JP2998281B2 - Method of manufacturing ink jet recording head - Google Patents

Method of manufacturing ink jet recording head

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JP2998281B2 JP11330091A JP11330091A JP2998281B2 JP 2998281 B2 JP2998281 B2 JP 2998281B2 JP 11330091 A JP11330091 A JP 11330091A JP 11330091 A JP11330091 A JP 11330091A JP 2998281 B2 JP2998281 B2 JP 2998281B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録装
置の記録ヘッドの製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a recording head of an ink jet recording apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】インクジェット記録方法は、現在知られ
ている各種記録方式の中でも記録時に低騒音のノンイン
パクト記録方法であり、また、インク滴を飛翔させて記
録媒体上に画像を形成するので高速記録が可能で、かつ
普通紙に特別の定着処理を必要とせずに記録ができると
いう点で極めて有用な記録方法として認められている。
図2に示すようなインクジェット記録ヘッドにおいて、
ノズル形成プレート3は、例えば、金属、セラミック、
シリコン、ガラス、プラスチック等で形成されている。
しかし、インクジェット記録方法はインク滴を飛翔させ
て記録媒体上に画像を形成するので、インク吐出面を濡
らさないことを前提としたインクジェット記録ヘッドの
場合、ノズルを有する面の撥インク性(インクが水性イ
ンクであれば撥水性、油性インクであれば撥油性)が要
求される。もし、撥インク性が不十分であると記録ヘッ
ドからインクを吐出させたときに、そのインクが吐出口
近傍に付着し、不均一なインク溜り(濡れムラ)が生じ
るため、再びインクを吐出させたとき、図2に示すよう
にその飛翔方向がインク溜りの側に引っ張られ正規の方
向から外れる(飛行曲がり)という問題が起こる。さら
に、濡れムラが不安定なために吐出のたびにその飛翔方
向が乱れ、安定したインクの吐出ができず良好な記録が
得られない。
2. Description of the Related Art An ink jet recording method is a non-impact recording method of low noise at the time of recording among various recording methods known at the present time. In addition, since an image is formed on a recording medium by flying ink droplets, high-speed recording is performed. It is recognized as an extremely useful recording method in that recording is possible and recording can be performed on plain paper without requiring special fixing processing.
In an ink jet recording head as shown in FIG.
The nozzle forming plate 3 is made of, for example, metal, ceramic,
It is made of silicon, glass, plastic or the like.
However, since the ink jet recording method forms an image on a recording medium by flying ink droplets, in the case of an ink jet recording head on the premise that the ink ejection surface is not wetted, the ink repellency of the surface having the nozzle (the ink Water-based inks are required to have water repellency, and oil-based inks are required to have oil repellency. If the ink repellency is insufficient, when the ink is ejected from the recording head, the ink adheres to the vicinity of the ejection port, causing non-uniform ink accumulation (wetting unevenness). In this case, as shown in FIG. 2, the flying direction is pulled toward the ink reservoir and deviates from the normal direction (flight bending). Further, because the unevenness of the wetting is unstable, the flight direction is disturbed each time the ink is ejected, and stable ink ejection cannot be performed, and good recording cannot be obtained.

【0003】そこで、従来よりノズルを有する面の一部
あるいは全部に表面処理を施して、様々な撥インク性を
高める方法が試みられている。
[0003] In view of the above, various methods for improving the ink repellency by applying a surface treatment to part or all of a surface having a nozzle have been attempted.

