
訓通 村上
英樹 蒲
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Abstract

【要約】 【課題】 広帯域で高効率の音響放射特性を有し、ハイ
パワー送波が可能で、かつ小型軽量の水中超音波トラン
スジューサを提供する。 【解決手段】 圧電セラミック積層体11に圧縮応力を
加えるボルト14をフロントマス13及びリアマス12
に係合したボルト締めランジュバン振動子を有する水中
超音波トランスジューサにおいて、フロントマス13前
面に凹部を設け、フロントマス13前面に屈曲振動板1
3を強力接着剤とボルト16とで、或いは電子ビーム溶
着で固定する。屈曲振動板15は圧電セラミック積層体
11の伸縮による剛体並進変位と屈曲振動板15自身の
周辺支持の屈曲変位をもつ。凹部寸法を最適設計し、こ
れら2つの振動モードが重畳するようにし広帯域化を図
る。機構部品間の接続がボルトなどにより強固に行われ
ており、機械的強度も強くハイパワー送波にも十分耐え
うる小型軽量のトランスジューサが得られる。
The present invention provides a small and light underwater ultrasonic transducer that has a wideband and high-efficiency acoustic radiation characteristics, can transmit high power, and is small and light. SOLUTION: A bolt 14 for applying a compressive stress to a piezoelectric ceramic laminate 11 is provided with a front mass 13 and a rear mass 12.
In the underwater ultrasonic transducer having the bolted Langevin vibrator engaged with the front mass 13, a concave portion is provided on the front surface of the front mass 13, and the bending diaphragm 1 is provided on the front surface of the front mass 13.
3 is fixed with a strong adhesive and a bolt 16 or by electron beam welding. The flexural vibration plate 15 has a rigid translational displacement due to expansion and contraction of the piezoelectric ceramic laminate 11 and a flexural displacement of the flexural vibration plate 15 supporting itself. The dimensions of the concave portion are optimally designed so that these two vibration modes are superimposed to achieve a wider band. The connection between the mechanical parts is made firmly by bolts and the like, so that a small and lightweight transducer which has high mechanical strength and can sufficiently withstand high-power transmission can be obtained.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、水中において小型
軽量で、かつハイパワーで送波可能な、広帯域圧電型ト
ランスジューサに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a wide-band piezoelectric transducer which is small and light in water and capable of transmitting high power.

【0002】[0002]

【従来の技術】水中において、従来の周波数帯域でハイ
パワー送波の可能な高効率超音波トランスジューサとし
て、図9に示すようなボルト締めランジュバン型トラン
スジューサ(別名:トンピルズトランスジューサ(To
npilz Transducer))(IEEE T
ransaction on Sonics andU
ltrasonics, p. 220, Oct.
1986)が広く普及している。図9は従来のボルト締
めランジュバン型トランスジューサの正面図及び断面図
を示しており、図9において、11は圧電セラミック積
層体、12はリア金属マス、13はフロント金属マス、
14はボルト、17はナットである。
2. Description of the Related Art As a high-efficiency ultrasonic transducer capable of transmitting high power in a conventional frequency band underwater, a bolted Langevin type transducer (also known as Tonpills transducer (To)) as shown in FIG.
npilz Transducer)) (IEEE T
transaction on Sonics and U
ltrasonics, p. 220, Oct.
1986) has become widespread. FIG. 9 shows a front view and a sectional view of a conventional bolt-fastened Langevin type transducer. In FIG. 9, 11 is a piezoelectric ceramic laminate, 12 is a rear metal mass, 13 is a front metal mass,
14 is a bolt and 17 is a nut.

【0003】水中超音波トランスジューサの広帯域化に
は、図10に示すように、圧電セラミック振動子81の
音響放射側に、圧電セラミック振動子81の共振周波数
に対し4分の1波長の音響整合層82を設けたトランス
ジューサが知られている(IEE Proceedin
gs, Vol. 131, Part F, No.
3, pp. 285−297, June 198
4)。
To increase the bandwidth of an underwater ultrasonic transducer, as shown in FIG. 10, an acoustic matching layer having a quarter wavelength with respect to the resonance frequency of the piezoelectric ceramic vibrator 81 is provided on the acoustic radiation side of the piezoelectric ceramic vibrator 81. Transducers provided with an E. 82 are known (IEEE Processedin).
gs, Vol. 131, Part F, No.
3, pp. 285-297, June 198
4).

【0004】またさらに、ボルト締めランジュバン型ト
ランスジューサの広帯域化技術として、図11に示すよ
うに、ボルト締めランジュバン振動子と筒状共振子95
を組み合わせたもの(特開昭63−18800号公報)
や、図12に示すように、ボルト締めランジュバン振動
子と2分の1波長共振子105を組み合わせたもの(特
開昭62−258598号公報)や、図13に示すよう
に、ランジュバン振動子1110のフロントマス115
aの前方部に4分の1波長の1層ないしは複数層の音響
整合層(プラスチック製)116とリアマス115b後
部に水に比較して極めて低い音響インピーダンスをもつ
材料のブロック117を配したもの(特開平5−183
996号公報)などがある。
Further, as a technique for broadening the bandwidth of a bolted Langevin type transducer, as shown in FIG. 11, a bolted Langevin vibrator and a cylindrical resonator 95 are used.
(JP-A-63-18800)
As shown in FIG. 12, a combination of a bolted Langevin resonator and a half-wavelength resonator 105 (Japanese Patent Laid-Open No. 62-258598), or a Langevin resonator 1110 as shown in FIG. Front Mass 115
A single or multiple acoustic matching layer (made of plastic) 116 having a quarter wavelength and a block 117 made of a material having an extremely low acoustic impedance as compared with water are disposed at the rear of the rear mass 115b in front of (a). JP-A-5-183
996 gazette).

