JP2996776B2 - Method for producing lead zirconate titanate - Google Patents

Method for producing lead zirconate titanate

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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はチタン酸ジルコン酸鉛の
製造方法に関するものであり、更に詳しくは圧電素子、
焦電素子、電気光学素子などの強誘電体材料に使用され
るチタン酸ジルコン酸鉛を低温焼成により製造する方法
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing lead zirconate titanate, and more particularly, to a piezoelectric element,
The present invention relates to a method for producing lead zirconate titanate used for a ferroelectric material such as a pyroelectric element and an electro-optical element by firing at a low temperature.

【0002】[0002]

【従来の技術】チタン酸バリウム、チタン酸鉛、チタン
酸ジルコン酸鉛などのペロブスカイト型強誘電体はコン
デンサーや圧電素子に広く応用されている。最近、電子
材料の高性能化、小型化、低価格化というニーズに対し
て上記セラミックスの薄膜化、微細化が重要な課題とな
っている。
2. Description of the Related Art Perovskite ferroelectrics such as barium titanate, lead titanate and lead zirconate titanate have been widely applied to capacitors and piezoelectric elements. In recent years, thinning and miniaturization of the above ceramics have become important issues for the needs for higher performance, smaller size, and lower cost of electronic materials.

【0003】従来、チタン酸ジルコン酸鉛はそれぞれの
成分金属の酸化物をボールミルなどにより粉砕し、その
粉末を所定比に混合した後に800〜1300℃という
高温での固相反応により製造されている。しかしなが
ら、原料酸化物の粉砕時及び混合時における不純物の混
入が避けれらないこと、及び機械的粉砕では1μm以下
の微粒子が得られないことなどから、高品質なチタン酸
ジルコン酸鉛を得ることができないという問題点があ
る。更に、上記セラミックスを得るに要する1200℃
以上という高い焼成温度では、酸化鉛が気化することか
ら、組成の均一性に欠けるという問題点がある。そこ
で、最近では組成が均一で、かつ低温焼成できるチタン
酸ジルコン酸鉛の製造方法が要望されている。
Heretofore, lead zirconate titanate has been produced by pulverizing oxides of the respective component metals by a ball mill or the like, mixing the powders in a predetermined ratio, and then subjecting them to a solid phase reaction at a high temperature of 800 to 1300 ° C. . However, it is necessary to obtain high quality lead zirconate titanate because impurities cannot be avoided during the pulverization and mixing of the raw material oxides, and fine particles of 1 μm or less cannot be obtained by mechanical pulverization. There is a problem that can not be. Further, 1200 ° C. required to obtain the above ceramics
At the high firing temperature described above, there is a problem that the lead oxide is vaporized and the composition is not uniform. Therefore, recently, there has been a demand for a method for producing lead zirconate titanate having a uniform composition and which can be fired at a low temperature.

