JP2997711B2 - Liquid type auto balance device - Google Patents

Liquid type auto balance device

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JP2997711B2
JP2997711B2 JP25157090A JP25157090A JP2997711B2 JP 2997711 B2 JP2997711 B2 JP 2997711B2 JP 25157090 A JP25157090 A JP 25157090A JP 25157090 A JP25157090 A JP 25157090A JP 2997711 B2 JP2997711 B2 JP 2997711B2
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rotating body
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は液体を用いて砥石等の回転体のアンバラン
スを自動修正するための液体式オートバランス装置に関
するものである。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid autobalance apparatus for automatically correcting imbalance of a rotating body such as a grindstone using a liquid.

[従来の技術] 従来、例えば砥石等の回転体のアンバランスを自動修
正するため、加圧ポンプにそれぞれ接続された液体噴射
ノズルおよびエア噴射ノズルを回転体の軸線の周りに環
設したポケットに対向配置して液体式オートバランス装
置が提案されている。そして、液体噴射ノズルから加圧
エアにより噴射された液体を複数のポケットに選択的に
注入したり、エア噴射ノズルから加圧エアを噴射してポ
ケット内に注入された液体を強制的に外部へ排出して砥
石のアンバランスを自動修正していた。
[Prior Art] Conventionally, in order to automatically correct imbalance of a rotating body such as a grindstone, a liquid ejecting nozzle and an air ejecting nozzle respectively connected to a pressure pump are provided in pockets arranged around an axis of the rotating body. There has been proposed a liquid type auto-balancing device which is disposed to face the liquid type auto-balance device. Then, the liquid ejected by the pressurized air from the liquid ejecting nozzle is selectively injected into a plurality of pockets, or the pressurized air is ejected from the air ejecting nozzle to forcibly eject the liquid injected into the pocket to the outside. It was ejected and the imbalance of the whetstone was corrected automatically.

[発明が解決しようとする課題] ところが、液体噴射ノズルから噴射された液体は必ず
しも全てポケットに注入されるわけではなく、若干の液
体はポケットの外部に飛ばされてしまう。また、エア噴
射ノズルから噴射されたエアによって液体がポケットか
ら外部へ吹き飛ばされる。これらの結果により、液体が
砥石の側面に部分的に付着してしまう。よって、砥石側
面に付着した液体により砥石のバランスが崩されてしま
う。そして、液体は砥石の遠心力により移動した吹き飛
ばされたりするので、アンバランス位置が移動したりア
ンバランス量が変動し砥石のアンバランス修正が難し
く、修正に多くの時間がかかるという問題がある。
[Problems to be Solved by the Invention] However, not all the liquid ejected from the liquid ejecting nozzle is injected into the pocket, and some liquid is blown out of the pocket. Also, the liquid is blown out of the pocket to the outside by the air injected from the air injection nozzle. These results cause the liquid to partially adhere to the side surface of the grindstone. Therefore, the balance of the grindstone is broken by the liquid attached to the side surface of the grindstone. Since the liquid is blown off by the centrifugal force of the grindstone, the unbalance position moves or the amount of unbalance fluctuates, so that it is difficult to correct the imbalance of the grindstone, and there is a problem that the correction takes a lot of time.

本発明の目的は、回転体の側面に液体が付着して回転
体の化が崩されることを防止し、回転体のバランス修正
を短時間で行うことができる液体式オートバランス装置
を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a liquid-type auto-balancing device that can prevent a liquid from adhering to a side surface of a rotating body and disintegration of the rotating body, and can perform balance correction of the rotating body in a short time. It is in.

[課題を解決するための手段] 上記の目的を達成するために、本発明は、回転体の軸
線の周りに列設した複数のポケットに対し液体を注入し
て前記回転のアンバランスを修正する液体式オートバラ
ンス装置において、特定位相のポケットに液体を注入し
て回転体のアンバランスを修正するための液体噴射部
と、前記ポケットに向けてエアを噴射してポケット内の
液体を外部に排出するためのエア噴射部と、前記ポケッ
トから外部に排出された液体を強制的に吸引する吸引部
とを備えたことをその要旨とする。
Means for Solving the Problems In order to achieve the above object, the present invention corrects the rotational imbalance by injecting liquid into a plurality of pockets arranged around an axis of a rotating body. In a liquid type auto balance device, a liquid ejecting unit for injecting liquid into a pocket of a specific phase to correct imbalance of a rotating body, and ejecting air toward the pocket to discharge the liquid in the pocket to the outside. And a suction unit for forcibly sucking the liquid discharged from the pocket to the outside.