【0005】なお、図11において、96は縦結合子、
98は音響放射面であり、また図12において、106
は縦結合子、108は音響放射面であり、更に、図13
において、111a及び111bは圧電振動子、115
a及び115bはそれぞれ金属製のフロントマス及び金
属製のリアマス、118はホット側電極、119a及び
119bはグランド側電極、1111a及び1111b
は音響放射面である。
In FIG. 11, reference numeral 96 denotes a vertical connector,
Reference numeral 98 denotes an acoustic radiation surface, and in FIG.
Is a longitudinal connector, and 108 is an acoustic radiation surface.
, 111a and 111b are piezoelectric vibrators, 115
a and 115b are a metal front mass and a metal rear mass, 118 is a hot-side electrode, 119a and 119b are ground-side electrodes, 1111a and 1111b.
Is an acoustic emission surface.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】従来の音響整合層を用
いる広帯域化技術は、音響整合板とセラミック振動子或
いはランジュバン振動子との接着は専らエポキシ系接着
剤にたよらざるを得ず、このため音響整合層が振動子か
ら剥離する恐れがあった。また、音響整合層自身の材質
において、ハイパワー送波時に容易に応力−歪みに関す
る非線形領域に達してしまい、送波波形の歪みや音響放
射パワーの入力電力に対するリニアリティの劣化を生ず
るという問題があった。従来の音響整合層付きトランス
ジユーサでは、より広帯域化のために音響整合層の数を
増すことが行われてきたが、この場合、接着部分が増
し、信頼性が悪くなるといった問題や、多重の整合層を
もつ分だけ、小型軽量化には不向きなものであった。
In the conventional broadband technology using the acoustic matching layer, the bonding between the acoustic matching plate and the ceramic vibrator or the Langevin vibrator must rely solely on an epoxy-based adhesive. There is a possibility that the acoustic matching layer may be separated from the vibrator. Further, the material of the acoustic matching layer itself easily reaches a nonlinear region related to stress-strain at the time of high-power transmission, which causes a problem of distortion of a transmission waveform and deterioration of linearity of acoustic radiation power with respect to input power. Was. In a conventional transducer with an acoustic matching layer, the number of acoustic matching layers has been increased in order to further increase the bandwidth. In this case, however, the number of bonded portions increases, reliability becomes poor, and multiple However, it is not suitable for reducing the size and weight because of the matching layer.

【0007】また、従来技術の例としてあげたボルト締
めランジュバン振動子と筒状共振子或いは2分の1波長
共振子を組み合わせたトランスジューサでは、これら振
動子と共振子の互いの同相モードと逆相モードの共振周
波数を利用して広帯域化を図つており、また各部の接合
もボルト・ナットで行うことにより機械的強度の増大も
図られているが、これらのトランスジューサの場合で
も、構造的に大型化してしまうのは避けられない問題で
あった。
Further, in a transducer in which a bolted Langevin vibrator and a cylindrical resonator or a half-wavelength resonator, which are cited as examples of the prior art, are combined with each other, the phases of the vibrator and the resonator are opposite to each other. The resonance frequency of the mode is used to increase the bandwidth, and the mechanical strength is increased by joining each part with bolts and nuts. However, these transducers are structurally large. That was an inevitable problem.

【0008】本発明の目的は、広帯域で高効率の音響放
射特性を有し、ハイパワー送波が可能で、かつ小型軽量
の水中超音波トランスジューサを実現することにある。
An object of the present invention is to realize a small and light underwater ultrasonic transducer which has a wide band, high efficiency acoustic radiation characteristics, can transmit high power, and is small.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、フロン
トマスとリアマスとの間に、内部に貫通孔を有する圧電
セラミック積層体を配し、前記圧電セラミック積層体の
前記貫通孔を通して前記フロントマス及び前記リアマス
に係合され、前記圧電セラミック積層体に圧縮応力を加
えるためのボルトを設けたボルト締めランジュバン振動
子を有する水中超音波トランスジューサにおいて、前記
フロントマスの前面に凹部を設け、前記フロントマスの
前記前面に屈曲振動板を固定したことを特徴とする水中
超音波トランスジューサが得られる。
According to the present invention, a piezoelectric ceramic laminate having a through hole therein is disposed between a front mass and a rear mass, and the piezoelectric ceramic laminate is passed through the through hole of the piezoelectric ceramic laminate. An underwater ultrasonic transducer having a bolted Langevin vibrator engaged with a mass and the rear mass and provided with a bolt for applying a compressive stress to the piezoelectric ceramic laminate, wherein a recess is provided on a front surface of the front mass, An underwater ultrasonic transducer is obtained, wherein a bending diaphragm is fixed to the front surface of the mass.

【0010】更に本発明によれば、前記フロントマスの
前記前面の前記凹部の径を前記フロントマスの前記前面
の全径の60%〜90%に設定したことを特徴とする水
中超音波トランスジューサが得られる。
Further, according to the present invention, there is provided an underwater ultrasonic transducer, wherein the diameter of the concave portion on the front surface of the front mass is set to 60% to 90% of the total diameter of the front surface of the front mass. can get.

【0011】また本発明によれば、屈曲振動板にAl合
金と、Ti合金と、炭素繊維などの繊維強化プラスチッ
クと、Al或いはMgを母材とする繊維強化金属とから
成るグループから選択された、軽量でかつ高強度特性を
有する一つの材料を用いることを特徴とする水中超音波
トランスジューサが得られる。
According to the present invention, the flexural diaphragm is selected from the group consisting of an Al alloy, a Ti alloy, a fiber reinforced plastic such as carbon fiber, and a fiber reinforced metal based on Al or Mg. An underwater ultrasonic transducer characterized by using one material that is lightweight and has high strength characteristics is obtained.

【0012】更に本発明によれば、前記ボルト締めラン
ジュバン振動子の縦振動基本共振モードと前記フロント
マスの前記前面に固定した前記屈曲振動板の屈曲振動モ
ードが互いに逆相となることを特徴とする水中超音波ト
ランスジューサが得られる。
Further, according to the present invention, the longitudinal vibration fundamental resonance mode of the bolted Langevin vibrator and the bending vibration mode of the bending vibration plate fixed to the front surface of the front mass are in opposite phases. Underwater ultrasonic transducer is obtained.