【0004】例えば、特開平2−55140号公報には
ノズルを取り囲むようにフルオロカーボン樹脂の熱蒸
着、及び無電解ニッケルメッキ中にコロイド性のフルオ
ロカーボンを堆積させることによって撥インク層を設
け、その後加熱による焼き鈍しをして、撥水性をさらに
高めるという方法が示されている。
For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-55140 discloses that an ink-repellent layer is formed by thermally vapor-depositing a fluorocarbon resin so as to surround a nozzle and depositing colloidal fluorocarbon during electroless nickel plating. A method of annealing to further increase the water repellency is disclosed.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記公
報による方法では撥インク性をさらに高めるために撥イ
ンク層を200℃→400℃→400℃→400℃→2
00℃という処理サイクルで約1.75時間加熱を行う
かもしくは300℃により1時間加熱する等により焼き
鈍しを行っているが、この場合、ノズル形成プレートは
撥インク層を設けた面と設けていない面との熱膨張率の
違いからプレートの反りが生じ、記録ヘッド組立時にイ
ンク流路形成部材とノズル形成プレートとの接着ができ
なくなるという課題があった。
However, according to the method disclosed in the above publication, the ink repellent layer is formed at 200 ° C. → 400 ° C. → 400 ° C. → 400 ° C. → 2 in order to further enhance the ink repellency.
Annealing is performed by heating at a processing cycle of 00 ° C. for about 1.75 hours or heating at 300 ° C. for 1 hour, but in this case, the nozzle forming plate is not provided with the surface provided with the ink repellent layer. There is a problem that the plate is warped due to the difference in the coefficient of thermal expansion between the surface and the surface, and the ink flow path forming member and the nozzle forming plate cannot be adhered to each other during the assembling of the recording head.

【0006】本発明は前記課題を解決するためのもので
あり、その目的はインクジェット記録ヘッドにおいてイ
ンクを吐出させたとき、インクが吐出口近傍に付着しな
いために吐出インク滴飛行曲がりが起こらず、高品質の
記録が長期間可能なインクジェット記録ヘッドを提供す
るところにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problem, and has as its object that when ink is ejected from an ink jet recording head, the ink does not adhere to the vicinity of the ejection port, so that the ejection ink droplet does not bend and fly. An object of the present invention is to provide an ink jet recording head capable of performing high-quality recording for a long period of time.

【0007】また、本発明のもうひとつの目的は前記記
録ヘッドを高い歩留まりで容易に製造できる方法を提供
するところにある。
Another object of the present invention is to provide a method capable of easily manufacturing the recording head with a high yield.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
記録ヘッドの製造方法は、ノズルを形成する金属プレー
トの該ノズル周辺にフッ素系高分子共析メッキによる撥
インク層を設ける工程と、前記金属プレートを加圧しな
がら該フッ素系高分子の融点以上に加熱処理する工程
と、インク流路形成部材に前記金属プレートを接着する
工程とからなることを特徴とする。
According to a method of manufacturing an ink jet recording head of the present invention, a step of providing an ink-repellent layer by fluoropolymer eutectoid plating around a nozzle of a metal plate forming a nozzle; And a step of adhering the metal plate to the ink flow path forming member while applying heat to a temperature higher than the melting point of the fluoropolymer.

【0009】ノズルを形成する金属プレートとしてはチ
タン、クロム、鉄、コバルト、ニッケル、銅、亜鉛、ス
ズ、金等の単一金属、あるいはニッケル−リン合金、ス
ズ−銅−リン合金(リン青銅)、銅−亜鉛合金(B
S)、ステンレス鋼(SUS)等の合金が使用できる。
The metal plate forming the nozzle may be a single metal such as titanium, chromium, iron, cobalt, nickel, copper, zinc, tin or gold, or a nickel-phosphorus alloy or a tin-copper-phosphorus alloy (phosphor bronze). , Copper-zinc alloy (B
S) and alloys such as stainless steel (SUS) can be used.