【0004】上記セラミックスの低温合成に関しては、
金属アルコキシド[例えば、日本セラミックス協会誌、
98、754(1990)、特開昭62−108729号公報な
ど]、酢酸鉛と金属アルコキシド[J.Appl.Ph
ys.,64,2717(1988)]、酢酸鉛、硝酸ジ
ルコニウム、チタンブトキシド[日本セラミックス協会
誌、99、630(1991)]の加水分解を利用したゾ
ル−ゲル法によるチタン酸ジルコン酸鉛の低温焼結性粉
末の合成法あるいはチタン酸ジルコン酸鉛薄膜の作製法
が記載されている。
Regarding the low-temperature synthesis of the above ceramics,
Metal alkoxide [For example, Journal of the Ceramic Society of Japan,
98, 754 (1990), JP-A-62-108729], lead acetate and metal alkoxide [J. Appl. Ph
ys. , 64, 2717 (1988)], low-temperature sintering of lead zirconate titanate by a sol-gel method using hydrolysis of lead acetate, zirconium nitrate, and titanium butoxide [Journal of the Ceramic Society of Japan, 99, 630 (1991)]. It describes a method for synthesizing a conductive powder or a method for preparing a lead zirconate titanate thin film.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
金属アルコキシドを原料として用いるゾル−ゲル法によ
るチタン酸ジルコン酸鉛の製造方法では、使用する金属
アルコキシドが本質的にわずかの水分の存在下でも加水
分解され易いため、所定の混合比に試料を調製すること
が難しく、更に混合試料溶液の保存安定性が悪いという
問題点がある。また、鉛、チタン、ジルコニウムそれぞ
れの金属アルコキシドの加水分解速度に違いがあるた
め、加水分解によりチタン酸ジルコン酸鉛の前駆体ゾ
ル、及びゲルを調製するゾル−ゲル法では組成、形態な
どが均一なチタン酸ジルコン酸鉛を得ることが難しいと
いう問題点もある。これらのことに加えて、ゾル−ゲル
法によるチタン酸ジルコン酸鉛前駆体を調製する際には
上記問題点を解決するために多種の添加剤の使用を含め
た複雑な処理を必要とし、更にゲル化に多大な時間を要
するなどのプロセス上の問題点もある。
However, in the above-mentioned method for producing lead zirconate titanate by a sol-gel method using a metal alkoxide as a raw material, the metal alkoxide used is hydrolyzed even in the presence of essentially a small amount of water. Since it is easily decomposed, it is difficult to prepare a sample at a predetermined mixing ratio, and furthermore, there is a problem that the storage stability of the mixed sample solution is poor. In addition, since the hydrolysis rates of the metal alkoxides of lead, titanium, and zirconium are different, the sol-gel method of preparing a precursor sol and gel of lead zirconate titanate by hydrolysis has a uniform composition and form. There is also a problem that it is difficult to obtain a suitable lead zirconate titanate. In addition to these, preparation of a lead zirconate titanate precursor by a sol-gel method requires complicated processing including the use of various additives to solve the above problems, There are also problems in the process, such as a long time required for gelation.

【0006】従って、本発明の目的は、複雑な工程なし
に均一なチタン酸ジルコン酸鉛が低温焼成により製造で
きる方法を提供することにある。
Accordingly, it is an object of the present invention to provide a method by which uniform lead zirconate titanate can be produced by low-temperature sintering without complicated steps.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記目的
を達成するために鋭意研究を重ねた結果、鉛、チタン、
ジルコニウムそれぞれの有機酸塩の混合溶液を低温で加
熱し、熱分解することにより均一なチタン酸ジルコン酸
鉛が得られることを見出した。
Means for Solving the Problems The present inventors have conducted intensive studies to achieve the above object, and as a result, lead, titanium,
It has been found that uniform lead zirconate titanate can be obtained by heating a mixed solution of each organic acid salt of zirconium at a low temperature and thermally decomposing it.

【0008】上記のように、従来のチタン酸ジルコン酸
鉛の低温合成のためには金属アルコキシドなどを用いた
ゾル−ゲル法が有効であるとの報告がなされているが、
本発明の製造方法によれば、縮合反応によるゾル状、及
びゲル状のチタン酸ジルコン酸鉛前駆体生成物を調製す
ることなしに、使用した有機酸塩の熱分解あるいは酸化
分解反応のみで直接チタン酸ジルコン酸鉛が製造でき
る。
As described above, it has been reported that the sol-gel method using a metal alkoxide or the like is effective for the conventional low-temperature synthesis of lead zirconate titanate.
According to the production method of the present invention, without preparing a sol-like and gel-like lead zirconate titanate precursor product by a condensation reaction, only the thermal decomposition or oxidative decomposition reaction of the organic acid salt used is performed directly. Lead zirconate titanate can be produced.