[作用] 上記の構成により、液体噴射部から吹き出された液体
を特定位相のポケットに注入したり、エア噴射部から吹
き出されたエアによりポケットに注入された液体を外部
に吹き飛ばしたりして回転体のアンバランスを修正し、
また吸引部はポケットに注入されず溢れた液体を強制的
に吸引したり、エアによりポケットから外部へ吹き飛ば
された液体を強制的に吸引する。
[Operation] With the above configuration, the liquid ejected from the liquid ejecting unit is injected into the pocket of a specific phase, or the liquid injected into the pocket is blown out by the air ejected from the air ejecting unit, thereby rotating the rotating body. Fix the imbalance of
The suction unit forcibly sucks the overflowing liquid without being injected into the pocket or forcibly sucks the liquid blown out of the pocket by air.

[実施例] 以下、本発明を具体化した一実施例を図面に基づいて
説明する。
[Embodiment] An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1,2図に示すように、研削盤における砥石ヘッド1
の主軸2にはホルダ3がナット4によって締付固定され
ている。そして、このホルダ3にはねじ5によりバラン
スリング6が取付固定されている。そして、このバラン
スリング6とホルダ3との間に回転体としての砥石7が
挟着固定されている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the grinding wheel head 1 in the grinding machine
A holder 3 is fastened and fixed to the main shaft 2 by a nut 4. A balance ring 6 is attached and fixed to the holder 3 with screws 5. A grindstone 7 as a rotating body is sandwiched and fixed between the balance ring 6 and the holder 3.

前記バランスリング6はリング本体6aとリング本体6a
の前面に取り付けられた蓋リング6bとにより構成されて
いる。前記リング本体6aの前面には等間隔をおいて複数
(図示例では24個)のポケット8が環状に列設されると
ともに、全ポケット8を覆う前記蓋リング6bがねじ9に
よって取着されている。
The balance ring 6 includes a ring body 6a and a ring body 6a.
And a lid ring 6b attached to the front surface of the cover. A plurality of (in the illustrated example, 24) pockets 8 are arranged at equal intervals on the front surface of the ring main body 6a in a ring, and the lid ring 6b covering all the pockets 8 is attached by screws 9. I have.

前記蓋リング6bにより覆われない各ポケット8の内側
開放部は注入口10となっている。また、注入口10の内側
位置において環状に列設された複数のねじ孔11には、手
動バランシングを予備的に行うための適数個のバランス
ピーク12を選択的に螺着できるようになっている。
The inside opening of each pocket 8 not covered by the lid ring 6b serves as an inlet 10. Further, in the plurality of screw holes 11 arranged in a ring at the position inside the inlet 10, an appropriate number of balance peaks 12 for performing preliminary manual balancing can be selectively screwed. I have.

また、前記砥石ヘッド1には砥石カバー13が設けら
れ、前記砥石7の上方を覆うようになっている。そし
て、第1,4図に示すように前記砥石カバー13の前面にお
ける略中央には取付孔14が透設されるとともに、この上
部には水平状の長孔15が透設されている。
The grinding wheel head 1 is provided with a grinding wheel cover 13 so as to cover the grinding wheel 7 from above. As shown in FIGS. 1 and 4, a mounting hole 14 is provided substantially at the center of the front surface of the grinding wheel cover 13, and a horizontal elongated hole 15 is provided at an upper portion thereof.

そして、砥石カバー13の内側にはインジェクタ装置16
が前記バランスリング6の注入口10に近接した状態で対
向配置されている。つまり、インジェクタ装置16には雄
ねじが刻設された取付部材17が設けられている。そし
て、この取付部材17が前記砥石カバー13の取付孔14を挿
通し、取付部材17に螺入された一対のナット18によって
前記カバー13に対し取付固定されている。
The injector device 16 is located inside the grindstone cover 13.
Are arranged facing each other in a state close to the injection port 10 of the balance ring 6. That is, the injector device 16 is provided with the mounting member 17 in which a male screw is engraved. The mounting member 17 is inserted through the mounting hole 14 of the grindstone cover 13 and is mounted and fixed to the cover 13 by a pair of nuts 18 screwed into the mounting member 17.