【0010】前記ノズル周辺にフッ素系高分子共析メッ
キによる撥インク層を設ける工程中、メッキのマトリッ
クスとしてはニッケル、銅、銀、亜鉛、錫等の適宜な金
属を選ぶことができるが、好ましくは、ニッケル(N
i)やニッケルーコバルト合金(Ni−Co)、ニッケ
ルーリン合金(Ni−P)、ニッケルーホウ素合金(N
i−B)等のニッケル合金が表面硬度、耐摩耗性に優れ
ていることから選定される。また、共析されるフッ素系
高分子としてはポリテトラフルオロエチレン(PTF
E)、ポリパーフルオロアルコキシブタジエン(PF
A)、ポリフルオロビニリデン、ポリフルオロビニル等
を単独あるいは、これらを混合して用いることができ
る。また、加熱処理は少なくとも共析されるフッ素系高
分子のうちの最も低い融点以上の温度にて行う必要があ
る。撥インク層の厚さは共析メッキ層が薄すぎるとノズ
ルを有する面の撥インク性が不十分であるし、またメッ
キ層が厚すぎるとノズルの径の精度に影響がでるため、
1〜10μmの範囲が適当である。この際、メッキ層中
のフッ素系高分子の共析量はメッキ層中5〜60vol
%、特に10〜50vol%になるようにすることが好
ましい。
In the step of providing an ink-repellent layer by fluoropolymer eutectoid plating around the nozzle, an appropriate metal such as nickel, copper, silver, zinc, or tin can be selected as a plating matrix. Is nickel (N
i) and nickel-cobalt alloy (Ni-Co), nickel-phosphorus alloy (Ni-P), nickel-boron alloy (N
Nickel alloys such as i-B) are selected because of their excellent surface hardness and wear resistance. Further, polytetrafluoroethylene (PTF
E), polyperfluoroalkoxybutadiene (PF
A), polyfluorovinylidene, polyfluorovinyl and the like can be used alone or as a mixture thereof. In addition, the heat treatment needs to be performed at least at a temperature equal to or higher than the lowest melting point of the eutectoid fluoropolymer. If the thickness of the ink-repellent layer is too thin, the ink repellency of the surface having the nozzle is insufficient if the eutectoid plating layer is too thin, and if the plating layer is too thick, the accuracy of the diameter of the nozzle is affected.
A range of 1 to 10 μm is appropriate. At this time, the eutectoid amount of the fluoropolymer in the plating layer was 5 to 60 vol.
%, Especially 10 to 50 vol%.

【0011】また加熱工程中にノズル形成金属プレート
にかける圧力は100gf/cm2以上、好ましくは5
00gf/cm2 以上が適当である。圧力は金属プレー
トの必要な一部分にのみかけても良いし、全体にかけて
も良い。
The pressure applied to the nozzle forming metal plate during the heating step is 100 gf / cm 2 or more, preferably 5 gf / cm 2 or more.
More than 00 gf / cm 2 is appropriate. The pressure may be applied to only a required part of the metal plate or the entire metal plate.

【0012】さらにインク流路形成部材の材料としては
ニッケル、銅、亜鉛、スズ、ニッケル−リン合金、スズ
−銅−リン合金(リン青銅)、銅−亜鉛合金(BS)、
ステンレス鋼(SUS)等の金属やポリカーボネイト、
ポリサルフォン、ABS樹脂(アクリルニトリル・ブタ
ジエン・スチレン共重合)、ポリエチレンテレフタレー
ト、ポリアセタール、アモルファスポリオレフィン等の
プラスチック、さらにセラミックス、シリコン、ガラス
などが使用できる。
Further, as materials for the ink flow path forming member, nickel, copper, zinc, tin, nickel-phosphorus alloy, tin-copper-phosphorus alloy (phosphor bronze), copper-zinc alloy (BS),
Metals such as stainless steel (SUS) and polycarbonate,
Plastics such as polysulfone, ABS resin (acrylonitrile / butadiene / styrene copolymer), polyethylene terephthalate, polyacetal, and amorphous polyolefin, as well as ceramics, silicon, and glass can be used.

【0013】また、図2に示すようなインクジェット記
録ヘッドにはインク流路形成部材に圧電素子や発熱体等
のインク吐出用素子が具備されることが必要であるが、
これは金属プレートと流路形成部材との接着前または接
着後のいつでも具備できる。
Further, in the ink jet recording head as shown in FIG. 2, it is necessary that the ink flow path forming member is provided with an ink discharging element such as a piezoelectric element or a heating element.
This can be provided at any time before or after bonding the metal plate and the flow path forming member.

【0014】[0014]

【実施例】以下、本発明を図面を参照して具体的に説明
する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to the drawings.