【0009】本発明により製造し得るチタン酸ジルコン
酸鉛は、一般式:PbZrxTi1-x3(ただし、0≦x
≦1.0)で表される組成を有するPbZrO3とPbT
iO3の固溶体である。また、この固溶体に他の成分元
素を添加する場合(例えばNb、Ta、Fe、Mg、
Y、Laなど)、添加元素の有機酸塩をチタン酸ジルコ
ン酸鉛原料有機酸塩溶液に混合することにより容易に均
一組成のものが得られる。
The lead zirconate titanate which can be produced by the present invention has a general formula: PbZr x Ti 1-x O 3 (where 0 ≦ x
PbZrO 3 and PbT having a composition represented by ≦ 1.0)
It is a solid solution of iO 3 . When other component elements are added to this solid solution (for example, Nb, Ta, Fe, Mg,
Y, La, etc.) and an organic acid salt of an additional element are mixed with a lead organic acid salt solution of lead zirconate titanate to easily obtain a uniform composition.

【0010】本発明において、チタン酸ジルコン酸鉛は
有機酸鉛、有機酸ジルコニウム、及び有機酸チタンを有
機溶媒にそれぞれ所定量溶解した溶液を混合することに
より得られる溶液、あるいは有機酸鉛、有機酸ジルコニ
ウム、及び有機酸チタンの各所定量を有機溶媒に混合す
ることにより得られる溶液を20〜150℃の温度で乾
燥した後、500〜1000℃に加熱焼成することによ
り、製造することができる。
In the present invention, the lead zirconate titanate is a solution obtained by mixing a solution obtained by dissolving a predetermined amount of each of an organic acid lead, an organic acid zirconium, and an organic acid titanium in an organic solvent; A solution obtained by mixing predetermined amounts of zirconium acid and organic acid titanium in an organic solvent is dried at a temperature of 20 to 150 ° C, and then heated and calcined at 500 to 1000 ° C.

【0011】本発明方法に用いることができる鉛化合物
は、一般式:Pb(OCOR)2で表され、具体的には例
えばステアリン酸鉛、ラウリン酸鉛、カプリル酸鉛、2
−エチルヘキサン酸鉛、ネオデカン酸鉛、ナフテン酸鉛
などを挙げることができ、これらは1種単独でも、2種
以上でも用いることができる。
The lead compound that can be used in the method of the present invention is represented by the general formula: Pb (OCOR) 2 , specifically, for example, lead stearate, lead laurate, lead caprylate,
-Lead ethylhexanoate, lead neodecanoate, lead naphthenate, etc., can be used alone or in combination of two or more.

【0012】また、本発明方法に用いられるチタン化合
物は、一般式:TiO (OCOR) 4−2x (ただし0≦x≦1.
0) で表され、具体的には例えばステアリン酸チタン、
ラウリン酸チタン、カプリル酸チタン、2−エチルヘキ
サン酸チタン、ネオデカン酸チタン、ナフテン酸チタン
など及びそれらの重合体を挙げることができ、これらは
1種単独でも、2種以上でも用いることができる。
The titanium compound used in the method of the present invention has a general formula: TiO x (OCOR) 4-2x (where 0 ≦ x ≦ 1.
0) , specifically, for example, titanium stearate,
Titanium laurate, titanium caprylate, titanium 2-ethylhexanoate, titanium neodecanoate, titanium naphthenate
And the like, and polymers thereof . These can be used alone or in combination of two or more.

【0013】更に、本発明方法に用いられるジルコニウ
ム化合物は、一般式:Zr(OCOR)4あるいはZrO
(OCOR)2で表され、具体的には例えばステアリン酸
ジルコニウム、ラウリン酸ジルコニウム、カプリル酸ジ
ルコニウム、2−エチルヘキサン酸ジルコニウム、ネオ
デカン酸ジルコニウム、ナフテン酸ジルコニウムあるい
はステアリン酸ジルコニル、カプリル酸ジルコニル、2
−エチルヘキサン酸ジルコニル、ネオデカン酸ジルコニ
ル、ナフテン酸ジルコニルなどを挙げることができ、こ
れらは1種単独でも、2種以上でも用いることができる
が、加水分解の起こらない有機酸ジルコニルを用いるこ
とが望ましい。
Further, the zirconium compound used in the method of the present invention has a general formula: Zr (OCOR) 4 or ZrO
(OCOR) 2 and specific examples thereof include zirconium stearate, zirconium laurate, zirconium caprylate, zirconium 2-ethylhexanoate, zirconium neodecanoate, zirconium naphthenate or zirconyl stearate, zirconyl caprylate,
-Zirconyl ethylhexanoate, zirconyl neodecanoate, zirconyl naphthenate, etc., which can be used alone or in combination of two or more, preferably organic zirconyl which does not cause hydrolysis. .