【0013】また本発明によれば、前記ボルト締めラン
ジュバン振動子の縦振動基本共振周波数よりも前記フロ
ントマスの前記前面に固定した前記屈曲振動板の屈曲振
動共振周波数の方が高くなるように設定したことを特徴
とする水中超音波トランスジューサが得られる。
According to the present invention, the bending vibration resonance frequency of the bending vibration plate fixed to the front surface of the front mass is set to be higher than the longitudinal vibration basic resonance frequency of the bolted Langevin vibrator. Thus, an underwater ultrasonic transducer is obtained.

【0014】更に本発明によれば、前記フロントマスと
前記圧電セラミック積層体との接合部付近の前記フロン
トマスに前記フロントマスの前記前面に向けてスリット
を一周、刻んだことを特徴とする水中超音波トランスジ
ューサが得られる。
According to the present invention, furthermore, a slit is formed in the front mass near the joint between the front mass and the piezoelectric ceramic laminate one round toward the front surface of the front mass. An ultrasonic transducer is obtained.

【0015】また本発明によれば、前記フロントマスの
前記前面に前記屈曲振動板を接着剤で張り付け、さらに
ボルトによって固定することによって、前記フロントマ
スに前記屈曲振動板を固定したことを特徴とする水中超
音波トランスジューサが得られる。
Further, according to the present invention, the bending vibration plate is fixed to the front mass by attaching the bending vibration plate to the front surface of the front mass with an adhesive and further fixing with a bolt. Underwater ultrasonic transducer is obtained.

【0016】更に本発明によれば、前記フロントマスの
前記凹部の内部に前記屈曲振動板をはめ込み、前記フロ
ントマスに前記屈曲振動板を電子ビーム溶着により溶着
接合したことを特徴とする水中超音波トランスジューサ
が得られる。
Further, according to the present invention, the underwater ultrasonic wave is characterized in that the bending vibration plate is fitted into the recess of the front mass, and the bending vibration plate is welded to the front mass by electron beam welding. A transducer is obtained.

【0017】また本発明によれば、前記フロントマスの
前記凹部と前記屈曲振動板とのギャップに軟材を挿入し
たことを特徴とする水中超音波トランスジューサが得ら
れる。
According to the present invention, there is provided an underwater ultrasonic transducer, wherein a soft material is inserted into a gap between the concave portion of the front mass and the bending vibration plate.

【0018】更に本発明によれば、前記フロントマスの
前記凹部の底面に複数の凸部を設けたことを特徴とする
水中超音波トランスジューサが得られる。
Further, according to the present invention, there is provided an underwater ultrasonic transducer, wherein a plurality of convex portions are provided on the bottom surface of the concave portion of the front mass.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】次に本発明の実施例について図面
を参照して説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0020】図1は、本発明の第1の実施例による水中
超音波トランスジューサの正面図及び断面図である。
FIG. 1 is a front view and a sectional view of an underwater ultrasonic transducer according to a first embodiment of the present invention.

【0021】図1を参照して、この水中超音波トランス
ジューサは、フロント金属マス13とリア金属マス12
との間に、内部に貫通孔を有する中空の圧電セラミック
積層体11を配し、圧電セラミック積層体11の貫通孔
を通してフロント金属マス13及びリア金属マス12に
係合されたボルト14を設けたボルト締めランジュバン
振動子を有する。ボルト14は、それに係合されたナッ
ト17と協働して、圧電セラミック積層体11に圧縮応
力を加えるためのものである。
Referring to FIG. 1, this underwater ultrasonic transducer includes a front metal mass 13 and a rear metal mass 12.
And a hollow piezoelectric ceramic laminate 11 having a through hole therein, and a bolt 14 engaged with the front metal mass 13 and the rear metal mass 12 through the through hole of the piezoelectric ceramic laminate 11. It has a bolted Langevin vibrator. The bolt 14 cooperates with a nut 17 engaged with the bolt 14 to apply a compressive stress to the piezoelectric ceramic laminate 11.

【0022】このように、この水中超音波トランスジュ
ーサは、リア金属マス12、フロント金属マス13部分
の中心に穴があけられており、リア金属マス12、フロ
ント金属マス13とボルト14及びナット17により圧
電セラミック積層体11の部分に静的な応力バイアスを
加えることが出来るようになっている。圧電セラミック
スは張力に対する強度が圧力に対する強度の数分の1し
かないため、このような静的圧縮応力を印加する手段を
有するボルト締めランジュバン振動子はハイパワーで強
制的に励振する場合に特に優れたものであるといえる。
As described above, this underwater ultrasonic transducer has a hole formed at the center of the rear metal mass 12 and the front metal mass 13, and is formed by the rear metal mass 12, the front metal mass 13, the bolt 14, and the nut 17. A static stress bias can be applied to the portion of the piezoelectric ceramic laminate 11. Since the strength of piezoelectric ceramics against tension is only a fraction of the strength against pressure, the bolted Langevin vibrator having such a means for applying a static compressive stress is particularly excellent when forcibly excited with high power. It can be said that it is.

【0023】この水中超音波トランスジューサにおいて
は、更に、フロント金属マス13の前面の中央部に凹部
を設け、フロント金属マス13の前面の周辺部に屈曲振
動板15が固定されている。
In this underwater ultrasonic transducer, a concave portion is further provided in the center of the front surface of the front metal mass 13, and a bending diaphragm 15 is fixed to the periphery of the front surface of the front metal mass 13.

【0024】この屈曲振動板15は屈曲振動を起こす振
動板で、Al合金或いはTi合金である金属と、炭素繊
維などの繊維強化プラスチックと、AlやMgを母材と
する繊維強化金属とからなるグループから選択された、
軽量でかつ高強度特性を有する一つの材料で構成される
のが好ましい。
The bending vibration plate 15 is a vibration plate that generates bending vibration, and is made of a metal such as an Al alloy or a Ti alloy, a fiber reinforced plastic such as carbon fiber, and a fiber reinforced metal whose base material is Al or Mg. Selected from a group,
It is preferable to be composed of one material that is lightweight and has high strength characteristics.