【0015】図1において、本発明にかかわるインクジ
ェット記録ヘッドの断面図を示す。 実施例1 電解法によってノズル4を形成したニッケルプレートを
用い、まず陽極電解脱脂→水洗→塩酸で酸浸漬→水洗→
塩化ニッケルでストライクメッキ→水洗という工程で洗
浄を行った。続いて撥インク層の不要な箇所、具体的に
はインク流路形成基板との接着部分をポリエステルテー
プで保護し、以下の組成のメッキ液と条件でNi/PT
FE共析メッキをすることにより、撥インク層9を形成
した。
FIG. 1 is a sectional view of an ink jet recording head according to the present invention. Example 1 First, anodic electrolytic degreasing → water washing → acid immersion in hydrochloric acid → water washing →
Washing was performed in a process of strike plating with nickel chloride and washing with water. Subsequently, an unnecessary portion of the ink repellent layer, specifically, a portion to be bonded to the ink flow path forming substrate is protected with a polyester tape, and Ni / PT is treated with a plating solution having the following composition and conditions.
By performing FE eutectoid plating, the ink-repellent layer 9 was formed.

【0016】 ・メッキ液組成 スルファミン酸ニッケル (Ni(NH2SO32) 70g/l H3BO3 30g/l PTFE 55g/l ・条件 pH 4.0〜4.5 メッキ温度 50℃ 陰極電流密度 2A/dm2 攪拌 ゆるやかな機械攪拌 次に、ポリエステルテープ剥離後、ステンレス鋼製ブロ
ック9を用いて図3のようにして加熱処理を行い、ノズ
ル形成金属プレート3を得た。金属プレートには全体に
5kgf/cm2 の圧力を加え、加熱温度はPTFEの
溶融温度以上の350℃で処理時間は2時間とした。
Plating solution composition Nickel sulfamate (Ni (NH 2 SO 3 ) 2 ) 70 g / l H 3 BO 3 30 g / l PTFE 55 g / l Conditions pH 4.0-4.5 Plating temperature 50 ° C. Cathode current Density 2 A / dm 2 Stirring Slow mechanical stirring Next, after peeling off the polyester tape, a heat treatment was performed as shown in FIG. 3 using a stainless steel block 9 to obtain a nozzle forming metal plate 3. A pressure of 5 kgf / cm 2 was applied to the entire metal plate, the heating temperature was 350 ° C. which was higher than the melting temperature of PTFE, and the treatment time was 2 hours.

【0017】実施例2 加熱処理工程中金属プレートに加える圧力を1kgf/
cm2 にした以外はすべて実施例1と同様にしてノズル
形成金属プレート3を得た。
Example 2 The pressure applied to the metal plate during the heat treatment step was 1 kgf /
A nozzle forming metal plate 3 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the pressure was changed to cm 2 .

【0018】実施例3 プレスによる穴開けでノズル4を形成したステンレス鋼
(SUS)プレートを用い、実施例1と同様の工程で洗
浄を行った。続いて撥インク層の不要な箇所をフォトレ
ジストで保護し、以下の組成のメッキ液と条件でNi/
PFA共析メッキをすることにより、撥インク層を形成
した。
Example 3 A stainless steel (SUS) plate in which a nozzle 4 was formed by punching with a press was used for cleaning in the same process as in Example 1. Then, unnecessary portions of the ink-repellent layer are protected with a photoresist, and Ni / Ni plating is performed with a plating solution having the following composition and conditions.
An ink repellent layer was formed by performing PFA eutectoid plating.