【0014】本発明方法に用いる有機溶媒としては、n
−プロパノール、i−プロパノール、n−ブタノールな
どのアルコール類、ヘキサン、ヘプタン、シクロヘキサ
ンなどの炭化水素類、ベンゼン、トルエン、キシレンな
どの芳香族類など上記有機酸金属塩を溶解する有機溶媒
であればどんな溶媒でも使用することができ、これらは
1種単独でも、2種以上でも用いることができる。ま
た、混合する溶媒量については特に限定されるものでは
ないが、通常有機酸塩1重量部に対して有機溶媒3〜2
0重量部程度を用いるのが好ましい。
The organic solvent used in the method of the present invention includes n
-An organic solvent that dissolves the above-mentioned organic acid metal salt such as alcohols such as propanol, i-propanol and n-butanol; hydrocarbons such as hexane, heptane and cyclohexane; and aromatics such as benzene, toluene and xylene. Any solvent can be used, and these can be used alone or in combination of two or more. The amount of the solvent to be mixed is not particularly limited, but usually 3 to 2 parts of the organic solvent per 1 part by weight of the organic acid salt.
It is preferable to use about 0 parts by weight.

【0015】混合溶液は始めに乾燥し、次いで焼成す
る。乾燥は20〜150℃で、0.2〜2時間、焼成は
500〜1000℃、好ましくは500〜800℃で
0.5〜2時間行うのが好ましい。
The mixed solution is first dried and then calcined. Drying is performed at 20 to 150 ° C for 0.2 to 2 hours, and baking is performed at 500 to 1000 ° C, preferably 500 to 800 ° C for 0.5 to 2 hours.

【0016】[0016]

【実施例】次に、実施例により本発明を詳細に説明す
る。 実施例1 オクチル酸鉛50.0gオクチル酸ジルコニル20.6
g、オクチル酸チタン27.6gをn−ブタノール90
0gに希釈溶解した。その際の各金属分の原子比はP
b:Zr:Ti=1:0.53:0.47である。ま
ず、この溶液の水分安定性について調べた。常温で空気
中で放置することによる安定性試験を試みたところ、1
月以上放置しても安定であった。比較としてチタン化合
物としてオクチル酸チタンの代わりにチタンテトライソ
プロポキシド、n−ブトキシドを用いた場合は、1時間
放置しただけで、酸化チタン水和物の沈澱が析出しはじ
め、2日間放置すると完全に加水分解して白色沈澱が析
出した。次に、上記オクチル酸鉛、オクチル酸ジルコニ
ル、オクチル酸チタンのn−ブタノール溶液を100℃
で1時間乾燥した後に400℃、500℃、600℃の
各所定温度で1時間加熱焼成し、得られた生成物を粉末
X線回折分析により調べた。その結果は図1ないし図3
に示す通りであり、400℃(図1)では結晶性が悪
く、X線回折パターンからは生成物を特定できなかった
が、500℃(図2)、600℃(図3)での生成物の
X線回折パターンは、チタン酸ルコン酸鉛(Pb
0.52Ti0.48:JCPDS、Powde
r Diffraction File、 33−78
3)のX線回折パターンとよく一致していた。この結果
から、オクチル酸鉛、オクチル酸ジルコニル、オクチル
酸チタンのn−ブタノール溶液を空気中で加熱すると、
500℃以上でチタン酸ジルコン酸鉛が生成することが
わかった。残留炭素分は400℃では4%、500℃で
は1%であったが、600℃では検出されなかった(<
0.1%)。
Next, the present invention will be described in detail with reference to examples. Example 1 Lead octylate 50.0 g Zirconyl octylate 20.6
g, 27.6 g of titanium octylate in n-butanol 90
It was diluted and dissolved in 0 g. At that time, the atomic ratio of each metal is P
b: Zr: Ti = 1: 0.53: 0.47. First, the water stability of this solution was examined. The stability test by leaving it in the air at room temperature
It was stable even if left for more than a month. As a comparison, when titanium tetraisopropoxide or n-butoxide was used instead of titanium octylate as a titanium compound, a precipitate of titanium oxide hydrate began to precipitate only after being left for 1 hour, and completely when left for 2 days. To form a white precipitate. Next, an n-butanol solution of the above lead octylate, zirconyl octylate, and titanium octylate was added at 100 ° C.
After drying for 1 hour at 400 ° C., 500 ° C., and 600 ° C. for 1 hour, the obtained product was examined by powder X-ray diffraction analysis. The results are shown in FIGS.
The crystallinity was poor at 400 ° C. (FIG. 1), and the product could not be identified from the X-ray diffraction pattern. the X-ray diffraction pattern of the titanate di Rukon lead (Pb 2 Z
r 0.52 Ti 0.48 O 3 : JCPDS, Powder
r Diffraction File, 33-78
It was in good agreement with the X-ray diffraction pattern of 3). From this result, when n-butanol solution of lead octylate, zirconyl octylate, and titanium octylate is heated in the air,
It was found that lead zirconate titanate was formed at 500 ° C. or higher. The residual carbon content was 4% at 400 ° C and 1% at 500 ° C, but was not detected at 600 ° C (<
0.1%).