【0025】この屈曲振動板15は、フロント金属マス
13の前面の前記周辺部に、強力接着剤及びボルト16
によって張り付け接合され、屈曲振動時には周辺固定の
振動モードが励振される。代りに、フロント金属マス1
3の前面の前記周辺部への屈曲振動板15の接合を電子
ビーム溶着法などによって完全に一体化してしまうのも
さらに有効である。
The bending vibration plate 15 is provided with a strong adhesive and bolts 16 on the peripheral portion of the front surface of the front metal mass 13.
The vibration mode fixed to the periphery is excited at the time of bending vibration. Instead, the front metal mass 1
It is more effective to completely integrate the joining of the bending vibration plate 15 to the peripheral portion on the front surface of the substrate 3 by an electron beam welding method or the like.

【0026】また図2に示すように、フロント金属マス
13の凹部の内周壁に屈曲振動板15をはめ込み、フロ
ント金属マス13に屈曲振動板15を電子ビーム溶着に
より溶着接合して、屈曲振動板15とフロント金属マス
13とを完全に一体化してしまうのもさらに有効であ
る。
As shown in FIG. 2, a bending vibration plate 15 is fitted into the inner peripheral wall of the concave portion of the front metal mass 13, and the bending vibration plate 15 is welded and joined to the front metal mass 13 by electron beam welding. It is more effective to completely integrate the front metal mass 15 and the front metal mass 13.

【0027】図1及び図2から明らかなように、これら
のトランスジューサでは機構部品間の接続がボルトなど
により強固に行われており、従来の整合層付トランスジ
ューサに比べて機械的強度がはるかに大きく、ハイパワ
ー送波にも十分耐えうる構造となっている。
As apparent from FIGS. 1 and 2, in these transducers, the connection between the mechanical parts is made firmly by bolts or the like, and the mechanical strength is much higher than that of the conventional transducer with a matching layer. , Which can withstand high power transmission.

【0028】図1及び図2の本発明によるトランスジュ
ーサは、固有共振周波数として、トランスジューサ全体
で並進変位をする縦振動モードの周波数flと屈曲振動
板15の周辺固定屈曲モードの周波数f2という2つの
共振モードが存在する。
The transducer according to the present invention shown in FIGS. 1 and 2 has two resonances as a natural resonance frequency: a frequency fl of a longitudinal vibration mode in which the entire transducer undergoes a translational displacement, and a frequency f2 of a fixed bending mode around the bending diaphragm 15. Mode exists.

【0029】図3は図1や図2のトランスジューサの並
進変位縦振動モードについて、有限要素法解析結果の振
動モード図を示し、図4は図1や図2のトランスジュー
サの周辺固定屈曲振動モードについて、有限要素法解析
結果の振動モード図を示している。なお、図3及び図4
では、本発明トランスジューサに対して軸対称な半区間
モデルを描いており、破線で示しているのが元の定常状
態の構成図で、実線で示しているのが実際の変位に対し
て数倍に拡大した変位モード図である。
FIG. 3 shows a vibration mode diagram of a result of the finite element method analysis for the translational displacement longitudinal vibration mode of the transducer of FIGS. 1 and 2, and FIG. 4 shows a peripheral fixed bending vibration mode of the transducer of FIGS. 1 and 2. And a vibration mode diagram of a finite element method analysis result. 3 and 4
Here, a half-section model that is axisymmetric with respect to the transducer of the present invention is drawn, and the broken line shows the configuration of the original steady state, and the solid line shows several times the actual displacement. FIG. 4 is a displacement mode diagram enlarged in FIG.

【0030】これら2つの共振モードについて、有限要
素法解析により、フロント金属マス13の前面の凹部
(窪み)の径をフロント金属マス13の前面の全径の6
0%〜90%になるように設計することで、縦振動モー
ドの共振周波数flよりも屈曲振動モードの共振周波数
f2の方が高くなるようにし、2つのモードの重畳によ
り広帯域化を図っているのが本発明トランスジューサの
特徴である。
With respect to these two resonance modes, the diameter of the concave portion (depression) on the front surface of the front metal mass 13 is set to 6 times the total diameter of the front surface of the front metal mass 13 by finite element analysis.
By designing so as to be 0% to 90%, the resonance frequency f2 of the bending vibration mode is higher than the resonance frequency fl of the longitudinal vibration mode, and a wider band is achieved by superimposing the two modes. This is a characteristic of the transducer of the present invention.

【0031】これら2つの振動モードは互いに逆相であ
る。つまり、並進変位の縦振動モードでは、ボルト締め
ランジュバン振動子が伸びた場合に、図3に示すように
音響放射面でも媒質排除の方向に伸びるように振動し、
屈曲振動板の屈曲モードは、図4に示すようにボルト締
めランジュバン振動子が縮む場合に媒質排除の方向に屈
曲振動する。この位相が互いに逆相となる駆動により、
それぞれのモードが重畳し、広帯域化がなされるように
なつている。
The two vibration modes have phases opposite to each other. That is, in the longitudinal vibration mode of the translational displacement, when the bolted Langevin vibrator extends, it vibrates so as to extend in the direction of excluding the medium also on the acoustic radiation surface as shown in FIG.
In the bending mode of the bending vibration plate, when the bolted Langevin vibrator contracts as shown in FIG. 4, the bending vibration vibrates in the direction of removing the medium. By driving the phases opposite to each other,
Each mode is superimposed, and the band is widened.

【0032】図5は図1や図2のトランスジューサの送
波レベルの周波数特性を示したものである。音波レベル
のピーク点が2箇所存在しているが、それらが重畳して
広帯域な特性となっている。
FIG. 5 shows the frequency characteristics of the transmission level of the transducers of FIGS. Although there are two peak points of the sound wave level, they are superimposed to have a broadband characteristic.