第3図に示すように、前記インジェクタ装置16には液
体噴射ノズル19とエア噴射ノズル20および吸引孔21が注
入口10と対向するように円弧状に設けられ、本実施例に
おいては左側から順に液体噴射ノズル19、エア噴射ノズ
ル20および吸引孔21となっている。
As shown in FIG. 3, the injector device 16 is provided with a liquid injection nozzle 19, an air injection nozzle 20, and a suction hole 21 in an arc shape so as to face the injection port 10, and in this embodiment, in order from the left side. The liquid ejection nozzle 19, the air ejection nozzle 20, and the suction hole 21 are provided.

前記液体噴射ノズル19およびエア噴射ノズル20は電磁
コイルとそれにより開閉される針弁を内蔵したガソリン
エンジン用の電磁式フューエルインジェクターを使用
し、また、これとは別に圧電素子による超音波振動をホ
ーンにより拡大して噴射バルブを開閉するタイプの超音
波インジェクターを使用することも可能である。
The liquid injection nozzle 19 and the air injection nozzle 20 use an electromagnetic fuel injector for a gasoline engine having a built-in electromagnetic coil and a needle valve which is opened and closed by the electromagnetic coil. It is also possible to use an ultrasonic injector of the type that opens and closes the injection valve by enlarging.

前記液体噴射ノズル19は液体供給管22により気液供給
タンク23に接続されるとともに、エア噴射ノズル20はエ
ア供給管24により気液供給タンク23に接続されている。
気液供給タンク23は密閉構造をなし、その内部には清浄
な水または研削液等の液体Lが貯留されており、それを
図示しないエア源からの加圧エアAにより所定の圧力で
各圧できるようになっている。また、吸引孔21は吸引管
25を介して真空ポンプ26に接続され、この真空ポンプ26
の吸引力により液体Lを吸引するようになっている。
The liquid injection nozzle 19 is connected to a gas-liquid supply tank 23 by a liquid supply pipe 22, and the air injection nozzle 20 is connected to the gas-liquid supply tank 23 by an air supply pipe 24.
The gas-liquid supply tank 23 has a hermetically sealed structure, in which a liquid L such as clean water or grinding fluid is stored, and the liquid L is compressed at a predetermined pressure by pressurized air A from an air source (not shown). I can do it. The suction hole 21 is a suction tube.
25 is connected to a vacuum pump 26 via
The liquid L is sucked by the suction force.

次に、上記のように構成された液体式オートバランス
装置の作用および効果について説明する。
Next, the operation and effects of the liquid type auto-balancing device configured as described above will be described.

第5図に示すように、バランス作業を開始するにあた
り、砥石7の回転状態において、図示しない制御装置か
らの指令によりエア噴射ノズル20が開き、そのエア噴射
ノズル20から加圧エアAが注入口10を介して全ポケット
8内に注入され、その圧力によりポケット8内に残留し
ている液体Lや切粉等が外部に排出される。そして、こ
の液体Lや切粉等はインジェクタ装置16の吸引孔21によ
り強制的に吸引される。
As shown in FIG. 5, when starting the balance operation, the air injection nozzle 20 is opened by a command from a control device (not shown) while the grindstone 7 is rotating, and pressurized air A is injected from the air injection nozzle 20 into the injection port. The liquid L, chips, and the like remaining in the pocket 8 are discharged to the outside by the pressure by being injected into all the pockets 8 through 10. Then, the liquid L, chips and the like are forcibly sucked through the suction holes 21 of the injector device 16.

この結果、ポケット8内に残留物が無い状態でバラン
シング作業を正確に行うことができる。また、液体Lが
吸引孔21によって強制的に吸引されるので、外部へ吹き
飛ばされた液体Lが砥石カバー13の内面や砥石7の側面
等に付着することを防止することができる。したがっ
て、液体Lの付着により砥石7のバランスが崩れること
はなく、安定した回転を保持することができる。
As a result, the balancing operation can be performed accurately without any residue in the pocket 8. Further, since the liquid L is forcibly sucked by the suction hole 21, the liquid L blown out to the outside can be prevented from adhering to the inner surface of the grindstone cover 13, the side surface of the grindstone 7, and the like. Therefore, the balance of the grindstone 7 is not lost due to the adhesion of the liquid L, and stable rotation can be maintained.