【0019】 ・メッキ液組成 スルファミン酸ニッケル (Ni(NH2SO32) 70g/l H3BO3 30g/l PFA 40g/l ・条件 pH 4.0〜4.5 メッキ温度 50℃ 陰極電流密度 2A/dm2 攪拌 ゆるやかな機械攪拌 次に、フォトレジスト剥離後、ステンレス鋼製ブロック
9と厚さ100μmの耐熱性ポリイミドフィルム10を
用いて図4のようにして加熱処理を行い、ノズル形成金
属プレート3を得た。金属プレートには全体に500g
f/cm2 の圧力を加え、加熱温度はPFAの溶融温度
以上の300℃で処理時間は30分間とした。
Plating solution composition Nickel sulfamate (Ni (NH 2 SO 3 ) 2 ) 70 g / l H 3 BO 3 30 g / l PFA 40 g / l Conditions pH 4.0-4.5 Plating temperature 50 ° C. Cathode current Density 2 A / dm 2 Stirring Slow mechanical stirring Next, after removing the photoresist, a heat treatment was performed as shown in FIG. 4 using a stainless steel block 9 and a heat-resistant polyimide film 10 having a thickness of 100 μm to form a nozzle forming metal. Plate 3 was obtained. 500g for metal plate
A pressure of f / cm 2 was applied, the heating temperature was 300 ° C. which was higher than the melting temperature of PFA, and the treatment time was 30 minutes.

【0020】実施例4 加熱処理工程中金属プレートに加える圧力を200gf
/cm2 にした以外はすべて実施例3と同様にしてノズ
ル形成金属プレート3を得た。
Example 4 The pressure applied to the metal plate during the heat treatment step was 200 gf
A nozzle-forming metal plate 3 was obtained in the same manner as in Example 3 except that the pressure was changed to / cm 2 .

【0021】実施例5 無電解法によりノズル4を形成したニッケル−リン合金
(Ni−P)プレートを用い、実施例1と同様の工程で
洗浄を行った。続いて撥インク層の不要な箇所をフォト
レジストで保護し、以下の組成のメッキ液と条件でNi
/PTFE共析メッキをすることにより、撥インク層5
を形成した。
Example 5 Using a nickel-phosphorus alloy (Ni-P) plate having a nozzle 4 formed by an electroless method, cleaning was performed in the same manner as in Example 1. Subsequently, unnecessary portions of the ink repellent layer are protected with a photoresist, and Ni plating is performed using a plating solution having the following composition and a condition.
/ PTFE eutectoid plating allows the ink repellent layer 5
Was formed.

【0022】 ・メッキ液組成 硫酸ニッケル (NiSO4・6H20) 240g/l 塩化ニッケル (NiCl2・6H2O) 45g/l ほう酸 (H3BO3) 35g/l PTFE 50g/l ・条件 pH 4.0〜4.5 メッキ温度 60℃ 陰極電流密度 3A/dm2 攪拌 ゆるやかな機械攪拌 次に、フォトレジスト剥離後、鉄製ブロック11を用い
て図5のようにして加熱処理を行い、ノズル形成金属プ
レート3を得た。金属プレートのブロックに接触してい
る部分にかかる圧力を100gf/cm2 とし、加熱温
度はPTFEの溶融温度以上の350℃で処理時間は3
0分間とした。
・ Plating solution composition Nickel sulfate (NiSO 4 .6H 2 O) 240 g / l Nickel chloride (NiCl 2 .6H 2 O) 45 g / l Boric acid (H 3 BO 3 ) 35 g / l PTFE 50 g / l ・ Conditions pH 4.0-4.5 Plating temperature 60 ° C. Cathode current density 3 A / dm 2 Stirring Slow mechanical stirring Next, after the photoresist is stripped off, heat treatment is performed using the iron block 11 as shown in FIG. A metal plate 3 was obtained. The pressure applied to the portion of the metal plate in contact with the block was 100 gf / cm 2 , the heating temperature was 350 ° C., which was higher than the melting temperature of PTFE, and the treatment time was 3 hours.
0 minutes.

【0023】比較例1 加熱処理工程中金属プレートに圧力を加えず、それ以外
はすべて実施例1と同様にしてノズル形成金属プレート
3を得た。
Comparative Example 1 A nozzle-forming metal plate 3 was obtained in the same manner as in Example 1 except that no pressure was applied to the metal plate during the heat treatment step.

【0024】比較例2 加熱処理工程中金属プレートに圧力を加えず、それ以外
はすべて実施例3と同様にしてノズル形成金属プレート
3を得た。
Comparative Example 2 A nozzle-forming metal plate 3 was obtained in the same manner as in Example 3 except that no pressure was applied to the metal plate during the heat treatment step.