【0033】これまでの説明で明らかなように、本発明
トランスジューサではフロントマスの前方部に4分の1
波長の整合層などを必要とせず、屈曲振動を励振できる
程度の厚さの屈曲振動板を付加するだけでよい。この振
動板の厚さも有限要素法解析により最適に設計される。
したがって、本発明トランスジューサは広帯域化ととも
に小型軽量な形状でもあると言える。
As is apparent from the above description, in the transducer of the present invention, a quarter of the front of the front mass is provided.
A wavelength matching layer or the like is not required, and a bending vibration plate having a thickness enough to excite bending vibration may be added. The thickness of this diaphragm is also optimally designed by finite element analysis.
Therefore, it can be said that the transducer of the present invention has a small size and a lightweight shape as well as a wide band.

【0034】なお、フロント金属マス13の形状は図1
及び図2では円形となっているが、矩形であっても同様
の効果が得られる。
The shape of the front metal mass 13 is shown in FIG.
Although FIG. 2 shows a circular shape, the same effect can be obtained with a rectangular shape.

【0035】また、本発明トランスジューサをさらに低
周波で駆動させる方法として、図6に示すように、フロ
ント金属マス13と圧電セラミック積層体11との接合
部付近のフロント金属マス13にフロント金属マス13
の前面に向けてスリット66を一周、いれることも有効
である。スリット66をいれることでフロント金属マス
13のコンプライアンスを小さくし、低周波化を図るこ
とが可能である。このスリット66の深さについても、
有限要素法の数値解析により、適当に設計し所望の周波
数での駆動を実現することが可能である。
As a method of driving the transducer of the present invention at a lower frequency, as shown in FIG. 6, the front metal mass 13 near the junction between the front metal mass 13 and the piezoelectric ceramic laminate 11 is added to the front metal mass 13.
It is also effective to insert the slit 66 one round toward the front surface. By providing the slit 66, it is possible to reduce the compliance of the front metal mass 13 and reduce the frequency. Regarding the depth of the slit 66,
By the numerical analysis of the finite element method, it is possible to appropriately design and realize driving at a desired frequency.

【0036】また、本発明トランスジューサの使用深度
の向上を目的として、図7に示すように、フロント金属
マス13の凹部と屈曲振動板15の間の空気ギャップ層
に、例えばオニオンスキンペーパー(積層)のような軟
材127を配して、空気ギャップ層を埋め、外水圧に対
する耐水圧強度を強化することも本発明の特徴のーつで
ある。なお、図7では屈曲振動板15とフロント金属マ
ス13との接合は溶着接合の図となっているが、図1に
示すようなボルトと強力接着剤による接合の構造におい
ても本発明は同様に機能する。また、放射面が円板であ
っても矩形であっても同様の効果が得られる。
For the purpose of improving the working depth of the transducer of the present invention, as shown in FIG. 7, for example, onion skin paper (lamination) is provided on the air gap layer between the concave portion of the front metal mass 13 and the bending diaphragm 15. Another feature of the present invention is to dispose a soft material 127 as described above to fill the air gap layer and enhance the water pressure resistance against external water pressure. In FIG. 7, the joining between the bending vibration plate 15 and the front metal mass 13 is a welding joint, but the present invention is similarly applied to a joint structure using a bolt and a strong adhesive as shown in FIG. 1. Function. Similar effects can be obtained regardless of whether the radiation surface is a disk or a rectangle.

【0037】さらに、水中超音波トランスジューサは水
中での使用のため、樹脂などによりモールドを施す必要
がある。モールド工程の際には数t程度の荷重がトラン
スジューサに加えられることになる。そこで、屈曲振動
板がその荷重に対して塑性変形を起こさぬように、図8
に示すように、フロント金属マス13の凹部の底面に複
数の凸部を塑性変形ストッパ137として設けることも
本発明の特徴のーつである。モールド工程中に数tにも
及ぶ荷重が屈曲振動板15に加わったとしても、その荷
重印加中は屈曲振動板15は屈曲し、塑性変形ストッパ
137に接触することになるが、このストッパ137の
おかげで、屈曲振動板15は塑性変形することなく、モ
ールド工程終了後は元の原型に戻ることができるという
効果がある。
Further, since the underwater ultrasonic transducer is used in water, it must be molded with a resin or the like. During the molding process, a load of about several t is applied to the transducer. In order to prevent the bending vibration plate from plastically deforming under the load, FIG.
As shown in (1), a feature of the present invention is that a plurality of convex portions are provided as plastic deformation stoppers 137 on the bottom surface of the concave portion of the front metal mass 13. Even if a load as large as several t is applied to the bending vibration plate 15 during the molding process, the bending vibration plate 15 is bent during the application of the load and comes into contact with the plastic deformation stopper 137. Thus, there is an effect that the bending diaphragm 15 can return to the original model after the molding process without plastic deformation.

【0038】なお、図8では屈曲振動板15とフロント
金属マス13の接合は溶着接合の図となっているが、図
1に示すようなボルトと強力接着剤による接合の構造に
おいても本発明は同様に機能する。また、放射面が円板
であっても矩形であっても同様の効果が得られる。
Although FIG. 8 shows the welding of the bending diaphragm 15 and the front metal mass 13 by welding, the present invention can also be applied to a structure of a bolt and a strong adhesive as shown in FIG. Works similarly. Similar effects can be obtained regardless of whether the radiation surface is a disk or a rectangle.

【0039】以下、図1、図2、図6、図7、及び図8
に示した実施例について詳細に説明する。
Hereinafter, FIGS. 1, 2, 6, 7, and 8 will be described.
The embodiment shown in (1) will be described in detail.