一方、バランス作業時において、制御装置からの指令
により液体噴射ノズル19が開き、その液体噴射ノズル19
から液体Lが注入口10を介して特定のポケット8内に注
入され、かつ砥石7の回転に伴う遠心力によりそのポケ
ット8内に保持される。この結果、砥石7の特定の位相
に所定の大きさの質量が作用し、これにより砥石7のア
ンバランスが自動的に修正される。
On the other hand, during the balance operation, the liquid injection nozzle 19 is opened by a command from the control device, and the liquid injection nozzle 19 is opened.
The liquid L is injected into the specific pocket 8 through the injection port 10 and is held in the pocket 8 by centrifugal force accompanying the rotation of the grindstone 7. As a result, a predetermined amount of mass acts on a specific phase of the grindstone 7, whereby the imbalance of the grindstone 7 is automatically corrected.

また、液体噴射ノズル19から噴射された液体Lが必ず
しも注入口10を介してポケット8内に注入されるわけで
なく、若干外部に溢れるときがある。このとき、外部へ
溢れた液体Lは真空ポンプ26の吸引力により吸入孔21内
に強制的に吸入される。この結果、液体Lは砥石7の側
面に付着することがないので、砥石7のアンバランスの
発生を防止することができ、安定した回転を保持するこ
とができる。
Further, the liquid L ejected from the liquid ejecting nozzle 19 is not always injected into the pocket 8 through the injection port 10, and may slightly overflow outside. At this time, the liquid L overflowing to the outside is forcibly sucked into the suction hole 21 by the suction force of the vacuum pump 26. As a result, since the liquid L does not adhere to the side surface of the grindstone 7, the occurrence of imbalance of the grindstone 7 can be prevented, and stable rotation can be maintained.

さらに、研削盤を使用した後、エア噴射ノズルから加
圧エアAを噴射してポケット8内の液体Lを外部へ吹き
飛ばし、吸入孔21によってその液体Lを吸引すれば、砥
石7の回転が停止したあとポケット8内の液体Lが外部
へ流れ出て砥石7の側面に付着するのを防止することが
できる。したがって、砥石7を再び回転させて作業をす
るとき液体Lの質量によりアンバランスが発生しないの
で、短時間で砥石のバランス修正を行うことができる。
Furthermore, after using the grinder, the pressurized air A is jetted from the air jet nozzle to blow off the liquid L in the pocket 8 to the outside, and the liquid L is sucked through the suction hole 21 to stop the rotation of the grindstone 7. After that, it is possible to prevent the liquid L in the pocket 8 from flowing out and attaching to the side surface of the grindstone 7. Therefore, when the work is performed while the grindstone 7 is rotated again, no imbalance occurs due to the mass of the liquid L, so that the balance of the grindstone can be corrected in a short time.

また、インジェクタ装置16は取付部材17に螺合された
ナット18を緩めることによって移動させることができる
ので、インジェクタ装置16と注入口10との間隔を容易に
調整することができる。
Further, since the injector device 16 can be moved by loosening the nut 18 screwed to the mounting member 17, the interval between the injector device 16 and the injection port 10 can be easily adjusted.

なお、この発明は前記実施例に限定されるものではな
く、この発明の趣旨から逸脱しない範囲内で以下のよう
に変更することも可能である。
It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be modified as follows without departing from the spirit of the present invention.

(1)本実施例においては液体噴射ノズル19とエア噴射
ノズル20とをそれぞれ別体とした設けたが、液体供給管
22とエア供給管24とを切換弁によって切換制御し、1つ
の噴射ノズルによって加圧エアAおよび液体Lをポケッ
ト8内部に注入することも可能である。
(1) In the present embodiment, the liquid injection nozzle 19 and the air injection nozzle 20 are provided separately from each other.
Switching between the air supply pipe 22 and the air supply pipe 24 is controlled by a switching valve, and the pressurized air A and the liquid L can be injected into the pocket 8 by one injection nozzle.