【0017】実施例2 ネオデカン酸鉛、ネオデカン酸ジルコニル、ネオデカン
酸チタンを上記実施例1と同様にPb:Zr:Ti=
1:0.53:0.47の原子比になるように混合し、ブ
タノールに溶解した。この溶液もまた上記と同様に空気
中で1月以上放置しても安定なままであった。この溶液
を100℃で1時間乾燥した後に、400℃、500
℃、600℃の各所定温度で1時間加熱焼成して得られ
た生成物を粉末X線回折分析により調べた結果は実施例
1の結果と同様であり、500℃以上でチタン酸ジルコ
ン酸鉛が生成することがわかった。残留炭素分も実施例
1の結果と同様であった。
Example 2 Lead neodecanoate, zirconyl neodecanoate, and titanium neodecanoate were prepared in the same manner as in Example 1 except that Pb: Zr: Ti =
They were mixed at an atomic ratio of 1: 0.53: 0.47 and dissolved in butanol. This solution also remained stable when left in air for more than one month as described above. After drying this solution at 100 ° C. for 1 hour,
The product obtained by heating and sintering at predetermined temperatures of 1 ° C. and 600 ° C. for 1 hour was analyzed by powder X-ray diffraction analysis. The result was the same as that of Example 1, and at 500 ° C. or higher, lead zirconate titanate Was found to be generated. The residual carbon content was the same as the result of Example 1.

【0018】[0018]