【0040】(実施例1) 図1に示す本発明の第1の
実施例によるトランスジューサにおいて、圧電セラミッ
ク積層体11は、厚さ方向に分極されたジルコンチタン
酸鉛系圧電セラミックスでできた多数のリングからな
り、隣接するリングは分極方向が互いに逆向きになるよ
うに配列され、リングは電気的に並列に接続され駆動さ
れる。12及び13は金属マスで、それぞれがリアマス
及びフロントマスをなしている。ボルト14はCr−M
o鋼製で、ナット17とともに圧電セラミックリングに
静的な圧縮バイアスを加えている。15はAl合金でで
きた屈曲振動板であり、フロント金属マス13とはエポ
キシ系の強力接着剤とボルト16とによって円周部近辺
で強固に固定されている。
(Embodiment 1) In the transducer according to the first embodiment of the present invention shown in FIG. 1, the piezoelectric ceramic laminate 11 is composed of a large number of lead zirconate titanate-based piezoelectric ceramics polarized in the thickness direction. The adjacent rings are arranged so that the polarization directions are opposite to each other, and the rings are electrically connected and driven in parallel. Reference numerals 12 and 13 denote metal masses, which form a rear mass and a front mass, respectively. Bolt 14 is Cr-M
It is made of o-steel and applies a static compression bias to the piezoelectric ceramic ring together with the nut 17. Reference numeral 15 denotes a flexural vibration plate made of an Al alloy. The flexural vibration plate 15 is firmly fixed to the front metal mass 13 in the vicinity of the circumference by a strong epoxy adhesive and bolts 16.

【0041】フロント金属マス13の凹部は、有限要素
法を駆使した送波感度特性のシミュレーションにより広
帯域化が実現されうる寸法として、放射面の直径に対し
て凹部(窪み)の直径を約75%とし、同様のシミュレ
ーションによりランジュバン振動子の縦振動基本共振モ
ードの共振周波数より屈曲振動板15の屈曲振動モード
の共振周波数の方が高くなるような屈曲振動板15の厚
さを求めた。この場合、送波電圧感度特性において、比
帯域幅は屈曲振動板を設けない場合の2倍以上が得られ
る。
The size of the recess of the front metal mass 13 is such that the bandwidth can be widened by simulating the transmission sensitivity characteristics using the finite element method. The diameter of the recess (depression) is about 75% of the diameter of the radiation surface. By the same simulation, the thickness of the bending vibration plate 15 was determined such that the resonance frequency of the bending vibration mode of the bending vibration plate 15 was higher than the resonance frequency of the longitudinal vibration fundamental resonance mode of the Langevin vibrator. In this case, in the transmission voltage sensitivity characteristic, the specific bandwidth can be obtained twice or more as compared with the case where the bending diaphragm is not provided.

【0042】(実施例2) 図2に示す本発明の第2の
実施例によるトランスジューサは、以下に述べる点を除
けば、図1に示す本発明の第1の実施例によるトランス
ジューサと同様である。
Embodiment 2 A transducer according to a second embodiment of the present invention shown in FIG. 2 is the same as the transducer according to the first embodiment of the present invention shown in FIG. 1 except for the following points. .

【0043】即ち、Al合金でできた屈曲振動板15
は、フロント金属マス13に対して、その前面凹部の内
周壁に電子ビーム溶着法により、あたかも一体型構造の
ように強固に接続されている。
That is, the bending diaphragm 15 made of an Al alloy
Is firmly connected to the front metal mass 13 by the electron beam welding method on the inner peripheral wall of the front concave portion as if it were an integrated structure.

【0044】フロント金属マス13の凹部は、有限要素
法を駆使した送波感度特性のシミュレーシヨンにより広
帯域化が実現されうる寸法として、放射面の直径に対し
て凹部(窪み)の直径を約75%とし、同様のシミュレ
ーションによりランジュバン振動子の縦振動基本共振モ
ードの共振周波数より屈曲振動板15の屈曲振動モード
の共振周波数の方が高くなるような屈曲振動板15の厚
さを求めた。この場合、送波電圧感度特性において、比
帯域幅は屈曲振動板を設けない場合の2倍以上が得られ
る。
The concave portion of the front metal mass 13 has a size that can achieve a wide band by simulating the transmission sensitivity characteristics using the finite element method. %, And the same simulation was performed to determine the thickness of the bending vibration plate 15 such that the resonance frequency of the bending vibration mode of the bending vibration plate 15 was higher than the resonance frequency of the longitudinal vibration fundamental resonance mode of the Langevin vibrator. In this case, in the transmission voltage sensitivity characteristic, the specific bandwidth can be obtained twice or more as compared with the case where the bending diaphragm is not provided.

【0045】(実施例3) 図6に示す本発明の第3の
実施例によるトランスジューサは、以下に述べる点を除
けば、図2に示す本発明の第2の実施例によるトランス
ジューサと同様である。
Embodiment 3 The transducer according to the third embodiment of the present invention shown in FIG. 6 is the same as the transducer according to the second embodiment of the present invention shown in FIG. 2 except for the following points. .

【0046】即ち、小型でより低周波化をはかるため、
図6に示すようにスリット66をフロント金属マス13
と圧電セラミック積層体11との接合部付近のフロント
金属マス13に一周挿入した。
That is, in order to reduce the frequency with a small size,
As shown in FIG.
One turn was inserted into the front metal mass 13 near the joint between the piezoelectric ceramic laminate 11 and the piezoelectric ceramic laminate 11.

【0047】この場合、第2の実施例のトランスジュー
サに比べ、低周波化が可能となる。
In this case, the frequency can be reduced as compared with the transducer of the second embodiment.

【0048】(実施例4) 図7に示す本発明の第4の
実施例によるトランスジューサは、以下に述べる点を除
けば、図2に示す本発明の第2の実施例によるトランス
ジューサと同様である。
Fourth Embodiment A transducer according to a fourth embodiment of the present invention shown in FIG. 7 is the same as the transducer according to the second embodiment of the present invention shown in FIG. 2 except for the following points. .

【0049】即ち、フロント金属マス13の凹部と屈曲
振動板15との間のギャップ層に、オニオンスキンペー
パーを複数枚積層して成る軟材127を埋めている。
That is, the soft material 127 formed by laminating a plurality of onion skin papers is buried in the gap layer between the concave portion of the front metal mass 13 and the bending diaphragm 15.