[発明の効果] 以上詳述したように、この発明によれば回転体の側面
に液体が付着して回転体のバランスが崩されることを確
実に防止できるとともに、回転体のバランス修正を従来
より一層短時間で行うことができるという効果を奏す
る。
[Effects of the Invention] As described above in detail, according to the present invention, it is possible to reliably prevent the liquid from adhering to the side surface of the rotating body and to break the balance of the rotating body, and to correct the balance of the rotating body from the related art. There is an effect that it can be performed in a shorter time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は液体式オートバランス装置を研削盤の砥石カバ
ーに装着した状態を示す一部拡大断面図、第2図はバラ
ンスリングの構成を示す一部正面図、第3図はバランス
リングに対しインジェクタを対向配置させた状態を示す
説明図、第4図は液体式オートバランス装置を砥石カバ
ーに装着した状態を示す正面図、第5図は吸引部により
ポケット内の液体が吸引される状態を示す説明図であ
る。 7……回転体としての砥石、8……ポケット、19……液
体噴射ノズル、20……エア噴射ノズル、21……吸引部、
A……エア、L……液体。
FIG. 1 is a partially enlarged sectional view showing a state in which a liquid type auto-balancing device is mounted on a grindstone cover of a grinding machine, FIG. 2 is a partial front view showing a configuration of a balance ring, and FIG. FIG. 4 is a front view showing a state in which a liquid type auto-balancing device is mounted on a grindstone cover, and FIG. 5 is a view showing a state in which a liquid in a pocket is sucked by a suction unit. FIG. 7: grinding wheel as rotating body, 8: pocket, 19: liquid jet nozzle, 20: air jet nozzle, 21: suction unit,
A: air, L: liquid.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭50−83675(JP,A) 特開 昭54−54389(JP,A) 特開 昭64−40268(JP,A) 特開 昭58−160058(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01M 1/00 - 1/38 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-50-83675 (JP, A) JP-A-54-54389 (JP, A) JP-A-64-40268 (JP, A) JP-A-58-58 160058 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G01M 1/00-1/38

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】回転体(7)の軸線の周りに列設した複数
のポケット(8)に対し液体(L)を注入して前記回転
体(7)のアンバランスを修正する液体式オートバラン
ス装置において、 特定位相のポケット(8)に液体(L)を注入して回転
体(7)のアンバランスを修正するための液体噴射部
(19)と、 前記ポケット(8)に向けてエア(A)を噴射してポケ
ット(8)内の液体(L)を外部に排出するためのエア
噴射部(20)と、 前記ポケット(8)から外部に排出された液体(L)を
強制的に吸引する吸引部(21)と を備えたことを特徴とする液体式オートバランス装置。
1. A liquid autobalance for injecting a liquid (L) into a plurality of pockets (8) arranged around an axis of a rotating body (7) to correct imbalance of the rotating body (7). In the apparatus, a liquid ejecting unit (19) for injecting a liquid (L) into a pocket (8) having a specific phase to correct imbalance of the rotating body (7); and an air ( A) to eject the liquid (L) in the pocket (8) to the outside by injecting the liquid (A), and forcibly apply the liquid (L) discharged to the outside from the pocket (8). And a suction unit (21) for suctioning.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19544844C1 (en) * 1995-12-01 1997-04-10 Daimler Benz Ag Process to operate energy store, especially using 60 000 rpm flywheel
GB0905343D0 (en) 2009-03-27 2009-05-13 Ricardo Uk Ltd A flywheel
GB0905345D0 (en) 2009-03-27 2009-05-13 Ricardo Uk Ltd A flywheel
GB0905344D0 (en) 2009-03-27 2009-05-13 Ricardo Uk Ltd A flywheel
GB201019473D0 (en) 2010-11-17 2010-12-29 Ricardo Uk Ltd An improved coupler
CN102313626B (en) * 2011-03-28 2013-06-12 中国计量学院 Online dynamic balance head of liquid type high-speed rotor and technological embodiment thereof
GB201106768D0 (en) 2011-04-20 2011-06-01 Ricardo Uk Ltd An energy storage system
CN102444691B (en) * 2011-10-21 2014-01-08 浙江省海洋开发研究院 Fly wheel structure capable of automatically keeping dynamic balance
KR102315450B1 (en) * 2020-01-15 2021-10-21 창원대학교 산학협력단 The control unit for balancing the spindle

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