【0025】比較例3 加熱処理工程中金属プレートに加える圧力を10gf/
cm2 にした以外はすべて実施例5と同様にしてノズル
形成金属プレート3を得た。
Comparative Example 3 The pressure applied to the metal plate during the heat treatment step was 10 gf /
A nozzle forming metal plate 3 was obtained in the same manner as in Example 5 except that the pressure was changed to cm 2 .

【0026】得られたノズル形成金属プレート3をポリ
サルフォン樹脂製のインク流路形成部材1にエポキシ系
接着剤によって接着し、インクジェット記録ヘッドを製
造した。
The obtained metal plate 3 for forming a nozzle was bonded to the ink flow path forming member 1 made of polysulfone resin with an epoxy adhesive to manufacture an ink jet recording head.

【0027】前記実施例1〜5のプレートにはいずれも
加熱処理工程中100gf/cm2以上の圧力がかけら
れていたため反りがなく、ポリサルフォン樹脂製のイン
ク流路形成部材1にエポキシ系接着剤によって容易に接
着でき、図1に示すようなインクジェット記録ヘッドが
得られたのに対し、比較例1〜3のプレートには反りが
生じているためインク流路形成基板に精度良く接着がで
きず、インクジェット記録ヘッドが製造できなかった。
Since the pressure of 100 gf / cm 2 or more was applied to the plates of Examples 1 to 5 during the heat treatment process, there was no warpage, and the epoxy adhesive was applied to the ink flow path forming member 1 made of polysulfone resin. 1 was obtained, and the ink jet recording head as shown in FIG. 1 was obtained. On the other hand, the plates of Comparative Examples 1 to 3 were warped because they could not be accurately bonded to the ink flow path forming substrate. , An ink jet recording head could not be manufactured.

【0028】さらに、実施例1〜5及び比較例1〜3の
プレートを用いて以下の撥インク性持続試験を行った。
Further, the following ink repellency sustaining test was performed using the plates of Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 3.

【0029】撥インク性持続試験:各プレートの以下に
示す組成のインクAとの接触角を測定した後、同じくイ
ンクAに浸漬し70℃の恒温槽に5日間放置した後、撥
インク層の状態を目視で確認し、再びインクAとの接触
角を測定した。その結果を表1に示す。
Ink repellency sustaining test: After measuring the contact angle of each plate with ink A having the following composition, the plate was immersed in ink A and left in a constant temperature bath at 70 ° C. for 5 days. The state was visually checked, and the contact angle with the ink A was measured again. Table 1 shows the results.

【0030】なお、接触角は協和界面化学(株)製 F
ACE 自動接触角計 PD-Z型を用い、25℃におい
てインク滴下60秒後に測定した。
The contact angle was measured by Kyowa Interface Chemical Co., Ltd. F
Using an ACE automatic contact angle meter PD-Z, it was measured at 25 ° C. after 60 seconds from the dropping of the ink.

【0031】インクAの組成 C.I.ダイレクトブラック154 1% グリセリン 3% エタノール 5% 水 91%Composition of Ink A I. Direct Black 154 1% Glycerin 3% Ethanol 5% Water 91%

【0032】[0032]

【表1】 [Table 1]

【0033】表1より明らかなように実施例1〜5のプ
レートのうちフッ素系高分子共析メッキによる撥インク
層に加熱処理工程中500gf/cm2 未満の圧力しか
かけられていなかった実施例4、5は初期的には撥イン
ク性は高かったが、インク浸漬により劣化してしまうも
のであった。それに対し、500gf/cm2 以上の圧
力がかけられていた実施例1〜3は撥インク性がインク
浸漬により劣化せず、その持続性が高いものであった。
As is clear from Table 1, the plate of Examples 1 to 5 in which only a pressure of less than 500 gf / cm 2 was applied to the ink-repellent layer by the fluorinated polymer eutectoid plating during the heat treatment step. In Nos. 4 and 5, the ink repellency was initially high, but deteriorated by ink immersion. On the other hand, in Examples 1 to 3 in which a pressure of 500 gf / cm 2 or more was applied, the ink repellency was not deteriorated by ink immersion, and the durability was high.