【0050】(実施例5) 図8に示す本発明の第5の
実施例によるトランスジューサは、以下に述べる点を除
けば、図2に示す本発明の第2の実施例によるトランス
ジューサと同様である。
Fifth Embodiment A transducer according to a fifth embodiment of the present invention shown in FIG. 8 is the same as the transducer according to the second embodiment of the present invention shown in FIG. 2 except for the following points. .

【0051】即ち、フロント金属マス13の凹部の底面
に2つのリング状の凸型形状を持つ塑性変形ストッパ1
37をほぼ等間隔で設けた。放射面の直径に対して凹部
(窪み)の直径を約75%とし、塑性変形ストッパ13
7の高さはギャップ層の約1/2とした。
That is, a plastic deformation stopper 1 having two ring-shaped convex shapes on the bottom surface of the concave portion of the front metal mass 13.
37 were provided at substantially equal intervals. The diameter of the concave portion (depression) is set to about 75% of the diameter of the radiation surface, and the plastic deformation stopper 13 is formed.
The height of 7 was set to about 1/2 of the gap layer.

【0052】[0052]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
小型・軽量でハイパワー送波が可能で、高効率および広
帯域なる水中超音波トランスジューサが実現できる。
As described above, according to the present invention,
A small and lightweight underwater ultrasonic transducer that can transmit high power and has high efficiency and wide bandwidth can be realized.

【0053】なお、本発明は魚群探知等に適用可能であ
る。
The present invention is applicable to fish school detection and the like.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施例による水中超音波トラン
スジューサを示す正面図及び断面図である。
FIG. 1 is a front view and a sectional view showing an underwater ultrasonic transducer according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第2の実施例による水中超音波トラン
スジューサを示す正面図及び断面図である。
FIGS. 2A and 2B are a front view and a sectional view showing an underwater ultrasonic transducer according to a second embodiment of the present invention.

【図3】図1及び図2の水中超音波トランスジューサの
並進変位縦振動モードでの共振時の振動モードを表す図
である。
FIG. 3 is a diagram showing a vibration mode at the time of resonance in a translational displacement longitudinal vibration mode of the underwater ultrasonic transducer of FIGS. 1 and 2;

【図4】図1及び図2の水中超音波トランスジューサの
屈曲振動板の屈曲振動モードでの共振時の振動モードを
表す図である。
4 is a diagram illustrating a vibration mode at the time of resonance in a bending vibration mode of a bending vibration plate of the underwater ultrasonic transducer of FIGS. 1 and 2. FIG.

【図5】図1及び図2の水中超音波トランスジューサの
帯域特性の一例を表した図である。
5 is a diagram illustrating an example of a band characteristic of the underwater ultrasonic transducer of FIGS. 1 and 2. FIG.

【図6】本発明の第3の実施例による水中超音波トラン
スジューサを示す正面図及び断面図である。
FIG. 6 is a front view and a sectional view showing an underwater ultrasonic transducer according to a third embodiment of the present invention.

【図7】本発明の第4の実施例による水中超音波トラン
スジューサを示す正面図及び断面図である。
FIG. 7 is a front view and a sectional view showing an underwater ultrasonic transducer according to a fourth embodiment of the present invention.

【図8】本発明の第5の実施例による水中超音波トラン
スジューサを示す正面図及び断面図である。
FIG. 8 is a front view and a sectional view showing an underwater ultrasonic transducer according to a fifth embodiment of the present invention.

【図9】従来のボルト締めランジュバン型トランスジュ
ーサを示す正面図及び断面図である。
FIG. 9 is a front view and a sectional view showing a conventional bolted Langevin type transducer.

【図10】従来の整合層付き水中超音波トランスジュー
サを示す図である。
FIG. 10 is a diagram showing a conventional underwater ultrasonic transducer with a matching layer.

【図11】従来のボルト締めランジュバン振動子と筒状
共振子を組み合わせた水中超音波トランスジューサを示
す図である。
FIG. 11 is a diagram showing a conventional underwater ultrasonic transducer in which a bolted Langevin vibrator and a cylindrical resonator are combined.

【図12】従来のボルト締めランジュバン振動子と2分
の1波長共振子を組み合わせた水中超音波トランスジュ
ーサを示す図である。
FIG. 12 is a diagram showing a conventional underwater ultrasonic transducer in which a bolted Langevin vibrator and a half-wavelength resonator are combined.

【図13】従来のランジュバン振動子に複数層の整合層
を付加した超音波トランスジューサを示す図である。
FIG. 13 is a diagram showing an ultrasonic transducer in which a plurality of matching layers are added to a conventional Langevin transducer.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 圧電セラミック積層体 12 リア金属マス 13 フロント金属マス 14 ボルト 15 屈曲振動板 16 ボルト 17 ナット 66 スリット 127 軟材 137 塑性変形ストッパ DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Piezoelectric ceramic laminated body 12 Rear metal mass 13 Front metal mass 14 Bolt 15 Flexural vibration plate 16 Bolt 17 Nut 66 Slit 127 Soft material 137 Plastic deformation stopper

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村上 訓通 神奈川県横浜市金沢区並木2−6−8− 102 (72)発明者 蒲 英樹 神奈川県横浜市磯子区森1−5−21− 908 (56)参考文献 特開 昭62−176396(JP,A) 特開 昭61−18299(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H04R 1/44 330 G01S 7/52 H04R 17/10 330 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing from the front page (72) Inventor Kunichi Murakami 102-6-8-102 Namiki, Kanazawa-ku, Yokohama-shi, Kanagawa-ken (56) References JP-A-62-176396 (JP, A) JP-A-61-18299 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H04R 1/44 330 G01S 7 / 52 H04R 17/10 330