【発明の効果】本発明において用いる鉛、チタン、ジル
コニウムそれぞれの有機酸塩の混合溶液は、従来報告さ
れているチタン酸ジルコン酸鉛の低温合成の原料である
金属アルコキシド溶液よりもはるかに水分安定性があ
り、キレート化合物、アルカノールアミン類などを添加
するなどの溶液調製時の複雑な操作を行う必要がない。
本発明方法を採用することで、成分金属の酸化物を原料
とする従来法に比して、はるかに低温でチタン酸ジルコ
ン酸鉛を製造でき、大幅なエネルギーの節減につなが
り、経済的に有利である。また、固相反応とは異なり、
有機酸塩の均一溶液の熱分解によりチタン酸ジルコン酸
鉛が生成するため、微細なレベルで均一組成のものがで
きる。更に、金属アルコキシドなどを用いるゾル−ゲル
法では加水分解の制御を行うために複雑な操作及び工程
が必要となるが、これに比して本発明方法で用いる原料
は加水分解性が全くないか、非常に小さいので、取り扱
いが容易となり、混合、乾燥などの操作が簡便になると
共に保存安定性も大幅に改善される。
The mixed solution of each of the organic acid salts of lead, titanium and zirconium used in the present invention is much more water-stable than the metal alkoxide solution which is a raw material for low-temperature synthesis of lead zirconate titanate which has been reported so far. There is no need to perform complicated operations at the time of solution preparation such as addition of a chelate compound, an alkanolamine or the like.
By employing the method of the present invention, lead zirconate titanate can be produced at a much lower temperature than in the conventional method using an oxide of a component metal as a raw material, which leads to a significant energy saving and is economically advantageous. It is. Also, unlike solid phase reactions,
Since thermal decomposition of a homogeneous solution of an organic acid salt generates lead zirconate titanate, a uniform composition can be obtained at a fine level. Furthermore, in the sol-gel method using a metal alkoxide or the like, complicated operations and steps are required to control the hydrolysis. In contrast, is the raw material used in the method of the present invention not hydrolyzable at all? Since it is very small, handling becomes easy, operations such as mixing and drying are simplified, and storage stability is greatly improved.

【0019】また、本発明方法は下記に示す種々のプロ
セスによるチタン酸ジルコン酸鉛の製造方法に応用する
ことができる。約500〜600℃という低温焼成によ
り均一組成のチタン酸鉛が製造できることから、スプレ
ードライ法などによる均一粒子の微粉末の合成に応用で
きる。更に、スクリーン印刷、オフセット印刷などの印
刷法、スプレー法、ディッピング法、スピンコーティン
グ法などにより均一組成の薄膜の合成にも応用でき、チ
タン酸ジルコン酸鉛の薄膜化、微細化に十分対応できる
ものである。
The method of the present invention can be applied to a method for producing lead zirconate titanate by various processes described below. Since lead titanate having a uniform composition can be produced by firing at a low temperature of about 500 to 600 ° C., it can be applied to synthesis of fine powder of uniform particles by a spray drying method or the like. In addition, it can be applied to the synthesis of thin films of uniform composition by printing methods such as screen printing and offset printing, spraying methods, dipping methods, spin coating methods, etc., and can sufficiently respond to thinning and miniaturization of lead zirconate titanate. It is.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施例1で400℃の焼成温度で得られた生成
物の粉末X線回折パターンである。
FIG. 1 is a powder X-ray diffraction pattern of a product obtained at a firing temperature of 400 ° C. in Example 1.

【図2】実施例1で500℃の焼成温度で得られた生成
物の粉末X線回折パターンである。
FIG. 2 is a powder X-ray diffraction pattern of a product obtained at a firing temperature of 500 ° C. in Example 1.

【図3】実施例1で600℃の焼成温度で得られた生成
物の粉末X線回折パターンである。
FIG. 3 is a powder X-ray diffraction pattern of a product obtained at a firing temperature of 600 ° C. in Example 1.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平1−308801(JP,A) 特開 平2−83214(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C01G 25/00 CA(STN)────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-1-308801 (JP, A) JP-A-2-83214 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) C01G 25/00 CA (STN)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 一般式:Pb(OCOR)2で表される
鉛の有機酸塩、一般式:Ti(OCOR)4で表される
Tiの有機酸塩及び一般式:Zr(OCOR)4または
ZrO(OCOR)2で表されるジルコニウムの有機酸
塩の混合溶液を乾燥、焼成することを特徴とするチタン
酸ジルコン酸鉛の製造方法。
An organic acid salt of lead represented by the general formula: Pb (OCOR) 2 , an organic acid salt of Ti represented by the general formula: Ti (OCOR) 4 and a general formula: Zr (OCOR) 4 or A method for producing lead zirconate titanate, comprising drying and firing a mixed solution of an organic acid salt of zirconium represented by ZrO (OCOR) 2 .
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