【0034】[0034]

【発明の効果】以上本発明によれば撥インク層を設けた
ノズル形成金属プレートにおいて、その加熱処理工程時
に発生するプレートの反りが抑えられ、インクジェット
記録ヘッドが高い歩留まりで容易に製造できた。また、
本発明のインクジェット記録ヘッドはインクを吐出させ
たとき、インクが吐出口近傍に付着しないために吐出イ
ンク滴飛行曲がりが起こらず、しかもその効果が劣化し
ないため、高品質の記録が長期間にわたって可能なもの
であった。
As described above, according to the present invention, in the nozzle forming metal plate provided with the ink repellent layer, the warpage of the plate generated during the heat treatment step is suppressed, and the ink jet recording head can be easily manufactured with a high yield. Also,
The ink jet recording head of the present invention, when ejecting ink, does not stick to the vicinity of the ejection port, so that the flying of the ejected ink droplet does not bend and its effect is not deteriorated, so that high quality recording can be performed for a long time It was something.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のインクジェット記録ヘッドの断面模式
図。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of an ink jet recording head of the present invention.

【図2】従来のインクジェット記録ヘッドを説明する
図。
FIG. 2 is a diagram illustrating a conventional ink jet recording head.

【図3】本発明における実施例の加圧方法を示した図。FIG. 3 is a diagram showing a pressing method according to an embodiment of the present invention.

【図4】本発明における実施例の加圧方法を示した図。FIG. 4 is a diagram showing a pressing method according to an embodiment of the present invention.

【図5】本発明における実施例の加圧方法を示した図。FIG. 5 is a diagram showing a pressing method according to an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 インク流路形成部材 2 インク流路 3 ノズル形成金属プレート 4 ノズル 5 撥インク層 6 インク吐出用素子 7 駆動ライン 8 インク 9 ステンレス鋼製ブロック 10 耐熱製ポリイミドフィルム 11 鉄製ブロック DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ink flow path forming member 2 Ink flow path 3 Nozzle forming metal plate 4 Nozzle 5 Ink repellent layer 6 Ink ejection element 7 Drive line 8 Ink 9 Stainless steel block 10 Heat resistant polyimide film 11 Iron block

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小林 武 長野県諏訪市大和3丁目3番5号 セイ コーエプソン株式会社内 (72)発明者 山森 昌雄 長野県諏訪市大和3丁目3番5号 セイ コーエプソン株式会社内 (56)参考文献 特開 昭60−183161(JP,A) 特開 昭57−72866(JP,A) 特開 平1−280566(JP,A) 特開 平2−70442(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B41J 2/135 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Takeshi Kobayashi 3-3-5 Yamato, Suwa-shi, Nagano Seiko Epson Corporation Inside (72) Inventor Masao Yamamori 3-35-5, Yamato, Suwa-shi, Nagano (56) References JP-A-60-183161 (JP, A) JP-A-57-72866 (JP, A) JP-A-1-280566 (JP, A) JP-A-2-70442 ( JP, A) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) B41J 2/135

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 ノズルを形成する金属プレートのノズル
周辺にフッ素系高分子共析メッキによる撥インク層を設
ける工程と、前記金属プレートを荷重をかけながら該フ
ッ素系高分子の融点以上に加熱処理する工程と、インク
流路形成部材に前記金属プレートを接着する工程とから
なることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造
方法。
1. A step of providing an ink-repellent layer by fluorine-based polymer eutectoid plating around a nozzle of a metal plate forming a nozzle, and heat-treating the metal plate to a melting point of the fluorine-based polymer or higher while applying a load. And a step of bonding the metal plate to an ink flow path forming member.
【請求項2】 前記加熱工程中、金属プレートにかける
圧力が10gf/cm2 以上であることを特徴とする請
求項1記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
2. The method according to claim 1, wherein the pressure applied to the metal plate during the heating step is 10 gf / cm 2 or more.
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