Claims (10)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 フロントマスとリアマスとの間に、内部
に貫通孔を有する圧電セラミック積層体を配し、前記圧
電セラミック積層体の前記貫通孔を通して前記フロント
マス及び前記リアマスに係合され、前記圧電セラミック
積層体に圧縮応力を加えるためのボルトを設けたボルト
締めランジュバン振動子を有する水中超音波トランスジ
ューサにおいて、前記フロントマスの前面に凹部を設
け、前記フロントマスの前記前面に屈曲振動板を固定し
たことを特徴とする水中超音波トランスジューサ。
1. A piezoelectric ceramic laminate having a through hole therein is disposed between a front mass and a rear mass, and the piezoelectric ceramic laminate is engaged with the front mass and the rear mass through the through hole of the piezoelectric ceramic laminate. In an underwater ultrasonic transducer having a bolted Langevin vibrator provided with a bolt for applying compressive stress to a piezoelectric ceramic laminate, a concave portion is provided on the front surface of the front mass, and a bending diaphragm is fixed to the front surface of the front mass. Underwater ultrasonic transducer characterized by the following.
【請求項2】 請求項1に記載の水中超音波トランスジ
ューサにおいて、前記フロントマスの前記前面の前記凹
部の径を前記フロントマスの前記前面の全径の60%〜
90%に設定したことを特徴とする水中超音波トランス
ジューサ。
2. The underwater ultrasonic transducer according to claim 1, wherein a diameter of the concave portion on the front surface of the front mass is 60% or less of a total diameter of the front surface of the front mass.
An underwater ultrasonic transducer characterized by being set to 90%.
【請求項3】 請求項1或いは2に記載の水中超音波ト
ランスジューサにおいて、屈曲振動板にAl合金と、T
i合金と、炭素繊維などの繊維強化プラスチックと、A
l或いはMgを母材とする繊維強化金属とから成るグル
ープから選択された、軽量でかつ高強度特性を有する一
つの材料を用いることを特徴とする水中超音波トランス
ジューサ。
3. The underwater ultrasonic transducer according to claim 1, wherein the bending vibration plate includes an Al alloy,
i alloy, fiber reinforced plastic such as carbon fiber, and A
An underwater ultrasonic transducer using one material having light weight and high strength characteristics selected from the group consisting of l or Mg-based fiber-reinforced metal.
【請求項4】 請求項1、2及び3のいずれかに記載の
水中超音波トランスジューサにおいて、前記ボルト締め
ランジュバン振動子の縦振動基本共振モードと前記フロ
ントマスの前記前面に固定した前記屈曲振動板の屈曲振
動モードが互いに逆相となることを特徴とする水中超音
波トランスジューサ。
4. The underwater ultrasonic transducer according to claim 1, wherein the longitudinal vibration fundamental resonance mode of the bolted Langevin vibrator and the bending diaphragm fixed to the front surface of the front mass. Wherein the bending vibration modes of the underwater ultrasonic transducer are opposite to each other.
【請求項5】 請求項1、2、3及び4のいずれかに記
載の水中超音波トランスジューサにおいて、前記ボルト
締めランジュバン振動子の縦振動基本共振周波数よりも
前記フロントマスの前記前面に固定した前記屈曲振動板
の屈曲振動共振周波数の方が高くなるように設定したこ
とを特徴とする水中超音波トランスジューサ。
5. The underwater ultrasonic transducer according to any one of claims 1, 2, 3 and 4, wherein the underwater ultrasonic transducer is fixed to the front surface of the front mass with respect to a fundamental longitudinal vibration frequency of the bolted Langevin vibrator. An underwater ultrasonic transducer, wherein the bending vibration resonance frequency of the bending vibration plate is set to be higher.
【請求項6】 請求項1、2、3、4及び5のいずれか
に記載の水中超音波トランスジューサにおいて、前記フ
ロントマスと前記圧電セラミック積層体との接合部付近
の前記フロントマスに前記フロントマスの前記前面に向
けてスリットを一周、刻んだことを特徴とする水中超音
波トランスジューサ。
6. The underwater ultrasonic transducer according to claim 1, wherein the front mass is provided near the junction between the front mass and the piezoelectric ceramic laminate. An underwater ultrasonic transducer, wherein a slit is engraved around the front surface of the ultrasonic transducer.
【請求項7】 請求項1、2、3、4、5及び6のいず
れかに記載の水中超音波トランスジューサにおいて、前
記フロントマスの前記前面に前記屈曲振動板を接着剤で
張り付け、さらにボルトによって固定することによっ
て、前記フロントマスに前記屈曲振動板を固定したこと
を特徴とする水中超音波トランスジューサ。
7. The underwater ultrasonic transducer according to claim 1, wherein the bending diaphragm is attached to the front surface of the front mass with an adhesive, and furthermore, is bolted. An underwater ultrasonic transducer, wherein the bending diaphragm is fixed to the front mass by fixing.
【請求項8】 請求項1、2、3、4、5及び6のいず
れかに記載の水中超音波トランスジューサにおいて、前
記フロントマスの前記凹部の内部に前記屈曲振動板をは
め込み、前記フロントマスに前記屈曲振動板を電子ビー
ム溶着により溶着接合したことを特徴とする水中超音波
トランスジューサ。
8. The underwater ultrasonic transducer according to any one of claims 1, 2, 3, 4, 5, and 6, wherein the bending diaphragm is fitted inside the concave portion of the front mass, and is attached to the front mass. An underwater ultrasonic transducer, wherein the bending vibration plate is welded and joined by electron beam welding.
【請求項9】 請求項1、2、3、4、5、6、7及び
8のいずれかに記載の水中超音波トランスジューサにお
いて、前記フロントマスの前記凹部と前記屈曲振動板と
のギャップに軟材を挿入したことを特徴とする水中超音
波トランスジューサ。
9. The underwater ultrasonic transducer according to claim 1, wherein the gap between the concave portion of the front mass and the bending diaphragm is soft. Underwater ultrasonic transducer characterized by inserting a material.
【請求項10】 請求項1、2、3、4、5、6、7及
び8のいずれかに記載の水中超音波トランスジューサに
おいて、前記フロントマスの前記凹部の底面に複数の凸
部を設けたことを特徴とする水中超音波トランスジュー
サ。
10. The underwater ultrasonic transducer according to claim 1, wherein a plurality of convex portions are provided on a bottom surface of the concave portion of the front mass. An underwater ultrasonic transducer, characterized in that:
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